JPH07236804A - Exhaust gas treatment apparatus for synthesizing equipment for optical fiber glass - Google Patents
Exhaust gas treatment apparatus for synthesizing equipment for optical fiber glassInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ用ガラス合
成設備の廃ガス処理装置に関し、特にプリコート式バグ
フィルタを用いた廃ガス処理装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a waste gas treatment device for glass synthesizing equipment for optical fibers, and more particularly to a waste gas treatment device using a precoat type bag filter.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光ファイバ用ガラス合成設備の廃ガスに
は、ＨＣｌやＣｌ2 などの有害物質が含まれているた
め、光ファイバ用ガラス合成設備には廃ガスから有害物
質を取り除く廃ガス処理装置が設けられている。2. Description of the Related Art Since the waste gas of optical fiber glass synthesis equipment contains harmful substances such as HCl and Cl 2, waste gas treatment for removing harmful substances from the waste gas in optical fiber glass synthesis equipment A device is provided.
【０００３】最近、この廃ガス処理装置の中にプリコー
ト式バグフィルタを組み込むことが検討されている。プ
リコート式バグフィルタは従来、ゴミ焼却炉の廃ガス処
理装置などに使用されているもので、通常のバグフィル
タに導入される廃ガスにプリコート剤を添加することに
より、集塵効率および有害物質除去率を高めると共に、
ろ布からの集塵灰の払い落とし性を良くしたものであ
る。Recently, it has been considered to incorporate a precoat type bag filter into this waste gas treatment device. The pre-coat type bag filter has been conventionally used in waste gas treatment equipment of garbage incinerators, etc.By adding a pre-coating agent to the waste gas introduced into a normal bag filter, dust collection efficiency and removal of harmful substances Increase the rate,
It has a good property of removing dust ash from the filter cloth.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来のプリコート式バ
グフィルタは、廃ガスに常時一定量のプリコート剤を添
加する方式が一般的である。しかし光ファイバ用ガラス
を合成する場合には、合成過程の初期と終期では原料ガ
スの成分が異なるため、廃ガス中に含まれる有害物質の
濃度が変化する。また廃ガス処理装置は通常、複数台の
合成設備から出る廃ガスを集合して処理する方式である
ため、このような方式では廃ガス処理装置に導入される
廃ガス中の有害物質濃度がさらに大きく変化する。In the conventional precoat type bag filter, a system in which a fixed amount of the precoat agent is always added to the waste gas is generally used. However, when synthesizing glass for optical fibers, the components of the raw material gas are different at the beginning and the end of the synthesizing process, so the concentration of harmful substances contained in the waste gas changes. In addition, since the waste gas treatment device is usually a system that collects and processes waste gas from a plurality of synthesis facilities, such a system further increases the concentration of harmful substances in the waste gas introduced into the waste gas treatment device. It changes a lot.
【０００５】このように、除去すべき有害物質の濃度が
変化する廃ガスの処理装置に、従来のプリコート式バグ
フィルタ（常時一定量のプリコート剤を添加するもの）
を適用すると、次のような問題が生じる。すなわち、廃
ガスの有害物質濃度に対してプリコート剤の添加量が少
なすぎると、バグフィルタでの有害物質除去率が低下
し、その後工程にある廃ガス処理ユニットの負荷が増大
したり、排気ガス中の有害物質濃度が基準をオーバーし
たりするおそれがある。また廃ガスの有害物質濃度に対
してプリコート剤の添加量が多すぎると、プリコート剤
の使用量および集塵灰の排出量が多くなり、ランニング
コストおよび産業廃棄物量の増大を招くことになる。As described above, the conventional precoat type bag filter (which constantly adds a fixed amount of precoat agent) to the waste gas treatment apparatus in which the concentration of the harmful substance to be removed changes.
When applied, the following problems occur. That is, if the addition amount of the precoating agent is too small with respect to the concentration of harmful substances in the waste gas, the removal rate of harmful substances in the bag filter decreases, and the load of the waste gas treatment unit in the subsequent process increases or the exhaust gas The concentration of harmful substances in it may exceed the standard. If the amount of the pre-coating agent added is too large with respect to the concentration of harmful substances in the waste gas, the amount of pre-coating agent used and the amount of dust ash discharged will increase, leading to an increase in running costs and industrial waste.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、このような問
題点を解決した光ファイバ用ガラス合成設備の廃ガス処
理装置を提供するもので、請求項１の発明は、光ファイ
バ用ガラス合成設備の廃ガスの処理を行うためのプリコ
ート式バグフィルタを含む廃ガス処理装置において、プ
リコート式バグフィルタの入口に廃ガス中の有害物質濃
度を検出する濃度検出手段を設けると共に、その濃度検
出手段で検出した有害物質濃度に応じてプリコート式バ
グフィルタのプリコート剤添加量を自動的に制御する制
御手段を設けたことを特徴とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a waste gas treatment apparatus for optical fiber glass synthesizing equipment which solves the above problems, and the invention of claim 1 relates to the optical fiber glass synthesizing apparatus. In a waste gas treatment device including a precoat type bag filter for treating waste gas of equipment, a concentration detecting means for detecting the concentration of harmful substances in the waste gas is provided at the inlet of the precoat type bag filter, and the concentration detecting means The present invention is characterized in that a control means for automatically controlling the addition amount of the pre-coating agent of the pre-coating type bag filter is provided according to the harmful substance concentration detected in (3).
【０００７】また請求項２の発明は、光ファイバ用ガラ
ス合成設備の廃ガスの処理を行うためのプリコート式バ
グフィルタを含む廃ガス処理装置において、光ファイバ
用ガラス合成設備の原料ガス供給量からプリコート式バ
グフィルタのプリコート剤の添加量を演算する演算手段
を設け、その演算手段の出力に応じてプリコート剤添加
量を自動的に制御する制御手段を設けたことを特徴とす
るものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a waste gas treatment device including a precoat type bag filter for treating waste gas of the optical fiber glass synthesizing equipment, wherein the raw gas supply amount of the optical fiber glass synthesizing equipment is changed. The present invention is characterized in that a calculation means for calculating the addition amount of the precoat agent of the precoat type bag filter is provided, and a control means for automatically controlling the addition amount of the precoat agent according to the output of the calculation means is provided.
【０００８】[0008]
【作用】請求項１の発明では、プリコート式バグフィル
タに導入される廃ガス中の有害物質濃度が高いときはプ
リコート剤の添加量を多く、有害物質濃度が低いときは
プリコート剤の添加量を少なくするように制御が行われ
る。これにより必要最少限のプリコート剤の使用によ
り、必要な廃ガス処理効率を確保する。According to the first aspect of the invention, when the concentration of harmful substances in the waste gas introduced into the precoat type bag filter is high, the amount of the precoating agent added is large, and when the concentration of the harmful substances is low, the amount of precoating agent added is large. Control is performed to reduce the number. This ensures the required waste gas treatment efficiency by using the minimum necessary pre-coating agent.
【０００９】また廃ガス中の有害物質濃度は、光ファイ
バ用ガラス合成設備の原料ガスの使用量と一定の相関が
あるので、請求項２の発明は、光ファイバ用ガラス合成
設備の原料ガス供給量から廃ガス中の有害物質濃度（す
なわちプリコート剤の添加量）を求め、それによって請
求項１と同様の制御を行うものである。Further, since the concentration of harmful substances in the waste gas has a certain correlation with the amount of the raw material gas used in the optical fiber glass synthesizing equipment, the invention of claim 2 supplies the raw material gas in the optical fiber glass synthesizing equipment. The harmful substance concentration in the waste gas (that is, the amount of the precoating agent added) is determined from the amount, and the same control as in claim 1 is performed by the determination.
【００１０】これにより、プリコート式バグフィルタの
後工程の廃ガス処理ユニットの過負荷、排気ガス中の有
害物質濃度の基準オーバー、プリコート剤の過剰使用、
集塵灰の過剰排出を抑制することが可能となる。As a result, overloading of the waste gas treatment unit in the post-process of the precoat type bag filter, exceeding the standard of the harmful substance concentration in the exhaust gas, excessive use of the precoat agent,
It is possible to suppress excessive discharge of collected ash.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図１は請求項１の発明の実施例を示す。こ
の装置は、光ファイバ用ガラス合成設備11から出た廃ガ
スを、まずプリコート式バグフィルタ13で処理し、次に
充填塔式スクラバーなどの廃ガス処理ユニット15で処理
するものである。有害物質を除去した廃ガスはファン17
により大気中に放出される。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the invention of claim 1. In this apparatus, the waste gas discharged from the optical fiber glass synthesis facility 11 is first treated by a precoat type bag filter 13 and then by a waste gas treatment unit 15 such as a packed tower type scrubber. Waste gas from which harmful substances have been removed is a fan 17
Are released into the atmosphere by.
【００１２】プリコート式バグフィルタ13は、光ファイ
バ用ガラス合成設備11から出た廃ガスに例えばＣａ（Ｏ
Ｈ）2 、ゼオライトまたはＣａＣＯ3 等のプリコート剤
を添加するプリコート剤供給装置19と、そのプリコート
剤供給装置19にてプリコート剤を添加された廃ガスから
プリコート剤と共に有害物質をろ過して取り除くバグフ
ィルタ21とから構成される。The pre-coat type bag filter 13 uses, for example, Ca (O
H) 2 , a precoating agent supply device 19 for adding a precoating agent such as zeolite or CaCO 3 and a bug for removing harmful substances together with the precoating agent from the waste gas to which the precoating agent is added by the precoating agent supply device 19. It is composed of a filter 21.
【００１３】プリコート剤供給装置19は、プリコート剤
を貯えたホッパー23と、そのホッパー23から廃ガスへプ
リコート剤を供給するスクリュー式フィーダー25とから
構成される。廃ガスへのプリコート剤の添加量はスクリ
ュー式フィーダー25のモーター27の回転速度を変えるこ
とにより調整可能である。バグフィルタ21は、プリコー
ト剤を含む廃ガスをろ布29でろ過して、廃ガスから有害
物質をプリコート剤と共に分離するものである。31はバ
グフィルタ21から排出された集塵灰である。The precoating agent supply device 19 comprises a hopper 23 storing the precoating agent and a screw type feeder 25 for feeding the precoating agent from the hopper 23 to the waste gas. The amount of the precoat agent added to the waste gas can be adjusted by changing the rotation speed of the motor 27 of the screw feeder 25. The bag filter 21 filters the waste gas containing the pre-coating agent with a filter cloth 29 to separate harmful substances from the waste gas together with the pre-coating agent. Reference numeral 31 is dust ash discharged from the bag filter 21.
【００１４】プリコート式バグフィルタ13のみでは有害
物質を十分に取り除くことはできないので、プリコート
式バグフィルタ13を通過した廃ガスは、さらに次工程の
廃ガス処理ユニット15で処理される。Since the harmful substances cannot be sufficiently removed only by the precoat type bag filter 13, the waste gas which has passed through the precoat type bag filter 13 is further processed by the waste gas processing unit 15 in the next step.
【００１５】プリコート式バグフィルタ13を用いた廃ガ
ス処理装置は、以上のような構成となる。この装置はさ
らに、プリコート式バグフィルタ13の入口に廃ガス中の
有害物質濃度を検出する濃度検出器33を設けると共に、
濃度検出器33で検出した濃度からプリコート剤の添加量
を求める変換器35と、変換器35の出力によりスクリュー
式フィーダー25のモーター27の回転速度を制御する速度
制御装置37とを設けたものである。The waste gas treatment device using the precoat type bag filter 13 has the above-mentioned structure. This device is further provided with a concentration detector 33 for detecting the concentration of harmful substances in waste gas at the inlet of the precoat type bag filter 13,
A converter 35 that determines the amount of precoating agent added from the concentration detected by the concentration detector 33, and a speed control device 37 that controls the rotation speed of the motor 27 of the screw type feeder 25 by the output of the converter 35. is there.
【００１６】変換器35には、廃ガス中の有害物質濃度と
適正なプリコート剤添加量との関係が予めセットされて
いる。したがって変換器35は、濃度検出器33より有害物
質濃度が入力されると、その濃度に応じた適正なプリコ
ート剤添加量を電気信号として出力する。速度制御装置
37はその信号によってスクリュー式フィーダー25のモー
ター27の回転速度を制御する。これにより、その時点で
の有害物質濃度に応じた適正な量のプリコート剤が添加
されることになる。したがってプリコート剤を常時、過
不足なく添加することができる。In the converter 35, the relationship between the concentration of harmful substances in the waste gas and the proper amount of precoat agent added is preset. Therefore, when the concentration of the harmful substance is input from the concentration detector 33, the converter 35 outputs an appropriate precoating agent addition amount according to the concentration as an electric signal. Speed control device
37 controls the rotation speed of the motor 27 of the screw type feeder 25 by the signal. As a result, an appropriate amount of precoating agent is added according to the harmful substance concentration at that time. Therefore, the precoat agent can be always added without excess or deficiency.
【００１７】次に図２は請求項２の発明の実施例を示
す。図２において図１と同一部分には同一符号を付して
ある。廃ガス処理装置がプリコート式バグフィルタ13と
他の廃ガス処理ユニット15との組み合わせで構成される
点は前記実施例と同様である。廃ガス処理装置は通常、
複数台の光ファイバ用ガラス合成設備11から出る廃ガス
を集合して処理する方式となっている。各合成設備11に
は原料ガス供給装置39からガラス合成用の原料ガスが供
給され、その供給量は各合成設備11ごとにマスフローコ
ントローラ（質量流量制御器）41により制御されてい
る。Next, FIG. 2 shows an embodiment of the invention of claim 2. 2, the same parts as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. As in the above-described embodiment, the waste gas treatment device is composed of a combination of the precoat type bag filter 13 and another waste gas treatment unit 15. Waste gas treatment equipment is usually
It is a system that collects and processes waste gas from a plurality of glass synthesis facilities 11 for optical fibers. A raw material gas for supplying glass is supplied from a raw material gas supply device 39 to each synthesis facility 11, and the amount of supply is controlled by a mass flow controller (mass flow controller) 41 for each synthesis facility 11.
【００１８】原料ガスの供給量と廃ガス中の有害物質濃
度との間には相関がある。例えば原料ガス（ＳｉＣ
ｌ4 ）を 170ｇ／分供給すると 142ｇ／分のＨＣｌが排
出されることが実験および実績から分かっている。また
ＳｉＣｌ4 は反応して、 ＳｉＣｌ4 ＋２Ｈ2 ＋Ｏ2 →ＳｉＯ2 ＋４ＨＣｌ となるが、実際には一部のＳｉＣｌ4 が、 ＳｉＣｌ4 ＋Ｏ2 →ＳｉＯ2 ＋２Ｃｌ2 となる。廃ガス中のＨＣｌ：Ｃｌ2 は実績によるとモル
比で30〜35：１となっている。There is a correlation between the supply amount of the source gas and the concentration of harmful substances in the waste gas. For example, source gas (SiC
l 4) to be 170 g / min feed to the 142g / min HCl is discharged has been found from experiments and results. Further, SiCl 4 reacts to become SiCl 4 + 2H 2 + O 2 → SiO 2 + 4HCl, but actually a part of SiCl 4 becomes SiCl 4 + O 2 → SiO 2 + 2Cl 2 . According to the actual results, the molar ratio of HCl: Cl 2 in the waste gas is 30 to 35: 1.
【００１９】したがって原料ガスの供給量が分かれば、
廃ガス中の有害物質濃度を推定することができる。そこ
でこの装置では、各合成設備11のマスフローコントロー
ラ41から原料ガスの供給量を読み取り、それを集計し
て、プリコート式バグフィルタ13に供給される廃ガス中
のＨＣｌとＣｌ2 の濃度を求め、さらにそれに対する適
正なプリコート剤添加量を求める演算器43を設けたもの
である。この演算器43の出力を速度制御装置37に入力し
て、スクリュー式フィーダー25のモーター27の回転速度
を制御すれば、有害物質濃度に応じた適正な量のプリコ
ート剤を添加することができる。Therefore, if the supply amount of the raw material gas is known,
It is possible to estimate the concentration of harmful substances in waste gas. Therefore, in this apparatus, the supply amount of the raw material gas is read from the mass flow controller 41 of each synthesis facility 11, and the total amount is read to obtain the concentrations of HCl and Cl 2 in the waste gas supplied to the precoat type bag filter 13, Further, an arithmetic unit 43 for determining an appropriate addition amount of the precoating agent is provided. By inputting the output of the calculator 43 to the speed control device 37 and controlling the rotation speed of the motor 27 of the screw feeder 25, an appropriate amount of the precoat agent according to the harmful substance concentration can be added.
【００２０】なお上記実施例では、プリコート剤を供給
するのにスクリュー式フィーダーを用いたが、プリコー
ト剤供給手段はこれに限定されるものではなく、例えば
テーブル式フィーダー、ロータリーバルブ等を用いるこ
ともできる。In the above embodiment, the screw type feeder was used to supply the precoating agent, but the precoating agent supplying means is not limited to this, and for example, a table type feeder, a rotary valve or the like may be used. it can.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、プ
リコート式バグフィルタを使用して、有害物質濃度が大
きく変化する光ファイバ用ガラス合成設備の廃ガスを処
理する場合に、廃ガス中の有害物質濃度に応じて適正な
量のプリコート剤を添加するようにしたので、有害物質
濃度を確実に所定の効率で取り除くことができる。また
プリコート剤の使用量と集塵灰の排出量を最少限に抑え
ることができるので、ランニングコストと産業廃棄物量
の低減にきわめて有効である。As described above, according to the present invention, when a precoat type bag filter is used to treat the waste gas of the glass fiber synthesizing equipment for optical fiber in which the concentration of harmful substances greatly changes, Since the appropriate amount of the precoat agent is added according to the harmful substance concentration, the harmful substance concentration can be reliably removed with a predetermined efficiency. In addition, the amount of precoat agent used and the amount of dust ash discharged can be minimized, which is extremely effective in reducing running costs and industrial waste.
【図１】 請求項１の発明の実施例を示す説明図。FIG. 1 is an explanatory view showing an embodiment of the invention of claim 1.
【図２】 請求項２の発明の実施例を示す説明図。FIG. 2 is an explanatory view showing an embodiment of the invention of claim 2;
11：光ファイバ用ガラス合成設備 13：プリコー
ト式バグフィルタ 15：次工程の廃ガス処理ユニット 19：プリコー
ト剤供給装置 17：ファン 21：バグフィ
ルタ 23：ホッパー 25：スクリュ
ー式フィーダー 27：モーター 29：ろ布 31：集塵灰 33：廃ガス中
の有害物質濃度検出器 35：変換器 37：回転速度
制御装置 39：原料ガス供給装置 41：マスフロ
ーコントローラ 43：演算器11: Glass synthesis equipment for optical fiber 13: Precoat type bag filter 15: Waste gas treatment unit in the next process 19: Precoat agent supply device 17: Fan 21: Bag filter 23: Hopper 25: Screw type feeder 27: Motor 29: Filter Cloth 31: Dust collection ash 33: Hazardous substance concentration detector in waste gas 35: Converter 37: Rotation speed control device 39: Raw material gas supply device 41: Mass flow controller 43: Computing device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 53/34 ＺＡＢ 53/68 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical display location B01D 53/34 ZAB 53/68
Claims (3)
理を行うためのプリコート式バグフィルタを含む廃ガス
処理装置において、プリコート式バグフィルタの入口に
廃ガス中の有害物質濃度を検出する濃度検出手段を設け
ると共に、その濃度検出手段で検出した有害物質濃度に
応じてプリコート式バグフィルタのプリコート剤添加量
を自動的に制御する制御手段を設けたことを特徴とする
光ファイバ用ガラス合成設備の廃ガス処理装置。1. A waste gas treatment apparatus including a pre-coat type bag filter for treating waste gas of an optical fiber glass synthesizing facility, a concentration for detecting a concentration of harmful substances in the waste gas at an inlet of the pre-coat type bag filter. A glass synthesizing facility for optical fibers, characterized in that it is provided with a detection means and a control means for automatically controlling the amount of the precoating agent added to the precoating bag filter according to the concentration of harmful substances detected by the concentration detecting means. Waste gas treatment equipment.
理を行うためのプリコート式バグフィルタを含む廃ガス
処理装置において、光ファイバ用ガラス合成設備の原料
ガス供給量からプリコート式バグフィルタのプリコート
剤の添加量を演算する演算手段を設け、その演算手段の
出力に応じてプリコート剤添加量を自動的に制御する制
御手段を設けたことを特徴とする光ファイバ用ガラス合
成設備の廃ガス処理装置。2. A waste gas treatment apparatus including a pre-coating type bag filter for treating waste gas of an optical fiber glass synthesizing facility, wherein a pre-coating type bag filter pre-coating is performed according to a raw material gas supply amount of the optical fiber glass synthesizing facility. Waste gas treatment of glass synthesizing equipment for optical fiber, characterized in that a calculation means for calculating the addition amount of the agent is provided, and a control means for automatically controlling the addition amount of the precoat agent is provided according to the output of the calculation means. apparatus.
設備に設けられた複数台の原料ガスのマスフローコント
ローラの出力を集計してプリコート剤の添加量を演算す
るものであることを特徴とする請求項２記載の廃ガス処
理装置。3. The calculation means calculates the addition amount of the precoat agent by totaling the outputs of the mass flow controllers of a plurality of raw material gases provided in the optical fiber glass synthesizing facility. The waste gas treatment device according to claim 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6052492A JP2813543B2 (en) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | Waste gas treatment equipment for glass synthesis equipment for optical fibers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6052492A JP2813543B2 (en) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | Waste gas treatment equipment for glass synthesis equipment for optical fibers |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07236804A true JPH07236804A (en) | 1995-09-12 |
| JP2813543B2 JP2813543B2 (en) | 1998-10-22 |
Family
ID=12916218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6052492A Expired - Lifetime JP2813543B2 (en) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | Waste gas treatment equipment for glass synthesis equipment for optical fibers |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2813543B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH11253725A (en) * | 1998-03-11 | 1999-09-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Siliconoxide recovery facility and silicon oxide recovery method therefor |
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-
1994
- 1994-02-28 JP JP6052492A patent/JP2813543B2/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2813543B2 (en) | 1998-10-22 |
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