JPH07191119A - 磁界測定用ホールプローブ - Google Patents
磁界測定用ホールプローブInfo
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- JPH07191119A JPH07191119A JP5348401A JP34840193A JPH07191119A JP H07191119 A JPH07191119 A JP H07191119A JP 5348401 A JP5348401 A JP 5348401A JP 34840193 A JP34840193 A JP 34840193A JP H07191119 A JPH07191119 A JP H07191119A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 X・Y・Z方向の測定を出来るだけ一致した
測定点で行い、磁界の分布状態に拘らず測定誤差が出来
るだけ小さくなる磁界測定用ホールプローブを提供する
こと。 【構成】 ホール素子チップの感磁パターンを直交3次
元座標軸X・Y・Zの各方向に垂直に配し、被測定磁界
をX・Y・Zの3方向に分解して測定する磁界測定用ホ
ールプローブにおいて、感磁パターン7a,8a,9
a,10a,11aの中心部7b,8b,9b,10
b,11bを一平面上に配置すると共に、Z方向用ホー
ル素子チップ7の感磁パターン7aの中心部7bと、X
方向用ホール素子チップ8,9及びY方向用ホール素子
チップ10,11の感磁パターン8a,9a,10a,
11aの中心部8b,9b,10b,11bとの距離
が、ほぼ等しくなるように配置した。
測定点で行い、磁界の分布状態に拘らず測定誤差が出来
るだけ小さくなる磁界測定用ホールプローブを提供する
こと。 【構成】 ホール素子チップの感磁パターンを直交3次
元座標軸X・Y・Zの各方向に垂直に配し、被測定磁界
をX・Y・Zの3方向に分解して測定する磁界測定用ホ
ールプローブにおいて、感磁パターン7a,8a,9
a,10a,11aの中心部7b,8b,9b,10
b,11bを一平面上に配置すると共に、Z方向用ホー
ル素子チップ7の感磁パターン7aの中心部7bと、X
方向用ホール素子チップ8,9及びY方向用ホール素子
チップ10,11の感磁パターン8a,9a,10a,
11aの中心部8b,9b,10b,11bとの距離
が、ほぼ等しくなるように配置した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁界を3方向に分解し
て測定し、磁界とプローブの方向に拘らず、磁界の絶対
値を測定したり、あるいは3方向に分解してベクトル表
示する磁界センサに適用する磁界測定用ホールプローブ
に関する。
て測定し、磁界とプローブの方向に拘らず、磁界の絶対
値を測定したり、あるいは3方向に分解してベクトル表
示する磁界センサに適用する磁界測定用ホールプローブ
に関する。
【0002】
【従来の技術】図9に示すように、従来の3方向磁界測
定用ホールプローブ100としては、角柱形状の樹脂モ
ールド製基体101の端面102にZ方向用ホール素子
チップ103をその感磁パターン104をZ方向に垂直
にして固着し、更にX方向用ホール素子チップ105及
びY方向用ホール素子チップ106を夫々樹脂モールド
製基体101の側面107,108に夫々の感磁パター
ン109,110をX方向及びY方向に垂直にして固着
し、全体を円筒形状の外筒(不図示)内に収納している
ものが知られている。なお、111は各ホール素子チッ
プ103,105,106の電流端子及びホール端子に
接続したリード線である。
定用ホールプローブ100としては、角柱形状の樹脂モ
ールド製基体101の端面102にZ方向用ホール素子
チップ103をその感磁パターン104をZ方向に垂直
にして固着し、更にX方向用ホール素子チップ105及
びY方向用ホール素子チップ106を夫々樹脂モールド
製基体101の側面107,108に夫々の感磁パター
ン109,110をX方向及びY方向に垂直にして固着
し、全体を円筒形状の外筒(不図示)内に収納している
ものが知られている。なお、111は各ホール素子チッ
プ103,105,106の電流端子及びホール端子に
接続したリード線である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術において
は、各ホール素子チップ103,105,106の感磁
パターン104,109,110の中心部の位置が、互
いにX・Y・Zの各方向で夫々約1mm離れている。従
って、磁界の分布測定において、X・Y・Zの各方向の
測定点が一致していないため、磁界が緩やかに変化して
いる場合の測定誤差は小さいが、磁界が急激に変化して
いる場合の測定誤差は大きくなるという問題点を有して
いた。
は、各ホール素子チップ103,105,106の感磁
パターン104,109,110の中心部の位置が、互
いにX・Y・Zの各方向で夫々約1mm離れている。従
って、磁界の分布測定において、X・Y・Zの各方向の
測定点が一致していないため、磁界が緩やかに変化して
いる場合の測定誤差は小さいが、磁界が急激に変化して
いる場合の測定誤差は大きくなるという問題点を有して
いた。
【0004】本発明は、従来の技術が有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、X・Y・Z方向の測定を出来るだけ一致した測
定点で行い、磁界の分布状態に拘らず測定誤差が出来る
だけ小さくなる磁界測定用ホールプローブを提供しよう
とするものである。
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、X・Y・Z方向の測定を出来るだけ一致した測
定点で行い、磁界の分布状態に拘らず測定誤差が出来る
だけ小さくなる磁界測定用ホールプローブを提供しよう
とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明は、複数のホール素子チップの感磁パターンを直交
3次元座標軸X・Y・Zの各方向に垂直に配し、被測定
磁界をX・Y・Zの3方向に分解して測定する磁界測定
用ホールプローブにおいて、前記感磁パターンの中心部
を一平面上に配置すると共に、前記Z方向用ホール素子
チップの感磁パターンの中心部と、X方向用ホール素子
チップ及びY方向用ホール素子チップの感磁パターンの
中心部との距離が、ほぼ等しくなるように配置したもの
である。
発明は、複数のホール素子チップの感磁パターンを直交
3次元座標軸X・Y・Zの各方向に垂直に配し、被測定
磁界をX・Y・Zの3方向に分解して測定する磁界測定
用ホールプローブにおいて、前記感磁パターンの中心部
を一平面上に配置すると共に、前記Z方向用ホール素子
チップの感磁パターンの中心部と、X方向用ホール素子
チップ及びY方向用ホール素子チップの感磁パターンの
中心部との距離が、ほぼ等しくなるように配置したもの
である。
【0006】また、前記Z方向用ホール素子チップをそ
の感磁パターンをZ方向に垂直にして絶縁性基体の端面
に固着し、X方向用ホール素子チップ及びY方向用ホー
ル素子チップを夫々2個前記Z方向用ホール素子チップ
を挟んで対向するようにその感磁パターンをX方向及び
Y方向に垂直にして絶縁性基板の側面に固着したもので
ある。
の感磁パターンをZ方向に垂直にして絶縁性基体の端面
に固着し、X方向用ホール素子チップ及びY方向用ホー
ル素子チップを夫々2個前記Z方向用ホール素子チップ
を挟んで対向するようにその感磁パターンをX方向及び
Y方向に垂直にして絶縁性基板の側面に固着したもので
ある。
【0007】また、前記2個のX方向用ホール素子チッ
プの出力信号を平均してX方向の磁界とし、前記2個の
Y方向用ホール素子チップの出力信号を平均してY方向
の磁界とし、前記Z方向用ホール素子チップの出力信号
をZ方向の磁界とするとよい。
プの出力信号を平均してX方向の磁界とし、前記2個の
Y方向用ホール素子チップの出力信号を平均してY方向
の磁界とし、前記Z方向用ホール素子チップの出力信号
をZ方向の磁界とするとよい。
【0008】3個のホール素子チップの感磁パターンを
直交3次元座標軸X・Y・Zの各方向に垂直に配し、被
測定磁界をX・Y・Zの3方向に分解して測定する磁界
測定用ホールプローブにおいて、前記感磁パターンの中
心部を一平面上に配置すると共に、前記Z方向用ホール
素子チップの感磁パターンの中心部と、X方向用ホール
素子チップ及びY方向用ホール素子チップの感磁パター
ンの中心部との距離が、ほぼ等しくなるように配置した
ものである。
直交3次元座標軸X・Y・Zの各方向に垂直に配し、被
測定磁界をX・Y・Zの3方向に分解して測定する磁界
測定用ホールプローブにおいて、前記感磁パターンの中
心部を一平面上に配置すると共に、前記Z方向用ホール
素子チップの感磁パターンの中心部と、X方向用ホール
素子チップ及びY方向用ホール素子チップの感磁パター
ンの中心部との距離が、ほぼ等しくなるように配置した
ものである。
【0009】また、前記X方向用ホール素子チップの感
磁パターンの中心部と前記Y方向用ホール素子チップの
感磁パターンの中心部との距離が前記Z方向用ホール素
子チップの感磁パターンの中心部と、X方向用ホール素
子チップ及びY方向用ホール素子チップの感磁パターン
の中心部との距離とほぼ等しくなるように配置するとよ
い。
磁パターンの中心部と前記Y方向用ホール素子チップの
感磁パターンの中心部との距離が前記Z方向用ホール素
子チップの感磁パターンの中心部と、X方向用ホール素
子チップ及びY方向用ホール素子チップの感磁パターン
の中心部との距離とほぼ等しくなるように配置するとよ
い。
【0010】また、前記Z方向用ホール素子チップをそ
の感磁パターンをZ方向に垂直にして絶縁性基体の端面
に固着し、X方向用ホール素子チップ及びY方向用ホー
ル素子チップを夫々前記Z方向用ホール素子チップに対
向するようにその感磁パターンをX方向及びY方向に垂
直にして絶縁性基板の側面に固着したものである。
の感磁パターンをZ方向に垂直にして絶縁性基体の端面
に固着し、X方向用ホール素子チップ及びY方向用ホー
ル素子チップを夫々前記Z方向用ホール素子チップに対
向するようにその感磁パターンをX方向及びY方向に垂
直にして絶縁性基板の側面に固着したものである。
【0011】
【作用】磁界の測定において、X・Y・Z方向成分の各
測定が出来るだけ一致した測定点で行われる。
測定が出来るだけ一致した測定点で行われる。
【0012】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図1は請求項2に係る磁界測定用ホ
ールプローブの透視斜視図、図2は同じく正面図、図3
は同じく断面図、図4は請求項6に係る磁界測定用ホー
ルプローブの透視斜視図、図5は同じく正面図、図6は
同じく断面図、図7及び図8は磁界測定用ホールプロー
ブを適用した磁界測定システムのブロック図である。
説明する。ここで、図1は請求項2に係る磁界測定用ホ
ールプローブの透視斜視図、図2は同じく正面図、図3
は同じく断面図、図4は請求項6に係る磁界測定用ホー
ルプローブの透視斜視図、図5は同じく正面図、図6は
同じく断面図、図7及び図8は磁界測定用ホールプロー
ブを適用した磁界測定システムのブロック図である。
【0013】請求項2に係る磁界測定用ホールプローブ
1は、図1に示すように、角柱形状の樹脂モールド製基
体2を中心として、基体2の4側面2a,2b,2c,
2dに対向して樹脂基板3,4,5,6が配設され、基
体2の端面2eにZ方向用ホール素子チップ7、樹脂基
板3,4の側面3a,4aにX方向用ホール素子チップ
8,9、樹脂基板5,6の側面5a,6aにY方向用ホ
ール素子チップ10,11を固着して構成されている。
1は、図1に示すように、角柱形状の樹脂モールド製基
体2を中心として、基体2の4側面2a,2b,2c,
2dに対向して樹脂基板3,4,5,6が配設され、基
体2の端面2eにZ方向用ホール素子チップ7、樹脂基
板3,4の側面3a,4aにX方向用ホール素子チップ
8,9、樹脂基板5,6の側面5a,6aにY方向用ホ
ール素子チップ10,11を固着して構成されている。
【0014】また、基体2及び樹脂基板3,4,5,6
は、円筒形状の外筒(Al,セラミック製)12に収納
されている。更に、外筒12内には、ホール素子チップ
7,8,9,10,11の保護等のために樹脂13が充
填されている。なお、ホール素子チップ7,8,9,1
0,11は、例えばGaAsホール素子から成ってい
る。
は、円筒形状の外筒(Al,セラミック製)12に収納
されている。更に、外筒12内には、ホール素子チップ
7,8,9,10,11の保護等のために樹脂13が充
填されている。なお、ホール素子チップ7,8,9,1
0,11は、例えばGaAsホール素子から成ってい
る。
【0015】また、基体2及び樹脂基板3,4,5,6
の表面には、磁界測定用ホールプローブ1から外部に出
力したり、外部から磁界測定用ホールプローブ1に入力
するための導電層パターン14が形成されている。そし
て、ホール素子チップ7,8,9,10,11の電流端
子及びホール端子と導電層パターン14は、金線15で
接続されている。
の表面には、磁界測定用ホールプローブ1から外部に出
力したり、外部から磁界測定用ホールプローブ1に入力
するための導電層パターン14が形成されている。そし
て、ホール素子チップ7,8,9,10,11の電流端
子及びホール端子と導電層パターン14は、金線15で
接続されている。
【0016】ここで、Z方向用ホール素子チップ7の感
磁パターン7aに垂直な方向は、直交3次元座標軸X・
Y・ZのうちZ方向に一致するものとする。更に、X方
向用ホール素子チップ8,9の感磁パターン8a,9a
に垂直な方向は、X方向に一致し、Y方向用ホール素子
チップ10,11の感磁パターン10a,11aに垂直
な方向は、Y方向に一致している。
磁パターン7aに垂直な方向は、直交3次元座標軸X・
Y・ZのうちZ方向に一致するものとする。更に、X方
向用ホール素子チップ8,9の感磁パターン8a,9a
に垂直な方向は、X方向に一致し、Y方向用ホール素子
チップ10,11の感磁パターン10a,11aに垂直
な方向は、Y方向に一致している。
【0017】また、図2及び図3に示すように、各ホー
ル素子チップ7,8,9,10,11の感磁パターン7
a,8a,9a,10a,11aの中心部7b,8b,
9b,10b,11bは、Z方向用ホール素子チップ7
の感磁パターン7aと一致する同一平面上に存在する。
ル素子チップ7,8,9,10,11の感磁パターン7
a,8a,9a,10a,11aの中心部7b,8b,
9b,10b,11bは、Z方向用ホール素子チップ7
の感磁パターン7aと一致する同一平面上に存在する。
【0018】更に、X方向用ホール素子チップ8,9の
感磁パターン8a,9aの中心部8b,9bとY方向用
ホール素子チップ10,11の感磁パターン10a,1
1aの中心部10b,11bは、夫々Z方向用ホール素
子チップ7の感磁パターン7aの中心部7bとの距離が
ほぼ等しくなるように配置されている。
感磁パターン8a,9aの中心部8b,9bとY方向用
ホール素子チップ10,11の感磁パターン10a,1
1aの中心部10b,11bは、夫々Z方向用ホール素
子チップ7の感磁パターン7aの中心部7bとの距離が
ほぼ等しくなるように配置されている。
【0019】以上のように構成した請求項2に係る磁界
測定用ホールプローブ1の作用について説明する。磁界
測定用ホールプローブ1の中心線方向(Z方向)の磁界
は、Z方向用ホール素子チップ7によって検出する。磁
界測定用ホールプローブ1の中心線に垂直な方向(X方
向及びY方向)の磁界は、X方向用ホール素子チップ
8,9とY方向用ホール素子チップ10,11によって
検出する。
測定用ホールプローブ1の作用について説明する。磁界
測定用ホールプローブ1の中心線方向(Z方向)の磁界
は、Z方向用ホール素子チップ7によって検出する。磁
界測定用ホールプローブ1の中心線に垂直な方向(X方
向及びY方向)の磁界は、X方向用ホール素子チップ
8,9とY方向用ホール素子チップ10,11によって
検出する。
【0020】X方向の磁界強度の値は、ホール素子チッ
プ8の出力電圧とホール素子チップ9の出力電圧を平均
した値を用いて算出する。また、Y方向の磁界強度の値
は、ホール素子チップ10の出力電圧とホール素子チッ
プ11の出力電圧を平均した値を用いて算出する。
プ8の出力電圧とホール素子チップ9の出力電圧を平均
した値を用いて算出する。また、Y方向の磁界強度の値
は、ホール素子チップ10の出力電圧とホール素子チッ
プ11の出力電圧を平均した値を用いて算出する。
【0021】このようなホール素子チップ7,8,9,
10,11の配置と磁界強度の算出方法によって、磁界
強度の測定点は、Z方向用ホール素子チップ7の感磁パ
ターン7aの中心部7bの一点と見なすことが出来る。
10,11の配置と磁界強度の算出方法によって、磁界
強度の測定点は、Z方向用ホール素子チップ7の感磁パ
ターン7aの中心部7bの一点と見なすことが出来る。
【0022】磁界測定用ホールプローブ1の出力電圧か
ら、磁界強度を算出するには、図7及び図8に示す磁界
測定システムを使用する。図7に示す磁界測定システム
の場合には、Z方向用ホール素子チップ7の出力電圧V
zはZ用デジボル(デジタルボルトメータ)20、X方
向用ホール素子チップ8,9の出力電圧VxはX用デジ
ボル21、Y方向用ホール素子チップ10,11の出力
電圧VyはY用デジボル22で測定し、測定値Vx,V
y,Vzを制御演算装置23に送って演算処理し、磁界強
度の値を算出する。
ら、磁界強度を算出するには、図7及び図8に示す磁界
測定システムを使用する。図7に示す磁界測定システム
の場合には、Z方向用ホール素子チップ7の出力電圧V
zはZ用デジボル(デジタルボルトメータ)20、X方
向用ホール素子チップ8,9の出力電圧VxはX用デジ
ボル21、Y方向用ホール素子チップ10,11の出力
電圧VyはY用デジボル22で測定し、測定値Vx,V
y,Vzを制御演算装置23に送って演算処理し、磁界強
度の値を算出する。
【0023】なお、X方向用ホール素子チップ8,9の
出力電圧Vx及びY方向用ホール素子チップ10,11
の出力電圧Vyについては、制御演算装置23からの指
令信号S1によりオン・オフ状態になる開閉器24によ
って時分割でX用デジボル21及びY用デジボル22で
測定され、制御演算装置23に入力される。なお、25
はホール素子チップ7,8,9,10,11に所定の電
流を流すための電源である。
出力電圧Vx及びY方向用ホール素子チップ10,11
の出力電圧Vyについては、制御演算装置23からの指
令信号S1によりオン・オフ状態になる開閉器24によ
って時分割でX用デジボル21及びY用デジボル22で
測定され、制御演算装置23に入力される。なお、25
はホール素子チップ7,8,9,10,11に所定の電
流を流すための電源である。
【0024】また、図8に示す磁界測定システムの場合
には、1個のデジボル26を開閉器27を介して各ホー
ル素子チップ7,8,9,10,11と接続し、制御演
算装置23からの指令信号S2により開閉器28をオン
・オフ状態にして出力電圧Vx,Vy,Vzを測定し、制
御演算装置23に入力する。この場合、磁界を測定して
いるホール素子チップにのみ所定の電流を流すように、
電源25を開閉器28を介して各ホール素子チップ7,
8,9,10,11と接続し、制御演算装置23からの
指令信号S3により開閉器28をオン・オフしている。
なお、図8にはX方向用ホール素子チップ9の出力電圧
Vxを測定している状態を示している。
には、1個のデジボル26を開閉器27を介して各ホー
ル素子チップ7,8,9,10,11と接続し、制御演
算装置23からの指令信号S2により開閉器28をオン
・オフ状態にして出力電圧Vx,Vy,Vzを測定し、制
御演算装置23に入力する。この場合、磁界を測定して
いるホール素子チップにのみ所定の電流を流すように、
電源25を開閉器28を介して各ホール素子チップ7,
8,9,10,11と接続し、制御演算装置23からの
指令信号S3により開閉器28をオン・オフしている。
なお、図8にはX方向用ホール素子チップ9の出力電圧
Vxを測定している状態を示している。
【0025】請求項6に係る磁界測定用ホールプローブ
31は、図4に示すように、角柱形状の樹脂モールド製
基体32を中心として、基体32の側面32a,32b
に対向して樹脂基板33,35が配設され、基体32の
端面32eにZ方向用ホール素子チップ37、樹脂基板
33の側面33aにX方向用ホール素子チップ38、樹
脂基板35の側面35aにY方向用ホール素子チップ4
0を固着して構成されている。
31は、図4に示すように、角柱形状の樹脂モールド製
基体32を中心として、基体32の側面32a,32b
に対向して樹脂基板33,35が配設され、基体32の
端面32eにZ方向用ホール素子チップ37、樹脂基板
33の側面33aにX方向用ホール素子チップ38、樹
脂基板35の側面35aにY方向用ホール素子チップ4
0を固着して構成されている。
【0026】また、基体32及び樹脂基板33,35
は、円筒形状の外筒(Al,セラミック製)42に収納
されている。更に、外筒42内には、ホール素子チップ
37,38,40の保護等のために樹脂43が充填され
ている。なお、ホール素子チップ37,38,40は、
例えばGaAsホール素子から成っている。
は、円筒形状の外筒(Al,セラミック製)42に収納
されている。更に、外筒42内には、ホール素子チップ
37,38,40の保護等のために樹脂43が充填され
ている。なお、ホール素子チップ37,38,40は、
例えばGaAsホール素子から成っている。
【0027】また、基体32及び樹脂基板33,35の
表面には、磁界測定用ホールプローブ31から外部に出
力したり、外部から磁界測定用ホールプローブ31に入
力するための導電層パターン44が形成されている。そ
して、ホール素子チップ37,38,40の電流端子及
びホール端子と導電層パターン44は、金線45で接続
されている。
表面には、磁界測定用ホールプローブ31から外部に出
力したり、外部から磁界測定用ホールプローブ31に入
力するための導電層パターン44が形成されている。そ
して、ホール素子チップ37,38,40の電流端子及
びホール端子と導電層パターン44は、金線45で接続
されている。
【0028】ここで、Z方向用ホール素子チップ37の
感磁パターン37aに垂直な方向は、直交3次元座標軸
X・Y・ZのうちZ方向に一致するものとする。更に、
X方向用ホール素子チップ38の感磁パターン38aに
垂直な方向は、X方向に一致し、Y方向用ホール素子チ
ップ40の感磁パターン40aに垂直な方向は、Y方向
に一致している。
感磁パターン37aに垂直な方向は、直交3次元座標軸
X・Y・ZのうちZ方向に一致するものとする。更に、
X方向用ホール素子チップ38の感磁パターン38aに
垂直な方向は、X方向に一致し、Y方向用ホール素子チ
ップ40の感磁パターン40aに垂直な方向は、Y方向
に一致している。
【0029】また、図5及び図6に示すように、各ホー
ル素子チップ37,38,40の感磁パターン37a,
38a,40aの中心部37b,38b,40bは、Z
方向用ホール素子チップ37の感磁パターン37aと一
致する同一平面上に存在する。
ル素子チップ37,38,40の感磁パターン37a,
38a,40aの中心部37b,38b,40bは、Z
方向用ホール素子チップ37の感磁パターン37aと一
致する同一平面上に存在する。
【0030】更に、X方向用ホール素子チップ38の感
磁パターン38aの中心部38bとY方向用ホール素子
チップ40の感磁パターン40aの中心部40bは、夫
々Z方向用ホール素子チップ37の感磁パターン37a
の中心部37bとの距離がほぼ等しくなるように配置さ
れている。
磁パターン38aの中心部38bとY方向用ホール素子
チップ40の感磁パターン40aの中心部40bは、夫
々Z方向用ホール素子チップ37の感磁パターン37a
の中心部37bとの距離がほぼ等しくなるように配置さ
れている。
【0031】以上のように構成した請求項6に係る磁界
測定用ホールプローブ31の作用について説明する。磁
界測定用ホールプローブ31の中心線方向(Z方向)の
磁界は、Z方向用ホール素子チップ37によって検出す
る。磁界測定用ホールプローブ31の中心線に垂直な方
向(X方向及びY方向)の磁界は、X方向用ホール素子
チップ38とY方向用ホール素子チップ40によって検
出する。
測定用ホールプローブ31の作用について説明する。磁
界測定用ホールプローブ31の中心線方向(Z方向)の
磁界は、Z方向用ホール素子チップ37によって検出す
る。磁界測定用ホールプローブ31の中心線に垂直な方
向(X方向及びY方向)の磁界は、X方向用ホール素子
チップ38とY方向用ホール素子チップ40によって検
出する。
【0032】磁界測定用ホールプローブ31の出力電圧
から、磁界強度を算出するには、図7に示す磁界測定シ
ステムを使用することにより、磁界測定用ホールプロー
ブ1と同様に行うことが出来る。
から、磁界強度を算出するには、図7に示す磁界測定シ
ステムを使用することにより、磁界測定用ホールプロー
ブ1と同様に行うことが出来る。
【0033】また、図9に示す従来の磁界測定用ホール
プローブ100において、各ホール素子チップ103,
105,106の感磁パターン104,109,110
の中心部間の距離が、夫々等しいとする。
プローブ100において、各ホール素子チップ103,
105,106の感磁パターン104,109,110
の中心部間の距離が、夫々等しいとする。
【0034】すると、磁界測定用ホールプローブ31の
ように各ホール素子チップ37,38,40の中心部3
7b,38b,40bが、Z方向用ホール素子チップ3
7の感磁パターン37aと一致する同一平面上に存在す
るので、Z方向用ホール素子チップ37の中心部37b
とX方向用ホール素子チップ38の中心部38b及びY
方向用ホール素子チップ40の中心部40bとの距離
は、従来の磁界測定用ホールプローブ100の中心部間
の距離と、X、Y、Z方向それぞれに同一の距離ホール
素子チップ間が離れているとすると、従来の磁界測定用
ホールプローブ100の中心部間の距離に(1/2)の
平方根を乗算した値にすることが出来る。
ように各ホール素子チップ37,38,40の中心部3
7b,38b,40bが、Z方向用ホール素子チップ3
7の感磁パターン37aと一致する同一平面上に存在す
るので、Z方向用ホール素子チップ37の中心部37b
とX方向用ホール素子チップ38の中心部38b及びY
方向用ホール素子チップ40の中心部40bとの距離
は、従来の磁界測定用ホールプローブ100の中心部間
の距離と、X、Y、Z方向それぞれに同一の距離ホール
素子チップ間が離れているとすると、従来の磁界測定用
ホールプローブ100の中心部間の距離に(1/2)の
平方根を乗算した値にすることが出来る。
【0035】また、各ホール素子チップ37,38,4
0の中心部37b,38b,40b間の距離が、従来の
磁界測定用ホールプローブ100の中心部間の距離と、
X、Y、Z方向それぞれに同一の距離ホール素子チップ
間が離れているとすると、従来の磁界測定用ホールプロ
ーブ100の中心部間の距離に(1/2)の平方根を乗
算した値になるように配置することが出来る。
0の中心部37b,38b,40b間の距離が、従来の
磁界測定用ホールプローブ100の中心部間の距離と、
X、Y、Z方向それぞれに同一の距離ホール素子チップ
間が離れているとすると、従来の磁界測定用ホールプロ
ーブ100の中心部間の距離に(1/2)の平方根を乗
算した値になるように配置することが出来る。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように請求項2に係る磁界
測定用ホールプローブによれば、磁界強度の測定点をプ
ローブの中心と仮想的に一致させることが出来、より精
度の高い磁界分布測定が可能になる。また、請求項6に
係る磁界測定用ホールプローブによれば、プローブの太
さを従来のプローブよりも細くすることが出来る。
測定用ホールプローブによれば、磁界強度の測定点をプ
ローブの中心と仮想的に一致させることが出来、より精
度の高い磁界分布測定が可能になる。また、請求項6に
係る磁界測定用ホールプローブによれば、プローブの太
さを従来のプローブよりも細くすることが出来る。
【図1】請求項2に係る磁界測定用ホールプローブの透
視斜視図
視斜視図
【図2】請求項2に係る磁界測定用ホールプローブの正
面図
面図
【図3】請求項2に係る磁界測定用ホールプローブの断
面図
面図
【図4】請求項6に係る磁界測定用ホールプローブの透
視斜視図
視斜視図
【図5】請求項6に係る磁界測定用ホールプローブの正
面図
面図
【図6】請求項6に係る磁界測定用ホールプローブの断
面図
面図
【図7】磁界測定用ホールプローブを適用した磁界測定
システムのブロック図
システムのブロック図
【図8】磁界測定用ホールプローブを適用した磁界測定
システムのブロック図
システムのブロック図
【図9】従来の磁界測定用ホールプローブの斜視図
1,31…磁界測定用ホールプローブ、2,32…樹脂
モールド製基体、2a,2b,2c,2d,32a,3
2b…樹脂モールド製基体の側面、2e,32e…樹脂
モールド製基体の端面、3,4,5,6,33,35…
樹脂基板、3a,4a,5a,6a,33a,35a…
樹脂基板の側面、7,37…Z方向用ホール素子チッ
プ、7a,8a,9a,10a,11a,37a,38
a,40a…感磁パターン、7b,8b,9b,10
b,11b,37b,38b,40b…感磁パターンの
中心部、8,9,38…X方向用ホール素子チップ、1
0,11,40…Y方向用ホール素子チップ、12,4
2…外筒、13,43…樹脂、14,44…導電層パタ
ーン、15,45…金線。
モールド製基体、2a,2b,2c,2d,32a,3
2b…樹脂モールド製基体の側面、2e,32e…樹脂
モールド製基体の端面、3,4,5,6,33,35…
樹脂基板、3a,4a,5a,6a,33a,35a…
樹脂基板の側面、7,37…Z方向用ホール素子チッ
プ、7a,8a,9a,10a,11a,37a,38
a,40a…感磁パターン、7b,8b,9b,10
b,11b,37b,38b,40b…感磁パターンの
中心部、8,9,38…X方向用ホール素子チップ、1
0,11,40…Y方向用ホール素子チップ、12,4
2…外筒、13,43…樹脂、14,44…導電層パタ
ーン、15,45…金線。
Claims (6)
- 【請求項1】 複数のホール素子チップの感磁パターン
を直交3次元座標軸X・Y・Zの各方向に垂直に配し、
被測定磁界をX・Y・Zの3方向に分解して測定する磁
界測定用ホールプローブにおいて、前記感磁パターンの
中心部を一平面上に配置すると共に、前記Z方向用ホー
ル素子チップの感磁パターンの中心部と、X方向用ホー
ル素子チップ及びY方向用ホール素子チップの感磁パタ
ーンの中心部との距離が、ほぼ等しくなるように配置し
たことを特徴とする磁界測定用ホールプローブ。 - 【請求項2】 前記Z方向用ホール素子チップをその感
磁パターンをZ方向に垂直にして絶縁性基体の端面に固
着し、X方向用ホール素子チップ及びY方向用ホール素
子チップを夫々2個前記Z方向用ホール素子チップを挟
んで対向するようにその感磁パターンをX方向及びY方
向に垂直にして絶縁性基板の側面に固着した請求項1記
載の磁界測定用ホールプローブ。 - 【請求項3】 前記2個のX方向用ホール素子チップの
出力信号を平均してX方向の磁界とし、前記2個のY方
向用ホール素子チップの出力信号を平均してY方向の磁
界とし、前記Z方向用ホール素子チップの出力信号をZ
方向の磁界とする請求項1又は2記載の磁界測定用ホー
ルプローブ。 - 【請求項4】 3個のホール素子チップの感磁パターン
を直交3次元座標軸X・Y・Zの各方向に垂直に配し、
被測定磁界をX・Y・Zの3方向に分解して測定する磁
界測定用ホールプローブにおいて、前記感磁パターンの
中心部を一平面上に配置すると共に、前記Z方向用ホー
ル素子チップの感磁パターンの中心部と、X方向用ホー
ル素子チップ及びY方向用ホール素子チップの感磁パタ
ーンの中心部との距離が、ほぼ等しくなるように配置し
たことを特徴とする磁界測定用ホールプローブ。 - 【請求項5】 前記X方向用ホール素子チップの感磁パ
ターンの中心部と前記Y方向用ホール素子チップの感磁
パターンの中心部との距離が前記Z方向用ホール素子チ
ップの感磁パターンの中心部と、X方向用ホール素子チ
ップ及びY方向用ホール素子チップの感磁パターンの中
心部との距離とほぼ等しくなるように配置した請求項4
記載の磁界測定用ホールプローブ。 - 【請求項6】 前記Z方向用ホール素子チップをその感
磁パターンをZ方向に垂直にして絶縁性基体の端面に固
着し、X方向用ホール素子チップ及びY方向用ホール素
子チップを夫々前記Z方向用ホール素子チップに対向す
るようにその感磁パターンをX方向及びY方向に垂直に
して絶縁性基板の側面に固着した請求項4又は5記載の
磁界測定用ホールプローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5348401A JPH07191119A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 磁界測定用ホールプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5348401A JPH07191119A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 磁界測定用ホールプローブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07191119A true JPH07191119A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18396778
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5348401A Pending JPH07191119A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 磁界測定用ホールプローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07191119A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100562874B1 (ko) * | 2005-01-19 | 2006-03-23 | 주식회사 마이크로게이트 | 전자나침반용 수직축 박막 플럭스게이트 소자의 조립 방법 |
KR100702087B1 (ko) * | 2004-07-09 | 2007-04-02 | 야마하 가부시키가이샤 | 자기 센서를 테스트하기 위한 프로브 카드 및 방법 |
JP2007508533A (ja) * | 2003-10-08 | 2007-04-05 | サントル ナシオナル デチュード スパシアル | 磁場測定プローブ |
JP2007256293A (ja) * | 2002-03-27 | 2007-10-04 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
JP2018054453A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 日置電機株式会社 | 検出センサおよび検査装置 |
JP2019527342A (ja) * | 2016-07-15 | 2019-09-26 | ルクセンブルク インスティトゥート オブ サイエンス アンド テクノロジー(リスト) | ホールプローブ |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5348401A patent/JPH07191119A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007256293A (ja) * | 2002-03-27 | 2007-10-04 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
JP2007508533A (ja) * | 2003-10-08 | 2007-04-05 | サントル ナシオナル デチュード スパシアル | 磁場測定プローブ |
JP4871725B2 (ja) * | 2003-10-08 | 2012-02-08 | サントル ナシオナル デチュード スパシアル | 磁場測定プローブ |
KR100702087B1 (ko) * | 2004-07-09 | 2007-04-02 | 야마하 가부시키가이샤 | 자기 센서를 테스트하기 위한 프로브 카드 및 방법 |
KR100562874B1 (ko) * | 2005-01-19 | 2006-03-23 | 주식회사 마이크로게이트 | 전자나침반용 수직축 박막 플럭스게이트 소자의 조립 방법 |
JP2019527342A (ja) * | 2016-07-15 | 2019-09-26 | ルクセンブルク インスティトゥート オブ サイエンス アンド テクノロジー(リスト) | ホールプローブ |
JP2018054453A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 日置電機株式会社 | 検出センサおよび検査装置 |
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