JPH07161091A - Reproducing method for magneto-optical recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To make a magneto-optical recording medium to be of high density by constituting the procession of the magneto-optical recording medium by an initializing procession initializing the magnetization direction of a recording layer in one direction, a transferring procession transferring a recorded mark in a reproducing layer and a reproducing procession performing a reproducing by irradiating with a reproducing beam spot. CONSTITUTION:A magneto-optical recording medium 10 is made to be moved relatively to a direction shown by the arrow D with respect to an initializing magnetic field Hi, a transferring laser beam spot 13 with a transferring laser beam and a reproducing laser beam spot 14 with a reproducing laser beam. Then, the magneto-optical recording medium 10 having at least a reproduction layer 11 consisting of a vertical magnetizing film and a recording layer 12, for example, an magneto-optical disk is used in this reproducing method. When a reproducing part is irradiated with the reproducing beam spot 14 and the inclination of the rotating plane of polarization is detected by Kerr effect in the reflected light, the recorded mark 15b can be read out.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】再生層、記録層よりなる光磁気記
録媒体の再生方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reproducing method for a magneto-optical recording medium having a reproducing layer and a recording layer.

【０００２】[0002]

【従来の技術】特開平3-88156、特開平3-93056に示され
る磁気的超解像法は、再生層と記録層とを有する媒体に
対してレーザ光を照射して再生層の磁化状態を変化させ
ながら再生する方式である。この磁気的超解像法によれ
ば、これまでは再生が困難だった微小な記録磁区につい
ても良好に再生が可能である。通常、記録磁区がビーム
スポットよりも小さいと、ビームスポット内に複数の記
録磁区が入ってその干渉により再生信号が劣化する。し
かし、この超解像法は、高温度の領域がビームスポット
中心から後方にずれていることを利用して磁区の転写や
消滅をおこない、それにより、記録磁区間の干渉をなく
して再生することを可能にしている。とくに、後方開口
検出型−磁気的超解像法（以下、RAD-MSR法と称する）
では、隣接トラックからのクロストークを著しく低減で
きるため、超解像法を使わない再生方法に比較して4倍
以上の高密度化を可能としていた。RAD-MSR法は図2に示
すような再生原理に基づく。ビームスポット14aによっ
て加熱された領域21が形成される。この高温領域21では
記録層に記録された記録マーク15aが再生層へと転写さ
れ反射光によって再生可能な記録マーク15cとなる。転
写領域（高温領域）21よりも前方に位置するマーク、隣
接トラックのマークは潜像15aとなって再生光には影響
を与えない。そのため、記録マーク15はビームスポット
14a内の他の記録マークからの影響を受けることなく再
生が可能になる。2. Description of the Related Art In the magnetic super-resolution method disclosed in JP-A-3-88156 and JP-A-3-93056, a medium having a reproducing layer and a recording layer is irradiated with a laser beam so that the reproducing layer is magnetized. Is a method of playing while changing the. According to this magnetic super-resolution method, it is possible to satisfactorily reproduce even minute recording magnetic domains which have been difficult to reproduce until now. Usually, when the recording magnetic domain is smaller than the beam spot, a plurality of recording magnetic domains are included in the beam spot, and the reproduction signal is deteriorated due to the interference. However, this super-resolution method uses the fact that the high-temperature region is shifted backward from the center of the beam spot to transfer or erase the magnetic domain, thereby reproducing without causing interference of the recording magnetic domain. Is possible. Especially, rear aperture detection type-magnetic super-resolution method (hereinafter referred to as RAD-MSR method)
In addition, since it is possible to significantly reduce crosstalk from adjacent tracks, it was possible to achieve a density four times higher than that of a reproducing method that does not use the super-resolution method. The RAD-MSR method is based on the reproduction principle as shown in Fig. 2. An area 21 heated by the beam spot 14a is formed. In this high temperature region 21, the recording mark 15a recorded on the recording layer is transferred to the reproducing layer to become a record mark 15c which can be reproduced by reflected light. The mark located in front of the transfer region (high temperature region) 21 and the mark of the adjacent track become a latent image 15a and do not affect the reproduction light. Therefore, the recording mark 15 is the beam spot.
Playback is possible without being affected by other recording marks in 14a.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、RAD-MS
R法では次の点に問題を残していた。[Problems to be Solved by the Invention] However, RAD-MS
The R method had problems in the following points.

【０００４】(1) 記録媒体の量産性 (2) 記録媒体の信頼性 (3) 線速依存性 (4) ジッタ、エラーレートが大きい (1)の記録媒体の量産性について説明する。RAD-MSR法で
はビームスポット14での転写の動的過程を再生に利用し
ているので、これにもちいる記録媒体は、RAD-MSR法に
適するように転写の動的過程が最適化されていなければ
ならない。あるいは、転写の動的過程の再現性が確保さ
れていなければならない。そのため、磁性層の組成は無
論のこと、下地層の平坦性、製造時の多種のパラメータ
（スパッタリングガス圧、残留ガス圧、膜形成速度）が
最適化され、常に同じ状態であることが必要とされる。
しかしながら、量産時にこれらの要件を満たすのは困難
なことである。例えば、残留ガス中の酸素、水蒸気は磁
性膜界面を酸化させるが、その酸化の程度が界面磁壁エ
ネルギーを変化させ、その結果、転写の動的過程を変化
させてしまう。残留ガス中の酸素、水蒸気は湿度、排気
ポンプのコンディション、チャンバーの履歴、生産量、
基板の脱ガス条件の影響によって変化するので量産時に
一定に保つのは極めて困難なことである。このように、
RAD-MSR法に適する記録媒体を製造することの難易度は
高く、これを実現しようとすると歩留りが低かったり、
製造装置が高価になったりして、記録媒体のコストを上
昇させることになる。(1) Mass productivity of recording medium (2) Reliability of recording medium (3) Linear velocity dependence (4) Mass productivity of recording medium having large jitter and error rate (1) will be described. Since the RAD-MSR method uses the dynamic process of transfer at the beam spot 14 for reproduction, the recording medium used for this also has the optimized transfer dynamic process suitable for the RAD-MSR method. There must be. Alternatively, the reproducibility of the dynamic process of transcription must be ensured. Therefore, of course, the composition of the magnetic layer must be optimized, and the flatness of the underlayer and various parameters during production (sputtering gas pressure, residual gas pressure, film formation rate) must be optimized and always be in the same state. To be done.
However, it is difficult to meet these requirements during mass production. For example, oxygen and water vapor in the residual gas oxidize the interface of the magnetic film, and the degree of the oxidation changes the interface domain wall energy, and as a result, changes the dynamic process of transfer. Oxygen and water vapor in residual gas are humidity, exhaust pump condition, chamber history, production volume,
Since it changes depending on the degassing conditions of the substrate, it is extremely difficult to keep it constant during mass production. in this way,
The difficulty of producing a recording medium suitable for the RAD-MSR method is high, and the yield is low when trying to realize this,
The manufacturing apparatus becomes expensive, which increases the cost of the recording medium.

【０００５】(2)の記録媒体の信頼性について説明す
る。RAD-MSR法では再生光に比較的高い出力の光を要す
る。磁気的超解像法を利用しない媒体に較べて倍以上の
出力を用いることが多い。このような大きな出力が媒体
に繰り返し照射されると、記録層に記録された情報の劣
化、再生特性の劣化という点で記録媒体の信頼性に影響
を与える。前者の問題は記録層に用いる磁性膜のキュリ
ー温度を高めに設定することで回避できる。しかし、後
者の問題はアモルファス合金の構造緩和に伴って転写の
動的過程が変化することに起因しているため、根本的な
解決方法はまだ見いだされていない。The reliability of the recording medium (2) will be described. The RAD-MSR method requires a relatively high output light as the reproduction light. In many cases, the output is more than double that of a medium that does not use the magnetic super-resolution method. When such a large output is repeatedly applied to the medium, the reliability of the recording medium is affected in terms of deterioration of information recorded in the recording layer and deterioration of reproduction characteristics. The former problem can be avoided by setting the Curie temperature of the magnetic film used for the recording layer to be high. However, since the latter problem is caused by the change in the dynamic process of transfer accompanying the structural relaxation of the amorphous alloy, a fundamental solution has not yet been found.

【０００６】(3)の線速依存性について説明する。転写
領域21の大きさ、形状は再生光出力や線速に依存する。
さらにRAD-MSR法ではビームスポット14aと転写領域22と
の交わりの部分が検出部22として作用する。線速が小さ
くなると検出部22の面積が大きくなり、超解像の効果が
劣化してしまう。そのため、線速が変化するCAV方式
や、低線速の再生装置にはRAD-MSR法は適さない。The linear velocity dependence of (3) will be described. The size and shape of the transfer area 21 depends on the reproduction light output and the linear velocity.
Further, in the RAD-MSR method, the intersection of the beam spot 14a and the transfer area 22 acts as the detection section 22. When the linear velocity decreases, the area of the detection unit 22 increases and the super-resolution effect deteriorates. Therefore, the RAD-MSR method is not suitable for the CAV system in which the linear velocity changes or for a low linear velocity reproducing device.

【０００７】(4)のジッタ、エラーレートが大きいこと
を説明する。RAD-MSR法は転写の動的過程を利用するた
めこれまでのジッタの要因に加え転写過程の揺らぎに起
因する、いわば、転写ジッタが発生する。これは、媒体
の不均一性、界面磁壁のピニングなどが影響するためゼ
ロには出来ない。そのため、エラーレートが高く高密度
化の際に支障となる。また、高密度化の方法として用い
られるマーク長記録方式はマーク長ジッタが小さいこと
を必要とするため、RAD-MSR法にマーク長記録方式を組
み合わせるとエラーレートの増大を招くことになる。It will be explained that the jitter (4) and the error rate are large. Since the RAD-MSR method uses a dynamic process of transfer, so-called transfer jitter occurs due to fluctuations in the transfer process in addition to the factors of the jitter so far. This cannot be reduced to zero because of non-uniformity of the medium, pinning of the interface domain wall, and the like. Therefore, the error rate is high and it becomes a hindrance when increasing the density. Further, since the mark length recording method used as a method for increasing the density requires that the mark length jitter is small, combining the RAD-MSR method with the mark length recording method leads to an increase in error rate.

【０００８】RAD-MSR法には以上説明したような課題が
残されている。これらの課題の多くは「転写の動的過
程」に起因するもので、RAD-MSR法の本質的な問題点だ
といえる。The RAD-MSR method has the above-mentioned problems. Most of these problems are caused by the "dynamic process of transcription" and can be said to be an essential problem of the RAD-MSR method.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の光磁気記録媒体
の再生方法は、再生層と記録層とが磁気的に結合した磁
性層を有する光磁気記録媒体において、再生層の磁化の
向きを一方向に初期化する初期化過程、初期化過程に続
いて転写ビームスポットを照射して記録層中の記録マー
クを再生層へと転写する転写過程、転写過程に続いて再
生層に転写された記録マーク上に再生ビームスポットを
照射して再生する再生過程より構成されることを特徴と
する。また、転写ビームスポットが出力を変調したパル
ス光であることを特徴とする。あるいは、転写ビームス
ポットの波長に比べて再生ビームスポットの波長が短い
ことを特徴とする。According to a reproducing method of a magneto-optical recording medium of the present invention, in a magneto-optical recording medium having a magnetic layer in which a reproducing layer and a recording layer are magnetically coupled, the direction of magnetization of the reproducing layer is changed. Initialization process of initializing in one direction, transfer process of irradiating a transfer beam spot after the initialization process to transfer the recording marks in the recording layer to the reproducing layer, and transferring to the reproducing layer after the transferring process It is characterized in that it is constituted by a reproducing process of reproducing by irradiating a reproducing beam spot on the recording mark. Further, the transfer beam spot is a pulsed light whose output is modulated. Alternatively, the reproduction beam spot has a shorter wavelength than the transfer beam spot.

【００１０】[0010]

【実施例】【Example】

（実施例1）本発明の光磁気記録媒体の再生方法につい
て図1を参照して説明する。図1(A)は光磁気記録媒体10
の記録パターンを示す模式的上面図で、図1(B)はその磁
化状態を示す模式的断面図である。この場合図1(B)に示
すように、初期化磁界Hi、転写用レーザビームによる転
写用ビームスポット13、再生用レーザビームによる再生
用レーザスポットに対して光磁気記録媒体10が相対的に
矢印Dで示される方向へ移動するようになされている。
そして、少なくとも垂直磁化膜よりなる再生層11、記録
層12を有して成る光磁気記録媒体10例えば光磁気ディス
クが用いられる。図中の各層11、12中の矢印は、その磁
化の向きを模式的に示したもので、図示の例では下向き
が初期化状態で、上向きの磁化を有する磁区をもって少
なくとも記録層12に記録マーク15が形成される。ここ
で、再生層11、記録層12の間には中間層53を挿入して用
いることも出来る。Example 1 A reproducing method of the magneto-optical recording medium of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1A shows a magneto-optical recording medium 10
1B is a schematic top view showing the recording pattern of FIG. 1B, and FIG. 1B is a schematic cross-sectional view showing the magnetization state thereof. In this case, as shown in FIG. 1 (B), the magneto-optical recording medium 10 has an arrow relative to the initialization magnetic field Hi, the transfer beam spot 13 by the transfer laser beam, and the reproduction laser spot by the reproduction laser beam. It is designed to move in the direction indicated by D.
Then, a magneto-optical recording medium 10 having, for example, a reproducing layer 11 and a recording layer 12 made of perpendicularly magnetized films, for example, a magneto-optical disk is used. The arrows in each of the layers 11 and 12 in the figure schematically show the direction of the magnetization, and in the illustrated example, the downward direction is the initialized state, and the recording mark is recorded on at least the recording layer 12 with the magnetic domain having the upward magnetization. 15 are formed. Here, the intermediate layer 53 may be inserted between the reproducing layer 11 and the recording layer 12 for use.

【００１１】このような光磁気記録媒体10においてその
再生方法を説明すると、先ず外部から初期化磁界Hiを印
加して、再生層11を図1(B)において下向きに磁化して初
期化する。すなわち、再生層11において記録マーク15が
消滅するが、このとき記録マーク15を有する部分におい
て、再生層11と記録層13との磁化の向きがその界面、ま
たは中間層に生じた磁壁によって逆向きに保持されるよ
うに成されていて、記録マーク15は潜像記録マーク15a
として記録層12中に残る。The reproducing method for the magneto-optical recording medium 10 will be described. First, an initializing magnetic field Hi is applied from the outside to magnetize the reproducing layer 11 downward in FIG. 1B to initialize the reproducing layer 11. That is, the recording mark 15 disappears in the reproducing layer 11, but at this time, in the portion having the recording mark 15, the magnetization directions of the reproducing layer 11 and the recording layer 13 are opposite to each other by the interface or the domain wall generated in the intermediate layer. The recording mark 15 is a latent image recording mark 15a.
And remains in the recording layer 12.

【００１２】一方、転写部では潜像記録マーク15aを有
する領域が転写ビームスポット13下に入り、ビーム照射
により昇温されると界面（または、中間層53中）の磁壁
が消滅して、交換力で記録層12の磁化が再生層11に転写
され、記録層12に存在していた潜像記録マーク15aは再
生層11に再生しうる記録マーク15bとして浮き出され
る。ただし、隣接するトラックにおいては転写ビームス
ポット13による昇温が転写に十分な温度にまで達しない
ようになされるので、隣接トラック16の記録マーク15は
潜像記録マーク15aのままである。なお、転写部には潜
像記録マーク15aを再生層11に転写するのに必要な転写
磁界Htが印加される。On the other hand, in the transfer portion, the area having the latent image recording mark 15a enters under the transfer beam spot 13, and when the temperature is raised by the beam irradiation, the domain wall at the interface (or in the intermediate layer 53) disappears and is replaced. The magnetization of the recording layer 12 is transferred to the reproducing layer 11 by force, and the latent image recording mark 15a existing in the recording layer 12 is embossed as a record mark 15b that can be reproduced in the reproducing layer 11. However, since the temperature rise due to the transfer beam spot 13 does not reach the temperature sufficient for the transfer in the adjacent tracks, the recording mark 15 of the adjacent track 16 remains the latent image recording mark 15a. A transfer magnetic field Ht required to transfer the latent image recording mark 15a to the reproducing layer 11 is applied to the transfer portion.

【００１３】そして、再生部では再生ビームスポット14
に照射され、その反射光におけるカー効果によって回転
する偏光面の傾きを検出すれば、記録マーク15bを読み
出すことが出来る。ここで、隣接トラック16の記録マー
ク15は再生ビームスポット14の照射範囲内に位置する
が、再生潜像記録マーク15aのままなので読み出しには
影響を与えない。つまり、トラックピッチを高密度化し
て再生ビームスポット14内に複数のトラックが照射され
る場合も、隣接トラック16からのクロストークの影響を
受けないで再生することが可能になる。Then, in the reproducing section, the reproducing beam spot 14
The recording mark 15b can be read out by detecting the tilt of the polarization plane that is irradiated by the light and is rotated by the Kerr effect in the reflected light. Here, although the recording mark 15 of the adjacent track 16 is located within the irradiation range of the reproduction beam spot 14, it does not affect the reading because it remains the reproduction latent image recording mark 15a. That is, even when a plurality of tracks are irradiated in the reproduction beam spot 14 with a high track pitch, reproduction can be performed without being affected by crosstalk from the adjacent tracks 16.

【００１４】このような本発明の再生方法によって、ト
ラックピッチの高密度化が可能になる。次に、本発明の
再生方法はRAD-MSR法と比較してトラックピッチの高密
度化の点で優れていることを図3を参照して説明する。
図3(A)は光磁気記録媒体10上にビームスポット13、14a
が照射されて温度が上昇していることを示す模式的上面
図で、図3(B)はそのときのトラック中心線上のビームス
ポットの強度分布と、光磁気記録媒体10の温度分布を示
す特性図である。ここで照射されているレーザビームは
波長が830nm、対物レンズのN.A.が0.55のもので、光磁
気記録媒体10は矢印Dで示される方向に線速は8m/secで
移動している。また、ここで用いる光磁気記録媒体10は
記録層12から再生層11への転写が開始する温度を100℃
とする。By such a reproducing method of the present invention, the track pitch can be increased. Next, it will be described with reference to FIG. 3 that the reproducing method of the present invention is superior to the RAD-MSR method in terms of increasing the track pitch.
FIG. 3A shows beam spots 13 and 14a on the magneto-optical recording medium 10.
FIG. 3 (B) is a schematic top view showing that the temperature is increased by irradiation with, and FIG. 3 (B) is a characteristic showing the intensity distribution of the beam spot on the track center line at that time and the temperature distribution of the magneto-optical recording medium 10. It is a figure. The laser beam emitted here has a wavelength of 830 nm and an NA of the objective lens of 0.55, and the magneto-optical recording medium 10 is moving in the direction indicated by arrow D at a linear velocity of 8 m / sec. Further, the magneto-optical recording medium 10 used here has a temperature at which the transfer from the recording layer 12 to the reproducing layer 11 starts at 100 ° C.
And

【００１５】レーザスポットの出力がPa、Pb(Pb>Pa)の
場合の温度分布は出力Paのとき温度分布32a、出力Pbの
とき温度分布32bに示されるようになる。出力Paの時の
最高到達温度は120℃、出力Pbの時のそれは170℃になっ
ている。転写が開始する温度は100℃なので、転写が可
能な温度以上に昇温されている領域は、出力Pa、Pbそれ
ぞれに対して21a、21bのように決まる。When the output of the laser spot is Pa, Pb (Pb> Pa), the temperature distribution is as shown in the temperature distribution 32a when the output is Pa and in the temperature distribution 32b when the output is Pb. The maximum temperature reached at the output Pa is 120 ° C, and that at the output Pb is 170 ° C. Since the temperature at which the transfer starts is 100 ° C., the regions where the temperature is raised above the transferable temperature are determined as 21a and 21b for the outputs Pa and Pb, respectively.

【００１６】本発明の再生方法の場合、転写ビームスポ
ット13の照射による加熱で記録層12より再生層11へ記録
マーク15を転写する。出力Pbでは転写領域が21bと大き
いため転写幅が33bのように広がってしまうのに対し
て、出力Paでは転写幅が33aのように狭い。その結果、
出力Paで転写するほうが出力Pbのときよりも隣接トラッ
ク16からのクロストークを小さくでき、再生ビームスポ
ット14にて記録マーク15bを再生する際に良好な再生結
果が得られる。本発明の再生方式を用いる場合、転写ビ
ームスポット13の出力をPaにすることによってPbのとき
よりもトラックピッチを高密度化できることになる。In the reproducing method of the present invention, the recording mark 15 is transferred from the recording layer 12 to the reproducing layer 11 by heating by irradiation of the transfer beam spot 13. At the output Pb, since the transfer area is as large as 21b, the transfer width is widened as 33b, whereas at the output Pa, the transfer width is narrow as 33a. as a result,
The transfer with the output Pa can reduce the crosstalk from the adjacent track 16 as compared with the output Pb, and a good reproduction result can be obtained when the recording mark 15b is reproduced with the reproduction beam spot 14. When the reproducing method of the present invention is used, by setting the output of the transfer beam spot 13 to Pa, the track pitch can be made higher than in the case of Pb.

【００１７】一方、従来のRAD-MSR法を用いる場合、再
生ビームスポット14aの照射による加熱によって再生ビ
ームスポット14a内で記録マーク15が記録層12より再生
層11へ転写される動的過程を再生ビームスポット14aの
反射光によって検出している。そのため、再生ビームス
ポット14aの中心部付近、つまり強度分布31において強
度が大きい領域、で記録マーク15の転写が行なわれるほ
ど大きな再生信号を得られる。再生ビームスポット14a
の出力がPaのときは転写領域21aが再生ビームスポット1
4aの中心から遠いためにビームスポット14aの強度分布3
1の小さいところで記録マーク15cを再生することになる
結果、再生信号の十分な強度が得られない。そのため、
再生ビームスポット14aの出力Pbへと大きくすると転写
領域21bが再生ビームスポット14aの中心側へ、つまり、
強度分布31の大きい領域へと拡大する結果、十分な再生
信号強度が得られるようになる。このようにRAD-MSR法
では転写領域21を再生ビームスポット14aの中心に近づ
くように拡大しないと良好な再生特性が得られない訳で
あるが、この制約がトラックピッチの高密度化にとって
支障になることは明らかであろう。つまり、転写領域21
は再生ビームスポット14aの中心に近づくだけでなくト
ラックに垂直な方向にも拡大していくため転写幅は33b
のように大きくなり、隣接トラック16の影響を受けやす
くなってしまう。On the other hand, when the conventional RAD-MSR method is used, the dynamic process in which the recording mark 15 is transferred from the recording layer 12 to the reproducing layer 11 is reproduced in the reproducing beam spot 14a by heating by irradiation of the reproducing beam spot 14a. It is detected by the reflected light of the beam spot 14a. Therefore, a larger reproduction signal can be obtained as the recording mark 15 is transferred near the center of the reproduction beam spot 14a, that is, in a region where the intensity distribution 31 has a large intensity. Reproduction beam spot 14a
When the output is Pa, the transfer area 21a is the reproduction beam spot 1
Intensity distribution of beam spot 14a because it is far from the center of 4a 3
As a result of reproducing the recording mark 15c at a small value of 1, the sufficient strength of the reproduced signal cannot be obtained. for that reason,
When the output Pb of the reproduction beam spot 14a is increased, the transfer area 21b is moved toward the center of the reproduction beam spot 14a, that is,
As a result of expanding to a region where the intensity distribution 31 is large, sufficient reproduction signal intensity can be obtained. As described above, in the RAD-MSR method, good reproduction characteristics cannot be obtained unless the transfer area 21 is expanded so as to approach the center of the reproduction beam spot 14a, but this restriction hinders high track pitch density. It will be obvious. That is, the transfer area 21
Is not only closer to the center of the playback beam spot 14a but also expands in the direction perpendicular to the track, so the transfer width is 33b.
And becomes susceptible to the influence of the adjacent track 16.

【００１８】このように、本発明の転写ビームスポット
13の出力の方が従来のRAD-MSR法の再生ビームスポット1
4aの出力よりも低出力で済む。本発明の再生方法の模式
上面図を示す図4中の転写幅33を従来のRAD-MSR法の模式
上面図を示す図2における転写領域21の幅に較べて小さ
くすることができる結果、トラックピッチの高密度化の
点で有利である。以下にトラックピッチを変化させてク
ロストークを測定した結果について説明する。グルーブ
の幅とランドの幅がほぼ等しく、トラックピッチを変化
させた透明基板51上に図5に示すように誘電体層52、再
生層11、中間層53、記録層12、誘電体層54、金属層55の
順で積層した。誘電体層52,54にはAlSiNを用いた。その
ほかにもSiN、AlN、SiNOなどの誘電体を用いることも可
能である。金属層55にはAlを用いた。そのほかにも、多
くの金属元素やその合金を用いることが可能であるが、
熱伝導性に優れ、耐腐食性にも優れた金属が望ましい。
再生層11にはキュリー温度が140℃のTbFeCoを40nm、中
間層53にはキュリー温度が250℃のGdFeCoを15nm、記録
層12にはキュリー温度が260℃のTbFeCoを40nm積層し
た。再生層11、記録層12は少なくとも垂直磁化膜である
ことが必要だが、実用上、希土類-遷移金属アモルファ
ス合金を用いることが適当である。その他、Pt/Co多層
膜、Pd/Co多層膜、MnBiを用いることも可能である。ま
た、中間層53にはGdFeCoのような垂直異方性が小さい垂
直磁化膜や、面内磁化膜、あるいは、極めて薄い非磁性
膜を用いることができる。中間層53を設けることによっ
て界面磁壁エネルギーの大きさを制御することが可能に
なる。Thus, the transfer beam spot of the present invention
The output of 13 is the reproduction beam spot of the conventional RAD-MSR method 1
Lower output than 4a output. The transfer width 33 in FIG. 4 showing the schematic top view of the reproducing method of the present invention can be made smaller than the width of the transfer region 21 in FIG. 2 showing the schematic top view of the conventional RAD-MSR method. This is advantageous in terms of increasing the pitch density. The results of measuring crosstalk by changing the track pitch will be described below. As shown in FIG. 5, the dielectric layer 52, the reproducing layer 11, the intermediate layer 53, the recording layer 12, and the dielectric layer 54 are formed on the transparent substrate 51 in which the width of the groove is substantially equal to the width of the land and the track pitch is changed. The metal layers 55 were laminated in this order. AlSiN was used for the dielectric layers 52 and 54. Besides, it is also possible to use dielectrics such as SiN, AlN, and SiNO. Al was used for the metal layer 55. Besides, it is possible to use many metal elements and their alloys,
A metal with excellent thermal conductivity and corrosion resistance is desirable.
TbFeCo having a Curie temperature of 140 ° C. was 40 nm stacked on the reproducing layer 11, GdFeCo having a Curie temperature of 250 ° C. was 15 nm stacked on the intermediate layer 53, and TbFeCo having a Curie temperature of 260 ° C. was 40 nm stacked on the recording layer 12. The reproducing layer 11 and the recording layer 12 are required to be at least perpendicularly magnetized films, but in practice, it is appropriate to use a rare earth-transition metal amorphous alloy. In addition, it is also possible to use a Pt / Co multilayer film, a Pd / Co multilayer film, and MnBi. Further, as the intermediate layer 53, a vertically magnetized film having small vertical anisotropy such as GdFeCo, an in-plane magnetized film, or an extremely thin non-magnetic film can be used. By providing the intermediate layer 53, it is possible to control the magnitude of the interfacial domain wall energy.

【００１９】また、比較例1として従来のRAD-MSR法に適
した光磁気記録媒体を作製した。図6に示すように透明
基板51上に誘電体層52、高Tc再生層11a、低Tc再生層11
b、中間層53、記録層12、誘電体層54、金属層55の順で
積層した。高Tc再生層11aにはキュリー温度が300℃のGd
FeCoを30nm、低Tc再生層11bにはキュリー温度が140℃の
TbFeCoAlを10nm、中間層53にはキュリー温度が250℃のG
dFeCoを15nm、記録層12にはキュリー温度が260℃のTbFe
Coを40nm積層した。As Comparative Example 1, a magneto-optical recording medium suitable for the conventional RAD-MSR method was manufactured. As shown in FIG. 6, a dielectric layer 52, a high Tc reproducing layer 11a, and a low Tc reproducing layer 11 are formed on a transparent substrate 51.
b, the intermediate layer 53, the recording layer 12, the dielectric layer 54, and the metal layer 55 were laminated in this order. The high Tc reproduction layer 11a has a Gd with a Curie temperature of 300 ° C.
FeCo is 30 nm, and the Curie temperature of the low Tc reproducing layer 11b is 140 ° C.
TbFeCoAl is 10 nm, and the Curie temperature of the intermediate layer 53 is 250 ° C.
dFeCo is 15 nm, and the recording layer 12 has TbFe with a Curie temperature of 260 ° C.
40 nm of Co was laminated.

【００２０】また、比較例2として従来の超解像を用い
ない単層の記録膜を有する光磁気記録媒体を作製した。
透明基板51上に誘電体層51、記録層12、誘電体層54、金
属層55の順で積層した。記録層にはキュリー温度が190
℃のTbFeCoを20nmだけ形成した。As Comparative Example 2, a magneto-optical recording medium having a conventional single-layer recording film that does not use super-resolution was prepared.
The dielectric layer 51, the recording layer 12, the dielectric layer 54, and the metal layer 55 were laminated in this order on the transparent substrate 51. The Curie temperature of the recording layer is 190
Only 20 nm of TbFeCo at 20 ° C was formed.

【００２１】以上のようにして作製した光磁気記録媒体
を転写用ヘッドとして波長830nm、N.A.0.55を有する光
学式ヘッド、再生用ヘッドとして波長830nm、N.A.0.55
を有する光磁気記録ヘッドで再生した。線速は8m/sec、
初期化磁界Hiを3.5kOeとして初期化した。本発明の再生
方法では転写用ヘッドによって形成される転写ビームス
ポット13の出力を2.5mW、転写磁界Htを300Oe、再生用ヘ
ッドによって形成される再生ビームスポット14の出力を
1.0mWで再生した。比較例1の従来のRAD-MSR法では再生
ビームスポット14aの出力を3.0mWで、再生時の印加磁界
を500Oeで再生した。比較例2の従来の単層記録膜を用い
た再生方法では再生ビームスポット14の出力を1.0mWで
再生した。これらの出力、磁界の大きさはそれぞれの再
生方法において再生特性が最良になる値に調整した結果
である。The magneto-optical recording medium produced as described above is used as an optical head having a wavelength of 830 nm and NA 0.55 as a transfer head, and a wavelength of 830 nm and NA 0.55 as a reproducing head.
Was reproduced by a magneto-optical recording head having a. Line speed is 8m / sec,
The initialization magnetic field Hi was initialized to 3.5 kOe. In the reproducing method of the present invention, the output of the transfer beam spot 13 formed by the transfer head is 2.5 mW, the transfer magnetic field Ht is 300 Oe, and the output of the reproduction beam spot 14 formed by the reproduction head is
Played at 1.0 mW. In the conventional RAD-MSR method of Comparative Example 1, the output of the reproduction beam spot 14a was 3.0 mW and the applied magnetic field during reproduction was 500 Oe. In the reproducing method using the conventional single-layer recording film of Comparative Example 2, the reproduction beam spot 14 was reproduced at 1.0 mW. The output and the magnitude of the magnetic field are the result of adjustment to values that give the best reproduction characteristics in each reproduction method.

【００２２】また、上記の光磁気記録ヘッドでは0.8μm
以下のグルーブピッチではトラッキング誤差信号の十分
な強度が得られないのでトラッキングが困難であった。
そこで、0.5μmから0.8μmのトラックピッチを実現する
には1.0μmから1.6μmのグルーブピッチを有する基板の
ランド部とグルーブ部とに記録してグルーブピッチの倍
のトラックピッチを得た。また0.4μm以下のトラックピ
ッチを実現するには1.6μm以下のグルーブピッチを有す
る基板のランド部とグルーブ部とに2トラックづつ記録
してグルーブピッチの4倍のトラックピッチを得た。ラ
ンド部（またはグルーブ部）に2トラック分の記録をお
こなうため、トラッキング誤差信号にランド部（または
グルーブ部）の中心線からの変位量に相当するバイアス
電圧を加算したうえでサーボ機構によって制御した。In the above magneto-optical recording head, 0.8 μm
Tracking was difficult because the following groove pitches did not provide sufficient strength for the tracking error signal.
Therefore, in order to realize a track pitch of 0.5 μm to 0.8 μm, recording was performed on the land portion and the groove portion of the substrate having a groove pitch of 1.0 μm to 1.6 μm to obtain a track pitch twice the groove pitch. In order to realize a track pitch of 0.4 μm or less, two tracks were recorded on each of the land portion and the groove portion of the substrate having a groove pitch of 1.6 μm or less to obtain a track pitch four times the groove pitch. Since two tracks of data are recorded on the land (or groove), the servo error control was performed after adding the bias voltage corresponding to the displacement from the center line of the land (or groove) to the tracking error signal. .

【００２３】クロストークの評価方法は、1つのトラッ
クに2μｍの長さの記録マーク15を記録して、このトラ
ックに隣接する両側のトラックを再生したときのクロス
トークを測定してその平均値と、記録マーク15を形成し
たトラックにおける再生信号のCNRとの比をクロストー
クの値とした。その測定結果を図7に示す。比較例2の単
層磁性膜を再生したときはトラックピッチが小さくなる
に従って単調にクロストークが増大していく。これに対
して本発明の再生方法や比較例1のRAD-MSR法によれば、
トラックピッチが小さくなるに従って、一定のトラック
ピッチまではクロストークは極めて小さい値を示してい
るが、これを越えると急激にクロストークが増大する傾
向を示している。これは、隣接トラック16が転写されは
じめると、これがビームスポットの中心付近に位置する
だけにその影響が大きいことを示している。本発明の再
生方法と比較例1のRAD-MSR法とを比較すると、本発明の
再生方法のほうがより小さなトラックピッチまでクロス
トークを極めて小さい値に抑圧することが分かる。クロ
ストークの値が-30dB以下であれば再生時にクロストー
クが原因でエラーレートが増大してしまうことは起きな
いので、本発明の再生方法ではトラックピッチを0.5μ
ｍ程度まで高密度化することが可能である。これに対し
てRAD-MSR法では0.7μｍ、単層磁性層では1.5μｍまで
しか高密度化できない。The crosstalk evaluation method is as follows. A recording mark 15 having a length of 2 μm is recorded on one track, and the crosstalk at the time of reproducing tracks on both sides adjacent to this track is measured to obtain an average value thereof. The ratio of the reproduced signal on the track on which the recording mark 15 is formed to the CNR is taken as the crosstalk value. The measurement result is shown in FIG. When reproducing the single-layer magnetic film of Comparative Example 2, the crosstalk monotonically increases as the track pitch decreases. On the other hand, according to the reproduction method of the present invention and the RAD-MSR method of Comparative Example 1,
As the track pitch becomes smaller, the crosstalk shows an extremely small value up to a certain track pitch, but when it exceeds this value, the crosstalk tends to rapidly increase. This indicates that when the adjacent track 16 starts to be transferred, the influence is great because it is located near the center of the beam spot. Comparing the reproducing method of the present invention with the RAD-MSR method of Comparative Example 1, it can be seen that the reproducing method of the present invention suppresses crosstalk to an extremely small value up to a smaller track pitch. If the crosstalk value is -30 dB or less, the error rate will not increase due to the crosstalk during reproduction. Therefore, in the reproduction method of the present invention, the track pitch is 0.5 μm.
It is possible to increase the density to about m. On the other hand, the RAD-MSR method can increase the density up to 0.7 μm and the single-layer magnetic layer up to 1.5 μm.

【００２４】一方、トラック方向の記録密度ついて調べ
るために、CNRとして45dB以上の値が得られる記録マー
ク長さの下限、いわゆる最短記録マーク長を求めた。そ
して、次のような結果を得た。On the other hand, in order to investigate the recording density in the track direction, the lower limit of the recording mark length, which is a value of 45 dB or more as the CNR, that is, the so-called shortest recording mark length was obtained. And the following results were obtained.

【００２５】本発明の再生方法 0.65μｍ RAD-MSR法 0.40μｍ 単層磁性層 0.65μｍ 以上の結果をビームスポット径に比例する指数、つま
り、光学式ヘッドの光源波長／対物レンズのN.A.=0.83/
0.55=1.51で割って規格化した値、規格化最小トラック
ピッチ、規格化最短記録マーク長によって表記すれば、
（規格化最小トラックピッチ、規格化最短記録マーク
長、最小トラックピッチ／最短記録マーク長）は次の結
果になる。なお、この実施例の場合は、転写用ヘッド、
再生用ヘッドに同じ波長、N.A.を有する光学系を用いて
いるため規格化に用いる値は1つでよいが、それぞれの
光学系が同じでなくてビームスポット径が異なる場合
は、最小トラックピッチの規格化には転写用ヘッドの値
を、最短記録マーク長の規格化には再生用ヘッドの値を
用いて割ればよい。Reproducing method of the present invention 0.65 μm RAD-MSR method 0.40 μm Single magnetic layer 0.65 μm The above result is an index proportional to the beam spot diameter, that is, the light source wavelength of the optical head / NA of the objective lens = 0.83 /
By dividing by 0.55 = 1.51 and standardized, standardized minimum track pitch, standardized shortest recording mark length,
(Normalized minimum track pitch, standardized shortest recording mark length, minimum track pitch / shortest recording mark length) gives the following results. In the case of this embodiment, the transfer head,
Since the reproducing head uses an optical system with the same wavelength and NA, only one value is required for normalization.However, if the beam spot diameters are different because the optical systems are not the same, the minimum track pitch The value of the transfer head may be used for normalization, and the value of the reproducing head may be used for normalization of the shortest recording mark length.

【００２６】 本発明の再生方法 (0.33, 0.43, 0.77) RAD-MSR法 (0.46, 0.26, 1.77) 単層磁性層 (0.99, 0.43, 2.30) このような結果から本発明の再生方法は規格化最短記録
マーク長が0.43よりも大きく、かつ、規格化トラックピ
ッチが0.99未満0.33以上である関係によって特徴付けら
れる。記録密度を大きくするうえでより望ましい範囲は
規格化最短記録マーク長が0.43よりも大きく、かつ、規
格化トラックピッチが0.46未満0.33以上である。あるい
は、トラックピッチ／最短記録マーク長が2.3未満0.77
以上、より望ましくは1.77未満0.77以上とも特徴付けら
れる。また、信号処理などのSN比改善技術を用いること
によってCNRが40dB以上、クロストークが-20dB以下で再
生可能な場合は、最短記録マーク長が0.35よりも大き
く、かつ、規格化トラックピッチが0.99未満0.27以上で
ある関係によって特徴付けられる。これらの数値は、本
発明の再生方法で再生できる記録マーク15が図4に示さ
れるように、記録マーク15のトラック方向の長さに較べ
てその幅が小さい長細い形状をしていることを特徴付け
ている。Reproducing method of the present invention (0.33, 0.43, 0.77) RAD-MSR method (0.46, 0.26, 1.77) Single magnetic layer (0.99, 0.43, 2.30) From these results, the reproducing method of the present invention is standardized. It is characterized by the relationship that the shortest recording mark length is larger than 0.43 and the standardized track pitch is less than 0.99 and 0.33 or more. The more preferable range for increasing the recording density is that the standardized shortest recording mark length is larger than 0.43 and the standardized track pitch is less than 0.46 and 0.33 or more. Alternatively, track pitch / shortest recording mark length is less than 2.3 0.77
Above, more desirably less than 1.77 is also characterized as 0.77 or more. When CNR is 40 dB or more and crosstalk is -20 dB or less by using SN ratio improvement technology such as signal processing, the shortest recording mark length is larger than 0.35 and the standardized track pitch is 0.99. Characterized by a relationship that is less than 0.27 or greater. These numerical values show that the recording mark 15 that can be reproduced by the reproducing method of the present invention has a long and thin shape whose width is smaller than the length of the recording mark 15 in the track direction, as shown in FIG. Characterizing.

【００２７】さらに、RAD-MSR法に代えて本発明の再生
方法を用いることによってこれに用いる光磁気記録媒体
10の再生特性、信頼性、量産性を向上させることができ
る。Further, by using the reproducing method of the present invention in place of the RAD-MSR method, a magneto-optical recording medium used therefor.
10 reproduction characteristics, reliability and mass productivity can be improved.

【００２８】RAD-MSR法では記録マーク15cを検出する領
域が高温になっていて、この領域22のカー回転角が室温
より低下する結果、再生信号強度が低下してしまう。こ
れを補うために再生層11のキュリー温度を高くしてカー
回転角を大きくする必要があるが、図5のような構成で
は再生層11のキュリー温度を高くすると、記録マーク15
の転写が開始する温度も高温化して、再生ビームスポッ
ト14aの出力を更に大きくしなければならないというジ
レンマに陥る結果、再生層11のキュリー温度を高くして
も再生特性の改善は困難である。そのため、図6のよう
に再生層11を2層の磁性層、つまり、高キュリー温度、
低保磁力の高Tc再生層11a、低キュリー温度、高保磁力
の低Tc再生層11bから構成して、転写開始温度の上昇を
伴わずに高温でのカー回転角を大きくする必要がある。
このような構成の複雑化はコストの上昇をまねいてしま
う点で不利である。これに対して本発明の再生方法は転
写ビームスポット13の加熱によって記録マーク15bが転
写された後、再生ビームスポット14で記録マーク15bが
再生されるまでに温度が低下して室温と同温になってい
るために、転写に必要な温度上昇に伴うカー回転角の低
下の影響を受けない。そのため、図5のようなシンプル
な構成で十分実用的であるため、RAD-MSR法に用いる光
磁気記録媒体と比較して低コストで製造することが可能
である。ただし、図6に示すような光磁気記録媒体を本
発明の再生方法で用いれば、室温における高Tc再生層11
aのカー回転角はさらに大きいので再生特性をより向上
させることができる。In the RAD-MSR method, the region where the recording mark 15c is detected is at a high temperature, and the Kerr rotation angle of this region 22 is lower than room temperature, resulting in a reduction in the reproduction signal strength. In order to compensate for this, it is necessary to increase the Curie temperature of the reproducing layer 11 to increase the Kerr rotation angle, but in the configuration shown in FIG. 5, when the Curie temperature of the reproducing layer 11 is increased, the recording mark 15
As a result, the temperature at which the transfer starts is also raised, and the output of the reproduction beam spot 14a must be further increased. As a result, it is difficult to improve the reproduction characteristics even if the Curie temperature of the reproduction layer 11 is increased. Therefore, as shown in FIG. 6, the reproducing layer 11 has two magnetic layers, that is, a high Curie temperature,
It is necessary to increase the Kerr rotation angle at a high temperature without increasing the transfer start temperature by using the low Tc reproducing layer 11a having a low coercive force and the low Tc reproducing layer 11b having a low Curie temperature and a high coercive force.
Such a complicated structure is disadvantageous in that it causes an increase in cost. On the other hand, in the reproducing method of the present invention, after the recording mark 15b is transferred by heating the transfer beam spot 13, the temperature is lowered to the same temperature as room temperature until the recording mark 15b is reproduced by the reproducing beam spot 14. Therefore, the Kerr rotation angle is not affected by the temperature rise required for transfer. Therefore, the simple structure as shown in FIG. 5 is sufficiently practical and can be manufactured at a lower cost than the magneto-optical recording medium used in the RAD-MSR method. However, when a magneto-optical recording medium as shown in FIG. 6 is used in the reproducing method of the present invention, the high Tc reproducing layer 11 at room temperature
Since the Kerr rotation angle of a is even larger, the reproduction characteristics can be further improved.

【００２９】また、本発明の再生方法はRAD-MSR法と比
較するとジッタが小さい。RAD-MSR法は転写の動的過程
を利用するためこれまでのジッタの要因に加え転写過程
の揺らぎに起因する、いわば、転写ジッタが発生する。
これは、媒体の不均一性、界面磁壁のピニングなどが影
響するためゼロには出来ない。転写ジッタの影響はマー
ク長記録においてより顕著になる。例えば、時間Δtだ
け転写が遅れてしまったとすると、図3(B)におけるビー
ムスポットの強度分布31に示されるように記録マークが
再生される領域が強度分布のより小さいほうへと移動す
るため再生信号振幅が低下してしまう。そのため、一定
のしきい値で"0"、"1"を判定した場合、Δtの遅延に加
えて信号振幅の低下に伴う遅延が生じるので記録マーク
の前エッジは時間Δt以上遅れることになる。このよう
にRAD-MSR法とマーク長記録を組み合わせた場合、転写
ジッタの影響が甚大で、実用上問題がある。それに対し
て、本発明の再生方法では再生に際して転写の動的過程
を利用しないので転写ジッタの影響を受けない。そのた
め、マーク長記録と組み合わせて記録密度を向上させる
のに適している。Further, the reproducing method of the present invention has smaller jitter than the RAD-MSR method. Since the RAD-MSR method uses a dynamic process of transfer, so-called transfer jitter occurs due to fluctuations in the transfer process in addition to the factors of the jitter so far.
This cannot be reduced to zero because of non-uniformity of the medium, pinning of the interface domain wall, and the like. The influence of transfer jitter becomes more remarkable in mark length recording. For example, if the transfer is delayed by the time Δt, as shown in the intensity distribution 31 of the beam spot in FIG. 3 (B), the area where the recording mark is reproduced moves to the smaller one of the intensity distribution. The signal amplitude is reduced. Therefore, when "0" or "1" is determined with a certain threshold value, a delay associated with a decrease in signal amplitude occurs in addition to a delay of Δt, and the leading edge of the recording mark is delayed by a time Δt or more. When the RAD-MSR method and the mark length recording are combined in this way, the influence of transfer jitter is great and there is a practical problem. On the other hand, in the reproducing method of the present invention, since the dynamic process of transfer is not used during reproduction, it is not affected by transfer jitter. Therefore, it is suitable for improving recording density in combination with mark length recording.

【００３０】また、信頼性においても本発明の再生方法
はRAD-MSR法より優れている。図3を参照して説明したよ
うに、本発明の再生方法における転写ビームスポット13
の出力にはPaのほうがPbより適するのに対して、RAD-MS
R法における再生ビームスポット14aの出力にはPbのほう
がPaより適する。そのため、最高到達温度で比較すると
本発明の再生方法では120℃なのに対して、RAD-MSR法で
は170℃になって、本発明の再生方法に比べて50℃も高
温に達するため、RAD-MSR法においてはこの再生時の温
度上昇が記録媒体の信頼性に及ぼす影響が深刻になって
くる。記録層12のキュリー温度を同じにした場合、本発
明の再生方法の方が最高到達温度が低温で済むので、記
録マーク15の安定性が優れている。RAD-MSR法において
同じ安定性を確保するには記録層12にキュリー温度をよ
り高温に設定すればよいが、ただし、その場合は記録時
により高温まで昇温する必要が生じるので、アモルファ
スの構造変化、基板の劣化を招いてしまうような問題が
記録時に深刻化する。Also, in terms of reliability, the reproducing method of the present invention is superior to the RAD-MSR method. As described with reference to FIG. 3, the transfer beam spot 13 in the reproducing method of the present invention
Is better than Pb for the output of RAD-MS
Pb is more suitable than Pa for the output of the reproduction beam spot 14a in the R method. Therefore, in comparison with the highest reached temperature, the regeneration method of the present invention has a temperature of 120 ° C., whereas the RAD-MSR method has a temperature of 170 ° C., which is 50 ° C. higher than that of the regeneration method of the present invention. In the method, the influence of this temperature rise during reproduction on the reliability of the recording medium becomes serious. When the Curie temperature of the recording layer 12 is the same, the maximum attainable temperature is lower in the reproducing method of the present invention, and therefore the stability of the recording mark 15 is excellent. In order to ensure the same stability in the RAD-MSR method, the Curie temperature of the recording layer 12 may be set to a higher temperature, but in that case it is necessary to raise the Curie temperature to a higher temperature during recording, so the amorphous structure Problems that cause changes and deterioration of the substrate become more serious during recording.

【００３１】また、RAD-MSR法においては繰り返し再生
をおこなうとアモルファス合金の構造緩和に伴って転写
領域21が拡大したり、転写の動的過程が変化するため、
再生特性の経時変化が避けられない。超解像の効果が低
減して信号強度が低下したり、マーク長が変化したり、
転写ジッタが増大したりして、エラーレートの劣化を引
き起こすことになる。これに対して、本発明の再生方法
では転写の動的過程を利用しないため、たとえ構造緩和
が起こったとしても、再生特性に及ぶ影響は軽微で済
む。Further, in the RAD-MSR method, when repetitive reproduction is performed, the transfer region 21 expands or the dynamic process of transfer changes due to structural relaxation of the amorphous alloy.
It is inevitable that the reproduction characteristics will change over time. The effect of super-resolution is reduced, the signal strength is reduced, the mark length is changed,
The transfer jitter is increased, and the error rate is deteriorated. On the other hand, in the reproducing method of the present invention, since the dynamic process of transfer is not used, even if the structural relaxation occurs, the influence on the reproducing characteristic is negligible.

【００３２】このように、本発明の再生方法は転写の動
的過程を利用せずに、転写ビームスポット13にて転写
後、その転写された最終状態を再生ビームスポット14で
再生するために、RAD-MSR法に較べて、再生特性、信頼
性の面で優れている。この本発明の再生方法を用いるこ
とによって、記録媒体の量産性を向上させることも同様
に可能である。転写の動的過程が最適化されていないよ
うな媒体も後述するような初期化、転写に関する条件さ
えみたしていれば、本発明の再生方法を用いることによ
って、良好な高密度記録、再生が可能となる。本発明の
再生方法によれば、記録媒体の製造マージン、磁性膜材
料の選択の幅を大きくするため、量産性を向上させるの
に有利である。また、RAD-MSR法では線速が変化する
と、超解像の効果が変化する。例えば、低線速では温度
分布32a、33bが再生ビームスポット14aの中心側にシフ
トして、検出部22が大きくなる結果、超解像の効果が低
下してしまう。そのため、線速に応じた、積層構造の設
計、磁性膜材料の選択がなされなければならない。この
ような、記録媒体の線速依存性は、CAV（角速度一定）
方式において記録媒体の製造を困難なものにしたり、再
生時の線速によって別の製造工程が必要になったりし
て、媒体の製造コストを上昇させる。これに対して、本
発明の再生方法に用いる記録媒体の場合、転写ビームス
ポット13の出力を調整することで転写幅33の制御が可能
なので、線速が変化する場合も、記録媒体に特別の変更
を必要としないため、記録媒体の製造コストを引き上げ
ることがない。このように、本発明の再生方法をもちい
れば、低コストで高密度光磁気記録を実現できる。As described above, in the reproducing method of the present invention, in order to reproduce the transferred final state with the reproducing beam spot 14 after transferring with the transferring beam spot 13 without utilizing the dynamic process of transferring, It is superior to the RAD-MSR method in terms of reproduction characteristics and reliability. By using the reproducing method of the present invention, it is also possible to improve the mass productivity of the recording medium. For a medium in which the dynamic process of transfer is not optimized, good density recording and reproduction can be achieved by using the reproducing method of the present invention as long as the conditions regarding initialization and transfer as described below are satisfied. It will be possible. According to the reproducing method of the present invention, the manufacturing margin of the recording medium and the range of selection of the magnetic film material are increased, which is advantageous in improving the mass productivity. Also, in the RAD-MSR method, the effect of super-resolution changes as the linear velocity changes. For example, at low linear velocities, the temperature distributions 32a and 33b shift to the center side of the reproduction beam spot 14a, and the detection unit 22 becomes large. As a result, the super-resolution effect decreases. Therefore, it is necessary to design the laminated structure and select the magnetic film material according to the linear velocity. The linear velocity dependence of the recording medium is CAV (constant angular velocity).
In this method, the manufacturing of the recording medium becomes difficult, or another manufacturing process is required depending on the linear velocity at the time of reproduction, which increases the manufacturing cost of the medium. On the other hand, in the case of the recording medium used in the reproducing method of the present invention, the transfer width 33 can be controlled by adjusting the output of the transfer beam spot 13. Since no change is required, the manufacturing cost of the recording medium is not increased. Thus, by using the reproducing method of the present invention, high-density magneto-optical recording can be realized at low cost.

【００３３】以上説明したような再生を行なうために、
初期化磁界Hi、転写磁界Hr、再生層11、記録層12の保磁
力、厚さ、磁化、磁壁エネルギー等が、転写ビームスポ
ット13で昇温された温度に応じて選定される。即ち、再
生層11の保磁力をH_C1、飽和磁界をM_S1、厚さをh₁とする
と、再生層11の磁化のみを一方向に初期化する条件とし
ては、式(1)となる。In order to perform the reproduction as described above,
The initialization magnetic field Hi, the transfer magnetic field Hr, the coercive force, the thickness, the magnetization, the domain wall energy, etc. of the reproducing layer 11 and the recording layer 12 are selected according to the temperature raised by the transfer beam spot 13. That is, assuming that the coercive force of the reproducing layer 11 is H _C1 , the saturation magnetic field is M _S1 , and the thickness thereof is h ₁ , the condition for initializing only the magnetization of the reproducing layer 11 in one direction is the formula (1).

【００３４】Hi>H_C1+σ_W/2M_S1h₁ 式(1) ここに、σ_Wは再生層11と記録層12との界面または中間
層53中に生じる界面磁壁の界面磁壁エネルギー密度を示
す。Hi> H _C1 + σ _W / 2M _S1 h ₁ Formula (1) where σ _W is the interface domain wall energy density of the interface domain wall generated in the interface between the reproducing layer 11 and the recording layer 12 or in the intermediate layer 53. Show.

【００３５】また、初期化磁界Hiの下でも記録層12の記
録マーク15が変形せずに情報が保持されるための条件
は、記録層12の保磁力をH_C2、飽和磁界をM_S2、厚さをh₂
とすると式(2)となる。Further, even under the initializing magnetic field Hi, the conditions for retaining the information without deforming the recording mark 15 of the recording layer 12 are as follows: the coercive force of the recording layer 12 is H _C2 , the saturation magnetic field is M _S2 , Thickness h ₂
Then, equation (2) is obtained.

【００３６】Hi<H_C2-σ_W/2M_S2h₂ 式(2) また、初期化磁界Hiの下を通過した後も再生層11と記録
層12との間の界面磁壁が保持されるための条件は、式
(3)となる。Hi <H _C2 −σ _W / 2M _S2 h ₂ Formula (2) Further, since the interface domain wall between the reproducing layer 11 and the recording layer 12 is retained even after passing under the initializing magnetic field Hi. The condition is the expression
It becomes (3).

【００３７】H_C1>σ_W/2M_S1h₁ 式(3) また、転写ビームスポット13で昇温された領域の転写を
開始する温度にて、転写磁界Htは式(4)の条件を満足す
る。H _C1 > σ _W / 2M _S1 h ₁ Expression (3) Further, at the temperature at which transfer of the area heated by the transfer beam spot 13 is started, the transfer magnetic field Ht satisfies the condition of Expression (4). To do.

【００３８】 H_C1-σ_W/2M_S1h₁<Ht<H_C1+σ_W/2M_S1h₁ 式(4) ただし、以上の条件は静磁エネルギー、磁壁エネルギー
密度、保磁力エネルギーなどのエネルギーバランスより
導かれる式なので、記録マーク15などの微細な磁区を生
じたときは反磁界や、磁区の拡大、縮小を開始する磁界
等で補正して考える必要がある。H _C1 −σ _W / 2M _S1 h ₁ <Ht <H _C1 + σ _W / 2M _S1 h ₁ Formula (4) However, the above conditions are the magnetostatic energy, domain wall energy density, coercive force energy, etc. Since the formula is derived from the balance, when a fine magnetic domain such as the recording mark 15 is generated, it is necessary to consider the demagnetizing field, the magnetic field for starting the expansion and contraction of the magnetic domain, and the like.

【００３９】（実施例2）ここまでは転写ビームスポッ
ト13の出力を図8(A)に示すように、出力がP_DCの連続光8
1によって転写をおこなった。以下の実施例では転写ビ
ームスポット13の出力を変調したパルス光によって転写
する例について説明する。転写ビームスポット13の出力
として図8(B)に示されるように高レベルがP_HI、低レベ
ルがP_LOに変調されたパルス光82を用いる。光磁気記録
媒体10上にパルス光82を照射した場合と連続光81を照射
した場合との温度分布の特性図を図9に示す。線速8m/se
cで移動する光磁気記録媒体10上にP_DC=2.6mWの連続光81
を照射した場合の温度分布を81に、P_HI=6.0mW、P_LO=1.0
mWで高レベルの時間幅t_HI=8nsec、低レベルの時間幅t_{L O}
=24nsecのパルス光82を照射した場合の最高到達温度を
横切ってトラックに垂直な直線上の温度分布を82に示す
ものである。温度分布91、92を比較すれば分かるように
最高到達温度は同じでも、その温度分布がパルス光82を
照射した場合82のほうが連続光81を照射した場合91に較
べて、急峻な分布を示している。そのため、転写時にこ
のパルス光82による急峻な分布92を利用すれば転写幅33
をより狭くすることが可能になり、トラックピッチを更
に小さくすることが可能になる。このように、転写過程
に必要な加熱に変調されたパルス光を用いることができ
るのも本発明の特徴である。RAD-MSR法では、再生ビー
ムスポット14aによる加熱で転写を行うが、ここにパル
ス光を用いると、反射光量が変化して、再生信号を変調
してしまい、再生できなくなってしまう。パルス光82の
変調は非同期的におこなってもよいが、ジッタの低減の
ためにはチャンネルビットクロックに同期した整数倍の
周波数で変調することが望ましい。[0039] (Example 2) far the output of the transfer beam spot 13, as shown in FIG. 8 (A), the continuous light 8 output P _DC
Transferred by 1. In the following embodiment, an example in which the output of the transfer beam spot 13 is transferred by modulated pulsed light will be described. As the output of the transfer beam spot 13, a pulsed light 82 whose high level is modulated to P _HI and whose low level is modulated to P _LO is used as shown in FIG. 8 (B). FIG. 9 shows a characteristic diagram of the temperature distribution when the magneto-optical recording medium 10 is irradiated with the pulsed light 82 and when the continuous light 81 is irradiated. Line speed 8m / se
Continuous light of P _DC = 2.6 mW on the magneto-optical recording medium 10 moving with c
Temperature distribution when irradiated with 81, P _HI = 6.0mW, P _LO = 1.0
High-level time width t _HI = 8 nsec in mW, low-level time width t _{L O}
A temperature distribution on a straight line which is perpendicular to the track and crosses the maximum attainable temperature when the pulsed light 82 of = 24 nsec is irradiated is shown in 82. As can be seen by comparing the temperature distributions 91 and 92, even if the maximum temperature reached is the same, the temperature distribution when the pulsed light 82 is irradiated is 82, which is steeper than that when the continuous light 81 is irradiated. ing. Therefore, if the steep distribution 92 of the pulsed light 82 is used during transfer, the transfer width 33
Can be made narrower, and the track pitch can be made smaller. As described above, it is also a feature of the present invention that pulsed light modulated for heating necessary for the transfer process can be used. In the RAD-MSR method, transfer is performed by heating with the reproduction beam spot 14a, but if pulsed light is used here, the amount of reflected light changes and the reproduction signal is modulated, making it impossible to reproduce. The pulsed light 82 may be modulated asynchronously, but in order to reduce jitter, it is desirable to modulate the pulsed light 82 at a frequency that is an integral multiple synchronized with the channel bit clock.

【００４０】以下にトラックピッチを変化させてクロス
トークを測定した結果について説明する。グルーブの幅
とランドの幅がほぼ等しく、トラックピッチを変化させ
た透明基板51上に図5に示すように誘電体層52、再生層1
1、中間層53、記録層12、誘電体層54、金属層55の順で
積層した。誘電体層52,54にはAlSiNを用いた。金属層55
にはAlを用いた。再生層11にはキュリー温度が140℃のT
bFeCoを40nm、中間層53にはキュリー温度が250℃のGdFe
Coを15nm、記録層12にはキュリー温度が260℃のTbFeCo
を40nm積層した。再生層11、記録層12は少なくとも垂直
磁化膜であることが必要だが、実用上、希土類-遷移金
属アモルファス合金を用いることが適当である。その
他、Pt/Co多層膜、Pd/Co多層膜、MnBiを用いることも可
能である。また、中間層にはGdFeCoのような垂直異方性
が小さい垂直磁化膜や、面内磁化膜、あるいは、極めて
薄い非磁性膜を用いることができる。The results of measuring crosstalk by changing the track pitch will be described below. As shown in FIG. 5, the dielectric layer 52 and the reproducing layer 1 are formed on the transparent substrate 51 in which the groove width and the land width are almost equal and the track pitch is changed.
1, the intermediate layer 53, the recording layer 12, the dielectric layer 54, and the metal layer 55 were laminated in this order. AlSiN was used for the dielectric layers 52 and 54. Metal layer 55
Al was used for. The reproduction layer 11 has a Curie temperature of 140 ° C.
bFeCo is 40 nm, and the intermediate layer 53 has GdFe with a Curie temperature of 250 ° C.
Co is 15 nm, and the Curie temperature of the recording layer 12 is TbFeCo of 260 ° C.
40 nm was laminated. The reproducing layer 11 and the recording layer 12 are required to be at least perpendicularly magnetized films, but in practice, it is appropriate to use a rare earth-transition metal amorphous alloy. In addition, it is also possible to use a Pt / Co multilayer film, a Pd / Co multilayer film, and MnBi. Further, the intermediate layer may be a vertically magnetized film having small vertical anisotropy such as GdFeCo, an in-plane magnetized film, or an extremely thin non-magnetic film.

【００４１】作製した光磁気記録媒体を転写用ヘッドと
して波長830nm、N.A.0.55を有する光学式ヘッド、再生
用ヘッドとして波長830nm、N.A.0.55を有する光磁気記
録ヘッドを用いて再生した。線速は8m/sec、初期化磁界
Hiを3.5kOeとして初期化した。本発明の再生方法におけ
る連続光81による転写の実施例として、転写用ヘッドよ
って形成される転写ビームスポット13の出力を2.5mW、
転写磁界Htを300Oe、再生用ヘッドによって形成される
再生ビームスポット14の出力を1.0mWで再生した。ま
た、本発明の再生方法におけるパルス光82による転写の
実施例として、転写用ヘッドよって形成される転写ビー
ムスポット13においてはP_HI=6.0mW、P_LO=1.0mWで高レベ
ルの時間幅t_HI=8nsec、低レベルの時間幅t_LO=24nsecの
パルス光82を照射して、転写磁界Htを300Oe、再生用ヘ
ッドによって形成される再生ビームスポット14の出力を
1.0mWで再生した。The produced magneto-optical recording medium was reproduced using an optical head having a wavelength of 830 nm and NA 0.55 as a transfer head and a magneto-optical recording head having a wavelength of 830 nm and NA 0.55 as a reproducing head. Linear velocity is 8m / sec, initializing magnetic field
Initialized Hi as 3.5kOe. As an example of transfer by continuous light 81 in the reproducing method of the present invention, the output of the transfer beam spot 13 formed by the transfer head is 2.5 mW,
The transfer magnetic field Ht was 300 Oe, and the output of the reproducing beam spot 14 formed by the reproducing head was 1.0 mW. Further, as an example of transfer by the pulsed light 82 in the reproducing method of the present invention, in the transfer beam spot 13 formed by the transfer head, P _HI = 6.0 mW, P _LO = 1.0 mW, and a high level time width t _HI. = 8nsec, a low-level time width t _LO = 24nsec of pulsed light 82 is applied to transfer the magnetic field Ht to 300Oe, and the output of the reproducing beam spot 14 formed by the reproducing head is changed.
Played at 1.0 mW.

【００４２】また、上記の光磁気記録ヘッドでは0.8μm
以下のグルーブピッチではトラッキング誤差信号の十分
な強度が得られないのでトラッキングが困難であった。
そこで、0.5μmから0.8μmのトラックピッチを実現する
には1.0μmから1.6μmのグルーブピッチを有する基板の
ランド部とグルーブ部とに記録してグルーブピッチの倍
のトラックピッチを得た。また0.4μm以下のトラックピ
ッチを実現するには1.6μm以下のグルーブピッチを有す
る基板のランド部とグルーブ部とに2トラックづつ記録
してグルーブピッチの4倍のトラックピッチを得た。ラ
ンド部に2トラック分の記録をおこなうため、トラッキ
ング誤差信号にバイアス電圧を加算したうえでサーボ機
構によって制御した。In the above magneto-optical recording head, 0.8 μm
Tracking was difficult because the following groove pitches did not provide sufficient strength for the tracking error signal.
Therefore, in order to realize a track pitch of 0.5 μm to 0.8 μm, recording was performed on the land portion and the groove portion of the substrate having a groove pitch of 1.0 μm to 1.6 μm to obtain a track pitch twice the groove pitch. In order to realize a track pitch of 0.4 μm or less, two tracks were recorded on each of the land portion and the groove portion of the substrate having a groove pitch of 1.6 μm or less to obtain a track pitch four times the groove pitch. In order to record 2 tracks on the land, we added a bias voltage to the tracking error signal and controlled it by the servo mechanism.

【００４３】クロストークの評価方法は、1つのトラッ
クに2μｍの長さの記録マーク15を記録して、このトラ
ックに隣接する両側のトラックを再生したときのクロス
トークを測定してその平均値と、記録マーク15を形成し
たトラックにおける再生信号のCNRとの比をクロストー
クの値とした。その測定結果を図10に示す。パルス光82
によって転写をおこなった方式では、トラックピッチを
1.6μmから0.5μmまで小さくしてもクロストークの変化
はほとんどなかった。0.4μm以下ではクロストークが増
大して、0.35μm以上ではクロストークが-30dB以下に抑
圧されうることが分かった。この結果を、連続光81によ
って転写をおこなった方式と比較すると、トラックピッ
チが0.3μmから0.6μmの範囲でパルス光82転写のほうが
クロストークが小さく、連続光81転写よりもトラックピ
ッチを0.1μm程度小さくすることが可能であることがわ
かる。The crosstalk is evaluated by recording a recording mark 15 having a length of 2 μm on one track and reproducing the tracks on both sides adjacent to this track, and measuring the crosstalk to obtain an average value thereof. The ratio of the reproduced signal on the track on which the recording mark 15 is formed to the CNR is taken as the crosstalk value. The measurement result is shown in FIG. Pulsed light 82
In the method of transferring by
There was almost no change in crosstalk even when the size was reduced from 1.6 μm to 0.5 μm. It was found that the crosstalk increases below 0.4 μm and can be suppressed below -30 dB above 0.35 μm. Comparing this result with the method in which the continuous light 81 is used for transfer, the crosstalk is smaller in the pulsed light 82 transfer when the track pitch is in the range of 0.3 μm to 0.6 μm, and the track pitch is 0.1 μm than in the continuous light 81 transfer. It turns out that it is possible to make it small.

【００４４】以上の結果をビームスポット径に比例する
指数、つまり、光学式ヘッドの光源波長／対物レンズの
N.A.=0.83/0.55=1.51で割って規格化した値、規格化最
小トラックピッチ、規格化最短記録マーク長によって表
記すれば、（規格化最小トラックピッチ、規格化最短記
録マーク長、最小トラックピッチ／最短記録マーク長）
は次の結果になる。なお、この実施例の場合は、転写用
ヘッド、再生用ヘッドに同じ波長、N.A.を有する光学系
を用いているため規格化に用いる値は1つでよいが、そ
れぞれの光学系が同じでなくてビームスポット径が異な
る場合は、最小トラックピッチの規格化には転写用ヘッ
ドの値を、最短記録マーク長の規格化には再生用ヘッド
の値を用いて割ればよい。The above result is an index proportional to the beam spot diameter, that is, the light source wavelength of the optical head / the objective lens
NA = 0.83 / 0.55 = 1.51 divided by a standardized value, standardized minimum track pitch, standardized shortest recording mark length, (standardized minimum track pitch, standardized shortest recording mark length, minimum track pitch / (Minimum recording mark length)
Results in In the case of this embodiment, since the transfer head and the reproducing head use the optical system having the same wavelength and NA, the value used for normalization may be one, but each optical system is not the same. If the beam spot diameters are different, the value of the transfer head may be used to standardize the minimum track pitch, and the value of the reproducing head may be used to standardize the shortest recording mark length.

【００４５】連続光転写 (0.33, 0.43, 0.77) パルス光転写 (0.23, 0.43, 0.53) このような結果、および、先の実施例の結果から本発明
の再生方法は規格化最短記録マーク長が0.43よりも大き
く、かつ、規格化トラックピッチが0.99未満0.23以上で
ある関係によって特徴付けられる。記録密度を大きくす
るうえでより望ましい範囲は規格化最短記録マーク長が
0.43よりも大きく、かつ、規格化トラックピッチが0.46
未満0.23以上である。あるいは、トラックピッチ／最短
記録マーク長が2.3未満0.53以上、より望ましくは1.77
未満0.53以上とも特徴付けられる。また、信号処理など
のSN比改善技術を用いることによってCNRが40dB以上、
クロストークが-20dB以下で再生可能な場合は、最短記
録マーク長が0.35よりも大きく、かつ、規格化トラック
ピッチが0.99未満0.20以上である関係によって特徴付け
られる。Continuous light transfer (0.33, 0.43, 0.77) Pulsed light transfer (0.23, 0.43, 0.53) From these results and the results of the above-mentioned embodiments, the reproducing method of the present invention has a standardized shortest recording mark length. It is characterized by a relationship that is greater than 0.43 and that the normalized track pitch is less than 0.99 and 0.23 or more. A more preferable range for increasing the recording density is the standardized shortest recording mark length.
Greater than 0.43 and standardized track pitch of 0.46
Less than 0.23 or more. Alternatively, the track pitch / shortest recording mark length is less than 2.3 and 0.53 or more, more preferably 1.77.
It is also characterized as less than 0.53 or more. In addition, CNR is 40 dB or more by using SN ratio improvement technology such as signal processing,
When the crosstalk can be reproduced at -20 dB or less, it is characterized by the relationship that the shortest recording mark length is larger than 0.35 and the normalized track pitch is less than 0.99 and 0.20 or more.

【００４６】（実施例3）以上の実施例では転写用ヘッ
ド、再生用ヘッドに同じ波長、N.A.を有する光学系を用
いた再生方法を説明した。以下の実施例では、異なる光
学系を利用する場合について説明する。(Embodiment 3) In the above embodiment, the reproducing method using the optical system having the same wavelength and NA for the transfer head and the reproducing head has been described. In the following examples, the case of using different optical systems will be described.

【００４７】記録密度を向上させるにはビームスポット
径を小さくすることが有効であり、再生用ヘッドの光源
の短波長化、対物レンズのN.A.の増大、光学的超解像な
どの手段がとられる。なかでも光源の短波長化が重要で
ある。光源の短波長化には半導体レーザ自身の短波長
化、二次高調波(SHG)素子によって半分の波長の光を得
る方法がある。しかし、短波長化に伴う光源のコストの
上昇は非常に急激で、出力を一定に保って波長を半分に
するためのコストの上昇は100〜10000倍である。また、
330〜600nmの短波長の光源で出力を大きくしようとする
と、コストと消費電力の増大、信頼性の低下が著しい。
そのため、短波長光源で実用上利用可能なのは、低出力
のものに限られる。In order to improve the recording density, it is effective to reduce the beam spot diameter, and measures such as shortening the wavelength of the light source of the reproducing head, increasing the NA of the objective lens, and optical super-resolution are taken. . Above all, it is important to shorten the wavelength of the light source. For shortening the wavelength of the light source, there is a method of shortening the wavelength of the semiconductor laser itself and a method of obtaining light of half the wavelength by using a second harmonic (SHG) element. However, the cost increase of the light source accompanying the shortening of the wavelength is very rapid, and the cost increase for keeping the output constant and halving the wavelength is 100 to 10,000 times. Also,
If you try to increase the output with a light source with a short wavelength of 330 to 600 nm, the cost and power consumption will increase, and the reliability will drop significantly.
Therefore, the short-wavelength light source is practically usable only for a low-output light source.

【００４８】一方、再生、記録、消去、あるいは、転写
に必要な出力について、本発明の再生方法の場合、従来
のRAD-MSR法の場合、従来の再生方法（非超解像、単層
磁性層）の場合の比較をした結果を表1に示す。On the other hand, regarding the output required for reproduction, recording, erasing, or transfer, in the case of the reproducing method of the present invention, in the case of the conventional RAD-MSR method, the conventional reproducing method (non-super-resolution, single-layer magnetic Table 1 shows the results of comparison in the case of (layer).

【００４９】[0049]

【表1】 【table 1】

【００５０】本発明の再生方法や従来のRAD-MSR法の場
合、転写時や再生時の加熱に対しても記録マーク15が安
定なように記録層12にキュリー温度の高い材料を用いる
ので記録マーク15の記録や消去に要する出力は従来の再
生方法に較べて大きくなる。波長が600〜850nmではInGa
AsP系やAlGaInP系の3-5族化合物半導体レーザによって
高出力の光源が低コストで実現できるので、この領域の
波長で記録、消去を行なう際には問題がない。これに対
して、波長が330〜600nmでは記録、再生に必要な出力を
得ようとすると、コストと消費電力の増大、信頼性の低
下が著しいので現実的ではない。結局、従来の再生方
法、あるいは、従来のRAD-MSR法の場合も330〜600nmの
波長で再生を行なおうとする場合、波長が600〜850nmの
記録、消去用ヘッドと、330〜600nmの波長の再生用ヘッ
ドの2つのヘッドが必要で、光磁気記録再生装置の構成
上、2つのヘッドが必要になる。In the case of the reproducing method of the present invention or the conventional RAD-MSR method, recording is performed because a material having a high Curie temperature is used for the recording layer 12 so that the recording mark 15 is stable against heating during transfer or reproduction. The output required for recording or erasing the mark 15 is larger than that of the conventional reproducing method. InGa at wavelengths of 600 to 850 nm
Since a high-power light source can be realized at low cost by using an AsP-based or AlGaInP-based group 3-5 compound semiconductor laser, there is no problem when performing recording and erasing at wavelengths in this region. On the other hand, if the wavelength is 330 to 600 nm, it is not realistic to obtain the output required for recording and reproducing, because the cost and power consumption increase and the reliability decreases remarkably. After all, even when using the conventional reproducing method or the conventional RAD-MSR method to reproduce at a wavelength of 330 to 600 nm, the recording / erasing head with a wavelength of 600 to 850 nm and the wavelength of 330 to 600 nm are used. This requires two heads for the reproducing head, and two heads are required due to the structure of the magneto-optical recording / reproducing apparatus.

【００５１】本発明の再生方法の実施例として、転写用
ヘッドに600〜850nmの波長の光源を有する光学系を、再
生用ヘッドに330〜600nmの波長の光源を有する光学系を
用いる場合について説明する。図3のビームスポット1
3、14aの強度分布31から決まるビームスポット径13、14
aと温度分布32aから決まる転写幅33aを比較して分かる
ように、ビームスポット径に対して転写幅33aを十分小
さくすることができるため再生ビームスポット14の径に
較べて、転写ビームスポット13の径が大きくなる場合で
も再生ビームスポット14の径より転写幅33aを十分小さ
くすることが可能なので本発明の利点は失われない。As an example of the reproducing method of the present invention, the case where an optical system having a light source having a wavelength of 600 to 850 nm is used for the transfer head and an optical system having a light source having a wavelength of 330 to 600 nm is used for the reproducing head will be described. To do. Beam spot 1 in Figure 3
Beam spot diameter 13, 14 determined from intensity distribution 31 of 3, 14a
As can be seen by comparing the transfer width 33a determined by a and the temperature distribution 32a, the transfer width 33a can be made sufficiently small with respect to the beam spot diameter. Even if the diameter becomes large, the transfer width 33a can be made sufficiently smaller than the diameter of the reproduction beam spot 14, so that the advantages of the present invention are not lost.

【００５２】本実施例の場合、表1を参照して分かるよ
うに、転写には1.5〜4.0mWの出力を必要とするが600〜8
50nmの波長の光源は上述したように低コストで高出力が
得られるので、転写用ヘッドは低コストで製造できる。
さらに、記録、消去には6.0〜15.0mWの出力を必要とす
るが、転写ヘッドの出力を記録、消去に必要な出力にま
で大きくしても転写用ヘッドのコストに大きな変化がな
い。そこで、転写ヘッドで転写に加え、記録、消去を実
行する。再生用ヘッドには330〜600nmの波長の光源を用
いるが、本発明の再生方法であれば再生に必要な出力は
0.5〜1.5mWと十分小さいので、比較的低コストで低消費
電力の光源を利用することが可能になる。例えば、Nd:Y
AG固体レーザを850nm程度の波長の半導体レーザで励起
して得た1064nmのレーザ光をSHG素子の一種のKTPによっ
て半分の532nmのレーザ光に変換する内部共振器タイプ
の光源を利用することが可能である。とくにこのタイプ
の間接変換型は出力の直接変調ができないため再生用に
固定的に用いるのに適している。また、830nm程度の波
長の半導体レーザのレーザ光を直接SHG素子に入射して
変換する方法では変換効率が小さいため低出力のレーザ
光しか得られないが、本発明の再生方法の再生ヘッドに
用いるには十分の出力が得られる。例えば、半導体レー
ザの830nmの光を導波型疑似位相整合SHG素子へと導入す
ると1〜4mWの415nmの二次高調波が得られるが光磁気ヘ
ッドの出射効率は20〜30%程度なので本発明の再生方法
に必要な再生光出力を得ることができる。あるいは、Zn
CdSSe系、ZnSe系、ZnMgSSe系などの2-6族半導体レーザ
はしきい値電流密度が高かったり、結晶中の欠陥が半導
体レーザの寿命を縮めるので高出力の2-6族半導体レー
ザは高コストなものになる。しかし、本発明の再生方法
の再生ヘッドに用いるには2-6族半導体レーザは十分な
出力が得られる。In the case of this example, as can be seen from Table 1, the transfer requires an output of 1.5 to 4.0 mW, but 600 to 8
Since the light source with a wavelength of 50 nm can obtain a high output at a low cost as described above, the transfer head can be manufactured at a low cost.
Further, although the output of 6.0 to 15.0 mW is required for recording and erasing, even if the output of the transfer head is increased to the output required for recording and erasing, the cost of the transfer head does not significantly change. Therefore, recording and erasing are executed by the transfer head in addition to transfer. A light source with a wavelength of 330 to 600 nm is used for the reproducing head, but if the reproducing method of the present invention is used, the output required for reproducing is
Since it is sufficiently small at 0.5 to 1.5 mW, it becomes possible to use a light source of relatively low cost and low power consumption. For example, Nd: Y
It is possible to use an internal cavity type light source that converts 1064 nm laser light obtained by exciting an AG solid state laser with a semiconductor laser with a wavelength of about 850 nm to half of 532 nm laser light by KTP which is a kind of SHG element. Is. In particular, this type of indirect conversion type is suitable for fixed use for reproduction because the output cannot be directly modulated. Also, in the method of directly converting the laser light of the semiconductor laser having a wavelength of about 830 nm into the SHG element to convert it, only low output laser light can be obtained because the conversion efficiency is small, but it is used for the reproducing head of the reproducing method of the present invention. Is sufficient output. For example, when 830 nm light of a semiconductor laser is introduced into a waveguide type quasi-phase matching SHG element, a second harmonic of 415 nm of 1 to 4 mW can be obtained, but the emission efficiency of the magneto-optical head is about 20 to 30%. It is possible to obtain the reproduction light output required for the reproduction method of. Or Zn
CdSSe-based, ZnSe-based, ZnMgSSe-based and other 2-6 group semiconductor lasers have high threshold current densities, and defects in the crystal shorten the life of the semiconductor laser. It becomes something. However, the group 2-6 semiconductor laser can obtain a sufficient output for use in the reproducing head of the reproducing method of the present invention.

【００５３】これに対して、表1に示すように従来のRAD
-MSR法の場合、再生に必要な出力は本発明の再生方法の
それに較べて、3倍程度の出力を必要とするので、それ
だけ再生ヘッドのコストが上昇してしまう。特に、導波
型疑似位相整合SHG素子や2-6族半導体レーザを用いる場
合、光磁気ヘッドの出射効率を考慮すると従来のRAD-MS
R法に必要な光源の出力は7mW以上になるが、この出力を
得るのは技術的に困難であったり、非常に高コストにな
ってしまう。つまり、従来のRAD-MSR法の場合、光源の
短波長化によって原理的には記録密度の向上が可能であ
るが、光源の技術的、コスト的問題によって実用的な光
磁気記録に適さない。On the other hand, as shown in Table 1, the conventional RAD
-In the case of the MSR method, the output required for reproduction requires about three times the output required for the reproduction method of the present invention, so the cost of the reproducing head increases accordingly. In particular, when using a waveguide type quasi-phase matching SHG element or a 2-6 group semiconductor laser, considering the emission efficiency of the magneto-optical head, the conventional RAD-MS
The output of the light source required for the R method is 7 mW or more, but it is technically difficult to obtain this output and it becomes very expensive. That is, in the case of the conventional RAD-MSR method, the recording density can be improved in principle by shortening the wavelength of the light source, but it is not suitable for practical magneto-optical recording due to technical and cost problems of the light source.

【００５４】このように、本発明の再生方法において転
写用ヘッドの光源に比べて再生用ヘッドの光源の波長を
短くすることによって、低コストで高密度の光磁気記録
を実現できる。特に転写用ヘッドに600〜850nmの波長の
光源を有する光学系を、再生用ヘッドに330〜600nmの波
長の光源を有する光学系を用いる場合、コストパフォー
マンスに優れた高密度光磁気記録を実現できる。As described above, in the reproducing method of the present invention, by making the wavelength of the light source of the reproducing head shorter than that of the light source of the transfer head, it is possible to realize high-density magneto-optical recording at low cost. Especially when using an optical system having a light source with a wavelength of 600 to 850 nm for the transfer head and an optical system having a light source with a wavelength of 330 to 600 nm for the reproducing head, it is possible to realize high-density magneto-optical recording with excellent cost performance. .

【００５５】[0055]

【発明の効果】以上説明したように、再生層と記録層と
が磁気的に結合した磁性層を有する光磁気記録媒体にお
いて、再生層の磁化の向きを一方向に初期化する初期化
過程、初期化過程に続いて転写ビームスポットを照射し
て記録層中の記録マークを再生層へと転写する転写過
程、転写過程に続いて再生層に転写された記録マーク上
に再生ビームスポットを照射して再生する再生過程より
構成されるようにしたので、トラックピッチを再生ビー
ムスポット径以下にしても、隣接トラック16からのクロ
ストークを著しく低減でき、高密度化が可能になった。
さらに、転写の動的過程を利用せずに転写の終状態を再
生に利用するので、再生特性、媒体の信頼性、媒体の量
産性を向上させることができ、高密度、高信頼性の光磁
気記録媒体を低コストで提供することが可能になった。
また、転写ビームスポットが出力を変調したパルス光で
あるような、あるいは、転写用ヘッドの光源に比べて再
生用ヘッドの光源の波長を短くするようなバリエーショ
ンもあって、一層の高密度化に適する。As described above, in the magneto-optical recording medium having the magnetic layer in which the reproducing layer and the recording layer are magnetically coupled, the initialization process for initializing the magnetization direction of the reproducing layer in one direction, After the initialization process, the transfer beam spot is irradiated to transfer the recording marks in the recording layer to the reproducing layer.After the transfer process, the recording beam transferred to the reproducing layer is irradiated with the reproducing beam spot after the transferring process. Since it is configured by the reproducing process of reproducing by, the crosstalk from the adjacent track 16 can be remarkably reduced and the density can be increased even if the track pitch is set to be equal to or smaller than the reproducing beam spot diameter.
Furthermore, since the final state of the transfer is used for reproduction without using the dynamic process of transfer, it is possible to improve the reproduction characteristics, the reliability of the medium, and the mass productivity of the medium. It has become possible to provide a magnetic recording medium at low cost.
In addition, there are variations such that the transfer beam spot is pulsed light whose output is modulated, or the wavelength of the light source of the reproducing head is shorter than that of the light source of the transfer head. Suitable.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明の光磁気記録媒体の再生方法を説明す
る模式的上面図(A)と模式的断面図(B)。FIG. 1 is a schematic top view (A) and a schematic cross-sectional view (B) illustrating a reproducing method of a magneto-optical recording medium of the present invention.

【図２】 従来のRAD-MSR法の再生方法を説明する模式
的上面図。FIG. 2 is a schematic top view illustrating a reproduction method of a conventional RAD-MSR method.

【図３】 光磁気記録媒体上にビームスポットが照射さ
れたことを示す模式的上面図(A)と、このときのビーム
スポットの強度分布、温度分布を示す特性図(B)。FIG. 3 is a schematic top view (A) showing irradiation of a beam spot on a magneto-optical recording medium, and a characteristic diagram (B) showing intensity distribution and temperature distribution of the beam spot at this time.

【図４】 本発明の光磁気記録媒体の再生方法を説明す
る模式的上面図。FIG. 4 is a schematic top view for explaining the reproducing method of the magneto-optical recording medium of the present invention.

【図５】 光磁気記録媒体の一例を示す模式的断面図。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing an example of a magneto-optical recording medium.

【図６】 光磁気記録媒体の別の例を示す模式的断面
図。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing another example of the magneto-optical recording medium.

【図７】 本発明の再生方法、従来のRAD-MSR法、従来
の非超解像再生法によりトラックピッチを変化させたと
きのクロストークの変化を示す特性図。FIG. 7 is a characteristic diagram showing changes in crosstalk when the track pitch is changed by the reproducing method of the present invention, the conventional RAD-MSR method, and the conventional non-super-resolution reproducing method.

【図８】 転写ビームスポットが連続光であることをし
めす波形図(A)と、パルス光であることを示す波形図
(B)。FIG. 8 is a waveform diagram (A) showing that the transfer beam spot is continuous light and a waveform diagram showing that it is pulsed light.
(B).

【図９】 光磁気記録媒体上のトラックに垂直な方向の
温度分布ををパルス光で転写した場合、連続光で転写し
た場合とで比較する特性図。FIG. 9 is a characteristic diagram comparing the temperature distribution in the direction perpendicular to the tracks on the magneto-optical recording medium when pulsed light is transferred and when it is transferred with continuous light.

【図10】 トラックピッチを変化させたときのクロスト
ークの変化をパルス光で転写した場合、連続光で転写し
た場合とで比較する特性図。FIG. 10 is a characteristic diagram comparing a change in crosstalk when the track pitch is changed with a case where transfer is performed using pulsed light and a case where transfer is performed using continuous light.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・光磁気記録媒体 11・・・再生層 11a・・・高Tc再生層 11b・・・低Tc再生層 12・・・記録層 13・・・転写ビームスポット 14・・・再生ビームスポット 14a・・・再生ビームスポット（RAD-MSR法） 15・・・記録マーク 15a・・・潜像記録マーク 15b・・・転写された記録マーク 15c・・・再生しながら転写された記録マーク（RAD-MSR
法） 16・・・隣接トラック 21・・・転写領域 21a・・・出力Paのときの転写領域 21b・・・出力Pb(Pb>Pa)のときの転写領域 31・・・ビームスポットの強度分布 32a・・・出力Paのときの光磁気記録媒体上の温度分布 32b・・・出力Pb(Pb>Pa)のときの光磁気記録媒体上の温
度分布 33・・・転写幅 33a・・・出力Paのときの転写幅 33b・・・出力Pb(Pb>Pa)のときの転写幅 51・・・透明基板 52・・・誘電体層 53・・・中間層 54・・・誘電体層 55・・・金属層 81・・・連続光 82・・・パルス光 91・・・連続光のときの温度分布 92・・・パルス光のときの温度分布10 ... Magneto-optical recording medium 11 ... Reproducing layer 11a ... High Tc reproducing layer 11b ... Low Tc reproducing layer 12 ... Recording layer 13 ... Transfer beam spot 14 ... Reproducing beam spot 14a: Reproduction beam spot (RAD-MSR method) 15: Recording mark 15a: Latent image recording mark 15b: Transferred recording mark 15c: Recording mark transferred while reproducing (RAD -MSR
16) Adjacent tracks 21 ... Transfer area 21a ... Transfer area at output Pa 21b ... Transfer area at output Pb (Pb> Pa) 31 ... Beam spot intensity distribution 32a ... Temperature distribution on magneto-optical recording medium at output Pa 32b ... Temperature distribution on magneto-optical recording medium at output Pb (Pb> Pa) 33 ... Transfer width 33a ... Output Transfer width at Pa 33b ・ ・ ・ Transfer width at output Pb (Pb> Pa) 51 ・ ・ ・ Transparent substrate 52 ・ ・ ・ Dielectric layer 53 ・ ・ ・ Intermediate layer 54 ・ ・ ・ Dielectric layer 55 ・..Metal layer 81 ... Continuous light 82 ... Pulsed light 91 ... Temperature distribution in continuous light 92 ... Temperature distribution in pulsed light

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 再生層と記録層とが磁気的に結合した磁
性層を有する光磁気記録媒体において、 前記再生層の磁化の向きを一方向に初期化する初期化過
程、 前記初期化過程に続いて転写ビームスポットを照射して
前記記録層中の記録マークを前記再生層へと転写する転
写過程、 前記転写過程に続いて前記再生層に転写された記録マー
ク上に再生ビームスポットを照射して再生する再生過
程、 より構成されることを特徴とする光磁気記録媒体の再生
方法。1. In a magneto-optical recording medium having a magnetic layer in which a reproducing layer and a recording layer are magnetically coupled, an initialization process for initializing the magnetization direction of the reproducing layer in one direction, Then, a transfer process of irradiating a transfer beam spot to transfer the recording mark in the recording layer to the reproduction layer, and a reproduction beam spot on the recording mark transferred to the reproduction layer following the transfer process. A reproducing method of a magneto-optical recording medium, characterized by comprising a reproducing process of reproducing by means of a reproducing method. 【請求項２】 請求項1において、最短記録マーク長を
前記再生ビームスポットを生成する光学系の（光源の波
長/対物レンズのN.A.）によって割った値を規格化最短
記録マーク長、トラックピッチを前記転写ビームスポッ
トを生成する光学系の（光源の波長/対物レンズのN.
A.）によって割った値を規格化トラックピッチとすると
き、前記規格化最短記録マーク長が0.35よりも大きく、
かつ、前記規格化トラックピッチが0.99未満0.27以上で
あることを特徴とする光磁気記録媒体の再生方法。2. The standardized shortest recording mark length and track pitch are values obtained by dividing the shortest recording mark length by (wavelength of light source / NA of objective lens) of an optical system for generating the reproduction beam spot. The wavelength of the light source / N. Of the objective lens of the optical system that generates the transfer beam spot.
When the value divided by A.) is used as the standardized track pitch, the standardized shortest recording mark length is larger than 0.35,
A reproducing method for a magneto-optical recording medium, wherein the standardized track pitch is less than 0.99 and 0.27 or more. 【請求項３】 請求項1において、前記規格化最短記録
マーク長が0.43よりも大きく、かつ、前記規格化トラッ
クピッチが0.99未満0.33以上であることを特徴とする光
磁気記録媒体の再生方法。3. The reproducing method of a magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the standardized shortest recording mark length is larger than 0.43 and the standardized track pitch is less than 0.99 and 0.33 or more. 【請求項４】 請求項1において、前記規格化最短記録
マーク長が0.43よりも大きく、かつ、前記規格化トラッ
クピッチが0.46未満0.33以上であることを特徴とする光
磁気記録媒体の再生方法。4. The reproducing method of a magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the standardized shortest recording mark length is larger than 0.43, and the standardized track pitch is less than 0.46 and 0.33 or more. 【請求項５】 請求項1において、前記転写ビームスポ
ットが出力を変調したパルス光であることを特徴とする
光磁気記録媒体の再生方法。5. The reproducing method of a magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the transfer beam spot is pulsed light whose output is modulated. 【請求項６】 請求項5において、前記規格化最短記録
マーク長が0.35よりも大きく、かつ、前記規格化トラッ
クピッチが0.99未満0.20以上であることを特徴とする光
磁気記録媒体の再生方法。6. The reproducing method of a magneto-optical recording medium according to claim 5, wherein the standardized shortest recording mark length is larger than 0.35 and the standardized track pitch is less than 0.99 and 0.20 or more. 【請求項７】 請求項5において、前記規格化最短記録
マーク長が0.43よりも大きく、かつ、前記規格化トラッ
クピッチが0.99未満0.23以上であることを特徴とする光
磁気記録媒体の再生方法。7. The reproducing method for a magneto-optical recording medium according to claim 5, wherein the standardized shortest recording mark length is larger than 0.43 and the standardized track pitch is less than 0.99 and 0.23 or more. 【請求項８】 請求項5において、前記規格化最短記録
マーク長が0.43よりも大きく、かつ、前記規格化トラッ
クピッチが0.46未満0.23以上であることを特徴とする光
磁気記録媒体の再生方法。8. The reproducing method of a magneto-optical recording medium according to claim 5, wherein the standardized shortest recording mark length is larger than 0.43 and the standardized track pitch is less than 0.46 and 0.23 or more. 【請求項９】 請求項1において、前記転写ビームスポ
ットの波長に比べて前記再生ビームスポットの波長が短
いことを特徴とする光磁気記録媒体の再生方法。9. The reproducing method of a magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the wavelength of the reproducing beam spot is shorter than the wavelength of the transfer beam spot. 【請求項１０】 請求項9において、前記転写ビームス
ポットの波長が600〜850nm、前記再生ビームスポットの
波長が330〜600nmであることを特徴とする光磁気記録媒
体の再生方法。10. The reproducing method for a magneto-optical recording medium according to claim 9, wherein the transfer beam spot has a wavelength of 600 to 850 nm and the reproducing beam spot has a wavelength of 330 to 600 nm.