JPH07260440A - 外形形状測定方法及び装置 - Google Patents

外形形状測定方法及び装置

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JPH07260440A
JPH07260440A JP4848194A JP4848194A JPH07260440A JP H07260440 A JPH07260440 A JP H07260440A JP 4848194 A JP4848194 A JP 4848194A JP 4848194 A JP4848194 A JP 4848194A JP H07260440 A JPH07260440 A JP H07260440A
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JP
Japan
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measured
arm
measurement
measuring
laser displacement
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JP4848194A
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English (en)
Inventor
Iwao Owada
大和田  巌
Yuji Hori
裕二 堀
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NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 ハニカム構造体などの被測定物の立体的な外
形形状を、インラインで正確に測定することができる方
法と装置を提供する。 【構成】 異なる高さに複数のレーザ変位計13を備えた
腕12を、被測定物Wの周りに回転させることにより、被
測定物Wの立体的な外形形状を測定する。被測定物W
は、腕12の回転軸に対して垂直な平面上に置かれる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物の外形形状測
定方法及び装置に関するものであり、特にセラミックス
製のハニカム構造体のような筒状の被測定物の立体的な
形状をインラインで正確に測定することができる外形形
状測定方法及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ハニカム構造体のような筒状の被測定物
の外形形状を測定するには、接触式の測定器により各部
の寸法を測定する方法が取られていた。しかしこのよう
な方法は、測定に多くの時間がかかるためにインライン
で全数測定を行うことはできないという問題があり、ま
た測定時に薄肉のハニカム構造体を傷付けるおそれもあ
った。
【0003】そこで本出願人は、非接触でハニカム構造
体等の被測定物の外形形状を測定する方法として、特開
昭64-75904号公報に示される方法を開発した。この方法
は、ターンテーブル上に載せた被測定物を回転させつつ
その片側から平行光線を照射し、被測定物の外周面によ
って光線が遮られる位置が変化することを受光器により
測定して被測定物の外形形状を演算により求める方法で
ある。
【0004】この方法は非接触であるために薄肉のハニ
カム構造体を傷付けるおそれはないが、ターンテーブル
の中心と被測定物の中心とのずれ等を複雑な演算により
補正する必要があった。またターンテーブルの中心に被
測定物を載せ、測定後はターンテーブルから被測定物を
降ろす必要があるために移載に時間やコストがかかり、
インラインで全数測定を行うことは容易ではないという
問題があった。さらにこの方法では被測定物のターンテ
ーブルの表面から一定高さの位置に平行光線を照射する
ため、立体的な形状を正確に把握することができないと
いう問題があった。更に被測定物の形状によっては(例
えば被測定物にくぼんだ部分や曲率半径が大きい部分が
あるような場合には)正確な測定が行えないという問題
があった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した従来
の問題点を解決し、ハニカム構造体のような被測定物の
立体的な外形形状を、非接触でしかもインラインで正確
に測定することができる外形形状測定方法及び装置を提
供するためになされたものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになされた本発明の外形形状測定方法は、異なる高さ
に複数のレーザ変位計を備えた腕を、この腕の回転軸に
対して垂直な平面上に置かれた被測定物の周りに回転さ
せ、被測定物の立体的な外形形状を測定することを特徴
とするものである。また本発明の外形形状測定装置は、
被測定物が置かれる平面の上方に設けられた回転盤の一
端から垂下され、前記平面に対して垂直な回転軸を中心
として被測定物の周囲を回転する腕に、複数のレーザ変
位計を高さを変えて取り付けたことを特徴とするもので
ある。
【0007】なお、上記のような腕が1回転する間に外
形形状の測定を実現するために必要な構成として、次の
ようなものがあげられる。腕が高速で回転する場合、複
数のレーザ変位計から得られる測定データが外形形状の
どの位置を示すものかを正確に対応づけるための工夫が
必要である。従って、レーザ変位計のデータを指定の位
置で正確にかつ高速に取りこみ、直接コンピュータのメ
モリに書き込むインターフェイスボードを設けておく。
また、高速な腕の回転からくる慣性力を防振するのに十
分な質量をもたせるため、内部に水を入れた門型フレー
ムを設けておく。なお、本発明ではくぼんだ部分のある
形状や曲率半径の大きい部分の形状の測定を可能とする
ために三角測量方式のレーザ変位計を使用するが、これ
は鏡面でなく、連続的に滑らかな外形に対して有効であ
る。
【0008】
【作用】本発明によれば、異なる高さに複数のレーザ変
位計を備えた腕を、この腕の回転軸に対して垂直な平面
上に置かれた被測定物の周りに回転させて測定を行う。
このときレーザ変位計は被測定物の外周面までの距離を
精度よく検出できるので、異なる高さにおける外周面の
形状を検出することができ、くぼんだ部分があるような
被測定物についても立体的な形状を正確に測定すること
が可能となる。しかもレーザ変位計を備えた腕を1回転
させるだけで測定が終了し、被測定物のパレットへの積
み降ろしは他の位置において自動的に行えるため、イン
ラインでの測定が可能である。
【0009】
【実施例】以下に本発明を図示の実施例によって更に詳
細に説明する。図1は実施例の装置の全体を示す斜視図
であり、1は被測定物の供給位置、2は測定位置、3は
高さ測定位置、4は取り出し位置である。供給位置1に
おいてハニカム構造体等の被測定物Wはパレット5の上
に自動的に載せられ、適宜の搬送手段によって平板6上
を測定位置2まで搬送されてくる。
【0010】測定位置2には、被測定物Wの昇降手段7
が設けられている。この昇降手段7は、上下モータ9と
昇降テーブル8とからなるものであり、平板6に設けら
れた孔の下面から昇降テーブル8を上昇させることによ
ってパレット5に載せた被測定物Wを図2のように所定
の高さまで上昇させる。この操作によってパレット5を
搬送手段から分離することができるので、搬送手段の持
つ誤差の影響を受けることなく測定が可能となる。
【0011】測定位置2には門型フレーム9が設けられ
ており、その下面にダイレクトドライブモータ10によっ
て回転される回転盤11が設けられている。そしてこの回
転盤11の一端から垂下させた腕12の内側に、複数のレー
ザ変位計13が取り付けられて形状測定手段20を構成して
いる。回転盤11及び腕12の回転軸と、被測定物Wが置か
れる平面を構成する昇降テーブル8の上面とは、互いに
垂直となっている。
【0012】また門型フレーム9の内部には水を入れて
いる。その理由は、1つは測定装置全体の耐振動特性を
上げることである。具体的には、総重量を大きくするこ
とによってfm=(2 π)-1(K/M)1/2であらわされる固有振
動数を小さくし、減衰比ζ=C/CC ( 但し、 CC =2(KM)
1/2 、C は粘性減数係数、K:ばね定数、M:質量)を1に
近づけることをねらっている。例えば、回転盤の半径48
0mm 、センサー部重量7kgとして1回転0.5rpsで測定す
るために門型フレーム9に水を入れることで総重量を1.
6 t としている。水を入れる前の総重量が0.9tであると
き、固有振動数はfm=(2 π) -1(K/M)1/2より0.75倍だけ
低くできる。2つめとして、水を入れることにより熱容
量を大きくし、温度変化による熱歪量の低減化を図る。
上記の例では熱容量を700 kal/℃だけ大きくできる。
【0013】複数のレーザ変位計13の高さは、昇降手段
7によって持ち上げられた被測定物Wの高さに対応させ
てあり、送りねじを利用した高さ調節手段14によって調
節することができるようになっている。このようにして
レーザ変位計を備えた腕12が高速で1回転する間に、レ
ーザ変位計13に対して微少な回転角度毎にトリガがかけ
られて外周からの距離測定が行われる。これらのトリガ
をパラレルインターフェイスで実行し、測定されたデー
タをパラレルインターフェイスを介して直接コンピュー
タのメモリに書き込むインターフェイスボードにより、
大量のデータは測定ポイントとのずれによる誤差なくし
て記録される。
【0014】レーザ変位計13自体は市販品であり、この
センサで三角測量方式による測定を行うことによって、
被測定物Wの表面までの距離を正確に測定することがで
きるものである。また複数のレーザ変位計13が異なる高
さに配置してあるので、被測定物Wの外形形状を複数の
異なる高さで測定することにより、被測定物Wの立体的
な形状測定ができる。
【0015】このようにして測定位置2における測定が
終了した後、被測定物Wの昇降手段7がパレット5に載
せた被測定物Wを降下させ、搬送手段がパレット5に載
せた被測定物Wを隣接する高さ測定位置3に送る。この
位置にも検査位置におけると同様の昇降手段15が設けら
れており、被測定物Wを上昇させて高さの測定を行う
が、この高さ測定は本発明においては必須のものではな
い。
【0016】その後、被測定物Wを載せたパレット5は
取り出し位置4まで搬送され、被測定物Wは自動的にパ
レット5から降ろされる。この取り出し位置4には2本
の腕16、16と受けレール17とを備えたパレット回収手段
18が設けられており、空のパレット5だけを想像線で示
すように上方にはね上げる。このとき、受けレール17は
傾斜した上下のレールからなるパレット返送手段19の端
面と一致するので、空のパレット5のみが重力により被
測定物の供給位置1まで返送されることとなる。
【0017】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の外形形
状測定方法及び装置によれば、ハニカム構造体などの筒
状の被測定物の立体的な外形形状を、インラインで正確
に測定することができる。なお、本発明は必ずしもハニ
カム構造体の測定のみならず、これと同様な他のワーク
の測定にも適用できることはいうまでもないことであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例の装置の全体を示す斜視図である。
【図2】実施例の装置の要部を示す斜視図である。
【符号の説明】
2 測定位置、5 パレット、11 回転盤、12 腕、13
レーザ変位計、19返送手段、20 形状測定手段、W
被測定物

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 異なる高さに複数のレーザ変位計を備え
    た腕を、この腕の回転軸に対して垂直な平面上に置かれ
    た被測定物の周りに回転させ、被測定物の立体的な外形
    形状を測定することを特徴とする外形形状測定方法。
  2. 【請求項2】 被測定物が置かれる平面の上方に設けら
    れた回転盤の一端から垂下され、前記平面に対して垂直
    な回転軸を中心として被測定物の周囲を回転する腕に、
    複数のレーザ変位計を高さを変えて取り付けたことを特
    徴とする外形形状測定装置。
JP4848194A 1994-03-18 1994-03-18 外形形状測定方法及び装置 Pending JPH07260440A (ja)

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