JPH07230017A - Optical fiber alignment device - Google Patents
Optical fiber alignment deviceInfo
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- JPH07230017A JPH07230017A JP2048594A JP2048594A JPH07230017A JP H07230017 A JPH07230017 A JP H07230017A JP 2048594 A JP2048594 A JP 2048594A JP 2048594 A JP2048594 A JP 2048594A JP H07230017 A JPH07230017 A JP H07230017A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバテープなど多
心の光ファイバ同士または、多心の光ファイバと光平面
導波路等との光接続技術に思いられる光ファイバ調心装
置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber aligning device which is considered to be an optical connection technique between optical fibers such as an optical fiber tape, or between an optical fiber having multiple fibers and an optical plane waveguide.
【０００２】[0002]
【従来の技術】多心光ファイバ同士を接続する場合の一
般的な光接続技術として、基板上面に複数のＶ溝を高精
度に形成し、このＶ溝の長手方向両端から光ファイバを
嵌合し、Ｖ溝内で両ファイバの先端面を向い合わせ、複
数の片持ち梁により光ファイバの先端部を個別に押さえ
両ファイバの光軸が合った状態でクランプする方法が知
られている（例えば実公昭６３−４４８０２号参照）。2. Description of the Related Art As a general optical connection technique for connecting multi-core optical fibers, a plurality of V-grooves are formed with high accuracy on the upper surface of a substrate, and the optical fibers are fitted from both longitudinal ends of the V-grooves. However, there is known a method in which the tip surfaces of both fibers are faced to each other in the V groove, and the tip portions of the optical fibers are individually held by a plurality of cantilevers and clamped in a state where the optical axes of the fibers are aligned (for example, See Jitsuko Sho 63-44802).
【０００３】しかし、実際には、基板に予め形成された
Ｖ溝内で光ファイバを上方から押さえるだけで、対向す
る光ファイバの端面同士をμｍ単位で調心するのは難し
く、ファイバ端面を微動させて調心しながら接続する必
要が生じる。However, in practice, it is difficult to align the end faces of the optical fibers facing each other in the unit of μm simply by pressing the optical fibers from above in the V groove formed in the substrate, and the end faces of the fibers are slightly moved. Therefore, it becomes necessary to connect them while aligning them.
【０００４】また、上記の方法では、Ｖ溝内で光ファイ
の端面同士が対向しているので、例えば複数のＣＣＤカ
メラ等で上下各方向からファイバ端面を撮像しながら調
心状態を検知し、その信号にもとづいてフィードバック
制御しながら、ファイバ端面を調心移動して、接続する
自動融着接続機などには適用できない。Further, in the above method, since the end faces of the optical fibers are opposed to each other in the V groove, the alignment state is detected while imaging the end faces of the fiber from above and below in a plurality of CCD cameras, for example. It cannot be applied to an automatic fusion splicer or the like that performs centering movement of the fiber end face while performing feedback control based on the signal to connect the fibers.
【０００５】このようなことから多心光ファイバ同士を
接続する際に必要な、多心光ファイバの個別調心装置の
開発が進められている（例えば、Third International
Synposiumon Micro Machine and Human Science p89-9
6" Micro Mass Axis Alignment Device with Piezo Ele
ments for Optical Fibers ）。Under these circumstances, development of an individual aligning device for multi-core optical fibers, which is necessary for connecting multi-core optical fibers to each other, is under way (for example, Third International
Synposiumon Micro Machine and Human Science p89-9
6 "Micro Mass Axis Alignment Device with Piezo Ele
ments for Optical Fibers).
【０００６】上記の個別調心装置では、図７に示される
ように、上面に４５度の斜面１を有するマイクロアーム
２が２個１組として、各斜面１を対向させて複数組配設
されており、各マイクロアーム２の下端に直列に圧電導
素子３が結合されていて、この圧電導素子３がベース４
に固定されている。各マイクロアーム２は取付台５に設
けられた固定ガイド部材６を昇降自在に挿通している。In the above-mentioned individual aligning apparatus, as shown in FIG. 7, two micro arms 2 each having a slope 1 of 45 degrees on the upper surface are set as one set, and a plurality of sets are arranged with the slopes 1 facing each other. The piezoelectric conductive element 3 is coupled in series to the lower end of each micro arm 2, and the piezoelectric conductive element 3 is connected to the base 4
It is fixed to. Each micro-arm 2 has a fixed guide member 6 provided on a mounting base 5 inserted vertically.
【０００７】上記の構成によると、２つのマイクロアー
ム２の各対向する斜面１によって構成される左右に分割
された調心用Ｖ溝１９に光ファイバ７の先端部を支持し
たうえ、各圧電導素子３に所定電圧を印加し、これを駆
動することにより、各マイクロアーム２を昇降させ、各
組の２つのマイクロアーム２の昇降動作を制御すること
により、各光ファイバ７をその半径方向、つまり図７に
おいて、矢印ａ，ｂ，ｃ，ｄ方向に微動させ、端面が対
向する相手側の光ファイバ（図示せず）との間で光軸合
わせを行なうことができる。According to the above structure, the tip of the optical fiber 7 is supported by the V-grooves 19 for centering, which are divided by the inclined surfaces 1 of the two micro-arms 2 facing each other, and the piezoelectric conductors. By applying a predetermined voltage to the element 3 and driving it, each micro-arm 2 is moved up and down, and by controlling the up-and-down operation of the two micro-arms 2 of each set, each optical fiber 7 is moved in the radial direction, That is, in FIG. 7, it is possible to finely move in the directions of arrows a, b, c, and d to perform optical axis alignment with a mating optical fiber (not shown) whose end faces face each other.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】多心光ファイバの端面
同士を対向させたうえ、調心しつつ光接続する技術とし
て上記の個別調心装置はすぐれているが、未解決の問題
も残されている。すなわち、この装置を例えば融着接続
機等に応用し、光ファイバの端面の移動をＣＣＤカメラ
を使って撮像し、その状態をマイクロアームの駆動装置
にフィードバックしながら融着接続を行なう場合等に
は、光ファイバを調心移動中もこの光ファイバは調心用
Ｖ溝に確実にクランプされていて、マイクロアームに追
従して移動しなければならない。そして、このために
は、マイクロアームに支持される各光ファイバを個別に
クランプすることが必要であるが、このクランプ手段に
ついては上記の文献には開示がされていない。Although the above-mentioned individual aligning device is excellent as a technique for making optical connection while aligning the end faces of a multi-fiber optical fiber while facing each other, there are still unsolved problems. ing. That is, when this device is applied to, for example, a fusion splicer and the like, the movement of the end face of the optical fiber is imaged using a CCD camera, and the state is fed back to the micro-arm driving device to perform fusion splicing. The optical fiber must be securely clamped in the V-groove for alignment during the centering movement of the optical fiber, and must move following the microarm. For this purpose, it is necessary to individually clamp each optical fiber supported by the micro arm, but this clamping means is not disclosed in the above-mentioned document.
【０００９】上記多心光ファイバの個別調心装置に使用
するクランプ手段として前述の実公昭６３−４４８０２
号に開示の片持ち梁の適用が考えられるが、この場合に
は次の問題が生じる。As the clamping means used in the individual alignment device for the multi-fiber optical fiber, the above-mentioned Japanese Utility Model Publication No. 63-44802 is used.
The application of the cantilever beam disclosed in No. is considered, but in this case, the following problems occur.
【００１０】図８によって説明すると、片持ち梁８は下
面が平面であって、この平面がＶ溝（図示せず）に支持
された光ファイバ７と線接触している。そのため、光フ
ァイバ７がＶ溝の斜面をスライドして図８の実線から２
点鎖線の位置に移動するのに伴って片持ち梁８と光ファ
イバ７との接点が当該片持ち梁８の中心からずれ、図８
に矢印で示す方向の力を受け、片持ち梁８が点線で示す
位置に傾斜し、光ファイバとＶ溝との間に接触不良を発
生させ、調心不良を生じるという問題がある。Explaining with reference to FIG. 8, the lower surface of the cantilever 8 is a flat surface, and the flat surface is in line contact with the optical fiber 7 supported by the V groove (not shown). Therefore, the optical fiber 7 slides on the slope of the V-groove and moves from the solid line in FIG.
As the contact point between the cantilever 8 and the optical fiber 7 shifts from the center of the cantilever 8 as it moves to the position of the dashed line,
There is a problem in that the cantilever 8 is tilted to the position shown by the dotted line by receiving a force in the direction indicated by the arrow, causing poor contact between the optical fiber and the V groove, and causing poor alignment.
【００１１】図９は、図８に示す調心装置のＶ溝１ａに
支持された光ファイバ７を図８に示す片持ち梁８を用い
てクランプした場合の当該光ファイバ７の移動特性を示
すグラフである。同図では、横軸に光ファイバのＸ方向
（ファイバ配列方向）の変位が示され、縦軸にＹ方向
（Ｘ軸と直交する方向）の変位が示されている。FIG. 9 shows the movement characteristics of the optical fiber 7 supported in the V groove 1a of the aligning device shown in FIG. 8 when the optical fiber 7 is clamped using the cantilever 8 shown in FIG. It is a graph. In the figure, the horizontal axis represents the displacement of the optical fibers in the X direction (fiber arrangement direction), and the vertical axis represents the displacement in the Y direction (direction orthogonal to the X axis).
【００１２】そして、光ファイバ７を支持するＶ溝１ａ
の傾斜角度は垂直面に対し４５°に形成されているの
で、光ファイバ７の移動特性は理想的には図９の点線で
示すように傾き１で示される直線で表わすことができ
る。Then, the V groove 1a for supporting the optical fiber 7 is formed.
Since the inclination angle is formed at 45 ° with respect to the vertical plane, the movement characteristic of the optical fiber 7 can be ideally represented by a straight line indicated by an inclination 1 as shown by the dotted line in FIG.
【００１３】しかし、従来の片持ち梁８を使用して試験
した結果では、マイクロアーム２を駆動する圧電素子３
の印加電圧が８０．０以上の範囲では図９に実線で示さ
れるように傾き１の直線から外れていることが確認され
た。However, according to the result of the test using the conventional cantilever beam 8, the piezoelectric element 3 for driving the micro arm 2 is shown.
It was confirmed that in the range of the applied voltage of 80.0 or more, the line deviated from the straight line of inclination 1 as shown by the solid line in FIG.
【００１４】その原因は、上記の通り調心時に図８に示
されるように、片持ち梁８と光ファイバ７の接点が片持
ち梁８の中心からずれ、片持ち梁８が点線で示す状態に
傾斜し、光ファイバ７がＶ溝１ａに対し接触不良を発生
させたことによる。The cause is that the contact point between the cantilever 8 and the optical fiber 7 deviates from the center of the cantilever 8 and the cantilever 8 is indicated by a dotted line as shown in FIG. This is because the optical fiber 7 has a contact failure with the V groove 1a.
【００１５】さらに、上記の個別調心装置に上記の片持
ち梁８を適用するとしても、当該複数の片持ち梁８の中
心が複数の光ファイバの中心と揃うよう正確に位置決め
する機構がないため、その具体的な実用化は困難である
という問題があった。Further, even if the above cantilever 8 is applied to the above-mentioned individual aligning device, there is no mechanism for accurately positioning so that the centers of the plurality of cantilevers 8 are aligned with the centers of the plurality of optical fibers. Therefore, there is a problem that its practical application is difficult.
【００１６】本発明は、上記の欠点を改良し、光ファイ
バを半径方向に移動させて行なう多心光ファイバの調心
装置において、調心時光ファイバと、これを可動的に支
持するＶ溝との間に接触不良が生じない個別クランプ手
段を備えた光ファイバの調心装置を提供することを目的
とする。The present invention has improved the above-mentioned drawbacks, and in an aligning device for a multi-fiber optical fiber which is carried out by moving the optical fiber in a radial direction, an optical fiber at the time of alignment and a V groove for movably supporting it. It is an object of the present invention to provide an optical fiber aligning device provided with an individual clamp means which does not cause contact failure between the two.
【００１７】[0017]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の光ファイバ調心装置は、ファイバ調心用のＶ溝
を形成するための斜面を互いに向い合わせて配設し、か
つ駆動装置により微動するように設けられた複数個のマ
イクロアームと、上面に複数のファイバ固定溝が形成さ
れた第１の基板と、ファイバ固定溝に配列され、かつフ
ァイバ先端部がファイバ調心用のＶ溝に支持される複数
の光ファイバと、ファイバ先端部をクランプする個別ク
ランプ手段を具えた光ファイバ調心装置であって、個別
クランプ手段は、可撓性を有する複数の片持ち梁と、片
持ち梁の一端に形成されたクランプ用Ｖ溝と、片持ち梁
の他端に固定された第２の基板とからなり、この第２の
基板はファイバ固定溝に配設された光ファイバを押圧す
るように配設されていることを特徴とする。In order to achieve the above object, an optical fiber aligning device of the present invention is arranged such that slopes for forming a V groove for fiber alignment are arranged to face each other, and a driving device. A plurality of micro-arms provided so as to be slightly moved by the first substrate, a first substrate having a plurality of fiber fixing grooves formed on the upper surface thereof, a fiber fixing groove arranged at the fiber fixing groove, and a fiber aligning portion at the fiber tip end. What is claimed is: 1. An optical fiber aligning device comprising a plurality of optical fibers supported in a groove and individual clamping means for clamping a fiber tip, the individual clamping means comprising a plurality of flexible cantilever beams, It is composed of a clamp V groove formed at one end of the cantilever and a second substrate fixed at the other end of the cantilever, and the second substrate presses the optical fiber arranged in the fiber fixing groove. Is arranged to And said that you are.
【００１８】上記第１の基板と上記第２の基板のそれぞ
れの対向面にガイド用Ｖ溝を形成し、この対向するガイ
ド用Ｖ溝でガイドピンを挟持することにより、片持ち梁
と調心用Ｖ溝の各中心が揃うよう上記第１の基板と第２
の基板とを位置決めするとよい。Guide V-grooves are formed on the opposing surfaces of the first substrate and the second substrate, and the guide pins are sandwiched between the opposing guide V-grooves to align the cantilever with the cantilever. And the second substrate so that the centers of the V grooves for use are aligned with each other.
It is advisable to position the substrate.
【００１９】また、片持ち梁は、第２の基板に近い側よ
りもクランプ用Ｖ溝に近い側が光ファイバに近接するよ
う光ファイバの光軸に対して傾斜角度を付して第２の基
板に取付けるとよい。Further, the cantilever has an inclination angle with respect to the optical axis of the optical fiber so that the side closer to the clamping V groove is closer to the optical fiber than the side closer to the second substrate is. It is good to attach to.
【００２０】[0020]
【作用】本発明の構成によると、マイクロアームの微動
により調心用Ｖ溝に支持された光ファイバをその断面の
半径方向に移動して調心する際、複数の光ファイバは片
持ち梁のクランプ用Ｖ溝によって調心用Ｖ溝に個別にク
ランプされているので、光ファイバは調心用Ｖ溝の斜面
との間で接触不良が生じず、各光ファイバはマイクロア
ームの移動に正確に追従して半径方向に移動し精度の高
い調心が行なわれる。According to the structure of the present invention, when the optical fiber supported by the V-groove for alignment is moved by the fine movement of the micro-arm in the radial direction of its cross section to align the optical fibers, the plurality of optical fibers are cantilevered. Since the V-grooves for clamping are individually clamped in the V-grooves for alignment, the optical fibers do not cause contact failure with the slopes of the V-grooves for alignment, and each optical fiber accurately moves when the microarm moves. Following this, it moves in the radial direction to perform highly accurate centering.
【００２１】また、片持ち梁が支持される第２の基板と
ファイバ固定溝が形成される第１の基板とは、それぞれ
の係合溝に係合するピンを介して容易にしかも高精度に
位置決めされるので、片持ち梁の中心と調心用Ｖ溝の中
心が揃うように容易に片持ち梁を固定できる。さらに、
片持ち梁は傾斜角度を有しかつ可撓性を有していて、そ
のバネ力によりクランプ時、クランプ用Ｖ溝の斜面がフ
ァイバと圧接するように設けられているので光ファイバ
が調心用Ｖ溝の斜面に沿って下方に移動するときもクラ
ンプ作用が失なわれることがない。Further, the second substrate on which the cantilever is supported and the first substrate on which the fiber fixing groove is formed can be easily and highly accurately through the pins engaging with the respective engaging grooves. Since the positioning is performed, the cantilever can be easily fixed so that the center of the cantilever and the center of the V groove for alignment are aligned. further,
The cantilever has an angle of inclination and flexibility, and the spring force of the cantilever is provided so that the inclined surface of the V groove for clamping comes into pressure contact with the fiber, so that the optical fiber is used for centering. The clamping action is not lost even when moving downward along the slope of the V groove.
【００２２】[0022]
【実施例】以下本発明の実施例を図を参照して説明す
る。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.
【００２３】図１は光ファイバ調心装置の斜視図、図２
〜図４は同装置の動作説明図である。各図において、水
平方向に伸びるアーム本体１２ａと、アーム本体１２ｂ
の先端の立上り部１２ｂとからなる複数のマイクロアー
ム１２が配設されている。各マイクロアーム１２の立上
り部１２ｂの上面には斜面１２ｃが形成されている。そ
して、マイクロアーム１２は２個１組となってその斜面
１２ｃが向い合うように配設され、この向い合う斜面１
２ｃにより左右が分割された光ファイバの調心用Ｖ溝１
４が形成される。図示例では、この斜面１２ｃの傾斜角
は垂直面に対して４５度の角度に設けられている。FIG. 1 is a perspective view of an optical fiber aligning device, and FIG.
4 is an operation explanatory view of the same apparatus. In each figure, an arm body 12a extending horizontally and an arm body 12b
A plurality of micro-arms 12 each including a rising portion 12b at the tip of the are provided. An inclined surface 12c is formed on the upper surface of the rising portion 12b of each micro arm 12. The micro arms 12 are arranged in pairs so that their slopes 12c face each other.
V-groove 1 for aligning the optical fiber whose right and left are divided by 2c
4 is formed. In the illustrated example, the inclination angle of the inclined surface 12c is 45 degrees with respect to the vertical surface.
【００２４】上記の各調心用Ｖ溝１４には図２以下に示
される多心の光ファイバ７が支持されるものであり、し
たがって多心の光ファイバ７と同数の調心用Ｖ溝１４を
形成すべく、これと同じ複数組のマイクロアーム１２が
並設される。各マイクロアーム１２のアーム本体１２ａ
下部には直列に圧電導素子１３が結合されていて、この
圧電導素子１３に所定の電圧を印加することにより、マ
イクロアーム１２の立上り部１２ｂの昇降移動が制御さ
れる。In each of the above-mentioned V-grooves 14 for centering, the multi-core optical fibers 7 shown in FIG. 2 and subsequent figures are supported. Therefore, the same number of V-grooves 14 for centering as the multi-core optical fibers 7 are supported. In order to form the above, a plurality of sets of the same micro arms 12 are arranged in parallel. Arm body 12a of each micro arm 12
A piezoelectric conducting element 13 is serially coupled to the lower portion, and by applying a predetermined voltage to the piezoelectric conducting element 13, the vertical movement of the rising portion 12b of the micro arm 12 is controlled.
【００２５】マイクロアーム１２の上方で、かつその立
上り部１２ｂの手前（図１において左側）の位置に、こ
れらと一定の間隔を隔てて第１の基板１５が配設されて
いる。第１の基板１５の上面は複数の断面がＶ溝状のフ
ァイバ固定溝１６が形成されている。この複数のファイ
バ固定溝１６は平行に配設され、かつ第１の基板１５の
前後の端面に伸びていると共に、マイクロアーム１２の
立上り１２ｂの上端の斜面１２ｃによって形成される調
心用Ｖ溝１４の延長線上に位置するように設けられてい
る。A first substrate 15 is arranged above the microarm 12 and in front of the rising portion 12b (on the left side in FIG. 1) of the microarm 12 at a constant interval. On the upper surface of the first substrate 15, a plurality of cross-sectionally V-shaped fiber fixing grooves 16 are formed. The plurality of fiber fixing grooves 16 are arranged in parallel, extend to the front and rear end faces of the first substrate 15, and are aligned V-grooves formed by the slope 12c at the upper end of the rising 12b of the microarm 12. It is provided so as to be located on the extension line of 14.
【００２６】そして、ファイバ固定溝１６に固定された
多心の光ファイバ７は第１の基板１５の前端面１５ａか
ら伸長していて、このファイバ先端部７ａが自由端とな
っていて、上記Ｖ溝１４により当該ファイバの半径方向
に可動的に支持されいている。The multi-core optical fiber 7 fixed in the fiber fixing groove 16 extends from the front end surface 15a of the first substrate 15, and the fiber tip portion 7a is a free end. It is movably supported by the groove 14 in the radial direction of the fiber.
【００２７】一方、マイクロアーム１２および第１の基
板１５の上方には、個別クランプ手段１９が配設されて
いる。個別クランプ手段１９は複数の片持ち梁１８によ
って構成され、片持ち梁１８はそれぞれ多心の光ファイ
バ７に対応して設けられており、かつ可撓性を有する材
質で構成されている。また、片持ち梁１８の基端は第２
の基板２０に一体に形成されていて、他端には光ファイ
バ７との接触部にクランプ用Ｖ溝２１が形成された押圧
部２２を有している。クランプ用Ｖ溝２１の両斜面は垂
直面に対し４５度傾斜している。On the other hand, the individual clamp means 19 is arranged above the micro arm 12 and the first substrate 15. The individual clamping means 19 is composed of a plurality of cantilevers 18, each of which is provided corresponding to the multi-core optical fiber 7 and is made of a flexible material. In addition, the base end of the cantilever 18 is the second
Is integrally formed on the substrate 20 and has a pressing portion 22 having a clamping V groove 21 formed at a contact portion with the optical fiber 7 at the other end. Both slopes of the clamping V-groove 21 are inclined 45 degrees with respect to the vertical plane.
【００２８】第２の基板２０の下面２０ａは第１の基板
１５の上面と平行に形成されているのに対し、当該第２
の基板２０の上面２０ｂは前下がりになるよう第１の基
板１５の上面に対し所定の傾斜角が付形されている。そ
して、片持ち梁１８の基端は、第２の基板２０の前端面
２０ｃで、かつ上面２０ｂと面一となるよう、この上面
２０ｂの傾斜角と同じ前下りの傾斜角を有して第２の基
板２０と一体に設けられている。While the lower surface 20a of the second substrate 20 is formed parallel to the upper surface of the first substrate 15, the second substrate 20
The upper surface 20b of the substrate 20 is formed with a predetermined inclination angle with respect to the upper surface of the first substrate 15 so as to be lowered frontward. Then, the base end of the cantilever 18 has the same inclination angle as the inclination angle of the upper surface 20b so that it is on the front end surface 20c of the second substrate 20 and is flush with the upper surface 20b. It is provided integrally with the second substrate 20.
【００２９】また、第１の基板１５の上面で、ファイバ
固定溝１６の両外側には、このファイバ固定溝１６と平
行に第１ガイド用Ｖ溝２３が形成されている。これに対
応して第２の基板２０の下面にも第２のガイド用Ｖ溝２
４が形成されている。Further, on the upper surface of the first substrate 15, on both outer sides of the fiber fixing groove 16, first guide V grooves 23 are formed in parallel with the fiber fixing groove 16. Corresponding to this, the second guide V-groove 2 is also formed on the lower surface of the second substrate 20.
4 are formed.
【００３０】第１のガイド用Ｖ溝２３と第２のガイド用
Ｖ溝２４はそれぞれ第１の基板１５と第２の基板２０に
高精度に形成されているので、図１に示すように対向す
る第１と第２のガイド用Ｖ溝２３，２４の間にガイドピ
ン２５を配設したうえ、第１の基板１５の上面に第２基
板２０の下面を当てがい、第１と第２のガイド用Ｖ溝２
３，２４でガイドピン２５を挟持することにより、第１
の基板１５と第２の基板２０を容易かつ高精度に位置決
めできる。こうして第１の基板１５と第２の基板２０を
位置決めした後、両基板は所定の固定手段で固定され
る。Since the first guide V-groove 23 and the second guide V-groove 24 are formed with high precision on the first substrate 15 and the second substrate 20, respectively, they face each other as shown in FIG. The guide pin 25 is disposed between the first and second V-grooves 23 and 24 for guiding, and the lower surface of the second substrate 20 is applied to the upper surface of the first substrate 15 so that the first and second V groove for guide 2
By sandwiching the guide pin 25 with 3, 24, the first
The substrate 15 and the second substrate 20 can be positioned easily and with high accuracy. After positioning the first substrate 15 and the second substrate 20 in this way, both substrates are fixed by a predetermined fixing means.
【００３１】本実施例の動作を図２〜図４を参照して説
明する。The operation of this embodiment will be described with reference to FIGS.
【００３２】図２（ａ），（ｂ）には、光ファイバ７が
個別クランプ手段１９によりマイクロアーム１２の斜面
１２ｃで形成される調心用Ｖ溝１４にクランプされる前
段階の状態が示されている。図３（ａ），（ｂ）には光
ファイバ７が個別クランプ手段１９によりマイクロアー
ム１２の斜面１２ｃで形成される調心用Ｖ溝１４にクラ
ンプされた状態が示されている。この状態では、ファイ
バ固定溝１６内の光ファイバ７が第２基板２０の下面で
押さえられ、かつ片持ち梁１８のクランプ用Ｖ溝２１で
ファイバ先端部１７ａが調心用Ｖ溝１４の底に向けて押
さえられている。このとき可撓性を有する片持ち梁１８
は下方に凸となるよう曲げられていて、押圧部２２を下
向きに付勢している。2 (a) and 2 (b) show a state in which the optical fiber 7 is clamped in the V-groove 14 for alignment formed on the slope 12c of the micro-arm 12 by the individual clamp means 19 in a pre-stage state. Has been done. 3A and 3B show a state in which the optical fiber 7 is clamped by the individual clamping means 19 in the V-groove 14 for alignment formed on the slope 12c of the microarm 12. In this state, the optical fiber 7 in the fiber fixing groove 16 is pressed by the lower surface of the second substrate 20, and the fiber tip portion 17a is positioned at the bottom of the centering V groove 14 by the clamping V groove 21 of the cantilever 18. It is being held down. At this time, the cantilever 18 having flexibility
Is bent so as to be convex downward, and biases the pressing portion 22 downward.
【００３３】次に調心に際して各マイクロアーム１２の
駆動装置である圧電導素子１３に所定の電圧を印加す
る。それにより、図４（ａ），（ｂ）に示されるように
マイクロアーム１２の立上り部１２ｂが矢印方向に上昇
する。２つのマイクロアーム１２を相互に制御し、各マ
イクロアーム１２の立上り１２ｂを同時に上下動させ、
また２つの立上り部１２ｂを交互に上下動することによ
り、図７で説明した調心装置と同じ原理で光ファイバ７
の先端を、ファイバ端面からみて上下方向及び左右の斜
め上下方向に移動させ、端面同士を対向して設けた相手
側の光ファイバ（図示せず）との間で光軸合わせを行な
うことができる。Next, at the time of alignment, a predetermined voltage is applied to the piezoelectric conductive element 13 which is a driving device of each micro arm 12. As a result, the rising portion 12b of the micro arm 12 rises in the direction of the arrow as shown in FIGS. The two micro arms 12 are mutually controlled, and the rising edges 12b of the micro arms 12 are simultaneously moved up and down,
Further, by alternately moving the two rising portions 12b up and down, the optical fiber 7 is operated on the same principle as that of the aligning device described in FIG.
The tip of the optical fiber can be moved in the up-down direction and the left-right diagonal up-down direction as viewed from the end face of the fiber, and the optical axis can be aligned with the mating optical fiber (not shown) provided with the end faces facing each other. .
【００３４】この場合、調心用Ｖ溝１４に支持された光
ファイバ７は片持ち梁１８の押圧部２２で押さえられて
いるので調心時、調心用のＶ溝１４から浮き上がること
がなく、調心用Ｖ溝１４の両側の斜面１２に沿って移動
し、スムーズな調心作業が行なわれる。またこの時、図
５に示されるように押圧部２２のクランプ用Ｖ溝２１が
光ファイバ７と接していて、当該光ファイバ７が図５の
実線から２点鎖線の位置に移動するとき、光ファイバ７
はクランプ用Ｖ溝２１の両斜面と接触した状態が保持さ
れているので、押圧部２２に傾きが生じない。それによ
り、光ファイバ７の先端部７ａは押圧部２２に常にクラ
ンプされているので、調心移動中も光ファイバ７は調心
用Ｖ溝１４との間で接触不良を発生しない。In this case, since the optical fiber 7 supported by the V-groove 14 for alignment is held by the pressing portion 22 of the cantilever 18, it does not float up from the V-groove 14 for alignment during alignment. By moving along the slopes 12 on both sides of the centering V groove 14, smooth centering work is performed. Further, at this time, as shown in FIG. 5, when the clamp V groove 21 of the pressing portion 22 is in contact with the optical fiber 7 and the optical fiber 7 moves from the solid line in FIG. Fiber 7
Is held in contact with both slopes of the clamping V-groove 21, so that the pressing portion 22 does not tilt. As a result, the tip end portion 7a of the optical fiber 7 is always clamped by the pressing portion 22, so that the optical fiber 7 does not cause a contact failure with the alignment V groove 14 even during the alignment movement.
【００３５】また、可撓性を有する片持ち梁１８は第２
の基板２０の側よりも押圧部２２の側が光ファイバ７に
近ずくよう前下がりに傾斜して第２の基板２０に設けら
れていて、クランプ時片持ち梁１８が撓んでその先端の
押圧部２２が下向きに付勢されるように設けられている
ので、片持ち梁１８の厚み方向のバネ力だけでなく、長
手方向のバネ力も利用できる。したがって、調心用Ｖ溝
１４に支持されて光ファイバ７が上向きと下向きに可動
するとき、その全可動範囲に亘ってより強いバネ力と、
より均等な付勢状態を維持でき、この点においても光フ
ァイバ７の円滑なクランプが可能となる。Further, the flexible cantilever 18 is the second
The side of the pressing portion 22 is provided on the second substrate 20 so that the pressing portion 22 side is closer to the optical fiber 7 than the substrate 20 side, and the cantilever 18 is bent during clamping and the pressing portion at the tip thereof is bent. Since 22 is provided so as to be biased downward, not only the spring force in the thickness direction of the cantilever 18 but also the spring force in the longitudinal direction can be used. Therefore, when the optical fiber 7 is supported by the centering V groove 14 and moves upward and downward, a stronger spring force is exerted over the entire movable range,
A more evenly biased state can be maintained, and also in this respect, the optical fiber 7 can be smoothly clamped.
【００３６】本発明者は本実施例に係る個別クランプ手
段１９を試作し、これを使用した光ファイバ調心装置に
おける調心時の光ファイバの移動特性を測定した。The present inventor prototyped the individual clamp means 19 according to this embodiment, and measured the movement characteristics of the optical fiber at the time of centering in the optical fiber centering device using the individual clamp means 19.
【００３７】図６は上記の片持ち梁１８を用いて調心用
Ｖ溝１４に光ファイバ７をクランプした場合の当該光フ
ァイバ７の移動特性を示すグラフである。同図では、図
９のグラフと同様横軸に光ファイバ７の配列方向（Ｘ方
向）の変位を示し、縦軸にＹ方向（Ｘ軸と直交する方
向）の変位がそれぞれ示されている。FIG. 6 is a graph showing the movement characteristics of the optical fiber 7 when the optical fiber 7 is clamped in the V-groove 14 for alignment using the cantilever 18. In the same figure, as in the graph of FIG. 9, the horizontal axis represents the displacement of the optical fibers 7 in the arrangement direction (X direction), and the vertical axis represents the displacement in the Y direction (direction orthogonal to the X axis).
【００３８】そして、本実施例でも調心用Ｖ溝１４の傾
斜角度は垂直面に対し４５°のものが使用されているの
で、光ファイバ７の移動特性は理想的には傾き１の直線
で表わすことができる。測定の結果図９のグラフに実線
で示されるように移動特性の傾きは１となり、ほぼ設計
値と等しいことが確認された。In this embodiment also, since the V-groove 14 for alignment has an inclination angle of 45 ° with respect to the vertical plane, the movement characteristic of the optical fiber 7 is ideally a straight line with an inclination of 1. Can be represented. As a result of the measurement, as shown by the solid line in the graph of FIG. 9, the inclination of the movement characteristic was 1, and it was confirmed that it was almost equal to the design value.
【００３９】さらに、調心時の光ファイバの移動をカメ
ラを使用して撮像し、画像処理によるフィードバック制
御を行ったところ良好な動作特性が得られ、スムーズな
調心作業が行なえることが確認された。これは上述の通
り、個別クランプ手段１９により光ファイバ７が調心移
動中も調心用Ｖ溝１４との接触を保持できたことによる
ものである。Further, when the movement of the optical fiber at the time of alignment is imaged by using a camera and feedback control is performed by image processing, good operation characteristics are obtained, and it is confirmed that smooth alignment work can be performed. Was done. This is because, as described above, the contact between the optical fiber 7 and the V-groove 14 for alignment can be maintained by the individual clamp means 19 even during the alignment movement.
【００４０】なお、本実施例において、個別クランプ手
段１９の複数の片持ち梁１８の幅寸法は約１００μｍで
あり、これをμｍ単位の寸法間隔で整列させて作製する
技術は少なく、このため特殊加工機が必要であり、しか
もその加工に適した材料も限られるという課題が残され
ていた。In this embodiment, the width of each of the plurality of cantilevers 18 of the individual clamp means 19 is about 100 μm, and there are few techniques for arranging the cantilevers 18 at a size interval of μm. The problem remains that a processing machine is required and the materials suitable for the processing are limited.
【００４１】この点に関し、本発明者は個別クランプ手
段１９の作製方法については従来の機械加工は採用せ
ず、半導体集積回路の製造技術、具体的にはフォトリソ
グラフィ、エッチング技術、薄膜形成技術等を応用し、
それぞれの方法により個別クランプ手段１９を作製し
た。With respect to this point, the present inventor does not adopt the conventional machining as the method for producing the individual clamping means 19, but the manufacturing technique of the semiconductor integrated circuit, specifically, photolithography, etching technique, thin film forming technique, etc. Is applied
The individual clamping means 19 was produced by each method.
【００４２】その結果、機械加工よりも精度良く作製す
ることができたもので、特に本実施例において最も重要
な片持ち梁１８の弾性変形を有効に、しかも設計通りに
動作させることが可能となった。また、この方法による
と、機械加工により個別クランプ手段１９の各部を個々
に切削して作製するものに比して量産が可能となり、コ
ストダウンが図られるというメリットも確認された。As a result, the cantilever 18 can be manufactured more accurately than by machining, and in particular, the elastic deformation of the cantilever 18, which is the most important in the present embodiment, can be effectively operated and can be operated as designed. became. Further, according to this method, it is confirmed that mass production is possible and cost reduction can be achieved as compared with a case where each part of the individual clamp means 19 is individually cut by machining.
【００４３】また本発明は、多心光ファイバ同士の接続
に限らず、多心光ファイバと光デバイスの光平面導波路
との光接続技術に適用することができる。The present invention can be applied not only to the connection between the multi-core optical fibers but also to the optical connection technology between the multi-core optical fibers and the optical plane waveguide of the optical device.
【００４４】[0044]
【発明の効果】以上説明したように本発明によると、多
心光ファイバの調心時マイクロアームによって可動する
調心用Ｖ溝に支持された光ファイバは、片持ち梁に形成
されたクランプ用Ｖ溝でクランプされているので、ファ
イバ調心移動中も調心用Ｖ溝との接触が保持されてスム
ーズな調心作業が可能となる。また、片持ち梁が取付け
られる第２の基板とファイバ固定溝が形成される第１の
基板とは、それぞれに形成されたガイド用Ｖ溝でガイド
ピンを挟持することにより、容易かつ高精度に位置決め
できるので、複数の光ファイバとこれをクランプする複
数の片持ち梁のそれぞれの配列方向の容易かつ高精度の
位置決めが可能となる。As described above, according to the present invention, the optical fiber supported in the V-groove for alignment which is movable by the micro-arm when aligning the multi-fiber optical fiber is used for the clamp formed on the cantilever. Since it is clamped by the V-groove, the contact with the V-groove for centering is maintained even during the fiber centering movement, which enables smooth centering work. In addition, the second substrate to which the cantilever is attached and the first substrate to which the fiber fixing groove is formed have the guide pins sandwiched by the V-grooves formed in each, so that the guide pin can be easily and highly accurately formed. Since the positioning is possible, it is possible to easily and highly accurately position the plurality of optical fibers and the plurality of cantilevers that clamp the optical fibers in the respective arrangement directions.
【００４５】さらに、片持ち梁は可撓性を有し、かつ光
ファイバの光軸に対して傾斜角を有していて、そのクラ
ンプ用Ｖ溝で光ファイバをクランプするとき片持ち梁の
厚み方向と長さ方向のバネ力が合成されるように設けら
れているので、調心用Ｖ溝に支持されて半径方向に移動
する光ファイバの移動全範囲に亘って、この片持ち梁の
有する均等かつ強力で安定したバネ力で光ファイバを調
心用Ｖ溝にクランプすることが可能となる。Further, the cantilever is flexible and has an inclination angle with respect to the optical axis of the optical fiber, and when the optical fiber is clamped by the clamping V groove, the thickness of the cantilever is large. Since the spring force in the longitudinal direction and the spring force in the longitudinal direction are provided so as to be combined, the cantilever has a full range of movement of the optical fiber which is supported by the V-groove for alignment and moves in the radial direction. It is possible to clamp the optical fiber in the V-groove for alignment with a uniform, strong and stable spring force.
【図１】本発明の実施例に係る光ファイバ調心装置の斜
視図である。FIG. 1 is a perspective view of an optical fiber aligning device according to an embodiment of the present invention.
【図２】分図（ａ）は光ファイバをクランプする前段階
における光ファイバ調心装置の側面説明図、分図（ｂ）
は（ａ）の右側面拡大図である。FIG. 2A is a side view of the optical fiber aligning device before the optical fiber is clamped, and FIG.
FIG. 7A is an enlarged view of the right side surface of (a).
【図３】分図（ａ）は光ファイバをクランプしたときの
図２と同じ側面説明図、分図（ｂ）は（ａ）の右側面拡
大図である。3A is a side explanatory view similar to FIG. 2 when an optical fiber is clamped, and FIG. 3B is an enlarged right side view of FIG. 3A.
【図４】分図（ａ）は調心動作時の図２と同じ側面説明
図、分図（ｂ）は（ａ）の左側面拡大図である。FIG. 4A is a side explanatory view similar to FIG. 2 during alignment operation, and FIG. 4B is an enlarged left side view of FIG. 4A.
【図５】図（４）における光ファイバ調心移動時のクラ
ンプ状態の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a clamped state at the time of optical fiber centering movement in FIG.
【図６】光ファイバ調心時におけるＸ，Ｙ方向への光フ
ァイバの移動関係を示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing the relationship of movement of the optical fiber in the X and Y directions when the optical fiber is aligned.
【図７】従来の光ファイバ調心装置の断面説明図であ
る。FIG. 7 is a cross-sectional explanatory view of a conventional optical fiber aligning device.
【図８】図７の装置において、平板状のクランプ手段で
クランプされた光ファイバ調心移動時のクランプ状態の
説明図である。8 is an explanatory diagram of a clamped state when the optical fiber is moved by the flat plate-shaped clamp means in the apparatus of FIG.
【図９】図８のクランプ状態での光ファイバ調心時にお
けるＸ，Ｙ方向への光ファイバの移動関係を示すグラフ
である。9 is a graph showing the relationship of movement of the optical fiber in the X and Y directions when the optical fiber is aligned in the clamped state of FIG.
７…光ファイバ、１２…マイクロアーム、１２ｃ…斜
面、１３…圧電素子、１５…第１の基板、１４…調心用
Ｖ溝、１８…片持ち梁、１９…個別クランプ手段、２０
…第２の基板、２１…クランプ用Ｖ溝、２２…押圧部、
２３…第１ガイド用Ｖ溝、２４…第２ガイド用Ｖ溝、２
５…ガイドピン。7 ... Optical fiber, 12 ... Micro arm, 12c ... Slope, 13 ... Piezoelectric element, 15 ... 1st substrate, 14 ... V groove | channel for alignment, 18 ... Cantilever, 19 ... Individual clamping means, 20
... second substrate, 21 ... clamping V groove, 22 ... pressing portion,
23 ... V-groove for first guide, 24 ... V-groove for second guide, 2
5 ... Guide pin.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 濱田 眞弘 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者 藤田 勇 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者 青島 伸一 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Masahiro Hamada 1 Taya-cho, Sakae-ku, Yokohama-shi Kanagawa Sumitomo Electric Industries, Ltd. Yokohama Works (72) Inventor Yu Fujita 1 Taya-cho, Sakae-ku, Yokohama, Kanagawa Denki Kogyo Co., Ltd. Yokohama Works (72) Inventor Shinichi Aoshima 1-1-6 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Telegraph and Telephone Corporation
Claims (3)
斜面を互いに向い合わせて配設し、かつ駆動装置により
微動するように設けられた複数個のマイクロアームと、
上面に複数のファイバ固定溝が形成された第１の基板
と、前記ファイバ固定溝に配列され、かつファイバ先端
部が前記ファイバ調心用のＶ溝に支持される複数の光フ
ァイバと、前記ファイバ先端部をクランプする個別クラ
ンプ手段を具えた光ファイバ調心装置であって、 前記個別クランプ手段は、可撓性を有する複数の片持ち
梁と、前記片持ち梁の一端に形成されたクランプ用Ｖ溝
と、前記片持ち梁の他端が固定された第２の基板とから
なり、この第２の基板は前記ファイバ固定溝に配設され
た前記光ファイバを押圧するように配設されていること
を特徴とする光ファイバ調心装置。1. A plurality of micro-arms provided with slopes for forming V-grooves for fiber alignment facing each other and provided so as to be finely moved by a driving device.
A first substrate having a plurality of fiber fixing grooves formed on an upper surface thereof; a plurality of optical fibers arranged in the fiber fixing grooves and having a fiber tip end supported by the fiber alignment V groove; An optical fiber aligning device comprising individual clamping means for clamping a tip portion, wherein the individual clamping means comprises a plurality of flexible cantilever beams and a clamp formed at one end of the cantilever beam. It comprises a V groove and a second substrate having the other end of the cantilever fixed, and the second substrate is arranged so as to press the optical fiber arranged in the fiber fixing groove. An optical fiber aligning device characterized in that
が、前記第２の基板に第２のガイド用Ｖ溝がそれぞれ形
成され、この第１、第２のガイド用Ｖ溝でガイドピンを
挟持することにより、前記第１の基板と前記第２の基板
とが位置決めされることを特徴とする請求項１記載の光
ファイバ調心装置。2. A first guide V groove is formed on the first substrate, and a second guide V groove is formed on the second substrate. The first and second guide V grooves are formed respectively. The optical fiber aligning device according to claim 1, wherein the first substrate and the second substrate are positioned by sandwiching the guide pin.
側よりも前記クランプ用Ｖ溝の側が前記光ファイバに近
接するよう、前記光ファイバの光軸に対して傾斜角度を
付して前記第２の基板に取付けられていることを特徴と
する請求項１記載の光ファイバ調心装置。3. The cantilever has an inclination angle with respect to the optical axis of the optical fiber so that the clamp V groove side is closer to the optical fiber than the side closer to the second substrate. The optical fiber aligning device according to claim 1, wherein the optical fiber aligning device is attached to the second substrate.
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|---|---|---|---|
| JP2048594A JP3129904B2 (en) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | Optical fiber alignment device |
Applications Claiming Priority (1)
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| JPH07230017A true JPH07230017A (en) | 1995-08-29 |
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| JP (1) | JP3129904B2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7512305B2 (en) * | 2006-02-08 | 2009-03-31 | Bookham Technology Plc | Precision optical fiber clamp |
| JP2010122384A (en) * | 2008-11-18 | 2010-06-03 | Fujikura Ltd | Device for holding end of optical fiber and fusion splicing machine of optical fiber |
| WO2016043922A1 (en) * | 2014-09-19 | 2016-03-24 | Tyco Electronics Raychem Bvba | Optical fiber connection system including optical fiber alignment device |
| WO2017138593A1 (en) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | 古河電気工業株式会社 | Optical-fiber-holding member, and fusing device |
-
1994
- 1994-02-17 JP JP2048594A patent/JP3129904B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7512305B2 (en) * | 2006-02-08 | 2009-03-31 | Bookham Technology Plc | Precision optical fiber clamp |
| JP2010122384A (en) * | 2008-11-18 | 2010-06-03 | Fujikura Ltd | Device for holding end of optical fiber and fusion splicing machine of optical fiber |
| WO2016043922A1 (en) * | 2014-09-19 | 2016-03-24 | Tyco Electronics Raychem Bvba | Optical fiber connection system including optical fiber alignment device |
| CN107995953A (en) * | 2014-09-19 | 2018-05-04 | 康普连接比利时公司 | Optical fiber connecting system including optical fiber aligning device |
| US10197745B2 (en) | 2014-09-19 | 2019-02-05 | CommScope Connectivity Belgium BVBA | Optical fiber connection system including optical fiber alignment device |
| US10557998B2 (en) | 2014-09-19 | 2020-02-11 | CommScope Connectivity Belgium BVBA | Optical fiber connection system including optical fiber alignment device |
| WO2017138593A1 (en) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | 古河電気工業株式会社 | Optical-fiber-holding member, and fusing device |
| CN107615122A (en) * | 2016-02-12 | 2018-01-19 | 古河电气工业株式会社 | Optical fiber holding member and heat sealing machine |
| JPWO2017138593A1 (en) * | 2016-02-12 | 2018-12-06 | 古河電気工業株式会社 | Optical fiber holding member, fusion machine |
| CN107615122B (en) * | 2016-02-12 | 2020-01-10 | 古河电气工业株式会社 | Optical fiber holding member and fusion splicer |
| US10746927B2 (en) | 2016-02-12 | 2020-08-18 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical-fiber-holding member, and fusing device |
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| Publication number | Publication date |
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| JP3129904B2 (en) | 2001-01-31 |
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