JPH07249747A - スタンダードセルを有する半導体装置 - Google Patents

スタンダードセルを有する半導体装置

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JPH07249747A
JPH07249747A JP3836494A JP3836494A JPH07249747A JP H07249747 A JPH07249747 A JP H07249747A JP 3836494 A JP3836494 A JP 3836494A JP 3836494 A JP3836494 A JP 3836494A JP H07249747 A JPH07249747 A JP H07249747A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 回路のレイアウトに有効なスタンダードセル
を有する半導体装置を提供する。 【構成】 Nチャネルトランジスタ及びPチャネルトラ
ンジスタがドレイン電極領域と接地電極領域との間でチ
ャネル幅方向に配置された基本セルを含むスタンダード
セルを有する半導体装置であって、上記チャネル幅方向
サイズは変化させずチャネル長方向に上記N,Pチャネ
ルトランジスタのレイアウトを伸長した第1基本セル1
と、上記チャネル幅方向サイズが一定である上記基本セ
ルを上記ドレイン電極領域もしくは接地電極領域を対象
部位としてチャネル幅方向へ自然数倍伸長させた第2基
本セル2とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マスタースライスのス
タンダードセルを有する半導体装置に関し、詳しくはス
タンダードセルを構成するベーシックセルの構造及び該
ベーシックセルを配置、配線した半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術とその課題】一般にスタンダードセルを構
成するベーシックセルは、図5の(a)に示す構造をな
し、かつドレイン電極(以下、VDDと記す)、接地電
極(以下、GNDと記す)のY方向の長さを統一し、セ
ルの回路構成に応じてX方向に伸長するレイアウト構成
をとる。尚、Y方向とは、ベーシックセルを構成するト
ランジスタのチャネル幅(トランジスタ幅ともいう)方
向、換言すると高さ方向をいい、X方向とはチャネル長
方向をいう。例えば、インバータにおいてトランジスタ
幅Wが2倍になったとき、図5の(b)に示すようにX
方向にセルを伸長しトランジスタを分割したレイアウト
となっている。又、従来にあっても電源ラインをY方向
へ伸長しY方向高さの異なるセルを作ったものもある
が、配線領域にデッド領域が発生し、かつセルのX方向
の接続において電源の接続が屈曲しセルの配置面積をロ
スするという問題が生じる。又、図5の(d)には、図
5及び図6に示す図の凡例を示している。
【0003】さらにインバータがバッファとなるとき、
図5の(c)に示すように、さらにX方向にセルを伸長
する。ここで図5の(b)の場合、ベーシックセルのV
DD、GNDの部分以外を配線領域と考えるとき、配線
使用層をメタル1、メタル2、メタル1とメタル2とを
接続するバイア(via)と想定すると、図6に示すよ
うにフィールド、ポリ層つまりトランジスタ領域のY方
向へのはみ出しも可能となるが、セル間の配線領域がは
み出し領域100より狭いとき、図7において配線領域
Aに示すようにベーシックセル間隔がはみ出し領域10
0の配置制限により決定される欠点がある。又、はみ出
し領域は、メタル1、コンタクト層が配線領域であるた
め使用できないので、トランジスタ幅Wの拡張のみ(フ
ィールド、ポリ)の、はみ出しが可能でかつ、トランジ
スタのソース、ドレイン領域にコンタクトがとれないた
め、大きいトランジスタ幅のとき、図6に示すようにフ
ィールド幅に対するコンタクトの配置により、トランジ
スタ特性が変動する可能性がある。
【0004】例えばプロセッサのレイアウトにおいて、
マイクロコードROM,PLA等を有する命令制御部と
データバス部との間に設けられ、命令制御信号をラッチ
しランダム回路(デコーダなど)を経てデータバス部の
制御信号を作成する回路であるインタフェース回路のレ
イアウトにおいて、スタンダードセル方式のレイアウト
を使用する場合、図8に示すように、インタフェース回
路は命令制御信号ラッチ回路101とランダム回路10
2、データバス部ドライブ用バッファ部103に分類さ
れ、以下の回路構成となる。ラッチ回路部101は、フ
リップフロップ回路(以下、FFと記す)104又はラ
ッチで構成され、インタフェース回路外よりクロックが
供給される。このラッチ回路部101は、クロック間ス
キューによる誤動作を避けるためできるだけ、マイクロ
コードROM,PLAに近く均等な位置、例えば同一の
列(ロー:ROW)への配置、あるいはクロック供給ラ
インを一にする2つの列への配置が好ましい。
【0005】ランダム回路部102は、ラッチ回路部1
01の出力を受け、デコード等を行い、デコード、デー
タバスへのピッチマッチのため配線負荷が高くなる領域
である。ドライブ用バッファ部103は、データバス部
をドライブするためにトランジスタ幅の大きいバッファ
が必要であり、従来のベーシックセルを使用する場合に
は、上述したX方向に伸長されたセル又は、はみ出しの
セルが使用される。又、信号伝搬を考えるとき、できる
だけバッファはデータバス側に配置されていることが望
ましい。
【0006】このインタフェース回路をスタンダードセ
ル方式でレイアウトするとき、ラッチ回路部101、ラ
ンダム回路部102、バッファ回路部103の各回路規
模によりレイアウト密度の低下を招く場合がある。例え
ば、図10に示すように、ラッチ回路部101が他のラ
ンダム回路部102、バッファ回路部103に比べ多い
とき、ラッチ回路部101によりX方向のサイズが限定
される。さらにバッファ回路部103が少ないときは、
バッファ回路部103は配線負荷が少ないため上記はみ
出しによる配線領域の無駄が発生し、さらに上記はみ出
しによる配線領域部はコンタクトがとれないためデータ
バス部のバッファとして性能が不十分となる可能性があ
る。尚、図10において、「B」はバッファ回路、
「R」はランダム回路、「FF」はラッチ回路、X方向
への配線をメタル1、Y方向への配線をメタル2、黒丸
は出力端子位置、太線はVDD,GNDをそれぞれ示
す。本発明はこのような問題点を解決するためになされ
たもので、回路のレイアウトに有効なスタンダードセル
を有する半導体装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、Nチャネルト
ランジスタ及びPチャネルトランジスタがドレイン電極
領域と接地電極領域との間でチャネル幅方向に配置され
た基本セルを含むスタンダードセルを有する半導体装置
であって、上記チャネル幅方向サイズは変化させずチャ
ネル長方向に上記N,Pチャネルトランジスタのレイア
ウトを伸長した第1基本セルと、上記チャネル幅方向サ
イズが一定である上記基本セルを上記ドレイン電極領域
もしくは接地電極領域を対象部位としてチャネル幅方向
へ自然数倍伸長させた第2基本セルとを備えたことを特
徴とする。
【0008】
【作用】このように構成することで、第1基本セル及び
第2基本セルを混在させてスタンダードセルをレイアウ
トした場合、第1基本セルと第2基本セルとのチャネル
幅方向の長さの差異に起因して半導体装置には空き領域
が発生する。この空き領域は例えば配線領域等に使用で
きる。このように第1基本セル及び第2基本セルは、回
路のレイアウトを有効に行うように作用する。尚、実施
例において第1基本セルは1倍セルに対応し、第2基本
セルは2以上の倍数のセルに対応する。
【0009】
【実施例】本発明のスタンダードセルを有する半導体装
置の一実施例におけるベーシックセル構成を図1に示
す。図1に示すベーシックセルは、図5の(a)に示す
従来のベーシックセルについてVDD部分を対象として
折り返した、チャネル幅方向に2倍の高さを有するレイ
アウト構成である。尚、以下このようなチャネル幅方向
に2倍の高さを有するベーシックセルを「2倍セル」と
呼び、図5の(a)に示すベーシックセルを「1倍セ
ル」と呼ぶ。図1において、符号「1」にて示す部分が
1倍セルであり、符号「2」にて示す部分が2倍セルで
ある。又、2倍の高さのセルにおいて、各VDD、GN
Dは、1倍セルとチャネル幅方向において同一位置、同
一幅を備え、図1に示す2倍セルの下側に位置するベー
シックセル、及び上側に位置するベーシックセルのいず
れかにおいて隣接、接続可能とする。
【0010】又、上記トランジスタ幅の大きいインバー
タ及びFF回路の例においても、例えば図2に示すFF
回路のようにチャネル幅方向に通常の2倍の高さとした
ベーシックセルとする。又、2倍セル内は、通常の1倍
セルと同様に全レイアウトレイヤの配置を可能とし、配
線領域としての制限を受けない。したがって、トランジ
スタ部のソース、ドレイン領域のコンタクト配置におい
て上記配線領域へのはみ出しによる従来セルの場合に比
べ、コンタクトの配置の自由度が高くなっている。さら
に、FF回路のスレーブ部のようにはみ出し以外の配線
も含めた回路領域の配置も可能となる。又、2倍セルは
通常の1倍セルに比べて2倍の高さとなることでチャネ
ル長方向において1/2程度のサイズ縮小が可能とな
る。
【0011】又、本実施例では、ベーシックセルがチャ
ネル幅方向に2倍の高さの例を示しているが、図8のイ
ンタフェース回路例に示すCONT5信号部のようにF
F回路が2段に接続される場合、4倍の高さにする構成
もできる。即ち、チャネル幅方向への段数Nは自然数で
ある。
【0012】上述した図10に示す従来のインタフェー
ス回路に対し本実施例におけるベーシックセルを使用し
た場合の等価の配置配線例を図3に示す。スタンダード
セルの配置において、例えばバッファB0ないしバッフ
ァB7や、FF回路FF0等の2倍セルを半導体装置の
全体における左右の端縁部に分散して配置し、これらの
2倍セルに挟まれた部分に1倍セルであるランダム回路
R0等を配置する。又、列0,列2において、1倍セル
は2倍セルの下側の1倍セル、及び上側の1倍セルのい
ずれかにおいて隣接接続される。したがって単一列あた
り、2倍セルと1倍セルとのチャネル幅方向の長さの違
いに起因して2倍セルと1倍セルとの間にはスタンダー
ドセルが配置されない空き領域10が発生し、この空き
領域10を配線領域として使用することができる。空き
領域10は、ランダム回路(R0等)間の接続に有効的
に活用され、空き領域10により発生したデッドエリア
を活用することができる。
【0013】又、図4には4倍高さサイズのセル(以
下、4倍セルと記す)を用いた配置例を示しており、2
倍セルを使用する場合と同様に4倍セル11を半導体装
置の左右の端縁部に配置し、4倍セルにて2倍セル12
や1倍セル13を挟むように配列する。このように配置
することで、チャネル幅方向に長さの違いにより図3の
半導体装置とどうように空き領域14が発生する。この
ような空き領域14に対しては配線領域としての使用だ
けでなくスタンダードセルの配置も行う。但し、配線領
域については、実施例ではベーシックセル高さを基準と
しているがセルが配置された列単位で左右の端において
VDD、GNDのシフト接続を行えば、配線領域を狭く
することも容易である。
【0014】尚、上述した実施例では、2倍セルや4倍
セルは半導体装置の左右の端縁部に配置したが、これに
限らず左右のいずれか一方の端縁部に2倍セルや4倍セ
ルを集めて配置してもよい。このように配置しても上記
空き領域10,14等を形成することができ、配線領域
やスタンダードセル、ベーシックセルの配置領域として
使用することができる。
【0015】このように2倍セルと、該2倍セルの下
側、又は上側のセルに隣接可能な1倍セルとによって構
成されるスタンダードセル型のレイアウトにおいて、ス
タンダードセルの配置上発生する空き領域を配線領域と
して使用することにより、チャネル幅方向のレイアウト
において半導体装置全体としての面積の縮小化を図るこ
とができる。
【0016】又、2倍セルを採用することにより、チャ
ネル長方向において約1/2のサイズ縮小が可能とな
り、上述したインタフェース回路例に示すようなラッチ
回路でチャネル長方向のサイズが限定されるような場
合、FF回路を2倍セルとすることでチャネル長方向を
縮小することができる。
【0017】図3に示す実施例においては図10の従来
例に比べX,Y方向に各1単位の面積縮小が可能であ
る。尚、1単位とは、1倍セルにおけるチャネル幅方向
の長さをいう。又、2倍セルは、セル内部を配線領域と
して使用しないため、コンタクトレイヤの使用が可能で
ありトランジスタのソース、ドレイン領域においてコン
タクトが配置可能であり、上述したトランジスタのはみ
出しに比べトランジスタ性能の低下を防ぐことができ
る。さらにチャネル長方向のサイズ縮小によりFF回路
を同一列に配置することができ、クロックスキュー等の
誤動作も防止することができる。
【0018】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、第
1基本セル及び第2基本セルを混在させてスタンダード
セルをレイアウトすることで、第1基本セルと第2基本
セルとのチャネル幅方向の長さの差異に起因して半導体
装置に空き領域を発生させることから、この空き領域を
例えば配線領域等に使用することができ回路のレイアウ
トを有効に行うことができる。
【0019】又、チャネル幅方向への伸長倍数を自然数
とすることで、ドレイン電極、接地電極のX方向におけ
る配線も直線となり電源配線も容易に行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の半導体装置に使用されるベーシック
セルの構成であってインバータを構成した場合を示す図
である。
【図2】 本発明の半導体装置に使用されるベーシック
セルの構成であってフリップフロップを構成した場合を
示す図である。
【図3】 図1及び図2に示すベーシックセルを使用し
たスタンダードセルにて半導体装置を構成した場合のレ
イアウトを示す図である。
【図4】 本発明の半導体装置に使用されるベーシック
セルの構成であってチャネル幅方向に4倍に伸長したベ
ーシックセルを使用し半導体装置を構成した場合のレイ
アウトを示す図である。
【図5】 従来のベーシックセルを使用してインバー
タ、バッファを構成した場合の構成を示す図である。
【図6】 従来のベーシックセルにおいて配線領域がト
ランジスタ領域からはみ出した場合を示す図である。
【図7】 図6に示すベーシックセルを使用した半導体
装置におけるレイアウトを示す図である。
【図8】 インタフェース回路の構成を示す回路図であ
る。
【図9】 図8に示すFF回路の構成を示す回路図であ
る。
【図10】 インタフェース回路のレイアウト構成を示
す回路図である。
【符号の説明】
10…空き領域、11…4倍セル、12…2倍セル、1
3…1倍セル、14…空き領域。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Nチャネルトランジスタ及びPチャネル
    トランジスタがドレイン電極領域と接地電極領域との間
    でチャネル幅方向に配置された基本セルを含むスタンダ
    ードセルを有する半導体装置であって、 上記チャネル幅方向サイズは変化させずチャネル長方向
    に上記N,Pチャネルトランジスタのレイアウトを伸長
    した第1基本セルと、 上記チャネル幅方向サイズが一定である上記基本セルを
    上記ドレイン電極領域もしくは接地電極領域を対象部位
    としてチャネル幅方向へ自然数倍伸長させた第2基本セ
    ルと、を備えたことを特徴とするスタンダードセルを有
    する半導体装置。
  2. 【請求項2】 上記第1基本セル及び上記第2基本セル
    にて構成されるスタンダードセルが列方向に配列され、
    かつ上記第2基本セルにあっては上記自然数倍の値が異
    なる複数の第2基本セルを有する半導体装置において、 同一列において、上記自然数倍値の大きい第2基本セル
    を有するスタンダードセルにて上記自然数倍値の小さい
    第2基本セルを有するスタンダードセルを挟み、もしく
    は上記自然数倍値の大きい第2基本セルを有するスタン
    ダードセルを片側に寄せて配置する、請求項1記載のス
    タンダードセルを有する半導体装置。
  3. 【請求項3】 上記第1基本セル及び上記第2基本セル
    にて構成されるスタンダードセルが列方向に配列され、
    かつ上記第2基本セルにあっては上記自然数倍の値が異
    なる複数の上記第2基本セルを有する半導体装置におい
    て、 同一列において、上記自然数倍値の小さい第2基本セル
    を有するスタンダードセルにて上記自然数倍値の大きい
    第2基本セルを有するスタンダードセルを挟み、もしく
    は上記自然数倍値の小さい第2基本セルを有するスタン
    ダードセルを片側に寄せて配置する、請求項1記載のス
    タンダードセルを有する半導体装置。
  4. 【請求項4】 上記自然数倍値の大きい基本セルを有す
    るスタンダードセルと上記自然数倍値の小さい基本セル
    を有するスタンダードセルとが請求項2又は3に記載す
    るように同一列に配置される場合、上記自然数倍値の差
    異に起因し生じる空間はスタンダードセルの配線領域と
    する、請求項2又は3記載のスタンダードセルを有する
    半導体装置。
  5. 【請求項5】 上記空間はさらにスタンダードセルの配
    置領域である、請求項4記載のスタンダードセルを有す
    る半導体装置。
  6. 【請求項6】 上記空間はスタンダードセルの配線領域
    に代えてスタンダードセルの配置領域とする、請求項4
    記載のスタンダードセルを有する半導体装置。
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