JPH07239366A - Tab用オートハンドラ - Google Patents
Tab用オートハンドラInfo
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- JPH07239366A JPH07239366A JP6054581A JP5458194A JPH07239366A JP H07239366 A JPH07239366 A JP H07239366A JP 6054581 A JP6054581 A JP 6054581A JP 5458194 A JP5458194 A JP 5458194A JP H07239366 A JPH07239366 A JP H07239366A
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- stepped
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- Wire Bonding (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
換が容易なTAB用オートハンドラを提供する。 【構成】 スプロケット7A・7Bの両翼に回転中心を
固定するガイド5A・5Bを配置し、ガイド5A・5B
の両翼に回転中心を固定するプーリ4A・4Bを配置
し、プーリ4A・4Bの両翼にスプロケット3A・3B
を配置する。XYステージ16はTAB1をXY方向に
同時補正開始し、プッシャ9・10は同時に昇降開始す
る。プッシャ9・10が降下し、パンチユニット11が
動作中にカメラ15A・15Bで測定またはパンチ穴の
前後のTABの画像を検出する。スプロケット3A・3
B、プーリ4A・4B、ガイド5A・5Bは回転軸上で
TAB1の案内幅を変える。
Description
ドラについてのものである。TAB用オートハンドラは
ICテスタと接続してTABの電気的特性を測定し、分
類する。TABには、例えばLCD(液晶ディスプレ
イ)の駆動用ICがある。
かれたTABを自動的に測定位置まで逐次搬送し、IC
テスタのテスト結果にもとづいて選別する装置である。
なお、リールに巻かれたTAB用ローラのテンション機
構は実願平2- 41356号明細書に記載されいる。また、T
ABと電極の精密位置決め機構は、実開昭64-34576号公
報、実開平1-163335号公報、実願平2-106251号明細書な
どに記載されている。
ドラの構成を図8により説明する。図8の1はTAB、
2Aは供給リール、2Bは収容リール、4Cと4Dはプ
ーリ、5Cと5Dはテンションプーリ、6Cと6Dはガ
イド、7Aと7Bはスプロケット、8はテープクラン
プ、9と10はプッシャである。
B1を収容リール2Bは巻き取る。プッシャ9の両翼に
はスプロケット7A・7Bが配置され、スプロケット7
Aとスプロケット7Bは同期回転してTAB1を走行さ
せる。プッシャ9の下面にはテープクランプ8が配置さ
れ、TAB1はプッシャ9とテープクランプ8間を走行
する。プッシャ10はプッシャ9を昇降させ、テープク
ランプ8とプッシャ9で保持されたTAB1をプッシャ
10は降下させ、前記TAB1をプローブカード12に
接触させて試験する。
対向する形で装置に保持される。プローブカード12と
アタッチメントユニット13は機械的または電気的に分
離可能接続される。ICテスタのテストヘッド14は上
部にアタッチメントユニット13を配置する。プローブ
カード12とアタッチメントユニット13間にはTAB
1を撮像する画像認識用のカメラ17が配置される。
7Bが同期して回転することによりTABのピッチ分送
られ、供給リール2Aからテンションプーリ5C、スプ
ロケット7A・7B、テンションプーリ5D、収容リー
ル2Bの順に移動する。
プーリ5C間に配置され、プーリ4Dは収容リール2B
とテンションプーリ5D間に配置される。プーリ4C・
4DDは回転中心が固定され、円周面が転動してTAB
1を案内する。テンションプーリ5C・5Dは回転中心
が水平方向に自在に移動する。ガイド6Cはテンション
プーリ5Cとスプロケット7A間に配置され、ガイド6
Dはテンションプーリ5Dとスプロケット7B間に配置
される。ガイド6C・6DはTAB1を介在させ、スプ
ロケット7A・7Bと対向する形で配置されており、ガ
イド6C・6Dの上面は円弧状に形成され、TAB1を
案内する。
するためTAB1にある程度の張力をかける。すなわ
ち、テンションプーリ5Cは図8の左側に移動するする
力が付与されている。同様に、テンションプーリ5Dは
図8の右側に移動する力が付与されている。
ション機構を図9により説明する。なお、図8のTAB
用オートハンドラは左右対称になっており、前述のテン
ション機構も構成は左右対称となっている。したがっ
て、図9ではテンションプーリ5Cの部分拡大図を例に
とって説明する。
されるTAB1の移動方向にプーリ52Cを配置し、プ
ーリ案内51Cで移動するテンションプーリ5Cの中心
軸にロープ53Cの一端を連結する。ロープ53Cはプ
ーリ52Cに掛けられ、ロープ53Cの他端に重り54
Cを吊るしている。重り54Cにかかる重力をロープ5
3Cとプーリ52Cを仲介してテンションプーリ5Cに
伝えることにより、テンションプーリ5Cはプーリ案内
51Cに沿い、左方に引かれる。図9では、テンション
プーリ5Cがどの位置にあっても重り54Cの重力によ
りTAB1は一定の張力が与えられる。
ンションプーリ5Cの動作を図10から図12により説
明する。図10の55Cはテンションプーリ5Cに取り
付けられた検出板、56C〜58Cはセンサである。図
10では、テンションプーリ5Cが右方に移動すると、
検出板55Cがセンサ56Cで検出される。このとき、
供給リール2AはTAB1を送り出す方向にTAB1の
送り速度より速い速度で回転する。
ーリ5Cが左方に移動している状態図である。図10の
状態から供給リール2Aが回転すると、テンションプー
リ5CはTAB1の送りに関係なく、左方向に移動す
る。
ーリ5Cがさらに左方に移動した状態図である。図11
の状態が続くと、テンションプーリ5Cは図12の位置
にくる。図12では、検出板55Cはセンサ57Cで検
出され、供給リール2AはTAB1の送りに関係なく停
止する。図12の状態からTAB1を送り出すことによ
り、テンションプーリ5Cは図10の状態になるまで右
方に移動する。
ションプーリ5Cは左右に移動するが、TAB1にかか
る張力は一定となる。なお、TAB1が切れた場合はテ
ンションプーリ5Cは左方に移動し、検出板55Cがセ
ンサ58Cで検出される。センサ58Cの検出で装置を
停止するので、TAB1を保護できる。
たテンションプーリ5Dの近傍の構成図である。図13
では、テンションプーリ5Dが右方に移動すると、検出
板55Dがセンサ57Dで検出される。このとき、収容
リール2BはTAB1を卷き取る方向にTAB1の送り
速度より速い速度で回転を始める。図13の状態から、
収容リール2Bが回転すると、テンションプーリ5Dは
TAB1の送りに関係なく、左方向に移動する。テンシ
ョンプーリ5Dが移動して、検出板55Dがセンサ56
Dで検出されると、収容リール2BはTAB1の送りに
関係なく停止する。次に、TAB1を送り出すことによ
り、テンションプーリ5Dは図13の状態になるまで右
方に移動する。なお、TAB1が切れた場合はテンショ
ンプーリ5Dは左方に移動し、検出板55Dがセンサ5
8Dで検出される。センサ58Dの検出で装置は停止す
る。
ト7A・7Bで位置決めされたTAB1は、テープクラ
ンプ8とプッシャ9により固定される。次に、プッシャ
10はテープクランプ8とプッシャ9を一体にしてTA
B1を下降させ、TAB1をプローブカード12のプロ
ーブ12Aに接触させる。TAB1がプローブ12Aに
接触した状態で、カメラ17はTAB1の画像データを
取り込み、TAB1の位置の補正量を算出する。画像デ
ータを取り込み後、TAB1を一度上昇し、TAB1の
位置を補正後、TAB1を再下降する。次に、TAB1
がプローブ12Aに接触した状態で、ICテスタ側にオ
ートハンドラからテストスタート要求信号を送る。テス
トが終了するとプッシャ9・10は上昇し、スプロケッ
ト7A・7Bが回転して次のTAB1が送られる。
計方向に同期して回転することにより、TAB1は図8
の左側から右側に送られていく。図8では、TAB1に
無理な力が加わらないようにしているので、プッシャ9
が降下前にはTAB1はたわんでいる。TAB1のたわ
みをとって測定するため、図8では、スプロケット7B
の回転を停止し、スプロケット7Aを時計方法に逆回転
する。
この出願人が実願平1-131293号で開示している。このた
わみ取り機構をオートハンドラに採用することにより、
TAB1のテストパッドとプローブカード12のプロー
ブ12Aは±60μmの位置合わせ精度が確保される。T
AB1を±60μm以上の高精度でプローブ12Aと位置
合わせするためには、後述するアライメント機能が必要
となる。
め方法を説明する。図14はTAB1を部分拡大したパ
ターン図であり、パターン図の一隅に位置決め用の基準
マーク1Aがある。中央部にはICチップ1Bが実装さ
れ、ICチップ1Bの両側にはICチップ1Bとパター
ンで接続するテストパッド1Cが配置される。TAB1
は、図14のパターン図が等間隔で連続して形成されて
おり、図14のパターンの単位をデバイスと呼ぶことと
する。
する前に予め位置決め調整される。この位置決め調整を
初期設定と呼称することとする。初期設定後、装置が稼
動するとTAB1は自動的に位置調整される。この自動
調整をアライメント機能と呼ぶこととする。
により説明する。図15は図8の要部拡大断面図であ
る。図15の7Cと7Dはそれぞれスプロケット7A・
7Bに転動してTAB1を案内するローラである。ま
た、17Aはカメラ17に接続される画像処理装置であ
り、17Bはカメラ17に接続され、カメラ17の撮像
を表示するテレビモニタである。なお、図15に示され
るそれぞれの可動部はボタンまたはスイッチの切り換え
により個別に操作できる。
9でTAB1を固定する。次に、プッシャ10でTAB
1を下降し、TAB1をプローブ12Aに接触させる。
次に、カメラ17を移動してテストパッド1Cとプロー
ブ12Aとの接触状態をテレビモニタ17Bで確認す
る。テレビモニタ17Bで確認しながら、プローブ12
Aの接触端がテストパッド1Cの中央に位置するように
プローブカード12を微小移動またはスプロケット7A
・7Bを微少回転し、位置補正する。なお、TAB1を
移動する場合は、プローブ12Aを損傷しないようTA
B1を上昇させておく。
合わせが完了すると、次に、カメラ17で基準マーク1
Aを撮像し、撮像データを基準撮像データとして装置に
記憶する。この基準撮像データがTAB1とプローブカ
ード12が接触する位置の基準となり、初期設定が完了
する。
図16と図17により説明する。図16はプッシャ9・
10の拡大斜視図であり、図17は図16の断面図であ
る。図16の9Aと10Aはモータであり、図17の1
6AはXテーブル、16BはYテーブル、16Xと16
Yはモータである。
Aを回転し、モータ7Fはスプロケット7Bを回転す
る。スプロケット7Aはアーム7Gで保持され、アーム
7Gはブロック9Bの第1の側面に取り付けられる。ス
プロケット7Bはアーム7Hで保持され、アーム7Hは
ブロック9Bの第1の側面と反対側の第2の側面に取り
付けられる。
上面に取り付けられ、モータ9Aの回転軸はボールねじ
9Dに連結し、ボールねじ9Dはプッシャ9に保持され
るボールナットと結合する。モータ9Aが回転すると、
プッシャ9はガイド9Cに案内されて昇降する。
面に取り付けられ、モータ10Aの回転軸はボールねじ
10Dに連結し、ボールねじ10Dはブロック9Bに保
持されるボールナットと結合する。モータ10Aが回転
すると、ブロック9Bはガイド10Cに案内されて昇降
する。すなわち、プッシャ10は、スプロケット7A・
7Bとテープクランプ8とプッシャ9を一体にして昇降
する。図17ではモータ10AでTAB1の昇降位置を
粗調整し、モータ9Aでプッシャ9によるTAB1の昇
降位置を微調整している。
る。XYステージ16はXテーブルとYテーブルで構成
される。Xテーブル16Aの後段にはモータ16Xが連
結される。モータ16Xが回転すると、Xテーブル16
AはTAB1の走行方向と平行に微小移動する。すなわ
ち、モータ16XはTAB1とスプロケット7A・7B
とプッシャ9・10を一体にしてX方向に移動する。モ
ータ16Xが取り付けられるYテーブル16Bの下段は
モータ16Yが連結される。モータ16Yが回転する
と、Yテーブル16BはTAB1の走行方向と直交する
方向と平行に微小移動する。すなわち、モータ16Yは
TAB1をY方向に移動させる。
が稼動すると、カメラ17は基準マーク1Aを撮像し、
初期設定で記憶された基準撮像データと比較する。次
に、前記比較値から補正値を演算し、補正値分XYステ
ージ16を移動すると、TABのテストパッド1Cとプ
ローブ12Aが位置合わせできる。このアライメント機
能を採用することにより、TAB1とプローブカード1
2を±10μm以内の高精度で位置合わせできる。
例えば、35mm、48mm、70mmと複数種類ある。図8におけ
るTAB用オートハンドラでは、機械的にも電気的にも
複数種類のTABに対応できるようになっている。図8
では、スプロケット7A・7Bとスプロケットガイド7
C・7Dとガイド6C・6Dおよびテープクランプ8は
テープ幅Wに対応して交換する。一方、プーリ4C・4
Dとテンションプーリ5C・5Dはテープ幅Wがかわっ
ても交換しないで共用できる。図18はこのような共用
プーリであるプーリ4Cの一例を示している。図18で
はテープ幅Wに対応して、TABの案内面である回転軸
の外径に段差を設けてある。プーリ4C・4Dとテンシ
ョンプーリ5C・5Dは図18に示されるような構造に
なっているのでテープ幅の変更時は交換の必要がない。
のICチップ1Bの有無などの情報を読み取るためのも
のである。図8では、検出器群19は3つの検出器で構
成され、スプロケット7Aの前段に配置される。検出器
群20は3つの検出器で構成され、パンチユニット11
の後段に配置される。なお、検出器群19と検出器群2
0は同様の構成である。
である。検出体20Aはコの字状に形成され、検出体2
0Aの先端部の第1の端部には投光器20Bが取り付け
られ、第1の端部と反対面の第2の端部には投光器20
Bの光出力を受光する受光器2Cが取り付けられる。
が走行し、TABを検出する。検出体20Aは移動体2
0Dに保持され、TAB1の走行方向に対して横切る形
で前後進できる。移動体20Dは検出体20AをTAB
1の走行方向と平行に移動し保持できる。検出器群19
・20の検出器はすべて図19に示された構成であり、
装置の稼動に先立ち、TABの検出位置が調整される。
図である。図20では、検出器K1は検出光がテストパ
ッド1Cを遮光する位置に移動調整される。検出器K2
は検出光がICチップ1Bを遮光する位置に移動調整さ
れる。検出器K3は検出光がパンチ穴1Dを遮光する位
置に移動調整される。
TAB1がリーダテープか被測定TABかを確認する。
検出器K2は検出光の有無でICチップ1Bの有無を確
認し、TAB1の測定の可否を判断する。検出器K3は
検出光の有無でパンチ穴1Dの有無を確認し、TAB1
が測定分類済みかを判断する。図20では、前述の機能
をはたしており、TABのテープ幅Wも複数種類あるの
で、図19の機構で検出器が位置調整される。なお、図
19と図20は特願平5-254806号明細書に記載の図5と
図6と技術的に同じものである。
穴1DはTABの様々な検査工程の関係で、パンチ穴1
DがあけられたTABを再試験する場合や、試験終了後
に良品・不良品の識別穴としてパンチユニット11でパ
ンチ穴1Dを設ける場合など様々である。さらに、パン
チユニット11はパンチ穴をあける場合と不良品と判定
されたTABのICチップ1Bを打ち抜く場合がある。
ABの種類や打抜方法に対応したパンチユニット11の
外観図である。図21では駆動源11Aとフレーム11
Bとベース11Cを第1のユニットとし、パンチ11D
とパンチガイド11Eとパンチホルダ11Fとパンチダ
イ11Gを第2のユニットとしているので、第1のユニ
ットに第2のユニットを交換すれば前記の色々な対応が
可能となる。なお、図21は実願平04-26012号明細書の
図3と同じものである。
トにより説明する。図22のステップ201では、スプ
ロケット7A・7Bは同期回転して1デバイス分TAB
1を送る。ステップ202では、プッシャ9を下降し、
TAB1をテープクランプ8に挟み固定する。ステップ
203では、プッシャ10を下降し、TAB1をプロー
ブカード12との接触位置まで下降させる。このとき、
前述のたわみ取り機構によりTAB1は±60μmの精度
で位置決めされる。
ーク1Aを取り込み、XYステージ16の補正値を計算
する。ステップ205では、プッシャ10を上昇する。
ステップ206では前記補正値にもとづきXテーブル1
6Aを微小移動する。ステップ207では前記補正値に
もとづきYテーブル16Bを微小移動する。
し、TAB1をプローブカード12に接触させる。ステ
ップ209では、TAB1を測定する。ステップ210
では、プッシャ10を上昇し、TAB1とプローブカー
ド12との接触を解除する。ステップ211ではプッシ
ャ9を上昇し、TAB1をテープクランプ8から解除す
る。ステップ212では、パンチユニット11を駆動
し、検出器群20でTAB1を読み込み、1インデック
スが終了する。
ムチャートで示したものである。図23アでスプロケッ
ト7A・7Bが同期回転終了すると、図23イで、プッ
シャ9が下降する。プッシャ9が下降停止すると、図2
3ウで、プッシャ10が下降する。プッシャ10が下降
停止すると、図23エで、TAB1の画像を読み込み、
補正値を算出する。前記演算が完了すると、次に、図2
3ウでプッシャ10が上昇完了すると、図23オでXテ
ーブル16Aが移動する。図23オでXテーブル16A
が移動完了すると、図23カでYテーブル16Bが移動
する。
ると、図23ウでプッシャ10が上昇する。プッシャ1
0が上昇完了すると、ICテスタ側にオートハンドラか
らテストスタート要求信号を送る。図23キで測定が終
了すると、図23ウでプッシャ10が上昇する。プッシ
ャ10が上昇完了すると、図23イでプッシャ9が上昇
する。プッシャ9が上昇完了する、図23クでパンチユ
ニット11が駆動し、検出器群20でTAB1を確認す
る。図23アでTAB1が確認されると、スプロケット
7A・7Bが回転して次のTAB1が送るよう指令され
る。図23アで、スプロケット7A・7Bが駆動開始し
て次に駆動開始するまでの時間TINDEXがこの装置の1
インデックス時間となる。
ト11を中心とした部分構成図である。図24アの状態
から、プッシャ9・10がTAB1を下降させると、テ
ンションプーリ5Dは左方に移動して図24イの状態に
なる。図24イの状態では、パンチユニット11、検出
器群20の位置で、TAB1は数ミリ移動している。図
24アの状態では、パンチ穴の位置精度とデバイスの検
出が補償できない。したがって、従来技術では、測定終
了後にプッシャ9・10を上昇させた状態でパンチユニ
ット11を駆動または、検出器群20でデバイスを検出
する。このため、図23に示されるインデックス時間T
INDEXは約4sec程度要するという問題がある。ま
た、図23に示されるように、Xテーブル16AとYテ
ーブル16Bおよび、プッシャ9とプッシャ10を個別
に駆動制御していることがインデックス時間が長くする
要因となっている。
ケット7A・7Bの回転速度を速くすると、図10に示
されるテンション機構では、供給リール2Aの回転速度
をスプロケット7A・7Bの送り速度より速くしなけれ
ばならない。しかし、テンションプーリ5Cの追従能力
にも限界があるので、TAB1に衝撃を与えることにな
る。この事情は収容リール2B側も同様であり、インデ
ックス時間を短くするためのテンション機構が要求され
る。
時には、スプロケット7A・7B、スプロケットガイド
7C・7D、ガイド6C・6D、テープクランプ8を交
換する。テンションプーリ5C・5Dとプーリ4C・4
Dは図18に示されるように交換は不要であるが、TA
B1の幅により走行高さが変わる。このため、図24と
同様な事情で、パンチ穴の位置精度とデバイスの検出が
安定しないという問題がある。
パンチ穴をあける構成のTAB用オートハンドラを提供
することを目的とする。第2と第3の発明は第1の発明
において、インデック時間を短くする方法を提供する。
第4と第5の発明は第1の発明において、TABに衝撃
力を与えない卷き取り機構を提供する。第6から第9の
発明は、第1の発明において、TABのテープ幅の切換
容易な案内構造の提供を目的とする。
ため、第1の発明は、供給リール2Aに巻かれたTAB
1を収容リール2Bは巻き取り、スプロケット7Aとス
プロケット7Bは同期回転してTAB1を走行し、スプ
ロケット7Aとスプロケット7Bの間にテープクランプ
8とプッシャ9を配置し、テープクランプ8とプッシャ
9で保持されたTAB1をプッシャ10は降下させ、前
記TAB1をプローブカード12に接触させて試験する
TAB用オートハンドラにおいて、供給リール2Aが送
り出すTAB1をプッシャ9側に走行するスプロケット
3Aと、収容リール2B側にTAB1を走行するスプロ
ケット3Bと、スプロケット3Aとスプロケット7A間
に介在し、回転中心を固定するプーリ4Aと、スプロケ
ット7Bとスプロケット3B間に介在し、回転中心を固
定するプーリ4Bと、プーリ4Aとスプロケット7A間
に配置し、TAB1を上昇方向に押圧するテンションプ
ーリ6Aと、スプロケット7Bとプーリ4B間に配置
し、TAB1を上昇方向に押圧するテンションプーリ6
Bと、プーリ4Aとテンションプーリ6A間に配置し、
回転中心を固定し、TAB1を案内するガイド5Aと、
テンションプーリ6Bとプーリ4B間に配置し、回転中
心を固定し、TAB1を案内するガイド5Bと、ガイド
5Bとプーリ4B間に配置し、試験結果によりTAB1
にパンチ穴をあけるパンチユニット11とを備え、スプ
ロケット3Bの回転を保持し、TAB1を測定中にパン
チ穴をあける。
ロケット7Bと、テープクランプ8と、プッシャ9と、
プッシャ10を一体にしてXYステージ16上に配置
し、Xテーブル16AはXYステージ16上のTAB1
を走行方向に微小移動し、Yテーブル16BはXYステ
ージ16上のTAB1を走行方向と直交する方向に微小
移動し、画像処理用のカメラ15でTAB1の基準マー
ク1Aを参照し、XYステージ16に保持されたTAB
1の位置を補正するとき、Xテーブル16AとYテーブ
ル16Bは同時に移動開始する。
は同時に降下開始または同時に上昇開始する。
にスプロケット3Aを配置し、傾斜ガイド21は供給リ
ール2Aから自重で垂下するTAB1を案内し、センサ
23とセンサ24は傾斜ガイド21とスプロケット3A
間で垂下するTAB1の有無を検出し、センサ23とセ
ンサ24がTAB1を検出しないときは供給リール2A
はTAB1を送り出し、センサ23とセンサ24がTA
B1を検出したときは供給リール2Aは回転を停止す
る。
にスプロケット3Bを配置し、傾斜ガイド22は収容リ
ール2Bから自重で垂下するTAB1を案内し、センサ
25とセンサ26は傾斜ガイド22とスプロケット3B
間で垂下するTAB1の有無を検出し、センサ25とセ
ンサ26がTAB1を検出しないときは収容リール2B
は回転を停止し、センサ25とセンサ26がTAB1を
検出したときは収容リール2BはTAB1を巻き取る。
スプロケット31と段付きスプロケット32と回転軸3
3で構成し、スプロケット3Bは段付きスプロケット3
4と段付きスプロケット35と回転軸36で構成し、回
転軸33と回転軸36に幅の違うTABに対応する複数
の溝Vを円周に形成し、段付きスプロケット31と段付
きスプロケット32と段付きスプロケット34と段付き
スプロケット35の段部に溝Vに入る球Bを設け、球B
を押圧する圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵し、幅の
違うTABに対応する。
41と段付きプーリ42と回転軸43で構成し、プーリ
4Bは段付きプーリ44と段付きプーリ45と回転軸4
6で構成し、回転軸43と回転軸46に幅の違うTAB
に対応する複数の溝Vを円周に形成し、段付きプーリ4
1と段付きプーリ42と段付きプーリ44と段付きプー
リ45の段部に溝Vに入る球Bを設け、球Bを押圧する
圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵し、段付きプーリ4
1の段部と段付きプーリ42の段部を対向して配置し、
段付きプーリ44の段部と段付きプーリ45の段部を対
向して配置し、前記段部で幅の違うTABを案内する。
51と段付きガイド52と回転軸53で構成し、ガイド
5Bは段付きガイド54と段付きガイド55と回転軸5
6で構成し、回転軸53と回転軸56に幅の違うTAB
に対応する複数の溝Vを円周に形成し、段付きガイド5
1と段付きガイド52と段付きガイド54と段付きガイ
ド55の段部に溝Vに入る球Bを設け、球Bを押圧する
圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵し、段付きガイド5
1の段部と段付きガイド52の段部を対向して配置し、
段付きガイド54の段部と段付きガイド55の段部を対
向して配置し、前記段部で幅の違うTABを案内する。
付き円弧ブロック61と段付き円弧ブロック62と揺動
板63で構成し、テンションプーリ6Bは段付き円弧ブ
ロック64と段付き円弧ブロック65と揺動板66で構
成し、揺動板63と揺動板66に幅の違うTABに対応
する複数の穴Hをあけ、段付き円弧ブロック61と段付
き円弧ブロック62と段付き円弧ブロック64と段付き
円弧ブロック65の底面に穴Hに入るピンPを突出し、
段付き円弧ブロック61の円弧段部と段付き円弧ブロッ
ク62の円弧段部を対向して配置し、段付き円弧ブロッ
ク64の円弧段部と段付き円弧ブロック65の円弧段部
を対向して配置し、前記円弧段部で幅の違うTABを案
内する。
転するスプロケット7A・7Bの両翼には、回転中心を
固定するガイド5A・5Bが配置される。ガイド5A・
5Bの両翼にはTAB1の走行を平行にし、回転中心を
固定するプーリ4A・4Bが配置される。プーリ4A・
4Bの両翼にはTAB1をピッチ送りするスプロケット
3A・3Bが配置される。プッシャ9・10とスプロケ
ット7A・7Bが一体になってTAB1を昇降すると
き、スプロケット3Bは回転を停止しているので、TA
B1がプッシャ9・10側に走行しない。したがって、
プッシャ9・10の動作にかからわらずパンチユニット
11が駆動でき、パンチユニット11の駆動後のTAB
1の状態も安定して検出できる。
小移動補正するXテーブル16AとTAB1を走行方向
と直交する方向に微小移動補正するYテーブル16Bは
同時に移動開始するので、従来の制御方法よりインデッ
クス時間を短縮できる。
のプッシャ10は同時に降下開始または同時に上昇開始
するので、従来の制御方法よりインデックス時間を短縮
できる。
裕をもってスプロケット3AにTAB1を供給するの
で、スプロケット7A・7Bのインデックス送り速度を
速くできる。また、TABは自重で落下するため、衝撃
力が加わることはない。
裕をもってスプロケット3Bから送られるTAB1を収
容するので、スプロケット7A・7Bのインデックス送
り速度を速くできる。また、TABは自重で落下するた
め、衝撃力が加わることはない。
プ幅に対応して回転軸の円周に複数の溝Vを形成し、駆
動輪または案内輪は回転軸上の保持位置を前記溝Vに押
圧すことにより規制され、相対向する駆動輪または案内
輪の位置を容易に変える。
Bに対応する複数の穴Hがあけられ、段付き円弧ブロッ
クに穴HにはいるピンPを形成し、相対向する段付き円
弧ブロックの間隔を揺動板上で容易に変えられる。
ラの構成を図1の実施例により説明する。図1の3Aと
3Bはスプロケット、4Aと4Bはプーリ、5Aと5B
はガイド、6Aと6Bはテンションプーリ、15Aと1
5Bは画像処理用のカメラ、その他は図8と同じもので
ある。
ル2Aが送り出すTAB1をプッシャ9側に走行させ
る。スプロケット3Bは、収容リール2B側にTAB1
を走行させる。プーリ4Aは回転中心を固定し、スプロ
ケット3Aとスプロケット7A間に介在して配置され
る。プーリ4Bは回転中心を固定し、スプロケット7B
とスプロケット3B間に介在して配置される。
プロケット7A間に配置され、TAB1を上昇方向に押
圧する。テンションプーリ6Bは、スプロケット7Bと
プーリ4B間に配置され、TAB1を上昇方向に押圧す
る。ガイド5Aは回転中心を固定し、プーリ4Aとテン
ションプーリ6A間に配置され、TAB1を案内する。
ガイド5Bは回転中心を固定し、テンションプーリ6B
とプーリ4B間に配置され、TAB1を案内する。パン
チユニット11はガイド5Bとプーリ4B間に配置され
る。
3〜26は光反射型のセンサである。図1では、供給リ
ール2Aの下方外側にスプロケット3Aが配置され、傾
斜ガイド21は供給リール2Aから自重で垂下するTA
B1を案内する形で配置される。センサ23とセンサ2
4は傾斜ガイド21とスプロケット3A間で垂下するT
AB1の有無を検出する。収容リール2Bの下方外側に
スプロケット3Bが配置され、傾斜ガイド22は収容リ
ール2Bから自重で垂下するTAB1を案内する形で配
置される。センサ25とセンサ26は傾斜ガイド22と
スプロケット3B間で垂下するTAB1の有無を検出す
る。
に配置され、カメラ15Bはパンチユニット11とプー
リ4B間に配置される。カメラ15Aとカメラ15Bは
画像処理装置15Cに接続する。カメラ15Aは測定前
のTAB1を撮像し、撮像データを画像処理装置15C
に送出する。カメラ15BはTAB1を撮像し、カメラ
15Aによる画像データと比較照合またはパンチユニッ
ト11の打ち抜き指令と比較照合する。カメラ15A・
15Bは図8の検出器群19・20を画像処理に置き換
えたものである。
置され、テストヘッド14の中央中空穴を通して、TA
B1の画像を認識する。カメラ15は画像処理装置15
Cと接続され、TAB1の接触位置を補正演算する。
明する。センサ23とセンサ24がTAB1を検出しな
いときは供給リール2Aは回転してTAB1を送り出
す。センサ23とセンサ24がTAB1を検出したとき
は、供給リール2Aは回転を停止し、スプロケット3A
は回転してTAB1を送る。センサ25とセンサ26が
TAB1を検出しないときは、収容リール2Bは回転を
停止し、スプロケット3Bは回転してTAB1を送る。
センサ25とセンサ26がTAB1を検出したときは、
スプロケット3Bは回転を停止し、収容リール2BはT
AB1を巻き取る。このように、図1ではTAB1を常
時余裕をもって供給、収容する。
により説明する。図2のステップ101では、スプロケ
ット7A・7Bは同期回転するとともにスプロケット3
A・3Bが回転して1デバイス分TAB1を送る。ステ
ップ102では、プッシャ9・10は同時に駆動し、T
AB1をテープクランプ8に挟み固定するとともにTA
B1をプローブカード12との接触位置まで下降させ
る。このとき、たわみ取り機構によりTAB1は±60μ
mの精度で位置決めされる。
ーク1Aを取り込み、XYステージ16の補正値を計算
する。ステップ104では、プッシャ10を上昇する。
ステップ105では前記補正値にもとづきXテーブル1
6AとYテーブル16Bを同時に微小移動する。
し、TAB1をプローブカード12に接触させる。ステ
ップ107では、ICテスタにテストスタート要求信号
が送出され、TAB1を測定する。同時にパンチユニッ
ト11を駆動し、カメラ15A・15BでTAB1の画
像を読み込み、画像データを比較する。
ップ108ではプッシャ9・10を同時に上昇開始し、
TAB1とプローブカード12との接触を解除するとと
もにTAB1をテープクランプ8から解除し、1インデ
ックスが終了する。
ャートで示したものである。図3アでスプロケット7A
・7Bおよびスプロケット3A・3BがTAB1を1イ
ンデック分走行終了すと、図3イ・ウでプッシャ9・1
0が同時に下降開始する。図3エで、TAB1の画像を
読み込み、補正値を算出する。前記演算が完了すると、
次に、図3ウでプッシャ10が上昇する。
カで示されるようにXテーブル16AとYテーブル16
Bが同時に移動する。図3ウでプッシャ10が下降完了
すると、図3キで測定が開始されると同時に、図3クで
パンチユニット11が駆動し、カメラ15A・15Bで
TAB1を確認する。
プッシャ9・10が同時に上昇開始する。プッシャ9・
10が上昇完了すると、図3アで、次のTAB1が送る
よう指令される。図3では、プッシャ9・10が同時に
駆動開始している。また、Xテーブル16AとYテーブ
ル16Bも同時に駆動開始する。測定開始動作とパンチ
駆動動作と、TAB1の画像読込みを並列して開始して
いるので、インデックスタイムTINDEXが短縮する。
切換容易な案内構造を説明する。図4アはスプロケット
3Aの側面図、図4イはスプロケット3Bの側面図であ
る。図3では、スプロケット3Aは段付きスプロケット
31と段付きスプロケット32と回転軸33で構成され
る。同様にスプロケット3Bは段付きスプロケット34
と段付きスプロケット35と回転軸36で構成される。
回転軸33と回転軸36には幅の違うTABに対応する
3の溝Vが円周に形成される。段付きスプロケット31
と段付きスプロケット32と段付きスプロケット34と
段付きスプロケット35の段部に溝Vに入る球Bを設
け、球Bを押圧する圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵
する。図4では、幅の違うTABに対応するため、相対
向する段付きスプロケットの間隔W1 を回転軸上で容易
に切り換えることができる。
ーリ4Bの側面図である。図4では、プーリ4Aは段付
きプーリ41と段付きプーリ42と回転軸43で構成さ
れる。プーリ4Bは段付きプーリ44と段付きプーリ4
5と回転軸46で構成される。回転軸43と回転軸46
に幅の違うTABに対応する複数の溝Vを円周に形成す
る段付きプーリ41と段付きプーリ42と段付きプーリ
44と段付きプーリ45の段部に溝Vに入る球Bを設
け、球Bを押圧する圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵
する。図5では段付きプーリ41の段部と段付きプーリ
42の段部を対向して配置し、段付きプーリ44の段部
と段付きプーリ45の段部を対向して配置し、前記段部
で幅の違うTABを案内する。すなわち、図5の間隔W
2 は回転軸上で容易に切り換えることができる。
イド5Bの側面図である。図6では、ガイド5Aは段付
きガイド51と段付きガイド52と回転軸53で構成さ
れる。ガイド5Bは段付きガイド54と段付きガイド5
5と回転軸56で構成される。回転軸53と回転軸56
に幅の違うTABに対応する複数の溝Vを円周に形成す
る。段付きガイド51と段付きガイド52と段付きガイ
ド54と段付きガイド55の段部に溝Vに入る球Bを設
け、球Bを押圧する圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵
する。段付きガイド51の段部と段付きガイド52の段
部を対向して配置し、段付きガイド54の段部と段付き
ガイド55の段部を対向して配置し、TAB1のテープ
幅をW3 を変えることにより、幅の違うTABを案内す
る。
る。テンションプーリ6Aとテンションプーリ6Bは図
1において、線対称に配置されるので、図7ではテンシ
ョンプーリ6Aの詳細図は省略する。なお、図7におい
て、括弧内の符号はテンションプーリ6Aの構成品を示
している
は平面図である。図7では、テンションプーリ6Bは段
付き円弧ブロック64と段付き円弧ブロック65と揺動
板66で構成される。揺動板66には幅の違うTABに
対応する複数の穴Hがあけられる。円弧ブロック64と
段付き円弧ブロック65の底面には穴Hに入るピンPが
突出する。段付き円弧ブロック64の円弧段部と段付き
円弧ブロック65の円弧段部を対向して配置し、TAB
1の幅Wに対応して段付き円弧ブロック64・65間の
幅W4 を簡単に変えることができる。
中心に揺動する。回転軸心66Aの縁端にはワイヤーロ
ープ67の一端が連結される。ワイヤーロープ67はプ
ーリ68に掛けられ、ワイヤーロープ67の他端に重り
69を吊るしている。重り69にかかる重力でTAB1
は常に上昇方向に一定の力で押圧される。
ク61と段付き円弧ブロック62と揺動板63で構成さ
れる。揺動板63には幅の違うTABに対応する複数の
穴Hがあけられる。円弧ブロック61と段付き円弧ブロ
ック62の底面には穴Hに入るピンPが突出する。段付
き円弧ブロック61の円弧段部と段付き円弧ブロック6
2の円弧段部を対向して配置し、TAB1の幅Wに対応
して段付き円弧ブロック61・62間の幅W4 を簡単に
変えることができる。
する。回転軸心63Aの縁端にはワイヤーロープ67の
一端が連結される。ワイヤーロープ67はプーリ68に
掛けられ、ワイヤーロープ67の他端に重り69を吊る
している。重り69にかかる重力でTAB1は常に上昇
方向に一定の力で押圧される。
1のスプロケットと第2のスプロケットの両翼に、回転
中心を固定する第1のガイドと第2のガイドを配置す
る。第1のガイドと第2のガイドの両翼にはTABの走
行を平行にし、回転中心を固定する第1のプーリと第2
のプーリを配置する。第1のプーリと第2のプーリの両
翼にはTABをピッチ送りする第3のスプロケットと第
4のスプロケットを配置する。第1のプッシャと第2の
プッシャと第1のスプロケットと第2のスプロケットス
プロケットが一体になってTABを昇降するとき、第4
のスプロケットは回転を停止しているので、TABがプ
ッシャ側に走行しない。したがって、プッシャの動作に
かからわらずパンチユニットが駆動でき、パンチユニッ
トの駆動中にTABの状態も安定して検出できる。
動補正するXテーブルと、TABを走行方向と直交する
方向に微小移動補正するYテーブルを同時に移動開始す
るので、従来の制御方法よりインデックス時間を短縮で
きる。
ッシャと第2のプッシャは同時に降下開始または同時に
上昇開始するので、従来の制御方法よりインデックス時
間を短縮できる。
って第3のスプロケットにTABを供給するので、第1
のスプロケットと第2のスプロケットのインデックス送
り速度を速くできる。また、TABは自重で落下するた
め、衝撃力が加わることはない。
って第4のスプロケットから送られるTABを収容する
ので、第1のスプロケットと第2のスプロケットのイン
デックス送り速度を速くできる。また、TABは自重で
落下するため、衝撃力が加わることはない。
幅に対応して回転軸の円周に複数の溝Vを形成し、駆動
輪または案内輪は回転軸上の保持位置を前記溝Vに押圧
すことにより規制され、相対向する駆動輪または案内輪
の位置を容易に変えることができる。
に対応する複数の穴があけられ、段付き円弧ブロックに
穴にはいるピンを形成し、相対向する段付き円弧ブロッ
クの間隔を揺動板上で容易変えられる。また、第1のテ
ンションプーリと第2のテンションプーリは定圧でTA
Bを押し上げる。
図である。
る。
図である。
る。
である。
図である。
る。
である。
Claims (9)
- 【請求項1】 供給リール(2A)に巻かれたTAB(1) を
収容リール(2B)は巻き取り、第1のスプロケット(7A)と
第2のスプロケット(7B)は同期回転してTAB(1) を走
行し、第1のスプロケット(7A)と第2のスプロケット(7
B)の間にテープクランプ(8) と第1のプッシャ(9) を配
置し、テープクランプ(8) と第1のプッシャ(9) で保持
されたTAB(1) を第2のプッシャ(10)は降下させ、前
記TAB(1) をプローブカード(12)に接触させて試験す
るTAB用オートハンドラにおいて、 供給リール(2A)が送り出すTAB(1) を第1のプッシャ
(9) 側に走行する第3のスプロケット(3A)と、 収容リール(2B)側にTAB(1) を走行する第4のスプロ
ケット(3B)と、 第3のスプロケット(3A)と第1のスプロケット(7A)間に
介在し、回転中心を固定する第1のプーリ(4A)と、 第2のスプロケット(7B)と第4のスプロケット(3B)間に
介在し、回転中心を固定する第2のプーリ(4B)と、 第1のプーリ(4A)と第1のスプロケット(7A)間に配置
し、TAB(1) を上昇方向に押圧する第1のテンション
プーリ(6A)と、 第2のスプロケット(7B)と第2のプーリ(4B)間に配置
し、TAB(1) を上昇方向に押圧する第2のテンション
プーリ(6B)と、 第1のプーリ(4A)と第1のテンションプーリ(6A)間に配
置し、回転中心を固定し、TAB(1) を案内する第1の
ガイド(5A)と、 第2のテンションプーリ(6B)と第2のプーリ(4B)間に配
置し、回転中心を固定し、TAB(1) を案内する第2の
ガイド(5B)と、 第2のガイド(5B)と第2のプーリ(4B)間に配置し、試験
結果によりTAB(1)にパンチ穴をあけるパンチユニッ
ト(11)とを備え、 第4のスプロケット(3B)の回転を保持し、TAB(1) を
測定中にパンチ穴をあけることを特徴とするTAB用オ
ートハンドラ。 - 【請求項2】 第1のスプロケット(7A)と、第2のスプ
ロケット(7B)と、テープクランプ(8) と、第1のプッシ
ャ(9) と、第2のプッシャ(10)を一体にしてXYステー
ジ(16)上に配置し、Xテーブル(16A) はXYステージ(1
6)上のTAB(1) を走行方向に微小移動し、Yテーブル
(16B) はXYステージ(16)上のTAB(1) を走行方向と
直交する方向に微小移動し、画像処理用のカメラ(15)
でTAB(1) の基準マーク(1A)を参照し、XYステージ
(16)に保持されたTAB(1) の位置を補正するとき、X
テーブル(16A) とYテーブル(16B) は同時に移動開始す
ることを特徴とする請求項1記載のTAB用オートハン
ドラ。 - 【請求項3】 第1のプッシャ(9) と第2のプッシャ(1
0)は同時に降下開始または同時に上昇開始することを特
徴とする請求項1記載のTAB用オートハンドラ。 - 【請求項4】 供給リール(2A)の下方外側に第3のスプ
ロケット(3A)を配置し、第1の傾斜ガイド(21)は供給リ
ール(2A)から自重で垂下するTAB(1) を案内し、第1
のセンサ(23)と第2のセンサ(24)は第1の傾斜ガイド(2
1)と第3のスプロケット(3A)間で垂下するTAB(1) の
有無を検出し、第1のセンサ(23)と第2のセンサ(24)が
TAB(1) を検出しないときは供給リール(2A)はTAB
(1) を送り出し、第1のセンサ(23)と第2のセンサ(24)
がTAB(1) を検出したときは供給リール(2A)は回転を
停止することを特徴とする請求項1記載のTAB用オー
トハンドラ。 - 【請求項5】 収容リール(2B)の下方外側に第4のスプ
ロケット(3B)を配置し、第2の傾斜ガイド(22)は収容リ
ール(2B)から自重で垂下するTAB(1) を案内し、第3
のセンサ(25)と第4のセンサ(26)は第2の傾斜ガイド(2
2)と第4のスプロケット(3B)間で垂下するTAB(1) の
有無を検出し、第3のセンサ(25)と第4のセンサ(26)が
TAB(1) を検出しないときは収容リール(2B)は回転を
停止し、第3のセンサ(25)と第4のセンサ(26)がTAB
(1) を検出したときは収容リール(2B)はTAB(1) を巻
き取ることを特徴とする請求項1記載のTAB用オート
ハンドラ。 - 【請求項6】 第3のスプロケット(3A)は第1の段付き
スプロケット(31)と第2の段付きスプロケット(32)と第
1の回転軸(33)で構成し、第4のスプロケット(3B)は第
3の段付きスプロケット(34)と第4の段付きスプロケッ
ト(35)と第2の回転軸(36)で構成し、第1の回転軸(33)
と第2の回転軸(36)に幅の違うTABに対応する複数の
溝(V) を円周に形成し、第1の段付きスプロケット(31)
と第2の段付きスプロケット(32)と第3の段付きスプロ
ケット(34)と第4の段付きスプロケット(35)の段部に溝
(V) に入る球(B) を設け、球(B) を押圧する圧縮コイル
ばね(S) を前記段部に内蔵し、幅の違うTABに対応す
ることを特徴とする請求項1記載の第3のスプロケット
と第4のスプロケット。 - 【請求項7】 第1のプーリ(4A)は第1の段付きプーリ
(41)と第2の段付きプーリ(42)と第3の回転軸(43)で構
成し、第2のプーリ(4B)は第3の段付きプーリ(44)と第
4の段付きプーリ(45)と第4の回転軸(46)で構成し、第
3の回転軸(43)と第4の回転軸(46)に幅の違うTABに
対応する複数の溝(V) を円周に形成し、第1の段付きプ
ーリ(41)と第2の段付きプーリ(42)と第3の段付きプー
リ(44)と第4の段付きプーリ(45)の段部に溝(V) に入る
球(B) を設け、球(B) を押圧する圧縮コイルばね(S) を
前記段部に内蔵し、第1の段付きプーリ(41)の段部と第
2の段付きプーリ(42)の段部を対向して配置し、第3の
段付きプーリ(44)の段部と第4の段付きプーリ(45)の段
部を対向して配置し、前記段部で幅の違うTABを案内
することを特徴とする請求項1記載の第1のプーリと第
2のプーリ。 - 【請求項8】 第1のガイド(5A)は第1の段付きガイド
(51)と第2の段付きガイド(52)と第5の回転軸(53)で構
成し、第2のガイド(5B)は第3の段付きガイド(54)と第
4の段付きガイド(55)と第6の回転軸(56)で構成し、第
5の回転軸(53)と第6の回転軸(56)に幅の違うTABに
対応する複数の溝(V) を円周に形成し、第1の段付きガ
イド(51)と第2の段付きガイド(52)と第3の段付きガイ
ド(54)と第4の段付きガイド(55)の段部に溝(V) に入る
球(B) を設け、球(B) を押圧する圧縮コイルばね(S) を
前記段部に内蔵し、第1の段付きガイド(51)の段部と第
2の段付きガイド(52)の段部を対向して配置し、第3の
段付きガイド(54)の段部と第4の段付きガイド(55)の段
部を対向して配置し、前記段部で幅の違うTABを案内
することを特徴とする請求項1記載の第1のガイドと第
2のガイド。 - 【請求項9】 第1のテンションプーリ(6A)は第1の段
付き円弧ブロック(61)と第2の段付き円弧ブロック(62)
と第1の揺動板(63)で構成し、第2のテンションプーリ
(6B)は第3の段付き円弧ブロック(64)と第4の段付き円
弧ブロック(65)と第2の揺動板(66)で構成し、第1の揺
動板(63)と第2の揺動板(66)に幅の違うTABに対応す
る複数の穴(H) をあけ、第1の段付き円弧ブロック(61)
と第2の段付き円弧ブロック(62)と第3の段付き円弧ブ
ロック(64)と第4の段付き円弧ブロック(65)の底面に穴
(H) に入るピン(P) を突出し、第1の段付き円弧ブロッ
ク(61)の円弧段部と第2の段付き円弧ブロック(62)の円
弧段部を対向して配置し、第3の段付き円弧ブロック(6
4)の円弧段部と第4の段付き円弧ブロック(65)の円弧段
部を対向して配置し、前記円弧段部で幅の違うTABを
案内することを特徴とする請求項1記載の第1のテンシ
ョンプーリと第2のテンションプーリ。
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JP05458194A JP3336728B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | Tab用オートハンドラ |
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1994
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