JPH07159711A - Amplitude controller - Google Patents
Amplitude controllerInfo
- Publication number
- JPH07159711A JPH07159711A JP31025093A JP31025093A JPH07159711A JP H07159711 A JPH07159711 A JP H07159711A JP 31025093 A JP31025093 A JP 31025093A JP 31025093 A JP31025093 A JP 31025093A JP H07159711 A JPH07159711 A JP H07159711A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amplitude
- vibration
- frequency
- signal
- vibration system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は光学系をねじり振動をな
す振動子により駆動して走査を行う光学走査装置の振幅
制御装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an amplitude control device for an optical scanning device which scans an optical system by driving the optical system with a vibrator that produces torsional vibration.
【０００２】[0002]
【従来の技術】周知のごとく、走査型顕微鏡は試料を光
学的に走査し、走査光の試料からの反射光を光検出器に
入射させ、これを光電変換することにより映像信号を得
るものである。2. Description of the Related Art As is well known, a scanning microscope is a device which optically scans a sample, makes reflected light from the sample incident on a photodetector, and photoelectrically converts it to obtain a video signal. is there.
【０００３】従来、この走査型顕微鏡の光学的走査の第
１の例としては、ガルバノミラーの往復運動やポリゴン
ミラーの回転運動により行うものや、また走査系の高速
化の要求に対してレゾナントスキャナを用いるようにし
たものがある。Conventionally, as a first example of the optical scanning of this scanning microscope, the scanning is performed by the reciprocating motion of a galvano mirror or the rotary motion of a polygon mirror, and a resonant scanner in response to the demand for a high speed scanning system. There are some that use.
【０００４】また、光学的走査の第２の例としては、特
公昭５８−２３６０５号公報に示すように、振動系の駆
動信号をそれぞれ制御すると共に共振周波数に強制同期
させ振幅を安定化させるものがある。As a second example of the optical scanning, as shown in Japanese Patent Publication No. 58-23605, the drive signals of the vibration system are controlled, and the amplitude is stabilized by being forcibly synchronized with the resonance frequency. There is.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従来、走査型顕微鏡の
光学的走査はガルバノミラーを用いて行われるが、走査
系の高速化の要求に対し、レゾナントスキャナが用いら
れるようになっている。前述の第１の例では、レゾナン
トスキャナは駆動信号の条件によっては、著しく動作が
異なるばかりでなく、共振周波数からはずれると振幅が
急激に減少したり、駆動信号の振幅によっても共振周波
数が微妙に変化したりする欠点がある。Conventionally, the optical scanning of a scanning microscope is performed by using a galvano mirror, but a resonant scanner has come to be used in response to a demand for a high speed scanning system. In the above-mentioned first example, the resonant scanner not only operates remarkably differently depending on the condition of the drive signal, but also the amplitude sharply decreases when it deviates from the resonance frequency, and the resonance frequency also delicately changes depending on the amplitude of the drive signal. It has the drawback of changing.
【０００６】さらに、前述の第２の例では、レゾナント
スキャナの共振周波数に強制的に同期させ、そこで振幅
を安定化させてしまうので、駆動信号の振幅変化による
共振周波数の微妙な変化に追従できず、駆動信号に対す
る振動系の振動及び光偏向系の振幅は最大位置への最適
化ができない。Further, in the above-mentioned second example, the resonance frequency of the resonant scanner is forcibly synchronized and the amplitude is stabilized there. Therefore, it is possible to follow a subtle change in the resonance frequency due to the amplitude change of the drive signal. Therefore, the vibration of the vibration system and the amplitude of the light deflection system with respect to the drive signal cannot be optimized to the maximum position.
【０００７】本発明はこの欠点を補うためなされたもの
で、振動系の振動及び光偏向系の振幅を駆動信号に対し
最大位置に制御し、安定化することが可能な振幅制御装
置を提供することを目的とする。The present invention has been made to compensate for this drawback, and provides an amplitude control device capable of controlling the vibration of the vibration system and the amplitude of the optical deflection system to the maximum position with respect to the drive signal and stabilizing the same. The purpose is to
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１に対応する発明は、ねじり振動を行う振動
系と、この振動系に固定された光偏向系と、前記振動系
を駆動する発振回路を有する周波数調整手段と、前記振
動系の振動を検出して電気信号に変換する位置検出手段
と、前記振動系の振幅を認識する振幅認識手段と、前記
振動系の振動及び前記光偏向系の振幅を駆動信号に対し
最大に制御する制御手段と、を備えた振幅制御装置であ
る。In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is directed to a vibrating system which causes torsional vibration, an optical deflection system fixed to the vibrating system, and the vibrating system. Frequency adjusting means having an oscillating circuit, position detecting means for detecting the vibration of the vibration system and converting it into an electric signal, amplitude recognition means for recognizing the amplitude of the vibration system, vibration of the vibration system and the light. An amplitude control device comprising: a control unit that controls the amplitude of the deflection system to the maximum with respect to the drive signal.
【０００９】前記目的を達成するため、請求項２に対応
する発明は、ねじり振動を行う振動系と、この振動系に
固定された光偏向系と、前記振動系を駆動する発振回路
を有する周波数調整手段と、前記振動系の振動を検出し
て電気信号に変換する位置検出手段と、前記振動系の振
幅を認識する振幅認識手段と、前記周波数調整手段によ
り前記振動系に印加する駆動信号の周波数を変化させな
がら、前記振幅認識手段による振動系の振動の振幅を比
較し、その変化から前記周波数調整手段による駆動信号
の周波数変化を制御し、前記振動系の振動及び前記光偏
向系の振幅を最大に制御する制御手段と、を備えた振幅
制御装置である。In order to achieve the above object, the invention according to claim 2 has a frequency having a vibration system which performs torsional vibration, an optical deflection system fixed to the vibration system, and an oscillation circuit which drives the vibration system. Adjusting means, position detecting means for detecting the vibration of the vibration system and converting it into an electric signal, amplitude recognition means for recognizing the amplitude of the vibration system, and drive signals applied to the vibration system by the frequency adjusting means. While changing the frequency, the amplitudes of the vibrations of the vibration system by the amplitude recognizing means are compared, the frequency change of the drive signal by the frequency adjusting means is controlled from the change, and the vibrations of the vibration system and the amplitude of the light deflection system are controlled. And a control means for maximizing the control.
【００１０】[0010]
【作用】請求項１に対応する発明によれば、振幅から駆
動信号の周波数を調整し、駆動信号に対し最大振幅で動
作するように制御するようにしたので、振動系の振動及
び光偏向系の振幅を駆動信号に対し最大位置に制御し、
安定化することが可能な振幅制御装置を得ることができ
る。According to the invention corresponding to claim 1, the frequency of the drive signal is adjusted from the amplitude and the drive signal is controlled so that the drive signal operates at the maximum amplitude. Therefore, the vibration of the vibration system and the optical deflection system. Control the amplitude of to the maximum position for the drive signal,
It is possible to obtain an amplitude control device that can be stabilized.
【００１１】請求項２に対応する発明によれば、振動系
に印加する駆動信号の周波数を変化させながら、振動系
の振動の振幅を比較し、その変化から駆動信号の周波数
変化を制御し、振動系の振動及び光偏向系の振幅を最大
に制御するようにしたので、振動系の振動及び光偏向系
の振幅を駆動信号に対し最大位置に制御し、安定化する
ことが可能な振幅制御装置を得ることができる。According to the invention corresponding to claim 2, while changing the frequency of the drive signal applied to the vibration system, the amplitudes of the vibrations of the vibration system are compared, and the frequency change of the drive signal is controlled from the change. Since the vibration of the oscillating system and the amplitude of the optical deflecting system are controlled to the maximum, the amplitude control that can control and stabilize the vibration of the oscillating system and the amplitude of the optical deflecting system to the maximum position with respect to the drive signal The device can be obtained.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１はその実施例の概略構成を示すブロッ
ク図であり、制御装置１、周波数調整手段２、ドライバ
３、レゾナントスキャナ４、鏡５、補助光源６、位置検
出手段７、振幅認識手段８から構成されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of the embodiment, which comprises a control device 1, a frequency adjusting means 2, a driver 3, a resonant scanner 4, a mirror 5, an auxiliary light source 6, a position detecting means 7, and an amplitude recognizing means 8. Has been done.
【００１３】周波数調整手段２は、外部から周波数調整
可能な例えば発振器から構成され、周波数調整手段２に
より制御された駆動信号はドライバ３に印加され、レゾ
ナントスキャナ４を駆動する。レゾナントスキャナ４に
固定された鏡５には、レーザダイオードなどの補助光源
６からの光が照射されている。The frequency adjusting means 2 is composed of, for example, an oscillator whose frequency can be adjusted from the outside, and the drive signal controlled by the frequency adjusting means 2 is applied to the driver 3 to drive the resonant scanner 4. The mirror 5 fixed to the resonant scanner 4 is irradiated with light from an auxiliary light source 6 such as a laser diode.
【００１４】鏡５からの反射光は、レゾナントスキャナ
４により走査され位置検出手段７によって、鏡５の変位
を表わす電気信号に変換される。この電気信号を振幅認
識手段８により制御装置１に入力し、レゾナントスキャ
ナ４が駆動波形に対し最大振幅で動作するように制御す
る。The reflected light from the mirror 5 is scanned by the resonant scanner 4 and converted by the position detecting means 7 into an electric signal representing the displacement of the mirror 5. This electric signal is input to the control device 1 by the amplitude recognition means 8 and the resonant scanner 4 is controlled so as to operate at the maximum amplitude with respect to the drive waveform.
【００１５】制御方法は、始めにレゾナントスキャナ４
の共振周波数よりも少し低い周波数で駆動信号を発生
し、そのときの鏡５の変位の振幅を振幅認識手段８によ
り得る。The control method is as follows. First, the resonant scanner 4
The drive signal is generated at a frequency slightly lower than the resonance frequency of, and the amplitude of the displacement of the mirror 5 at that time is obtained by the amplitude recognition means 8.
【００１６】次に、今設定した周波数よりΔｆだけ周波
数を上昇させた駆動信号でレゾナントスキャナ４を駆動
し、同様に振幅認識手段８より振幅を得る。この異なる
周波数ｆ、ｆ＋Δｆにおける振幅Ａ(f) 、Ａ（f+Δf)を
比較し、後者の方が大きい場合、周波数をまたΔｆだけ
上昇させ、そのときの振幅を取り込む。そして、前回の
振幅と比較して…という具合に周波数を上げていく。Next, the resonant scanner 4 is driven by the drive signal having a frequency increased by Δf from the frequency set just now, and the amplitude is similarly obtained from the amplitude recognition means 8. The amplitudes A (f) and A (f + Δf) at the different frequencies f and f + Δf are compared, and when the latter is larger, the frequency is increased by Δf again and the amplitude at that time is captured. Then, the frequency is increased in comparison with the previous amplitude.
【００１７】レゾナントスキャナ４は、図２のような特
性をもっているので、どこかで、前回の値より今回の振
幅値が小さくなるところがある。 Ａ（ｆn ）＜Ａ（ｆn-1 ） 但し、ｆn ＝ｆn-1 ＋Δｆ となったら周波数を１回前
の値に戻す。このとき、レゾナントスキャナ４は与えら
れた駆動信号に対し最大振幅で動作する。Since the resonant scanner 4 has the characteristics shown in FIG. 2, there are some places where the amplitude value this time becomes smaller than the previous value. A (f n ) <A (f n-1 ) However, when f n = f n-1 + Δf, the frequency is returned to the previous value. At this time, the resonant scanner 4 operates with the maximum amplitude for the given drive signal.
【００１８】以上の説明は、周波数上昇の場合について
行ったが、逆に高い周波数から下げてきても同様であ
る。次に、具体的実施例について説明する。図３はその
第１実施例のブロック図を示すものであり、制御装置１
としてＣＰＵ（中央演算処理装置）９を用いた構成で、
周波数調整手段２としてＤ（デジタル）／Ａ（アナロ
グ）コンバータ１０、発振周波数可変の発振器（ＯＳ
Ｃ）１１、波形整形のためのローパスフィルタ（ＬＰ
Ｆ）１２を備えている。The above description has been made for the case where the frequency is increased, but it is the same when the frequency is decreased from the high frequency. Next, specific examples will be described. FIG. 3 shows a block diagram of the first embodiment of the controller 1.
As a configuration using a CPU (Central Processing Unit) 9 as
As the frequency adjusting means 2, a D (digital) / A (analog) converter 10 and an oscillation frequency variable oscillator (OS
C) 11, low-pass filter (LP for waveform shaping)
F) 12 is provided.
【００１９】発振器１１の出力をフィルタ１２を通しレ
ゾナントスキャナ４に印加する。補助光源６としてレー
ザーダイオード６を用い、また位置検出手段７は、変位
に比例した電圧、電流等を発生する光電変換素子１３及
びアンプ等で構成される増幅器１４よりなり、鏡５の位
置信号を得る。The output of the oscillator 11 is applied to the resonant scanner 4 through the filter 12. The laser diode 6 is used as the auxiliary light source 6, and the position detecting means 7 is composed of a photoelectric conversion element 13 that generates a voltage, a current, etc. proportional to the displacement, and an amplifier 14 composed of an amplifier and the like. obtain.
【００２０】振幅認識手段８として、鏡５の位置信号の
最大値を保持するピークホールド回路（Ｐ／Ｈ）１５及
びその値をＣＰＵ９へ入力するためのＡ（アナログ）／
Ｄ（デジタル）コンバータ１６を備えている。As the amplitude recognizing means 8, a peak hold circuit (P / H) 15 for holding the maximum value of the position signal of the mirror 5 and A (analog) / for inputting the value to the CPU 9
A D (digital) converter 16 is provided.
【００２１】次に、以上のように構成された実施例装置
の動作について、図４を参照して説明する。発振器１１
により出力される波形（方形波、三角波等）をローパス
フィルタ１２により正弦波に整形する。この正弦波がレ
ゾナントスキャナ４を駆動するドライバ３に印加され、
スキャナ４を駆動する。レーザダイオード６による補助
光をレゾナントスキャナ４に固定された鏡５に照射し、
その反射光を光電変換素子１３で受け、増幅器１４によ
り鏡５の位置を表わす電気信号を得る。鏡５の変位に対
応した電気信号は、ドライバ３に印加される波形に追従
した正弦波となっている。Next, the operation of the embodiment apparatus configured as described above will be described with reference to FIG. Oscillator 11
The waveform (square wave, triangular wave, etc.) output by is shaped by the low-pass filter 12 into a sine wave. This sine wave is applied to the driver 3 that drives the resonant scanner 4,
The scanner 4 is driven. The auxiliary light from the laser diode 6 is applied to the mirror 5 fixed to the resonant scanner 4,
The reflected light is received by the photoelectric conversion element 13, and an electric signal representing the position of the mirror 5 is obtained by the amplifier 14. The electric signal corresponding to the displacement of the mirror 5 is a sine wave that follows the waveform applied to the driver 3.
【００２２】この位置信号をピークホールド１５を通し
て、変位の振幅を電圧の形で取り出す。これをＡ／Ｄコ
ンバータ１６によりＣＰＵ９へ取り込む。ここで、駆動
波形に対して最大の振幅を得るために以下の制御を行
う。This position signal is passed through the peak hold 15 to extract the displacement amplitude in the form of voltage. This is taken into the CPU 9 by the A / D converter 16. Here, the following control is performed to obtain the maximum amplitude for the drive waveform.
【００２３】始めにＣＰＵ９によりレゾナントスキャナ
４の共振周波数に近い、それよりも低い周波数を発振器
１１が出力するように、発振器１１を制御するＤ／Ａコ
ンバータ１０に値をセット（設定）する（Ｓ１）。First, the CPU 9 sets (sets) a value in the D / A converter 10 for controlling the oscillator 11 so that the oscillator 11 outputs a frequency close to or lower than the resonance frequency of the resonant scanner 4 (S1). ).
【００２４】すると、レゾナントスキャナ４は動作し始
めこれに取り付けられた鏡５で補助光を走査する。光電
変換素子１３、増幅器１４で得られる鏡５の位置信号を
ピークホールド回路１５にて振幅値とし、Ａ／Ｄコンバ
ータ１６からそのときの鏡５の変位の振幅が数値として
戻ってくる（Ｓ２）。Then, the resonant scanner 4 starts to operate, and the mirror 5 attached thereto scans the auxiliary light. The position signal of the mirror 5 obtained by the photoelectric conversion element 13 and the amplifier 14 is set as an amplitude value by the peak hold circuit 15, and the amplitude of the displacement of the mirror 5 at that time is returned as a numerical value from the A / D converter 16 (S2). .
【００２５】この値を内部に保持しておき、Ｄ／Ａコン
バータ１０に設定する値を先に設定した値に対する周波
数よりも高くなる値に変える（Ｓ３）。このとき、Ａ／
Ｄコンバータ１６より得られる（Ｓ４）値と、前回Ａ／
Ｄコンバータ１６より取り込み内部に保持していた値と
を比較する（Ｓ５）。This value is held internally, and the value set in the D / A converter 10 is changed to a value higher than the frequency for the previously set value (S3). At this time, A /
The (S4) value obtained from the D converter 16 and the last time A /
The value fetched from the D converter 16 and held inside is compared (S5).
【００２６】この比較の結果、新しく取り込んだ値の方
が前回の値よりも大きければ、Ｄ／Ａコンバータ１０に
設定する値を周波数が高くなるように変えていく。これ
を繰り返すと新しく取り込んだ値が前回の値よりも小さ
くなるところが来るので１回前の値をＤ／Ａコンバータ
１０に設定し直す（Ｓ６）。これにより、レゾナントス
キャナ４はそのときの駆動波形に対し最大振幅で動作す
る。この結果、振動系の振動及び光偏向系の振幅を駆動
信号に対し最大位置に制御でき、安定化することが可能
である。As a result of this comparison, if the newly fetched value is larger than the previous value, the value set in the D / A converter 10 is changed so that the frequency becomes higher. When this is repeated, there is a point where the newly fetched value becomes smaller than the previous value, so the previous value is reset in the D / A converter 10 (S6). As a result, the resonant scanner 4 operates with the maximum amplitude for the drive waveform at that time. As a result, the vibration of the vibration system and the amplitude of the light deflection system can be controlled to the maximum position with respect to the drive signal and can be stabilized.
【００２７】ここでは、周波数を上昇させながら最大振
幅点に合わせているが、逆に高い周波数から下降させな
がら合わせてもよい。図５は本発明の第２実施例を示す
ブロック図であり、図３の第１実施例とほぼ同じである
が、制御装置１を、タイミング回路１９、カウンタ２
０、メモリ２１で構成し、また振幅認識手段８を、ピー
クホールド回路１５、サンプルホールド回路（Ｓ／Ｈ）
１７、コンパレータ１８で構成している。メモリ２１内
には図６のようなデータが保存されている。Although the maximum amplitude point is adjusted while increasing the frequency here, it may be adjusted while decreasing the frequency from the high frequency. FIG. 5 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention, which is almost the same as the first embodiment of FIG. 3, except that the control device 1 includes a timing circuit 19 and a counter 2.
0, a memory 21, and the amplitude recognition means 8 includes a peak hold circuit 15 and a sample hold circuit (S / H).
17 and a comparator 18. Data as shown in FIG. 6 is stored in the memory 21.
【００２８】以下、このように構成された第２実施例装
置の動作について、図７のタイミングチャートを参照し
て説明する。図７において、ＭＣＬＫはＣＰＵなどに与
えられるシステムクロックあるいはその分周となるクロ
ックパルス、ＥＮは図示しないカウンタ２０のイネーブ
ル信号（ローアクティブ）、ＣＮＴはカウンタ２０への
カウントクロック、Ｄ／Ａはタイミング回路１９からＤ
／Ａコンバータ１０に出力する信号、Ｐ／Ｈデータはピ
ークホールド回路１５により得られるデータ、ＲＳＴは
タイミング回路１９からピークホールド回路１５に出力
されるリセット信号（ローアクティブ）、Ｓ／Ｈデータ
はサンプルホールド回路１７により得られるデータ、Ｓ
／Ｈはタイミング回路１９からサンプルホールド回路１
７に与えられる動作信号、Ｕ／Ｄはタイミング回路１９
からカウンタ２０に与えられる動作信号、ＣＴＬはＣＰ
Ｕ９からタイミング回路１９に与えられる動作信号であ
る。The operation of the device of the second embodiment thus constructed will be described below with reference to the timing chart of FIG. In FIG. 7, MCLK is a system clock given to a CPU or the like or a clock pulse for dividing the system clock, EN is an enable signal (low active) of the counter 20 not shown, CNT is a count clock to the counter 20, and D / A is timing. Circuit 19 to D
Signal output to the A / A converter 10, P / H data is data obtained by the peak hold circuit 15, RST is a reset signal (low active) output from the timing circuit 19 to the peak hold circuit 15, and S / H data is a sample Data obtained by the hold circuit 17, S
/ H is from the timing circuit 19 to the sample hold circuit 1
7 is an operation signal, U / D is a timing circuit 19
The operation signal given from the counter to the counter 20, CTL is CP
This is an operation signal given to the timing circuit 19 from U9.
【００２９】いま、ＣＰＵ９がカウンタ２０に初期値を
設定すると、メモリ２１に対しアドレスが発生し、それ
に対応するデータが図示しない回路によってＤ／Ａコン
バータ１０に設定される。続いて、ＣＰＵ９がスキャナ
４へスタート信号を送ると同時に、タイミング回路１９
へＣＴＬ信号（Ｌ→Ｈ）を送ると、ＭＣＬＫの立ち上が
りに同期してタイミング回路１９が動作し始める。Now, when the CPU 9 sets an initial value in the counter 20, an address is generated in the memory 21, and the data corresponding thereto is set in the D / A converter 10 by a circuit (not shown). Subsequently, the CPU 9 sends a start signal to the scanner 4 and at the same time, the timing circuit 19
When the CTL signal (L → H) is sent to, the timing circuit 19 starts operating in synchronization with the rising edge of MCLK.
【００３０】スキャナ４が動き出すとピークホールド回
路１５において、その時の振幅（Ｐ／ＨデータＡ）が保
持される。そして、サンプルホールド回路１７には、Ｓ
／Ｈの信号のＨ→Ｌにより同振幅が保持される。同時に
Ｄ／Ａ信号の立ち上がりで次の周波数に対応するデータ
がＤ／Ａコンバータ１０に設定される。この時ＲＳＴ信
号にてピークホールド回路１５に保持されている値をリ
セットし、次の周波数に対する振幅が新たに保持され
る。When the scanner 4 starts moving, the peak hold circuit 15 holds the amplitude (P / H data A) at that time. Then, the sample hold circuit 17 has an S
The same amplitude is held by H → L of the / H signal. At the same time, at the rising edge of the D / A signal, data corresponding to the next frequency is set in the D / A converter 10. At this time, the value held in the peak hold circuit 15 is reset by the RST signal, and the amplitude for the next frequency is newly held.
【００３１】ここで、ピークホールド回路１５はデータ
Ｂ、サンプルホールド回路１７はデータＡを保持してい
る。Ａ＜Ｂとしているので、コンパレータ１８は“Ｈレ
ベル”を発生し、これを受けたタイミング回路１９はＵ
／Ｄ信号（Ｈレベル＝カウントアップ）を出力する。Ｅ
Ｎ信号の“Ｌレベル”期間にカウンタ２０は動作し、そ
の時のＣＮＴ信号の立ち上がりにてカウントする。メモ
リ２１に対応するアドレスが１つ進み、それに対応する
データが出力され、Ｄ／Ａコンバータ１０に設定され
る。同時にＳ／Ｈ信号にてサンプルホールド回路１７は
保持するデータをＢに変更するピークホールド回路１５
にはＲＳＴ信号が入り、ここで次の比較の準備を整い、
以降同じ動作を繰り返し周波数を上昇させていく。Here, the peak hold circuit 15 holds the data B and the sample hold circuit 17 holds the data A. Since A <B, the comparator 18 generates "H level", and the timing circuit 19 receiving this generates U level.
/ D signal (H level = count up) is output. E
The counter 20 operates during the “L level” period of the N signal, and counts at the rising edge of the CNT signal at that time. The address corresponding to the memory 21 is incremented by 1, and the data corresponding to the address is output and set in the D / A converter 10. At the same time, the sample hold circuit 17 changes the data held by the S / H signal to B in the peak hold circuit 15.
Goes to the RST signal, ready for the next comparison,
After that, the same operation is repeated to increase the frequency.
【００３２】共振周波数を過ぎると、ピークホールド回
路１５の値よりサンプルホールド回路１７の値の方が大
きくなり（図７のＰ／ＨのデータＤ、Ｓ／Ｈデータ
Ｃ）、コンパレータ１８は“Ｌレベル”を発生する。こ
れを受けたタイミング回路１９は、カウンタ２０にＵ／
Ｄ信号（Ｌレベル＝カウントダウン）を出力する。カウ
ンタ２０は、ＥＮ信号“Ｌレベル”中にＣＮＴ信号にて
カウントし、メモリ２１のアドレスが１つ戻る。それに
対応するデータがＤ／Ａコンバータ１０に設定され、最
大振幅を得る周波数へ収束する。Ｕ／Ｄ信号がＣＰＵ９
へも伝えられ、これを受けてＣＴＬ信号をＨ→Ｌとする
と、タイミング回路１９の動作は終了する。After the resonance frequency, the value of the sample hold circuit 17 becomes larger than the value of the peak hold circuit 15 (P / H data D, S / H data C in FIG. 7), and the comparator 18 becomes "L". Level ”. Upon receiving this, the timing circuit 19 causes the counter 20 to receive U /
The D signal (L level = countdown) is output. The counter 20 counts with the CNT signal during the EN signal “L level”, and the address of the memory 21 is returned by one. Data corresponding to that is set in the D / A converter 10 and converges to a frequency at which the maximum amplitude is obtained. U / D signal is CPU9
When the CTL signal is changed from H to L in response to this, the operation of the timing circuit 19 ends.
【００３３】これにより、レゾナントスキャナ４はその
ときの駆動波形に対し最大振幅で動作する。また、第２
実施例においては、ＣＰＵ９は直接の制御を行わないの
で、負荷が軽くなる利点もある。As a result, the resonant scanner 4 operates with the maximum amplitude for the drive waveform at that time. Also, the second
In the embodiment, since the CPU 9 does not directly control, there is an advantage that the load is lightened.
【００３４】[0034]
【発明の効果】本発明によれば、振動系の振動及び光偏
向系の振幅を駆動信号に対し最大位置に制御し、安定化
することが可能な振幅制御装置を提供することができ
る。According to the present invention, it is possible to provide an amplitude control device capable of controlling the vibration of the vibration system and the amplitude of the light deflection system to the maximum position with respect to the drive signal and stabilizing it.
【図１】本発明による振幅制御装置の概略構成を示すブ
ロック図。FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of an amplitude control device according to the present invention.
【図２】図１のレゾナントスキャナの特性を示す図。FIG. 2 is a diagram showing characteristics of the resonant scanner of FIG.
【図３】本発明による振幅制御装置の第１実施例を示す
ブロック図。FIG. 3 is a block diagram showing a first embodiment of an amplitude control device according to the present invention.
【図４】図３の動作を説明するためのフローチャート。4 is a flowchart for explaining the operation of FIG.
【図５】本発明による振幅制御装置の第２実施例を示す
ブロック図。FIG. 5 is a block diagram showing a second embodiment of the amplitude control device according to the present invention.
【図６】図５のメモリ内に保存されているデータを示す
図。FIG. 6 is a diagram showing data stored in the memory of FIG.
【図７】図５の動作を説明するためのタイミングチャー
ト。7 is a timing chart for explaining the operation of FIG.
１…制御装置、２…周波数調整手段、３…ドライバ、４
…レゾナントスキャナ、５…鏡、６…補助光源、７…位
置検出手段。1 ... Control device, 2 ... Frequency adjusting means, 3 ... Driver, 4
... Resonant scanner, 5 ... Mirror, 6 ... Auxiliary light source, 7 ... Position detecting means.
Claims (2)
と、 前記振動系の振動を検出して電気信号に変換する位置検
出手段と、 前記振動系の振幅を認識する振幅認識手段と、 前記振動系の振動及び前記光偏向系の振幅を駆動信号に
対し最大に制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする振幅制御装置。1. A vibration system that performs torsional vibration, an optical deflection system that is fixed to the vibration system, a frequency adjusting unit that has an oscillation circuit that drives the vibration system, and an electric device that detects the vibration of the vibration system. A position detecting means for converting the signal into a signal; an amplitude recognizing means for recognizing the amplitude of the vibration system; and a control means for controlling the vibration of the vibration system and the amplitude of the light deflection system to the maximum with respect to the drive signal. An amplitude control device characterized by the above.
と、 前記振動系の振動を検出して電気信号に変換する位置検
出手段と、 前記振動系の振幅を認識する振幅認識手段と、 前記周波数調整手段により前記振動系に印加する駆動信
号の周波数を変化させながら、前記振幅認識手段による
振動系の振動の振幅を比較し、その変化から前記周波数
調整手段による駆動信号の周波数変化を制御し、前記振
動系の振動及び前記光偏向系の振幅を最大に制御する制
御手段と、 を備えたことを特徴とする振幅制御装置。2. A vibration system that performs torsional vibration, an optical deflection system that is fixed to the vibration system, a frequency adjusting unit that has an oscillation circuit that drives the vibration system, and an electric device that detects the vibration of the vibration system. A position detecting means for converting into a signal, an amplitude recognizing means for recognizing the amplitude of the vibration system, a frequency adjusting means for changing the frequency of a drive signal applied to the vibration system, Control means for comparing the amplitudes of the vibrations, controlling the frequency change of the drive signal by the frequency adjusting means from the change, and controlling the vibration of the vibration system and the amplitude of the optical deflection system to the maximum. Characteristic amplitude control device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31025093A JPH07159711A (en) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | Amplitude controller |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31025093A JPH07159711A (en) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | Amplitude controller |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159711A true JPH07159711A (en) | 1995-06-23 |
Family
ID=18002989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31025093A Withdrawn JPH07159711A (en) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | Amplitude controller |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07159711A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7557822B2 (en) * | 2004-04-20 | 2009-07-07 | Seiko Epson Corporation | Apparatus for and method of forming image using oscillation mirror |
| JP2011017885A (en) * | 2009-07-09 | 2011-01-27 | Brother Industries Ltd | Optical scanner, image display using the same, method and program for driving and controlling optical scanner |
| US8519324B2 (en) | 2006-09-15 | 2013-08-27 | Nec Corporation | Laser projector for projecting and displaying an image based on the raster scanning of a laser beam |
| JP2014068704A (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Nidek Co Ltd | Ophthalmic photographing apparatus |
-
1993
- 1993-12-10 JP JP31025093A patent/JPH07159711A/en not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7557822B2 (en) * | 2004-04-20 | 2009-07-07 | Seiko Epson Corporation | Apparatus for and method of forming image using oscillation mirror |
| US8519324B2 (en) | 2006-09-15 | 2013-08-27 | Nec Corporation | Laser projector for projecting and displaying an image based on the raster scanning of a laser beam |
| JP2011017885A (en) * | 2009-07-09 | 2011-01-27 | Brother Industries Ltd | Optical scanner, image display using the same, method and program for driving and controlling optical scanner |
| JP2014068704A (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Nidek Co Ltd | Ophthalmic photographing apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5004964A (en) | Control apparatus for vibration driven motor | |
| JPH08166396A (en) | Scanning probe microscope | |
| JP2003526816A (en) | Timing control in acousto-optical scanner based on acoustic velocity of traveling wave lens | |
| CA1135341A (en) | Method for driving a light scanning apparatus | |
| JPH07159711A (en) | Amplitude controller | |
| JP5152075B2 (en) | Drive signal generator, optical scanning device including the same, and image display device | |
| JP3645683B2 (en) | Synchronization signal generation circuit for optical scanning device | |
| JP4007854B2 (en) | Sampling clock generator | |
| US11681140B2 (en) | MEMS mirror driven by dual pulse drive signal | |
| JP6812149B2 (en) | Scanning microscope and control method of scanning microscope | |
| JP5152074B2 (en) | Drive signal generator, optical scanning device including the same, and image display device | |
| EP1193856A2 (en) | Sinusoidal signal generating circuit providing small phase difference with respect to reference signal and apparatus for driving oscillating element with circuit | |
| US4326127A (en) | Focus detecting device | |
| JP2003060862A (en) | Device for reading original | |
| JP2004015636A (en) | Sampling clock generating device and sampling clock generating method | |
| JPH07154544A (en) | Optical beam scanner | |
| JP3640365B2 (en) | Optical beam recording device | |
| JP2002162334A (en) | Scanning probe microscope | |
| JP3501804B2 (en) | Laser gyro direct dither drive | |
| JPS5952451B2 (en) | optical scanning device | |
| JP2994877B2 (en) | Atomic force microscope | |
| JPS5840525A (en) | Light scanning device | |
| JPH10341585A (en) | Scanner motor control circuit, image forming equipment and laser beam printer | |
| JP2012003135A (en) | Two-dimensional optical scanning device and optical scanning type image display | |
| JP2023151550A (en) | Optical scanner, driving method of optical scanner and image drawing system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |