JPH07159632A - Depolarizer - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To realize a small-sized and inexpensive depolarizer having high reliability. CONSTITUTION:An input waveguide 11, an optical demultiplexer 21 which is connected to this input waveguide 11 and demultiplexes the input light inputted from the input waveguide, an optical multiplexer 22, an output optical waveguide 12 which outputs the light multiplexed by the optical multiplexer 22, a first arm waveguide 13 which is connected to the optical demultiplexer 21 and the optical multiplexer 22, a second arm waveguide 14 which is connected at one end to the second output part of the optical demultiplexer 21 and is made to a first connecting end 31 at the outer end and a third arm waveguide 15 which is connected at one end to the second output part of the optical multiplexer and is made to a second connecting end 32 at the other. A polarization maintaining fiber 4 is connected to the first and second connecting ends 31, 32. The main optical axis of the waveguide at these connecting ends and the main optical axis of the polarization maintaining fiber 4 are formed to the relation that these optical axes are parallel with each other at the one connecting end and intersect orthogonally with each other at the other connecting ends.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光通信用および光情報処
理用の光部品であるデポラライザに関し、さらに詳しく
は、光導波回路と偏波保持光ファイバを組み合わせるこ
とによって、偏光した光を無偏光の光に変換する機能を
実現したデポラライザに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a depolarizer which is an optical component for optical communication and optical information processing. More specifically, it combines polarized light into a non-polarized light by combining an optical waveguide circuit and a polarization maintaining optical fiber. The present invention relates to a depolarizer that realizes the function of converting to light.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、莫大な情報処理を可能とするため
に現在の光通信システムよりも高度な機能を有する光通
信システムが研究開発されている。それらのシステムで
は光の分岐、スイッチ、遅延線、合分波器、波長変換
器、増幅器など様々な光部品が用いられようとしてい
る。しかしこれらの光部品は程度の差はあるが光の偏光
方向によってその特性が異なるという偏波依存性を持っ
ている。よって、安定したシステム構築のためには以下
の２つの方法の何れかを採用する必要がある。2. Description of the Related Art In recent years, optical communication systems having more advanced functions than current optical communication systems have been researched and developed to enable enormous information processing. In these systems, various optical components such as optical branches, switches, delay lines, multiplexers / demultiplexers, wavelength converters, and amplifiers are about to be used. However, these optical components have polarization dependence that their characteristics differ depending on the polarization direction of light, although to some extent. Therefore, in order to construct a stable system, it is necessary to adopt either of the following two methods.

【０００３】第１の方法は、システム全体に亘って偏波
保持ファイバを用い、偏波状態を規定してシステムを構
築する方法である。第２の方法は、光源として無偏光な
光を用い、かつ個別光部品の偏波依存性を極力無くす方
法である。The first method is a method of constructing a system by using a polarization maintaining fiber throughout the system and defining the polarization state. The second method is to use non-polarized light as a light source and eliminate the polarization dependence of individual optical components as much as possible.

【０００４】第１の方法は、システム全体に亘って偏波
保持ファイバを用い、かつ各光部品と偏波保持ファイバ
との接続部で偏波面を合わせる必要があるが、技術的に
は可能である。In the first method, it is necessary to use the polarization maintaining fiber throughout the system and to match the polarization plane at the connection part between each optical component and the polarization maintaining fiber, but this is technically possible. is there.

【０００５】第２の方法は、通常の光ファイバを用いる
ことができ、かつ各光部品の接続に関しても偏波面を気
にする必要はないが、光源の光を無偏光にした後変調を
掛ける必要があること、および各光部品の偏波依存性を
小さくする必要があるという問題点を有する。In the second method, an ordinary optical fiber can be used, and it is not necessary to care about the plane of polarization when connecting each optical component, but the light of the light source is made unpolarized and then modulated. There is a problem that it is necessary to reduce the polarization dependence of each optical component.

【０００６】今度どちらの方法が主流になるのか実験的
な比較検討がなされる必要があるが、ここでは、第２の
方法を用いた通信システムを無偏光通信と呼ぶ。そし
て、本発明は、第２の方法においてキー部品となる無偏
光な光を作るためのデポラライザに関するものである。Although it is necessary to experimentally compare and examine which method will become the mainstream, the communication system using the second method will be referred to as non-polarized communication here. Then, the present invention relates to a depolarizer for producing non-polarized light which is a key component in the second method.

【０００７】ＤＦＢ（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ｆｅｅ
ｄｂａｃｋ）−ＬＤ等の線幅の狭い光に対するデポララ
イザとしては過去に高田等による報告がある（Ｋ．Ｔａ
ｋａｄａ ｅｔ ａｌ．，“Ｎｅｗ Ｆｉｂｅｒ−Ｏｐ
ｔｉｃ Ｄｅｐｏｌａｒｉｚｅｒ” Ｊ．Ｌｉｇｈｔｗ
ａｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌ．，ｖｏｌ．ＬＴ−４，ｐｐ．
２１３−２１９．１９９６）。このデポラライザの構成
を示す図８を参照しながら、その原理を簡単に説明す
る。図において、０１Ａ，０１Ｂ，０１Ｃおよび０１Ｄ
はコリメートレンズ、０２Ａおよび０２Ｂはグラントム
ソン偏光子、０３Ａ，および０３Ｂは１／２波長板、０
４Ａおよび０４Ｂは偏光ビームスプリッタ、０５は偏光
ビームスプリッタである。無偏光な光は、互いに位相関
係がなくパワーが等しい互いに直交した偏波状態の光を
合波することによって作ることができる。高田らは、コ
リメートレンズ０１Ａ、グラントムソン偏光子０２Ａお
よび１／２波長板０３Ａで形成した１つの偏光した光を
偏光ビームスプリッタ０４Ａで２つに分け、一方の光の
みを偏波保持ファイバ０５に導くことによって他方の光
よりコヒーレンス長以上遅延させて互いに位相関係のな
い２つの光を作り、かつこの光を１／２波長板０３Ｂお
よびグラントムソン偏光子０２Ｂに通すことによって他
の光と偏波面が直交する直線偏波にした後、両者を偏光
ビームスプリッタ０４Ｂで合波することによって、無偏
光な光を形成している。DFB (Distributed Fee)
As a depolarizer for light with a narrow line width such as (dback) -LD, there has been a report by Takada et al. in the past (K. Ta.
kada et al. , "New Fiber-Op
tic Depolarizer ”J. Lightw
ave Technol. , Vol. LT-4, pp.
213-219. 1996). The principle of the depolarizer will be briefly described with reference to FIG. 8 showing the configuration of the depolarizer. In the figure, 01A, 01B, 01C and 01D
Is a collimating lens, 02A and 02B are Glan-Thompson polarizers, 03A and 03B are half-wave plates, 0
4A and 04B are polarization beam splitters, and 05 is a polarization beam splitter. Non-polarized light can be produced by combining lights in mutually orthogonal polarization states having no phase relationship and equal powers. Takada et al. Split one polarized light formed by the collimator lens 01A, the Glan-Thompson polarizer 02A and the half-wave plate 03A into two with the polarization beam splitter 04A, and only one of the lights is polarized into the polarization maintaining fiber 05. By guiding the light, it is delayed from the other light by a coherence length or more to form two lights having no phase relationship with each other, and this light is passed through the half-wave plate 03B and the Glan-Thompson polarizer 02B to polarize the other light. Are orthogonally polarized to form a linearly polarized wave, and then both are combined by a polarization beam splitter 04B to form non-polarized light.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した論文
のデポラライザの構成は、バルク部品（コリメートレン
ズ０１Ａ〜０１Ｄ、グラントムソン偏光子０２Ａおよび
０２Ｂ、１／２波長板０３Ａおよび０３Ｂ、偏波ビーム
スプリッタ０４Ａおよび０４Ｂ）と偏波保持ファイバ０
５とを用いて光学系を構成し、それによってデポラライ
ザの機能を実現しているため、デポラライザ全体の大き
さが大きくなってしまい、さらに、振動や温度などの環
境変動に対する安定性に劣るという問題があった。However, the construction of the depolarizer of the above-mentioned paper is as follows: bulk parts (collimating lenses 01A to 01D, Glan-Thompson polarizers 02A and 02B, 1/2 wave plates 03A and 03B, polarization beam splitters). 04A and 04B) and polarization maintaining fiber 0
Since the optical system is configured using 5 and the function of the depolarizer is realized by it, the size of the entire depolarizer becomes large, and the stability against environmental changes such as vibration and temperature is poor. was there.

【０００９】このように、従来線幅の狭い光を無偏光化
する装置としてはバルク部品と偏波保持ファイバを組み
合わせたものしかなかった。また、この装置は不安定で
信頼性に劣るものであり、かつ大きく、価格的にも非常
に高価なものであった。As described above, the conventional apparatus for depolarizing light with a narrow line width has only been a combination of a bulk component and a polarization maintaining fiber. Further, this device is unstable and inferior in reliability, large in size, and very expensive in price.

【００１０】信頼性のある光通信システムを実現するた
めには、環境の変化によって特性の変化のない信頼性の
高いデポラライザが必要となる。また一般的に使われる
ためには小型で廉価なものが望まれる。In order to realize a reliable optical communication system, a highly reliable depolarizer that does not change its characteristics due to changes in the environment is required. In addition, a small size and low price are desired for general use.

【００１１】本発明の目的は、このような事情に鑑み、
信頼性が高く、小型かつ廉価なデポラライザを実現する
ことにある。In view of such circumstances, an object of the present invention is to
It is to realize a highly reliable, compact and inexpensive depolarizer.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明のデポラライザは、二次元平面基板上に構成される光
導波回路と偏波保持光ファイバとによって構成されるデ
ポラライザであって、前記光導波回路には、入力導波路
と、この入力導波路に接続されて該入力導波路から入力
された入力光を分波して第１および第２の出力部に出力
する光分波器と、第１および第２の入力部から入力され
た光を合波して出力する光合波器と、この光合波器の出
力部に接続されて合波された光を出力する出力光導波路
と、一端が前記光分波器の前記第１の出力部に接続され
他端が前記光合波器の前記第１の入力部に接続される第
１のアーム導波路と、一端が前記光分波器の前記第２の
出力部に接続され他端が前記偏波保持光ファイバとの第
１の接続端となる第２のアーム導波路と、一端が前記光
合波器の前記第２の入力部に接続され他端が前記偏波保
持光ファイバとの第２の接続端となる第３のアーム導波
路とが形成されており、前記偏波保持ファイバは前記光
導波路の前記第１および第２の接続端に接続され、これ
ら接続端における前記第２のアーム導波路または前記第
３のアーム導波路の光学主軸と当該偏波保持光ファイバ
の光学主軸とは、何れか一方の接続端では互いに平行で
他方の接続端では互いに直交する関係となっていること
を特徴とする。A depolarizer of the present invention that achieves the above object is a depolarizer comprising an optical waveguide circuit and a polarization maintaining optical fiber formed on a two-dimensional flat substrate. The wave circuit includes an input waveguide, an optical demultiplexer connected to the input waveguide, demultiplexing the input light input from the input waveguide, and outputting the demultiplexed light to the first and second output units. An optical multiplexer that multiplexes and outputs the light input from the first and second input sections, an output optical waveguide that is connected to the output section of the optical multiplexer and outputs the combined light, and one end Is connected to the first output section of the optical demultiplexer and the other end is connected to the first input section of the optical multiplexer, and one end of the optical demultiplexer is connected to the first arm waveguide. It is connected to the second output section and the other end becomes a first connection end with the polarization maintaining optical fiber. A second arm waveguide and a third arm waveguide, one end of which is connected to the second input section of the optical multiplexer and the other end of which is a second connection end with the polarization maintaining optical fiber. The polarization-maintaining fiber is connected to the first and second connection ends of the optical waveguide, and the optical axis of the second arm waveguide or the third arm waveguide at these connection ends is used. The optical axis of the polarization-maintaining optical fiber is characterized by being parallel to each other at one of the connection ends and orthogonal to each other at the other connection end.

【００１３】本発明は、従来バルクの光学部品を用いて
構成した光学系を光導波回路を用いて構成した点と、偏
波モードの変換を偏波保持ファイバの軸を９０度ひねる
ことによって実現した点に最大の特徴がある。従来バル
ク部品を用いて構成した光学系を１枚の基板上に集積し
た光導波回路で実現したために、小型で安くかつ環境の
変化に対する特性の変動が極めて小さいデポラライザが
実現できた。The present invention realizes that an optical system which is conventionally constructed by using bulk optical components is constructed by using an optical waveguide circuit, and that a polarization mode is converted by twisting the axis of a polarization maintaining fiber by 90 degrees. The biggest feature is the point. Since an optical waveguide circuit in which a conventional bulk component is used is integrated on a single substrate, a depolarizer that is small, inexpensive, and has extremely small fluctuations in characteristics due to environmental changes can be realized.

【００１４】[0014]

【作用】偏光した光を入力導波路から入射すると、この
入力光は光分波器で分波され、一方の分波光はそのまま
光合波器へ、他方は偏波保持ファイバを通過した後光合
波器へそれぞれ導かれ、両者は光合波器で合波された後
出力導波路から出力される。このとき、偏波保持ファイ
バを通過した光は、コヒーレント長以上遅延されかつそ
の偏波面を９０度回転された状態で光合波器に入力され
るので、合波された光は無偏光な光となる。When polarized light is incident from the input waveguide, this input light is demultiplexed by the optical demultiplexer, one of the demultiplexed lights is directly passed to the optical multiplexer, and the other is passed through the polarization-maintaining fiber before being optically multiplexed. And are output to the output waveguide after being combined by the optical multiplexer. At this time, the light that has passed through the polarization-maintaining fiber is input to the optical multiplexer after being delayed by the coherent length or more and having its polarization plane rotated by 90 degrees, so that the combined light is non-polarized light. Become.

【００１５】[0015]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。EXAMPLES The present invention will be described below based on examples.

【００１６】本実施例はシリコン基板上にガラスを堆積
させて作製した石英系光導波路と、偏波保持ファイバと
を組み合わせることによって構成した。石英系光導波路
はシリコン基板上に火炎堆積法と反応性イオンエッチン
グ法で作製されるもので、低損失でシングルモードファ
イバと整合性の良い光導波回路が実現できる（例えば、
河内正夫「プレーナ光波回路」電学論Ｃ、１１３巻６
号、平成５年を参照）。また、この導波路で作製された
方向性結合器はＴＥモードあるいはＴＭモードの偏波状
態を保持したまま光の分岐、結合を行うことができる。
この特性をうまく利用してデポラライザを構成した実施
例を以下に示す。なお、本実施例のデポラライザの基本
的な原理は高田らの論文に記載されているものと同じで
ある。すなわち、１つの偏光した光を２つに分けて、一
方の光を他方の光に比べてコヒーレンス長以上遅延させ
ることによって互いに位相関係のない２つの光を作り、
各々の偏波状態を直交させて合波することによってデポ
ラライザを構成した。以下に具体的な実施例を示す。The present embodiment is constituted by combining a silica-based optical waveguide produced by depositing glass on a silicon substrate and a polarization maintaining fiber. The silica-based optical waveguide is produced on the silicon substrate by the flame deposition method and the reactive ion etching method, and can realize an optical waveguide circuit with low loss and good compatibility with a single mode fiber (for example,
Masao Kawauchi "Planar Lightwave Circuits" Electron Theory C, Volume 113, 6
No., 1993). Further, the directional coupler manufactured by this waveguide can perform branching and coupling of light while maintaining the polarization state of TE mode or TM mode.
An example in which the depolarizer is constructed by making good use of this characteristic is shown below. The basic principle of the depolarizer of this embodiment is the same as that described in the paper by Takada et al. That is, one polarized light is divided into two, and one light is delayed by the coherence length or more compared with the other light to make two lights having no phase relationship with each other.
A depolarizer was constructed by making each polarization state orthogonal and multiplexing. Specific examples will be shown below.

【００１７】実施例１ 図１（ａ）に実施例１のデポラライザの構成を示し、図
１（ｂ）に図１（ａ）のＡ−Ａ線における拡大断面図を
示す。図示のように、光導波回路は、シリコン基板１上
に堆積されたクラッドガラス層２およびコアガラス３に
より形成されており、基本的には入力導波路１１，出力
導波路１２，第１〜第３のアーム導波路１３〜１５，２
つの方向性結合器２１，２２から構成される。ここで、
第１のアーム導波路１３は、光合波器として使用する一
方の方向性結合器２１の一方の出力部と、光合波器とし
て使用する他方の方向光性結合器２２の一方の入力部と
を接続するものである。第２のアーム導波路１４は、一
端が方向性結合器２１の他方の出力部に接続され他端が
偏波保持ファイバを接続するための第１の接続端３１と
なり、第３のアーム導波路１５は、一端が方向性結合器
２２の他方の入力部と接続され他端が偏波保持ファイバ
を接続するための第２の接続端３２となる。そして、第
１および第２の接続端３１，３２を接続するように、偏
波保持ファイバ４が設けられている。ここで、偏波保持
ファイバ４は、第１の接続部３１においては、偏波保持
ファイバ４の光学主軸が基板１の表面と平行になるよう
に、第２の接続部３２においては、偏波保持ファイバ４
の光学主軸が基板１の表面と垂直になるように、それぞ
れ接続されている。Example 1 FIG. 1A shows the structure of the depolarizer of Example 1, and FIG. 1B shows an enlarged sectional view taken along the line AA of FIG. 1A. As shown in the figure, the optical waveguide circuit is formed by a clad glass layer 2 and a core glass 3 deposited on a silicon substrate 1, and basically, an input waveguide 11, an output waveguide 12, first to first 3 arm waveguides 13 to 15 and 2
It is composed of two directional couplers 21 and 22. here,
The first arm waveguide 13 has one output part of one directional coupler 21 used as an optical multiplexer and one input part of the other directional coupler 22 used as an optical multiplexer. To connect. The second arm waveguide 14 has one end connected to the other output part of the directional coupler 21 and the other end serving as a first connection end 31 for connecting a polarization maintaining fiber. One end 15 is connected to the other input portion of the directional coupler 22 and the other end is a second connection end 32 for connecting a polarization maintaining fiber. The polarization maintaining fiber 4 is provided so as to connect the first and second connection ends 31 and 32. Here, the polarization-maintaining fiber 4 is polarized in the second connecting portion 32 such that the optical main axis of the polarization-maintaining fiber 4 is parallel to the surface of the substrate 1 in the first connecting portion 31. Holding fiber 4
Are connected so that their optical main axes are perpendicular to the surface of the substrate 1.

【００１８】入力導波路１１に、例えばＴＭモード（Ｔ
Ｍモードとは光の電界方向が基板面に対して垂直である
もの、ＴＥモードとは光の電界方向が基板面に対して平
行であるものを意味する）が励起されるように入射され
た光を入力すると、この光は方向性結合器２１によって
２つの光に分配される。第１のアーム導波路１３に出力
された光は、ＴＭモードを保持したまま方向性結合器２
２に入射される。一方、第２のアーム導波路１４に出力
された光は、偏波保持ファイバ４および第３のアーム導
波路１５を伝搬した後方向性結合器２２に入射される。
このとき、偏波保持ファイバ４から第３のアーム導波路
１５に入射するときに光学主軸が９０度回転したことに
なり、第２のアーム導波路１４でＴＭモードであった光
は第３のアーム導波路１５ではＴＥモードとして伝搬す
る。ここで重要なことは、第２のアーム導波路１４と第
３のアーム導波路１５とに接続する偏波保持ファイバ４
の向きが９０度ひねられているために第２および第３の
アーム導波路１４，１５を伝搬する過程で光の偏波モー
ドがＴＭモードからＴＥモードへ変換されることであ
る。よって、第１および第２の接続端における光学主軸
の向き（平行、垂直）が反対になってもかまわない。な
お、図１（ａ）には偏波保持ファイバの向きがわかるよ
うその端面の様子も示してある。For example, the TM mode (T
The M mode means that the electric field direction of light is perpendicular to the substrate surface, and the TE mode means that the electric field direction of light is parallel to the substrate surface). When light is input, this light is split into two lights by the directional coupler 21. The light output to the first arm waveguide 13 is directional coupler 2 while maintaining the TM mode.
It is incident on 2. On the other hand, the light output to the second arm waveguide 14 is incident on the backward directional coupler 22 after propagating through the polarization maintaining fiber 4 and the third arm waveguide 15.
At this time, the optical main axis is rotated by 90 degrees when entering the third arm waveguide 15 from the polarization maintaining fiber 4, and the light in the TM mode in the second arm waveguide 14 is the third mode. In the arm waveguide 15, it propagates as a TE mode. What is important here is the polarization maintaining fiber 4 connected to the second arm waveguide 14 and the third arm waveguide 15.
The reason is that the polarization mode of light is converted from the TM mode to the TE mode in the process of propagating through the second and third arm waveguides 14 and 15 because the direction of is twisted by 90 degrees. Therefore, the directions (parallel, vertical) of the optical main axes at the first and second connection ends may be reversed. Note that FIG. 1A also shows the state of the end face of the polarization-maintaining fiber so that the orientation of the fiber can be understood.

【００１９】ここで、２つの光路の光路長差をコヒーレ
ンス長以上の長さにしておけば、方向性結合器２２に入
力される２つの光は干渉することなく各々個別にその結
合率で分配される。最終的に第３のアーム導波路１５を
伝搬してきたＴＥモードの光と第１のアーム導波路１３
を伝搬してきたＴＭモードの光とが出力導波路１２に等
しいパワーで合波させるように方向性結合器２２の結合
率を設定することによって、無偏光な光を出力導波路１
２から取り出すことができる。Here, if the optical path length difference between the two optical paths is set to be equal to or longer than the coherence length, the two lights input to the directional coupler 22 are individually distributed at the coupling ratio without interference. To be done. The TE-mode light finally propagated through the third arm waveguide 15 and the first arm waveguide 13
By setting the coupling ratio of the directional coupler 22 so that the TM mode light propagating through the optical path is combined with the output waveguide 12 with the same power, unpolarized light is output.
2 can be taken out.

【００２０】実際に作製したデポラライザでは方向性結
合器２１および２２の結合率は、それぞれ４５％と５０
％になるよう設計し、第２および第３のアーム導波路１
４，１５の伝搬損失は偏波保持ファイバの伝搬損失およ
び接続損失とを合わせて１ｄＢと見積もった。ただし、
偏波保持ファイバの長さは、光源の線幅１ＭＨｚという
コヒーレンス長よりも十分に長く取って２００ｍとし
た。この結果、第２および第３のアーム導波路１４，１
５を伝搬して出力導波路１２に結合する光は入射光の−
６．６ｄＢ、第１のアーム導波路１３を伝搬して出力導
波路１２に結合する光もほぼ等しい−６．５ｄＢとな
り、出力導波路１２中で無偏光な光が実現できると予測
される。実際に測定した出力導波路１２からの出力光の
偏光度（光の中にどの程度偏光した光の成分があるかを
示す数字）は０．１であった。また、トータルの挿入損
失は４．５ｄＢであった。In the actually manufactured depolarizer, the coupling rates of the directional couplers 21 and 22 are 45% and 50, respectively.
% And designed for the second and third arm waveguides 1
The propagation loss of Nos. 4 and 15 was estimated to be 1 dB including the propagation loss and the connection loss of the polarization maintaining fiber. However,
The length of the polarization maintaining fiber is set to 200 m, which is sufficiently longer than the coherence length of 1 MHz of the light source. As a result, the second and third arm waveguides 14, 1
The light propagating through 5 and coupled to the output waveguide 12 is the incident light −
The light that propagates through the first arm waveguide 13 and is coupled to the output waveguide 12 is 6.6 dB, which is almost equal to −6.5 dB, and it is predicted that unpolarized light can be realized in the output waveguide 12. The actually measured polarization degree of the output light from the output waveguide 12 (a number indicating how much polarized light component exists in the light) was 0.1. The total insertion loss was 4.5 dB.

【００２１】実施例２ 図２（ａ）に実施例２のデポラライザの構成を、図２
（ｂ）に図２（ａ）のＢ−Ｂ線における拡大断面図を示
す。本実施例のデポラライザの動作原理はほぼ実施例１
と同じであり、実施例１と同一の部分には同一符号を付
して重複する説明は省略する。両者の相異点は実施例１
では第１の光カプラとして方向性結合器２１を用いてい
たのに対して、本実施例では結合率を可変に制御できる
チューナブルカプラ２３を用いた点である。２つの直交
した光を等しいパワーで結合させる必要があるデポララ
イザではカプラの結合率が僅かにずれることによってそ
の出力光の偏光度が大きく異なってしまう。一方、２本
の光導波路を近接して光の結合を行わせる方向性結合器
では、その結合率がわずかな作製誤差によって異なるの
で、光カプラを方向性結合器で構成した実施例１のデポ
ラライザは作製誤差によってその特性が大きく変化する
ものであった。本実施例は第１のカプラとして作製誤差
を補償できるチューナブルカプラ２３を用いることによ
って偏光度の小さいデポラライザを再現性良く作るため
のものである。Embodiment 2 FIG. 2A shows the configuration of the depolarizer of Embodiment 2 as shown in FIG.
FIG. 2B is an enlarged sectional view taken along line BB of FIG. The operation principle of the depolarizer of this embodiment is almost the same as that of the first embodiment.
The same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and overlapping description will be omitted. The difference between the two is the first embodiment.
In contrast, the directional coupler 21 is used as the first optical coupler, whereas the tunable coupler 23 capable of variably controlling the coupling rate is used in the present embodiment. In a depolarizer that needs to combine two orthogonal lights with equal power, the degree of polarization of the output light greatly differs due to a slight shift in the coupling rate of the coupler. On the other hand, in a directional coupler that allows two optical waveguides to be close to each other to perform light coupling, the coupling rate differs depending on a slight manufacturing error. Therefore, the depolarizer of the first embodiment in which the optical coupler is a directional coupler. The characteristics were significantly changed by the manufacturing error. This embodiment is intended to make a depolarizer having a small degree of polarization with good reproducibility by using a tunable coupler 23 capable of compensating a manufacturing error as the first coupler.

【００２２】ここで、簡単にチューナブルカプラ２３の
説明をする。チューナブルカプラ２３は図２（ａ）に示
すように、２つの方向性結合器２３ａとそれを結ぶ２本
のアーム２３ｂとからなるマッハツェンダ干渉計と、そ
れぞれのアーム２３ｂの光路長を１／１００光波長程度
の精度で制御するための熱光学位相シフタとからなる。
熱光学位相シフタとは図２（ｂ）中に示すように、導波
路表面に薄膜ヒータ２３ｃを設けたもので、薄膜ヒータ
２３ｃによって導波路温度を制御して、熱光学効果を介
してその光路長を制御するものである。この熱光学位相
シフタによってチューナブルカプラ２３の２つのアーム
２３ｂの光路長差を変化させることによって、その結合
率を任意の値に変化することが可能である。図３にチュ
ーナブルカプラ２３の２つの方向性結合器の結合率が５
０％のときのチューナブルカプラ２３全体での結合率特
性を薄膜ヒータ２３ｃへの供給電力に対する依存性とし
て示す。図から分かるように薄膜ヒータ２３ｃへの供給
電力を調節することによってその結合率を自由に変化さ
せることができる。Here, the tunable coupler 23 will be briefly described. As shown in FIG. 2A, the tunable coupler 23 includes a Mach-Zehnder interferometer including two directional couplers 23a and two arms 23b connecting the directional couplers 23a and an optical path length of each arm 23b of 1/100. It is composed of a thermo-optical phase shifter for controlling with an accuracy of about the light wavelength.
As shown in FIG. 2B, the thermo-optical phase shifter is a device in which a thin film heater 23c is provided on the surface of a waveguide. The thin film heater 23c controls the temperature of the waveguide so that the optical path can be controlled by the thermo-optical effect. It controls the length. By changing the optical path length difference between the two arms 23b of the tunable coupler 23 by this thermo-optical phase shifter, the coupling rate can be changed to an arbitrary value. In FIG. 3, the coupling ratio of the two directional couplers of the tunable coupler 23 is 5
The coupling rate characteristic of the entire tunable coupler 23 at 0% is shown as the dependence on the power supplied to the thin film heater 23c. As can be seen, the coupling rate can be freely changed by adjusting the power supplied to the thin film heater 23c.

【００２３】実際に作製したデポラライザはチューナブ
ルカプラ２３の結合率を４５％、方向性結合器２２の結
合率を５０％となるように設計を行ったが、薄膜ヒータ
２３ｃを駆動する前の作り付け状態の出力光の偏光度は
約０．２であった。偏光度が比較的大きくなってしまっ
た原因が２つのアームを伝搬した光が再結合するときの
パワーのアンバランスだとすると、それはチューナブル
カプラ２３の結合率を調節することによって改善できる
と予測される。実際にチューナブルカプラ２３の結合率
を適当に変化させてやることによって出力光の偏光度は
０．０５程度にまで抑圧することができた。また、この
ときの挿入損失は４．６ｄＢであった。The actually manufactured depolarizer was designed so that the coupling ratio of the tunable coupler 23 was 45% and the coupling ratio of the directional coupler 22 was 50%. However, the depolarizer was mounted before driving the thin film heater 23c. The polarization degree of the output light in the state was about 0.2. If the reason why the degree of polarization becomes relatively large is an imbalance in power when the light propagating through the two arms is recombined, it is predicted that it can be improved by adjusting the coupling rate of the tunable coupler 23. . By actually changing the coupling ratio of the tunable coupler 23 appropriately, the polarization degree of the output light could be suppressed to about 0.05. The insertion loss at this time was 4.6 dB.

【００２４】実施例３ 図４に実施例３のデポラライザの構成を示す。本実施例
のデポラライザの動作原理はほぼ実施例２と同じであ
り、実施例２と同一の部分には同一符号を付して重複す
る説明は省略する。両者の相異点は実施例２では第２の
光カプラとして方向性結合器２２を用いていたのに対し
て、本実施例ではその結合率が使用光波長に対してほと
んど変動しない５０％波長無依存カプラ２４を用いた点
である。Third Embodiment FIG. 4 shows the configuration of the depolarizer of the third embodiment. The operation principle of the depolarizer of the present embodiment is almost the same as that of the second embodiment, and the same parts as those of the second embodiment are designated by the same reference numerals and the duplicate description will be omitted. The difference between the two is that the directional coupler 22 is used as the second optical coupler in the second embodiment, but in the present embodiment, the coupling rate is 50% wavelength that does not fluctuate with respect to the used light wavelength. The point is that the independent coupler 24 is used.

【００２５】波長無依存カプラ２４（詳細については、
Ｋ．Ｊｉｎｇｕｊｉ ｅｔ ａｌ．，“Ｍａｃｈ−Ｚｅ
ｈｎｄｅｒ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ ｔｙｐｅ
ｏｐｔｉｃａｌ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ ｃｏｕｐｌｅ
ｒ ｗｉｔｈ ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ−ｆｌａｔｔｅｎ
ｅｄ ｃｏｕｐｌｉｎｇ ｒａｔｉｏ”，Ｅｌｅｃｔｒ
ｏｎ．Ｌｅｔｔ．，ｖｏｌ．２６，ｐｐ．１３２６−１
３２７（１９９０）を参照）は、２つの方向性結合器２
４ａと互いに僅かな光路長差を有する２つのアーム導波
路２４ｂとから構成される。その原理は方向性結合器の
波長依存性を、マッハツェンダ干渉計の２つのアームの
僅かな光路長差で生じる位相ズレで補償するものであ
る。Wavelength independent coupler 24 (for details, see
K. Jinguji et al. , "Mach-Ze
hunder interferometer type
optical wave couple couple
r with wavelength-flatten
ed coupling ratio ", Electr
on. Lett. , Vol. 26, pp. 1326-1
327 (see 1990)), two directional couplers 2
4a and two arm waveguides 24b having a slight optical path length difference from each other. The principle is to compensate the wavelength dependence of the directional coupler with a phase shift caused by a slight difference in optical path length between the two arms of the Mach-Zehnder interferometer.

【００２６】本実施例の特徴はチューナブルカプラ２３
の結合率を制御することによって使用波長によらず常に
デポラライザとして機能することである。一般に方向性
結合器の結合率は使用波長によって変化する。よって、
実施例１のデポラライザの偏光度は特定の使用波長では
僅かに０．１まで抑圧できたが、使用波長が変わってし
まうとその偏光度はもっと大きくなってしまう。本実施
例では第２のカプラとして結合率５０％の波長無依存カ
プラ２４を用いているため使用波長が変わってもその都
度チューナブルカプラ２３の結合率を４５％に再調整す
れば任意の波長でデポラライザとして機能する。The feature of this embodiment is that the tunable coupler 23 is used.
That is, it always functions as a depolarizer regardless of the wavelength used by controlling the coupling ratio of the. Generally, the coupling rate of the directional coupler changes depending on the wavelength used. Therefore,
Although the polarization degree of the depolarizer of Example 1 could be suppressed to only 0.1 at a specific use wavelength, if the use wavelength is changed, the polarization degree becomes larger. In this embodiment, since the wavelength-independent coupler 24 having the coupling rate of 50% is used as the second coupler, the wavelength of the tunable coupler 23 can be adjusted to 45% at each wavelength even if the wavelength used changes. Functions as a depolarizer.

【００２７】実際に作製したデポラライザの出力光の偏
光度は１．３μｍの光に対して０．０６、１．５５μｍ
の光に対して０．０７が実現できた。また、このときの
挿入損失は１．３μｍで５．７ｄＢ、１．５５μｍで
４．９ｄＢであった。The polarization degree of the output light of the actually produced depolarizer is 0.06 and 1.55 μm for 1.3 μm light.
0.07 could be achieved for the light. The insertion loss at this time was 5.7 dB at 1.3 μm and 4.9 dB at 1.55 μm.

【００２８】実施例４ 図５（ａ）に実施例４のデポラライザの構成を、図５
（ｂ）に図５（ａ）のＣ−Ｃ線における拡大断面図を示
す。本実施例のデポラライザの動作原理はほぼ実施例２
と同じであり、実施例２と同一の部分には同一符号を付
して重複する説明は省略する。両者の相異点は実施例２
では第２の光カプラとして方向性結合器２２を用いてい
たのに対して、本実施例では導波路型偏波ビームスプリ
ッタ２５を用いた点である。Embodiment 4 FIG. 5 (a) shows the configuration of the depolarizer of Embodiment 4 as shown in FIG.
FIG. 5B shows an enlarged cross-sectional view taken along the line CC of FIG. The operation principle of the depolarizer of this embodiment is almost the same as that of the second embodiment.
The same parts as those in the second embodiment are designated by the same reference numerals, and the duplicated description will be omitted. The difference between the two is the second embodiment.
In contrast, the directional coupler 22 is used as the second optical coupler, whereas the waveguide type polarization beam splitter 25 is used in the present embodiment.

【００２９】導波路型偏波ビームスプリッタ２５（詳細
については、奥野他「複屈折制御技術を用いた石英系プ
レーナ光波回路偏波ビームスプリッタ」’９０秋季信学
Ｃ−２１５，４−２５７を参照）は、図５（ａ）に示す
ように２つの方向性結合器２５ａと２本のアーム２５ｂ
とからなるマッハツェンダ干渉計と、その一方のアーム
２５ｂにおける複屈折を制御するための応力付与膜２５
ｃと、光路長を制御するために他方のアームに設けられ
た熱光学位相シフタとからなる。熱光学位相シフタに関
しては前述の通りであり、導波路表面に設けた薄膜ヒー
タ２５ｄによって導波路の光路長を制御するものであ
る。応力付与膜２５ｃによる導波路複屈折制御は、図５
（ｂ）に示すように導波路表面にａ−Ｓｉなどの内部応
力を有する膜を作製することによって実現されている。
この位相シフタと複屈折制御器を使用することによっ
て、例えばＴＥモードに対しては２つのアーム２５ｂの
光路長差が等しく、ＴＭモードに対しては２つのアーム
の２５ｂの光路長差が使用波長の１／２となるよう設定
できる。これによって、マッハツェンダ干渉計はＴＥモ
ードはクロスに、ＴＭモードはスルーに透過する偏波ビ
ームスプリッタとして機能する。Waveguide-type polarization beam splitter 25 (For details, refer to Okuno et al., "Silica-based planar lightwave circuit polarization beam splitter using birefringence control technology", '90 Autumn Shinji C-215, 4-257. ) Is two directional couplers 25a and two arms 25b as shown in FIG. 5 (a).
And a stress applying film 25 for controlling birefringence in one arm 25b thereof.
c and a thermo-optical phase shifter provided on the other arm for controlling the optical path length. The thermo-optical phase shifter is as described above, and the optical path length of the waveguide is controlled by the thin film heater 25d provided on the waveguide surface. The waveguide birefringence control by the stress applying film 25c is shown in FIG.
This is realized by forming a film having an internal stress such as a-Si on the waveguide surface as shown in (b).
By using this phase shifter and the birefringence controller, for example, the optical path length difference between the two arms 25b is the same for the TE mode, and the optical path length difference between the two arms 25b is the operating wavelength for the TM mode. It can be set to 1/2. As a result, the Mach-Zehnder interferometer functions as a polarization beam splitter that allows TE mode to cross and TM mode to pass through.

【００３０】入力導波路１１からＴＭモードとして入射
された光は、チューナブルカプラ２３で２つの光に分配
され、第１のアーム導波路１３を透過した光はＴＭモー
ドのまま偏波ビームプリッタ２５に入射される。一方、
第２のアーム導波路１４に入射した光は偏波保持ファイ
バ４を透過した後ＴＥモードに変換されて第３のアーム
導波路１５を伝搬し、偏波ビームスプリッタ２５に入射
される。ここで偏波ビームスプリッタ２５は、前述のよ
うにＴＥモードはクロスに、ＴＭモードはスルーに透過
するため、第１のアーム導波路１３からのＴＭモードの
光および第３のアーム導波路１５からのＴＥモードの光
は合波されて出力導波路１２から出力される。本実施例
の特徴は、実施例１〜３までの構成では第２のカプラで
互いに位相関係のない光を合波したときに２つの出力導
波路１２に光が分配されるため原理的に３ｄＢの挿入損
失があった。しかしながら本実施例は第２のカプラとし
て偏波ビームスプリッタ２５を用いているために、原理
的に全ての光を１本の出力導波路１２から出力させるこ
とができる。すなわち、デポラライザの挿入損失を原理
的には０にすることができる。The light incident in the TM mode from the input waveguide 11 is split into two lights by the tunable coupler 23, and the light transmitted through the first arm waveguide 13 remains in the TM mode in the polarization beam splitter 25. It is incident. on the other hand,
The light that has entered the second arm waveguide 14 is transmitted through the polarization maintaining fiber 4 and then converted into the TE mode, propagates through the third arm waveguide 15, and enters the polarization beam splitter 25. Here, the polarization beam splitter 25 transmits the TE mode to the cross and the TM mode to the through as described above. Therefore, the TM mode light from the first arm waveguide 13 and the third arm waveguide 15 are transmitted. The TE mode light is combined and output from the output waveguide 12. The feature of the present embodiment is that in the configurations of the first to third embodiments, the light is distributed to the two output waveguides 12 when the lights having no phase relationship with each other are combined by the second coupler. There was an insertion loss of. However, in the present embodiment, since the polarization beam splitter 25 is used as the second coupler, it is possible in principle to output all the light from one output waveguide 12. That is, the insertion loss of the depolarizer can be set to 0 in principle.

【００３１】実際に作製したデポラライザは出力光の偏
光度が０．０５、挿入損失が１．６ｄＢであった。The actually manufactured depolarizer had a polarization degree of output light of 0.05 and an insertion loss of 1.6 dB.

【００３２】実施例５ 図６（ａ）に実施例５のデポラライザの構成を、図６
（ｂ）に図６（ａ）の薄膜偏光子４１付近の拡大図を示
す。本実施例のデポラライザの動作原理はほぼ実施例４
と同じであり、実施例４と同一の部分には同一符号を付
して重複する説明は省略する。両者の相異点は本実施例
では第１および第３のアーム導波路１３および１５にそ
れぞれ薄膜偏光子４１および４２を挿入することによっ
て各々の光の直線偏光度を高くした点にある。薄膜偏光
子としては、例えば、真空蒸着法で石英ガラスとアルミ
ニュームを多層に堆積することによって１．３〜１．５
５μｍの波長で極めて高い消光比を持つもの（「ラミポ
ール」という名前で市販されている）を形成することが
でき、これを用いればよい。この薄膜偏光子は厚みが３
０μｍと薄いため、光導波路にダイシングソーで作製し
た溝４３に低損失で挿入することができる。Embodiment 5 FIG. 6A shows the structure of the depolarizer of Embodiment 5 as shown in FIG.
FIG. 6B is an enlarged view of the vicinity of the thin film polarizer 41 of FIG. The operation principle of the depolarizer of this embodiment is almost the same as that of the fourth embodiment.
The same parts as those in the fourth embodiment are designated by the same reference numerals, and the duplicated description will be omitted. The difference between the two is that in this embodiment, the linear polarization degree of each light is increased by inserting the thin film polarizers 41 and 42 into the first and third arm waveguides 13 and 15, respectively. The thin film polarizer is, for example, 1.3 to 1.5 by depositing quartz glass and aluminum in multiple layers by a vacuum vapor deposition method.
Those having a very high extinction ratio at a wavelength of 5 μm (commercially available under the name “Lamipol”) can be formed, and this may be used. This thin film polarizer has a thickness of 3
Since it is as thin as 0 μm, it can be inserted into the groove 43 formed in the optical waveguide with a dicing saw with low loss.

【００３３】実施例４で作製したデポラライザの偏光度
が０．０５以下にならなかった理由は、第２のカプラで
合波された２つの光の偏波状態が完全に直交していなか
ったせいであると考えられるが、薄膜偏光子４１および
４２をそれぞれ９０度向きを変えて挿入することによっ
て２つの光の偏波状態を直交させた。すなわち、偏光子
４１はＴＥモードのみを透過し、偏光子４２はＴＭモー
ドのみを透過するように溝４３に挿入した。この結果、
本実施例のデポラライザでは出力光の偏光度を０．０１
まで抑圧することができた。また、挿入損失は２．１ｄ
Ｂであった。The reason why the polarization degree of the depolarizer produced in Example 4 was not less than 0.05 is that the polarization states of the two lights combined by the second coupler were not completely orthogonal. However, the polarization states of the two lights were made orthogonal by inserting the thin film polarizers 41 and 42 with their directions turned 90 degrees. That is, the polarizer 41 was inserted in the groove 43 so that only the TE mode was transmitted and the polarizer 42 was transmitted only in the TM mode. As a result,
In the depolarizer of this embodiment, the degree of polarization of output light is 0.01
I was able to suppress it. The insertion loss is 2.1d
It was B.

【００３４】実施例６ 図７に実施例６のデポラライザの構成を示す。本実施例
のデポラライザの動作原理はほぼ実施例１と同じであ
り、実施例１と同一の部分には同一符号を付して重複す
る説明は省略する。両者の相違点は以下の２点である。
すなわち、実施例１では光を２つのアーム導波路１３お
よび１４に分岐するために方向性結合器２１を用いてい
たのに対して、本実施例ではＹ分岐２６を用いた点と、
実施例１では２つのアーム導波路１３および１５の光を
合波するのに方向性結合器２２を用いたのに対して、本
実施例ではＹ分岐２７を用いた点である。石英系光導波
路を用いる場合は精度良く方向性結合器を作製すること
ができるが、拡散導波路では設計どうりの結合率を持つ
方向性結合器を再現性良く作ることが難しい。そのよう
な場合は本実施例の構成のようにＹ分岐を用いることに
よって同等の機能を有するデポラライザを実現すること
ができる。Sixth Embodiment FIG. 7 shows the structure of the depolarizer of the sixth embodiment. The operation principle of the depolarizer of this embodiment is almost the same as that of the first embodiment, and the same parts as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals and the duplicated description will be omitted. The differences between the two are the following two points.
That is, in the first embodiment, the directional coupler 21 is used to branch the light into the two arm waveguides 13 and 14, whereas in the present embodiment, the Y branch 26 is used.
In the first embodiment, the directional coupler 22 is used to combine the lights of the two arm waveguides 13 and 15, whereas in the present embodiment, the Y branch 27 is used. When using a silica-based optical waveguide, a directional coupler can be manufactured with high accuracy, but it is difficult to reproducibly manufacture a directional coupler having a coupling ratio as designed by using a diffusion waveguide. In such a case, a depolarizer having an equivalent function can be realized by using the Y branch as in the configuration of this embodiment.

【００３５】以上本実施例では石英系光導波回路を用い
た場合に関して説明を行ってきたが、本特許はイオン交
換導波路、拡散導波路などいずれの導波路を用いても可
能であることを付記しておく。Although the present embodiment has been described with respect to the case of using the silica-based optical waveguide circuit, this patent shows that any waveguide such as an ion exchange waveguide or a diffusion waveguide can be used. Please note.

【００３６】また、実施例１〜６まで何種類かの光分岐
部と光合波部とを有するデポラライザを示したが、これ
らはいずれを組み合わせても本発明となることも付記し
ておく。Although the depolarizers having several kinds of optical branching portions and optical multiplexing portions have been shown in Examples 1 to 6, it should be additionally noted that any of these may be combined to form the present invention.

【００３７】[0037]

【発明の効果】以上説明したように本発明のデポラライ
ザは、光導波回路と偏波保持ファイバのみを用いたもの
であるため、振動、温度などの環境変動に対して極めて
安定でり、小型かつ廉価である。As described above, since the depolarizer of the present invention uses only the optical waveguide circuit and the polarization maintaining fiber, it is extremely stable against environmental changes such as vibration and temperature, and is small in size. It is cheap.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】実施例１に係り、（ａ）はデポラライザの構成
図、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ａ線における拡大断面図で
ある。1A and 1B relate to Example 1 and FIG. 1A is a configuration diagram of a depolarizer, and FIG. 1B is an enlarged cross-sectional view taken along the line AA in FIG.

【図２】実施例２に係り、（ａ）は実施例２のデポララ
イザの構成図、（ｂ）は（ａ）中のＢ−Ｂ線における拡
大断面図である。2A and 2B relate to the second embodiment, FIG. 2A is a configuration diagram of a depolarizer of the second embodiment, and FIG. 2B is an enlarged cross-sectional view taken along line BB in FIG.

【図３】図２のチューナブルカプラを説明するための図
である。FIG. 3 is a diagram for explaining the tunable coupler of FIG.

【図４】実施例３のデポラライザの構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of a depolarizer according to a third embodiment.

【図５】実施例４に係り、（ａ）は実施例４のデポララ
イザの構成図、（ｂ）は（ａ）中のＣ−Ｃ線における拡
大断面図である。5A and 5B relate to Example 4, FIG. 5A is a configuration diagram of a depolarizer of Example 4, and FIG. 5B is an enlarged cross-sectional view taken along line CC in FIG. 5A.

【図６】実施例５に係り、（ａ）は実施例５のデポララ
イザの構成図、（ｂ）は（ａ）中の薄膜偏光子４１付近
の拡大図である。FIG. 6 relates to Example 5, (a) is a configuration diagram of a depolarizer of Example 5, and (b) is an enlarged view of the vicinity of the thin film polarizer 41 in (a).

【図７】実施例６のデポラライザの構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram of a depolarizer according to a sixth embodiment.

【図８】従来技術のデポラライザの構成図である。FIG. 8 is a block diagram of a conventional depolarizer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ シリコン基板 ２ クラッドガラス層 ３ コアガラス ４ 偏波保持ファイバ １１ 入力導波路 １２ 出力導波路 １３ 第１のアーム導波路 １４ 第２のアーム導波路 １５ 第３のアーム導波路 ２１ 第１の方向性結合器 ２２ 第２の方向性結合器 ２３ チューナブルカプラ ２３ｃ 薄膜ヒータ ２４ 波長無依存カプラ ２５ 偏波ビームスプリッタ ２６ 第１のＹ分岐 ２７ 第２のＹ分岐 ２５ｃ 薄膜ヒータ ２５ｄ ａ−Ｓｉ応力付与膜 ４１，４２ 薄膜偏光子 ４３ 薄膜偏光子挿入用溝 1 Silicon Substrate 2 Clad Glass Layer 3 Core Glass 4 Polarization-Maintaining Fiber 11 Input Waveguide 12 Output Waveguide 13 First Arm Waveguide 14 Second Arm Waveguide 15 Third Arm Waveguide 21 First Directionality Coupler 22 Second directional coupler 23 Tunable coupler 23c Thin film heater 24 Wavelength independent coupler 25 Polarization beam splitter 26 First Y branch 27 Second Y branch 25c Thin film heater 25d a-Si stress imparting film 41 , 42 Thin film polarizer 43 Groove for inserting thin film polarizer

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 二次元平面基板上に構成される光導波回
路と偏波保持光ファイバとによって構成されるデポララ
イザであって、 前記光導波回路には、入力導波路と、この入力導波路に
接続されて該入力導波路から入力された入力光を分波し
て第１および第２の出力部に出力する光分波器と、第１
および第２の入力部から入力された光を合波して出力す
る光合波器と、この光合波器の出力部に接続されて合波
された光を出力する出力光導波路と、一端が前記光分波
器の前記第１の出力部に接続され他端が前記光合波器の
前記第１の入力部に接続される第１のアーム導波路と、
一端が前記光分波器の前記第２の出力部に接続され他端
が前記偏波保持光ファイバとの第１の接続端となる第２
のアーム導波路と、一端が前記光合波器の前記第２の入
力部に接続され他端が前記偏波保持光ファイバとの第２
の接続端となる第３のアーム導波路とが形成されてお
り、 前記偏波保持ファイバは前記光導波路の前記第１および
第２の接続端に接続され、これら接続端における前記第
２のアーム導波路または前記第３のアーム導波路の光学
主軸と当該偏波保持光ファイバの光学主軸とは、何れか
一方の接続端では互いに平行で他方の接続端では互いに
直交する関係となっていることを特徴とするデポラライ
ザ。1. A depolarizer comprising an optical waveguide circuit formed on a two-dimensional flat substrate and a polarization maintaining optical fiber, wherein the optical waveguide circuit comprises an input waveguide and an input waveguide. An optical demultiplexer that is connected and demultiplexes the input light input from the input waveguide and outputs the demultiplexed light to the first and second output sections;
And an optical multiplexer that multiplexes and outputs the light input from the second input section, an output optical waveguide that is connected to the output section of the optical multiplexer and outputs the combined light, and A first arm waveguide connected to the first output section of the optical demultiplexer and having the other end connected to the first input section of the optical multiplexer;
A second end, one end of which is connected to the second output part of the optical demultiplexer and the other end of which is a first connection end with the polarization maintaining optical fiber.
Second arm waveguide and one end connected to the second input section of the optical multiplexer and the other end connected to the polarization maintaining optical fiber.
A third arm waveguide serving as a connection end of the optical waveguide is connected to the first and second connection ends of the optical waveguide, and the second arm at these connection ends is formed. The optical axis of the waveguide or the third arm waveguide and the optical axis of the polarization-maintaining optical fiber are parallel to each other at one connection end and orthogonal to each other at the other connection end. Depolarizer characterized by.