JPH07167891A - 加速度センサー - Google Patents
加速度センサーInfo
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- JPH07167891A JPH07167891A JP5316714A JP31671493A JPH07167891A JP H07167891 A JPH07167891 A JP H07167891A JP 5316714 A JP5316714 A JP 5316714A JP 31671493 A JP31671493 A JP 31671493A JP H07167891 A JPH07167891 A JP H07167891A
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- bending
- acceleration
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- failure diagnosis
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
- Air Bags (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 加速度検出と故障診断とを同時に行なう。
【構成】 印加された加速度に応じて同一方向に撓みを
生じる撓み部材4、5をそれぞれに有し、これらの撓み
部材4、5の撓み量と撓み方向とを電気信号に変換して
出力する2組の検出手段6a、6b、9a、9b、1
0、11と、故障診断時に撓み部材4、5を互いに異な
る方向へ強制的に撓ませる駆動手段7a、7b、8a、
8b、12、13と、2組の検出手段4、5、6a、6
b、9a、9b、10、11の出力信号の和を算出して
加速度信号を出力する加算手段14と、2組の検出手段
4、5、6a、6b、9a、9b、10、11の出力信
号の差を算出して故障診断信号を出力する減算手段15
とを備える。
生じる撓み部材4、5をそれぞれに有し、これらの撓み
部材4、5の撓み量と撓み方向とを電気信号に変換して
出力する2組の検出手段6a、6b、9a、9b、1
0、11と、故障診断時に撓み部材4、5を互いに異な
る方向へ強制的に撓ませる駆動手段7a、7b、8a、
8b、12、13と、2組の検出手段4、5、6a、6
b、9a、9b、10、11の出力信号の和を算出して
加速度信号を出力する加算手段14と、2組の検出手段
4、5、6a、6b、9a、9b、10、11の出力信
号の差を算出して故障診断信号を出力する減算手段15
とを備える。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は車両の加速度を検出する
のに最適な加速度センサーに関する。
のに最適な加速度センサーに関する。
【0002】
【従来の技術】圧電セラミック素子を用いた加速度セン
サーが知られている(例えば、特開平4−235353
号公報参照)。この加速度センサーでは、ディスク状の
振動板に複数の圧電体が配置され、1つの圧電体の電極
が検出回路に、他の圧電体の電極が駆動回路にそれぞれ
接続されている。駆動回路から正弦波または矩形波など
の電気信号を入力すると駆動回路に接続された圧電体が
伸縮し、振動板が屈曲する。振動板が屈曲すると検出回
路に接続された圧電体が伸縮し、その圧電体の電極に電
荷が発生する。この電荷を検出回路によって電気信号に
変換し、この電気信号に基づいて加速度センサーの故障
診断を行なっている。
サーが知られている(例えば、特開平4−235353
号公報参照)。この加速度センサーでは、ディスク状の
振動板に複数の圧電体が配置され、1つの圧電体の電極
が検出回路に、他の圧電体の電極が駆動回路にそれぞれ
接続されている。駆動回路から正弦波または矩形波など
の電気信号を入力すると駆動回路に接続された圧電体が
伸縮し、振動板が屈曲する。振動板が屈曲すると検出回
路に接続された圧電体が伸縮し、その圧電体の電極に電
荷が発生する。この電荷を検出回路によって電気信号に
変換し、この電気信号に基づいて加速度センサーの故障
診断を行なっている。
【0003】一方、この加速度センサーにより加速度を
検出するときは、印加された加速度によって振動板が屈
曲するので、検出回路に接続された圧電体の電極に電荷
が発生する。この電荷を検出回路によって電気信号に変
換し、この電気信号に基づいて加速度を検出している。
検出するときは、印加された加速度によって振動板が屈
曲するので、検出回路に接続された圧電体の電極に電荷
が発生する。この電荷を検出回路によって電気信号に変
換し、この電気信号に基づいて加速度を検出している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
加速度センサーでは、故障診断時も通常の加速度検出時
も、検出回路に接続された圧電体に発生した電荷に基づ
いて故障診断または加速度検出を行なっているので、故
障診断と加速度検出とを同時に行なうことができないと
いう問題がある。
加速度センサーでは、故障診断時も通常の加速度検出時
も、検出回路に接続された圧電体に発生した電荷に基づ
いて故障診断または加速度検出を行なっているので、故
障診断と加速度検出とを同時に行なうことができないと
いう問題がある。
【0005】本発明の目的は、加速度検出と故障診断と
を同時に行なうことができる加速度センサーを提供する
ことにある。
を同時に行なうことができる加速度センサーを提供する
ことにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】一実施例を示す図1に対
応づけて本発明を説明すると、請求項1の発明は、印加
された加速度に応じて同一方向に撓みを生じる撓み部材
4、5をそれぞれに有し、これらの撓み部材4、5の撓
み量と撓み方向とを電気信号に変換して出力する2組の
検出手段6a、6b、9a、9b、10、11と、故障
診断時に撓み部材4、5を互いに異なる方向へ強制的に
撓ませる駆動手段7a、7b、8a、8b、12、13
と、2組の検出手段4、5、6a、6b、9a、9b、
10、11の出力信号の和を算出して加速度信号を出力
する加算手段14と、2組の検出手段4、5、6a、6
b、9a、9b、10、11の出力信号の差を算出して
故障診断信号を出力する減算手段15とを備え、これに
より、上記目的を達成する。請求項2の加速度センサー
の検出手段は、静電容量により撓み部材4、5の撓み量
および撓み方向を検出するようにしたものである。請求
項3の加速度センサーの検出手段は、歪ゲージにより撓
み部材4、5の撓み量および撓み方向を検出するように
したものである。請求項4の加速度センサーの検出手段
は、圧電体により撓み部材4、5の撓み量および撓み方
向を検出するようにしたものである。請求項5の加速度
センサーは、2組の検出手段を半導体プロセスにより形
成するようにしたものである。
応づけて本発明を説明すると、請求項1の発明は、印加
された加速度に応じて同一方向に撓みを生じる撓み部材
4、5をそれぞれに有し、これらの撓み部材4、5の撓
み量と撓み方向とを電気信号に変換して出力する2組の
検出手段6a、6b、9a、9b、10、11と、故障
診断時に撓み部材4、5を互いに異なる方向へ強制的に
撓ませる駆動手段7a、7b、8a、8b、12、13
と、2組の検出手段4、5、6a、6b、9a、9b、
10、11の出力信号の和を算出して加速度信号を出力
する加算手段14と、2組の検出手段4、5、6a、6
b、9a、9b、10、11の出力信号の差を算出して
故障診断信号を出力する減算手段15とを備え、これに
より、上記目的を達成する。請求項2の加速度センサー
の検出手段は、静電容量により撓み部材4、5の撓み量
および撓み方向を検出するようにしたものである。請求
項3の加速度センサーの検出手段は、歪ゲージにより撓
み部材4、5の撓み量および撓み方向を検出するように
したものである。請求項4の加速度センサーの検出手段
は、圧電体により撓み部材4、5の撓み量および撓み方
向を検出するようにしたものである。請求項5の加速度
センサーは、2組の検出手段を半導体プロセスにより形
成するようにしたものである。
【0007】
【作用】加速度検出時は、撓み部材4、5に加速度が印
加されるとそれらは同一方向に撓むので、両撓み部材
4、5の撓み量と撓み方向に応じた電気信号のレベルと
極性は同一になり、両者の和である加速度出力が得られ
る一方、両者の差である故障診断出力は0となる。ま
た、故障診断時は、撓み部材4、5が強制的に互いに異
なる方向に撓ませられるので、両撓み部材4、5の撓み
量と撓み方向に応じた電気信号はレベルは同一であるが
極性が異なり、両者の差である故障診断出力が得られる
一方、両者の和である加速度出力は0となる。これによ
り、加速度検出中にセンサーの故障診断を行なっても加
速度出力と故障診断出力とが別々に得られ、加速度検出
と故障診断とを同時に行なうことができる。
加されるとそれらは同一方向に撓むので、両撓み部材
4、5の撓み量と撓み方向に応じた電気信号のレベルと
極性は同一になり、両者の和である加速度出力が得られ
る一方、両者の差である故障診断出力は0となる。ま
た、故障診断時は、撓み部材4、5が強制的に互いに異
なる方向に撓ませられるので、両撓み部材4、5の撓み
量と撓み方向に応じた電気信号はレベルは同一であるが
極性が異なり、両者の差である故障診断出力が得られる
一方、両者の和である加速度出力は0となる。これによ
り、加速度検出中にセンサーの故障診断を行なっても加
速度出力と故障診断出力とが別々に得られ、加速度検出
と故障診断とを同時に行なうことができる。
【0008】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段および作用の項では、本発明を分り
やすくするために実施例の図を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。
解決するための手段および作用の項では、本発明を分り
やすくするために実施例の図を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。
【0009】
【実施例】図1は一実施例の構成を示す機能ブロック図
であり、センサー本体に対してはその断面形状を示す。
センサー本体1は、2枚の絶縁板2、3の間に導電体か
ら成る同一形状の2個の梁4、5が挟持され、これらの
梁4、5の先端部4a、5aはX、Y方向に加速度が加
わると撓むように形成されている。センサー本体1の絶
縁板2、3の内壁には、梁先端部4a、5aの両側にそ
れぞれ2対ずつ計4対の電極6a、6b、7a、7b、
8a、8b、9a、9bが設けられる。電極6a、6b
および9a、9bは検出用電極であり、それぞれ検出回
路10および11に接続される。また、電極7a、7b
および8a、8bは駆動用電極であり、電極7b、8a
は発振器12へ接続され、電極7a、8bはインバータ
ー13を介して発振器12へ接続される。さらに、梁
4、5は接地され、検出回路10および11の出力はそ
れぞれ加算器14および減算器15へ接続される。
であり、センサー本体に対してはその断面形状を示す。
センサー本体1は、2枚の絶縁板2、3の間に導電体か
ら成る同一形状の2個の梁4、5が挟持され、これらの
梁4、5の先端部4a、5aはX、Y方向に加速度が加
わると撓むように形成されている。センサー本体1の絶
縁板2、3の内壁には、梁先端部4a、5aの両側にそ
れぞれ2対ずつ計4対の電極6a、6b、7a、7b、
8a、8b、9a、9bが設けられる。電極6a、6b
および9a、9bは検出用電極であり、それぞれ検出回
路10および11に接続される。また、電極7a、7b
および8a、8bは駆動用電極であり、電極7b、8a
は発振器12へ接続され、電極7a、8bはインバータ
ー13を介して発振器12へ接続される。さらに、梁
4、5は接地され、検出回路10および11の出力はそ
れぞれ加算器14および減算器15へ接続される。
【0010】検出回路10は、絶縁板2、3とその間に
設けられた導電体の梁先端部4aとにより形成される静
電容量を検出用電極6a、6bを介して検出し、検出し
た静電容量を電気信号に変換して加算器14および減算
器15へ出力する。この静電容量は梁先端部4aの撓み
量、すなわちセンサー本体1に加わる加速度に応じて変
化するので、検出回路10はセンサー本体1に印加され
る加速度に応じた電気信号を出力する。
設けられた導電体の梁先端部4aとにより形成される静
電容量を検出用電極6a、6bを介して検出し、検出し
た静電容量を電気信号に変換して加算器14および減算
器15へ出力する。この静電容量は梁先端部4aの撓み
量、すなわちセンサー本体1に加わる加速度に応じて変
化するので、検出回路10はセンサー本体1に印加され
る加速度に応じた電気信号を出力する。
【0011】同様に、検出回路11は、絶縁板2、3と
その間に設けられた導電体の梁先端部5aとにより形成
される静電容量を検出用電極9a、9bを介して検出
し、検出した静電容量を電気信号に変換して加算器14
および減算器15へ出力する。この静電容量は梁先端部
5aの撓み量、すなわちセンサー本体1に加わる加速度
に応じて変化するので、検出回路11はセンサー本体1
に印加される加速度に応じた電気信号を出力する。
その間に設けられた導電体の梁先端部5aとにより形成
される静電容量を検出用電極9a、9bを介して検出
し、検出した静電容量を電気信号に変換して加算器14
および減算器15へ出力する。この静電容量は梁先端部
5aの撓み量、すなわちセンサー本体1に加わる加速度
に応じて変化するので、検出回路11はセンサー本体1
に印加される加速度に応じた電気信号を出力する。
【0012】加算器14は検出回路10および11から
出力される電気信号を加算し、加速度信号として出力す
る。また、減算器15は検出回路10から出力される電
気信号から検出回路11から出力される電気信号を減算
し、故障診断信号として出力する。
出力される電気信号を加算し、加速度信号として出力す
る。また、減算器15は検出回路10から出力される電
気信号から検出回路11から出力される電気信号を減算
し、故障診断信号として出力する。
【0013】発振器12は故障診断時に正弦波、方形波
などの交流信号を発生し、駆動用電極7b、8aに直
接、印加するとともに、駆動用電極7a、8bにインバ
ーター13を介して印加する。これによって、2対の駆
動用電極7a、7bと8a、8bには互いに逆極性の信
号が印加される。今、駆動電極7b、8aに正の電圧、
駆動電極7a、8bに負の電圧の信号がそれぞれ印加さ
れたとすると、静電気力によって梁先端部4aはY方向
に撓み、梁先端部5aはX方向に撓む。
などの交流信号を発生し、駆動用電極7b、8aに直
接、印加するとともに、駆動用電極7a、8bにインバ
ーター13を介して印加する。これによって、2対の駆
動用電極7a、7bと8a、8bには互いに逆極性の信
号が印加される。今、駆動電極7b、8aに正の電圧、
駆動電極7a、8bに負の電圧の信号がそれぞれ印加さ
れたとすると、静電気力によって梁先端部4aはY方向
に撓み、梁先端部5aはX方向に撓む。
【0014】このように、2対の電極7a、7bと8
a、8bに互いに逆極性の信号を印加することによっ
て、梁先端部4aおよび5aを互いに反対方向に強制的
に撓ませることができる。このとき、2対の検出用電極
6a、6bと9a、9bには梁先端部4a、5aの撓み
量に応じた静電容量が発生し、これらの静電容量は検出
回路10および11により梁先端部4a、5aの撓み量
に応じた電気信号に変換される。ここで、梁先端部4
a、5aは互いに逆方向に撓むので、検出回路10およ
び11から出力される電気信号は同一レベルであるが互
いに逆極性となる。
a、8bに互いに逆極性の信号を印加することによっ
て、梁先端部4aおよび5aを互いに反対方向に強制的
に撓ませることができる。このとき、2対の検出用電極
6a、6bと9a、9bには梁先端部4a、5aの撓み
量に応じた静電容量が発生し、これらの静電容量は検出
回路10および11により梁先端部4a、5aの撓み量
に応じた電気信号に変換される。ここで、梁先端部4
a、5aは互いに逆方向に撓むので、検出回路10およ
び11から出力される電気信号は同一レベルであるが互
いに逆極性となる。
【0015】図2は、センサー本体1にX方向の加速度
が加わったときの梁4、5の動きを示す。センサー本体
1にX方向の加速度が加わると、梁4、5は共にY方向
に撓む。このとき、2対の検出用電極6a、6bおよび
9a、9bを介して検出される静電容量は等しくなり、
検出回路10および11は同一レベルで且つ同極性の電
気信号をそれぞれ出力する。これらの電気信号は加算器
14で加算され、各検出回路10、11の信号レベルの
2倍の加速度信号が出力される。また、検出回路10お
よび11から出力される電気信号は減算器15へ供給さ
れ、検出回路10の電気信号から検出回路11の電気信
号が減算されるが、両電気信号は同一レベルで且つ同極
性であるから減算結果は0になる。つまり、通常の加速
度検出に際しては、センサー本体1に印加された加速度
に応じた加速度出力が得られる一方、故障診断出力は0
になる。
が加わったときの梁4、5の動きを示す。センサー本体
1にX方向の加速度が加わると、梁4、5は共にY方向
に撓む。このとき、2対の検出用電極6a、6bおよび
9a、9bを介して検出される静電容量は等しくなり、
検出回路10および11は同一レベルで且つ同極性の電
気信号をそれぞれ出力する。これらの電気信号は加算器
14で加算され、各検出回路10、11の信号レベルの
2倍の加速度信号が出力される。また、検出回路10お
よび11から出力される電気信号は減算器15へ供給さ
れ、検出回路10の電気信号から検出回路11の電気信
号が減算されるが、両電気信号は同一レベルで且つ同極
性であるから減算結果は0になる。つまり、通常の加速
度検出に際しては、センサー本体1に印加された加速度
に応じた加速度出力が得られる一方、故障診断出力は0
になる。
【0016】図3は故障診断時の梁4、5の動きを示
す。今、発振器12から故障診断のための正弦波信号が
出力されており、ある時刻に駆動電極7b、8aに正の
電圧、駆動電極7a、8bに負の電圧の信号がそれぞれ
印加されたとすると、静電気力によって梁先端部4aは
Y方向に撓み、梁先端部5aはX方向に撓む。梁先端部
4aと5aの撓み量は同じであるが、撓み方向は互いに
逆になる。この結果、検出回路10および11から出力
される電気信号のレベルは同一であるが、極性が互いに
逆になる。これらの電気信号は加算器14で加算される
が、同一レベルで逆極性であるから加算結果の加速度出
力は0となる。一方、減算器15では検出回路10の電
気信号から検出回路11の電気信号が減算されるので、
故障診断出力は各検出回路10、11の信号レベルの2
倍の信号となる。つまり、故障診断に際しては、発振器
12から出力される正弦波信号に応じた故障診断出力が
得られる一方、通常の加速度出力は0になる。発振器1
2から交流信号が駆動用電極7a、7b、8a、8bに
印加されたにも拘らず、検出用電極6a、6b、9a、
9bを介して入力交流信号に応じた故障診断出力が得ら
れないときはセンサー本体1の故障と判定される。
す。今、発振器12から故障診断のための正弦波信号が
出力されており、ある時刻に駆動電極7b、8aに正の
電圧、駆動電極7a、8bに負の電圧の信号がそれぞれ
印加されたとすると、静電気力によって梁先端部4aは
Y方向に撓み、梁先端部5aはX方向に撓む。梁先端部
4aと5aの撓み量は同じであるが、撓み方向は互いに
逆になる。この結果、検出回路10および11から出力
される電気信号のレベルは同一であるが、極性が互いに
逆になる。これらの電気信号は加算器14で加算される
が、同一レベルで逆極性であるから加算結果の加速度出
力は0となる。一方、減算器15では検出回路10の電
気信号から検出回路11の電気信号が減算されるので、
故障診断出力は各検出回路10、11の信号レベルの2
倍の信号となる。つまり、故障診断に際しては、発振器
12から出力される正弦波信号に応じた故障診断出力が
得られる一方、通常の加速度出力は0になる。発振器1
2から交流信号が駆動用電極7a、7b、8a、8bに
印加されたにも拘らず、検出用電極6a、6b、9a、
9bを介して入力交流信号に応じた故障診断出力が得ら
れないときはセンサー本体1の故障と判定される。
【0017】このように、加算器14からは加速度検出
結果の加速度出力だけが得られ、減算器15からは故障
診断結果の出力だけが得られるので、加速度センサーに
よる車両の加速度検出と、加速度センサー自体の故障診
断とを同時に行なうことができる。
結果の加速度出力だけが得られ、減算器15からは故障
診断結果の出力だけが得られるので、加速度センサーに
よる車両の加速度検出と、加速度センサー自体の故障診
断とを同時に行なうことができる。
【0018】なお、上述した実施例では、センサー本体
の2枚の絶縁板とその間に設けられた導電体の梁とによ
り形成される静電容量により梁の撓み量および撓み方向
を検出し、それらに基づいて加速度検出および故障診断
を行なう例を示したが、歪ゲージ、圧電体などを用いて
梁の撓み量および撓み方向を検出するようにしてもよ
い。
の2枚の絶縁板とその間に設けられた導電体の梁とによ
り形成される静電容量により梁の撓み量および撓み方向
を検出し、それらに基づいて加速度検出および故障診断
を行なう例を示したが、歪ゲージ、圧電体などを用いて
梁の撓み量および撓み方向を検出するようにしてもよ
い。
【0019】また、センサー本体に形成される梁などの
2組の検出部材は、加速度検出精度および故障診断精度
を上げるために機械的特性および電気的特性がほぼ同一
であることが望ましい。そこで、半導体プロセスにより
2組の検出部材またはセンサー本体自体を形成するよう
にしてもよい。
2組の検出部材は、加速度検出精度および故障診断精度
を上げるために機械的特性および電気的特性がほぼ同一
であることが望ましい。そこで、半導体プロセスにより
2組の検出部材またはセンサー本体自体を形成するよう
にしてもよい。
【0020】以上の実施例の構成において、梁4、電極
6a、6bおよび検出回路10と、梁5、電極9a、9
bおよび検出回路11が検出手段を、発振器12、イン
バーター13および電極7a、7b、8a、8bが駆動
手段を、加算器14が加算手段を、減算器15が減算手
段をそれぞれ構成する。
6a、6bおよび検出回路10と、梁5、電極9a、9
bおよび検出回路11が検出手段を、発振器12、イン
バーター13および電極7a、7b、8a、8bが駆動
手段を、加算器14が加算手段を、減算器15が減算手
段をそれぞれ構成する。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、印
加された加速度に応じて同一方向に撓む撓み部材を設け
て故障診断時は互いに異なる方向に強制的に撓ませ、こ
れらの撓み部材の撓み量と撓み方向とを電気信号に変換
し、両者の和を算出して加速度信号を出力するととも
に、両者の差を算出して故障診断信号を出力するように
したので、加速度検出中にセンサーの故障診断を行なっ
ても加速度出力と故障診断出力とが別々に得られ、加速
度検出と故障診断とを同時に行なうことができる。
加された加速度に応じて同一方向に撓む撓み部材を設け
て故障診断時は互いに異なる方向に強制的に撓ませ、こ
れらの撓み部材の撓み量と撓み方向とを電気信号に変換
し、両者の和を算出して加速度信号を出力するととも
に、両者の差を算出して故障診断信号を出力するように
したので、加速度検出中にセンサーの故障診断を行なっ
ても加速度出力と故障診断出力とが別々に得られ、加速
度検出と故障診断とを同時に行なうことができる。
【図1】一実施例の構成を示す機能ブロック図。
【図2】加速度検出時の動作を説明する図。
【図3】故障診断時の動作を説明する図。
1 センサー本体 2、3 絶縁板 4、5 梁 4a、5a 先端部 6a、6b、7a、7b、8a、8b、9a、9b 電
極 10、11 検出回路 12 発振器 13 インバーター 14 加算器 15 減算器
極 10、11 検出回路 12 発振器 13 インバーター 14 加算器 15 減算器
Claims (5)
- 【請求項1】 印加された加速度に応じて同一方向に撓
みを生じる撓み部材をそれぞれに有し、これらの撓み部
材の撓み量と撓み方向とを電気信号に変換して出力する
2組の検出手段と、 故障診断時に前記撓み部材を互いに異なる方向へ強制的
に撓ませる駆動手段と、 前記2組の検出手段の出力信号の和を算出して加速度信
号を出力する加算手段と、 前記2組の検出手段の出力信号の差を算出して故障診断
信号を出力する減算手段とを備えることを特徴とする加
速度センサー。 - 【請求項2】 請求項1に記載の加速度センサーにおい
て、 前記検出手段は静電容量により前記撓み部材の撓み量お
よび撓み方向を検出することを特徴とする加速度センサ
ー。 - 【請求項3】 請求項1に記載の加速度センサーにおい
て、 前記検出手段は歪ゲージにより前記撓み部材の撓み量お
よび撓み方向を検出することを特徴とする加速度センサ
ー。 - 【請求項4】 請求項1に記載の加速度センサーにおい
て、 前記検出手段は圧電体により前記撓み部材の撓み量およ
び撓み方向を検出することを特徴とする加速度センサ
ー。 - 【請求項5】 請求項1に記載の加速度センサーにおい
て、 前記2組の検出手段を半導体プロセスにより形成するこ
とを特徴とする加速度センサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5316714A JP3019700B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 加速度センサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5316714A JP3019700B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 加速度センサー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07167891A true JPH07167891A (ja) | 1995-07-04 |
JP3019700B2 JP3019700B2 (ja) | 2000-03-13 |
Family
ID=18080088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5316714A Expired - Lifetime JP3019700B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 加速度センサー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3019700B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002162413A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-07 | Yamatake Corp | 地震検出装置 |
JP2003521675A (ja) * | 1999-03-17 | 2003-07-15 | インプット/アウトプット,インコーポレーテッド | センサ |
JP2011095104A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 静電容量式センサ |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5747836B2 (ja) * | 2012-02-15 | 2015-07-15 | 三菱電機株式会社 | 加速度センサと加速度センサの自己診断方法 |
-
1993
- 1993-12-16 JP JP5316714A patent/JP3019700B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003521675A (ja) * | 1999-03-17 | 2003-07-15 | インプット/アウトプット,インコーポレーテッド | センサ |
JP2002162413A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-07 | Yamatake Corp | 地震検出装置 |
JP2011095104A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 静電容量式センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3019700B2 (ja) | 2000-03-13 |
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