JPH0726688Y2 - Particle measuring device - Google Patents
Particle measuring deviceInfo
- Publication number
- JPH0726688Y2 JPH0726688Y2 JP1989106253U JP10625389U JPH0726688Y2 JP H0726688 Y2 JPH0726688 Y2 JP H0726688Y2 JP 1989106253 U JP1989106253 U JP 1989106253U JP 10625389 U JP10625389 U JP 10625389U JP H0726688 Y2 JPH0726688 Y2 JP H0726688Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample fluid
- flat
- nozzle
- laser beam
- inlet nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、試料流体に含まれる微粒子を測定する光散乱
式微粒子測定装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial field of application) The present invention relates to a light scattering type particle measuring apparatus for measuring particles contained in a sample fluid.
（従来の技術） 半導体製造等に使用されるクリーンルームの洗浄度を計
測するために、光散乱式の微粒子測定装置により微粒子
を測定する技術が知られている。この微粒子測定装置
は、インレットノズルにより試料流体を光散乱室に導
き、該インレットノズルにより光散乱室に導かれた試料
流体は、該光散乱室でレーザビームと交差されて該レー
ザービーム内に通流される。試料流体に含まれた微粒子
は、試料流体がレーザービームと交差して該レーザビー
ム内に通流されることにより、レーザビームが散乱さ
れ、その散乱光が、例えば、フォトディテクタに集光さ
れる。該フォトディテテクタは、微粒子により散乱され
たレーザビームに対応したパルス信号を出力し、そのパ
ルス信号の強度から微粒子の大きさが測定され、パルス
の数からは微粒子の数が測定される。(Prior Art) In order to measure the cleanliness of a clean room used for semiconductor manufacturing or the like, a technique of measuring fine particles with a light scattering type fine particle measuring device is known. In this fine particle measuring apparatus, a sample fluid is guided to a light scattering chamber by an inlet nozzle, and the sample fluid guided to the light scattering chamber by the inlet nozzle intersects with a laser beam in the light scattering chamber and passes through the laser beam. Shed As for the fine particles contained in the sample fluid, the sample fluid intersects with the laser beam and is passed through the laser beam, whereby the laser beam is scattered, and the scattered light is focused on, for example, a photodetector. The photodetector outputs a pulse signal corresponding to the laser beam scattered by the fine particles, the size of the fine particles is measured from the intensity of the pulse signal, and the number of fine particles is measured from the number of pulses.
このような微粒子測定装置による測定では、測定効率を
向上させるためには、大量の試料流体をインレットノズ
ルからレーザビームに噴射する必要がある。また、測定
精度を向上させるために、インレットノズルから噴射さ
れる大量の試料流体を、レーザビーム内に確実に通流さ
せなければならない。これに対して、レーザビームの直
径は、レーザ装置の大型化を抑え、かつ、高エネルギー
密度を維持するために、小さく制限されている。このた
めに、近時、インレットノズルとして、第４図に示すよ
うな、試料流体が噴射される先端部のノズル孔51が偏平
状になった偏平ノズル50が使用されている。このような
インレットノズルは、光散乱室内にて、偏平ノズル50の
該ノズル孔51の偏平方向がレーザビーム60の照射方向に
一致されて、該レーザビーム60に交差するように試料流
体が噴射される。従って、このようなインレットノズル
を使用すれば、その偏平なノズル孔51から試料流体40が
偏平状に噴射され、その偏平状の試料流体40が小径のレ
ーザービーム60内に確実に通流される。その結果、大量
の試料流体の微粒子の測定が高効率で、しかも、正確に
行える。In the measurement by such a fine particle measuring device, in order to improve the measurement efficiency, it is necessary to inject a large amount of sample fluid into the laser beam from the inlet nozzle. Further, in order to improve the measurement accuracy, a large amount of sample fluid ejected from the inlet nozzle must be surely passed through the laser beam. On the other hand, the diameter of the laser beam is limited to be small in order to prevent the laser device from increasing in size and maintain a high energy density. For this reason, recently, as the inlet nozzle, a flat nozzle 50 having a flat nozzle hole 51 at the tip end where the sample fluid is ejected is used as shown in FIG. In such an inlet nozzle, the flattening direction of the nozzle hole 51 of the flat nozzle 50 is aligned with the irradiation direction of the laser beam 60 in the light scattering chamber, and the sample fluid is jetted so as to intersect the laser beam 60. It Therefore, when such an inlet nozzle is used, the sample fluid 40 is jetted in a flat shape from the flat nozzle hole 51, and the flat sample fluid 40 is surely passed through the laser beam 60 having a small diameter. As a result, a large amount of fine particles in the sample fluid can be measured with high efficiency and accuracy.
（考案が解決しようとする課題） しかしながら、このような偏平状のノズル孔51を有する
インレットノズルでは、そのノズル孔51から試料流体40
を光散乱室内に高速で噴射すると、インレットノズルの
中央部と端部での試料流体の流速が相違するために、ノ
ズル孔から噴射した際に流れに乱れが生じ、その結果、
一部の試料流体40はレーザービーム60内を通流されず、
該レーザビーム60に交差することなく通過するおそれが
ある。このように、試料流体の一部において微粒子の検
出が行われなければ微粒子の測定精度が低下する。この
ようなインレットノズルを使用した微粒子測定装置によ
る測定精度を向上させるためには、該インレットノズル
から噴射される試料流体量を制限しなければならない。(Problems to be solved by the invention) However, in the inlet nozzle having such a flat nozzle hole 51, the sample fluid 40 flows from the nozzle hole 51.
When jetting into the light scattering chamber at high speed, the flow velocity of the sample fluid at the central portion and the end portion of the inlet nozzle is different, so that the flow is disturbed when jetted from the nozzle hole, and as a result,
Some sample fluid 40 does not flow through the laser beam 60,
There is a risk of passing the laser beam 60 without intersecting it. As described above, if the detection of the fine particles is not performed in a part of the sample fluid, the measurement accuracy of the fine particles deteriorates. In order to improve the measurement accuracy of the fine particle measuring apparatus using such an inlet nozzle, the amount of sample fluid ejected from the inlet nozzle must be limited.
本考案は上記従来の問題を解決するものであり、その目
的は試料流体を高速で噴射した場合にも、試料流体が乱
れるおそれがなく、従って、微粒子の測定精度を著しく
向上させることができる微粒子測定装置を提供すること
にある。The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and its object is to prevent the sample fluid from being disturbed even when the sample fluid is jetted at a high speed, and therefore, it is possible to remarkably improve the measurement accuracy of the fine particles. It is to provide a measuring device.
（課題を解決するための手段） 本考案の微粒子測定装置は、検出すべき微粒子を含んだ
試料流体をインレットノズルから噴射し、光散乱室のレ
ーザビーム内に通流させ、該微粒子に光を照射すること
により該微粒子を測定する微粒子測定装置であって、該
インレットノズルが、該試料流体が噴射される先端部が
偏平状になっており、該偏平状の先端部がその偏平方向
に沿って複数のノズル孔に分割されており、該偏平方向
に該光を照射する構成となっていることを特徴としてな
り、そのことにより上記目的が達成される。(Means for Solving the Problem) The particle measuring device of the present invention is a device for injecting a sample fluid containing particles to be detected from an inlet nozzle and causing the sample fluid to flow into a laser beam in a light scattering chamber to emit light to the particles. A fine particle measuring device for measuring the fine particles by irradiation, wherein the inlet nozzle has a flat tip at which the sample fluid is ejected, and the flat tip is along the flat direction. It is characterized in that it is divided into a plurality of nozzle holes and irradiates the light in the flat direction, thereby achieving the above object.
（実施例） 以下に本考案をその実施例について説明する。(Embodiment) The present invention will be described below with reference to an embodiment thereof.
本考案の微粒子測定装置に用いるインレットノズルは、
第１図に示すように、先端部が複数本の細管10により構
成されている。各細管10は、流体試料が噴射される先端
部において、それぞれの軸心方向が平行するように一列
に並列されて偏平状になっており、相互に隣接する細管
10の先端部同士は結合されている。従って、各細管10の
先端部は、噴射される試料流体がそれぞれ通流されるノ
ズル孔11を構成しており、各ノズル孔11は、その並列方
向に分割された状態で、その偏平方向に並設されてい
る。各細管10の先端部を除く部分は、全体が断面円形状
になるように束ねられている。各細管10の先端部でそれ
ぞれ構成されたノズル孔11の直径は、試料流体が交差さ
れるレーザビームの直径より小さく設定されている。The inlet nozzle used in the particle measuring device of the present invention is
As shown in FIG. 1, the tip portion is composed of a plurality of thin tubes 10. The thin tubes 10 are arranged in a row in a flat shape so that their axial center directions are parallel to each other at the tip end where the fluid sample is ejected, and the thin tubes are adjacent to each other.
The 10 tips are joined together. Therefore, the tip portion of each thin tube 10 constitutes a nozzle hole 11 through which the ejected sample fluid flows, and each nozzle hole 11 is divided in the parallel direction and arranged in the flat direction. It is set up. The portions of the thin tubes 10 excluding the tip end are bundled so that the entire cross-section has a circular shape. The diameter of the nozzle hole 11 formed at the tip of each thin tube 10 is set smaller than the diameter of the laser beam with which the sample fluid intersects.
このような構成のインレットノズルにおいて、その複数
本の細管10の基端部から各細管10内に試料流体が導入さ
れ、各細管10の先端部におけるノズル孔11から試料流体
が光散乱室内に噴射される。各ノズル孔11は一列に並列
されて偏平状になっており、各ノズル孔11から噴射され
る試料流体40も偏平状になる。該試料流体は、光散乱室
内に照射されるレーザビーム内に通流されるように、該
レーザビームに対して直交するように噴射される。そし
て、該試料流体に含まれる微粒子がレーザビームを散乱
させ、その散乱光に基づいて、微粒子大きさ、数等が測
定される。In the inlet nozzle having such a configuration, the sample fluid is introduced into each thin tube 10 from the base end of the plurality of thin tubes 10, and the sample fluid is jetted into the light scattering chamber from the nozzle hole 11 at the tip of each thin tube 10. To be done. The nozzle holes 11 are arranged in parallel in a line to form a flat shape, and the sample fluid 40 ejected from each nozzle hole 11 also has a flat shape. The sample fluid is jetted orthogonally to the laser beam so that the sample fluid is passed through the laser beam irradiated into the light scattering chamber. Then, the fine particles contained in the sample fluid scatter the laser beam, and the size, number, etc. of the fine particles are measured based on the scattered light.
該レーザビームに向けて噴射される偏平状の試料流体40
は、各ノズル孔11によって整流されているので、試料流
流体量を増大させても、試料流体40は乱れることなく、
インレットノズルの偏平方向に一致させて照射され、か
つ交差するレーザビーム内に通流される。従って、試料
流体量を増大させた場合にも、試料流体の全量が確実に
レーザービーム内に通流されて交差し、試料流体に含ま
れる微粒子を確実に測定することができ、微粒子の測定
を高効率でかつ高精度で行うことができる。A flat sample fluid 40 ejected toward the laser beam
Is rectified by each nozzle hole 11, so that the sample fluid 40 is not disturbed even if the sample flow fluid amount is increased,
Irradiation is made to coincide with the flat direction of the inlet nozzle, and the laser beam is passed through the intersecting laser beam. Therefore, even when the amount of the sample fluid is increased, the entire amount of the sample fluid is surely passed through the laser beam and intersects, and it is possible to reliably measure the fine particles contained in the sample fluid. It can be performed with high efficiency and high accuracy.
第１図に示したインレットノズルは、先端部が複数の細
管10により構成されているが、本考案の微粒子測定装置
に用いるインレットノズルは、第２図に示すように、従
来から使用されている先端部が偏平状の偏平ノズル20を
利用したものでもよい。該偏平ノズル20の偏平状になっ
た先端部21内に複数本の細管30が装入されている。各細
管30は、偏平ノズル20における先端部21の偏平方向に、
それぞれの軸心方向が平行になるように一列に並列され
ており、偏平ノズル20の先端部21が各細管30により幅方
向に分割されて、各細管30内部がノズル孔31になってい
る。従って、インレットノズルの試料流体を噴射するノ
ズル孔31は、偏平ノズル20の先端部21を、その偏平方向
に分割されている。その結果、各ノズル孔31から噴射さ
れる試料流体40は、各ノズル孔31により整流された状態
となり、試料流体量を増大させた場合にも、試料流体40
が乱れるおそれがない。The inlet nozzle shown in FIG. 1 is composed of a plurality of capillaries 10 at its tip, but the inlet nozzle used in the particle measuring apparatus of the present invention is conventionally used as shown in FIG. A flat nozzle 20 having a flat tip may be used. A plurality of thin tubes 30 are inserted in the flat end portion 21 of the flat nozzle 20. Each thin tube 30 is in the flattening direction of the tip portion 21 of the flattening nozzle 20,
The flat nozzles 20 are arranged in a line so that their axial directions are parallel to each other, and the tip end portion 21 of the flat nozzle 20 is divided in the width direction by each thin tube 30, and the inside of each thin tube 30 becomes a nozzle hole 31. Therefore, the nozzle hole 31 for injecting the sample fluid of the inlet nozzle divides the tip end portion 21 of the flat nozzle 20 in the flat direction. As a result, the sample fluid 40 ejected from each nozzle hole 31 is in a state of being rectified by each nozzle hole 31, and even when the amount of sample fluid is increased, the sample fluid 40
Is not disturbed.
さらに、本考案の微粒子測定装置に用いるインレットノ
ズルは、第３図に示すように、偏平ノズル20を利用し
て、その偏平状の先端部21内を、板状の仕切壁22により
偏平方向に分割して、複数のノズル孔23が偏平方向に分
割された状態で並列されていてもよい。このような構成
のインレットノズルにおいても、前記各実施例と同様の
効果を達成する。Further, as shown in FIG. 3, the inlet nozzle used in the fine particle measuring apparatus of the present invention utilizes a flat nozzle 20 so that the inside of the flat tip portion 21 is flattened by a plate-shaped partition wall 22. It may be divided and the plurality of nozzle holes 23 may be arranged in parallel in a state of being divided in the flat direction. Also in the inlet nozzle having such a configuration, the same effect as that of each of the above-described embodiments is achieved.
（考案の効果） 本考案にあっては、インレットノズルは、試料流体を噴
射する偏平状の先端部に、その偏平方向に沿って分割さ
れた複数のノズル孔が設けられているので、各ノズル孔
から噴射される試料流体は各ノズル孔により整流される
ため、試料流体は乱れるおそれがなく、試料流体の全体
が偏平状となる。また、微粒子を検出するための光の照
射方向が、インレットノズルの偏平方向に一致させてい
るため、試料流体の全量が常に光束内に確実に通流さ
れ、試料流体量を増大させた場合にも試料流体内の微粒
子を確実に、かつ正確に測定することができる。(Effects of the Invention) In the present invention, since the inlet nozzle is provided with a plurality of nozzle holes divided along the flat direction at the flat tip end for ejecting the sample fluid, Since the sample fluid ejected from the holes is rectified by each nozzle hole, there is no fear of disturbing the sample fluid, and the entire sample fluid becomes flat. Further, since the irradiation direction of the light for detecting the fine particles is aligned with the flat direction of the inlet nozzle, the entire amount of the sample fluid is always reliably flowed into the light flux, and when the sample fluid amount is increased. Also, the fine particles in the sample fluid can be measured reliably and accurately.
第１図は本考案の微粒子測定装置に用いるインレットノ
ズルの一例を示す斜視図、第２図および第３図はそれぞ
れ本考案の微粒子測定装置に用いることのできる他のイ
ンレットノズルの斜視図、第４図は従来のインレットノ
ズルの斜視図である。 10、30…細管、20…偏平ノズル、11、23、31…ノズル
孔、40…試料流体。FIG. 1 is a perspective view showing an example of an inlet nozzle used in the particle measuring apparatus of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are perspective views of other inlet nozzles that can be used in the particle measuring apparatus of the present invention. FIG. 4 is a perspective view of a conventional inlet nozzle. 10, 30 ... thin tube, 20 ... flat nozzle, 11, 23, 31 ... nozzle hole, 40 ... sample fluid.
Claims (1)
レットノズルから噴射し、光散乱室のレーザビーム内に
通流させ、該微粒子に光を照射することにより該微粒子
を測定する微粒子測定装置であって、 該インレットノズルが、該試料流体が噴射される先端部
が偏平状になっており、該偏平状の先端部がその偏平方
向に沿って複数のノズル孔に分割されており、該偏平方
向に該光を照射する構成となっている微粒子測定装置。1. A fine particle measuring device for measuring a fine particle by injecting a sample fluid containing fine particles to be detected from an inlet nozzle, causing the sample fluid to flow into a laser beam in a light scattering chamber, and irradiating the fine particle with light. In the inlet nozzle, the tip end portion from which the sample fluid is ejected is flat, and the flat end portion is divided into a plurality of nozzle holes along the flattening direction, A fine particle measuring device configured to irradiate the light in a flat direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989106253U JPH0726688Y2 (en) | 1989-09-11 | 1989-09-11 | Particle measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989106253U JPH0726688Y2 (en) | 1989-09-11 | 1989-09-11 | Particle measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0344626U JPH0344626U (en) | 1991-04-25 |
| JPH0726688Y2 true JPH0726688Y2 (en) | 1995-06-14 |
Family
ID=31654991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989106253U Expired - Fee Related JPH0726688Y2 (en) | 1989-09-11 | 1989-09-11 | Particle measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0726688Y2 (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES422623A1 (en) * | 1973-02-01 | 1976-05-01 | Leschonski | Method of and the device for determining particles size distri butions in a mass flow of a granular material |
-
1989
- 1989-09-11 JP JP1989106253U patent/JPH0726688Y2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0344626U (en) | 1991-04-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69020533T2 (en) | PARTICLE PROBE WITH PARALLEL RUN THROUGH SEVERAL HOLES. | |
| JP4971451B2 (en) | Differentiation and application of flow cytometry pulses. | |
| JP5531219B2 (en) | System and method for real-time measurement of aerosol particle size and chemical composition | |
| JP6139541B2 (en) | Analysis and control of aerosol flow | |
| JP4897978B2 (en) | Sample analyzer and sample analysis method | |
| JP5322922B2 (en) | Asymmetric capillary of capillary flow cytometer | |
| US4920275A (en) | Particle measuring device with elliptically-shaped scanning beam | |
| JP2014518707A (en) | Nasal drug delivery nozzle | |
| CN104736995A (en) | Particle beam forming device | |
| CN101173886A (en) | Aerosol particle double channel laser detector and detecting method thereof | |
| KR20170026108A (en) | Particle detecting apparatus for measuring size and concentration of particles by photon counting | |
| JP2019506622A (en) | Method and apparatus for detection and / or structural analysis of individual flowing particles in a fluid | |
| USRE29141E (en) | Apparatus for orienting generally flat particles for sensing | |
| US5033851A (en) | Light scattering method and apparatus for detecting particles in liquid sample | |
| JPH05506503A (en) | Diversion for uniform multi-sensor detection | |
| CN110411933B (en) | Forward scattering light detection system, flow cytometer, and method for measuring cell diameter | |
| JPH0726688Y2 (en) | Particle measuring device | |
| CN101634622B (en) | Side scattered light sensing device for particle counter | |
| EP3152546B1 (en) | Biased sample injection flow cell | |
| US6104490A (en) | Multiple pathlength sensor for determining small particle size distribution in high particle concentrations | |
| JPS63311144A (en) | Apparatus for measuring fine grain in liquid | |
| DE3927027C2 (en) | ||
| JP2005049204A (en) | Measuring method of flow velocity of fluid | |
| JP3136745B2 (en) | Particle size distribution analyzer | |
| JPH04335135A (en) | Particulate counter |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |