JPH07257905A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
- Publication number
- JPH07257905A JPH07257905A JP7001358A JP135895A JPH07257905A JP H07257905 A JPH07257905 A JP H07257905A JP 7001358 A JP7001358 A JP 7001358A JP 135895 A JP135895 A JP 135895A JP H07257905 A JPH07257905 A JP H07257905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- tube
- ozone generator
- gas
- ceramic tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 80
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 47
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims abstract description 13
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 20
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 4
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 claims 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 7
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910000851 Alloy steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 230000009972 noncorrosive effect Effects 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
- C01B2201/14—Concentric/tubular dischargers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/30—Dielectrics used in the electrical dischargers
- C01B2201/32—Constructional details of the dielectrics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/70—Cooling of the discharger; Means for making cooling unnecessary
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S422/00—Chemical apparatus and process disinfecting, deodorizing, preserving, or sterilizing
- Y10S422/907—Corona or glow discharge means
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
できるオゾン発生装置の提供。 【構成】 誘電体を形成する少くとも1本のセラミック
管(1)と、該セラミック管(1)に設けられ高圧電源
に接続された放電電極および対電極とを有し、少くとも
1本のセラミック管(1)が冷却手段で冷却され、かつ
放電電極の付近に酸素を含有するガスが誘導されるオゾ
ン発生装置において、少くとも1本のセラミック管
(1)が通常セラミックで作成された成形部(2)内
に、酸化物を含有するガラスまたはセラミックろうを用
いて接合されており、外套管(6)が少くとも1本のセ
ラミック管(1)を包囲し、かつセラミック製の成形部
(2)に対してシールされている。
Description
ものである。
らオゾンを発生させるオゾン発生器は以前より周知であ
る。従来の構成では2つの電極から成り、これらは通常
誘電体で分離されている。電極の少くとも1つと誘電体
との間にはガス間隙が設けられていて、該間隙に酸素含
有ガスが誘導されている。外部から電極に印加される交
流電圧は、誘電体と電極の少くとも1つとの間に放電が
生ずるに至るまで高められる。放電状態では酸素分子は
分離されて原子状態の酸素となる。原子状態の酸素と分
子状態の酸素が反応してオゾンが発生するのである。
は、熱に変換される電気エネルギのどの位が迅速かつ確
実に放電区域から引き出せるかによって決まる。ガス間
隙は通常、冷却媒体への熱の移行のための“速さを決め
る歩幅”に相当するので、従来のオゾン発生器では、と
りわけこの目的のためにガス間隙を小さくしている。オ
ゾン発生器の製造技術においては、従って、製造許容差
を無くすることによる制限が与えられている。つまり、
管式オゾン発生機(ベルスバッハ(Welsbach)型)の生
産にあたって、少くとも2本の管が全長にわたって同一
の間隔を保持されねばならない。最近では少くとも1つ
の電極が誘電体に取着され、これによって誘電体がガス
−および冷却手段の空間との間の、直接の境界手段とな
り得るオゾン発生器(ドイツ連邦共和国特許第3731
168号公報)が周知である。放電が行なわれるガス空
間は冷却媒体に包囲された誘電体に直接接近して存在し
ている。オゾン発生のために行われる放電は、表面放電
となる。ガスが誘導される管はこの場合セラミックから
成る誘電体として作用する。
は、好適な冷却を実現するためにはセラミック管は、冷
却システム(通常は水)とガス導入に関連して機械的に
結合せねばならない点にある。うまく実施されたシステ
ムとして、機械的なボルト止めおよび弾性パッキンを利
用すること技術上成功できるオゾン発生機を製造でき
る。しかしながらそうは言っても機械的なパッキンは、
製造上コスト高となる。セラミック管を機械的にネジ固
定するために、公差が十分小さなセラミック管を製造す
るには、製造技術またはセラミックの後加工に対する高
度な要求を満たさねばならないのである。特殊な適用分
野、例えば半導体製造のためのオゾン発生器の製造にお
いては、上記のほか、漏洩密度や微粉発生に対する、よ
り高い要求条件が付け加えられる。機械的なネジ固定お
よび弾性パッキン部材について上記要求を満たすには高
いコストをかけねばならないのである。
セラミック管は通常リング状間隙で包囲されており、該
間隙を高い壁内速度(有利な熱の移行のため)で一様な
冷却を達成するために冷却媒体が誘導される。
放電管を、管束式熱交換器の技法でまとめることは簡単
であるが、個々の管の間隙が機械的なボルト止めとパッ
キン部材によって決まることが常に上記のような妨げに
なる。個々の放電管に対してはこの必要とされる間隙に
よって、熱交換器における“共通容積(Kovolumen)”を
生じ、これが“大きすぎる”と冷却強度にマイナスに作
用する。“共通容積”の定義に関しては後述する。冷却
をよくするために、この場合のような境界を形成するリ
ング状間隙を有する構成において、一様に平均的な壁内
速度(熱移行の)を達成するためには冷却水量を極めて
高める必要がある。そのとき特有の冷却水消費量S(得
られたオゾンの生産量(g/h)に対して必要な冷却水
流量(m 3 /h))は高まり、技術的所要値は1.5な
いし5m3 /kgの範囲にある。また、オゾン生産量に
対して予め決められた要求冷却水量(m3 /kg)が貫
流するとしても、1つの共通する外套管内に多数の放電
管を配設した構成にあっては、壁内速度が低下し、従っ
て熱の移行はリング状間隙型の構成に比べて不利とな
る。
パクトな構成で、かつ良好な冷却を保証できるオゾン発
生装置を提供することをすることを基本的な課題として
いる。
め、本発明は少くとも1本の、誘電体を形成するセラミ
ック管と、高圧電源に接続してセラミック管に取着した
放電電極および対向電極とを有し、少くとも1本のセラ
ミック管が冷却手段で冷却され、かつ放電々極の付近に
酸素を含有するガスが誘導されているオゾン発生装置で
あって、少くとも1本のセラミック管が通常セラミック
で形成された成形部内に、酸化物を含有するガラスもし
くはセラミックろうを用いて接合されていること、およ
び外套管が少くとも1本のセラミック管を包囲し、かつ
セラミック製の成形部に対してシールされていることを
特徴とする。
ック管が通常セラミックで作られた成形部内に、酸化物
を含有するガラスもしくはセラミックろうを用いて接合
されていること、および外套管がセラミック管を包囲
し、かつセラミック製の成形部に対してシールされてい
ることによって、オゾン発生装置のコンパクトな構成が
達成されるのである。セラミック管がろう付け工程によ
って、ガス分配プレートとして機能する成形部内に、互
に密に固定されることで、冷却水量を極めて良好とす
る、共通利用が達成できることになるのであって、その
際のろう付け工程の温度は300°〜1500℃が使用
される。本発明の装置では高いパッキン密度が達成さ
れ、管束形式の構造の場合、その際対応する共通容積
は、機械的なボルト止めの場合の約250・10-6m3
に対して、50〜60・10-6m3 となる(第1表中の
図1の欄参照)。このような酸化物含有のろうを使用す
ることによって、10-9mbar l/sより小さい漏
洩率が得られ、これは例えば半導体技術分野でのオゾン
使用の要求を満たすものである。金属的な汚染物質にも
ろうの選択は影響するが、これは本発明による構成で解
決される。すなわち、半導体生産分野で使用されるオゾ
ン発生器では重金属を含む痕跡程度の汚染物質でも避け
ねばならないが、本発明におけるように重大な重金属を
使用しないろうの使用により、オゾン発生器から漏出す
るガス内の、かかる汚染物質は排除されるか、または数
ppmおよびこれ以下に低減する。第二のろう付けで第
一のろう付けの場合より高い熔融点を持つろうを使用す
ることで、装置の各構造部において、種々の要求による
ろう付け場所を複数のステップでろう付けできる。これ
によって、ろうで接合された構成がいくつか複合された
ものでも製造できるのである。
る。図2はオゾン発生装置の基本的な実施例を示すもの
で、同実施例では多数のセラミック管1が、各々セラミ
ック製の有孔プレート2に結合されており、その際結合
は一方では嵌合により、他方では酸素含有のガラス−セ
ラミックろうで、300と1500℃間の温度でのろう
付けによって行なわれている。
た、セラミック製の有孔プレート2の横断面を示してお
り、本実施例の説明の最後に示した表1は7本の管を有
する管状オゾン発生部材を備えたオゾン発生装置に関し
て、セラミックの機械的なネジ固定を行なった場合と、
ろうを用いて接合を行なった場合とにおける幾何学的な
冷却データについての一覧表を示している。ここで、 r1:誘電体の管1の外周半径 r2:機械的なネジ固定を行う場合に占有される管1の
外周半径 m:付加間隔であって、例えば、2つの孔の間に必要な
工具または作業者のための間隔 r3:共通の外套管のための最小の内径に対応する半径
r3 2),個々の管の断面積(πr1 2)の和ならびに管の
長さ1m当りの自由断面積と共通容積が与えられてお
り、その際自由断面積と共通容積は次のように定義され
る: 自由断面積=π(r3 2−nr1 2), (n:放電管の数) 共通容積=(自由断面積)×(管の長さ)
における“共通容積”は、機械的なネジ固定を行った場
合は、セラミックろうで接合した本発明による構成の場
合のほぼ5倍となることが知られる。
が、これを応用して異なった実施例を採用可能である。
すぐれた実施例が図3に示され、この実施例では多数の
セラミック管1が1つの共通のセラミック製の外套管6
に包囲されており、その際外套管6はろうによって有孔
プレート2に接合されている。好ましい実施例において
は通常誘電体を形成するセラミック管1の放電電極(図
示しない)は、らせん状でセラミック管1内に装入され
ていて、該らせん状の電極はセラミック管1の内壁に対
して押圧されている。この場合ガスが3で示したセラミ
ック管1の開口を経て、管内に沿って流入し、らせん状
の電極と対応する誘電体の間で静電放電が行なわれる。
外套管6内には水接続部材7が同様にろうで接合され、
この場合流入−および排出される水はセラミック管1の
回りを流れる。図3に見られるように有孔プレート2に
は、同様にセラミックから成る中空円筒4が継ぎ足さ
れ、かつ有孔プレート2と一体的に結合されている。こ
の場合、ろう付けによれば有孔プレート2とセラミック
製の中空円筒4の外側をもろうで接合することができ
る。中空円筒4はガス分配のための空間を形成し、この
内部にセラミック管1の開口部が連通している。中空円
筒4内にガス接続部材5がろう付けされている。一側に
は高電圧を供給するため、および場合によっては対向電
極のための電圧を供給するための電極接続部材8が、同
様な接合技術によって挿着されている。導電結合手段に
より、外部から印加された電圧は、ガス空間内で個々の
放電管に分配される。中空シリンダ4は同様にろう付け
され、あるいはO−リングを介してシールされた蓋で閉
塞される。
ての接合場所は酸化物含有のガラスまたはセラミックろ
うによって接合されている。自明のことながら、使用目
的により、さらにまた望ましい構造に実施例を変形する
ことは理に適っている。
ック管1がセラミック有孔プレート2に接合され、これ
らがガス空間を冷却手段の空間から分離しているに過ぎ
ない。この有孔プレート2はO−リングパッキンを周部
の溝に装着することで、冷却媒体の流入、排出部を有す
る外套管6の両端外周部をシールすることができる。自
明のことではあるが、外套管6を別の可能性、例えば接
着によって耐水,耐圧に閉塞することが考えられる。こ
のような実施態様では、このシール部に対する耐オゾン
性の要求は不必要である。ガス空間と冷却手段間のシー
ルが前述のろう付けによって与えられるからである。
配の機能を行う上記セラミック製の成形部の穿孔は、個
々の管内のガス流れを平均化する作用を有するものであ
り、例えば穿孔はノズル孔として形成することができ
る。
料で形成した場合は、導電性のある冷却媒体を使用する
ことによって外套管6を、個々の放電管のための対電極
として機能することができる。しかし個々の管1と外套
管6との間に、導電性の結合材を付加的に取着すること
もできる。
形成した場合は、該管を通じた電極作用および場合によ
っては個々の管に対する他の電気伝導性の結合材が必要
となる。
ミック製の有孔プレート2と、第二の、一側を閉鎖した
管部材で形成され、これらは相互にろう付けされてい
る。一側を閉鎖した管部材の材料としては、冷却手段の
空間のための外套管6の場合に対応して、伝導性があっ
たり、絶縁性のある耐オゾン性の材料が候補にあがる。
伝導性のある、例えば特殊鋼を使用するときは、放電に
必要な高電圧との接近があるので、絶縁間隔とクリープ
変形に対する高い要求が生ずるのである。従って装置の
コンパクト性が低下する。この欠点は絶縁性の材料の使
用によって解消されるが、とにかくエラストマータイプ
のO−リングのようなパッキン部材を減らすことがここ
でもコンパクト性につながる。
誘電体内に使用されている。自明のことながら、セラミ
ック管1の中心を貫通する内部高電圧電極を使用するこ
ともでき、この場合は中心にある放電電極と誘電体とし
てのセラミック管1との間のガス間隙内で放電が行なわ
れる。
側の放電電極に電圧が印加されるようにすることがで
き、この場合図3の構成における冷却手段の空間とガス
が誘導される空間との逆転が行なわれる。つまりガス空
間は外套管6とセラミック管1との間に、一方冷却手段
はセラミック管1を通って誘導されることになる。
成部品と接合場所の不燃性という利点を有する。これは
また腐蝕性がなく、高純度の酸素と結合した高合金鋼を
使用したり、オゾン発生の副産物(多湿性,窒素酸化物
との結合)が生じる場合でも、その優位性が損なわれる
ことはない。
と、b)ろうによるろう付けをした場合の、7本の管を
設けた管状オゾン発生部材を有するオゾン発生装置の冷
却に関する幾何学的データの一覧表。
レートとして形成したセラミック製の成形部の断面図
斜視図
視図
Claims (15)
- 【請求項1】 誘電体を形成する少くとも1本のセラミ
ック管と、該セラミック管に設けられ高圧電源に接続さ
れた放電電極および対電極とを有し、少くとも1本のセ
ラミック管が冷却手段で冷却され、かつ放電電極の付近
に酸素を含有するガスが誘導されるオゾン発生装置であ
って、 少くとも1本のセラミック管(1)が通常セラミックで
作成された成形部(2)内に、酸化物を含有するガラス
またはセラミックろうを用いて接合されていること、お
よび外套管(6)が少くとも1本のセラミック管(1)
を包囲し、かつセラミック製の成形部(2)に対してシ
ールされていることを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項2】 誘電体を形成する多数のセラミック管
(1)を成形部(2)に接合して、管束を形成したこと
を特徴とする請求項1のオゾン発生装置。装置。 - 【請求項3】 外套管(6)は同様にセラミックから成
り、かつ酸化物を含有するガラスまたはセラミックろう
によって成形部(2)と結合されていることを特徴とす
る請求項1もしくは2のオゾン発生装置。 - 【請求項4】 外套管はパッキン、例えばO−リング型
パッキンで成形部に対してシールされていることを特徴
とする請求項1もしくは2のいずれかのオゾン発生装
置。 - 【請求項5】 放電電極はセラミック管(1)の内部に
配設され、特にその内壁にらせん状に隣接しており、外
套管(6)とセラミック管(1)間の空間は冷却手段の
ための空間を形成しており、冷却手段の流入、排出のた
めの接続部材(7)が外套管(6)に設けられているこ
とを特徴とする請求項1〜4のいずれかのオゾン発生装
置。 - 【請求項6】 特にらせん状に形成した放電電極は、セ
ラミック管(1)の周壁面に隣接して配設され、外套管
(6)とセラミック管(1)間の空間はガス放電空間を
形成しており、ガスの流入、排出のための接続部材が外
套管(6)に設けられていることを特徴とする請求項1
〜4のいずれかのオゾン発生装置。 - 【請求項7】 成形部(2)は有孔プレートを有してい
ることを特徴とする請求項1〜5のいずれかのオゾン発
生装置。 - 【請求項8】 成形部(2,4)は中空空間を有し、該
空間とセラミック管(1)が連通していること、および
前記成形部(2,4)にはガスまたは冷却手段のための
接続部材を設けたことを特徴とする請求項1〜7のいず
れかのオゾン発生装置。 - 【請求項9】 成形部は封鎖状の中空円筒を継ぎ足した
有孔プレートで形成されていることを特徴とする請求項
8のオゾン発生装置。 - 【請求項10】 成形部(2,4)は少くとも1つの電
極接続部材(8)を有することを特徴とする請求項1〜
9のいずれかのオゾン発生装置。 - 【請求項11】 冷却手段接続部材(7)および/また
はガス接続部材(5)および/または電極接続部材
(8)は、ガラスまたはセラミックろうを用いて外套管
および/または成形部(2,4)に接合されていること
を特徴とする請求項1〜10のいずれかのオゾン発生装
置。 - 【請求項12】 ガラスまたはセラミックろうを用いる
ろう付けは300℃〜1500℃の温度で行われること
を特徴とする請求項1〜11のいずれかのオゾン発生装
置。 - 【請求項13】 ガラスまたはセラミックろうは2つの
熔融点を有するものが利用され、第2のろう付けの際の
ろうの溶融点は第1のろう付けの際のろうの溶融点より
も高いことを特徴とする請求項1〜12のいずれかのオ
ゾン発生装置。 - 【請求項14】 内部にセラミック管が嵌め込まれるセ
ラミック製の成形部は、ガス分散の機能を果たし、個々
のセラミック管内に対称的なガス流を生じさせる穿孔を
備えたことを特徴とする請求項1〜13のいずれかのオ
ゾン発生装置。 - 【請求項15】 穿孔はノズル孔形状に形成されている
ことを特徴とする請求項14のオゾン発生装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4400517:2 | 1994-01-07 | ||
DE4400517A DE4400517C2 (de) | 1994-01-07 | 1994-01-07 | Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07257905A true JPH07257905A (ja) | 1995-10-09 |
JP3803401B2 JP3803401B2 (ja) | 2006-08-02 |
Family
ID=6507685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00135895A Expired - Lifetime JP3803401B2 (ja) | 1994-01-07 | 1995-01-09 | オゾン発生装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5569437A (ja) |
EP (1) | EP0662447B1 (ja) |
JP (1) | JP3803401B2 (ja) |
DE (2) | DE4400517C2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5637279A (en) * | 1994-08-31 | 1997-06-10 | Applied Science & Technology, Inc. | Ozone and other reactive gas generator cell and system |
DE19614838A1 (de) * | 1996-04-16 | 1997-10-23 | Bwt Wassertechnik Gmbh | Ozonerzeuger |
DE19815703A1 (de) * | 1998-04-08 | 1999-10-14 | Heinrich Hoelter | Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoffhaltigen Gasen |
US6139809A (en) * | 1998-04-09 | 2000-10-31 | Rodden; Raymond M. | Injected flow ozone generator |
US7695690B2 (en) | 1998-11-05 | 2010-04-13 | Tessera, Inc. | Air treatment apparatus having multiple downstream electrodes |
US20030206837A1 (en) | 1998-11-05 | 2003-11-06 | Taylor Charles E. | Electro-kinetic air transporter and conditioner device with enhanced maintenance features and enhanced anti-microorganism capability |
US20050210902A1 (en) | 2004-02-18 | 2005-09-29 | Sharper Image Corporation | Electro-kinetic air transporter and/or conditioner devices with features for cleaning emitter electrodes |
US6176977B1 (en) | 1998-11-05 | 2001-01-23 | Sharper Image Corporation | Electro-kinetic air transporter-conditioner |
US6516738B2 (en) | 2000-12-01 | 2003-02-11 | Nutech O3 | Method and apparatus for delivering ozone to ballast tanks |
US7724492B2 (en) | 2003-09-05 | 2010-05-25 | Tessera, Inc. | Emitter electrode having a strip shape |
US7906080B1 (en) | 2003-09-05 | 2011-03-15 | Sharper Image Acquisition Llc | Air treatment apparatus having a liquid holder and a bipolar ionization device |
US7685027B2 (en) * | 2003-12-04 | 2010-03-23 | International Business Machines Corporation | Method and system for enterprise-wide migration |
US7767169B2 (en) | 2003-12-11 | 2010-08-03 | Sharper Image Acquisition Llc | Electro-kinetic air transporter-conditioner system and method to oxidize volatile organic compounds |
US20060016333A1 (en) | 2004-07-23 | 2006-01-26 | Sharper Image Corporation | Air conditioner device with removable driver electrodes |
US7833322B2 (en) | 2006-02-28 | 2010-11-16 | Sharper Image Acquisition Llc | Air treatment apparatus having a voltage control device responsive to current sensing |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57156306A (en) * | 1981-03-16 | 1982-09-27 | Toshiba Corp | Ozonizer |
DE3603947A1 (de) * | 1986-02-06 | 1987-08-13 | Stiehl Hans Henrich Dr | System zur dosierung von luftgetragenen ionen mit hoher genauigkeit und verbessertem wirkungsgrad zur eliminierung elektrostatischer flaechenladungen |
DE3623225A1 (de) * | 1986-07-10 | 1988-01-21 | Heinkel E M Kg | Hochfrequenzozonisator |
DE3731168C2 (de) * | 1987-09-14 | 1994-05-26 | Trailigaz | Ozonisator zur Erzeugung von Ozon durch kaltes Plasma für Wechselspannungsanregung im kHz-Bereich und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung |
US5019355A (en) * | 1987-09-28 | 1991-05-28 | University Of Alaska | Electrical device for conversion of molecular weights |
JPH01297126A (ja) * | 1988-05-26 | 1989-11-30 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 排ガス処理装置 |
JP2531772B2 (ja) * | 1989-01-09 | 1996-09-04 | 株式会社東芝 | オゾン発生装置 |
CH677356A5 (ja) * | 1989-03-07 | 1991-05-15 | Asea Brown Boveri | |
DE4035272A1 (de) * | 1990-11-02 | 1992-05-07 | Sorbios Gmbh | Vorrichtung zur erzeugung von ozon aus sauerstoff |
US5258165A (en) * | 1991-06-26 | 1993-11-02 | Osmonics, Inc. | Multi-tube ozone generator and method of making same |
JP2564715B2 (ja) * | 1991-08-08 | 1996-12-18 | 住友精密工業株式会社 | プレート型オゾン発生機 |
US5437843A (en) * | 1993-07-08 | 1995-08-01 | Kuan; Yu-Hung | Ozonizer |
-
1994
- 1994-01-07 DE DE4400517A patent/DE4400517C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-01-03 DE DE59504294T patent/DE59504294D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-01-03 EP EP95250001A patent/EP0662447B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-01-06 US US08/369,715 patent/US5569437A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-01-09 JP JP00135895A patent/JP3803401B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5569437A (en) | 1996-10-29 |
DE59504294D1 (de) | 1999-01-07 |
EP0662447B1 (de) | 1998-11-25 |
DE4400517C2 (de) | 1996-11-07 |
JP3803401B2 (ja) | 2006-08-02 |
DE4400517A1 (de) | 1995-07-13 |
EP0662447A1 (de) | 1995-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH07257905A (ja) | オゾン発生装置 | |
EP0893405A2 (en) | Ozone generating apparatus | |
US4656010A (en) | Device for producing ozone | |
US5009858A (en) | Device for generating ozone | |
US4725412A (en) | Ozone generator | |
US20060138957A1 (en) | Plasma generating electrode and plasma reactor | |
JP2006516831A5 (ja) | ||
US5145653A (en) | Device for generating ozone | |
EP1314692B1 (en) | Ozonizer | |
JP2827831B2 (ja) | 熱伝導度検出器 | |
CN214936068U (zh) | 臭氧发生器和放电管 | |
JPWO2019229865A1 (ja) | オゾン発生装置 | |
JP2003314979A (ja) | 板型ヒートパイプ、その実装構造および板型ヒートパイプの製造方法 | |
JPH07187609A (ja) | オゾン発生装置 | |
JPH11343105A (ja) | オゾン発生装置 | |
JPS6298785A (ja) | ガスレ−ザ管 | |
JPS6232701Y2 (ja) | ||
JPH11147702A (ja) | オゾナイザ | |
JP2538328B2 (ja) | セラミックオゾナイザ | |
CN208609212U (zh) | 一种红外线散热器 | |
CN116553483B (zh) | 一种智能控制流速的高浓度板式臭氧发生器 | |
JP3502797B2 (ja) | オゾン発生器 | |
JP2001220111A (ja) | 沿面放電オゾン発生器 | |
JPH0445266Y2 (ja) | ||
JP2023174234A (ja) | オゾナイザ及びオゾン発生システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050906 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20051205 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20051208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060302 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060411 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060508 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100512 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110512 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120512 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120512 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130512 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |