JPH071610Y2 - 拡大観察装置における合焦用上下動装置 - Google Patents
拡大観察装置における合焦用上下動装置Info
- Publication number
- JPH071610Y2 JPH071610Y2 JP1986060739U JP6073986U JPH071610Y2 JP H071610 Y2 JPH071610 Y2 JP H071610Y2 JP 1986060739 U JP1986060739 U JP 1986060739U JP 6073986 U JP6073986 U JP 6073986U JP H071610 Y2 JPH071610 Y2 JP H071610Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focusing
- vertical movement
- holding member
- screw
- connecting rod
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- Expired - Lifetime
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- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （考案の技術分野） 本考案は拡大観察装置における合焦用上下動装置に関
し、特に、投影機における投影ヘッドもしくは載物台取
付ニーの上下動装置に最適のものである。
し、特に、投影機における投影ヘッドもしくは載物台取
付ニーの上下動装置に最適のものである。
（考案の背景） 従来の投影機における投影ヘッドの上下動装置は第３図
の如く構成されている。すなわち、投影レンズ30と投影
スクリーン31とを有する投影ヘッド32は、本体34との間
の上下動ガイド33によって投影レンズ30の光軸方向へ移
動自在になっており、ヘッド32と一体に設けた駆動ねじ
35を回転のみ自在に本体34に設けたナット36に螺合し、
このナット36を歯車37を介してモータ38によって回転さ
せ、その結果、ねじ35を上下動させる構成である。
の如く構成されている。すなわち、投影レンズ30と投影
スクリーン31とを有する投影ヘッド32は、本体34との間
の上下動ガイド33によって投影レンズ30の光軸方向へ移
動自在になっており、ヘッド32と一体に設けた駆動ねじ
35を回転のみ自在に本体34に設けたナット36に螺合し、
このナット36を歯車37を介してモータ38によって回転さ
せ、その結果、ねじ35を上下動させる構成である。
この装置において、駆動ねじ35と移動用ナット36による
組合せ軸方向は上下動ガイド33による案内方向と平行で
かつ真直も合致してないかぎり投影ヘッド32を前後左右
に揺する力が生じ、合焦作業にはこれの動きが像を投影
倍率だけ拡大させて投影スクリーン31上に投影されるの
で、これを防ぐため、組立にて軸を合致させるよう組立
てたとしても、ねじの真直度誤差は零に出来ない。特に
移動量の大きな長いねじほどこれによる誤差は大きい。
この為、合焦作業がやりにくくなるばかりでなく、段差
被検物では大きな長さ測定誤差を生じるという欠点があ
った。
組合せ軸方向は上下動ガイド33による案内方向と平行で
かつ真直も合致してないかぎり投影ヘッド32を前後左右
に揺する力が生じ、合焦作業にはこれの動きが像を投影
倍率だけ拡大させて投影スクリーン31上に投影されるの
で、これを防ぐため、組立にて軸を合致させるよう組立
てたとしても、ねじの真直度誤差は零に出来ない。特に
移動量の大きな長いねじほどこれによる誤差は大きい。
この為、合焦作業がやりにくくなるばかりでなく、段差
被検物では大きな長さ測定誤差を生じるという欠点があ
った。
合焦のために投影レンズ30を上下動する代わりに、被検
物を載置する載物台取付ニーを上下動する構造の場合に
も同様のことが言える。また、投影機に限らず他の拡大
観察装置、例えば顕微鏡でも同様のことが言える。
物を載置する載物台取付ニーを上下動する構造の場合に
も同様のことが言える。また、投影機に限らず他の拡大
観察装置、例えば顕微鏡でも同様のことが言える。
（考案の目的） この考案はこれらの欠点を解決し、上下動合焦時に観察
像のゆらぎが起らず、組立て作業も容易な、ねじ駆動方
式の合焦用上下動装置を得ることを目的とする。
像のゆらぎが起らず、組立て作業も容易な、ねじ駆動方
式の合焦用上下動装置を得ることを目的とする。
（考案の概要） 本考案は、対物レンズ（５）の保持部材（１）と載物台
の保持部材とのいずれか一方（１）を装置本体（４）と
の間のガイド（2,3）によって合焦のために移動自在に
なすと共に、前記一方の保持部材（１）と装置本体
（４）との間に送りねじ（９）とナット（８）とを含む
駆動装置（8,9,10,11,14）を有する拡大観察装置の合焦
用上下動装置において、前記駆動装置（8,9,10,11,14）
の送りねじ（９）と前記一方の保持部材（１）との間
に、各々にピポット軸受等で揺動自在に結合して前記送
りねじ（９）の上下動分力を前記一方の保持部材（１）
に伝達する連結棒（12）と、前記送りねじ（９）と前記
一方の保持部材（１）との少なくとも一方に設けられ、
前記連結棒（12）を揺動可能に保持すると共に、前記連
結棒（12）の脱落を防止する脱落防止手段と、を備えた
ことを特徴とする合焦用上下動装置。
の保持部材とのいずれか一方（１）を装置本体（４）と
の間のガイド（2,3）によって合焦のために移動自在に
なすと共に、前記一方の保持部材（１）と装置本体
（４）との間に送りねじ（９）とナット（８）とを含む
駆動装置（8,9,10,11,14）を有する拡大観察装置の合焦
用上下動装置において、前記駆動装置（8,9,10,11,14）
の送りねじ（９）と前記一方の保持部材（１）との間
に、各々にピポット軸受等で揺動自在に結合して前記送
りねじ（９）の上下動分力を前記一方の保持部材（１）
に伝達する連結棒（12）と、前記送りねじ（９）と前記
一方の保持部材（１）との少なくとも一方に設けられ、
前記連結棒（12）を揺動可能に保持すると共に、前記連
結棒（12）の脱落を防止する脱落防止手段と、を備えた
ことを特徴とする合焦用上下動装置。
（実施例） 第１図は本考案の実施例で、投影ヘッド１は上下動ガイ
ド2,3の組合せにより本体４に垂直（上下）移動出来る
ように設置されている。投影ヘッド１には投影レンズ５
が取付き被検物６を投影スクリーン７に拡大投影出来る
ように光学系が組み込まれている。本体４には雌ねじを
構成するナット８が回転可能かつ軸方向へは非移動に本
体４に設置されており、雄ねじを構成する駆動ねじ９が
ナット８の回転により上下に動かされる。
ド2,3の組合せにより本体４に垂直（上下）移動出来る
ように設置されている。投影ヘッド１には投影レンズ５
が取付き被検物６を投影スクリーン７に拡大投影出来る
ように光学系が組み込まれている。本体４には雌ねじを
構成するナット８が回転可能かつ軸方向へは非移動に本
体４に設置されており、雄ねじを構成する駆動ねじ９が
ナット８の回転により上下に動かされる。
ナット８には外周に歯車が切ってあり、それと噛合う歯
車14によって外部より回転を伝えられる。ピン10は駆動
ねじ９の回転止で、本体４に設けたピンガイド11との組
合せによってナット８の回転によって駆動ねじ９が上下
に移動するよう規制している。連結棒12は駆動ねじ９の
上下移動のみを投影ヘッド１に伝達するもので、ねじ９
と一体の受け部材との間及び投影ヘッド１との間の接点
は各々球面とＶ面からなるいわゆるピポット軸受を構成
している。13は連結棒12が簡単に外れて脱落しないよう
に止めている規制環であって、投影ヘッド１と一体に設
けられている。被検物６の像を投影スクリーン７に拡大
合焦作業を行うには歯車14をモータや手動にて回転さ
せ、それと噛合うナット８を回転させる。これにより駆
動ねじ９はピン10とピンガイド11との回転規制によっ
て、上下運動をし、その結果、連結棒12を介して投影ヘ
ッド１も上下することになる。このような構造であるか
ら、この実施例では、上下動ガイド2,3と駆動ねじ９の
上下移動軸とは平行でかつ真直である必要はなく、ねじ
駆動部側がたとえ曲って取り付けられていても投影ヘッ
ド１には連結棒12を介して上下移動分力のみが伝えられ
ると云う利点がある。
車14によって外部より回転を伝えられる。ピン10は駆動
ねじ９の回転止で、本体４に設けたピンガイド11との組
合せによってナット８の回転によって駆動ねじ９が上下
に移動するよう規制している。連結棒12は駆動ねじ９の
上下移動のみを投影ヘッド１に伝達するもので、ねじ９
と一体の受け部材との間及び投影ヘッド１との間の接点
は各々球面とＶ面からなるいわゆるピポット軸受を構成
している。13は連結棒12が簡単に外れて脱落しないよう
に止めている規制環であって、投影ヘッド１と一体に設
けられている。被検物６の像を投影スクリーン７に拡大
合焦作業を行うには歯車14をモータや手動にて回転さ
せ、それと噛合うナット８を回転させる。これにより駆
動ねじ９はピン10とピンガイド11との回転規制によっ
て、上下運動をし、その結果、連結棒12を介して投影ヘ
ッド１も上下することになる。このような構造であるか
ら、この実施例では、上下動ガイド2,3と駆動ねじ９の
上下移動軸とは平行でかつ真直である必要はなく、ねじ
駆動部側がたとえ曲って取り付けられていても投影ヘッ
ド１には連結棒12を介して上下移動分力のみが伝えられ
ると云う利点がある。
なお、連結棒12の両端の接点部形状は第２図のような市
販されている球面軸受15を使用してもなんら問題はな
い。
販されている球面軸受15を使用してもなんら問題はな
い。
また、以上の実施例では、投影ヘッド１を上下させる構
造に本考案を適用したが、被検物６を上下動させる載物
台取付ニーを上下させる構造に本考案を適用しても良い
ことは勿論であるし、顕微鏡の対物レンズ保持アーム、
ステージ（載物台）の上下動にも同様に適用できる。
造に本考案を適用したが、被検物６を上下動させる載物
台取付ニーを上下させる構造に本考案を適用しても良い
ことは勿論であるし、顕微鏡の対物レンズ保持アーム、
ステージ（載物台）の上下動にも同様に適用できる。
（考案の効果） 以上のように本考案によれば上下動分力が移動側（投影
ヘッドもしくは載物台取付ニー）に伝わるので、従来装
置においては伝わっていた前後左右の合成分力によって
生じていた揺動がなくなる。その結果、観察像のゆらぎ
がなくなり、投影機に適用した場合には、段差被検物の
測定精度くり返しの合焦精度の向上にもつながる。又、
上下動ガイドとねじの軸方向（平行，真直度）は合わな
くても良いので加工，組立作業が容易になる利点がある
のみならず、ねじや軸受に無理な力が加わらなくなるの
で駆動側の長寿命、精度の長期保持の効果も期待出来
る。
ヘッドもしくは載物台取付ニー）に伝わるので、従来装
置においては伝わっていた前後左右の合成分力によって
生じていた揺動がなくなる。その結果、観察像のゆらぎ
がなくなり、投影機に適用した場合には、段差被検物の
測定精度くり返しの合焦精度の向上にもつながる。又、
上下動ガイドとねじの軸方向（平行，真直度）は合わな
くても良いので加工，組立作業が容易になる利点がある
のみならず、ねじや軸受に無理な力が加わらなくなるの
で駆動側の長寿命、精度の長期保持の効果も期待出来
る。
第１図は本考案による装置の実施例の縦断面図、第２図
は第１図の連結部の他の実施例を示す図、第３図は従来
装置の一例を示す縦断面図である。 （主要部分の符号の説明） 12…連結棒。
は第１図の連結部の他の実施例を示す図、第３図は従来
装置の一例を示す縦断面図である。 （主要部分の符号の説明） 12…連結棒。
Claims (1)
- 【請求項１】対物レンズの保持部材と載置台の保持部材
とのいずれか一方を装置本体との間のガイドによって合
焦のために上下移動自在になすと共に、前記一方の保持
部材と装置本体との間に送りねじとナットとを含む駆動
装置を有する拡大観察装置の合焦用上下動装置におい
て、 前記駆動装置の前記送りねじと前記一方の保持部材との
間に、各々に揺動自在に結合して前記送りねじの上下動
分力を前記一方の保持部材に伝達する連結棒と、 前記送りねじと前記一方の保持部材との少なくとも一方
に設けられ、前記連結棒を揺動可能に保持すると共に、
前記連結棒の脱落を防止する脱落防止手段と、を備えた
ことを特徴とする合焦用上下動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986060739U JPH071610Y2 (ja) | 1986-04-22 | 1986-04-22 | 拡大観察装置における合焦用上下動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986060739U JPH071610Y2 (ja) | 1986-04-22 | 1986-04-22 | 拡大観察装置における合焦用上下動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62173711U JPS62173711U (ja) | 1987-11-05 |
| JPH071610Y2 true JPH071610Y2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=30893422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986060739U Expired - Lifetime JPH071610Y2 (ja) | 1986-04-22 | 1986-04-22 | 拡大観察装置における合焦用上下動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH071610Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2555016Y2 (ja) * | 1989-09-05 | 1997-11-19 | 株式会社ニコン | 拡大観察装置における合焦用上下動装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4975351U (ja) * | 1972-10-19 | 1974-06-29 | ||
| JPS5965491A (ja) * | 1982-10-06 | 1984-04-13 | Hitachi Ltd | ピエゾ式微小変位装置 |
-
1986
- 1986-04-22 JP JP1986060739U patent/JPH071610Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62173711U (ja) | 1987-11-05 |
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