JPH0719838A - 外観検査方法および装置 - Google Patents

外観検査方法および装置

Info

Publication number
JPH0719838A
JPH0719838A JP16536793A JP16536793A JPH0719838A JP H0719838 A JPH0719838 A JP H0719838A JP 16536793 A JP16536793 A JP 16536793A JP 16536793 A JP16536793 A JP 16536793A JP H0719838 A JPH0719838 A JP H0719838A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical sensor
electric signal
light
work surface
work
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16536793A
Other languages
English (en)
Inventor
Terumi Toufun
照実 藤墳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daido Steel Co Ltd
Original Assignee
Daido Steel Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daido Steel Co Ltd filed Critical Daido Steel Co Ltd
Priority to JP16536793A priority Critical patent/JPH0719838A/ja
Publication of JPH0719838A publication Critical patent/JPH0719838A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 影ができないような緩やかな凹凸を検出でき
るようにする。 【構成】 ワーク10の外周面38が平坦であれば正反
射光成分が光センサ42に入射しないように、光センサ
42と光源40との位置関係を設定し、光センサ42の
電気信号SSが予め定められた判定値より大きい場合
に、外周面38に凹凸が存在する旨の判定を行う。外周
面38に緩やかな凹凸が存在する場合に、その凹凸表面
の法線を挟んで光センサ42と光源40とが対称位置に
なると、光センサ42に正反射光成分が入射して電気信
号SSの信号強度は強くなるため、電気信号SSが判定
値より大きいか否かによって凹凸の有無を判定できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ワーク表面に光を照射
して反射光を検出し、その反射光の強弱に基づいてワー
ク表面の凹凸の有無を判定する外観検査方法および装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
(a)ワーク表面に光を照射する光源と、(b)その光
源に対して予め定められた位置に配置されて前記ワーク
表面で反射した反射光を受光し、光強度に対応する電気
信号を出力する光センサとを備え、その電気信号の強弱
に基づいて前記ワーク表面の凹凸を検出する外観検査方
法が、例えば電着塗装を施したステータコアの表面検査
などに用いられている。図11の(a)は、かかる外観
検査方法の原理を説明する図で、ワーク110の表面1
12に対して略垂直に光センサ114を配置するととも
に、光源116から表面112に斜めに光を照射するよ
うになっており、表面112が平坦であれば表面112
で反射した散乱光により光センサ114からは所定の強
度の電気信号が出力されるが、表面112に疵や突起等
の凹凸が存在する場合には影ができるため、光センサ1
14の電気信号は(b)のように影の部分で低下し、そ
の電気信号の強度低下に基づいて凹凸の有無を判定す
る。上記光センサ114は、ワーク110の幅方向すな
わち紙面に垂直な方向に多数の光電変換素子を有するラ
インセンサであり、(b)は各光電変換素子の電気信号
を取込み順に並べたものでWはワーク110の幅に相当
する。したがって、ワーク110を図11の左右方向へ
移動させれば、表面112の全域を検査できる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の外観検査方法では、例えば図6の(a)や図
7に示すように緩やかに変化する凹凸は検出できなかっ
た。すなわち、光源による光の照射角度によっても異な
るが、緩やかな凹凸の場合には影ができないため、光セ
ンサの電気信号は殆ど低下せず、その電気信号の強度低
下に基づいて凹凸の有無を判定することはできないので
ある。そして、例えばモータのステータコアの場合、僅
かな膨らみが存在するとケースに入らないため、そのよ
うな緩やかな凹凸であっても検出できるようにすること
が望まれている。
【0004】本発明は以上の事情を背景として為された
もので、その目的とするところは、影ができないような
緩やかな凹凸を検出できるようにすることにある。
【0005】
【課題を解決するための第1の手段】かかる目的を達成
するために、第1発明は、(a)ワーク表面に光を照射
する光源と、(b)その光源に対して予め定められた位
置に配置されて前記ワーク表面で反射した反射光を受光
し、光強度に対応する電気信号を出力する光センサとを
備え、その電気信号の強弱に基づいて前記ワーク表面の
凹凸を検出する外観検査方法において、(c)前記光セ
ンサを、前記ワーク表面が平坦である場合には正反射光
成分が入射しない位置に配置し、その光センサから出力
される電気信号が所定の判定値より大きい場合に前記ワ
ーク表面に凹凸が存在する旨の判定を行うことを特徴と
する。
【0006】
【第1発明の作用および効果】すなわち、光センサと光
源との位置関係は、従来と同様にワーク表面が平坦であ
ればそのワーク表面で反射した正反射光成分が光センサ
に入射しないように定められ、光センサからは散乱光に
よる所定の強度の電気信号が出力されるが、その電気信
号が所定の判定値より大きい場合、言い換えれば光セン
サが受光した光の強度が強い場合に、ワーク表面に凹凸
が存在する旨の判定を行う点が相違する。具体的に説明
すると、ワーク表面に緩やかな凹凸が存在する場合、そ
の凹凸によって反射光の進路は変化し、凹凸部の表面の
法線を挟んで光センサと光源とが対称位置となった場合
には、図6,図7に示されているように光センサに正反
射光成分が入射して電気信号が大きくなるため、その電
気信号の強度増加から凹凸の有無を判定できるのであ
る。これにより、影ができないような緩やかな凹凸を良
好に検出できるようになる。
【0007】なお、電気信号が、ワーク表面が平坦な場
合の信号強度より低い別の判定値より小さい場合にも、
ワーク表面に凹凸が存在する旨の判定を行うようにすれ
ば、従来と同様に影ができるような急峻な疵や突起等を
検出できる。
【0008】
【課題を解決するための第2の手段】第2発明は、
(a)ワーク表面に光を照射する光源と、(b)その光
源に対して予め定められた位置に配置されて前記ワーク
表面で反射した反射光を受光し、光強度に対応する電気
信号を出力する光センサとを備え、その電気信号の強弱
に基づいて前記ワーク表面の凹凸を検出する外観検査方
法において、(c)前記光センサを、前記ワーク表面が
平坦である場合に正反射光成分が入射する位置に配置
し、その光センサから出力される電気信号が所定の判定
値より小さい場合に前記ワーク表面に凹凸が存在する旨
の判定を行うことを特徴とする。
【0009】
【第2発明の作用および効果】第2発明は、光センサと
光源との位置関係を、ワーク表面が平坦であればそのワ
ーク表面で反射した正反射光成分が光センサに入射する
ように定め、その光センサから出力される電気信号が所
定の判定値より小さい場合に凹凸が存在する旨の判定を
行う。すなわち、ワーク表面に急峻な疵や突起等が存在
して影ができる場合は勿論、緩やかな凹凸が存在する場
合でも、反射光の進路が変化して正反射光成分が光セン
サに入射しなくなると、光センサから出力される電気信
号はワーク表面が平坦な場合に比較して低くなるため、
その電気信号の強度低下から凹凸の有無を判定できるの
である。この第2発明では、緩やかな凹凸のみならず急
峻な凹凸についても良好に検出できる。
【0010】
【課題を解決するための第3の手段】第3発明は、
(a)ワーク表面に光を照射する光源と、(b)その光
源に対して予め定められた位置に配置されて前記ワーク
表面で反射した反射光を受光し、光強度に対応する電気
信号を出力する光センサとを備え、その電気信号の強弱
に基づいて前記ワーク表面の凹凸を検出する外観検査装
置において、(c)前記光センサは、前記ワーク表面が
平坦である場合には正反射光成分が入射しない位置に配
置されているとともに、(d)前記光センサから出力さ
れる電気信号が所定の判定値より大きい場合に前記ワー
ク表面に凹凸が存在する旨の判定を行う比較手段を有す
ることを特徴とする。
【0011】
【第3発明の作用および効果】すなわち、この第3発明
は前記第1発明に従って外観検査を行う外観検査装置に
関するもので、ワーク表面が平坦である場合には正反射
光成分が入射しない位置に光センサを配置し、その光セ
ンサから出力される電気信号を比較手段により所定の判
定値と比較して、電気信号が判定値より大きい場合に凹
凸が存在する旨の判定を行うのであり、第1発明と同様
に緩やかな凹凸を良好に検出できる。
【0012】
【課題を解決するための第4の手段】第4発明は、
(a)ワーク表面に光を照射する光源と、(b)その光
源に対して予め定められた位置に配置されて前記ワーク
表面で反射した反射光を受光し、光強度に対応する電気
信号を出力する光センサとを備え、その電気信号の強弱
に基づいて前記ワーク表面の凹凸を検出する外観検査装
置において、(c)前記光センサは、前記ワーク表面が
平坦である場合に正反射光成分が入射する位置に配置さ
れているとともに、(d)前記光センサから出力される
電気信号が所定の判定値より小さい場合に前記ワーク表
面に凹凸が存在する旨の判定を行う比較手段を有するこ
とを特徴とする。
【0013】
【第4発明の作用および効果】すなわち、この第4発明
は前記第2発明に従って外観検査を行う外観検査装置に
関するもので、ワーク表面が平坦である場合に正反射光
成分が入射する位置に光センサを配置し、その光センサ
から出力される電気信号を比較手段により所定の判定値
と比較して、電気信号が判定値より小さい場合に凹凸が
存在する旨の判定を行うのであり、第2発明と同様に緩
やかな凹凸や急峻な凹凸を良好に検出できる。
【0014】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図1は、電着塗装が施されたリング状のス
テータコア等のワーク10を外観検査する装置で、6つ
のステーションST1〜ST6を備えており、ワーク1
0は第1ステーションST1に投入されるとともに、回
転プレート12の回転に伴って左まわりに間欠送りされ
る。回転プレート12は、支持軸14に図示しないベア
リングを介して回転可能に支持されており、モータ16
によりタイミングベルト18を介して60°間隔で間欠
回転させられるようになっている。回転プレート12の
外周部には60°間隔で6個の保持枠20が設けられて
いる一方、回転プレート12の外周側には複数のガイド
板22が位置固定に配設されており、ワーク10はそれ
等の保持枠20とガイド板22との間に保持されて送ら
れる。
【0015】第2ステーションST2はワーク10の外
周面を検査する場所で、第3ステーションST3はワー
ク10の端面を検査する場所であり、それぞれ一対ずつ
の駆動ローラ24,26、およびその駆動ローラ24,
26を回転駆動するモータ28,30が配設されてい
る。回転プレート12の保持枠20の内周側部分には、
それぞれ図示しないスプリングによって外周側へ付勢さ
れた押圧部材32が配設されており、その押圧部材32
によってワーク10は駆動ローラ24,26に押圧さ
れ、駆動ローラ24,26の回転に伴って軸心まわりに
回転させられる。また、第4ステーションST4は、上
記ステーションST2,ST3の検査結果が何れもOK
であったワーク10を排出する場所で、第5ステーショ
ンST5は何れかの検査結果がNGであったワーク10
を排出する場所であり、第4ステーションST4には排
出部を閉鎖するシャッタ34が設けられている。このシ
ャッタ34はアクチュエータ36によって開閉されるよ
うになっており、アクチュエータ36は、図示しないコ
ントローラによりステーションST2,ST3の検査結
果に従って駆動される。
【0016】上記第2ステーションST2には、図2に
示されているように、ワーク10の表面すなわち外周面
38に光を照射する光源40、および外周面38で反射
した反射光を受光してその光強度に対応する電気信号S
Sを出力する光センサ42が配設されている。光センサ
42は、その光学軸がワーク10の軸心と略直交するよ
うに、言い換えれば外周面38に対して略垂直となるよ
うに配設されている一方、光源40は、光センサ42の
光学軸に対して角度αだけ傾斜した方向から外周面38
に光を照射するように配設されている。したがって、外
周面38が平坦、厳密には軸心を中心とする滑らかな円
弧面であれば、光センサ42に正反射光成分が入射する
ことはなく、散乱光成分のみが入射することになるが、
上記角度αが大き過ぎると図3のようにセンサ出力は略
零となり、急峻な疵や突起等によって生じる影を検出し
得なくなるため、角度αは30°程度以下の範囲で設定
することが望ましい。上記光センサ42は、ワーク10
の幅方向すなわち紙面に垂直な方向に多数の光電変換素
子を有するラインセンサで、ワーク10の幅方向におけ
る反射光の光強度は1回の走査(各光電変換素子からの
信号取込み)で検出され、ワーク10が前記モータ2
8,駆動ローラ24によって1回転させられることによ
り、そのワーク10の外周面38の全域の光強度を検出
できるようになっている。
【0017】上記光センサ42は図4に示す疵判定回路
に接続されており、光センサ42から出力された電気信
号SSは第1比較器44および第2比較器46に供給さ
れる。第1比較器44は、電気信号SSの電圧値を設定
器48により設定された第1判定値V1と比較し、電気
信号SSが第1判定値V1より大きい場合に疵信号SK
1を出力する。第1判定値V1は外周面38が平坦な場
合の電気信号SSの電圧値より高く、且つ図6,図7の
ように外周面38に緩やかな凹凸が存在して正反射光成
分が光センサ42に入射した場合の電気信号SSの電圧
値より低い値で、ワーク10の表面材質や角度α等に基
づいて予め実験等により設定される。また、第2比較器
46は、電気信号SSの電圧値を設定器50により設定
された第2判定値V2と比較し、電気信号SSが第2判
定値V2より小さい場合に疵信号SK2を出力する。第
2判定値V2は外周面38が平坦な場合の電気信号SS
の電圧値より低く、且つ前記図11(a)のように疵や
突起等の急峻な凹凸によって影ができている場合の電気
信号SSの電圧値より高い値で、予め実験等により設定
される。
【0018】上記第1比較器44から出力された疵信号
SK1、および第2比較器46から出力された疵信号S
K2はオア回路52に供給され、両疵信号SK1および
SK2を合わせた疵信号SKがカウンタ54に供給され
る。カウンタ54には、第2ステーションST2に配設
された図示しないワーク検出センサから、第2ステーシ
ョンST2にワーク10が存在するか否かを表すワーク
信号SWが供給されるようになっており、1個のワーク
10を検査中に供給される疵信号SKの数をカウントし
て、その数をパソコン等の図示しないコントローラに出
力する。コントローラは、カウンタ54から供給された
疵信号SKの数が例えば予め定められた設定値以上の場
合にNGの判定を行い、前記アクチュエータ36を駆動
してそのワーク10が第4ステーションST4から排出
されないようにする。図5は、1回の走査で光センサ4
2の各光電変換素子から取り込んだ電気信号SSと、疵
信号SK1,SK2,SKとの関係を示す図で、Wはワ
ーク10の幅であり、光センサ42から出力される電気
信号SSのうち、ワーク10に関する部分Wだけが比較
器44,46へ供給されるようになっている。
【0019】このような外観検査装置においては、外周
面38が平坦であればその外周面38で反射した正反射
光成分が光センサ42に入射しないように、光源40お
よび光センサ42が配置され、その光センサ42から出
力される電気信号SSと、外周面38が平坦な場合の電
気信号SSの電圧値より高い予め設定された第1判定値
V1とを比較して、電気信号SSが第1判定値V1より
大きい場合に第1比較器44から疵信号SK1が出力さ
れるようになっているため、外周面38に緩やかな凹凸
が存在する場合でもそれを良好に検出することができ
る。すなわち、図6の(a)に示すように外周面38に
緩やかな膨らみが存在する場合、その膨らみによって反
射光の進路は変化し、膨らみの表面の法線を挟んで光セ
ンサ42と光源40とが対称位置となった場合には、光
センサ42に正反射光成分が入射して電気信号SSが図
6(b)のように大きくなるため、第1比較器44から
疵信号SK1が出力されるのである。外周面38に緩や
かな凹みが存在する場合も、図7に示すように正反射光
成分が光センサ42に入射するようになるため、電気信
号SSの信号強度が増加して第1比較器44から疵信号
SK1が出力される。本実施例は第1発明,第3発明の
一実施例であり、第1比較器44は第3発明の比較手段
に相当する。
【0020】一方、本実施例では、外周面38が平坦な
場合の電気信号SSの電圧値より低い予め設定された第
2判定値V2と電気信号SSとを比較して、電気信号S
Sが第2判定値V2より小さい場合に疵信号SK2を出
力する第2比較器46が配設されているため、図11の
(a)のように急峻な疵や突起が存在して影ができる場
合にも、その凹凸を良好に検出することができる。
【0021】次に、第2発明,第4発明の一実施例を説
明する。なお、以下の実施例において上記第1実施例と
実質的に共通する部分には同一の符号を付して詳しい説
明を省略する。
【0022】図8において、光センサ42と光源40と
の位置関係は、外周面38が平坦な場合にその外周面3
8で反射された光の正反射光成分が光センサ42に入射
するように、言い換えれば外周面38の法線を挟んで光
センサ42と光源40とが対称位置となるように定めら
れている。そして、光センサ42から出力された電気信
号SSは図9に示す疵判定回路の比較器60に供給さ
れ、電気信号SSの電圧値を設定器62により設定され
た判定値V3と比較して、電気信号SSが判定値V3よ
り小さい場合に疵信号SKを出力する。この場合の判定
値V3は、外周面38が平坦で光センサ42に正反射光
成分が入射している場合の電気信号SSの電圧値より低
く、且つ図10の(a)のように緩やかな凹凸によって
正反射光成分が光センサ42に入射しなくなった場合の
電気信号SSの電圧値より高い値で、予め実験等により
設定される。
【0023】本実施例では、図10の(a)に示すよう
に外周面38に緩やかな膨らみが存在する場合、その膨
らみ範囲Eでは光センサ42に正反射光成分が入射しな
くなるため、電気信号SSは図10の(b)のように低
下し、比較器60から疵信号SKが出力される。また、
前記図7のように緩やかな凹みが存在する場合や、図1
1の(a)のように急峻な疵や突起が存在して影ができ
る場合にも、電気信号SSの信号強度は低下して疵信号
SKが出力される。このように、本実施例では一つの比
較器60だけで緩やかな凹凸および急峻な凹凸を共に検
出できる。この実施例では比較器60が第4発明の比較
手段に相当する。なお、分解能を上げるために光センサ
42の出力は飽和レベル付近で用いることが望ましい。
また、前記第2判定値V2として上記判定値V3を設定
することにより、図4の疵判定回路をそのまま用いるこ
ともできる。
【0024】以上、本発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明したが、本発明は他の態様で実施することもで
きる。
【0025】例えば、前記実施例では円筒形状のワーク
10の外周面38を外観検査する場合について説明した
が、基本的に平坦な表面形状を有するものであれば、種
々のワークの外観検査に本発明は適用され得る。
【0026】また、前記第1実施例では光センサ42が
外周面38に対して略垂直となる姿勢で配設されていた
が、光源40から外周面38に照射された光の正反射光
成分が入射しないようになっておれば、光センサ42お
よび光源40の配設位置は適宜変更され得る。
【0027】また、前記実施例では比較器44,46,
60によって凹凸の有無を判定するようになっていた
が、マイクロコンピュータ等による信号処理で電気信号
SSと判定値V1,V2,V3とを比較して凹凸の有無
を判定するようにしても良い。
【0028】また、前記実施例では凹凸の有無、正確に
は疵信号SKの数でワーク10の良否を判断するように
なっていたが、電気信号SSに基づいて凹凸の大きさや
位置を求めるようにすることもできる。
【0029】また、前記実施例ではワーク10を回転さ
せて検査するようになっていたが、光源40および光セ
ンサ42をワーク10に対して相対移動させながら外観
検査を行うこともできる。
【0030】その他一々例示はしないが、本発明は当業
者の知識に基づいて種々の変更,改良を加えた態様で実
施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である外観検査装置の平面図
である。
【図2】図1の外観検査装置においてワークの外周面を
検査するために配設された光源と光センサとの位置関係
を説明する図である。
【図3】図2の角度αと光センサの出力との関係を示す
図である。
【図4】図2の光センサから出力された電気信号SSが
供給される疵判定回路の回路図である。
【図5】図4の信号SS,SK1,SK2,SKの関係
を示す図である。
【図6】ワーク外周面に緩やかな膨らみが存在する場合
に図2の光センサに正反射光成分が入射し、信号強度が
増大することを説明する図である。
【図7】ワーク外周面に緩やかな凹みが存在する場合に
図2の光センサに正反射光成分が入射する状態を示す図
である。
【図8】表面が平坦な時に正反射光成分が光センサに入
射するように光源および光センサが配設された場合を示
す図である。
【図9】図8の光センサから出力された電気信号SSが
供給される疵判定回路の回路図である。
【図10】ワーク外周面に緩やかな膨らみが存在する場
合に図8の光センサに正反射光成分が入射しなくなり、
信号強度が低下することを説明する図である。
【図11】疵や突起によって影ができることにより光セ
ンサの信号強度が低下し、その強度低下に基づいて凹凸
を検出する従来の外観検査方法を説明する図である。
【符号の説明】
10:ワーク 38:外周面(表面) 40:光源 42:光センサ 44:第1比較器(第3発明の比較手段) 60:比較器(第4発明の比較手段) SS:電気信号

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワーク表面に光を照射する光源と、該光
    源に対して予め定められた位置に配置されて前記ワーク
    表面で反射した反射光を受光し、光強度に対応する電気
    信号を出力する光センサとを備え、該電気信号の強弱に
    基づいて前記ワーク表面の凹凸を検出する外観検査方法
    において、 前記光センサを、前記ワーク表面が平坦である場合には
    正反射光成分が入射しない位置に配置し、該光センサか
    ら出力される電気信号が所定の判定値より大きい場合に
    前記ワーク表面に凹凸が存在する旨の判定を行うことを
    特徴とする外観検査方法。
  2. 【請求項2】 ワーク表面に光を照射する光源と、該光
    源に対して予め定められた位置に配置されて前記ワーク
    表面で反射した反射光を受光し、光強度に対応する電気
    信号を出力する光センサとを備え、該電気信号の強弱に
    基づいて前記ワーク表面の凹凸を検出する外観検査方法
    において、 前記光センサを、前記ワーク表面が平坦である場合に正
    反射光成分が入射する位置に配置し、該光センサから出
    力される電気信号が所定の判定値より小さい場合に前記
    ワーク表面に凹凸が存在する旨の判定を行うことを特徴
    とする外観検査方法。
  3. 【請求項3】 ワーク表面に光を照射する光源と、該光
    源に対して予め定められた位置に配置されて前記ワーク
    表面で反射した反射光を受光し、光強度に対応する電気
    信号を出力する光センサとを備え、該電気信号の強弱に
    基づいて前記ワーク表面の凹凸を検出する外観検査装置
    において、 前記光センサは、前記ワーク表面が平坦である場合には
    正反射光成分が入射しない位置に配置されているととも
    に、前記光センサから出力される電気信号が所定の判定
    値より大きい場合に前記ワーク表面に凹凸が存在する旨
    の判定を行う比較手段を有することを特徴とする外観検
    査装置。
  4. 【請求項4】 ワーク表面に光を照射する光源と、該光
    源に対して予め定められた位置に配置されて前記ワーク
    表面で反射した反射光を受光し、光強度に対応する電気
    信号を出力する光センサとを備え、該電気信号の強弱に
    基づいて前記ワーク表面の凹凸を検出する外観検査装置
    において、 前記光センサは、前記ワーク表面が平坦である場合に正
    反射光成分が入射する位置に配置されているとともに、
    前記光センサから出力される電気信号が所定の判定値よ
    り小さい場合に前記ワーク表面に凹凸が存在する旨の判
    定を行う比較手段を有することを特徴とする外観検査装
    置。
JP16536793A 1993-07-05 1993-07-05 外観検査方法および装置 Pending JPH0719838A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16536793A JPH0719838A (ja) 1993-07-05 1993-07-05 外観検査方法および装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16536793A JPH0719838A (ja) 1993-07-05 1993-07-05 外観検査方法および装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0719838A true JPH0719838A (ja) 1995-01-20

Family

ID=15811028

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16536793A Pending JPH0719838A (ja) 1993-07-05 1993-07-05 外観検査方法および装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0719838A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006258726A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Ricoh Co Ltd 欠陥検査方法
JP2007256238A (ja) * 2006-03-27 2007-10-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 欠陥検査方法
US9314914B2 (en) 2009-11-11 2016-04-19 Makita Corporation Power tool

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006258726A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Ricoh Co Ltd 欠陥検査方法
JP2007256238A (ja) * 2006-03-27 2007-10-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 欠陥検査方法
US9314914B2 (en) 2009-11-11 2016-04-19 Makita Corporation Power tool

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS637325B2 (ja)
JPH0719838A (ja) 外観検査方法および装置
KR102292463B1 (ko) 이미지 센서를 이용한 표면결함 검사장치 및 검사방법
JP2005337887A (ja) 頭部付き軸体の検査装置
JPH07128240A (ja) 電子写真感光体欠陥検査装置
JPH07218442A (ja) 円筒物検査装置
JP4753706B2 (ja) 光沢平面検査装置
JPH07248300A (ja) 部品検査装置
JPS5920082B2 (ja) 円筒状工作物の自動検査選別装置
JPH11223504A (ja) 軸状ワークの検査装置
JPH08271445A (ja) 球体外観検査方法及び球体外観検査装置
JPH07128241A (ja) 電子写真感光体欠陥検査装置
JPH05340743A (ja) 表面検査方法
JP4698963B2 (ja) 光沢面検査装置
JPH09159576A (ja) 球の探傷装置
JPH08193821A (ja) 表面検査装置
JPH06201656A (ja) 螢光磁粉式自動探傷装置
JP4430428B2 (ja) 外観検査装置
JPH0894542A (ja) 亜鉛めっき系鋼板用表面欠陥検出装置
JPH0221252A (ja) 板状製品の表面形状検出方法
JP3191397B2 (ja) 自動探傷装置
JP3082755U (ja) 回転体表面検査装置
JPH0648397Y2 (ja) 検査装置
JPS63243850A (ja) 圧延板材におけるスリバ−欠陥の検出方法
JPH06300713A (ja) 欠陥状態検査システム