JPH07248453A - 観察画像の位置調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、観察画像を正確且つ迅速さらに再現
性良く観察画像の寸法測定に適した状態に補正すること
を目的とする。 【構成】光学系を介して取込まれた被検体像Ｓを撮像す
る撮像手段１５と、撮像手段１５により撮像された被検
体像Ｓと基準方向とを比較して前記被検体像Ｓの基準方
向に対する傾きを検出する傾き検出手段４と、傾き検出
手段４で検出した傾き量に基づいて被検体像を回転調節
する補正手段７とを具備したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体チップ等の寸法
を画像処理機能を使って測定する寸法測定装置に適用可
能な装置に係り、さらに詳しくは顕微鏡の光学系等を介
して形成された観察画像の表示状態を調節する観察画像
の位置調整装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】顕微鏡の光学系により形成された観察画
像をテレビモニタ上に表示し、操作者が指定する観察画
像上の測定区間にある画素数及びその時の観察倍率から
観察画像上の測定区間の寸法を測定する寸法測定装置が
ある。

【０００３】かかる寸法測定装置において、例えば半導
体チップの形成パターンのパターン幅等を測定する場
合、テレビモニタ上に表示されている被検体の測定区間
が画面に対して水平又は垂直な状態となるように、ステ
ージ又は治具を使用して半導体チップを操作する。その
後、テレビモニタ上に画面の水平方向または垂直方向と
平行にされた測定区間の両端座標が入力されると、その
座標入力された測定区間の両端間にある画素数が検出さ
れる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述したよ
うに画面に表示された観察画像から寸法測定を行う方式
では、測定区間と画面水平方向又は垂直方向との平行度
を操作者の主観的な判断に頼っているため、非常に再現
性が悪く、また画面に対し測定区間の平行度が低く、測
定精度を低下させる要因となっていた。

【０００５】走査型顕微鏡で形成した観察画像から寸法
測定を行う場合、画像の水平方向と垂直方向とを別々の
機構で走査するため、水平方向画素と垂直方向画素とで
は１画素当たりの長さが異なってくる可能性がある。ま
た、一方向に限って見た場合にも実際の長さと、画面上
での長さとがリニアな関係にならない場合がある。この
ような状況下で画面に対して斜めの区間を測定しようと
すると著しく精度が低下する可能性がある。

【０００６】本発明は、以上のような実情に鑑みてなさ
れたもので、テレビモニタ上に表示される観察画像を操
作者の判断に頼ることなく、正確且つ迅速、さらに再現
性良く観察画像の寸法測定に適した状態に補正すること
ができ、高精度の寸法測定を短時間で効率良く行うこと
のできる観察画像の位置調整装置を提供することを目的
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、次のような手段を講じた。請求項１に対
応する観察画像の位置調整装置は、所定の光学系にて形
成された被検体像を入力する画像入力手段と、前記画像
入力手段により取込まれた被検体像を表示する画像表示
手段と、前記画像表示手段により表示された被検体像と
基準方向とを比較して前記被検体像の基準方向に対する
傾きを検出する傾き検出手段と、前記傾き検出手段で検
出した被検体像の傾きに基づいて前記被検体像の傾きを
補正する補正手段とを具備する構成とした。

【０００８】請求項２に対応する観察画像の位置調整装
置は、光学系を介して撮像した被検体像を画面上に表示
し、前記画面上で指示された前記被検体像上の測定区間
の寸法を、当該測定区間の両端間に存在する画素数に基
づいて算出する寸法測定装置に備えられ、前記画面の画
素配列方向と平行な基準方向に対する前記被検体像の傾
きを検出する傾き検出手段と、前記傾き検出手段で検出
された被検体像の傾きに応じて前記被検体像の傾きを補
正する補正手段とを具備する構成とした。

【０００９】請求項３に対応する観察画像の位置調整装
置は、上記構成のものにおいて、前記補正手段を、前記
被検体を光ビームで２次元走査する走査機構と、前記走
査機構を前記被検体像の傾き応じて制御する走査制御手
段とから構成した。

【００１０】請求項４に対応する観察画像の位置調整装
置は、上記構成のものにおいて、前記補正手段を、前記
被検体側または前記光学系側のいずれか一方を光軸を中
心に回転させる回転機構と、前記回転機構を前記被検体
像の傾き応じて制御する回転制御手段とから構成した。

【００１１】

【作用】本発明は、以上の手段を講じたことにより、次
のような作用を奏する。請求項１に対応する観察画像の
位置調整装置では、所定の光学系にて形成された被検体
像が画像入力手段より取込まれ画像表示手段によって表
示される。一方、傾き検出手段により被検体像と基準方
向とが比較されて被検体像の基準方向に対する傾きが検
出され、補正手段がその検出した傾きに基づいて被検体
像の傾きを補正する。従って、電気的に検出された被検
体像の傾きに応じて自動的に被検体像の傾きが補正され
るので、操作者の主観的な判断に頼ることなく、被検体
像上の測定区間を表示画面に対して水平または垂直な状
態に位置調整できる。

【００１２】請求項２に対応する観察画像の位置調整装
置では、光学系を介して撮像された被検体像が画面上に
表示されると共に、画面上において任意に指示された被
検体像上の測定区間の寸法が当該測定区間の両端間に存
在する画素数に基づいて算出される。一方、画面上に表
示された被検体像の測定区間と、同画面の画素配列方向
と平行な基準方向とが傾き検出手段で比較されて基準方
向に対する被検体像の傾きが検出される。補正手段では
傾き検出手段で検出された被検体像の傾きに応じて被検
体像の傾きを補正する。

【００１３】請求項３に対応する観察画像の位置調整装
置では、上記したようにして被検体の傾きが検出される
と、走査制御手段により被検体像の傾き応じて走査機構
が制御される。従って、走査機構による被検体の操作方
向を被検体像の傾き応じて補正できるものとなる。

【００１４】請求項４に対応する観察画像の位置調整装
置では、上記したようにして被検体の傾きが検出される
と、回転制御手段により被検体像の傾き応じて回転機構
が制御される。従って、回転機構による被検体像の回転
量が被検体像の傾き応じて補正できるものとなる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１には、本発明の第１実施例に係る観察画像の位置調整
装置の全体構成が示されている。なお、本実施例は、被
検体上の特定区間の測定を顕微鏡による観察画像を用い
て行う場合の画像位置調整装置に関する例である。例え
ば、被検体は図４に示すように材質の差により明部１０
ａと斜線で示す暗部１０ｂとを有し、その境界線が直線
部となる半導体チップのような試料を測定対象とする。

【００１６】本実施例の位置調整装置は、顕微鏡１の観
察光学系で所定倍率に拡大した被検体Ｓの像を顕微鏡内
に備えたカメラの撮像素子（不図示）上に結像し、該撮
像素子から出力される被検体像の画像信号を画像処理装
置２へ入力する。画像処理装置２は、画像信号を可視化
してテレビモニタ３に被検体像を表示すると共に、ＣＰ
Ｕ４からの要求に応じて被検体像の画像データをＣＰＵ
４へ送出するように動作する。ＣＰＵ４は、キーボード
５及びマウス６から各種の指示入力が与えられると共
に、図３に示すフローチャートに基づいて動作し回転機
構７に対して回転指示を与える。回転機構７は顕微鏡１
に備えた上記カメラを光軸を中心として回転可能に保持
することにより補正手段を構成している。

【００１７】図２は回転機構７の具体的な構成を示して
いる。この回転機構７は筐体構造をなすユニット本体１
１を有している。ユニット本体１１の天井部には所定位
置に円形の開口部が形成されている。その天井部の開口
部に回転筒１２が挿入され、開口部の内壁にベアリング
１３を介して回転自在に支持されている。回転筒１２の
上端部外周に形成された捩子部に、カメラ１４の先端部
開口の内周面が螺合されている。なお、カメラ１４には
撮像素子１５が内蔵されている。ユニット本体１１内に
挿入された回転筒１２の先端部外周にギヤ１６が嵌合し
ている。

【００１８】一方、ユニット本体１１の底部には、顕微
鏡の観察光学系を通過してきた被検体像を、カメラ１４
内の撮像素子１５へ導くための像光路１７が形成されて
おり、その像光路１７上に被検体像を撮像素子１５上に
結像させるリレーレンズ１８が配置されている。また、
ユニット本体１１の底部には、ＣＰＵ４から回転制御さ
れるモータ１９が固定されている。モータ１９の回転軸
には、回転筒１２の先端部に固定したギヤ１６と噛合し
ているギヤ２０が固定されている。

【００１９】次に、以上のように構成された本実施例の
動作について説明する。被検体Ｓとして図４に示す半導
体チップＳ_T が顕微鏡１のステージ上に載置されている
とすれば、半導体チップＳ_T の所定領域が顕微鏡１の観
察光学系で所定倍率まで拡大された後、カメラユニット
本体１１のリレーレンズ１８によりカメラ１４の撮像素
子１５上に結像される。撮像素子１５で撮像された半導
体チップＳ_T の像は画像処理装置２に入力される。そし
て、画像処理装置２で所定の処理が施された後、テレビ
モニタ３に表示される。

【００２０】ここで、被検体Ｓの位置決め治具等を使わ
ずに観察画像をテレビモニタ３に表示させた場合、例え
ば図５に示すように観察画像Ｍはテレビモニタ３の画面
に対し傾いてしまう可能性が高い。なお、図５では明部
１０ａと暗部１０ｂとの境界線（直線部）Ｂがテレビモ
ニタ３の画面水平方向（以下、「Ｘ方向」と呼ぶ）に対
して傾いた状態が示されている。また、以降の説明では
テレビモニタ３の画面垂直方向をＹ方向と呼ぶ。

【００２１】図５に示すようにＸ方向に対して傾いた観
察画像Ｍの特定区間Ｄを測定する場合について図３のフ
ローチャートを参照して説明する。先ず、ステップＳ１
において、検出する境界線ＢをＸ方向またはＹ方向のい
ずれの方向と平行とするかをキーボード５からＣＰＵ４
に入力する。このような入力を受けたＣＰＵ４は観察画
像Ｍの中央にＸ方向と平行な境界検出位置指標線Ｌを表
示させ、この境界検出位置指標線Ｌをマウス６からの指
示により画面上を上下動させる。ステップＳ２におい
て、操作者は検出したい境界線Ｂの近傍に境界検出位置
指標線Ｌを移動させて検出位置を指示する。

【００２２】次に、ステップＳ３において、ＣＰＵ４が
画像処理装置７より境界検出位置指標線Ｌを含み、且つ
Ｘ方向に帯状でＹ方向に適当な幅を持った画像データを
読み取る。このとき読み取る領域のＹ方向の幅は、境界
線Ｂの傾き具合、境界の幅、画面の画素数等により最適
幅が異なるので、予め設定しておく必要がある。境界線
Ｂをできる限り長く含み、且つ他の境界を含まないよう
な幅に設定することにより精度の高い境界検出が可能と
なる。

【００２３】次に、ステップＳ４の境界線検出処理にお
いて、境界線Ｂを近似する一次式を求める。詳細手順
は、ステップＳ４１〜Ｓ４４に示す。すなわち、ステッ
プＳ４１のノイズ除去処理において、メディアンフィル
ターによるフィルタリング処理を施し、境界線検出に悪
影響を及ぼすスパイク状のノイズを除去する。次に、ス
テップＳ４２において、ラプラシアンフィルターを用い
たエッジ強調処理により、境界線部を高輝度、非境界部
を低輝度にするようなエッジ強調を施す。この処理によ
り境界線Ｂ上の画像データが高輝度に変化する。次に、
ステップＳ４３における２値化処理により、予め定めた
閾値を越えた画素データを“１”、それ以外の画素デー
タを“０”に変換する。この結果、輝度の高い境界線Ｂ
は“１”となると共にその他の部分が“０”となるの
で、ＣＰＵ４で境界線Ｂを認識可能となる。そして、最
後のステップＳ４４において、画素データ“１”となっ
ている部分を近似する一次式を最小２乗法を用いて計算
する。以上の処理により境界線Ｂの検出が完了する。

【００２４】次に、ステップＳ５の処理において、ステ
ップＳ４で求めた一次式の傾きと基準値とを比較する。
ここで、基準値はその装置に要求される精度，顕微鏡の
解像力，画面の画素数等により異なるので、それらの条
件に応じて予め最適な値に設定しておく必要がある。

【００２５】ステップＳ５において、一次式の傾きが基
準値以内であればＸ方向と平行であると判断して処理を
完了する。また、一次式の傾きが基準値よりも大きけれ
ば非平行状態と判断してステップＳ６の処理へ移行す
る。ステップＳ６において、境界線ＢがＸ方向と平行に
なるように、ステップＳ４で求めた傾きに応じた回転指
示を回転機構７のモータ１９へ送出する。

【００２６】回転機構７ではＣＰＵ４から与えられる回
転指示に基づいてモータ１９が回転する。モータ１９の
回転はギヤ２０及びギヤ１６を介して回転筒１２に回転
力として与えられる。モータ１９の回転力を受けた回転
筒１２はベアリング１３を介して回転し、回転筒１２に
固定されたカメラ１４が回転筒１２と共に回転する。そ
の結果、カメラ１４の撮像素子１５が撮像素子上に結像
されている像に対して相対的に回転し、テレビモニタ３
上に表示されている観察画像Ｍが所定角度回転する。そ
して、境界線ＢがＸ方向と平行になったところで回転が
停止される。

【００２７】以上のような処理の結果、境界線ＢがＸ方
向と平行になったことが確認されたならば、次に特定区
間Ｄの寸法測定処理を実施する。すなわち、Ｘ方向と平
行にされた区間Ｄの両端を指示することにより、その測
定区間にある画素数を検出し、検出した画素数と現在の
顕微鏡の観察倍率とから実際の寸法を算出する。

【００２８】この様に本実施例によれば、テレビモニタ
３上に表示された観察画像Ｍの境界線Ｂの傾きを検出
し、その検出した傾きに応じてカメニユニット１１のモ
ータ１９を回転させるようにしたので、操作者の判断に
頼ることなく、正確且つ迅速に、さらに再現性良く観察
画像をその寸法測定に適した状態に補正することがで
き、高精度の寸法測定を短時間で効率良く行うことがで
きる。

【００２９】なお、上記第１実施例では、観察画像Ｍの
境界線Ｂを回転させるためにカメラ１４を回転させた
が、被検体Ｓを光軸を中心に回転させても第１実施例と
同様の効果を得ることができる。

【００３０】図６には、被検体Ｓを光軸を中心に回転さ
せる回転機構を回転ステージを用いて実現した例が示さ
れいる。この回転ステージは、回転テーブルからなるメ
インステージ２１と、メインステージ２１の下端部を支
持する中間ステージ２２とから構成されている。メイン
ステージ２１の回転軸外周にはギヤ２３が嵌合されてお
り、そのギヤ２３に対して回転ステージモータ２４の回
転軸に固定されたギヤ２５が噛合している。中間ステー
ジ２２はメインステージ２１の下端部外周をベアリング
２６を介して軸支している。中間ステージ２２にはＹラ
ック２７が水平方向に延設されており、そのＹラック２
７にＹ軸モータ２８の回転軸に固定されたギヤ２９が噛
合している。また、図６には記載されていないが、中間
ステージ２２はＹラックと直交する水平方向にＸラック
が延設されており、そのＸラックにＸ軸モータ３０の回
転軸に固定されたギヤが噛合している。

【００３１】回転ステージモータ２４，Ｙ軸モータ２８
及びＸ軸モータ３０は、図１に示すＣＰＵ４から独立に
駆動制御する。ここで、この様な回転ステージを用いる
場合、回転ステージの回転中心と観察画像の中心が必ず
一致するとは限らない。両者の中心が一致していなけれ
ば回転ステージを回転させると、目的の境界線Ｂが視野
から消えてしまう。

【００３２】そこで、回転ステージの回転時にも観察画
像の中心を常に視野中心に維持しておくため、Ｘ方向と
Ｙ方向に回転ステージ自体を移動させる。すなわち、観
察画像の中心と回転ステージの回転中心との間の距離を
ＣＰＵ４に記憶させておき、ステップＳ４で求められる
境界線Ｂの傾きに応じた回転ステージの回転量と上記中
心間距離とからＸ方向及びＹ方向のステージ移動量を計
算する。

【００３３】以上のように構成された回転ステージを回
転機構７として用いれば、ステップＳ４で求めた境界線
Ｂの傾きに応じた回転量が求められたならば、その回転
量に応じた回転ステージモータ２４の回転量をＣＰＵ４
から回転ステージモータ２４に指示すると共に、回転ス
テージモータ２４の回転量と上記中心間距離に応じてＣ
ＰＵ４で求めたＹ軸モータ２８及びＸ軸モータ３０の回
転量をＣＰＵ４からＹ軸モータ２８及びＸ軸モータ３０
へそれぞれ支持する。

【００３４】その結果、回転ステージモータ２４の回転
によりメインステージ２１が回転して境界線ＢがＸ方向
またはＹ方向と一致せしめられると共に、中間ステー２
２がＹ軸モータ２８及びＸ軸モータ３０からそれぞれ推
進力を受けてＸ方向及びＹ方向へそれぞれ所定量移動し
境界線Ｂが常に視野中心に維持されるものとなる。

【００３５】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。図７は、第２実施例に係る画像位置調整装置の全体
構成を示している。なお、前述した第１実施例と同一部
分には同一符号を付している。

【００３６】本実施例は、反射型の走査型光学顕微鏡に
よって形成された被検体像上の任意の区間を寸法測定す
る装置に、本発明に係る画像位置調整装置を提供した例
である。

【００３７】走査型光学顕微鏡の構成について説明す
る。この走査型光学顕微鏡は、レーザ光源３１からのレ
ーザビームをビームスプリッタ３２を介して、対物レン
ズ３９と共役な位置に設けられたガルバノメータミラー
３３に入射する。このガルバノメータミラー３３は、レ
ーザビームをＹ方向に走査する光偏向器として作用させ
ている。ガルバノメータミラー３３で反射したレーザビ
ームは瞳伝送レンズ３４，３５を介して、対物レンズ３
９と共役な位置に設けられたもう一つのガルバノメータ
ミラー３６に入射する。このガルバノメータミラー３６
はレーザビームをＸ方向に走査する光偏向器として作用
する。そして、ガルバノメータミラー３６で反射したレ
ーザビームを瞳投影レンズ３７，結像レンズ３８を通過
させて対物レンズ３９の瞳に入射し、被検体Ｓ上に回折
によって制限されるレーザスポットを形成している。

【００３８】一方、被検体Ｓ上で反射されたレーザビー
ム（以下、「検出ビーム」と呼ぶ）は、再び元の伝播経
路を通ってビームスプリッタ３２まで戻る。そして、ビ
ームスプリッタ３２で反射された検出ビームが集光レン
ズ４０で点状に集光され、この位置に配置されたピンホ
ール４１を通過した検出ビームがピンホール４１の後方
に配置された光検出器４２で検出される。光検出器４２
で検出された検出ビームは画像信号に変換されて、前述
した第１実施例と同様に画像処理装置２に入力される。

【００３９】また、ＣＰＵ４は第１実施例と同様にして
求められる境界線Ｂの傾きに応じてＹガルバノドライバ
４３及びＸガルバノドライバ４４に、ガルバノメータミ
ラー３３，３６を駆動するための駆動電圧波形を指示す
る。なお、ガルバノメータミラー３３，３６は図面上で
は同じ方向にレーザビームを偏向するかの如く図示され
ているが、実際にはＸ方向及びこれと直交するＹ方向に
走査している。

【００４０】次に、以上のように構成された本実施例の
動作について説明する。先ず、ＣＰＵ４からＸガルバノ
ドライバ４４に図８（ｂ）に示す正弦波形状の駆動電圧
を指示すると共に、Ｙガルバノドライバ４３に図８
（ｃ）に示す階段状にステップアップする駆動電圧を指
示する。Ｘガルバノドライバ４４に正弦波状の駆動電圧
を印加してガルバノメータミラー３６でＸ走査し、正弦
波状の駆動電圧の直線に近似可能な区間でサンプリング
を行う。また、Ｙガルバノドライバ４３に階段波形の駆
動電圧を印加してガルバノメータミラー３３でＹ走査
し、駆動電圧が一定の間にサンプリングを行う。

【００４１】このとき、図８（ａ）に示すような走査軌
跡４５となるレーザスポットにて被検体Ｓが走査される
と、Ｘ，Ｙ走査方向とテレビモニタ３の画面水平方向及
び画面垂直方向とが一致している一般的な装置では、テ
レビモニタ３上に表示される被検体像Ｓの観察像が、被
検体Ｓの走査方向に対する傾きだけ傾いた状態で表示さ
れるものとなる。

【００４２】本実施例では、位置調整前のテレビモニタ
３上における被検体Ｓの観察画像の傾きを図３に示すフ
ローチャートに従って検出する。その検出した観察画像
の傾きに応じた駆動電圧をＣＰＵ４からＹガルバノドラ
イバ４３，Ｘガルバノドライバ４４へ指示する。その時
の駆動電圧の波形を図９（ｂ）（ｃ）に示している。

【００４３】図９（ｂ）に示すＸガルバノドライバ４４
の駆動電圧は、一定の傾きを持ってスライドする正弦波
からなり、その正弦波の傾きは上記検出した観察画像の
傾きに対応している。また、図９（ｃ）に示すＹガルバ
ノドライバ４３の駆動電圧は、一定の傾きでステップア
ップする鋸歯状の波形となる駆動電圧からなり、その全
体の傾きは同様に観察画像の傾きに対応している。

【００４４】以上のような波形の駆動電圧を、Ｘガルバ
ノドライバ４４及びＹガルバノドライバ４３へ同時に与
えることにより、図９（ａ）に示すようにレーザスポッ
トがレンズ視野に対して斜めに走査されるものとなるの
で、レーザスポットのレンズ視野に対する角度を上記観
察画像の傾きに対応させることにより、被検体Ｓの境界
線Ｂに対して垂直に走査可能となる。

【００４５】以上のようにレーザスポットの走査方向を
変えることにより、テレビモニタ３上に表示される観察
画像の位置調整がなされるものとなる。以上のように本
実施例によれば、走査型顕微鏡におけるＸガルバノドラ
イバ４４及びＹガルバノドライバ４３へ与える駆動電圧
を、検出した観察画像の傾きに応じて変化させるように
したので、被検体Ｓの注目する境界線Ｂをレーザスポッ
トで垂直に走査することができ、その結果、観察画像の
境界線Ｂをテレビモニタ３のＸ方向またはＹ方向と水平
または垂直に表示させることができる。本発明は上記実
施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲内で種々変形実施可能である。

【００４６】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、テ
レビモニタ上に表示される観察画像を操作者の判断に頼
ることなく、正確且つ迅速、さらに再現性良く観察画像
の寸法測定に適した状態に補正することができ、高精度
の寸法測定を短時間で効率良く行うことのできる観察画
像の位置調整装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る観察画像の位置調整
装置の構成図である。

【図２】第１実施例の位置調整装置に備えられた回転機
構の構成図である。

【図３】第１実施例の位置調整装置の動作を示すフロー
チャートである。

【図４】被検体となる半導体チップの斜視図である。

【図５】テレビモニタ上に表示された観察画像および境
界検出位置指標線Ｌを示す図である。

【図６】第１実施例の位置調整装置に備えられる回転機
構の変形例を示す図である。

【図７】本発明の第２実施例に係る観察画像の位置調整
装置の構成図である。

【図８】第２実施例に係る位置調整装置のガルバノドラ
イバの駆動電圧波形及び走査軌跡を示す図である。

【図９】第２実施例に係る位置調整装置のガルバノドラ
イバの位置調整のための駆動電圧波形及び走査軌跡を示
す図である。

【符号の説明】

１…顕微鏡、２…画像処理装置、３…テレビモニタ、４
…ＣＰＵ、５…キーボード、６…マウス、７…回転機
構、１４…カメラ、１５…撮像素子、１１…カメニユニ
ット本体、１２…回転筒、１９…モータ、３１…レーザ
光源、３２…ビームスプリッタ、３３，３６…ガルバノ
メータミラー、３４，３５…瞳伝送レンズ、３９…対物
レンズ、４２…光検出器、４３…Ｙガルバノドライバ、
４４…Ｘガルバノドライバ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の光学系にて形成された被検体像を
   入力する画像入力手段と、前記画像入力手段により取込
   まれた被検体像を表示する画像表示手段と、前記画像表
   示手段により表示された被検体像と基準方向とを比較し
   て前記被検体像の基準方向に対する傾きを検出する傾き
   検出手段と、前記傾き検出手段で検出した被検体像の傾
   きに基づいて前記被検体像の傾きを補正する補正手段と
   を具備したことを特徴とする観察画像の位置調整装置。
2. 【請求項２】 光学系を介して撮像した被検体像を画面
   上に表示し、前記画面上で指示された前記被検体像上の
   測定区間の寸法を、当該測定区間の両端間に存在する画
   素数に基づいて算出する寸法測定装置に備えられ、 前記画面の画素配列方向と平行な基準方向に対する前記
   被検体像の傾きを検出する傾き検出手段と、 前記傾き検出手段で検出された被検体像の傾きに応じて
   前記被検体像の傾きを補正する補正手段とを具備したこ
   とを特徴とする観察画像の位置調整装置。
3. 【請求項３】 前記補正手段は、前記被検体を光ビーム
   で２次元走査する走査機構と、前記走査機構を前記被検
   体像の傾き応じて制御する走査制御手段とからなること
   を特徴とする請求項２記載の観察画像の位置調整装置。
4. 【請求項４】 前記補正手段は、前記被検体側または前
   記光学系側のいずれか一方を光軸を中心に回転させる回
   転機構と、前記回転機構を前記被検体像の傾き応じて制
   御する回転制御手段とからなることを特徴とする請求項
   ２記載の観察画像の位置調整装置。