JPH07175525A - 質量流量制御装置 - Google Patents
質量流量制御装置Info
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- JPH07175525A JPH07175525A JP5344565A JP34456593A JPH07175525A JP H07175525 A JPH07175525 A JP H07175525A JP 5344565 A JP5344565 A JP 5344565A JP 34456593 A JP34456593 A JP 34456593A JP H07175525 A JPH07175525 A JP H07175525A
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- JP
- Japan
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- flow rate
- mass flow
- converter
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- optical
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/06—Indicating or recording devices
- G01F15/061—Indicating or recording devices for remote indication
- G01F15/063—Indicating or recording devices for remote indication using electrical means
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Fluid Mechanics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Flow Control (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明に係る質量流量制御装置は、電磁波ノ
イズに強く、信号配線スペースを多く要さない。 【構成】 本発明に係る質量流量制御装置１４Ａは、質
量流量を検出する検出手段３、４と、設定入力と前記検
出手段３、４による検出結果とに基づき流体の流量を制
御する流量制御手段５、６とを有するマスフローコント
ローラにおいて、ホスト側３０からのコマンドを受取る
光−電気変換器２４と、前記検出結果を送るための電気
−光変換器２４とを備え、この光−電気変換器２４及び
電気−光変換器２４を介して前記ホスト３０との間で、
光ファイバー２８により情報の送受を行う。
イズに強く、信号配線スペースを多く要さない。 【構成】 本発明に係る質量流量制御装置１４Ａは、質
量流量を検出する検出手段３、４と、設定入力と前記検
出手段３、４による検出結果とに基づき流体の流量を制
御する流量制御手段５、６とを有するマスフローコント
ローラにおいて、ホスト側３０からのコマンドを受取る
光−電気変換器２４と、前記検出結果を送るための電気
−光変換器２４とを備え、この光−電気変換器２４及び
電気−光変換器２４を介して前記ホスト３０との間で、
光ファイバー２８により情報の送受を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は質量流量制御装置の改
良に関するものである。
良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、質量流量制御装置は、図６に示さ
れるように構成されていた。即ち、ガス導入配管１から
到来するガスは、質量流量制御装置１４を介してガス流
出配管２へ所望の質量流量とされて流出される。ガス導
入配管１には、センサヒータ３が巻回され、センサ回路
４内の抵抗とブリッジ回路を構成する。ガス導入配管１
を流れるガスの奪熱作用により、センサヒータ３の抵抗
が変化し、上記ブリッジ回路の平衡が崩れることによる
ブリッジ回路の電圧をセンサ回路４において取り出し、
信号線７を介して流量表示器１３へ送出している。
れるように構成されていた。即ち、ガス導入配管１から
到来するガスは、質量流量制御装置１４を介してガス流
出配管２へ所望の質量流量とされて流出される。ガス導
入配管１には、センサヒータ３が巻回され、センサ回路
４内の抵抗とブリッジ回路を構成する。ガス導入配管１
を流れるガスの奪熱作用により、センサヒータ３の抵抗
が変化し、上記ブリッジ回路の平衡が崩れることによる
ブリッジ回路の電圧をセンサ回路４において取り出し、
信号線７を介して流量表示器１３へ送出している。
【０００３】一方、流量設定器１２により設定された設
定流量に係る信号は信号線８を介してコンパレータ６へ
至り、コンパレータ６においてセンサ回路４から出力さ
れた実流量信号と比較され、比較結果に応じた出力がバ
ルブ駆動部５へ出力される。バルブ駆動部５はコンパレ
ータ６の出力に応じて、バルブ開度を調整し、所要の質
量のガスが流れるようにする。質量流量制御装置１４に
は、電源ライン９を介して電源１１から電力の供給を受
けている。
定流量に係る信号は信号線８を介してコンパレータ６へ
至り、コンパレータ６においてセンサ回路４から出力さ
れた実流量信号と比較され、比較結果に応じた出力がバ
ルブ駆動部５へ出力される。バルブ駆動部５はコンパレ
ータ６の出力に応じて、バルブ開度を調整し、所要の質
量のガスが流れるようにする。質量流量制御装置１４に
は、電源ライン９を介して電源１１から電力の供給を受
けている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の質量
流量制御装置は、ケーブル１０を介して信号の送受を行
っているため、電磁波ノイズの影響を受け易く、特に、
信号線内は０〜５ボルト程度の電圧の信号であるため、
乱されやすく、表示された実流量に誤差があったり、設
定流量信号がノイズが乗り、適切な流量制御が行えない
場合が生じる。また、センサの経時変化等により測定に
係る流量に誤差を生じている場合に、誤差を有する信号
に基づく表示がなされ、また、コンピュータ等への入力
を行う場合には、誤データがそのまま入力されることに
なった。複数種のガスを交替して使用する場合には、セ
ンサ感度がガス種により異なるから、ガスを交換する毎
にセンサ回路４のゲインを変更するか、表示器の感度を
変更するかの作業が必要であり、煩わしいという問題点
があった。更に、複数の質量流量制御装置を用い、これ
を１台のホストコンピュータにより制御するシステムを
構築すると、質量流量制御装置の台数に比例してケーブ
ルが太く重くなり、人の移動の妨げとなったり、ケーブ
ルによるスペースを確保する必要が生じることとなっ
た。
流量制御装置は、ケーブル１０を介して信号の送受を行
っているため、電磁波ノイズの影響を受け易く、特に、
信号線内は０〜５ボルト程度の電圧の信号であるため、
乱されやすく、表示された実流量に誤差があったり、設
定流量信号がノイズが乗り、適切な流量制御が行えない
場合が生じる。また、センサの経時変化等により測定に
係る流量に誤差を生じている場合に、誤差を有する信号
に基づく表示がなされ、また、コンピュータ等への入力
を行う場合には、誤データがそのまま入力されることに
なった。複数種のガスを交替して使用する場合には、セ
ンサ感度がガス種により異なるから、ガスを交換する毎
にセンサ回路４のゲインを変更するか、表示器の感度を
変更するかの作業が必要であり、煩わしいという問題点
があった。更に、複数の質量流量制御装置を用い、これ
を１台のホストコンピュータにより制御するシステムを
構築すると、質量流量制御装置の台数に比例してケーブ
ルが太く重くなり、人の移動の妨げとなったり、ケーブ
ルによるスペースを確保する必要が生じることとなっ
た。
【０００５】本発明は上記従来の質量流量制御装置が有
する問題点を解決せんとしてなされたもので、その目的
は、電磁波等のノイズに強く、保守性に優れ、安定して
正確な流量の測定及び制御を行い得る質量流量制御装置
を提供することである。更に本発明は、コンピュータ等
の制御機器との接続にスペースを要しない質量流量制御
装置を提供することを目的とする。
する問題点を解決せんとしてなされたもので、その目的
は、電磁波等のノイズに強く、保守性に優れ、安定して
正確な流量の測定及び制御を行い得る質量流量制御装置
を提供することである。更に本発明は、コンピュータ等
の制御機器との接続にスペースを要しない質量流量制御
装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願の請求項１に記載の
発明では、質量流量を検出する検出手段と、設定入力と
前記検出手段による検出結果とに基づき流体の流量を制
御する流量制御手段とを有するマスフローコントローラ
において、ホスト側からのコマンドを受取る光−電気変
換器と、前記検出結果を送るための電気−光変換器とを
備えさせ、この光−電気変換器及び電気−光変換器を介
して前記ホストとの間で、光ファイバーにより情報の送
受を行うように質量流量制御装置を構成した。
発明では、質量流量を検出する検出手段と、設定入力と
前記検出手段による検出結果とに基づき流体の流量を制
御する流量制御手段とを有するマスフローコントローラ
において、ホスト側からのコマンドを受取る光−電気変
換器と、前記検出結果を送るための電気−光変換器とを
備えさせ、この光−電気変換器及び電気−光変換器を介
して前記ホストとの間で、光ファイバーにより情報の送
受を行うように質量流量制御装置を構成した。
【０００７】更に本願の請求項２に記載の発明では、質
量流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検出手段
による検出結果とに基づき流体の流量を制御する流量制
御手段とを有するマスフローコントローラにおいて、ホ
スト側からのコマンドを受取る光−電気変換器と、前記
検出結果を補正する補正手段と、この補正手段により補
正された検出結果を送るための電気−光変換器とを備え
させ、光−電気変換器及び電気−光変換器を介して前記
ホストとの間で、光ファイバーにより情報の送受を行う
ように質量流量制御装置を構成した。
量流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検出手段
による検出結果とに基づき流体の流量を制御する流量制
御手段とを有するマスフローコントローラにおいて、ホ
スト側からのコマンドを受取る光−電気変換器と、前記
検出結果を補正する補正手段と、この補正手段により補
正された検出結果を送るための電気−光変換器とを備え
させ、光−電気変換器及び電気−光変換器を介して前記
ホストとの間で、光ファイバーにより情報の送受を行う
ように質量流量制御装置を構成した。
【０００８】更に本願の請求項３に記載の発明では、質
量流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検出手段
による検出結果とに基づき流体の流量を制御する流量制
御手段とを有するマスフローコントローラにおいて、ホ
スト側からのコマンドを受取る光−電気変換器と、ガス
種別毎の変換テーブルを有し、前記ホスト側からのコマ
ンドに応じて対応の変換テーブルを用いて、前記検出結
果を補正する補正手段と、この補正手段により補正され
た検出結果を送るための電気−光変換器とを備えさせ、
光−電気変換器及び電気−光変換器を介して前記ホスト
との間で、光ファイバーにより情報の送受を行うように
質量流量制御装置を構成した。
量流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検出手段
による検出結果とに基づき流体の流量を制御する流量制
御手段とを有するマスフローコントローラにおいて、ホ
スト側からのコマンドを受取る光−電気変換器と、ガス
種別毎の変換テーブルを有し、前記ホスト側からのコマ
ンドに応じて対応の変換テーブルを用いて、前記検出結
果を補正する補正手段と、この補正手段により補正され
た検出結果を送るための電気−光変換器とを備えさせ、
光−電気変換器及び電気−光変換器を介して前記ホスト
との間で、光ファイバーにより情報の送受を行うように
質量流量制御装置を構成した。
【０００９】更に本願の請求項４に記載の発明では、質
量流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検出手段
による検出結果とに基づき流体の流量を制御する流量制
御手段とを有するマスフローコントローラにおいて、ホ
スト側からのコマンドを受取る光−電気変換器と、前記
流量制御手段により流量をゼロとした時の前記検出手段
により得られた結果に応じて補正値を求めると共に、こ
の補正値を用いて前記検出結果を補正する補正手段と、
この補正手段により補正された検出結果を送るための電
気−光変換器とを備えさせ、光−電気変換器及び電気−
光変換器を介して前記ホストとの間で、光ファイバーに
より情報の送受を行うように質量流量制御装置を構成し
た。
量流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検出手段
による検出結果とに基づき流体の流量を制御する流量制
御手段とを有するマスフローコントローラにおいて、ホ
スト側からのコマンドを受取る光−電気変換器と、前記
流量制御手段により流量をゼロとした時の前記検出手段
により得られた結果に応じて補正値を求めると共に、こ
の補正値を用いて前記検出結果を補正する補正手段と、
この補正手段により補正された検出結果を送るための電
気−光変換器とを備えさせ、光−電気変換器及び電気−
光変換器を介して前記ホストとの間で、光ファイバーに
より情報の送受を行うように質量流量制御装置を構成し
た。
【００１０】また、本願の請求項５に記載の発明では、
上記請求項１から請求項４に記載の発明について、質量
流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検出手段に
よる検出結果とに基づき流体の流量を制御する流量制御
手段とを有するマスフローコントローラに対し、他の各
構成を、別体に配置して、前記マスフローコントローラ
の筐体に結合するように構成したものである。
上記請求項１から請求項４に記載の発明について、質量
流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検出手段に
よる検出結果とに基づき流体の流量を制御する流量制御
手段とを有するマスフローコントローラに対し、他の各
構成を、別体に配置して、前記マスフローコントローラ
の筐体に結合するように構成したものである。
【００１１】
【作用】本願の請求項１に記載の発明によると、ホスト
との間で、光ファイバーにより情報の送受を行うので、
ホスト側からのコマンド及びホスト側へ送る検出結果に
電磁波によるノイズが影響することなく、適切な制御並
びに計測を確保する。また、光ファイバーは、電気的信
号線によるケーブルに比べて線径が細く、配線のための
スペースを要さず複数台の質量流量制御装置を使用する
場合等に好適である。
との間で、光ファイバーにより情報の送受を行うので、
ホスト側からのコマンド及びホスト側へ送る検出結果に
電磁波によるノイズが影響することなく、適切な制御並
びに計測を確保する。また、光ファイバーは、電気的信
号線によるケーブルに比べて線径が細く、配線のための
スペースを要さず複数台の質量流量制御装置を使用する
場合等に好適である。
【００１２】本願の請求項２に記載の発明によると、電
磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパクト化と
いう利点は勿論、検出結果を補正する補正手段が設けら
れているため、必要な補正を行って結果をホスト側へ送
出することができ、ホスト側において適切な検出結果を
得ることができる。
磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパクト化と
いう利点は勿論、検出結果を補正する補正手段が設けら
れているため、必要な補正を行って結果をホスト側へ送
出することができ、ホスト側において適切な検出結果を
得ることができる。
【００１３】本願の請求項３に記載の発明によると、電
磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパクト化と
いう利点は勿論、ガス種別毎の変換テーブルを有し、ホ
スト側からのコマンドに応じて対応の変換テーブルを用
いて、検出結果を補正するように働く。このため、ホス
ト側においてはガス種に応じた適切な検出結果を得るこ
とができる。
磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパクト化と
いう利点は勿論、ガス種別毎の変換テーブルを有し、ホ
スト側からのコマンドに応じて対応の変換テーブルを用
いて、検出結果を補正するように働く。このため、ホス
ト側においてはガス種に応じた適切な検出結果を得るこ
とができる。
【００１４】本願の請求項４に記載の発明によると、電
磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパクト化と
いう利点は勿論、流量をゼロとした時の検出手段により
得られた結果に応じて補正値を求めると共に、この補正
値を用いて検出結果を補正するように働く。このため、
ホスト側においてはセンサの経時変化等による誤差が生
じている場合でも、上記補正により適切な検出結果を得
ることができる。
磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパクト化と
いう利点は勿論、流量をゼロとした時の検出手段により
得られた結果に応じて補正値を求めると共に、この補正
値を用いて検出結果を補正するように働く。このため、
ホスト側においてはセンサの経時変化等による誤差が生
じている場合でも、上記補正により適切な検出結果を得
ることができる。
【００１５】本願の請求項５に記載の発明によると、質
量流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検出手段
による検出結果とに基づき流体の流量を制御する流量制
御手段とを有するマスフローコントローラに対し、請求
項１から請求項４の他の各構成を、別体に配置して、前
記マスフローコントローラの筐体に結合でき、旧来のマ
スフローコントローラに対して、電気−光変換、光−電
気変換、補正に係る各機能の構成を別体で取り付け、適
切なる流量制御及び流量計測を行うことができる。
量流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検出手段
による検出結果とに基づき流体の流量を制御する流量制
御手段とを有するマスフローコントローラに対し、請求
項１から請求項４の他の各構成を、別体に配置して、前
記マスフローコントローラの筐体に結合でき、旧来のマ
スフローコントローラに対して、電気−光変換、光−電
気変換、補正に係る各機能の構成を別体で取り付け、適
切なる流量制御及び流量計測を行うことができる。
【００１６】
【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明の実施例
に係る質量流量制御装置を説明する。各図の説明におい
て、同一構成要素には同一の符号を付し、重複する説明
を省略する。図１には、本発明の実施例に係る質量流量
制御装置を用いた、流量制御システムが示されている。
質量流量制御装置１４Ａにおいて、図の破線から下方の
構成は、図６の従来例に係る質量流量制御装置１４と同
一の構成である。本実施例に係る質量流量制御装置１４
Ａにおいては、センサ回路４の出力をＡ／Ｄ変換器２５
によりディジタル化して制御部２０のＣＰＵ２１へ入力
する。また、ＣＰＵ２１はディジタルの設定流量データ
を送出し、これをＤ／Ａ変換器２６によりアナログ化し
てコンパレータ６へ与えている。制御部２０としては、
ＣＰＵ（プロセッサ）２１、ＲＯＭ２２、ＲＡＭ２３、
ＲＳ−２３２Ｃポート２９を内蔵した、例えば、インテ
ル社のワンチップマイコン『８０３１』を使用すること
ができる。
に係る質量流量制御装置を説明する。各図の説明におい
て、同一構成要素には同一の符号を付し、重複する説明
を省略する。図１には、本発明の実施例に係る質量流量
制御装置を用いた、流量制御システムが示されている。
質量流量制御装置１４Ａにおいて、図の破線から下方の
構成は、図６の従来例に係る質量流量制御装置１４と同
一の構成である。本実施例に係る質量流量制御装置１４
Ａにおいては、センサ回路４の出力をＡ／Ｄ変換器２５
によりディジタル化して制御部２０のＣＰＵ２１へ入力
する。また、ＣＰＵ２１はディジタルの設定流量データ
を送出し、これをＤ／Ａ変換器２６によりアナログ化し
てコンパレータ６へ与えている。制御部２０としては、
ＣＰＵ（プロセッサ）２１、ＲＯＭ２２、ＲＡＭ２３、
ＲＳ−２３２Ｃポート２９を内蔵した、例えば、インテ
ル社のワンチップマイコン『８０３１』を使用すること
ができる。
【００１７】ＲＯＭ２２には、流量制御用のプログラム
の他、図２に示されるような、Ａ／Ｄ変換器２５からの
入力値に対し、ガス種別毎に対応する出力値を得るため
の変換テーブル４３−Ａ、４３−Ｂ、・・・、４３−Ｚ
が設けられている。従って、ガス種が『Ａ』の時には、
変換テーブル４３−Ａから出力値を求め、ガス種が
『Ｂ』の時には、変換テーブル４３−Ｂから出力値を求
めるようにする。更に、ＲＡＭ２３はワーキングメモリ
として用いられ、図２に示されるような補正値レジスタ
４１とガス種対応の変換テーブルを指示するポインタ４
２とが設けられている。補正値レジスタ４１には、流量
をゼロとした時にセンサ回路４の出力を得て、この出力
に応じて求めた補正値がセットされる。例えば、『００
０３』が得られ、本来は『００００』が得られるべき時
には、『−０００３』がセットされる。
の他、図２に示されるような、Ａ／Ｄ変換器２５からの
入力値に対し、ガス種別毎に対応する出力値を得るため
の変換テーブル４３−Ａ、４３−Ｂ、・・・、４３−Ｚ
が設けられている。従って、ガス種が『Ａ』の時には、
変換テーブル４３−Ａから出力値を求め、ガス種が
『Ｂ』の時には、変換テーブル４３−Ｂから出力値を求
めるようにする。更に、ＲＡＭ２３はワーキングメモリ
として用いられ、図２に示されるような補正値レジスタ
４１とガス種対応の変換テーブルを指示するポインタ４
２とが設けられている。補正値レジスタ４１には、流量
をゼロとした時にセンサ回路４の出力を得て、この出力
に応じて求めた補正値がセットされる。例えば、『００
０３』が得られ、本来は『００００』が得られるべき時
には、『−０００３』がセットされる。
【００１８】ＣＰＵ２１にはＲＳ−２３２Ｃポート２９
が接続され、ここを介してコマンド／データの送受が可
能となっている。ＲＳ−２３２Ｃポート２９には光電気
相互変換器２４が接続され、制御部２０から出力された
測定流量データはここで電気信号から光信号に変換され
光ファイバー用コネクタ７、光ファイバー２８を介して
接続コネクタ３１へ至る。接続コネクタ３１には光電気
相互変換器３２が設けられており、光信号はここで電気
信号に変換される。この電気信号の測定流量データは、
ＲＳ−２３２Ｃデコ−ダ３３によりデコードされてホス
トコンピュータ３０に取り込まれ、必要な処理を受け
る。
が接続され、ここを介してコマンド／データの送受が可
能となっている。ＲＳ−２３２Ｃポート２９には光電気
相互変換器２４が接続され、制御部２０から出力された
測定流量データはここで電気信号から光信号に変換され
光ファイバー用コネクタ７、光ファイバー２８を介して
接続コネクタ３１へ至る。接続コネクタ３１には光電気
相互変換器３２が設けられており、光信号はここで電気
信号に変換される。この電気信号の測定流量データは、
ＲＳ−２３２Ｃデコ−ダ３３によりデコードされてホス
トコンピュータ３０に取り込まれ、必要な処理を受け
る。
【００１９】一方、ホストコンピュータ３０からは、入
力された或いは設定されている設定流量及びガスの種類
を指定するコマンドが送出される。このコマンドは、Ｒ
Ｓ−２３２Ｃデコ−ダ３３を介してＲＳ−２３２Ｃに係
る信号とされ、光電気相互変換器３２へ至り、ここで光
信号に変換されて光ファイバー２８を介して光ファイバ
ー用コネクタ２７から光電気相互変換器２４へ至り、電
気信号とされＲＳ−２３２Ｃポート２９へ送出される。
ＣＰＵ２１はＲＳ−２３２Ｃポート２９から上記コマン
ドを受取り、対応の処理を実行する。光電気相互変換器
２４、３２としては、光通信用のフォトカプラを使用す
ることができる。質量流量制御装置１４Ａは電源１１か
ら電源ライン３４を介して電力の供給を受けている。
力された或いは設定されている設定流量及びガスの種類
を指定するコマンドが送出される。このコマンドは、Ｒ
Ｓ−２３２Ｃデコ−ダ３３を介してＲＳ−２３２Ｃに係
る信号とされ、光電気相互変換器３２へ至り、ここで光
信号に変換されて光ファイバー２８を介して光ファイバ
ー用コネクタ２７から光電気相互変換器２４へ至り、電
気信号とされＲＳ−２３２Ｃポート２９へ送出される。
ＣＰＵ２１はＲＳ−２３２Ｃポート２９から上記コマン
ドを受取り、対応の処理を実行する。光電気相互変換器
２４、３２としては、光通信用のフォトカプラを使用す
ることができる。質量流量制御装置１４Ａは電源１１か
ら電源ライン３４を介して電力の供給を受けている。
【００２０】ＣＰＵ２１がホストコンピュータ３０から
送られたコマンドに基づく処理を行うときのフローチャ
ートが図３に示されている。このフローチャートに対応
するプログラムがＲＯＭ２２内に記憶されている。ＣＰ
Ｕ２１は、ＲＳ−２３２Ｃポート２９を介してホストコ
ンピュータ３０から送られてくる情報を受取り（５
１）、情報の内容を分析する（５２）。ここで、ＣＰＵ
２１はゼロアジャストコマンドであるかを検出する（５
３）。ゼロアジャストコマンドでなければ、ガス種指定
コマンドであるかを検出する（５５）。ここで、ガス種
指定コマンドでなければ、対応の処理、例えば、設定流
量を指定するコマンドに対応し、Ｄ／Ａ変換器２６へ必
要な駆動データを送出する等の処理、を行い（５７）、
メインの処理へリターンする。
送られたコマンドに基づく処理を行うときのフローチャ
ートが図３に示されている。このフローチャートに対応
するプログラムがＲＯＭ２２内に記憶されている。ＣＰ
Ｕ２１は、ＲＳ−２３２Ｃポート２９を介してホストコ
ンピュータ３０から送られてくる情報を受取り（５
１）、情報の内容を分析する（５２）。ここで、ＣＰＵ
２１はゼロアジャストコマンドであるかを検出する（５
３）。ゼロアジャストコマンドでなければ、ガス種指定
コマンドであるかを検出する（５５）。ここで、ガス種
指定コマンドでなければ、対応の処理、例えば、設定流
量を指定するコマンドに対応し、Ｄ／Ａ変換器２６へ必
要な駆動データを送出する等の処理、を行い（５７）、
メインの処理へリターンする。
【００２１】一方、ホストコンピュータ３０から、ガス
種指定コマンドが送られてきた時には、上記のフローチ
ャートにおいてステップ５６へと進み、指定されたガス
種の変換テーブルを指示するポインタ値を図２のポイン
タ４２へ設定する。ＣＰＵ２１は通常の処理として、所
定のタイミングでＡ／Ｄ変換器２５の出力を取り込み、
実流量データとしてホストコンピュータ３０側へ送出し
ている。ＣＰＵ２１は、この処理に際してポインタ４２
を参照し、対応の変換テーブルを検索してＡ／Ｄ変換器
２５による入力値に対応する出力値を得て、更に、補正
値レジスタ４１に格納されている補正値に基づく補正を
行い、これを実流量データとして送出する。
種指定コマンドが送られてきた時には、上記のフローチ
ャートにおいてステップ５６へと進み、指定されたガス
種の変換テーブルを指示するポインタ値を図２のポイン
タ４２へ設定する。ＣＰＵ２１は通常の処理として、所
定のタイミングでＡ／Ｄ変換器２５の出力を取り込み、
実流量データとしてホストコンピュータ３０側へ送出し
ている。ＣＰＵ２１は、この処理に際してポインタ４２
を参照し、対応の変換テーブルを検索してＡ／Ｄ変換器
２５による入力値に対応する出力値を得て、更に、補正
値レジスタ４１に格納されている補正値に基づく補正を
行い、これを実流量データとして送出する。
【００２２】また、ホストコンピュータ３０には、質量
流量制御装置１４Ａの出力値が異常等である時の更生用
に、ゼロアジャストコマンドが用意されている。このコ
マンドの送出に際しては、ガスの供給が停止される。こ
のコマンドをＣＰＵ２１が受取ると図３のフローチャー
トにおいて、ステップ５４へ進み、バルブを閉じるよう
にＤ／Ａ変換器２６へデータが送出される。この時、セ
ンサ回路４の出力はゼロでなければならない。しかしな
がら、一般的には、何等可の要因によってオフセット値
が出力されることが多い。そこで、この出力に応じて求
めた補正値が補正値レジスタ４１にセットされる。
流量制御装置１４Ａの出力値が異常等である時の更生用
に、ゼロアジャストコマンドが用意されている。このコ
マンドの送出に際しては、ガスの供給が停止される。こ
のコマンドをＣＰＵ２１が受取ると図３のフローチャー
トにおいて、ステップ５４へ進み、バルブを閉じるよう
にＤ／Ａ変換器２６へデータが送出される。この時、セ
ンサ回路４の出力はゼロでなければならない。しかしな
がら、一般的には、何等可の要因によってオフセット値
が出力されることが多い。そこで、この出力に応じて求
めた補正値が補正値レジスタ４１にセットされる。
【００２３】図４には、他の実施例に係る質量流量制御
装置が示されている。筐体６０には、図１の破線より下
方の部分に係る構成、つまり、従来のマスフローコント
ローラ（図６の１４）の構成部分が収容され、筐体７０
には質量流量制御装置１４Ａの残りの構成部分が収容さ
れている。コネクタ６１はセンサ回路４とＡ／Ｄ変換器
２５との間の接続、また、Ｄ／Ａ変換器２６とコンパレ
ータ６との間の接続を行うために設けられる。筐体６０
と筐体７０との間は、適当な凹凸構成等による係合手段
により結合される。
装置が示されている。筐体６０には、図１の破線より下
方の部分に係る構成、つまり、従来のマスフローコント
ローラ（図６の１４）の構成部分が収容され、筐体７０
には質量流量制御装置１４Ａの残りの構成部分が収容さ
れている。コネクタ６１はセンサ回路４とＡ／Ｄ変換器
２５との間の接続、また、Ｄ／Ａ変換器２６とコンパレ
ータ６との間の接続を行うために設けられる。筐体６０
と筐体７０との間は、適当な凹凸構成等による係合手段
により結合される。
【００２４】更に、図５には、実施例に係る質量流量制
御装置を４台用いた流量制御システムが示されている。
質量流量制御装置６０−１、６０−２、６０−３、６０
−４と光マルチプレクサ８０との間は、それぞれに対応
する光ファイバー２８−１、２８−２、２８−３、２８
−４により接続され、ホストコンピュータ３０側への信
号は多重化されて光ファイバー８１を介してへ接続コネ
クタ３１へ送出され、ホストコンピュータ３０からの多
重化された信号は光ファイバー８１を介して光マルチプ
レクサ８０へ至り分離されて対応の光ファイバー２８−
１、２８−２、２８−３、２８−４へ送出される。な
お、この実施例では光マルチプレクサ８０とホスト側と
の間を光ファイバー８１により接続したが、他の実施例
では光マルチプレクサ８０に光電気相互変換器を付設
し、ホスト側との間を電気信号ラインにより接続する。
御装置を４台用いた流量制御システムが示されている。
質量流量制御装置６０−１、６０−２、６０−３、６０
−４と光マルチプレクサ８０との間は、それぞれに対応
する光ファイバー２８−１、２８−２、２８−３、２８
−４により接続され、ホストコンピュータ３０側への信
号は多重化されて光ファイバー８１を介してへ接続コネ
クタ３１へ送出され、ホストコンピュータ３０からの多
重化された信号は光ファイバー８１を介して光マルチプ
レクサ８０へ至り分離されて対応の光ファイバー２８−
１、２８−２、２８−３、２８−４へ送出される。な
お、この実施例では光マルチプレクサ８０とホスト側と
の間を光ファイバー８１により接続したが、他の実施例
では光マルチプレクサ８０に光電気相互変換器を付設
し、ホスト側との間を電気信号ラインにより接続する。
【００２５】また、上記の実施例においては、ホスト側
としてホストコンピュータを用いたが、端末器であって
も良い。更に、ゼロアジャストコマンド等は、オペレー
タの入力により入力することも可能である。また、他の
実施例では、質量流量制御装置自体が、適当な時間間隔
で、ゼロアジャストコマンドを発行し、自らが補正値を
設定するようにする。この実施例によっても、安定な動
作が確保される。
としてホストコンピュータを用いたが、端末器であって
も良い。更に、ゼロアジャストコマンド等は、オペレー
タの入力により入力することも可能である。また、他の
実施例では、質量流量制御装置自体が、適当な時間間隔
で、ゼロアジャストコマンドを発行し、自らが補正値を
設定するようにする。この実施例によっても、安定な動
作が確保される。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本願の請求項１に
記載の発明によると、ホストとの間で、光ファイバーに
より情報の送受を行うので、ホスト側からのコマンド及
びホスト側へ送る検出結果に電磁波によるノイズが影響
することなく、適切な制御並びに計測を確保できるる。
また、光ファイバーは、電気的信号線によるケーブルに
比べて線径が細く、配線のためのスペースを要さず複数
台の質量流量制御装置を使用する場合等に好適である。
記載の発明によると、ホストとの間で、光ファイバーに
より情報の送受を行うので、ホスト側からのコマンド及
びホスト側へ送る検出結果に電磁波によるノイズが影響
することなく、適切な制御並びに計測を確保できるる。
また、光ファイバーは、電気的信号線によるケーブルに
比べて線径が細く、配線のためのスペースを要さず複数
台の質量流量制御装置を使用する場合等に好適である。
【００２７】また、本願の請求項２に記載の発明による
と、電磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパク
ト化という効果を奏することは勿論、検出結果を補正す
る補正手段が設けられているため、必要な補正を行って
結果をホスト側へ送出することができ、ホスト側におい
て適切な検出結果を得ることができる効果がある。
と、電磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパク
ト化という効果を奏することは勿論、検出結果を補正す
る補正手段が設けられているため、必要な補正を行って
結果をホスト側へ送出することができ、ホスト側におい
て適切な検出結果を得ることができる効果がある。
【００２８】本願の請求項３に記載の発明によると、電
磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパクト化と
いう効果を奏することは勿論、ガス種別毎の変換テーブ
ルを有し、ホスト側からのコマンドに応じて対応の変換
テーブルを用いて、検出結果を補正するので、ホスト側
においてはガス種に応じた適切な検出結果を得ることが
できる効果がある。
磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパクト化と
いう効果を奏することは勿論、ガス種別毎の変換テーブ
ルを有し、ホスト側からのコマンドに応じて対応の変換
テーブルを用いて、検出結果を補正するので、ホスト側
においてはガス種に応じた適切な検出結果を得ることが
できる効果がある。
【００２９】更に、本願の請求項４に記載の発明による
と、電磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパク
ト化という効果を奏することは勿論、流量をゼロとした
時の検出手段により得られた結果に応じて補正値を求め
ると共に、この補正値を用いて検出結果を補正するた
め、ホスト側においてはセンサの経時変化等による誤差
が生じている場合でも、上記補正により適切な検出結果
を得ることができる効果がある。
と、電磁波によるノイズの影響の遮断、配線のコンパク
ト化という効果を奏することは勿論、流量をゼロとした
時の検出手段により得られた結果に応じて補正値を求め
ると共に、この補正値を用いて検出結果を補正するた
め、ホスト側においてはセンサの経時変化等による誤差
が生じている場合でも、上記補正により適切な検出結果
を得ることができる効果がある。
【００３０】また、本願の請求項５に記載の発明による
と、質量流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検
出手段による検出結果とに基づき流体の流量を制御する
流量制御手段とを有するマスフローコントローラに対
し、請求項１から請求項４の他の各構成を、別体に配置
して、前記マスフローコントローラの筐体に結合するた
め、旧来のマスフローコントローラに対して、電気−光
変換、光−電気変換、補正に係る各機能の構成を別体で
取り付け、適切なる流量制御及び流量計測を行うことが
できる。
と、質量流量を検出する検出手段と、設定入力と前記検
出手段による検出結果とに基づき流体の流量を制御する
流量制御手段とを有するマスフローコントローラに対
し、請求項１から請求項４の他の各構成を、別体に配置
して、前記マスフローコントローラの筐体に結合するた
め、旧来のマスフローコントローラに対して、電気−光
変換、光−電気変換、補正に係る各機能の構成を別体で
取り付け、適切なる流量制御及び流量計測を行うことが
できる。
【図１】本発明の実施例に係る質量流量制御装置を用い
て構成した流量制御システムの構成図。
て構成した流量制御システムの構成図。
【図２】本発明の実施例に係る質量流量制御装置の要部
構成図。
構成図。
【図３】本発明の実施例に係る質量流量制御装置の動作
を説明するためのフローチャート。
を説明するためのフローチャート。
【図４】本発明の他の実施例に係る質量流量制御装置の
斜視図。
斜視図。
【図５】本発明の実施例に係る質量流量制御装置を複数
用いて構成した流量制御システムの構成図。
用いて構成した流量制御システムの構成図。
【図６】従来の質量流量制御装置を用いて構成した流量
制御システムの構成図。
制御システムの構成図。
１ ガス導入配管 ２ ガス流出
配管 ３ センサヒータ ４ センサ回
路 ５ バルブ駆動部 ６ コンパレ
ータ １１ 電源 １４Ａ 質量
流量制御装置 ２０ 制御部 ２１ ＣＰＵ ２２ ＲＯＭ ２３ ＲＡＭ ２４，３２ 光電気相互変換器 ２５ Ａ／Ｄ
変換器 ２６ Ｄ／Ａ変換器 ２７ 光ファ
イバー用コネクタ ２９ ＲＳ−２３２Ｃポート ３０ ホスト
コンピュータ ３１ 接続コネクタ ３３ ＲＳ−
２３２Ｃデコ−ダ ３４ 電源ケーブル
配管 ３ センサヒータ ４ センサ回
路 ５ バルブ駆動部 ６ コンパレ
ータ １１ 電源 １４Ａ 質量
流量制御装置 ２０ 制御部 ２１ ＣＰＵ ２２ ＲＯＭ ２３ ＲＡＭ ２４，３２ 光電気相互変換器 ２５ Ａ／Ｄ
変換器 ２６ Ｄ／Ａ変換器 ２７ 光ファ
イバー用コネクタ ２９ ＲＳ−２３２Ｃポート ３０ ホスト
コンピュータ ３１ 接続コネクタ ３３ ＲＳ−
２３２Ｃデコ−ダ ３４ 電源ケーブル
Claims (5)
- 【請求項１】 質量流量を検出する検出手段と、設定入
力と前記検出手段による検出結果とに基づき流体の流量
を制御する流量制御手段とを有するマスフローコントロ
ーラにおいて、 ホスト側からのコマンドを受取る光−電気変換器と、 前記検出結果を送るための電気−光変換器とを備え、 この光−電気変換器及び電気−光変換器を介して前記ホ
ストとの間で、光ファイバーにより情報の送受を行うこ
とを特徴とする質量流量制御装置。 - 【請求項２】 質量流量を検出する検出手段と、設定入
力と前記検出手段による検出結果とに基づき流体の流量
を制御する流量制御手段とを有するマスフローコントロ
ーラにおいて、 ホスト側からのコマンドを受取る光−電気変換器と、 前記検出結果を補正する補正手段と、 この補正手段により補正された検出結果を送るための電
気−光変換器とを備え、 光−電気変換器及び電気−光変換器を介して前記ホスト
との間で、光ファイバーにより情報の送受を行うことを
特徴とする質量流量制御装置。 - 【請求項３】 質量流量を検出する検出手段と、設定入
力と前記検出手段による検出結果とに基づき流体の流量
を制御する流量制御手段とを有するマスフローコントロ
ーラにおいて、 ホスト側からのコマンドを受取る光−電気変換器と、 ガス種別毎の変換テーブルを有し、前記ホスト側からの
コマンドに応じて対応の変換テーブルを用いて、前記検
出結果を補正する補正手段と、 この補正手段により補正された検出結果を送るための電
気−光変換器とを備え、 光−電気変換器及び電気−光変換器を介して前記ホスト
との間で、光ファイバーにより情報の送受を行うことを
特徴とする質量流量制御装置。 - 【請求項４】 質量流量を検出する検出手段と、設定入
力と前記検出手段による検出結果とに基づき流体の流量
を制御する流量制御手段とを有するマスフローコントロ
ーラにおいて、 ホスト側からのコマンドを受取る光−電気変換器と、 前記流量制御手段により流量をゼロとした時の前記検出
手段により得られた結果に応じて補正値を求めると共
に、この補正値を用いて前記検出結果を補正する補正手
段と、 この補正手段により補正された検出結果を送る
ための電気−光変換器とを備え、 光−電気変換器及び電気−光変換器を介して前記ホスト
との間で、光ファイバーにより情報の送受を行うことを
特徴とする質量流量制御装置。 - 【請求項５】 質量流量を検出する検出手段と、設定入
力と前記検出手段による検出結果とに基づき流体の流量
を制御する流量制御手段とを有するマスフローコントロ
ーラに対し、他の各構成が、別体に配置され、前記マス
フローコントローラの筐体に結合するように構成されて
いることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか
１項に記載の質量流量制御装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34456593A JP3374337B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 質量流量制御装置 |
| US08/358,468 US5594666A (en) | 1993-12-20 | 1994-12-19 | Mass flow control system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34456593A JP3374337B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 質量流量制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07175525A true JPH07175525A (ja) | 1995-07-14 |
| JP3374337B2 JP3374337B2 (ja) | 2003-02-04 |
Family
ID=18370259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34456593A Expired - Fee Related JP3374337B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 質量流量制御装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5594666A (ja) |
| JP (1) | JP3374337B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006059322A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-03-02 | Boc Group Inc:The | 流体流制御装置及びシステム |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6687635B2 (en) * | 2002-06-13 | 2004-02-03 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for compensated sensor output |
| US20030234047A1 (en) * | 2002-06-24 | 2003-12-25 | Ali Shajii | Apparatus and method for dual processor mass flow controller |
| US6712084B2 (en) | 2002-06-24 | 2004-03-30 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for pressure fluctuation insensitive mass flow control |
| US6948508B2 (en) * | 2002-06-24 | 2005-09-27 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for self-calibration of mass flow controller |
| US7004191B2 (en) * | 2002-06-24 | 2006-02-28 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for mass flow controller with embedded web server |
| US20030234045A1 (en) * | 2002-06-24 | 2003-12-25 | Ali Shajii | Apparatus and method for mass flow controller with on-line diagnostics |
| US6868862B2 (en) * | 2002-06-24 | 2005-03-22 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for mass flow controller with a plurality of closed loop control code sets |
| US7809473B2 (en) * | 2002-06-24 | 2010-10-05 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for pressure fluctuation insensitive mass flow control |
| JP2008039513A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Hitachi Metals Ltd | 質量流量制御装置の流量制御補正方法 |
| JP5132617B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2013-01-30 | アズビル株式会社 | 流量制御装置 |
| US20090327135A1 (en) * | 2008-06-26 | 2009-12-31 | Loc Duc Nguyen | Credit card paired with location identifiable device for point of service fraud detection |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4527557A (en) * | 1984-11-01 | 1985-07-09 | Bear Medical Systems, Inc. | Medical ventilator system |
| EP0282675A3 (en) * | 1986-11-04 | 1990-01-03 | Bird Products Corporation | Flow control valve for a medical ventilator |
| US5474062A (en) * | 1987-11-04 | 1995-12-12 | Bird Products Corporation | Medical ventilator |
| US5469750A (en) * | 1991-03-05 | 1995-11-28 | Aradigm Corporation | Method and apparatus for sensing flow in two directions and automatic calibration thereof |
| US5263369A (en) * | 1992-07-24 | 1993-11-23 | Bear Medical Systems, Inc. | Flow sensor system and method |
| US5329966A (en) * | 1993-03-08 | 1994-07-19 | Vici Metronics Incorporated | Gas flow controller |
-
1993
- 1993-12-20 JP JP34456593A patent/JP3374337B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-12-19 US US08/358,468 patent/US5594666A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006059322A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-03-02 | Boc Group Inc:The | 流体流制御装置及びシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5594666A (en) | 1997-01-14 |
| JP3374337B2 (ja) | 2003-02-04 |
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