JPH07237110A - Wire guide device for wire saw - Google Patents
Wire guide device for wire sawInfo
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- JPH07237110A JPH07237110A JP26483194A JP26483194A JPH07237110A JP H07237110 A JPH07237110 A JP H07237110A JP 26483194 A JP26483194 A JP 26483194A JP 26483194 A JP26483194 A JP 26483194A JP H07237110 A JPH07237110 A JP H07237110A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤソーのワイヤを
案内する溝付きのガイドローラの支持構造及びそのガイ
ドローラあるいは、ガイドローラの一種であるその外周
に多重にワイヤを巻き掛けてなるメインローラの摩耗限
界を検出する手段に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure for supporting a guide roller having a groove for guiding a wire of a wire saw and its guide roller, or a main roller having a plurality of wires wound around its outer periphery which is a kind of guide roller. And means for detecting the wear limit of the.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種のワイヤソーでは、切断用のワイ
ヤが送り出し用のリールから切断位置のメインローラに
案内され、さらに巻き取り用のリールに巻き取られるよ
うになっている。このようなワイヤ案内過程で、ワイヤ
の案内位置を規制し、又案内方向を設定するために、多
数のガイドローラが付設されている。尚、切断位置のメ
インローラも、ワイヤの多重巻き掛け位置を規制し、走
行方向を特定しているため、一種のガイドローラであ
る。2. Description of the Related Art In this type of wire saw, a wire for cutting is guided from a reel for sending out to a main roller at a cutting position and further wound around a reel for winding. In the wire guiding process, a large number of guide rollers are provided to regulate the guiding position of the wire and set the guiding direction. The main roller at the cutting position is also a kind of guide roller because it regulates the multiple winding position of the wire and specifies the traveling direction.
【０００３】従来、ガイドローラは、固定の軸に対して
回転可能な状態で挿入され、弾性止めリングを軸に対し
てはめ込むか、あるいは止め板などを軸に対してボルト
により固定して抜け止め状態となっている。そのため、
ローラの摩耗時に、その交換作業が簡単に行えない。Conventionally, the guide roller is inserted rotatably with respect to a fixed shaft, and an elastic stop ring is fitted onto the shaft, or a stop plate or the like is fixed to the shaft with a bolt to prevent the guide roller from coming off. It is in a state. for that reason,
When the roller is worn, it cannot be easily replaced.
【０００４】一方、溝付きローラの摩耗は、従来、目視
確認により判断していた。ところが、多くのガイドロー
ラは、溝部の摩耗が進むと、溝の底が外部から見えにく
い状態となったり、又前記メインローラなどでは、加工
後は研削液で汚れていたり、あるいは取り外しに時間を
要するために溝の摩耗具合を溝に対して上から目視確認
しているため摩耗状態の判断が的確に行われず、結局、
運転時間などからのローラ使用時間の積算から経験的に
交換時期が判断されている。しかし、溝の摩耗が進行す
るとワイヤの断線等による不具合を生じて、高価なワー
クの損失のみならず装置の復旧作業に多くの時間がさか
れてしまい、作業性が悪化するという問題を引き起こ
す。On the other hand, the wear of the grooved roller has hitherto been judged by visual confirmation. However, in many guide rollers, the bottom of the groove becomes difficult to see from the outside as the groove wears, and the main roller is contaminated with grinding fluid after machining, or it takes time to remove it. Therefore, since the wear condition of the groove is visually checked from above with respect to the groove, the wear state cannot be accurately determined, and in the end,
The replacement time is empirically determined by integrating the roller usage time from the operating time. However, when the wear of the groove progresses, a problem such as wire breakage occurs, which not only causes a loss of an expensive work but also a lot of time is required for the work of restoring the apparatus, which causes a problem that workability is deteriorated.
【０００５】[0005]
【発明の目的】本発明の目的は、溝付きのガイドローラ
の交換を簡単に行えるようにすると共に、溝付きのガイ
ドローラの摩耗を目視で確認するか、あるいは電気的な
手段によって、自動的に確認できるようにすることであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to make it easy to replace a grooved guide roller, and to check the wear of the grooved guide roller visually or by an automatic means. Is to be able to confirm.
【０００６】[0006]
【発明の解決手段】上記目的の下に、本発明は、ワイヤ
ソーのガイドローラ支持構造として、一方にボールポラ
ンジャ又は板ばねキーを取り付け、他方にボールプラン
ジャに係り合う係止部又は板ばねにはまり合うキー溝を
設け、ボールプランジャや板ばねの弾力的変位によっ
て、軸に対してガイドローラを簡単に着脱できるように
している。In view of the above object, the present invention provides a guide roller supporting structure for a wire saw, in which a ball pole plunger or a leaf spring key is attached to one side and an engaging portion or a leaf spring engaged with a ball plunger is attached to the other side. A fitting key groove is provided so that the guide roller can be easily attached to and detached from the shaft by elastic displacement of the ball plunger and the leaf spring.
【０００７】他の発明は、前記支持構造において、溝付
きのガイドローラの側面で摩耗限界半径に対応する位置
に、軸方向の孔を形成し、この孔内のワイヤの存在によ
って、交換時期を決定できるようにしている。In another aspect of the invention, in the support structure, an axial hole is formed on a side surface of the grooved guide roller at a position corresponding to the wear limit radius, and the wire is present in the hole to change the replacement time. I am able to make a decision.
【０００８】さらに、他の発明は、溝付きガイドローラ
の溝の摩耗に伴う回転数の増加と交換回転数との比較か
ら判定するか、又は溝の摩耗に伴う溝底部分の接触片と
の電気的な導通を閉回路の電流により検出するか、ある
いはガイドローラの一種であるメインローラの摩耗検出
のように溝が摩耗するとワイヤと接触するようにメイン
ローラの近傍に設置された導電性の板とワイヤとの接触
により電気的閉回路を形成することで、溝の摩耗限界半
径を確認し、この確認時に交換指令を出力するようにし
ている。ここで、この交換指令は、ワイヤソーのシステ
ム系ごとに行われる。Further, according to another aspect of the invention, it is judged from the comparison between the increase in the number of revolutions of the grooved guide roller due to the wear of the groove and the replacement number of revolutions, or the contact piece of the groove bottom portion is accompanied by the wear of the groove. The electrical conduction is detected by the current in the closed circuit, or the conductive roller is installed near the main roller so that it will come into contact with the wire when the groove is worn like the wear detection of the main roller which is a kind of guide roller. By forming an electrically closed circuit by the contact between the plate and the wire, the wear limit radius of the groove is confirmed, and a replacement command is output at the time of this confirmation. Here, this exchange command is issued for each system system of the wire saw.
【０００９】[0009]
【ワイヤソーの概要】図１は、本発明におけるワイヤソ
ー１の概略的な一実施構成を示している。ワイヤソー１
は、ワイヤ２の走行運動及び切断位置に供給される切断
粉末含有液３によって半導体などのワーク４を薄板状に
切断する。[Outline of Wire Saw] FIG. 1 shows a schematic configuration of a wire saw 1 according to the present invention. Wire saw 1
Is used to cut the work 4 such as a semiconductor into a thin plate by the running motion of the wire 2 and the cutting powder-containing liquid 3 supplied to the cutting position.
【００１０】すなわち、ワイヤ２は、送り出し用のリー
ル５から送り出され、リール５の近くのガイドローラ
９、ダンサローラ手段８の近くのガイドローラ９を経て
切断位置で、例えば３本のメインローラ１０に対して等
ピッチで多重に巻き掛けられ、その切断位置でワーク４
と対向し、次に巻き取り側のダンサローラ手段８のガイ
ドローラ９、リール６のガイドローラ９を経て、巻き取
り用のリール６に整列状態で巻き取られるようになって
いる。That is, the wire 2 is fed from the reel 5 for feeding, passes through the guide roller 9 near the reel 5 and the guide roller 9 near the dancer roller means 8 and is cut into three main rollers 10, for example. On the other hand, the work 4 is wound in multiple layers at equal pitches and at the cutting position.
Then, it is wound on the reel 6 for winding through the guide roller 9 of the dancer roller means 8 on the winding side and the guide roller 9 of the reel 6 in an aligned state.
【００１１】切断時に、ワイヤ２は、所定のワイヤ速度
で走行している。これに対し、ワーク４は、切断位置
で、メインローラに多重に巻き掛けられた走行状態のワ
イヤ２にあてがわれ、所定のピッチで薄板状に切断され
る。このとき、切断位置に切断粉末含有液３が供給され
る。そして、前記ガイドローラ９は、後述の図２と、図
３あるいは図４に示すワイヤソー用ワイヤガイド装置１
１によって、ワイヤソー１に組み込まれるようになって
いる。At the time of cutting, the wire 2 is running at a predetermined wire speed. On the other hand, at the cutting position, the work 4 is applied to the running wire 2 that is wound around the main roller in multiple layers, and is cut into a thin plate at a predetermined pitch. At this time, the cutting powder containing liquid 3 is supplied to the cutting position. The guide roller 9 is the wire guide device 1 for the wire saw shown in FIG. 2 and FIG. 3 or 4 which will be described later.
1 is incorporated into the wire saw 1.
【００１２】[0012]
【実施例１】この実施例のワイヤソー用ワイヤガイド装
置１１は、図２に示すように、ボールプランジャ１２を
用いて、ガイドローラ９を固定軸１３に取り付ける具体
例である。Embodiment 1 A wire saw wire guide device 11 of this embodiment is a specific example in which a guide roller 9 is attached to a fixed shaft 13 by using a ball plunger 12, as shown in FIG.
【００１３】すなわち、ガイドローラ９は、外周部分に
例えば１つのガイド溝１４を有しており、中心孔１５の
部分で、ガイドローラ９の回り止め用の溝１６と、フラ
ンジ付きの回転体１８の回り止めピン１７とのはまり合
いによってフランジ付きの回転体１８にはめ込まれてい
る。That is, the guide roller 9 has, for example, one guide groove 14 in the outer peripheral portion, and in the portion of the central hole 15, a groove 16 for preventing rotation of the guide roller 9 and a rotary body 18 with a flange. It is fitted into the rotary body 18 with a flange by fitting with the rotation stop pin 17.
【００１４】フランジ付きの回転体１８は、例えば２つ
の玉軸受け１９によって固定軸１３に対して回転自在に
取り付けられている。尚、固定軸１３は、ねじなどの手
段によってカラー２１とともに、ワイヤソー１のフレー
ム２０などに固定されている。そして、回転体１８の一
方の側面は、固定軸１３に取り付けられたラビリンス形
式のシールカバー２２によって塞がれており、又他方の
側面は、中心孔１５の内部で、ボルト２４によって取り
付けられたカバー２３抜け部分の半径方向でボールプラ
ンジャ１２が１又は２以上埋め込まれており、図３に示
す様に、その先端のボール２５をスプリング２６の弾力
によって、中心孔１５の開口側の係止部２７に当接し、
ガイドローラ９を回転体１８から抜け止め状態としてい
る。The rotary body 18 with a flange is rotatably attached to the fixed shaft 13 by, for example, two ball bearings 19. The fixed shaft 13 is fixed to the frame 20 and the like of the wire saw 1 together with the collar 21 by means such as a screw. Then, one side surface of the rotating body 18 is closed by a labyrinth type seal cover 22 attached to the fixed shaft 13, and the other side surface is attached by a bolt 24 inside the center hole 15. One or two or more ball plungers 12 are embedded in the radial direction of the portion where the cover 23 is removed, and as shown in FIG. 3, the ball 25 at the tip thereof is locked by the spring force of the spring 26 on the opening side of the central hole 15. Abut 27,
The guide roller 9 is in a state of being prevented from coming off from the rotating body 18.
【００１５】ガイドローラ９の交換時に、ガイドローラ
９を回転体１８のフランジ部分から離れる方向に引き抜
けば、ボール２５がスプリング２６に抗して、中心方向
に変位するため、ガイドローラ９は、回転体１８から簡
単に引き抜ける。又新しいガイドローラ９を挿入すると
きにも、溝１６に回り止めピン１７をあてがって、ガイ
ドローラ９を強く押し込み、ボール２５を沈み込ませる
ことによって、ガイドローラ９を回転体１８に対し挿入
する。挿入完了時点で、ボール２５がスプリング２６に
押されて、係止部２７に当たり、そのガイドローラ９を
抜け止め状態とする。これによって、ガイドローラ９の
交換がワンタッチで簡単な操作により行える。At the time of exchanging the guide roller 9, if the guide roller 9 is pulled away from the flange portion of the rotating body 18, the ball 25 is displaced in the central direction against the spring 26. It can be easily pulled out from the rotating body 18. Also, when inserting a new guide roller 9, the guide roller 9 is inserted into the rotating body 18 by applying the detent pin 17 to the groove 16 and strongly pushing the guide roller 9 to sink the ball 25. . At the time of completion of insertion, the ball 25 is pushed by the spring 26 and hits the locking portion 27, so that the guide roller 9 thereof is prevented from coming off. As a result, the guide roller 9 can be replaced by a simple operation with one touch.
【００１６】[0016]
【実施例２】この実施例のワイヤソー用ワイヤガイド装
置１１は、図４に示すように、回転体１８に対するガイ
ドローラ９の係止を図２と図３に示すボールプランジャ
１２に代えて１又は２以上の板ばねキー２８を用いて行
う例である。[Embodiment 2] As shown in FIG. 4, the wire saw wire guide device 11 of the present embodiment is arranged such that the guide roller 9 is locked to the rotating body 18 by replacing the ball plunger 12 shown in FIGS. In this example, two or more leaf spring keys 28 are used.
【００１７】すなわち、板ばねキー２８は、回転体１８
の周面で、板ばねキー２８の一端又は両端の取り付けね
じ２９によって、軸線方向に取り付けられており、ガイ
ドローラ９の中心孔１５のキー溝３０と対応している。
ガイドローラ９の装着時に、板ばねキー２８は、中心方
向に撓みながら、キー溝３０にはまり合って、ガイドロ
ーラ９と回転体１８との相対的な回転をなくして、回り
止め状態とし、且つ回転体１８からガイドローラ９の抜
け止めを弾力的な摩擦により阻止している。That is, the leaf spring key 28 is the rotary member 18
The leaf spring key 28 is axially mounted on the circumferential surface thereof by mounting screws 29 at one or both ends of the leaf spring key 28 and corresponds to the key groove 30 of the central hole 15 of the guide roller 9.
When the guide roller 9 is attached, the leaf spring key 28 is bent in the central direction and fits into the key groove 30 to eliminate the relative rotation between the guide roller 9 and the rotating body 18 to prevent rotation. The retaining of the guide roller 9 from the rotating body 18 is prevented by elastic friction.
【００１８】この実施例でも、ガイドローラ９の装着が
ワンタッチで行える。しかも、この装着状態で、板ばね
キー２８は、中心から離れる方向の弾力を作用させるこ
とによって、中心孔１５と回転体１８とのはまり合い部
分のがたつきを防止している。Also in this embodiment, the mounting of the guide roller 9 can be performed with one touch. Moreover, in this mounted state, the leaf spring key 28 prevents the rattling of the fitting portion between the center hole 15 and the rotating body 18 by exerting an elastic force in a direction away from the center.
【００１９】[0019]
【実施例３】この実施例は、図５に示すように、前記実
施例１又は実施例２のガイドローラ９の支持構造におい
て、ガイドローラ９の摩耗限界半径Ｒに対応する位置
に、孔３１を形成し、その孔３１の孔内でワイヤ２の存
在を確認したとき、そのガイドローラ９の交換必要時と
判断する例である。Third Embodiment In this embodiment, as shown in FIG. 5, in the support structure of the guide roller 9 of the first embodiment or the second embodiment, a hole 31 is formed at a position corresponding to the wear limit radius R of the guide roller 9. This is an example of determining that the guide roller 9 needs to be replaced when the wire 2 is formed in the hole 31 and the presence of the wire 2 is confirmed in the hole.
【００２０】ガイド溝１４の摩耗が進行すると、ガイド
溝１４の底部の半径ｒが次第に小さくなる。やがて、こ
の半径ｒが摩耗限界半径Ｒに近づくと、そのガイド溝１
４に巻き掛けられているワイヤ２が孔３１の近くに入り
込むため、孔３１を通して、そのワイヤ２の存在が目視
できるようになる。これによって、ガイドローラ９の限
界摩耗の状態がガイドローラ９の側面から簡単に確認で
きる。As the wear of the guide groove 14 progresses, the radius r of the bottom portion of the guide groove 14 becomes gradually smaller. When this radius r soon approaches the wear limit radius R, the guide groove 1
Since the wire 2 wound around the wire 4 enters near the hole 31, the existence of the wire 2 can be visually confirmed through the hole 31. As a result, the state of the limit wear of the guide roller 9 can be easily confirmed from the side surface of the guide roller 9.
【００２１】尚、孔３１は、ガイドローラ９の側面を貫
通して形成しても良く、あるいはガイド溝１４の底部の
摩耗により孔３１を通してワイヤ２の存在が確認できる
程度の深さに形成しても良い。さらに、この確認のため
の判別容易化のために、孔３１の外側の部分や、ガイド
ローラ９の側面をワイヤ２に対する光学的に色相が反対
色であるように着色すると有利である。The hole 31 may be formed so as to penetrate the side surface of the guide roller 9, or may be formed to a depth such that the existence of the wire 2 can be confirmed through the hole 31 due to wear of the bottom of the guide groove 14. May be. Further, for facilitating discrimination for this confirmation, it is advantageous to color the outer portion of the hole 31 and the side surface of the guide roller 9 so that the hue is optically opposite to that of the wire 2.
【００２２】[0022]
【実施例４】この実施例は、ガイド溝１４の摩耗、つま
り底部の半径ｒの縮小に伴うガイドローラ９の回転数の
増加を検出して、その交換時期を判断する例である。Fourth Embodiment This embodiment is an example of detecting the wear of the guide groove 14, that is, the increase of the rotation speed of the guide roller 9 due to the reduction of the radius r of the bottom portion, and determining the replacement time.
【００２３】すなわち、ワイヤソー用ワイヤガイド装置
１１は、図６に示すように、ガイドローラ９に連結され
た回転検出器３２と、ワイヤ速度Ｖ及び摩耗限界半径Ｒ
から交換回転数を演算する演算器３３、交換回転数を記
憶する記憶器３４、実測の回転数と交換回転数とを比較
して交換指令を出力する比較処理器３５と、交換指令を
表示する表示器３６とによって構成されている。That is, as shown in FIG. 6, the wire saw wire guide device 11 includes the rotation detector 32 connected to the guide roller 9, the wire speed V, and the wear limit radius R.
To display a replacement command, a calculator 33 that calculates the replacement rotation speed, a storage device 34 that stores the replacement rotation speed, a comparison processor 35 that compares the measured rotation speed with the replacement rotation speed and outputs a replacement command. And a display 36.
【００２４】ここで、前記回転検出器３２は、システム
系、つまり切断系、ダンサローラ系、他のガイド系など
に分類され、それらの代表的な１つのガイドローラ９に
接続されている。ワイヤソー１の運転に先立ち、ワイヤ
速度Ｖが演算器３３に入力される。そこで、演算器３３
は、ワイヤ速度Ｖと、摩耗限界半径Ｒから、そのときの
交換回転数Ｎを計算により求め、それを系列毎に記憶器
３４に記憶させておく。前記比較処理器３５は、ワイヤ
ソー１の運転中に、図７のプログラムを実行することに
よって、ガイドローラ９の摩耗状態を判定していく。The rotation detector 32 is classified into a system system, that is, a cutting system, a dancer roller system, another guide system, etc., and is connected to one of the representative guide rollers 9. Prior to the operation of the wire saw 1, the wire speed V is input to the calculator 33. Therefore, the calculator 33
Calculates the replacement rotational speed N at that time from the wire speed V and the wear limit radius R, and stores it in the storage unit 34 for each series. The comparison processor 35 determines the wear state of the guide roller 9 by executing the program of FIG. 7 during the operation of the wire saw 1.
【００２５】まず、プログラムの開始後、検査周期がき
た時点で、検査対象の系（ｋ）を指定し、ガイドローラ
９の回転数（ｎｋ）を回転検出器３２から取り込むとと
もに、記憶器３４から対応の摩耗限界半径Ｒに対応する
交換回転数（Ｎｋ）を取り込む。比較処理器３５は、実
測の回転数（ｎｋ）＞交換回転数（Ｎｋ）かの判断を行
い、不成立のときに正常表示を行い、又成立時に交換表
示の出力を発生し、表示器３６に送り込む。First, after the start of the program, at the time when the inspection cycle comes, the system (k) to be inspected is designated, the rotation speed (nk) of the guide roller 9 is fetched from the rotation detector 32, and stored from the memory 34. The replacement rotation speed (Nk) corresponding to the corresponding wear limit radius R is fetched. The comparison processor 35 determines whether the measured rotation speed (nk)> replacement rotation speed (Nk), displays a normal display if not established, and generates a replacement display output when established, and causes the display 36 to display. Send in.
【００２６】そこで、表示器３６は、対応の系に対応す
るランプなどを点灯させて、正常表示又は交換表示を行
うとともに、必要に応じてブザーなどの警告を発生させ
る。このようにして、比較処理器３５は、所定の検査周
期毎に、系を指定しながら、系毎に交換時期の判定処理
を行っていく。この実施例のものは、単独で、又は前記
実施例３のものと組み合わせて実用化される。Therefore, the display device 36 lights up a lamp or the like corresponding to the corresponding system to perform a normal display or a replacement display, and issues a warning such as a buzzer if necessary. In this way, the comparison processor 35 performs the determination process of the replacement timing for each system while designating the system for each predetermined inspection cycle. The device of this embodiment is put to practical use alone or in combination with the device of the third embodiment.
【００２７】[0027]
【実施例５】この実施例は、図８に示すように、ワイヤ
２に直流又は交流の電圧を印加しておき、ワイヤ２とガ
イドローラ９の内部の接触片３７との接触による電流を
電流検出器３８によって検出し、その電流レベルから摩
耗限界を処理器３９によって識別し、表示器４０に判定
信号を出力し、交換時期を表示させる例である。Fifth Embodiment In this embodiment, as shown in FIG. 8, a direct current or an alternating current voltage is applied to the wire 2, and the current generated by the contact between the wire 2 and the contact piece 37 inside the guide roller 9 is applied. This is an example in which the detector 38 detects the wear limit, the processor 39 identifies the wear limit based on the current level, and outputs a determination signal to the display 40 to display the replacement time.
【００２８】すなわち、ガイドローラ９の中心孔１５の
内部に摩耗限界半径Ｒと対応して、導電性の接触片３７
が半径方向に１又は２以上形成され、ガイド溝１４の底
部分に対応している。接触片３７は、前記実施例１、２
の回転体１８、固定軸１３を経て直流又は交流の電源４
１の一端に接続されており、又ワイヤ２は、電源４１の
他端に接続されている。That is, a conductive contact piece 37 corresponding to the wear limit radius R is provided inside the center hole 15 of the guide roller 9.
1 or 2 or more are formed in the radial direction and correspond to the bottom portion of the guide groove 14. The contact piece 37 is the same as in the first and second embodiments.
DC or AC power source 4 through the rotating body 18 and the fixed shaft 13
1 and the wire 2 is connected to the other end of the power supply 41.
【００２９】そして、電流検出器３８は、系ごとに設け
られており、共通の処理器３９を経て、表示器４０に接
続されている。ガイドローラ９の材質がポリウレタン
で、絶縁体であるため、ガイド溝１４が摩耗しない状態
では、そのガイドローラ９の位置でワイヤ２と接触片３
７では、直流的に非導通状態、又は交流的に高インピー
ダンスの状態にある。The current detector 38 is provided for each system, and is connected to the display 40 via a common processor 39. Since the material of the guide roller 9 is polyurethane and is an insulator, when the guide groove 14 is not worn, the wire 2 and the contact piece 3 are placed at the position of the guide roller 9.
In No. 7, it is in a non-conducting state in terms of direct current or in a high impedance state in terms of alternating current.
【００３０】しかし、ガイド溝１４が摩耗して、摩耗限
界半径Ｒに到達して、接触片３７の先端部分と干渉する
と、ワイヤ２が接触片３７に対して電気的に接触し、導
通状態又は低インピーダンス状態となる。この結果、ワ
イヤ２に電源４１からの電流が流れるか、又はそれが増
加するため、電流検出器３８は、それを検出して、検出
信号を処理器３９に送る。処理器３９は、その信号レベ
ルを基準のしきい値と比較するしきい値処理を行った
後、摩耗状態を確定し、そのガイドローラ９の系を指定
しながら、交換指令の信号を表示器４０に送り、対応の
ランプや警報などを発生させる。However, when the guide groove 14 wears and reaches the wear limit radius R and interferes with the tip portion of the contact piece 37, the wire 2 makes electrical contact with the contact piece 37 and is in a conductive state or It is in a low impedance state. As a result, the current from the power supply 41 flows through the wire 2 or increases, so that the current detector 38 detects it and sends a detection signal to the processor 39. The processor 39 performs threshold processing for comparing the signal level with a reference threshold, determines the wear state, and designates the system of the guide roller 9 while displaying the signal of the replacement command. 40, and a corresponding lamp or alarm is generated.
【００３１】通常、ワイヤ２には、ワイヤ切れ検出用の
電流が流されているため、この装置は、ワイヤ切断検出
装置の一部として組み込むこともできる。この実施例の
ものは、単独で、又は前記実施例３のものと組み合わせ
て実用化される。Since a current for detecting wire breakage is normally applied to the wire 2, this device can be incorporated as a part of the wire breakage detection device. The device of this embodiment is put to practical use alone or in combination with the device of the third embodiment.
【００３２】[0032]
【実施例６】この実施例は、図９に示すように、ワイヤ
２に直流又は交流の電圧を印加しておき、ワイヤ２とメ
インローラ１０が摩耗限界半径まで摩耗すると接触する
ようにメインローラ１０の近傍に設置された導電性の接
触片５０との接触による電流を電流検出器３８によって
検出し、その電流レベルから摩耗限界を処理器３９によ
って識別し、表示器４０に判定信号を出力し、交換時期
を表示させる。Sixth Embodiment In this embodiment, as shown in FIG. 9, a DC or AC voltage is applied to the wire 2 so that the wire 2 and the main roller 10 come into contact with each other when they wear to the wear limit radius. The current due to the contact with the conductive contact piece 50 installed in the vicinity of 10 is detected by the current detector 38, the wear limit is identified by the processor 39 from the current level, and the determination signal is output to the display 40. , Display the replacement time.
【００３３】すなわち、メインローラ１０の摩耗限界半
径Ｒと対応して、メインローラ１０のガイド溝１４が摩
耗して、メインローラ１０の摩耗限界半径Ｒまで達した
ときに導電性の接触片５０がワイヤ２と接触するように
設置されている。導電性の接触片５０は、直流又は交流
の電源４１の一端に接続されており、又ワイヤ２は、電
源４１の他端に接続されている。That is, when the guide groove 14 of the main roller 10 is worn in correspondence with the wear limit radius R of the main roller 10 and reaches the wear limit radius R of the main roller 10, the conductive contact piece 50 is removed. It is installed so as to come into contact with the wire 2. The conductive contact piece 50 is connected to one end of a DC or AC power supply 41, and the wire 2 is connected to the other end of the power supply 41.
【００３４】そして、電流検出器３８は、各メインロー
ラ１０ごとに設けられており、共通の処理器３９を経
て、表示器４０に接続されている。ワイヤ２と導電性の
接触片５０とは、メインローラ１０のガイド溝１４が摩
耗していないときには、空間が保たれており、ワイヤ２
と導電性の接触片５０では、直流的に非導通状態、又は
交流的に高インピーダンスの状態にある。The current detector 38 is provided for each main roller 10 and is connected to the display 40 via a common processor 39. A space is maintained between the wire 2 and the conductive contact piece 50 when the guide groove 14 of the main roller 10 is not worn.
And the conductive contact piece 50 are in a non-conductive state in terms of direct current or in a high impedance state in terms of alternating current.
【００３５】しかし、ガイド溝１４が摩耗して、摩耗限
界半径Ｒに到達して、導電性の接触片５０の先端部分と
ワイヤ２が干渉すると、ワイヤ２が導電体の板５０に対
して電気的に接触し、導通状態又は低インピーダンス状
態となる。この結果、ワイヤ２に電源４１からの電流が
流れるか、又はそれが増加するため、電流検出器３８
は、それを検出して、検出信号を処理器３９に送る。処
理器３９は、その信号レベルを基準のしきい値と比較す
るしきい値処理を行った後、摩耗状態を確定し、そのメ
インローラ１０の系を指定しながら、交換指令の信号を
表示器４０に送り、対応のランプや警報などを発生させ
る。However, when the guide groove 14 is worn to reach the wear limit radius R and the tip portion of the conductive contact piece 50 interferes with the wire 2, the wire 2 is electrically connected to the conductor plate 50. Are brought into contact with each other to be in a conductive state or a low impedance state. As a result, the current from the power supply 41 flows through the wire 2 or increases, so that the current detector 38
Detects it and sends a detection signal to the processor 39. The processor 39 performs threshold processing for comparing the signal level with a reference threshold, determines the wear state, and designates the system of the main roller 10 while displaying a signal of a replacement command. 40, and a corresponding lamp or alarm is generated.
【００３６】通常、ワイヤ２には、ワイヤ切れ検出用の
電流が流されているため、この装置は、ワイヤ切断検出
装置の一部として組み込むこともできる。Since a wire breakage detection current is normally applied to the wire 2, this device can be incorporated as a part of the wire breakage detection device.
【００３７】[0037]
【発明の効果】本発明では、下記の効果がある。固定軸
に対してガイドローラがボールプランジャや板ばねキー
などの弾性作用にとって、簡単に抜け止め状態となり、
しかも強い力で、取り外せる状態となっているため、ガ
イドローラの交換作業がワンタッチで簡単に行える。The present invention has the following effects. Due to the elastic action of the ball plunger, leaf spring key, etc., the guide roller easily locks against the fixed shaft,
Moreover, since it can be removed with a strong force, the guide roller can be easily replaced with one touch.
【００３８】又、ガイドローラ及びガイドローラの一種
であるメインローラの摩耗状態検出手段が付設されてい
るので、ガイドローラのガイド溝の摩耗状態が簡単に、
あるいは自動的に確認できるために、その交換が適切な
時期に行える。又、作業者の違い等による交換時期のバ
ラツキをなくすことができるため、効率よい交換が実施
できることにある。Further, since the guide roller and the wear state detecting means for the main roller, which is a kind of the guide roller, are additionally provided, the wear state of the guide groove of the guide roller can be easily
Or, since it can be automatically confirmed, the replacement can be performed at an appropriate time. Further, since it is possible to eliminate the variation in the replacement time due to the difference in operators, it is possible to carry out the efficient replacement.
【００３９】一方、摩耗検出手段が、孔の場合には、簡
単な構成でガイドローラの側面から視覚的に確認できる
ため、電気的な装置を用いないで簡単な構成で実施でき
る。On the other hand, when the wear detecting means is a hole, it can be visually confirmed from the side surface of the guide roller with a simple structure, so that it can be implemented with a simple structure without using an electric device.
【００４０】又、ガイドローラのガイド溝の摩耗状態を
その回転数の変化から検出する場合では、摩耗状態の検
出が正確に行われるために、摩耗によるガイドローラの
交換時期の遅れなどに伴う切断精度の低下などが未然に
防止できる。さらに、ガイド溝の摩耗状態をワイヤと導
電性の接触片との電気的な導通状態により検出する場
合、ワイヤの断線検出装置の一部として実施が容易とな
る。When the wear state of the guide groove of the guide roller is detected from the change in the number of rotations, the wear state is accurately detected. It is possible to prevent deterioration of accuracy. Further, when the wear state of the guide groove is detected by the electrical conduction state between the wire and the conductive contact piece, it can be easily implemented as a part of the wire disconnection detection device.
【図１】本発明におけるワイヤソーの概略的な説明図で
ある。FIG. 1 is a schematic explanatory view of a wire saw according to the present invention.
【図２】本発明の実施例１のワイヤソー用ワイヤガイド
装置の拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the wire guide device for a wire saw according to the first embodiment of the present invention.
【図３】図２の要部の拡大断面図である。3 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG.
【図４】本発明の実施例２のワイヤソー用ワイヤガイド
装置の要部の拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a main part of a wire guide device for a wire saw according to a second embodiment of the present invention.
【図５】本発明の実施例３でのガイドローラの拡大側面
図である。FIG. 5 is an enlarged side view of a guide roller according to a third exemplary embodiment of the present invention.
【図６】本発明の実施例４でのワイヤソー用ワイヤガイ
ド装置のブロック線図である。FIG. 6 is a block diagram of a wire guide device for a wire saw according to a fourth embodiment of the present invention.
【図７】本発明の実施例４での動作のフローチャート図
である。FIG. 7 is a flowchart of an operation according to the fourth embodiment of the present invention.
【図８】本発明の実施例５でのワイヤソー用ワイヤガイ
ド装置のブロック線図である。FIG. 8 is a block diagram of a wire guide device for a wire saw according to a fifth embodiment of the present invention.
【図９】本発明の実施例６でのメインローラのブロック
線図である。FIG. 9 is a block diagram of a main roller according to a sixth embodiment of the present invention.
１ ワイヤソー ２ ワイヤ ９ ガイドローラ １０ ガイドローラの一種としてのメインローラ １１ ワイヤソー用ワイヤガイド装置 １２ ボールプランジャ １３ 固定軸 １４ ガイド溝 １５ 中心孔 １８ フランジ付きの回転体 １９ 玉軸受け ２７ 係止部 ２８ 板ばねキー ３０ キー溝 ３１ 貫通孔 ３２ 回転検出器 ３３ 演算器 ３４ 記憶器 ３５ 比較処理器 ３６ 表示器 ３７ 接触片 ３８ 電流検出器 ３９ 処理器 ４０ 表示器 ４１ 電源 ５０ 導電性の接触片 1 Wire Saw 2 Wire 9 Guide Roller 10 Main Roller as a Type of Guide Roller 11 Wire Saw Wire Guide Device 12 Ball Plunger 13 Fixed Shaft 14 Guide Groove 15 Center Hole 18 Rotating Body with Flange 19 Ball Bearing 27 Locking Part 28 Leaf Spring Key 30 Key groove 31 Through hole 32 Rotation detector 33 Operator 34 Memory device 35 Comparison processor 36 Indicator 37 Contact piece 38 Current detector 39 Processor 40 Indicator 41 Power supply 50 Conductive contact piece
Claims (6)
付きのガイドローラを固定軸に対して回転自在に挿入す
るとともに、ガイドローラと固定軸のいずれか一方にボ
ールプランジャを取り付け、他方にこのボールプランジ
ャと係り合う係止部を形成してなることを特徴とするワ
イヤソー用ワイヤガイド装置。1. A guide roller with a groove for guiding a wire of a wire saw is rotatably inserted into a fixed shaft, and a ball plunger is attached to either one of the guide roller and the fixed shaft, and the ball is attached to the other. A wire guide device for a wire saw, characterized in that a locking portion that engages with the plunger is formed.
付きのガイドローラを固定軸に対して回転自在に挿入す
るとともに、ガイドローラと固定軸のいずれか一方に板
ばねキーを取り付け、他方にこの板ばねキーにはまり合
うキー溝を形成してなることを特徴とするワイヤソー用
ワイヤガイド装置。2. A guide roller having a groove for guiding a wire of a wire saw is rotatably inserted into a fixed shaft, and a leaf spring key is attached to one of the guide roller and the fixed shaft, and the other is attached to the other. A wire guide device for a wire saw, characterized in that a key groove that fits in a leaf spring key is formed.
応する位置に軸線方向のワイヤ確認用の孔を形成してな
ることを特徴とするワイヤソー用ワイヤガイド装置。3. A wire guide device for a wire saw, characterized in that a hole for wire confirmation in the axial direction is formed at a position corresponding to a wear limit radius on a side surface of the guide roller.
のガイドローラと、このガイドローラに連結され回転数
を実測する回転検出器と、ワイヤ速度及びガイドローラ
の摩耗限界半径から交換回転数を演算する演算器と、こ
の演算器によって計算された交換回転数を記憶する記憶
器と、実測の回転数及び交換回転数を入力とし、実測の
回転数が交換回転数より大となったときに、交換指令を
出力する比較処理器と、この比較処理器からの交換指令
に基づいて交換表示のための表示を行う表示器とからな
ることを特徴とするワイヤソー用ワイヤガイド装置。4. A guide roller with a groove around which a wire of a wire saw is wound, a rotation detector connected to the guide roller to measure the rotation speed, and a replacement rotation speed is calculated from the wire speed and the wear limit radius of the guide roller. A calculator, a memory for storing the replacement rotation speed calculated by this calculator, and an input of the measured rotation speed and the replacement rotation speed, and when the measured rotation speed exceeds the replacement rotation speed, the replacement is performed. A wire guide device for a wire saw, comprising: a comparison processor that outputs a command; and a display device that displays a replacement display based on a replacement command from the comparison processor.
のガイドローラと、このガイドローラの摩耗限界半径の
位置に埋め込まれた導電性の接触片と、この接触片及び
ワイヤを含む電気回路に電圧を印加する電源と、ワイヤ
と接触片との接触時に閉回路に流れる電流を検出する電
流検出器と、この電流検出器の出力に応じて交換表示を
行う表示器とからなることを特徴とするワイヤソー用ワ
イヤガイド装置。5. A grooved guide roller around which a wire of a wire saw is wound, a conductive contact piece embedded at a wear limit radius position of the guide roller, and a voltage is applied to an electric circuit including the contact piece and the wire. A wire saw characterized by comprising a power source to be applied, a current detector for detecting a current flowing in a closed circuit when the wire and the contact piece come into contact with each other, and an indicator for performing a replacement display according to the output of the current detector. Wire guide device.
のガイドローラと、このガイドローラの近傍に設置した
導電性の接触片と、この接触片及びワイヤを含む電気回
路に電圧を印加する電源と、このワイヤと導電性の接触
片との接触時にワイヤ、導電性の接触片及び前記電源と
で構成される閉回路に流れる電流を検出する電流検出器
と、この電流検出器の出力に応じて交換指示を表示する
表示器とからなることを特徴とするワイヤソーにおける
ワイヤガイド装置。6. A guide roller with a groove around which a wire of a wire saw is wound, a conductive contact piece installed in the vicinity of the guide roller, and a power source for applying a voltage to an electric circuit including the contact piece and the wire. A current detector that detects the current flowing in a closed circuit composed of the wire, the conductive contact piece, and the power supply when the wire contacts the conductive contact piece, and is replaced according to the output of this current detector. A wire guide device for a wire saw, comprising: a display for displaying an instruction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26483194A JPH07237110A (en) | 1993-12-29 | 1994-10-28 | Wire guide device for wire saw |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-353463 | 1993-12-29 | ||
| JP35346393 | 1993-12-29 | ||
| JP26483194A JPH07237110A (en) | 1993-12-29 | 1994-10-28 | Wire guide device for wire saw |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07237110A true JPH07237110A (en) | 1995-09-12 |
Family
ID=26546701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26483194A Pending JPH07237110A (en) | 1993-12-29 | 1994-10-28 | Wire guide device for wire saw |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07237110A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100723127B1 (en) * | 2005-12-26 | 2007-05-30 | 주식회사 포스코 | Apparatus for detecting abrasion guide of wire rod |
| KR20130077053A (en) * | 2011-12-29 | 2013-07-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | Apparatus for conveying substrate |
| CN105798385A (en) * | 2016-04-22 | 2016-07-27 | 北京微纳精密机械有限公司 | Tensioning structure device for wire saw |
| WO2017141382A1 (en) * | 2016-02-17 | 2017-08-24 | 三菱電機株式会社 | Multi-wire traveling module, method for using multi-wire traveling module, and wire electrical dischage machine |
| KR102593634B1 (en) * | 2023-07-07 | 2023-10-26 | 주식회사 마루엘앤씨 | Wire rod deposition system |
-
1994
- 1994-10-28 JP JP26483194A patent/JPH07237110A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP6257839B1 (en) * | 2016-02-17 | 2018-01-10 | 三菱電機株式会社 | Multi-wire travel module, method of using multi-wire travel module, and wire electric discharge machine |
| CN105798385A (en) * | 2016-04-22 | 2016-07-27 | 北京微纳精密机械有限公司 | Tensioning structure device for wire saw |
| KR102593634B1 (en) * | 2023-07-07 | 2023-10-26 | 주식회사 마루엘앤씨 | Wire rod deposition system |
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