JPH0723855B2 - Spectrometer slit mechanism - Google Patents
Spectrometer slit mechanismInfo
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- JPH0723855B2 JPH0723855B2 JP24561793A JP24561793A JPH0723855B2 JP H0723855 B2 JPH0723855 B2 JP H0723855B2 JP 24561793 A JP24561793 A JP 24561793A JP 24561793 A JP24561793 A JP 24561793A JP H0723855 B2 JPH0723855 B2 JP H0723855B2
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- slit
- width
- pulse motor
- light
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、分光器のスリット幅を
切り換える機構に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mechanism for switching the slit width of a spectroscope.
【０００２】[0002]
【従来の技術】測定光をモニタするため出射スリットか
ら出射した光の一部をビームスプリッタで分割してモニ
タ用検出器に導くことが行われている。2. Description of the Related Art In order to monitor measurement light, a part of light emitted from an emission slit is split by a beam splitter and guided to a monitor detector.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、出射スリット
から出射した光の一部を分割してモニタ用検出器に導く
場合、切り換えられるスリット幅によって光量が大きく
変化するので、モニタ用検出器のダイナミックレンジを
広くする必要があった。However, when a part of the light emitted from the output slit is divided and guided to the monitor detector, the light amount greatly changes depending on the slit width that can be switched. I needed to widen the range.
【０００４】本発明は、スリット幅によって光量が大き
く変化しても、狭いダイナミックレンジのモニタ用検出
器で正しくモニタできる、スリット幅切換え機構を提供
することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a slit width switching mechanism which can be correctly monitored by a monitor detector having a narrow dynamic range even if the amount of light largely changes depending on the slit width.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のスリット機構は、外周に複数対の幅の異な
る入出射スリット対を透設したスリット円板を有し、出
射スリットから出射した光をビームスプリッタで分割
し、その一方の光をモニタ用検出器に導く分光器スリッ
ト機構であって、出射スリット幅に反比例してその開口
の大きさが設定された絞り孔を各幅の出射スリットに対
応させてスリット円板に併設し、ビームスプリッタで分
割した一方の光をこの絞り孔を通じてモニタ用検出器に
導くようにしたことを特徴とするものである。In order to achieve the above object, the slit mechanism of the present invention has a slit disk having a plurality of pairs of entrance / exit slit pairs having different widths, which are provided on the outer periphery thereof. This is a spectroscopic slit mechanism that splits the emitted light with a beam splitter and guides one of the lights to the monitor detector.The aperture size is set in inverse proportion to the exit slit width. It is characterized in that it is provided on the slit disk corresponding to the exit slit of (1) and one of the light beams split by the beam splitter is guided to the monitor detector through this aperture.
【０００６】[0006]
【作 用】上記のように構成された本発明のスリット機
構にあっては、出射スリットから出射され、分割されて
モニタ用検出器に導かれる光の光量を絞り孔が加減する
ように作用する。[Operation] In the slit mechanism of the present invention configured as described above, the aperture hole adjusts the light amount of the light emitted from the emission slit, divided and guided to the monitor detector. .
【０００７】[0007]
【実施例】実施例について図面を参照して説明するに、
１はスリット円板で、幅の異なる多数のスリット２が円
周に沿って透設されている。３は凹面回折格子、４はパ
ルスモータで、円板１は同パルスモータの軸に直結され
ている。この実施例は回折格子への入射光と出射光の各
光軸と回折格子中心に立てた法線とを含む平面が回折格
子３の回転軸Ｚと直交しているインプレーン型分光器で
あって、円板１上で一つの直径の両端側に設けられたス
リットが同一幅で一対となって入射スリットと出射スリ
ットとなり、幅の異なるこのようなスリット対が複数組
透設されていて、円板１を回すことによって幅の異なる
スリットを選択することができる。EXAMPLES Examples will be described with reference to the drawings.
Reference numeral 1 is a slit disk, and a large number of slits 2 having different widths are provided along the circumference. 3 is a concave diffraction grating, 4 is a pulse motor, and the disk 1 is directly connected to the shaft of the pulse motor. This embodiment is an in-plane type spectroscope in which a plane including each optical axis of incident light and outgoing light to the diffraction grating and a normal line standing at the center of the diffraction grating is orthogonal to the rotation axis Z of the diffraction grating 3. Then, the slits provided on both end sides of one diameter on the disk 1 are paired with the same width to form an entrance slit and an exit slit, and a plurality of such pairs of slits having different widths are transparently provided. By rotating the disc 1, slits having different widths can be selected.
【０００８】円板１の円周上にはまた、一個の小透孔５
が設けられており、円板１を挟んでフォトカプラ６が配
置してあって、このフォトカプラにより小孔５が検出さ
れる位置がパルスモータ４のスタート位置となる。On the circumference of the disc 1, there is also one small through hole 5.
Is provided, and the photocoupler 6 is arranged with the disc 1 interposed therebetween. The position where the small hole 5 is detected by this photocoupler is the start position of the pulse motor 4.
【０００９】７はコンピュータで、パルスモータ４の回
転を制御している。８は操作パネルで、スリット幅指定
キーＫ１〜Ｋｎが並んでいる。Ｓはスタートキーであっ
て、これを押すとパルスモータ４にパルスが送られ、パ
ルスモータ４は一方向に回転させられ、小孔５がフォト
カプラ６によって検出された所で停止する。A computer 7 controls the rotation of the pulse motor 4. An operation panel 8 is provided with slit width designation keys K1 to Kn. S is a start key, and when it is pressed, a pulse is sent to the pulse motor 4, the pulse motor 4 is rotated in one direction, and the small hole 5 is stopped at the position detected by the photocoupler 6.
【００１０】次に任意のスリット幅指定キーＫｉを押す
と、円板１がスタートのときと同じ方向に駆動され、指
定した幅のスリット対が所定位置（図の２、２の位置）
に来たときパルスモータ４は停止する。以後、他のスリ
ット幅指定キーを押せば指定幅のスリット対が所定位置
に来るようにパルスモータ４が回転させられる。Next, when an arbitrary slit width designation key Ki is pressed, the disc 1 is driven in the same direction as at the start, and the slit pair of the designated width is at a predetermined position (positions 2 and 2 in the figure).
When it comes to, the pulse motor 4 stops. After that, if another slit width designation key is pressed, the pulse motor 4 is rotated so that the slit pair of the designated width comes to a predetermined position.
【００１１】いま、図２に示すフローチャートのような
プログラムによって、任意幅のスリットを指定すると、
先ずそのスリットの隣のスリットが所定位置に来るよう
に円板１を正回転（スタート時の回転方向）或いは逆回
転いずれか回転量の少ない方向に回転させ、その位置か
ら指定幅スリットが所定位置に来るように正回転方向に
円板１を回転させる。即ち、ｉ番スリットを指定（イ）
すると、ｉから現在のスリット番号を引算（ロ）し、
（ロ）の答の正負を判定（ハ）して、答が正ならｉ番ス
リットが所定位置に来るまでパルスモータ４を正回転
（ニ）（ホ）させ、（ロ）の答が負ならｉ−１番のスリ
ットが所定位置に来るまでパルスモータ４を逆回転
（ヘ）（ト）させてフローはＡ点に戻り、ｉ番スリット
が所定位置に来るまでパルスモータ４を正回転させる。
このプログラムでは（ロ）の答が負のとき一つ手前のス
リットが所定の位置に来るまで円板を逆回転させている
が、そのようにたくさん逆転させる必要はなくて、指定
のスリットをパルスモータの一乃至数ステップ分だけ所
定位置より負方向側に戻った位置まで逆回転させればよ
い。このように、所定位置に円板１を停止させるにあた
っては、つねに正方向回転させるのは、次の理由によ
る。即ち、円板１とパルスモータ４とは直結であるから
両者間の結合にはスリップもバックラッシュもないが、
パルスモータ自身の各停止位置はどちら向の回転からそ
の位置に停止したかで僅かではあるが停止位置にずれが
あるため、指定した幅のスリットが所定位置に来る場合
のパルスモータの回転方向はスタートの時と同じにして
いるのである。Now, when a slit having an arbitrary width is designated by a program like the flowchart shown in FIG.
First, the disk 1 is rotated in either the forward rotation direction (rotation direction at the start) or the reverse rotation so that the slit next to the slit comes to a predetermined position, and the specified width slit is moved to the predetermined position from that position. The disk 1 is rotated in the forward rotation direction so as to come to. That is, specify the i-th slit (a)
Then, subtract (b) the current slit number from i,
If the answer to (b) is positive or negative (c), and the answer is positive, the pulse motor 4 is rotated positively (d) (e) until the i-th slit reaches the predetermined position, and if the answer to (b) is negative. The pulse motor 4 is reversely rotated (f) (g) until the slit number i-1 reaches the predetermined position, the flow returns to point A, and the pulse motor 4 is normally rotated until the slit number i reaches the predetermined position.
In this program, when the answer of (b) is negative, the disk is rotated in reverse until the previous slit reaches the predetermined position, but it is not necessary to reverse it so much and the specified slit is pulsed. It suffices to reversely rotate the motor by one to several steps to a position where the predetermined position has returned to the negative side. As described above, when the disc 1 is stopped at the predetermined position, the disc 1 is always rotated in the forward direction for the following reason. That is, since the disc 1 and the pulse motor 4 are directly connected, there is no slip or backlash in the connection between the two,
Since each stop position of the pulse motor itself deviates slightly depending on which direction the rotation is stopped to that position, the rotation direction of the pulse motor when the slit of the specified width comes to the predetermined position is It is the same as at the start.
【００１２】図３は回折格子への入射光と出射光の光軸
が回折格子の中心を通り、回折格子の回転軸と垂直な平
面の上下に分かれているオフプレーン型分光器における
スリット円板１の一例を示す。この型においては、対を
なす入射スリットと出射スリット２、２は一つの直径の
両端側でその直径線ｄの上下に位置して設けられてい
る。FIG. 3 is a slit disk in an off-plane type spectroscope in which the optical axes of incident light and outgoing light to the diffraction grating pass through the center of the diffraction grating and are divided into upper and lower planes perpendicular to the rotation axis of the diffraction grating. 1 shows an example. In this type, the entrance slit and the exit slit 2, 2 forming a pair are provided at both ends of one diameter and above and below the diameter line d.
【００１３】図４は本発明の分光器スリット機構であっ
て、スリット円板１に光源モニタ用の絞り孔ａ、ｂ、ｃ
等が併設されている。出射スリット２から出射した光を
ビームスプリッタ９で分割し、絞り孔ａ、ｂ、ｃ等を通
してモニタ用光検出器10に入射させる。絞り孔ａ、ｂ、
ｃ等は各幅の出射スリットに対応させて設けられてお
り、幅の狭いスリットに対応するものは開口が大で、幅
の広いスリットに対応するものは開口が小になってい
る。スリット幅を変えると分光器の出射光の強さが大幅
に変わるので、それをそのまま受光してモニタしようと
すると、モニタ用光検出器10は広いダイナミックレンジ
を有するものを用いねばならないが、このようにスリッ
ト切り換えと共に切り換えられる絞り孔を通してモニタ
光を受光するようにすれば、モニタ用光検出器10はダイ
ナミックレンジの狭いものでよい。FIG. 4 shows a spectroscope slit mechanism of the present invention, in which the slit disk 1 has aperture holes a, b, and c for monitoring a light source.
And so on. The light emitted from the emission slit 2 is split by the beam splitter 9 and is incident on the monitor photodetector 10 through the aperture holes a, b, c and the like. Aperture holes a, b,
c and the like are provided so as to correspond to the exit slits of each width. One corresponding to the narrow slit has a large opening, and one corresponding to the wide slit has a small opening. When the slit width is changed, the intensity of the emitted light of the spectroscope changes drastically, so if you try to receive it as it is and monitor it, you must use a monitor photodetector 10 with a wide dynamic range. As described above, the monitor photodetector 10 may have a narrow dynamic range if the monitor light is received through the aperture hole that is switched together with the slit switching.
【００１４】上記実施例では、スリット円板はパルスモ
ータに直結であるが、両者間をベルトで連結してもバッ
クラッシュレスの連結ができ、適当な設計によればスリ
ップレスも実現可能であり、殊に歯型のついたスリップ
レスベルトを用いればスリップもバックラッシュも共に
完全に防いでスリット円板とパルスモータとを連結する
ことができる。In the above embodiment, the slit disk is directly connected to the pulse motor, but backlash-less connection can be made even if both are connected by a belt, and slipless can be realized by an appropriate design. Especially, by using a slipless belt with a tooth profile, both the slip disk and the backlash can be completely prevented and the slit disk and the pulse motor can be connected.
【００１５】[0015]
【発明の効果】本発明は、以上説明したとおり構成され
ているので、スリット幅によって光量が大きく変化して
も、狭いダイナミックレンジのモニタ用検出器で正しく
モニタできる、という効果を有する。Since the present invention is constructed as described above, it has the effect that even if the light amount greatly changes depending on the slit width, it can be correctly monitored by the monitoring detector having a narrow dynamic range.
【図１】分光器スリット機構の一実施例を示す斜視図で
ある。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a spectroscope slit mechanism.
【図２】図１実施例のパルスモータ駆動制御プログラム
のフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart of a pulse motor drive control program of the embodiment of FIG.
【図３】他のスリット円板の正面図である。FIG. 3 is a front view of another slit disk.
【図４】本発明の実施例を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.
１……スリット円板 ２……スリット ３……回折格子 ４……パルスモータ ５……小孔 ６……フォトカプラ ７……コンピュータ ８……操作パネル 1 ... Slit disk 2 ... Slit 3 ... Diffraction grating 4 ... Pulse motor 5 ... Small hole 6 ... Photo coupler 7 ... Computer 8 ... Operation panel
Claims (1)
ト対を透設したスリット円板を有し、出射スリットから
出射した光をビームスプリッタで分割し、分割した一方
の光をモニタ用検出器に導く分光器スリット機構におい
て、 出射スリット幅に反比例してその開口の大きさが設定さ
れた絞り孔を各幅の出射スリットに対応させてスリット
円板に併設し、ビームスプリッタで分割した一方の光を
この絞り孔を通じてモニタ用検出器に導くようにしたこ
とを特徴とする分光器スリット機構。1. A slit circular plate having a plurality of pairs of incident / emission slits having different widths provided on the outer periphery thereof, the light emitted from the emission slit is split by a beam splitter, and one of the split lights is detected for monitoring. In the spectroscope slit mechanism that guides the beam to the instrument, a diaphragm hole whose size is set inversely proportional to the exit slit width is attached to the slit disk corresponding to the exit slit of each width and divided by the beam splitter. The spectroscopic slit mechanism is characterized in that the light of the above is guided to the monitor detector through this aperture.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24561793A JPH0723855B2 (en) | 1993-09-01 | 1993-09-30 | Spectrometer slit mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24561793A JPH0723855B2 (en) | 1993-09-01 | 1993-09-30 | Spectrometer slit mechanism |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06194230A JPH06194230A (en) | 1994-07-15 |
| JPH0723855B2 true JPH0723855B2 (en) | 1995-03-15 |
Family
ID=17136365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24561793A Expired - Lifetime JPH0723855B2 (en) | 1993-09-01 | 1993-09-30 | Spectrometer slit mechanism |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0723855B2 (en) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10323922A1 (en) | 2003-05-22 | 2004-12-16 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Adjustable pinhole |
| DE10323923A1 (en) * | 2003-05-22 | 2004-12-16 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Adjustable pinhole, especially for a laser scanning microscope |
| CN104090315B (en) * | 2014-07-22 | 2016-06-15 | 江南大学 | A kind of slit arrangement for spectrometer |
| CN110187512B (en) * | 2019-06-12 | 2023-12-19 | 中国空气动力研究与发展中心高速空气动力研究所 | Visual-adjustment parabolic mirror color schlieren imaging device |
| CN116429959A (en) * | 2023-06-14 | 2023-07-14 | 山东悟空仪器有限公司 | Multi-slit switching structure for detector |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP24561793A patent/JPH0723855B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06194230A (en) | 1994-07-15 |
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