JPH07154195A - Ladder filter - Google Patents
Ladder filterInfo
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- JPH07154195A JPH07154195A JP6229797A JP22979794A JPH07154195A JP H07154195 A JPH07154195 A JP H07154195A JP 6229797 A JP6229797 A JP 6229797A JP 22979794 A JP22979794 A JP 22979794A JP H07154195 A JPH07154195 A JP H07154195A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも１個の直列
共振子及び少なくとも１個の並列共振子が梯子状に接続
されたラダー型フィルタに関し、特に、直列共振子及び
並列共振子を構成する共振子の構造が改良されたラダー
型フィルタに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ladder type filter in which at least one series resonator and at least one parallel resonator are connected in a ladder shape, and particularly, the series resonator and the parallel resonator are formed. The present invention relates to a ladder type filter having an improved resonator structure.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のラダー型フィルタの構造の一例を
図１に示す。このラダー型フィルタは、角板の拡がり振
動モードを利用した複数の圧電共振子を用いて構成され
ている。すなわち、矩形板状の直列共振子１，２及び同
じく矩形板状の並列共振子３，４を用いて、図２の回路
図で示す４素子２段型のラダー型フィルタが構成されて
いる。2. Description of the Related Art An example of the structure of a conventional ladder type filter is shown in FIG. This ladder type filter is configured by using a plurality of piezoelectric resonators that utilize the spreading vibration mode of a rectangular plate. That is, the four-element two-stage ladder type filter shown in the circuit diagram of FIG. 2 is configured using the rectangular plate-shaped series resonators 1 and 2 and the rectangular plate-shaped parallel resonators 3 and 4.
【０００３】なお、図１において、２ａは直列共振子の
一方主面に形成された電極を示し、直列共振子２の他方
主面側にも、同様の電極が形成されている。また、直列
共振子１の両主面にも、同様の電極が形成されている。
他方、並列共振子３，４には、両主面の全面に電極３
ａ，４ａが形成されている。In FIG. 1, reference numeral 2a denotes an electrode formed on one main surface of the series resonator, and a similar electrode is formed on the other main surface side of the series resonator 2. Similar electrodes are formed on both main surfaces of the series resonator 1.
On the other hand, the parallel resonators 3 and 4 have electrodes 3 on the entire surfaces of both principal surfaces.
a and 4a are formed.
【０００４】また、５〜１１は、金属端子を示し、直列
共振子１，２及び並列共振子３，４を図２に示すように
相互に電気的に接続するために用いられている。この金
属端子５〜１１は、直列共振子１，２及び並列共振子
３，４と共に、絶縁性材料よりなるケース材１２内に収
納される。また、図示しない蓋材によりケース材１２の
上方開口１２ａが閉成されてラダー型フィルタ部品が構
成される。この場合、金属端子９〜１１がケース外に引
き出され、外部との接続端子として利用される。Reference numerals 5 to 11 denote metal terminals, which are used to electrically connect the series resonators 1 and 2 and the parallel resonators 3 and 4 to each other as shown in FIG. The metal terminals 5 to 11 are housed in a case member 12 made of an insulating material together with the series resonators 1 and 2 and the parallel resonators 3 and 4. In addition, a lid member (not shown) closes the upper opening 12a of the case member 12 to form a ladder-type filter component. In this case, the metal terminals 9 to 11 are pulled out of the case and used as connection terminals with the outside.
【０００５】ところで、上記ラダー型フィルタを駆動す
る場合、直列共振子１，２及び並列共振子３，４がケー
ス内に収納された状態で所望の態様で振動し得ることが
必要である。すなわち、ケース内に収納された状態で、
各共振子１〜４の振動が妨げられてはならない。そこ
で、端部に位置する金属端子１１としてはばね性を有す
る、いわゆるばね端子が用いられている。When driving the ladder type filter, it is necessary that the series resonators 1 and 2 and the parallel resonators 3 and 4 can vibrate in a desired manner while being housed in a case. That is, in the state of being stored in the case,
The vibration of each resonator 1-4 should not be disturbed. Therefore, a so-called spring terminal having a spring property is used as the metal terminal 11 located at the end.
【０００６】図１のラダー型フィルタでは、ケースに収
納した状態の共振子１〜４の振動を妨げないために、金
属端子１１として、ばね端子が用いられていたため、か
なりの不要空間が形成され、そのためラダー型フィルタ
全体の大きさがかなり大きくなりがちであった。例え
ば、図示した４素子内蔵の２段のラダー型フィルタにお
いて、最終的なラダー型フィルタ部品として構成した場
合の寸法は、７．０ｍｍ×８．０ｍｍ×厚み８．０ｍｍ
程度の大きさとなっていた。In the ladder type filter shown in FIG. 1, a spring terminal is used as the metal terminal 11 in order to prevent the vibration of the resonators 1 to 4 housed in the case, so that a considerable unnecessary space is formed. Therefore, the size of the entire ladder type filter tends to be considerably large. For example, in the illustrated two-stage ladder type filter with four built-in elements, the dimensions of the final ladder type filter component are 7.0 mm × 8.0 mm × thickness 8.0 mm.
It was about the size.
【０００７】また、近年、他の電子部品と同様に、ラダ
ー型フィルタにおいても面実装型電子部品として構成さ
れたものが求められている。そこで、特開平４−２８４
０１号公報には、全体形状を小型にすることができ、か
つ面実装型電子部品として構成し得るラダー型フィルタ
が提案されている。このラダー型フィルタでは、直列共
振子及び並列共振子が、圧電板の１つの端縁において音
叉状振動部を構成してなる音叉型圧電共振子により構成
されている。そして、直列共振子及び並列共振子を構成
する複数の音叉型圧電共振子が、互いの音叉状振動部の
振動を妨げないための空洞を確保するための空洞形成材
を介して積層されて一体化されている。Further, in recent years, as with other electronic components, there is a demand for a ladder filter configured as a surface mount electronic component. Therefore, Japanese Patent Laid-Open No. 4-284
The publication No. 01 proposes a ladder type filter which can be downsized in its overall shape and can be configured as a surface mount type electronic component. In this ladder type filter, the series resonator and the parallel resonator are constituted by a tuning fork type piezoelectric resonator having a tuning fork-like vibrating portion formed at one edge of the piezoelectric plate. A plurality of tuning-fork type piezoelectric resonators constituting the series resonator and the parallel resonator are laminated via a cavity forming material for ensuring a cavity for preventing the vibration of the tuning fork-shaped vibrating part from being integrated with each other. Has been converted.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上述した音叉型圧電共
振子を用いたラダー型フィルタでは、組み立て工程の簡
略化、小型化及び面実装化を果たすことができる。しか
しながら、音叉型圧電共振子を用いたものであるため、
充分な帯域幅を確保することができないという問題があ
った。In the ladder type filter using the tuning fork type piezoelectric resonator described above, the assembling process can be simplified, the size can be reduced, and the surface mounting can be achieved. However, since the tuning fork type piezoelectric resonator is used,
There is a problem that a sufficient bandwidth cannot be secured.
【０００９】本発明の目的は、製造工程の簡略化、小型
化及び面実装化を果たし得るだけでなく、充分な帯域幅
を確保し得るラダー型フィルタを提供することにある。An object of the present invention is to provide a ladder type filter which can not only achieve simplification of manufacturing process, miniaturization and surface mounting, but also can secure a sufficient bandwidth.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は、直列腕を構成
する少なくとも１個の直列共振子と、並列腕を構成する
少なくとも１個の並列共振子とを備えるラダー型フィル
タであり、前記直列共振子及び並列共振子のうち、少な
くとも１個の共振子が、幅拡がりモードを利用したエネ
ルギー閉じ込め型共振子により構成されていることを特
徴とする。The present invention is a ladder type filter comprising at least one series resonator constituting a series arm and at least one parallel resonator constituting a parallel arm. At least one of the resonator and the parallel resonator is configured by an energy trap type resonator that utilizes a width-spreading mode.
【００１１】上記幅拡がりモードを利用したエネルギー
閉じ込め型共振子は、短辺の長さがａ、長辺の長さがｂ
であり、ポアソン比をσとしたときに、前記長辺と短辺
の長さの比ｂ／ａが、In the energy trap type resonator utilizing the width-spreading mode, the short side length is a and the long side length is b.
And when the Poisson's ratio is σ, the ratio b / a of the lengths of the long side and the short side is
【００１２】[0012]
【数２】 [Equation 2]
【００１３】を満たす値を中心として±１０％の範囲内
とされている矩形板状の振動体を用いて構成されてい
る。A rectangular plate-shaped vibrating body having a value within a range of ± 10% centering on a value satisfying the above condition is used.
【００１４】好ましくは、上記ラダー型フィルタにおい
ては、上記エネルギー閉じ込め型共振子において、振動
体の短辺略中央に連結された支持部をさらに備える。こ
の場合、上記幅拡がりモードを利用したエネルギー閉じ
込め型共振子では、振動体の短辺略中央と、主面中央に
ノード点が存在する。従って、短辺略中央に支持部を連
結することにより、エネルギー閉じ込め型共振子の振動
を妨げることなく、振動体を支持部により支持すること
ができる。Preferably, the ladder filter further includes a support portion connected to the center of the short side of the vibrator in the energy trap resonator. In this case, in the energy trap type resonator using the width-spreading mode, there are node points at the approximate center of the short side of the vibrator and the center of the main surface. Therefore, by connecting the supporting portion to the center of the short side, the vibrating body can be supported by the supporting portion without disturbing the vibration of the energy trap type resonator.
【００１５】さらに、好ましくは、上記支持部が、振動
体の両側の短辺略中央に連結され、それによって、両側
から振動体の振動を妨げることなく支持部により支持し
得るため、より安定なラダー型フィルタを構成し得る。Further, preferably, the supporting portion is connected to substantially the center of the short sides on both sides of the vibrating body, whereby it can be supported by the supporting portion without disturbing the vibration of the vibrating body from both sides, so that it is more stable. A ladder type filter can be constructed.
【００１６】より好ましくは、外部との接合を容易とす
るために、上記支持部の外側端には保持部が連結され
る。さらに、上記支持部の外側端に連結された動吸振部
と、動吸振部の外側に接続された連結部とを設けてもよ
く、この場合には、連結部の外側端に上記保持部が連結
される。More preferably, a holding portion is connected to the outer end of the support portion in order to facilitate connection with the outside. Further, a dynamic vibration absorbing part connected to the outer end of the supporting part, and a connecting part connected to the outer side of the dynamic vibration absorbing part may be provided, and in this case, the holding part is provided at the outer end of the connecting part. Be connected.
【００１７】本発明のある特定的な例では、上記保持部
は矩形枠状の部材よりなり、該枠状の部材の開口内に上
記振動体が配置される。この構造では、振動体の側方が
矩形枠状の部材で囲まれるため、密封性に優れたラダー
型フィルタを容易に構成することができる。より好まし
くは、上記枠状の部材と、振動体及び支持部等が同一部
材により一体に構成され、従って各部材の接合部分をな
くすことにより、より一層密封性を高め得る。In a specific example of the present invention, the holding portion is made of a rectangular frame-shaped member, and the vibrating body is arranged in an opening of the frame-shaped member. In this structure, since the side of the vibrating body is surrounded by the rectangular frame-shaped member, it is possible to easily configure a ladder-type filter having excellent sealing performance. More preferably, the frame-shaped member, the vibrating body, the support portion, and the like are integrally formed of the same member. Therefore, by eliminating the joint portion of each member, the sealing performance can be further enhanced.
【００１８】なお、上記振動体は、好ましくは圧電共振
子により構成され、このような圧電共振子としては、分
極処理された圧電板の両主面に共振電極を形成したもの
を挙げることができる。圧電板としては、圧電セラミッ
クス、圧電単結晶もしくは水晶などからなるものを用い
ることができる。また、上記圧電共振子は、圧電板を用
いずとも構成することができ、例えば金属板や半導体板
の表面に圧電薄膜を形成し、さらに共振電極を形成した
構造であってもよい。The vibrating body is preferably composed of a piezoelectric resonator, and as such a piezoelectric resonator, there can be mentioned one in which a resonant electrode is formed on both main surfaces of a polarized piezoelectric plate. . As the piezoelectric plate, one made of piezoelectric ceramics, piezoelectric single crystal, crystal, or the like can be used. The piezoelectric resonator can be configured without using a piezoelectric plate, and may have a structure in which a piezoelectric thin film is formed on the surface of a metal plate or a semiconductor plate, and a resonance electrode is further formed.
【００１９】[0019]
【作用及び発明の効果】本発明に係るラダー型フィルタ
では、直列共振子及び並列共振子のうち少なくとも１個
の共振子が、上記幅拡がりモードを利用したエネルギー
閉じ込め型圧電共振子により構成されている。幅拡がり
モードとは、後述の実施例から明らかなように、矩形板
状の振動体の振動モードの一つであり、正方形板の振動
体の拡がりモード振動と、長方形板の振動体の幅モード
振動との間の振動姿態をとる振動モードである。In the ladder type filter according to the present invention, at least one of the series resonator and the parallel resonator is constituted by the energy trapping type piezoelectric resonator utilizing the above-mentioned widening mode. There is. The width-spreading mode is one of the vibration modes of the rectangular plate-shaped vibrating body, as is clear from the examples described later, and the spreading mode vibration of the square-plate vibrating body and the width mode of the rectangular-plate vibrating body. It is a vibration mode that takes a vibration mode between vibration and vibration.
【００２０】従って、幅拡がりモードを利用した上記圧
電共振子では、振動体の両短辺中央に支持部を単に固着
又は一体に構成するだけで振動体を支持することができ
るため、支持構造を簡略化することができる。よって、
上記支持部の外側に設けられた保持部を利用して他の共
振子と組み合わせることにより、小型のラダー型フィル
タを構成することができる。Therefore, in the above-mentioned piezoelectric resonator utilizing the width-spreading mode, the vibrating body can be supported by simply fixing or integrally forming the supporting portions at the centers of both short sides of the vibrating body. It can be simplified. Therefore,
A small ladder-type filter can be constructed by using the holding portion provided outside the supporting portion and combining it with another resonator.
【００２１】しかも、上記振動体は幅拡がりモードで振
動されるため、従来に比べて広い帯域を有するラダー型
フィルタを得ることも可能である。本発明では、上記幅
拡がりモードを利用した振動体において、矩形板状の振
動体の短辺と長辺との比が上記特定の範囲内とされてい
ることにより、幅拡がりモードが効率よく励振される。
これは、本願発明者により実験的に確かめられたもので
ある。Moreover, since the vibrating body vibrates in the widening mode, it is possible to obtain a ladder type filter having a wider band than the conventional one. In the present invention, in the vibrating body using the width-spreading mode, the width-spreading mode is efficiently excited by setting the ratio of the short side to the long side of the rectangular plate-shaped vibrating body within the specific range. To be done.
This has been experimentally confirmed by the inventor of the present application.
【００２２】また、請求項５に記載のように、動吸振部
を設けた場合には、動吸振現象により、振動エネルギー
を動吸振部までの部分に効果的に閉じ込めることができ
る。なお、動吸振現象の詳細は、例えば、谷口修著「振
動工学」第１１３頁〜１１６頁（コロナ社発行）に記載
されている。簡単に言えば、動吸振現象とは、振動が防
止されるべき主振動体に副振動体を連結し、該副振動体
の固有振動数を選択することにより、主振動体の振動が
抑制される現象を言い、上記動吸振部は、動吸振現象に
おける副振動体に相当し、上記振動体から伝わって振動
している支持部が主振動体に相当することになる。When the dynamic vibration absorbing portion is provided as described in claim 5, the vibration energy can be effectively trapped in the portion up to the dynamic vibration absorbing portion due to the dynamic vibration absorbing phenomenon. The details of the dynamic vibration absorption phenomenon are described, for example, in Osamu Taniguchi, "Vibration Engineering", pp. 113-116 (published by Corona Publishing Co.). To put it simply, the dynamic vibration absorption phenomenon means that the vibration of the main vibrating body is suppressed by connecting the sub vibrating body to the main vibrating body whose vibration is to be prevented and selecting the natural frequency of the sub vibrating body. The dynamic vibration absorbing portion corresponds to the sub-vibration body in the dynamic vibration absorbing phenomenon, and the support portion transmitted from the vibration body and vibrating corresponds to the main vibration body.
【００２３】請求項５に記載の発明では、少なくとも１
個の共振子が、上記動吸振部を有する圧電共振子により
構成されているが、該動吸振部を設けたことにより、エ
ネルギー閉じ込め効率が高められている。従って、従来
のすべり振動モードを利用したエネルギー閉じ込め圧電
共振子に比べて、圧電共振子をより一層小型に構成する
ことができるので、ラダー型フィルタの小型化を促進す
ることができる。According to the invention of claim 5, at least 1
Each of the resonators is composed of a piezoelectric resonator having the dynamic vibration absorbing portion, and the energy trapping efficiency is improved by providing the dynamic vibration absorbing portion. Therefore, the piezoelectric resonator can be made smaller than that of the conventional energy trapping piezoelectric resonator using the sliding vibration mode, so that the ladder filter can be downsized.
【００２４】[0024]
【実施例の説明】以下、本発明の非限定的な実施例を説
明することにより、本発明を明らかにする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be clarified by describing non-limiting examples of the present invention.
【００２５】まず、請求項１〜３に記載の発明において
用いられる幅拡がりモードを利用した圧電共振子の原理
及び構造につき説明し、しかる後、上記特定の圧電共振
子を用いたラダー型フィルタについての複数の実施例を
説明することにする。First, the principle and structure of the piezoelectric resonator using the width-spreading mode used in the inventions described in claims 1 to 3 will be explained, and thereafter, the ladder type filter using the specific piezoelectric resonator will be described. Will be described.
【００２６】本発明で用いられる圧電共振子 図３は、請求項１に記載の発明の圧電共振子における振
動体を説明するための斜視図である。ここでは、振動体
２０５は、厚み方向に分極軸が揃うように分極処理され
た矩形の圧電セラミック板２０６の両主面に電極２０７
及び２０８が形成されている。圧電セラミック板２０６
の短辺の長さをａ、長辺の長さをｂとしたときに、ｂ／
ａが、上述した特定の範囲に選択されており、それによ
って後述の幅拡がりモードが強く励振される。次に、上
記比ｂ／ａを上記特定の範囲としたときに、幅拡がりモ
ードが強く励振されることを説明する。 Piezoelectric Resonator Used in the Present Invention FIG. 3 is a perspective view for explaining a vibrating body in the piezoelectric resonator according to the first aspect of the present invention. Here, the vibrating body 205 has electrodes 207 on both main surfaces of a rectangular piezoelectric ceramic plate 206 that is polarized so that the polarization axes are aligned in the thickness direction.
And 208 are formed. Piezoelectric ceramic plate 206
Let b be the length of the short side and b be the length of the long side.
a is selected in the above-mentioned specific range, which strongly excites the widening mode described later. Next, when the ratio b / a is set to the specific range, it will be described that the width expansion mode is strongly excited.
【００２７】図４〜図６は、拡がりモード、幅拡がりモ
ード及び幅モードを説明するための振動体の振動姿態を
示す各略図的平面図である。本願発明者は、有限要素法
により、矩形板状の振動体の振動状態を、その短辺およ
び長辺の長さを変化させて解析した。長辺の長さｂの短
辺の長さａに対する比ｂ／ａ＝１の場合には、すなわ
ち、振動体が正方形板の場合は、図４に示すように拡が
り振動モードの振動が強く励振される。すなわち、図４
に示す平面形状が正方形の振動体２０１では、破線Ａで
示す状態と、一点鎖線Ｂで示す状態との間で振動が繰り
返され、拡がりモードが強く励振される。FIGS. 4 to 6 are schematic plan views showing vibration modes of the vibrating body for explaining the spreading mode, the width spreading mode and the width mode. The inventor of the present application analyzed the vibration state of the rectangular plate-shaped vibrating body by changing the lengths of the short side and the long side by the finite element method. When the ratio b / a = 1 of the length b of the long side to the length a of the short side, that is, when the vibrating body is a square plate, the vibration in the spreading vibration mode is strongly excited as shown in FIG. To be done. That is, FIG.
In the vibrating body 201 having a square planar shape as shown in (1), the vibration is repeated between the state indicated by the broken line A and the state indicated by the alternate long and short dash line B, and the spreading mode is strongly excited.
【００２８】また、ｂ／ａを１よりかなり大きくした場
合、すなわちｂ／ａ＞＞１の場合には、図６に示すよう
に、矩形の振動体が破線Ａで示す状態と、実線Ｂで示す
状態との間で振動し、幅モード振動が強く励振される。Further, when b / a is made considerably larger than 1, that is, when b / a >> 1, as shown in FIG. 6, the rectangular vibrating body is shown by a broken line A and a solid line B. It vibrates between the state shown and the width mode vibration is strongly excited.
【００２９】これに対して、比＝ｂ／ａが１より大き
く、上記幅モードの振動が強く励振されるよりも小さい
場合には、図５の振動体２０３に示すように、一点鎖線
Ａと破線Ｂで示す姿態の間での振動、すなわち、幅拡が
りモードが強く励振されることがわかった。On the other hand, when the ratio = b / a is greater than 1 and is smaller than the vibration of the width mode is strongly excited, as indicated by the vibrating body 203 in FIG. It was found that the vibration between the states shown by the broken line B, that is, the widening mode is strongly excited.
【００３０】なお、上記幅拡がりモードは、公知の拡が
りモード及び幅モードの中間の振動モードと考えられる
ため、上述のように幅拡がりモードと命名したものであ
る。上記の知見に基づき、比ｂ／ａを特定の値に選択し
た圧電セラミック板を用いて図３に示した圧電共振子を
作製した。Since the width expansion mode is considered to be an intermediate vibration mode between the known expansion mode and the width mode, it is named the width expansion mode as described above. Based on the above findings, the piezoelectric resonator shown in FIG. 3 was manufactured using a piezoelectric ceramic plate in which the ratio b / a was selected to be a specific value.
【００３１】上記圧電共振子２０５において、ｂ／ａを
種々変更して上記幅拡がり振動モードを励振したとこ
ろ、ｂ／ａ＝−１．４７σ＋１．８８を満たす場合に、
上記幅拡がり振動モードがもっとも強く励振されること
が確かめられた。この場合の圧電共振子２０５における
変位分布を、有限要素法により解析したところ、図７
（ａ）に示す結果が得られた。In the piezoelectric resonator 205, when b / a is variously changed and the widening vibration mode is excited, when b / a = −1.47σ + 1.88 is satisfied,
It was confirmed that the above widening vibration mode was excited most strongly. When the displacement distribution in the piezoelectric resonator 205 in this case is analyzed by the finite element method, FIG.
The results shown in (a) were obtained.
【００３２】上記有限要素法により解析された変位分布
において、図７（ｂ）に示すように、圧電共振子２０５
の主面中央をＯとし、ｘ軸及びｙ軸を図示のように定義
し、各部分の変位状態を測定したところ、図８に示す結
果が得られた。すなわち、上記幅拡がりモードが励振さ
れている圧電共振子２０５の、Ｘ軸方向に沿う位置で
は、変位量は中心Ｏと、図７（ｂ）中のＸ1 すなわち短
辺中央において最も小さく、その中間において変位量が
最も大きくなることがわかる。このことは、幅拡がりモ
ードを利用した圧電共振子２０５では、ノード点が主面
中心と、短辺の中央とに位置することを意味する。従っ
て、主面の中心あるいは短辺の中央を他の支持部材によ
って支持することにより、上記幅拡がりモードを阻害す
ることなく圧電共振子２０５を支持し得ることがわか
る。In the displacement distribution analyzed by the finite element method, as shown in FIG. 7B, the piezoelectric resonator 205
When the center of the main surface of was defined as O, the x-axis and the y-axis were defined as shown, and the displacement state of each part was measured. The results shown in FIG. 8 were obtained. That is, at the position along the X-axis direction of the piezoelectric resonator 205 in which the width expansion mode is excited, the displacement amount is the smallest at the center O and X 1 in FIG. 7B, that is, the center of the short side. It can be seen that the displacement amount becomes the largest in the middle. This means that in the piezoelectric resonator 205 using the width expansion mode, the node points are located at the center of the main surface and the center of the short side. Therefore, by supporting the center of the main surface or the center of the short side by another supporting member, it is possible to support the piezoelectric resonator 205 without hindering the width expansion mode.
【００３３】また、上記比ｂ／ａは、圧電共振子５のポ
アソン比と関係することが確かめられた。すなわち、振
動体のポアソン比を変化させて、上記幅拡がり振動モー
ドが励振される場合の比ｂ／ａを測定し、上記ｂ／ａの
値をプロットしたところ図９に示す結果が得られた。従
って、図９の直線で示されるように、It was also confirmed that the ratio b / a is related to the Poisson's ratio of the piezoelectric resonator 5. That is, the Poisson's ratio of the vibrating body was changed to measure the ratio b / a when the above widening vibration mode was excited, and the value of the above b / a was plotted. The result shown in FIG. 9 was obtained. . Therefore, as shown by the straight line in FIG.
【００３４】[0034]
【数３】 [Equation 3]
【００３５】を満たすように、上記比ｂ／ａを選択する
ことにより、幅拡がり振動モードを確実に励振し得るこ
とがわかった。It has been found that by selecting the above ratio b / a so as to satisfy the condition, the widening vibration mode can be surely excited.
【００３６】さらに、上記比ｂ／ａが、式（１）を満た
す場合にのみ幅拡がり振動モードが強く励振されるので
はなく、上記式（１）から若干ずれた場合でも幅拡がり
振動モードが強く励振されることがわかったので、ポア
ソン比σ＝０．３２４の圧電セラミック板を用い、幅拡
がり振動モードの励振の有無を比ｂ／ａを変化させて確
かめた。すなわち、図７（ｂ）における点Ｘ1 における
変位量をＤ（Ｘ1 ）、幅拡がりモードにおいて変位量が
最も大きくなる点Ｃ（図７参照）の変位量をＤ（Ｃ）と
し、点Ｘ1 の点Ｃに対する相対変位Ｄ（Ｘ1 ）／Ｄ
（Ｃ）を測定した。結果を、図１０に示す。Further, the widening vibration mode is not strongly excited only when the ratio b / a satisfies the expression (1), but the widening vibration mode is slightly excited even when the ratio b / a is slightly deviated from the above expression (1). Since it was found that the excitation was strong, the presence / absence of excitation in the widening vibration mode was confirmed by using a piezoelectric ceramic plate having a Poisson's ratio σ = 0.324 and changing the ratio b / a. That is, the displacement amount at the point X 1 in FIG. 7B is D (X 1 ), and the displacement amount at the point C (see FIG. 7) at which the displacement amount is the largest in the width expansion mode is D (C). Relative displacement D (X 1 ) / D of point 1 with respect to point C
(C) was measured. The results are shown in Fig. 10.
【００３７】図１０から明らかなように、ポアソン比σ
＝０．３２４の場合、比ｂ／ａ＝１．２６〜１．５４の
範囲内であれば相対変位が±１０％以内であることがわ
かる。そこで、上記のように比ｂ／ａが最適の値から±
１０％以内となるように図３に示した圧電共振子２０５
を複数種作製し、短辺中央部に支持部材を連結して共振
特性を測定した。その結果、上記のように相対変位が１
０％以内の場合には、幅拡がりモードが良好に閉じ込め
られることが確かめられた。As is apparent from FIG. 10, the Poisson's ratio σ
In the case of 0.324, the relative displacement is within ± 10% within the range of the ratio b / a = 1.26 to 1.54. Therefore, as described above, the ratio b / a is
Piezoelectric resonator 205 shown in FIG. 3 so as to be within 10%
A plurality of types were prepared, and a resonance characteristic was measured by connecting a support member to the central portion of the short side. As a result, relative displacement is 1 as described above.
It was confirmed that the width expansion mode was well confined within 0%.
【００３８】従って、図１１に示すように、上記比ｂ／
ａは、式（１）を満たす点を中心として±１０％の範囲
内に設定されれば、上記幅拡がり振動モードが良好に励
振され得ることがわかる。また、ｂ／ａ＝−１．４７σ
＋１．８８のｎ倍（ｎは整数）であっても上記幅拡がり
振動モードが良好に励振される。Therefore, as shown in FIG. 11, the ratio b /
It can be seen that if the width a is set within a range of ± 10% centering on the point satisfying the expression (1), the above widening vibration mode can be satisfactorily excited. Also, b / a = −1.47σ
Even if it is n times as large as +1.88 (n is an integer), the widening vibration mode is satisfactorily excited.
【００３９】図１２（ａ）及び（ｂ）は、上記の知見に
基づいて製作された幅拡がりモードを利用した圧電共振
子を示す平面図及び正面図である。圧電共振子２１１
は、矩形板状の振動体としての圧電共振部２１２を有す
る。圧電共振部２１２は、平面形状が矩形であり、厚み
方向に一様に分極処理された圧電セラミック板２１３の
両主面の全面に共振電極２１４，２１５を形成した構造
を有する。また、上記圧電共振子２１２の幅拡がり振動
モードで励振された際のノード点である短辺中央には、
支持部材２１６，２１７が連結されている。そして、支
持部材２１６，２１７の外側端部には、それぞれ、保持
部２１８，２１９が連結されている。FIGS. 12 (a) and 12 (b) are a plan view and a front view showing a piezoelectric resonator utilizing the width expansion mode manufactured based on the above findings. Piezoelectric resonator 211
Has a piezoelectric resonance part 212 as a rectangular plate-shaped vibrating body. The piezoelectric resonance part 212 has a rectangular planar shape, and has a structure in which the resonance electrodes 214 and 215 are formed on the entire surfaces of both main surfaces of the piezoelectric ceramic plate 213 uniformly polarized in the thickness direction. Further, in the center of the short side, which is a node point when the piezoelectric resonator 212 is excited in the widening vibration mode,
The support members 216 and 217 are connected. The holding portions 218 and 219 are connected to the outer ends of the support members 216 and 217, respectively.
【００４０】なお、上記支持部材２１６，２１７及び保
持部２１８，２１９は、圧電セラミック板２１３と一体
に形成されている。すなわち、矩形の圧電セラミック板
を用意し、図１２（ａ）に示した形状となるように機械
加工することにより形成されている。もっとも、上記支
持部材２１６，２１７及び保持部２１８，２１９は、圧
電共振部２１２と別体の部材で構成されてもよく、接着
等の適宜の方法により図示のように連結したものであっ
てもよい。The supporting members 216 and 217 and the holding portions 218 and 219 are integrally formed with the piezoelectric ceramic plate 213. That is, it is formed by preparing a rectangular piezoelectric ceramic plate and machining it into the shape shown in FIG. Of course, the support members 216 and 217 and the holding portions 218 and 219 may be formed as separate members from the piezoelectric resonance portion 212, or may be connected as illustrated by an appropriate method such as bonding. Good.
【００４１】上記共振電極２１４，２１５は、それぞ
れ、支持部材２１６，２１７の一方面に形成された引出
し導電部２１４ａ，２１５ａにより、保持部２１８，２
１９の一方主面に形成された端子電極２２０，２２１に
電気的に接続されている。The resonance electrodes 214 and 215 are respectively held by the lead-out conductive portions 214a and 215a formed on one surface of the support members 216 and 217, and the holding portions 218 and 2 are formed.
It is electrically connected to the terminal electrodes 220 and 221 formed on the one main surface of 19.
【００４２】圧電共振子２１１では、端子電極２２０，
２２１から交流電圧を印加することより、上記圧電共振
部２１２が幅拡がりモードで励振される。この場合、圧
電共振部２１２の短辺中央部分は殆ど振動せず、圧電共
振部２１２の短辺の中央部が振動のノード点を構成する
ため、上記支持部材２１６，２１７が連結されていたと
しても、幅拡がりモードの振動は阻害され難い。よっ
て、支持部材２１６，２１７間に上記幅拡がりモードに
基づく振動を効果的に閉じ込めることができる。In the piezoelectric resonator 211, the terminal electrodes 220,
By applying an AC voltage from 221, the piezoelectric resonance part 212 is excited in the widening mode. In this case, the central portion of the short side of the piezoelectric resonance portion 212 hardly vibrates, and the central portion of the short side of the piezoelectric resonance portion 212 constitutes a node point of vibration, so that it is assumed that the support members 216 and 217 are connected. However, the vibration in the widening mode is hard to be disturbed. Therefore, it is possible to effectively trap the vibration based on the widening mode between the support members 216 and 217.
【００４３】また、圧電セラミック板を用いて上記圧電
共振部２１２の大きさを、幅２．５ｍｍ×長さ３．５ｍ
ｍとした場合には共振周波数は８００ｋＨｚ、幅１．０
ｍｍ×長さ１．４ｍｍとしたときには２ＭＨｚとなるの
で、８００ｋＨｚ〜２ＭＨｚ帯で使用するのに適したエ
ネルギー閉じ込め型の圧電共振子を構成し得ることがわ
かった。Further, the size of the piezoelectric resonance part 212 is formed by using a piezoelectric ceramic plate and has a width of 2.5 mm and a length of 3.5 m.
When m is set, the resonance frequency is 800 kHz and the width is 1.0
Since it is 2 MHz when mm × length 1.4 mm, it has been found that an energy trap type piezoelectric resonator suitable for use in the 800 kHz to 2 MHz band can be constructed.
【００４４】もっとも、上記共振周波数については、他
の材料で圧電共振部を構成した場合には、当然、有効な
周波数帯域は変わる。従って、共振部２１２を様々な圧
電材料で構成することにより、様々な周波数帯域で用い
るのに適したエネルギー閉じ込め型の圧電共振子２１１
を得ることができる。As for the resonance frequency, the effective frequency band naturally changes when the piezoelectric resonance part is made of another material. Therefore, by configuring the resonance part 212 with various piezoelectric materials, an energy trap type piezoelectric resonator 211 suitable for use in various frequency bands.
Can be obtained.
【００４５】図１３は、幅拡がりモードを利用したエネ
ルギー閉じ込め型の圧電共振子の他の例をを示す。圧電
共振子２３１は、矩形板状の振動体としての圧電共振部
２３２を有する。もっとも、圧電共振部２３２では、圧
電板２３２ａの上面において、長辺側の端縁に沿うよう
に、一対の共振電極２３２ｂ，２３２ｃが形成されてい
る。なお、圧電板２３２ａは、図示の矢印Ｐ方向すなわ
ち共振電極２３２ｂから共振電極２３２ｃに向かう方向
に分極処理されている。また、本例においても、圧電共
振部２３２の長辺の長さｂの短辺の長さａに対する比ｂ
／ａは、式（１）を満たす点を中心として±１０％以内
の範囲内に設定されている。FIG. 13 shows another example of the energy trap type piezoelectric resonator utilizing the width spreading mode. The piezoelectric resonator 231 has a piezoelectric resonance portion 232 as a rectangular plate-shaped vibrating body. However, in the piezoelectric resonance part 232, a pair of resonance electrodes 232b and 232c are formed on the upper surface of the piezoelectric plate 232a so as to extend along the edges on the long side. The piezoelectric plate 232a is polarized in the direction indicated by arrow P, that is, in the direction from the resonance electrode 232b to the resonance electrode 232c. Also in this example, the ratio b of the length b of the long side of the piezoelectric resonance part 232 to the length a of the short side is b.
/ A is set within a range of ± 10% around the point satisfying the expression (1).
【００４６】従って、共振電極２３２ｂ，２３２ｃ間に
交流電圧を印加することにより、幅拡がりモードによっ
て圧電共振部２３２が振動する。この場合、圧電共振部
２３２の変位方向は、印加される電界と平行であるた
め、圧電縦効果を利用した圧電共振子となる。Therefore, by applying an AC voltage between the resonance electrodes 232b and 232c, the piezoelectric resonance section 232 vibrates in the width expansion mode. In this case, since the displacement direction of the piezoelectric resonance part 232 is parallel to the applied electric field, the piezoelectric resonance part 232 becomes a piezoelectric resonator utilizing the piezoelectric longitudinal effect.
【００４７】また、本例の圧電共振子２３１において
も、上記幅拡がりモードで共振する圧電共振部２３２の
振動のノード点に支持部材２３６，２３７が連結されて
おり、支持部材２３６，２３７の外側端部に保持部２３
８，２３９が連結されている。なお、図１３において、
２３４ａ，２３５ａは引出し導電部を、２４０，２４１
は端子電極を示す。Also in the piezoelectric resonator 231 of this example, the support members 236 and 237 are connected to the node points of the vibration of the piezoelectric resonance portion 232 that resonates in the above-described widening mode, and the outside of the support members 236 and 237. Holding part 23 at the end
8,239 are connected. In addition, in FIG.
Reference numerals 234a and 235a denote lead-out conductive portions, and 240 and 241 respectively.
Indicates a terminal electrode.
【００４８】図１３に示した例から明らかなように、本
発明における幅拡がりモードを利用した共振子は、圧電
横効果を利用したものだけでなく、圧電縦効果を利用し
たものにも適用することができる。As is clear from the example shown in FIG. 13, the resonator utilizing the width-spreading mode of the present invention is applicable not only to the resonator utilizing the piezoelectric lateral effect but also to the resonator utilizing the piezoelectric longitudinal effect. be able to.
【００４９】図１４は、本発明で用いられる幅拡がりモ
ードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子のさら
に他の例を示す平面図である。図１４に示す圧電共振子
２５１は、動吸振部及び連結部を設けたことに特徴を有
し、その他の点については図１２に示したエネルギー閉
じ込め型の圧電共振子２１１と同様である。従って、同
一部分については、同一の参照番号を付することによ
り、その説明は省略する。FIG. 14 is a plan view showing still another example of the energy trap type piezoelectric resonator utilizing the width expansion mode used in the present invention. The piezoelectric resonator 251 shown in FIG. 14 is characterized in that a dynamic vibration absorbing portion and a connecting portion are provided, and is otherwise similar to the energy trap type piezoelectric resonator 211 shown in FIG. Therefore, the same parts are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
【００５０】動吸振部２５２，２５３は、支持部材２１
６，２１７の外側端に連結されており、上下に延びる棒
状の部分として構成されている。動吸振部２５２，２５
３の外側には、保持部２１８，２１９との間に連結部２
５４，２５５が構成されている。The dynamic vibration absorbing parts 252 and 253 are provided on the support member 21.
6, 217 are connected to the outer ends of the rods 6 and 217, and are formed as rod-shaped portions extending vertically. Dynamic vibration absorbers 252, 25
On the outer side of 3, the connecting portion 2 is formed between the holding portions 218 and 219.
54 and 255 are configured.
【００５１】圧電共振部２１２の振動のノード点に支持
部材２１６，２１７が連結されているため、支持部材２
１６，２１７側への振動の漏洩は非常に少ない。しかし
ながら、本例では、わずかに漏洩してきた振動により上
記動吸振部２５２，２５３が共振し、それによってわず
かに漏洩してきた振動が相殺される。従って、動吸振部
２５２，２５３までの部分に振動エネルギーを効果的に
閉じ込めることができる。よって、より一層小型の圧電
共振子を構成することができる。Since the support members 216 and 217 are connected to the node points of the vibration of the piezoelectric resonance portion 212, the support member 2
There is very little vibration leakage to the 16,217 side. However, in the present example, the slightly leaked vibration causes the dynamic vibration absorbing portions 252 and 253 to resonate, thereby canceling the slightly leaked vibration. Therefore, the vibration energy can be effectively trapped in the portions up to the dynamic vibration absorbing portions 252 and 253. Therefore, it is possible to configure a smaller piezoelectric resonator.
【００５２】次に、上述した式（１）に示すように比ｂ
／ａが選択されている振動体を有する圧電共振子が用い
られた本発明のラダー型フィルタについての実施例を説
明する。Next, as shown in the above equation (1), the ratio b
An example of a ladder type filter of the present invention using a piezoelectric resonator having a vibrating body for which / a is selected will be described.
【００５３】第１の実施例 図１５は、第１の実施例に係るラダー型フィルタの分解
斜視図であり、図１６は該ラダー型フィルタの外観を示
す斜視図である。 First Embodiment FIG. 15 is an exploded perspective view of a ladder type filter according to the first embodiment, and FIG. 16 is a perspective view showing the appearance of the ladder type filter.
【００５４】ラダー型フィルタ２０は、図１５に示すケ
ース基板２１，第１の共振プレート２２、分離用スペー
サー２３、第２の共振プレート２４及びケース基板２５
を積層した構造を有する。The ladder type filter 20 includes a case substrate 21, a first resonance plate 22, a separating spacer 23, a second resonance plate 24 and a case substrate 25 shown in FIG.
Has a laminated structure.
【００５５】第１の共振プレート２２は、すべり振動モ
ードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子２６，２７
と、幅拡がり振動モードを利用した動吸振部内蔵型圧電
共振子２８とを接着して一体化し、さらに外側に動吸振
部内蔵型圧電共振子２６〜２８と厚みの等しいスペーサ
ー板２９，３０を接着剤を用いて接合した構造を有す
る。スペーサー板２９，３０は、アルミナなどの絶縁性
セラミックスあるいは合成樹脂等の適宜のある程度の強
度を有する絶縁性材料により構成されており、かつ圧電
共振子２６，２７の振動部分の振動を妨げないための切
欠２９ａ，３０ａを有する。The first resonance plate 22 is a piezoelectric resonator 26, 27 with a built-in dynamic vibration absorbing section utilizing a sliding vibration mode.
And the piezoelectric resonator 28 with a built-in dynamic vibration absorbing part using the widened vibration mode are bonded and integrated, and further the spacer plates 29, 30 having the same thickness as the piezoelectric resonators 26-28 with a built-in dynamic vibration absorbing part are provided outside. It has a structure bonded by using an adhesive. The spacer plates 29, 30 are made of insulating ceramics such as alumina or an insulating material having a certain degree of strength such as synthetic resin, and do not hinder the vibration of the vibrating portions of the piezoelectric resonators 26, 27. Has notches 29a and 30a.
【００５６】動吸振部内蔵型圧電共振子２６は、図１７
（ａ）に示すように、圧電基板として、矢印Ｐで示す方
向に一様に分極処理された細長い矩形板状の圧電セラミ
ック板２６ａを用いて構成されている。圧電セラミック
板２６ａの一方の側面には、圧電セラミック板２６ａの
一端から他端側に向かって共振電極２６ｂが形成されて
いる。この共振電極２６ｂの先端は、側面を切欠くこと
により形成された凹部２６ｃに至る部分で終了されてい
る。また、凹部２６ｃと所定距離を隔てて凹部２６ｄが
形成されており、それによって凹部２６ｃ，２６ｄ間に
動吸振部２６ｅが構成されている。The piezoelectric resonator 26 with a built-in dynamic vibration absorber is shown in FIG.
As shown in (a), as the piezoelectric substrate, an elongated rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate 26a uniformly polarized in the direction indicated by arrow P is used. A resonance electrode 26b is formed on one side surface of the piezoelectric ceramic plate 26a from one end of the piezoelectric ceramic plate 26a toward the other end. The tip of the resonance electrode 26b ends at a portion reaching a recess 26c formed by notching the side surface. Further, a recess 26d is formed at a predetermined distance from the recess 26c, whereby a dynamic vibration absorbing portion 26e is formed between the recesses 26c and 26d.
【００５７】同様に、圧電セラミック板２６ａの他方側
面においても、圧電セラミック板２６ａの他方端から前
記一方端に延びるように共振電極２６ｆが形成されてい
る。また、共振電極２６ｂが形成されている側と同様
に、２つの凹部２６ｇ，２６ｈを形成することにより、
動吸振部２６ｉが構成されている。Similarly, on the other side surface of the piezoelectric ceramic plate 26a, a resonance electrode 26f is formed so as to extend from the other end of the piezoelectric ceramic plate 26a to the one end. Further, similarly to the side where the resonance electrode 26b is formed, by forming the two concave portions 26g and 26h,
The dynamic vibration absorbing portion 26i is configured.
【００５８】言い換えれば、平面形状が矩形の圧電セラ
ミック板２６ａを用意し、各側面において、２本の溝を
形成して、上記凹部２６ｃ，２６ｄ，２６ｇ，２６ｈを
形成することにより、該２本の溝間に、それぞれ、動吸
振部２６ｅ，２６ｉが構成されている。In other words, the piezoelectric ceramic plate 26a having a rectangular planar shape is prepared, two grooves are formed on each side surface, and the recesses 26c, 26d, 26g, and 26h are formed to form the two grooves. Dynamic vibration absorbing portions 26e and 26i are respectively formed between the grooves.
【００５９】圧電共振子２６では、上記共振電極２６ｂ
と共振電極２６ｆとが重なり合っている部分が共振部を
構成し、該共振部と動吸振部２６ｅ，２６ｉとの間の部
分が支持部を構成し、凹部２６ｄ，２６ｈが形成されて
いる部分よりも外側端の圧電セラミック板部分が保持部
を構成し、該保持部と動吸振部２６ｅ，２６ｉとの間の
相対的に幅の狭い圧電セラミック部分が連結部を構成し
ている。In the piezoelectric resonator 26, the resonance electrode 26b is used.
And the resonance electrode 26f overlap each other to form a resonance part, and a part between the resonance part and the dynamic vibration absorbing parts 26e and 26i forms a support part, and a part where the recesses 26d and 26h are formed is formed. Also, the piezoelectric ceramic plate portion at the outer end constitutes a holding portion, and the piezoelectric ceramic portion having a relatively narrow width between the holding portion and the dynamic vibration absorbing portions 26e, 26i constitutes a connecting portion.
【００６０】動吸振部内蔵型圧電共振子２６では、共振
電極２６ｂ，２６ｆから交流電圧を印加することによ
り、共振電極２６ｂ，２６ｆが重なり合う領域が、すべ
り振動モードで共振し、圧電共振子として動作する。In the piezoelectric resonator 26 with a built-in dynamic vibration absorber, by applying an AC voltage from the resonance electrodes 26b and 26f, the region where the resonance electrodes 26b and 26f overlap resonates in the sliding vibration mode and operates as a piezoelectric resonator. To do.
【００６１】また、上記共振電極２６ｂ，２６ｆが重な
り合う領域で発生した振動は、動吸振部２６ｅ，２６ｉ
までの部分に閉じ込められる。すなわち、すべり振動モ
ードの共振が、共振電極２６ｂ，２６ｆが重なり合う部
分、すなわち共振部から外側に漏洩したとしても、該漏
洩した振動により動吸振部２６ｅ，２６ｉが共振し、動
吸振現象により減衰される。従って、動吸振部２６ｅ，
２６ｉよりも外側の圧電セラミック板部分には振動もほ
とんど伝達されない。よって、動吸振部内蔵型圧電共振
子２６では、動吸振部２６ｅ，２６ｉよりも外側の圧電
セラミック板部分を他の部材に連結することにより、共
振部の共振を妨げることなく圧電共振子２６を機械的に
保持することが可能とされている。Further, the vibration generated in the region where the resonance electrodes 26b and 26f overlap each other is the dynamic vibration absorbing portions 26e and 26i.
Trapped in the part up to. That is, even if the resonance of the sliding vibration mode leaks to the outside from the portion where the resonance electrodes 26b and 26f overlap, that is, from the resonance portion, the dynamic vibration absorbing portions 26e and 26i resonate due to the leaked vibration and are damped by the dynamic vibration absorbing phenomenon. It Therefore, the dynamic vibration absorbing portion 26e,
Vibration is hardly transmitted to the piezoelectric ceramic plate portion outside the 26i. Therefore, in the piezoelectric resonator 26 with a built-in dynamic vibration absorbing portion, by connecting the piezoelectric ceramic plate portion outside the dynamic vibration absorbing portions 26e and 26i to another member, the piezoelectric resonator 26 is prevented without disturbing the resonance of the resonant portion. It is possible to hold it mechanically.
【００６２】図１５に戻り、第１の共振プレート２２に
用いられている動吸振部内蔵型圧電共振子２８を、図１
７（ｂ）を参照して説明する。動吸振部内蔵型圧電共振
子２８は、図１７（ｂ）に示す平面形状を有する圧電セ
ラミック板２８ａを用いて構成されている。この圧電セ
ラミック板２８ａでは、圧電セラミック板は中央に平面
形状が矩形の共振部２８ｂが構成されている。Returning to FIG. 15, the piezoelectric resonator 28 with a built-in dynamic vibration absorber used in the first resonance plate 22 is shown in FIG.
This will be described with reference to 7 (b). The piezoelectric resonator 28 with a built-in dynamic vibration absorber is configured by using a piezoelectric ceramic plate 28a having a planar shape shown in FIG. 17 (b). In this piezoelectric ceramic plate 28a, a resonant portion 28b having a rectangular planar shape is formed in the center of the piezoelectric ceramic plate 28a.
【００６３】なお、上記共振部２８ｂの平面形状は、長
辺と短辺との長さの比ｂ／ａが、上述した式（１）を満
たす値から±１０％の範囲内となるように構成されてい
る。すなわち、この動吸振部内蔵型圧電共振子２８は、
前述した図１４に示した圧電共振子２５１と同様に構成
されているものである。The plane shape of the resonance part 28b is such that the ratio b / a of the lengths of the long side and the short side is within a range of ± 10% from the value satisfying the above equation (1). It is configured. That is, the piezoelectric resonator 28 with a built-in dynamic vibration absorber is
It has the same structure as the piezoelectric resonator 251 shown in FIG.
【００６４】共振部２８ｂでは、図示の矢印Ｐ方向に分
極処理されており、かつ両主面に共振電極２８ｃが形成
されている（下面側の共振電極については図示され
ず）。共振部２８ｂの両主面の共振電極２８ｃから交流
電圧を印加することにより、共振部２８ｂは幅拡がり振
動モードで共振される。The resonance part 28b is polarized in the direction of the arrow P shown in the drawing, and the resonance electrodes 28c are formed on both main surfaces (the resonance electrode on the lower surface side is not shown). By applying an AC voltage from the resonance electrodes 28c on both main surfaces of the resonance part 28b, the resonance part 28b is resonated in the widening vibration mode.
【００６５】他方、共振部２８ｂの互いに対向している
側面中央には、細長い棒状の支持部２８ｄ，２８ｅが連
結されており、支持部２８ｄ，２８ｅの外側端にそれぞ
れ、動吸振部２８ｆ，２８ｇが構成されている。動吸振
部２８ｆ，２８ｇは、屈曲モードで振動するように構成
されており、共振部２８ｂから伝達してきた振動によっ
て共振するように構成されている。従って、共振部２８
ｂにおける共振は、動吸振部２８ｆ，２８ｇまでの部分
に閉じ込められる。On the other hand, elongated rod-shaped support portions 28d and 28e are connected to the center of the side surfaces of the resonance portion 28b facing each other, and the dynamic vibration absorbing portions 28f and 28g are respectively attached to the outer ends of the support portions 28d and 28e. Is configured. The dynamic vibration absorbing portions 28f and 28g are configured to vibrate in a bending mode, and are configured to resonate by the vibration transmitted from the resonance portion 28b. Therefore, the resonance part 28
The resonance at b is confined to the portions up to the dynamic vibration absorbing portions 28f and 28g.
【００６６】また、動吸振部２８ｆ，２８ｇの外側に
は、連結部２８ｈ，２８ｉが連結されており、該連結部
２８ｈ，２８ｉの外側端に保持部２８ｊ，２８ｋが連結
されている。保持部２８ｊ，２８ｋは、圧電共振子２８
を他の部材と連結したり、機械的に保持するための部分
として設けられており、図示のように比較的大きな面積
を有する。Further, connecting portions 28h and 28i are connected to the outside of the dynamic vibration absorbing portions 28f and 28g, and holding portions 28j and 28k are connected to the outer ends of the connecting portions 28h and 28i. The holding portions 28j and 28k are the piezoelectric resonator 28.
Is provided as a portion for connecting with other members or for mechanically holding it, and has a relatively large area as shown in the drawing.
【００６７】なお、図１７（ｂ）に示した動吸振部内蔵
型圧電共振子２８は、上記のように１枚の圧電セラミッ
ク板を機械加工することにより形成されてもよいが、各
部分が別体で構成されており、相互に接着剤等により連
結されていてもよい。例えば、図１７（ｂ）に示した圧
電セラミック板２８ａに代えて、共振部を構成する矩形
の圧電セラミック板の側方に、上記支持部２８ｄ，２８
ｅ、動吸振部２８ｆ，２８ｇ、連結部２８ｈ，２８ｉ及
び保持部２８ｊ，２８ｋを構成する各部材を接着剤等に
より接着して一体化してもよい。後述の第２の実施例以
下の実施例で用いられる圧電共振子においても、各圧電
共振子を構成するための圧電セラミック板等は、本実施
例と同様に、圧電セラミック板を機械加工により形成し
たものであっても、あるいは複数の部材を連結して構成
されていてもよいことを指摘しておく。The piezoelectric resonator 28 with a built-in dynamic vibration absorber shown in FIG. 17B may be formed by machining one piezoelectric ceramic plate as described above, but each portion is They may be configured separately and may be connected to each other with an adhesive or the like. For example, instead of the piezoelectric ceramic plate 28a shown in FIG. 17 (b), the supporting portions 28d, 28 are provided on the side of the rectangular piezoelectric ceramic plate forming the resonance portion.
e, the dynamic vibration absorbing portions 28f and 28g, the connecting portions 28h and 28i, and the holding portions 28j and 28k may be bonded and integrated with an adhesive or the like. Second embodiment described later Also in the piezoelectric resonators used in the following embodiments, the piezoelectric ceramic plate or the like for constituting each piezoelectric resonator is formed by machining the piezoelectric ceramic plate as in the present embodiment. It should be pointed out that these may be used or they may be configured by connecting a plurality of members.
【００６８】また、共振電極２８ｃは、接続導電部２８
ｌを介して保持部２８ｋの上面に形成された電極２８ｍ
に電気的に接続されている。同様に、共振部２８ｂの下
面に形成された共振電極についても、接続導電部を介し
て保持部２８ｊの下面に形成された電極に電気的に接続
されている。The resonance electrode 28c is connected to the connecting conductive portion 28.
electrode 28m formed on the upper surface of the holding portion 28k via
Electrically connected to. Similarly, the resonance electrode formed on the lower surface of the resonance portion 28b is also electrically connected to the electrode formed on the lower surface of the holding portion 28j via the connection conductive portion.
【００６９】図１５に戻り、上記動吸振部内蔵型圧電共
振子２６と同一の構造を有する動吸振部内蔵型圧電共振
子２７と、上記動吸振部内蔵型圧電共振子２６，２８が
互いの保持部の側面を絶縁性接着剤で接着することによ
り一体化されており、かつ前述したスペーサ板２９，３
０をさらに側方に接合することにより、第１の共振プレ
ート２２が構成されている。Returning to FIG. 15, the piezoelectric resonator 27 with a built-in dynamic vibration absorber and the piezoelectric resonators 26, 28 with a built-in dynamic vibration absorber have the same structure as the piezoelectric resonator 26 with a built-in dynamic vibration absorber. The side surfaces of the holding portion are integrated by adhering the side surfaces with an insulating adhesive, and the spacer plates 29, 3 described above are integrated.
The first resonance plate 22 is configured by further bonding 0 to the side.
【００７０】共振プレート２２においては、上面側に、
圧電共振子２６〜２８を後述のようにラダー型フィルタ
を構成するように電気的に接続するための電極２２ａ〜
２２ｄが形成されている。電極２２ａは、前述した圧電
共振子２６の共振電極２６ｆ（図１７（ａ）参照）に電
気的に接続されている。同様に、電極２２ｃは、共振電
極２６ｂに、電極２２ｂ，２２ｄは、それぞれ、圧電共
振子２７の側面に形成された一方の共振電極に電気的に
接続されている。また、圧電共振子２８では、一方の共
振電極２８ｃに接続されている電極２８ｍが図示のよう
に共振プレート２２の端縁に至るように形成されてお
り、同じく下面側の共振電極に電気的に接続される電極
も共振プレート２２の下面において反対側の端縁に至る
ように形成されている。On the upper surface side of the resonance plate 22,
Electrodes 22a to electrically connect the piezoelectric resonators 26 to 28 to form a ladder type filter as described later.
22d is formed. The electrode 22a is electrically connected to the resonance electrode 26f (see FIG. 17A) of the piezoelectric resonator 26 described above. Similarly, the electrode 22c is electrically connected to the resonance electrode 26b, and the electrodes 22b and 22d are electrically connected to one resonance electrode formed on the side surface of the piezoelectric resonator 27, respectively. Further, in the piezoelectric resonator 28, the electrode 28m connected to one resonance electrode 28c is formed so as to reach the edge of the resonance plate 22 as shown in the drawing, and the resonance electrode on the lower surface side is also electrically connected. The electrode to be connected is also formed on the lower surface of the resonance plate 22 so as to reach the opposite edge.
【００７１】第２の共振プレート２４では、圧電共振子
２６と同一構造を有するすべり振動モードを利用した動
吸振部内蔵型圧電共振子３１の両側に、動吸振部内蔵型
圧電共振子２８と同様に構成された幅拡がり振動モード
を利用した動吸振部内蔵型圧電共振子３２，３３が接着
されている。また、これらの圧電共振子３１〜３３と厚
みの等しい絶縁性セラミックスもしくは合成樹脂等の適
宜のある程度の強度を有する絶縁性材料により構成され
たスペーサ３４，３５が、圧電共振子３２，３３の側方
に接着されている。スペーサ３４，３５は、図示のよう
に、圧電共振子３２，３３側の端縁に略コの字状の切欠
３４ａ，３５ａを有する。切欠３４ａ，３５ａは、圧電
共振子３２，３３の共振部及び動吸振部の振動を妨げな
いための空間を確保するために設けられている。なお、
圧電共振子３１及び圧電共振子３２，３３の構造自体
は、前述した圧電共振子２６及び圧電共振子２８と同様
であるため、その詳細な説明は省略する。The second resonance plate 24 has the same structure as that of the piezoelectric resonator 26, and has the same structure as that of the piezoelectric resonator 28 with a built-in dynamic vibration absorbing portion on both sides of the piezoelectric resonator 31 with a built-in dynamic vibration absorbing portion utilizing the sliding vibration mode. Piezoelectric resonators 32 and 33 with a built-in dynamic vibration absorber, which utilize the wide-spreading vibration mode configured in FIG. In addition, spacers 34 and 35 made of an insulating material having an appropriate degree of strength such as insulating ceramics or synthetic resin having the same thickness as those of the piezoelectric resonators 31 to 33 are provided on the side of the piezoelectric resonators 32 and 33. It is glued to people. As illustrated, the spacers 34 and 35 have substantially U-shaped notches 34a and 35a at the end edges on the piezoelectric resonators 32 and 33 side. The notches 34a and 35a are provided to ensure a space for not hindering the vibration of the resonance portion and the dynamic vibration absorbing portion of the piezoelectric resonators 32 and 33. In addition,
The structure itself of the piezoelectric resonator 31 and the piezoelectric resonators 32 and 33 is similar to that of the piezoelectric resonator 26 and the piezoelectric resonator 28 described above, and thus detailed description thereof will be omitted.
【００７２】第２の共振プレート２４においては、上面
に、電極２４ａ，２４ｂが異なる端縁に至るように形成
されている。電極２４ａ，２４ｂは、それぞれ、圧電共
振子３１の両側面に形成された共振電極の一方に電気的
に接続されている。また、圧電共振子３２，３３では、
上面に形成された共振電極３２ａ，３３ａに電気的に接
続された保持部上の電極３２ｃ，３３ｄが共振プレート
２４の異なる端縁に至るように形成されている。また、
これらの圧電共振子３２，３３の共振部の下面に形成さ
れた共振電極については、下面において反対側の端縁に
至る電極に電気的に接続されている。The electrodes 24a and 24b are formed on the upper surface of the second resonance plate 24 so as to reach different edges. The electrodes 24a and 24b are electrically connected to one of the resonance electrodes formed on both side surfaces of the piezoelectric resonator 31, respectively. Further, in the piezoelectric resonators 32 and 33,
Electrodes 32c and 33d on the holding portion, which are electrically connected to the resonance electrodes 32a and 33a formed on the upper surface, are formed to reach different edges of the resonance plate 24. Also,
The resonance electrodes formed on the lower surfaces of the resonance parts of the piezoelectric resonators 32 and 33 are electrically connected to the electrodes reaching the opposite edges on the lower surfaces.
【００７３】ケース基板２１，２５は、それぞれ、下面
及び上面に凹部２１ａ，２５ａを有する。凹部２１ａ，
２５ａは、積層された際に隣接する圧電共振子の共振部
や動吸振部の振動を妨げないように設けられている。ま
た、分離用スペーサ２３においても、上面に凹部２３ａ
が形成されており、図１５では明確ではないが、下面側
にも凹部２３ａと同じ形状の凹部が形成されている。こ
れらの凹部は、上下に配置される圧電共振子の共振部及
び動吸振部の振動を妨げないために設けられている。The case substrates 21 and 25 have concave portions 21a and 25a on their lower and upper surfaces, respectively. Recess 21a,
25a is provided so as not to interfere with the vibration of the resonance portion and the dynamic vibration absorbing portion of the adjacent piezoelectric resonators when laminated. Further, also in the separating spacer 23, the concave portion 23a is formed on the upper surface.
Although not clear in FIG. 15, a recess having the same shape as the recess 23a is also formed on the lower surface side. These recesses are provided so as not to interfere with the vibration of the resonance portion and the dynamic vibration absorbing portion of the piezoelectric resonators arranged above and below.
【００７４】もっとも、上述した凹部２１ａ，２３ａ，
２５ａを設けずに、平板状のケース基板２１、分離用ス
ペーサ２３及びケース基板２５を用いてもよい。その場
合には、共振部及び動吸振部の振動を妨げないために、
凹部２１ａ，２３ａ，２５ａの深さに相当する厚みの矩
形枠状のスペーサを間に介在させたり、あるいは絶縁性
接着剤を矩形枠状に塗布することにより、同様の空間を
形成する必要がある。However, the above-mentioned recesses 21a, 23a,
The flat case substrate 21, the separating spacer 23, and the case substrate 25 may be used without providing 25a. In that case, in order not to disturb the vibration of the resonance part and the dynamic vibration absorption part,
It is necessary to form a similar space by interposing a rectangular frame-shaped spacer having a thickness corresponding to the depth of the recesses 21a, 23a, 25a, or by applying an insulating adhesive in a rectangular frame shape. .
【００７５】ケース基板２１，２５及び分離用スペーサ
２３は、ある程度の強度を有する絶縁性材料、例えばア
ルミナなどの絶縁性セラミックスもくしは合成樹脂等に
より構成することができる。The case substrates 21 and 25 and the separating spacer 23 can be made of an insulating material having a certain degree of strength, for example, insulating ceramics such as alumina or synthetic resin.
【００７６】本実施例では、上述したケース基板２１、
第１の共振プレート２２，分離用スペーサ２３、第２の
共振プレート２４及びケース基板２５を積層し、絶縁性
接着剤で接着することにより、積層構造を有するラダー
型フィルタとして一体化される。これを、図１６を参照
して説明する。In this embodiment, the above-mentioned case substrate 21,
The first resonance plate 22, the separation spacer 23, the second resonance plate 24, and the case substrate 25 are laminated and adhered with an insulating adhesive to be integrated as a ladder type filter having a laminated structure. This will be described with reference to FIG.
【００７７】図１６から明らかなように、本実施例のラ
ダー型フィルタ２０では、矩形板状の複数の部材を積層
した構造を有し、側面から上面及び下面に至るように端
子電極２０ａ〜２０ｌが形成されている。端子電極２０
ａ〜２０ｌは、導電ペーストを塗布し、焼き付けること
により、あるいは蒸着、メッキもしくはスパッタリング
等により形成することができる。また、図１５に示され
ているように、ケース基板２１の上面に、予め電極２１
ｂを複数形成しておき、さらにケース基板２５の下面に
も同様に複数の端子電極部分を形成しておき、しかる
後、図１６に示されているように積層体の側面に電極材
料を付与することにより、側面から上面及び下面に至る
端子電極２０ａ〜２０ｌを形成してもよい。As is apparent from FIG. 16, the ladder type filter 20 of this embodiment has a structure in which a plurality of rectangular plate-shaped members are laminated, and the terminal electrodes 20a to 20l are arranged from the side surface to the upper surface and the lower surface. Are formed. Terminal electrode 20
a to 20 l can be formed by applying a conductive paste and baking it, or by vapor deposition, plating or sputtering. Further, as shown in FIG. 15, the electrodes 21 are previously formed on the upper surface of the case substrate 21.
A plurality of b are formed, and a plurality of terminal electrode portions are also formed on the lower surface of the case substrate 25 in the same manner. Thereafter, as shown in FIG. 16, an electrode material is applied to the side surface of the laminated body. By doing so, the terminal electrodes 20a to 20l extending from the side surface to the upper surface and the lower surface may be formed.
【００７８】上記のようにして得られたラダー型フィル
タでは、図１８に示すように、端子電極２０ａ〜２０ｌ
を結線し、端子電極２０ａを入力端とし、端子電極２０
ｋ，２０ｊを出力端とし、端子電極２０ｌ，２０ｆ，２
０ｂを接地電位に接続することにより、図１９に回路図
で示すラダー型フィルタとして動作させることができ
る。In the ladder type filter obtained as described above, as shown in FIG. 18, the terminal electrodes 20a to 20l are provided.
The terminal electrode 20a as the input end, and the terminal electrode 20a
k, 20j as output ends, and terminal electrodes 20l, 20f, 2
By connecting 0b to the ground potential, the ladder type filter shown in the circuit diagram of FIG. 19 can be operated.
【００７９】本実施例のラダー型フィルタ２０では、す
べり振動モードや幅拡がり振動モードを用いた動吸振部
内蔵型圧電共振子２６〜２８，３１〜３３を用いて直列
共振子及び並列共振子が構成されている。従って、音叉
型圧電共振子を用いたラダー型フィルタに比べて、通過
帯域幅を容易に拡げることができる。In the ladder type filter 20 of this embodiment, the series resonators and the parallel resonators are formed by using the piezoelectric resonators 26-28, 31-33 with a built-in dynamic vibration absorbing section using the sliding vibration mode and the widening vibration mode. It is configured. Therefore, the pass band width can be easily expanded as compared with the ladder type filter using the tuning fork type piezoelectric resonator.
【００８０】しかも、各動吸振部内蔵型共振子では、動
吸振部までの部分において振動エネルギーが閉じ込めら
れるため、各動吸振部内蔵型共振子をその保持部を利用
して上述のように簡単に連結し、一体化することができ
る。Moreover, in each of the resonators with built-in dynamic vibration absorbers, the vibration energy is confined up to the portion of the dynamic vibration absorbers. Can be connected to and integrated with.
【００８１】第１の実施例では、本発明における幅拡が
り振動モードを利用した圧電共振子として、上記のよう
に動吸振部を有する構造のものを用いたが、第１の実施
例のラダー型フィルタ並びに以下の実施例におけるラダ
ー型フィルタの動吸振部を有する幅拡がりモードを利用
した圧電共振子において、動吸振部を省略した構造とし
てもよいことを指摘しておく。In the first embodiment, as the piezoelectric resonator utilizing the widening vibration mode in the present invention, the structure having the dynamic vibration absorbing portion as described above is used. However, the ladder type of the first embodiment is used. It should be pointed out that in the piezoelectric resonator using the width expansion mode having the dynamic vibration absorbing portion of the filter and the ladder type filter in the following embodiments, the dynamic vibration absorbing portion may be omitted.
【００８２】また、共振プレート２２，２４は、それぞ
れ、圧電セラミック板を機械加工することにより一体に
構成してもよい。この場合には、保持部としての矩形枠
状の部材内に、振動体が配置されることになり、かつ各
共振子やスペーサー板の接合を必要としない。よって、
例えば図１５に矢印Ａで示す接合部分が存在しなくなる
ため、側方に対する密封性を高め得る。なお、以下の実
施例においても、共振プレートは一体に構成し得ること
を指摘しておく。The resonance plates 22 and 24 may be integrally formed by machining a piezoelectric ceramic plate. In this case, the vibrating body is arranged in the rectangular frame-shaped member serving as the holding portion, and it is not necessary to join the resonators or the spacer plates. Therefore,
For example, since the joining portion indicated by the arrow A in FIG. 15 does not exist, the sealing performance to the side can be improved. It should be pointed out that the resonant plate can be integrally formed in the following embodiments as well.
【００８３】第２の実施例 図２０は、第２の実施例に係るラダー型フィルタに用い
られるＴ型接続用フィルタの分解斜視図であり、図２１
は該Ｔ型フィルタの外観を示す斜視図である。 Second Embodiment FIG. 20 is an exploded perspective view of a T-type connecting filter used in the ladder type filter according to the second embodiment.
[Fig. 3] is a perspective view showing an appearance of the T-type filter.
【００８４】Ｔ型フィルタ７０は、ケース基板７１と、
共振プレート７２と、ケース基板７３とを積層すること
により構成されている。ケース基板７１，７３は、第１
の実施例のケース基板２１，２５と同様に構成されてい
る。すなわち、ケース基板７３の上面には凹部７３ａが
形成されており、特に図示はされていないが、ケース基
板７１の下面にも同様の凹部が形成されている。The T-type filter 70 includes a case substrate 71,
The resonance plate 72 and the case substrate 73 are laminated. The case substrates 71 and 73 are the first
It is configured similarly to the case substrates 21 and 25 of the embodiment. That is, a recess 73a is formed on the upper surface of the case substrate 73, and although not particularly shown, a similar recess is also formed on the lower surface of the case substrate 71.
【００８５】他方、共振プレート７２は、第１の実施例
で用いられた共振プレート２２とほぼ同様に構成されて
いる。すなわち、中央に幅拡がりモードを利用した動吸
振部内蔵型圧電共振子２８を配置し、その側方にすべり
モードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子２６，２７
を接着し、さらに外側にスペーサ２９，３０を接着した
構造を有する。もっとも、本実施例では、圧電共振子２
８の上面においては、共振電極２８ｃに接続される電極
２８ｍが引き出された端縁側に、圧電共振子２６，２７
の各一方の共振電極に接続される電極７２ａ，７２ｂも
引き出されている。On the other hand, the resonance plate 72 is constructed in substantially the same manner as the resonance plate 22 used in the first embodiment. That is, the piezoelectric resonator 28 with a built-in dynamic vibration absorbing portion using the widening mode is arranged at the center, and the piezoelectric resonators 26, 27 with a built-in dynamic vibration absorbing portion using the sliding mode are arranged on the sides thereof.
And the spacers 29 and 30 are further adhered to the outside. However, in this embodiment, the piezoelectric resonator 2
On the upper surface of 8, the piezoelectric resonators 26, 27 are provided on the edge side from which the electrode 28m connected to the resonance electrode 28c is drawn out.
The electrodes 72a and 72b connected to one of the resonance electrodes are also drawn out.
【００８６】また、図２０において右側に破線で示すよ
うに、下面側においても、共振電極２８ｎに電気的に接
続される電極２８ｏが圧電共振子２６，２７の他方の共
振電極に電気的に接続される電極７２ｃ，７２ｄと同一
端縁側に引き出されている。Further, as shown by the broken line on the right side in FIG. 20, the electrode 28o electrically connected to the resonance electrode 28n is also electrically connected to the other resonance electrode of the piezoelectric resonators 26 and 27 on the lower surface side. The electrodes 72c and 72d are formed on the same edge side.
【００８７】図２１から明らかなように、上記各部材を
積層して得られたラダー型フィルタ７０では、上記電極
２８ｍ，７２ａ〜７２ｄが形成されている位置に応じ
て、端子電極７０ａ〜７０ｆが形成されている。従っ
て、端子電極７０ｃを入力端、端子電極７０ｂを接地電
位に接続されるようにし、端子電極７０ａを出力端と
し、端子電極７０ｄ〜７０ｆを共通接続することによ
り、図２２に示すＴ型接続用のフィルタが構成される。As is apparent from FIG. 21, in the ladder type filter 70 obtained by laminating the above-mentioned members, the terminal electrodes 70a to 70f are formed according to the positions where the electrodes 28m and 72a to 72d are formed. Has been formed. Therefore, the terminal electrode 70c is connected to the input end, the terminal electrode 70b is connected to the ground potential, the terminal electrode 70a is used as the output end, and the terminal electrodes 70d to 70f are commonly connected, so that the T-type connection shown in FIG. The filters are configured.
【００８８】上記フィルタ７０は、図２３及び図２４を
参照して示すπ型接続用フィルタと接続されて、３段の
ラダー型フィルタを構成する。このπ型フィルタを、図
２３及び図２４を参照して説明する。The filter 70 is connected to the π-type connection filter shown with reference to FIGS. 23 and 24 to form a three-stage ladder type filter. This π-type filter will be described with reference to FIGS. 23 and 24.
【００８９】π型フィルタ８０は、ケース基板８１、共
振プレート８２及びケース基板８３を積層した構造を有
する。ケース基板８１，８３は、図２０に示したケース
基板７１，７３と同様に構成されている。すなわち、ケ
ース基板８１の下面に凹部が、ケース基板８３の上面に
凹部８３ａが形成されている。The π-type filter 80 has a structure in which a case substrate 81, a resonance plate 82 and a case substrate 83 are laminated. The case substrates 81 and 83 are configured similarly to the case substrates 71 and 73 shown in FIG. That is, a recess is formed on the lower surface of the case substrate 81, and a recess 83 a is formed on the upper surface of the case substrate 83.
【００９０】他方、共振プレート８２は、第１の実施例
の共振プレート２４とほぼ同様に構成されている。異な
るところは、幅拡がりモードを利用した動吸振部内蔵型
圧電共振子３２，３３の上面の共振電極３２ａ，３３ａ
が何れも、共振プレート８２の一方端縁側に引き出され
ており、図２３に破線で右側に示すように、下面の共振
電極についても、何れもが共振プレート８２の他方の端
縁側に引き出されていることにある。その他の点につい
ては、図１５の共振プレート２４と同様であるため、相
当の部分については相当の参照番号を付することにより
その説明は省略する。On the other hand, the resonance plate 82 has substantially the same structure as the resonance plate 24 of the first embodiment. The difference is that the resonance electrodes 32a, 33a on the upper surface of the piezoelectric resonators 32, 33 with a built-in dynamic vibration absorbing part using the width expansion mode are used.
23 are drawn to the one edge side of the resonance plate 82, and as shown on the right side of the broken line in FIG. 23, both of the resonance electrodes on the lower surface are drawn to the other edge side of the resonance plate 82. To be there. Since the other points are similar to those of the resonance plate 24 in FIG. 15, the corresponding portions will be denoted by the corresponding reference numerals, and the description thereof will be omitted.
【００９１】図２４に示すように、このπ型フィルタ８
０において、側面に端子電極８０ａ〜８０ｆを形成し、
端子電極８０ａ，８０ｂを共通接続し、出力端とし、端
子電極８０ｃ，８０ｄを接地電位に接続し、端子電極８
０ｇ，８０ｆを共通接続して入力端とすることにより、
図２５に示すπ型フィルタが構成される。As shown in FIG. 24, this π-type filter 8
0, the terminal electrodes 80a to 80f are formed on the side surface,
The terminal electrodes 80a and 80b are commonly connected to serve as an output terminal, and the terminal electrodes 80c and 80d are connected to the ground potential.
By connecting 0g and 80f as an input terminal,
The π-type filter shown in FIG. 25 is configured.
【００９２】従って、上記Ｔ型フィルタ７０の出力端と
π型フィルタ８０の入力端とを接続することにより、３
段のラダー型フィルタが構成される。言い換えれば、Ｔ
型フィルタ７０とπ型フィルタ８０とを接続することに
より、第１の実施例のラダー型フィルタと同じ段数のラ
ダー型フィルタを構成することができる。Therefore, by connecting the output end of the T-type filter 70 and the input end of the π-type filter 80, 3
A ladder type ladder filter is constructed. In other words, T
By connecting the type filter 70 and the π type filter 80, a ladder type filter having the same number of stages as the ladder type filter of the first embodiment can be configured.
【００９３】第３の実施例 第３の実施例のラダー型フィルタは、図２６及び図２７
を参照して示すＴ型フィルタ９０と、図２８及び図２９
を参照して説明するπ型フィルタ１００とを接続するこ
とにより構成され、第２の実施例と同様に３段のラダー
型フィルタを構成するものである。[0093] ladder-type filter of the third embodiment The third embodiment, FIGS. 26 and 27
28 and 29 and a T-type filter 90 shown with reference to FIG.
It is configured by connecting to the π-type filter 100 described with reference to FIG. 3, and forms a three-stage ladder type filter as in the second embodiment.
【００９４】図２６及び図２７に示すＴ型フィルタ９０
は、第２の実施例のＴ型フィルタ７０の場合と同様に、
ケース基板７１，７３と、共振プレート９２とを積層し
た構造を有する。共振プレート９２では、中央に幅拡が
りモードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子９３が配
置されている。この圧電共振子９３は、第１の実施例で
用いられた幅拡がりモードを利用した動吸振部内蔵型圧
電共振子２８と同様の構造を有する。A T-type filter 90 shown in FIGS. 26 and 27.
Is similar to the case of the T-type filter 70 of the second embodiment,
It has a structure in which case substrates 71 and 73 and a resonance plate 92 are laminated. In the resonance plate 92, a piezoelectric resonator 93 with a built-in dynamic vibration absorbing part using a width expansion mode is arranged at the center. This piezoelectric resonator 93 has a structure similar to that of the piezoelectric resonator 28 with a built-in dynamic vibration absorbing part using the width expansion mode used in the first embodiment.
【００９５】圧電共振子９３の側方には、すべりモード
を利用した動吸振部内蔵型圧電共振子９４，９５が保持
部同士を接着することにより接合されている 圧電共振子９４は、圧電セラミック板を機械加工するこ
とにより図示の形状とされており、中央に矩形板状の共
振部９４ａを有する。共振部９４ａでは、その分極軸方
向が圧電板の長さ方向に沿うように分極処理されてい
る。共振部９４ａには、上面において、対向する一対の
端縁に沿うように、共振電極９４ｂ，９４ｃが形成され
ている。従って、共振電極９４ｂ，９４ｃから交流電圧
を印加することにより、すべり振動モードで共振部９４
ａが共振する。On the sides of the piezoelectric resonator 93, piezoelectric resonators 94 and 95 with a built-in dynamic vibration absorbing section utilizing a sliding mode are joined by adhering the holding sections to each other. The piezoelectric resonator 94 is a piezoelectric ceramic. The plate is machined into the shape shown in the drawing, and has a rectangular plate-shaped resonance portion 94a in the center. The resonance part 94a is polarized so that its polarization axis direction is along the length direction of the piezoelectric plate. Resonance electrodes 94b and 94c are formed on the upper surface of the resonance portion 94a so as to extend along a pair of opposing edges. Therefore, by applying an AC voltage from the resonance electrodes 94b and 94c, the resonance part 94 can be operated in the sliding vibration mode.
a resonates.
【００９６】また、図２６の右方に下面の電極形状を示
す図において、共振子９４の輪かくが破線で示されてい
るが、この図を参照して共振子９４の形状を説明する。
共振部９４ａには、相対的に幅の狭い支持部９４ｄ，９
４ｅが連結されており、該支持部９４ｄ，９４ｅの外側
端に動吸振部９４ｆ，９４ｇが構成されている。また、
動吸振部９４ｆ，９４ｇの外側の側面に、連結部９４
ｈ，９４ｉを介して保持部９４ｊ，９４ｋが連ねられて
いる。共振部９４ａの外側の各部分の詳細は、圧電共振
子２８と同様である。Further, in the figure showing the electrode shape on the lower surface on the right side of FIG. 26, the ring of the resonator 94 is shown by broken lines. The shape of the resonator 94 will be described with reference to this figure.
The resonance part 94a includes support parts 94d, 9 having a relatively small width.
4e are connected to each other, and dynamic vibration absorbing portions 94f and 94g are formed at outer ends of the supporting portions 94d and 94e. Also,
The connecting portion 94 is provided on the outer side surface of the dynamic vibration absorbing portions 94f and 94g.
The holding portions 94j and 94k are connected via h and 94i. Details of each portion outside the resonance portion 94a are the same as those of the piezoelectric resonator 28.
【００９７】また、他方のすべりモードを利用した圧電
共振子９５についても、圧電共振子９４と同一に構成さ
れている。上記圧電共振子９４，９５の外側には、スペ
ーサ９６，９７が貼り合わされている。スペーサ９６，
９７は圧電共振子９３〜９５と等しい厚みを有するよう
に構成されており、かつ圧電共振子９４，９５側に切欠
９６ａ，９７ａを有する。この切欠９６ａ，９７ａは、
圧電共振子９４，９５の振動部分の振動を妨げないため
に設けられている。The piezoelectric resonator 95 utilizing the other sliding mode is also constructed in the same manner as the piezoelectric resonator 94. Spacers 96 and 97 are attached to the outsides of the piezoelectric resonators 94 and 95. Spacer 96,
Reference numeral 97 is configured to have the same thickness as the piezoelectric resonators 93 to 95, and has notches 96a and 97a on the piezoelectric resonators 94 and 95 side. These notches 96a and 97a are
The piezoelectric resonators 94 and 95 are provided so as not to interfere with vibration of vibrating portions.
【００９８】上記共振プレート９２をケース基板７１，
７３で挟持するように積層し、端面に端子電極９０ａ〜
９０ｆを形成することにより、第２の実施例のＴ型フィ
ルタ７０と同様のＴ型フィルタを得ることができる（図
２７）。すなわち、端子電極９０ｃを入力端、端子電極
９０ｄ〜９０ｆを共通接続し、端子電極９０ｂを接地電
位に接続し、端子電極９０ａを出力端とすることによ
り、Ｔ型フィルタとして動作させることができる。The resonance plate 92 is connected to the case substrate 71,
73 so as to be sandwiched by 73, and the terminal electrodes 90a to
By forming 90f, a T-type filter similar to the T-type filter 70 of the second embodiment can be obtained (FIG. 27). That is, by connecting the terminal electrode 90c to the input end, connecting the terminal electrodes 90d to 90f in common, connecting the terminal electrode 90b to the ground potential, and using the terminal electrode 90a as the output end, it is possible to operate as a T-type filter.
【００９９】他方、π型フィルタ１００は、第３の実施
例におけるπ型フィルタ８０とほぼ同様に構成されてい
る。すなわち、ケース基板８１，８３間に共振プレート
１０１を介在させて積層することにより構成されてい
る。共振プレート１０１が、共振プレート８２と異なる
ところは、中央に、すべり振動モードを用した動吸振部
内蔵型圧電共振子１０２を用いたことにある。動吸振部
内蔵型圧電共振子１０２は、Ｔ型フィルタ９０に用いた
動吸振部内蔵型圧電共振子９４と同様に構成されてい
る。On the other hand, the π-type filter 100 has substantially the same structure as the π-type filter 80 in the third embodiment. That is, it is configured by stacking the case plates 81 and 83 with the resonance plate 101 interposed therebetween. The resonance plate 101 is different from the resonance plate 82 in that a piezoelectric resonator 102 with a built-in dynamic vibration absorbing part using a sliding vibration mode is used in the center. The piezoelectric resonator 102 with a built-in dynamic vibration absorber has the same structure as the piezoelectric resonator 94 with a built-in dynamic vibration absorber used in the T-type filter 90.
【０１００】図２９に示すように、上記ケース基板８
１、共振プレート１０１及びケース基板８３を積層して
得られた積層体に端子電極１００ａ〜１００ｆを形成す
ることにより、π型フィルタが構成される。すなわち、
端子電極１００ａ，１００ｂを共通接続して出力端と
し、端子電極１００ｃ，１００ｄを接地電位に接続し、
端子電極１００ｅ，１００ｆを共通接続し、入力端とす
ることにより、π型フィルタとして動作させることがで
きる。よって、第２の実施例の場合と同様に、Ｔ型フィ
ルタ９０とπ型フィルタ１００とを接続することによ
り、３段のラダー型フィルタを構成することができる。As shown in FIG. 29, the case substrate 8 is
1. The π-type filter is formed by forming the terminal electrodes 100a to 100f on the laminated body obtained by laminating the resonance plate 101 and the case substrate 83. That is,
The terminal electrodes 100a and 100b are commonly connected to serve as an output terminal, and the terminal electrodes 100c and 100d are connected to the ground potential,
By commonly connecting the terminal electrodes 100e and 100f and using them as input ends, it is possible to operate as a π-type filter. Therefore, as in the case of the second embodiment, by connecting the T-type filter 90 and the π-type filter 100, a three-stage ladder type filter can be constructed.
【０１０１】第４の実施例 図３０は、第４の実施例に係る１段のラダー型フィルタ
を示す分解斜視図、図３１はその外観を示す斜視図であ
る。 Fourth Embodiment FIG. 30 is an exploded perspective view showing a one-stage ladder type filter according to the fourth embodiment, and FIG. 31 is a perspective view showing its appearance.
【０１０２】本実施例のラダー型フィルタ１１０では、
ケース基板１１１、共振プレート１１２、空洞形成用ス
ペーサ１１３、共振プレート１１４及びケース基板１１
５が積層されている。In the ladder type filter 110 of this embodiment,
Case substrate 111, resonance plate 112, cavity forming spacer 113, resonance plate 114, and case substrate 11
5 are stacked.
【０１０３】ケース基板１１５の上面には凹部１１５ａ
が、ケース基板１１１の下面にも同じような凹部が形成
されており、それによって積層される共振プレートの振
動部分の振動を妨げないための空間が確保されている。
また、空洞形成用スペーサ１１３を間に介在させること
により、共振プレート１１２，１１４の振動部分の振動
を妨げないための空間が構成される。A recess 115a is formed on the upper surface of the case substrate 115.
However, a similar concave portion is formed on the lower surface of the case substrate 111, and a space for keeping the vibration of the vibrating portion of the resonance plate to be laminated is ensured thereby.
Further, by interposing the cavity forming spacer 113 between them, a space for preventing the vibration of the vibrating portions of the resonance plates 112 and 114 is formed.
【０１０４】上記ケース基板１１１，１１５及び空洞形
成用スペーサ１１３の詳細は、第１の実施例に用いたケ
ース基板及び空洞形成用スペーサと同様にして構成され
るので、その詳細な説明は省略する。Details of the case substrates 111 and 115 and the cavity forming spacer 113 are the same as those of the case substrate and the cavity forming spacer used in the first embodiment, and therefore detailed description thereof will be omitted. .
【０１０５】共振プレート１１２は、図１７（ａ）に示
した動吸振部内蔵型圧電共振子２６の両側にスペーサ１
１６，１１７を貼り合わせた構造を有する。スペーサ１
１６，１１７は、圧電共振子２６側の側面に切欠１１６
ａ，１１７ａを有し、それによって圧電共振子２６の振
動部分の振動が妨げないようにされている。The resonance plate 112 has spacers 1 on both sides of the piezoelectric resonator 26 with a built-in dynamic vibration absorber shown in FIG. 17A.
It has a structure in which 16, 117 are bonded together. Spacer 1
The notches 116 and 117 are provided on the side surface on the piezoelectric resonator 26 side.
a, 117a so that the vibration of the vibrating portion of the piezoelectric resonator 26 is not disturbed.
【０１０６】他方、共振プレート１１４は、共振電極の
引き出されている部分の電極の形成位置が若干異なるこ
とを除いては、図１７（ｂ）に示した圧電共振子２８と
同一の圧電共振子２８の側方にスペーサ１１８，１１９
を貼り合わせることにより構成されている。スペーサ１
１８，１１９は、スペーサ１１６，１１７と同様に、圧
電共振子２８側に切欠１１８ａ，１１９ａを有する。On the other hand, the resonance plate 114 is the same as the piezoelectric resonator 28 shown in FIG. 17B except that the electrode forming position of the portion where the resonance electrode is pulled out is slightly different. Spacers 118 and 119 on the side of 28
It is configured by bonding. Spacer 1
18, 119 have notches 118a, 119a on the piezoelectric resonator 28 side, like the spacers 116, 117.
【０１０７】なお、図３０では、必ずしも明確ではない
が、圧電共振子２８では、共振部２８ｂの下面にも共振
電極が形成されており、該共振電極に電気的に接続され
た電極が共振プレート１１４の端縁１１４ａ側に至るよ
うに形成されている。Although not necessarily clear in FIG. 30, in the piezoelectric resonator 28, a resonance electrode is also formed on the lower surface of the resonance portion 28b, and the electrode electrically connected to the resonance electrode is the resonance plate. It is formed so as to reach the edge 114a side of 114.
【０１０８】本実施例のラダー型フィルタ１１０では、
上記各部材を積層し、図３１に示すように端子電極１１
０ａ，１１０ｂ，１１０ｃを側面に形成することにより
完成される。すなわち、端子電極１１０ａを接地電位に
接続し、端子電極１１０ｂを入力端、端子電極１１０ｃ
を出力端とすることにより、図３２に示すように１段の
ラダー型フィルタを構成することができる。また、上記
共振プレート１１２，１１４をそれぞれ２枚以上積層す
ることにより、２段以上のラダー型フィルタも容易に構
成することができる。In the ladder type filter 110 of this embodiment,
By laminating the above-mentioned members, as shown in FIG.
It is completed by forming 0a, 110b, 110c on the side surface. That is, the terminal electrode 110a is connected to the ground potential, the terminal electrode 110b is the input terminal, and the terminal electrode 110c is
By using as an output terminal, a one-stage ladder type filter can be configured as shown in FIG. Further, by laminating two or more resonance plates 112 and 114, it is possible to easily form a ladder type filter having two or more stages.
【０１０９】第５の実施例 第５の実施例のラダー型フィルタ１２０を、図３３及び
図３４を参照して説明する。[0109] The ladder filter 120 of the fifth embodiment the fifth embodiment is described with reference to FIGS. 33 and 34.
【０１１０】第４の実施例では、すべりモードを利用し
た動吸振部内蔵型圧電共振子２６と、幅拡がりモードを
利用した動吸振部内蔵型圧電共振子２８とが異なる共振
プレート１１２，１１４に構成されていたが、本実施例
では、両圧電共振子２６，２８が１枚の共振プレート１
２１として一体化されている。すなわち、圧電共振子２
６，２８がスペーサ１２２を介して接着されており、か
つ圧電共振子２８の側方にスペーサ１２３が、圧電共振
子２６の外側にはスペーサ１２４が接合されて、共振プ
レート１２１が構成されている。他方、共振プレート１
２１を、上下からケース基板１２５，１２６で挟持し積
層することにより、図３４に示す積層体が得られる。In the fourth embodiment, the dynamic vibration absorbing part built-in type piezoelectric resonator 26 utilizing the sliding mode and the dynamic vibration absorbing part built-in type piezoelectric resonator 28 utilizing the widening mode are provided on different resonance plates 112, 114. However, in the present embodiment, the two piezoelectric resonators 26 and 28 have one resonance plate 1.
It is integrated as 21. That is, the piezoelectric resonator 2
6, 28 are bonded via a spacer 122, a spacer 123 is joined to the side of the piezoelectric resonator 28, and a spacer 124 is joined to the outside of the piezoelectric resonator 26 to form a resonant plate 121. . On the other hand, the resonance plate 1
By sandwiching 21 from above and below with case substrates 125 and 126 and stacking them, the stack shown in FIG. 34 is obtained.
【０１１１】この積層体の対向端面に端子電極１２０ａ
〜１２０ｄを形成することにより、１段のラダー型フィ
ルタが構成される。すなわち、端子電極１２０ａを接地
電位に接続し、端子電極１２０ｂを入力端とし、端子電
極１２０ｃ，１２０ｄを共通接続し出力端とすることに
より、図３５に示すように１段のラダー型フィルタが構
成される。また、上記共振プレート１２１を複数枚、間
に空洞形成用スペーサを介して積層することにより、２
段以上のラダー型フィルタも容易に構成し得る。The terminal electrode 120a is formed on the opposite end surface of this laminated body.
By forming ~ 120d, a one-stage ladder type filter is constructed. That is, the terminal electrode 120a is connected to the ground potential, the terminal electrode 120b is used as an input terminal, and the terminal electrodes 120c and 120d are commonly connected and used as an output terminal to form a one-stage ladder type filter as shown in FIG. To be done. Further, by stacking a plurality of the resonance plates 121 with a cavity forming spacer interposed therebetween,
A ladder-type filter having more than two stages can be easily constructed.
【０１１２】第６の実施例 図３６は、第６の実施例に係るラダー型フィルタを説明
するための分解斜視図であり、図３７は該ラダー型フィ
ルタの外観を示す斜視図である。 Sixth Embodiment FIG. 36 is an exploded perspective view for explaining a ladder type filter according to the sixth embodiment, and FIG. 37 is a perspective view showing the appearance of the ladder type filter.
【０１１３】ラダー型フィルタ１３０は、ケース基板１
３１、空洞形成用スペーサ１３２、第１の共振プレート
１３３、空洞形成用スペーサ１３４、第２の共振プレー
ト１３５、空洞形成用スペーサ１３６及びケース基板１
３７を積層した構造を有する。The ladder type filter 130 is used for the case substrate 1
31, cavity forming spacer 132, first resonance plate 133, cavity forming spacer 134, second resonance plate 135, cavity forming spacer 136, and case substrate 1.
37 has a laminated structure.
【０１１４】ケース基板１３１，１３７は、平板状の絶
縁性セラミックスもしくは合成樹脂等により構成されて
おり、空洞形成用スペーサ１３２，１３４，１３６は、
第２の実施例で用いた空洞形成用スペーサと同様に構成
されている。The case substrates 131 and 137 are made of flat insulating ceramics or synthetic resin, and the cavity forming spacers 132, 134 and 136 are
It has the same structure as the cavity forming spacer used in the second embodiment.
【０１１５】第１の共振プレート１３３は、幅拡がりモ
ードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子１３８，１３
９をその保持部同士を接着することにより一体化し、さ
らに外側にスペーサ１４０，１４１を貼り合わせた構造
を有する。The first resonance plate 133 is a piezoelectric resonator 138, 13 with a built-in dynamic vibration absorbing part utilizing the width expansion mode.
9 is integrated by adhering its holding portions to each other, and spacers 140 and 141 are attached to the outside.
【０１１６】圧電共振子１３８は、第１の実施例で用い
た幅拡がりモードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子
２８と同様に構成されている。また、同じく幅拡がりモ
ードを利用した、但し縦効果を利用した動吸振部内蔵型
圧電共振子１３９は、圧電共振子１３８と同様の平面形
状を有する圧電セラミック板において、図３６の右側に
示すように共振部の下面において対向する一対の端縁に
共振電極１３９ａ，１３９ｂを形成することにより構成
されている。また、分極方向は図中の矢印で示される。
従って、共振電極１３９ａ，１３９ｂ間に交流電圧を印
加することにより、圧電縦効果を利用した幅モード共振
子として動作する。なお、共振電極１３９ａ，１３９ｂ
は、それぞれ、共振プレート１３３の異なる対向端縁に
引き出されている。The piezo-resonator 138 has the same structure as the piezo-resonator 28 with a built-in dynamic vibration absorbing part using the width expansion mode used in the first embodiment. Further, a piezoelectric resonator 139 with a built-in dynamic vibration absorbing part, which also uses the widening mode but uses the vertical effect, is a piezoelectric ceramic plate having the same planar shape as the piezoelectric resonator 138, as shown on the right side of FIG. In addition, resonance electrodes 139a and 139b are formed on a pair of opposite edges on the lower surface of the resonance portion. The polarization direction is indicated by an arrow in the figure.
Therefore, by applying an AC voltage between the resonance electrodes 139a and 139b, the resonator operates as a width mode resonator utilizing the piezoelectric longitudinal effect. The resonance electrodes 139a and 139b
Are drawn to different facing edges of the resonance plate 133, respectively.
【０１１７】第２の共振プレート１３５は、第１の共振
プレート１３３と同様に、幅モード利用した横効果の動
吸振部内蔵型圧電共振子１４２と、縦効果を利用した動
吸振部内蔵型圧電共振子１４３とをその保持部同士を貼
り合わせることにより、さらに両側にスペーサ１４４，
１４５を貼り合わせることにより構成されている。もっ
とも、第２の共振プレート１３５では、縦効果を利用し
た動吸振部内蔵型圧電共振子１４３において、一対の共
振電極１４３ａ，１４３ｂが共振プレート１３５の上面
側に形成されている。The second resonance plate 135 is similar to the first resonance plate 133 in that the piezoelectric resonator 142 has a dynamic vibration absorbing section with a lateral effect and uses a width mode, and the piezoelectric resonator 142 has a dynamic vibration absorbing section with a vertical effect. By bonding the holding portions of the resonator 143 to each other, the spacers 144,
It is configured by bonding 145 together. However, in the second resonance plate 135, the pair of resonance electrodes 143a and 143b is formed on the upper surface side of the resonance plate 135 in the piezoelectric resonator 143 with a built-in dynamic vibration absorber utilizing the vertical effect.
【０１１８】本実施例のラダー型フィルタ１３０は、上
述した各部材を積層し、得られた積層体の両端面に、図
３７に示す端子電極１３０ａ〜１３０ｆを形成すること
により得られる。The ladder type filter 130 of the present embodiment is obtained by laminating the above-mentioned members and forming the terminal electrodes 130a to 130f shown in FIG. 37 on both end faces of the obtained laminated body.
【０１１９】すなわち、端子電極１３０ｃを入力端と
し、端子電極１３０ａ，１３０ｄを共通接続し出力端と
し、端子電極１３０ｅ，１３０ｆを共通接続し、端子電
極１３０ｂを接地電位に接続することにより、図３８に
示す２段のラダー型フィルタが構成される。That is, by connecting the terminal electrode 130c to the input terminal, connecting the terminal electrodes 130a and 130d to the common output terminal, connecting the terminal electrodes 130e and 130f to the common terminal, and connecting the terminal electrode 130b to the ground potential. The two-stage ladder type filter shown in FIG.
【０１２０】第７の実施例 第７の実施例に係るラダー型フィルタ１５０の構造を、
図３９に分解斜視図で、図４０に外観斜視図で示す。 Seventh Embodiment A structure of a ladder type filter 150 according to a seventh embodiment is
39 is an exploded perspective view and FIG. 40 is an external perspective view.
【０１２１】本実施例は、第６の実施例のラダー型フィ
ルタの変形例に相当する。従って、異なる部分について
のみ、説明することにする。第１の共振プレート１５１
は、圧電縦効果を利用した幅拡がりモードの動吸振部内
蔵型圧電共振子１５３，１５４をその保持部同士を接着
することにより一体化した構造を有する。この圧電共振
子１５３，１５４の構造は、第６の実施例で用いた圧電
共振子１４３と同様である。This embodiment corresponds to a modification of the ladder type filter of the sixth embodiment. Therefore, only different parts will be described. First resonance plate 151
Has a structure in which the dynamic vibration absorbing part built-in type piezoelectric resonators 153 and 154 in the width-spreading mode utilizing the piezoelectric vertical effect are integrated by adhering the holding parts to each other. The structure of the piezoelectric resonators 153 and 154 is similar to that of the piezoelectric resonator 143 used in the sixth embodiment.
【０１２２】他方、第２の共振プレート１５２では、圧
電横効果を利用した幅拡がりモードの動吸振部内蔵型圧
電共振子１５５，１５６がその保持部同士を接着するこ
とにより一体化されている。On the other hand, in the second resonance plate 152, the piezoelectric resonators 155 and 156 with a built-in dynamic vibration absorbing part in the width expansion mode utilizing the piezoelectric lateral effect are integrated by adhering the holding parts to each other.
【０１２３】この圧電共振子１５５，１５６は、第６の
実施例において用いた圧電共振子１３８と同様に構成さ
れている。上記第１の共振プレート１５１では、一方端
縁に沿って上面側に電極１５１ａ，１５１ｂが形成され
ており、電極１５１ａ，１５１ｂは、それぞれ、圧電共
振子１５３，１５４の一方の共振電極に電気的に接続さ
れている。他方、共振プレート１５１の他方端縁に沿う
ように電極１５１ｃが形成されており、電極１５１ｃ
は、圧電共振子１５３，１５４の他方の共振電極にそれ
ぞれ電気的接続されている。The piezoelectric resonators 155 and 156 have the same structure as the piezoelectric resonator 138 used in the sixth embodiment. In the first resonance plate 151, electrodes 151a and 151b are formed on the upper surface side along one edge, and the electrodes 151a and 151b are electrically connected to one resonance electrode of the piezoelectric resonators 153 and 154, respectively. It is connected to the. On the other hand, the electrode 151c is formed along the other edge of the resonance plate 151.
Are electrically connected to the other resonance electrodes of the piezoelectric resonators 153 and 154, respectively.
【０１２４】また、共振プレート１５２においては、圧
電共振子１５５，１５６の共振電極１５５ａ，１５６ａ
に電気的に接続される電極１５２ａが共振プレート１５
２の一方端縁に沿うように形成されている。他方、共振
プレート１５２の下面においては、圧電共振子１５５，
１５６の下面側の共振電極に電気的に接続される電極１
５２ｂ，１５２ｃが、それぞれ、共振プレート１５２の
他方端縁に沿うように形成されている。なお、１５７，
１５８はケース基板を、１５９ａ〜１５９ｃは空洞形成
用スペーサを示す。In the resonance plate 152, the resonance electrodes 155a and 156a of the piezoelectric resonators 155 and 156 are arranged.
An electrode 152a electrically connected to the resonance plate 15
2 is formed so as to be along one edge. On the other hand, on the lower surface of the resonance plate 152, the piezoelectric resonators 155,
Electrode 1 electrically connected to the resonance electrode on the lower surface side of 156
52b and 152c are formed along the other end edge of the resonance plate 152, respectively. 157,
Reference numeral 158 denotes a case substrate, and 159a to 159c denote cavity forming spacers.
【０１２５】上記各部材を積層して得られた積層体に、
図４０に示すように端子電極１５０ａ〜１５０ｆを形成
することにより、第７の実施例のラダー型フィルタ１５
０が得られる。ラダー型フィルタ１５０では、第６の実
施例と同様に端子電極を接続することにより、第６の実
施例と同様に２段のラダー型フィルタとして動作させる
ことができる。A laminate obtained by laminating the above members
By forming the terminal electrodes 150a to 150f as shown in FIG. 40, the ladder type filter 15 of the seventh embodiment is formed.
0 is obtained. The ladder type filter 150 can be operated as a two-stage ladder type filter as in the sixth embodiment by connecting the terminal electrodes as in the sixth embodiment.
【０１２６】第８の実施例 図４１は、第８の実施例に係るラダー型フィルタを説明
するための分解斜視図であり、図４２は該ラダー型フィ
ルタの外観を示す斜視図である。 Eighth Embodiment FIG. 41 is an exploded perspective view for explaining a ladder type filter according to the eighth embodiment, and FIG. 42 is a perspective view showing the appearance of the ladder type filter.
【０１２７】本実施例のラダー型フィルタ１６０は、第
１，第２の共振プレートの構造が異なることを除いて
は、第７の実施例と同様に構成されている。図４１を参
照して、第１の共振プレート１６１は、すべりモードを
利用した動吸振部内蔵型圧電共振子１６２と、幅拡がり
モードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子１６３とを
その保持部同士を接着することにより一体化されてい
る。圧電共振子１６２，１６３の外側には、スペーサ１
６４，１６５が貼り合わされている。 圧電共振子１６
２は、第１の実施例で用いたすべりモードを利用した圧
電共振子２６（図１７（ａ）参照）と同様に構成されて
いる。この圧電共振子１６２の一方側面に形成された共
振電極は、共振プレート１６１の一方端縁に沿うように
形成された電極１６１ａに電気的に接続されている。他
方、他方側面に形成された共振電極は、共振プレート１
６１の他方端縁に沿うように形成された電極１６１ｂに
電気的に接続されている。The ladder type filter 160 of this embodiment has the same structure as that of the seventh embodiment except that the structures of the first and second resonance plates are different. With reference to FIG. 41, the first resonance plate 161 holds a piezoelectric resonator 162 with a built-in dynamic vibration absorbing part using a sliding mode and a piezoelectric resonator 163 with a built-in dynamic vibration absorbing part using a widening mode. They are integrated by bonding the parts together. A spacer 1 is provided outside the piezoelectric resonators 162 and 163.
64 and 165 are pasted together. Piezoelectric resonator 16
2 has the same structure as the piezoelectric resonator 26 (see FIG. 17A) using the sliding mode used in the first embodiment. A resonance electrode formed on one side surface of the piezoelectric resonator 162 is electrically connected to an electrode 161a formed along one edge of the resonance plate 161. On the other hand, the resonance electrode formed on the other side surface is the resonance plate 1
It is electrically connected to an electrode 161b formed along the other edge of 61.
【０１２８】また、幅拡がりモードを利用した動吸振部
内蔵型圧電共振子１６３は、第６の実施例で用いた圧電
共振子１３８と同様に構成されている。この圧電共振子
１６３の上面の共振電極１６３ａは、電極１６１ｃに電
気的に接続されている。電極１６１ｃは、電極１６１ｂ
と同じ端縁に沿うように形成されている。Further, the piezoelectric resonator 163 with a built-in dynamic vibration absorbing portion using the width expansion mode has the same structure as the piezoelectric resonator 138 used in the sixth embodiment. The resonance electrode 163a on the upper surface of the piezoelectric resonator 163 is electrically connected to the electrode 161c. The electrode 161c is the electrode 161b.
It is formed along the same edge as.
【０１２９】他方、図４１の右側に破線で示すように、
共振プレート１６１の下面側においては、圧電共振子１
６３の下面に形成された共振電極１６３ｂが、共振プレ
ート１６１の一方端縁に沿うように形成された電極１６
１ｄに電気的に接続されている。On the other hand, as indicated by the broken line on the right side of FIG.
On the lower surface side of the resonance plate 161, the piezoelectric resonator 1
The resonance electrode 163b formed on the lower surface of the electrode 63 is formed along the one edge of the resonance plate 161.
It is electrically connected to 1d.
【０１３０】第２の共振プレート１６６は、上記第１の
共振プレート１６１を反転させた構造に相当する。すな
わち、すべりモードを利用した動吸振部内蔵型圧電型共
振子１６７、幅モードを利用した動吸振部内蔵型圧電共
振子１６８を保持部同士を接着させて一体化し、外側に
スペーサ１６９ａ，１６９ｂを貼り合わせた構造を有す
る。The second resonance plate 166 corresponds to a structure obtained by inverting the first resonance plate 161. That is, the dynamic vibration absorbing part built-in type piezoelectric resonator 167 using the sliding mode and the dynamic vibration absorbing part built-in type piezoelectric resonator 168 using the width mode are integrated by adhering the holding parts to each other, and the spacers 169a and 169b are provided on the outside. It has a laminated structure.
【０１３１】第１の共振プレート１６１を反転させたも
のに相当するため、両主面に形成される電極形状は、第
１の共振プレート１６１と上下が逆とされている。上記
各部材を積層し、得られた積層体に、端子電極１６０ａ
〜１６０ｆを形成することにより、図４２に示すラダー
型フィルタ１６０が得られる。本実施例においては、端
子電極１６０ａ，１６０ｄを出力端とし、端子電極１６
０ｃを入力端とし、端子電極１６０ｂを接地電位に接続
し、端子電極１６０ｅ，１６０ｆを共通接続することに
より、２段のラダー型フィルタとして動作させることが
できる。Since the first resonance plate 161 corresponds to an inverted version of the first resonance plate 161, the shape of the electrodes formed on both main surfaces is upside down from that of the first resonance plate 161. The above-mentioned respective members are laminated, and the obtained laminated body is provided with a terminal electrode 160a.
By forming ~ 160f, the ladder type filter 160 shown in FIG. 42 is obtained. In this embodiment, the terminal electrodes 160a and 160d are used as output terminals, and the terminal electrode 16
By using 0c as an input terminal, connecting the terminal electrode 160b to the ground potential, and commonly connecting the terminal electrodes 160e and 160f, it is possible to operate as a two-stage ladder filter.
【０１３２】第９の実施例 前述してきた第１〜第８の実施例では、動吸振部内蔵型
圧電共振子をその主面が水平方向となるように複数の部
材を積層して積層型のラダー型フィルタが構成されてい
た。しかしながら、本発明のラダー型フィルタは、圧電
共振子の主面が水平方向を向くように複数積層した構造
を有するものに限らない。第９の実施例はこのように複
数の圧電共振子を主面が垂直方向を向くように積層した
構造の例である。 Ninth Embodiment In the first to eighth embodiments described above, the piezoelectric resonator with a built-in dynamic vibration absorber is of a laminated type in which a plurality of members are laminated so that the main surface is in the horizontal direction. A ladder type filter was constructed. However, the ladder type filter of the present invention is not limited to a structure in which a plurality of laminated piezoelectric resonators are laminated so that the main surfaces thereof face the horizontal direction. The ninth embodiment is an example of a structure in which a plurality of piezoelectric resonators are laminated so that the principal surfaces thereof are oriented in the vertical direction.
【０１３３】図４３を参照して、ラダー型フィルタ１７
０では、圧電横効果を利用した幅拡がりモードの動吸振
部内蔵型圧電共振子１７１，１７３と、圧電縦効果を利
用した幅拡がりモードの動吸振部内蔵型圧電共振子１７
２，１７４とが、図示のように交互にスペーサ１７５を
介して横方向に積層される。なお、圧電共振子１７１の
外側及び圧電共振子１７４の外側には、それぞれ、略コ
の字状のスペーサ１７６，１７７が貼り合わされる。Referring to FIG. 43, the ladder type filter 17
At 0, the piezoelectric resonators 171 and 173 with a built-in dynamic vibration absorbing part in the width expansion mode using the piezoelectric lateral effect and the piezoelectric resonator 17 with a built-in dynamic vibration absorbing part in the width expansion mode using the piezoelectric longitudinal effect are used.
2, 174 are alternately laminated in the lateral direction via the spacer 175 as shown in the drawing. In addition, substantially U-shaped spacers 176 and 177 are attached to the outside of the piezoelectric resonator 171 and the outside of the piezoelectric resonator 174, respectively.
【０１３４】なお、上記複数のスペーサ１７５及びスペ
ーサ１７６，１７７は、各圧電共振子の保持部に接着さ
れる。従って、スペーサ１７５，１７６，１７７を用い
て複数の圧電共振子１７１，１７４を接着し一体化した
構造において、各圧電共振子１７１〜１７４の共振部及
び動吸振部の振動が妨げられることはない。The plurality of spacers 175 and the spacers 176 and 177 are bonded to the holding portion of each piezoelectric resonator. Therefore, in the structure in which the plurality of piezoelectric resonators 171 and 174 are adhered and integrated by using the spacers 175, 176 and 177, the vibration of the resonance portion and the dynamic vibration absorbing portion of each of the piezoelectric resonators 171 to 174 is not hindered. .
【０１３５】本実施例では、上述した圧電共振子１７１
〜１７４をスペーサ１７５〜１７７とともに接着し一体
化した構造体の上面及び下面にケース基板１７８，１７
９が積層される。In this embodiment, the piezoelectric resonator 171 described above is used.
To 174 are adhered and integrated together with spacers 175 to 177, the case substrates 178 and 17 are formed on the upper and lower surfaces of the integrated structure.
9 are stacked.
【０１３６】このようにして得られたラダー型フィルタ
１７０の外観を図４４に示す。外部との接続は、得られ
た積層体の端面に形成された端子電極１７０ａ〜１７０
ｄ，１７０ｅ〜１７０ｈを利用して行われる。すなわ
ち、端子電極１７０ａ，１７０ｇを接地電位に接続し、
端子電極１７０ｂ〜１７０ｄを共通接続し、端子電極１
７０ｅ，１７０ｆを共通接続して出力端とし、端子電極
１７０ｈを入力端とすることにより、２段のラダー型フ
ィルタが構成される。The appearance of the ladder type filter 170 thus obtained is shown in FIG. The connection with the outside is performed by the terminal electrodes 170a to 170a formed on the end faces of the obtained laminated body.
d, 170e to 170h. That is, the terminal electrodes 170a and 170g are connected to the ground potential,
The terminal electrodes 170b to 170d are commonly connected, and the terminal electrode 1
By connecting 70e and 170f in common to serve as an output terminal and terminal electrode 170h as an input terminal, a two-stage ladder type filter is constructed.
【０１３７】第１０の実施例 図４５は、第１０の実施例に係るラダー型フィルタの分
解斜視図であり、図４６は該ラダー型フィルタの外観を
示す斜視図である。 Tenth Embodiment FIG. 45 is an exploded perspective view of a ladder type filter according to the tenth embodiment, and FIG. 46 is a perspective view showing the appearance of the ladder type filter.
【０１３８】本実施例では、第１のケース基板３７１、
共振プレート３７２〜３７５及びケース基板３７６が積
層される。ここでは、共振子の振動を妨げないために、
共振プレート３７２〜３７５がこれらに枠状に接着剤を
付与し接着することにより、振動空間が確保されてい
る。In this embodiment, the first case substrate 371,
The resonance plates 372 to 375 and the case substrate 376 are stacked. Here, in order not to disturb the vibration of the resonator,
The resonance plates 372 to 375 apply a frame-like adhesive to these and bond them to secure a vibration space.
【０１３９】共振プレート３７２は、幅拡がりモードを
利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子３７７の側方
に第１，第２のスペーサ板３７８，３７９を接合するこ
とにより構成されている。圧電共振子３７７は、矩形板
状の圧電振動部３８１に、支持部を介して保持部３８
２，３８３を連結した構造を有する。圧電振動部３８１
においては、上面に第１の共振電極３８０ａが、下面に
第２の共振電極３８０ｂが形成されている。本実施例に
おいても、圧電振動部３８１の上面が、短辺の長さを
ａ、長辺の長さをｂとしたときに、前述した式（１）を
満たす値を中心として±１０％の範囲内となるように比
ｂ／ａが定められている。従って、圧電振動部３８１に
振動エネルギーが効果的に閉じ込められる。The resonance plate 372 is constructed by bonding the first and second spacer plates 378 and 379 to the side of the energy trap type piezoelectric resonator 377 utilizing the width expansion mode. The piezoelectric resonator 377 has a rectangular plate-shaped piezoelectric vibrating portion 381 and a holding portion 38 via a supporting portion.
It has a structure in which 2,383 are connected. Piezoelectric vibration part 381
In the above, the first resonance electrode 380a is formed on the upper surface and the second resonance electrode 380b is formed on the lower surface. Also in the present embodiment, the upper surface of the piezoelectric vibrating portion 381 has a value of ± 10% around the value satisfying the above formula (1) when the length of the short side is a and the length of the long side is b. The ratio b / a is set so as to be within the range. Therefore, the vibration energy is effectively trapped in the piezoelectric vibrating portion 381.
【０１４０】共振プレート３７５についても、上記共振
プレート３７２とほぼ同様に構成されている。もっと
も、共振電極３８０ａ，３８０ｂに電気的に接続されて
おり、かつ保持部３８２，３８３に形成される引き出し
電極の位置が、共振プレート３７２とは異ならされてい
る。The resonance plate 375 is also constructed in substantially the same manner as the resonance plate 372. However, the positions of the extraction electrodes electrically connected to the resonance electrodes 380a and 380b and formed on the holding portions 382 and 383 are different from those of the resonance plate 372.
【０１４１】また、共振プレート３７２，３７５におい
ては、第１，第２の共振電極３８０ａ，３８０ｂが、圧
電振動部３８１の主面よりもかなり小さい面積に形成さ
れている。従って、電極３８０ａ，３８０ｂ間の静電容
量が比較的小さくされている。In the resonance plates 372 and 375, the first and second resonance electrodes 380a and 380b are formed in an area considerably smaller than the main surface of the piezoelectric vibrating portion 381. Therefore, the electrostatic capacitance between the electrodes 380a and 380b is made relatively small.
【０１４２】他方、共振プレート３７３においては、幅
拡がりモードを利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共
振子３８５が用いられており、圧電共振子３８５の側方
に第１，第２のスペーサ板３８６，３８７が接合されて
いる。圧電共振子３８５は、共振電極を除いては、圧電
共振子３７７と同様に構成されている。従って、同一部
分については、同一の参照番号を付することによりその
説明を省略する。圧電共振子３８５では、第１，第２の
共振電極３８８ａ，３８８ｂが、圧電振動部３８１の上
面及び下面において、外周縁には至らないが、かなり大
きな面積を有するように矩形形状に形成されている。従
って、共振電極３８８ａ，３８８ｂ間の静電容量が、圧
電共振子３７７における共振電極３８０ａ，３８０ｂ間
の静電容量に比べてかなり大きくされている。On the other hand, in the resonance plate 373, the energy trap type piezoelectric resonator 385 utilizing the width expansion mode is used, and the first and second spacer plates 386 and 387 are provided on the side of the piezoelectric resonator 385. Are joined. The piezoelectric resonator 385 has the same configuration as the piezoelectric resonator 377 except for the resonance electrode. Therefore, the same portions will be denoted by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. In the piezoelectric resonator 385, the first and second resonance electrodes 388a and 388b are formed in a rectangular shape so as to have a considerably large area on the upper surface and the lower surface of the piezoelectric vibrating portion 381, although they do not reach the outer peripheral edge. There is. Therefore, the capacitance between the resonance electrodes 388a and 388b is made considerably larger than the capacitance between the resonance electrodes 380a and 380b in the piezoelectric resonator 377.
【０１４３】圧電共振子３８５においても、圧電振動部
３８１が、幅拡がりモードを利用したエネルギー閉じ込
め型圧電共振子を構成するように設けられているため、
振動エネルギーが圧電振動部３８１に効果的に閉じ込め
られる。Also in the piezoelectric resonator 385, the piezoelectric vibrating portion 381 is provided so as to constitute an energy trap type piezoelectric resonator utilizing the width spreading mode.
The vibration energy is effectively trapped in the piezoelectric vibrating portion 381.
【０１４４】本実施例のラダー型フィルタでは、上記ケ
ース基板３７１，３７６及び共振プレート３７２〜３７
５を積層し、所定の外部電極を形成することにより得ら
れる。In the ladder type filter of this embodiment, the case substrates 371 and 376 and the resonance plates 372 to 37 are used.
It is obtained by stacking 5 and forming a predetermined external electrode.
【０１４５】すなわち、図４６に示されているように、
ラダー型フィルタ３７０では、外部電極３８９ａ〜ｃ
が、得られた積層体の一方側面に、３８９ｄ〜３８９ｆ
が他方側面に形成されている。この外部電極３８９ａを
出力端として用い、外部電極３８９ｂ，３８９ｅを接地
電位に接続し、外部電極３８９ｃを入力端として用いる
ことにより、２段のラダー型フィルタが構成される。こ
の場合、前述した圧電共振子３７７，３７７が直列共振
子を、容量の相対的に大きな圧電共振子３８５，３８５
が並列共振子を構成する。なお、電極３８９ｄは端子電
極Ａ，Ｂ，Ｃを短絡させる作用を有するか、外部電極３
８９ｄ，３８９ｆは、ダミーの外部電極であり、ラダー
型フィルタとして動作させる際の外部回路接続用として
は用いられない。That is, as shown in FIG.
In the ladder type filter 370, the external electrodes 389a to 389c are formed.
On one side surface of the obtained laminate, 389d to 389f
Is formed on the other side surface. The external electrode 389a is used as an output terminal, the external electrodes 389b and 389e are connected to the ground potential, and the external electrode 389c is used as an input terminal to form a two-stage ladder filter. In this case, the above-mentioned piezoelectric resonators 377 and 377 are series resonators, and piezoelectric resonators 385 and 385 having a relatively large capacitance.
Form a parallel resonator. The electrode 389d has a function of short-circuiting the terminal electrodes A, B, and C, or the external electrode 3
89d and 389f are dummy external electrodes and are not used for external circuit connection when operating as a ladder type filter.
【０１４６】第１１の実施例 図４７は、第１１の実施例のラダー型フィルタを説明す
るための分解斜視図である。本実施例のラダー型フィル
タでは、ベース基板３９１とキャップ材３９２とで構成
される空間内に複数の圧電共振子が積層される。ベース
基板３９１は、アルミナなどの絶縁性セラミックあるい
は合成樹脂等の適宜の絶縁材料により構成される。ベー
ス基板３９１上には、接続導電部３９１ａ〜３９１ｅ
が、分散形成されている。これらの接続導電部３９１ａ
〜３９１ｅは、後述する圧電共振子の引き出し電極に電
気的に接続され、あるいはベース基板３９１の側面に形
成された外部電極３９１ｆ〜３９１ｈ，３９１ｊに電気
的に接続される。 Eleventh Embodiment FIG. 47 is an exploded perspective view for explaining a ladder type filter of the eleventh embodiment. In the ladder type filter of this embodiment, a plurality of piezoelectric resonators are stacked in the space defined by the base substrate 391 and the cap material 392. The base substrate 391 is made of an insulating ceramic such as alumina or an appropriate insulating material such as synthetic resin. On the base substrate 391, the connection conductive portions 391a to 391e are provided.
However, they are dispersed and formed. These connection conductive parts 391a
To 391e are electrically connected to lead electrodes of a piezoelectric resonator described later, or are electrically connected to external electrodes 391f to 391h and 391j formed on the side surface of the base substrate 391.
【０１４７】キャップ材３９２は、合成樹脂あるいは金
属等の適宜の材料で構成され、下方に開口を有する。ま
た、キャップ材３９２は、開口部が、ベース基板３９１
の上面の面積よりも小さくされており、従ってキャップ
材３９２の下端面がベース基板３９１の上面に絶縁性接
着剤等を用いて接合され、それによって、キャップ材３
９２がベース基板３９１と一体化される。もっとも、キ
ャップ材３９２の開口部は、ベース基板３９１の側面に
当接されるように、その大きさが選ばれていてもよい。The cap member 392 is made of an appropriate material such as synthetic resin or metal, and has an opening at the bottom. Further, the cap member 392 has an opening at the base substrate 391.
Is smaller than the area of the upper surface of the cap member 392. Therefore, the lower end surface of the cap member 392 is bonded to the upper surface of the base substrate 391 by using an insulating adhesive or the like, whereby the cap member 3
92 is integrated with the base substrate 391. However, the size of the opening of the cap member 392 may be selected so as to contact the side surface of the base substrate 391.
【０１４８】本実施例では、第１０の実施例で用いた圧
電共振子３７７及び圧電共振子３８５が各２個用いら
れ、図示のように積層される。もっとも、図４７では特
に示してはいないが、上下に配置される圧電共振子の振
動を妨げないための空間を圧電共振子間及び圧電共振子
３７７とベース基板３９１との間に設けるために、導電
性接着剤等３９２Ａ〜３９５が用いられる。すなわち、
図４７においては、各導電性接着剤３９２Ａ〜３９５は
浮いた状態で模式的に示されているが、積層にあたり、
塗布される。例えば、導電性接着剤３９２Ａは、圧電共
振子３７７と、圧電共振子３８５との接着に用いられ、
両圧電共振子３７７，３８５の保持部間に所定の厚みを
有するように介在される。それによって、圧電共振子３
７７と、圧電共振子３８５との間に所定の厚みの空間が
形成され、両圧電共振子３７７，３８５の圧電振動部の
振動が妨げられない。また、導電性接着剤３９２Ａは、
図示のように、圧電共振子３７７の保持部３８２，３８
３の側面に形成された電極３８２ａ〜３８２ｃ及び３８
３ａ〜３８３ｃに電気的に接続されるように、接続され
た状態で保持部３８２，３８３の外周縁に至るように配
置されている。同様に、他の導電性接着剤３９３〜３９
５についても、その上方または下方に位置する圧電共振
子の圧電振動部の振動を妨げないための空間を形成する
ために、所定の厚みに形成される。In this embodiment, two piezoelectric resonators 377 and two piezoelectric resonators 385 used in the tenth embodiment are used, and they are laminated as shown in the figure. Although not particularly shown in FIG. 47, in order to provide a space for preventing vibration of the piezoelectric resonators arranged above and below, between the piezoelectric resonators and between the piezoelectric resonators 377 and the base substrate 391, A conductive adhesive or the like 392A to 395 is used. That is,
In FIG. 47, the conductive adhesives 392A to 395 are schematically shown in a floating state.
Is applied. For example, the conductive adhesive 392A is used for bonding the piezoelectric resonator 377 and the piezoelectric resonator 385,
The piezoelectric resonators 377 and 385 are interposed between the holding portions so as to have a predetermined thickness. Thereby, the piezoelectric resonator 3
A space having a predetermined thickness is formed between the 77 and the piezoelectric resonator 385, and the vibration of the piezoelectric vibrating portions of the piezoelectric resonators 377 and 385 is not disturbed. In addition, the conductive adhesive 392A is
As shown, the holding portions 382, 38 of the piezoelectric resonator 377 are
Electrodes 382a to 382c and 38 formed on the side surface of No. 3
3a to 383c are arranged so as to reach the outer peripheral edges of the holding portions 382 and 383 in a connected state so as to be electrically connected. Similarly, other conductive adhesives 393-39
5 is also formed to have a predetermined thickness in order to form a space that does not hinder the vibration of the piezoelectric vibrating portion of the piezoelectric resonator located above or below it.
【０１４９】また、導電性接着剤３９３〜３９５につい
ても、各圧電共振子の側面に形成されている電極やベー
ス基板３９１上の接続導電部、あるいはベース基板３９
１の側面に形成された外部電極３９１ｆ〜３９１ｋに電
気的に接続されるように配置されている。As for the conductive adhesives 393 to 395, the electrodes formed on the side surface of each piezoelectric resonator, the connecting conductive portion on the base substrate 391, or the base substrate 39 are also included.
It is arranged so as to be electrically connected to the external electrodes 391f to 391k formed on one side surface.
【０１５０】本実施例のラダー型フィルタにおいても、
上記のように、２個の幅拡がりモードを利用したエネル
ギー閉じ込め型の圧電共振子３７７，３７７及び２個の
幅拡がりモードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共
振子３８５，３８５が積層されて２段のラダー型フィル
タが構成される。しかも、ベース基板３９１とキャップ
材３９２とを接合することにより構成された空間内に、
複数の圧電共振子３７７，３８５が囲撓されるため、耐
湿性に優れたラダー型フィルタを容易に構成することが
できる。Also in the ladder type filter of this embodiment,
As described above, the energy trapping type piezoelectric resonators 377 and 377 using the two width spreading modes and the energy trapping type piezoelectric resonators 385 and 385 using the two width spreading modes are stacked to form two stages. A ladder type filter is constructed. Moreover, in the space formed by joining the base substrate 391 and the cap member 392,
Since the plurality of piezoelectric resonators 377 and 385 are surrounded and bent, it is possible to easily form a ladder type filter having excellent moisture resistance.
【０１５１】第１２の実施例 図４８は、第１２の実施例に係るラダー型フィルタの分
解斜視図である。第１２の実施例のラダー型フィルタ
は、第１１の実施例のラダー型フィルタの変形例に相当
する。Twelfth Embodiment FIG. 48 is an exploded perspective view of a ladder type filter according to a twelfth embodiment. The ladder type filter of the twelfth embodiment corresponds to a modification of the ladder type filter of the eleventh embodiment.
【０１５２】すなわち、本実施例においても、上面の接
続導電部の形状は異なるものの、ベース基板３９１と同
様に構成されたベース基板３９６とキャップ材３９２と
を用いてチップ型のラダー型フィルタが構成される。That is, also in this embodiment, although the shape of the connection conductive portion on the upper surface is different, a chip type ladder type filter is configured by using the base substrate 396 and the cap member 392 which are configured similarly to the base substrate 391. To be done.
【０１５３】また、ベース基板３９６上には、接続導電
部３９６ａ〜３９６ｆが形成されている。これらの接続
導電部３９６ａ〜３９６ｆは、ベース基板３９６の側面
に形成された外部電極、あるいは上方に配置される圧電
共振子に電気的に接続されるように配置されている。Connection conductive portions 396a to 396f are formed on the base substrate 396. These connection conductive portions 396a to 396f are arranged so as to be electrically connected to an external electrode formed on the side surface of the base substrate 396 or a piezoelectric resonator arranged above.
【０１５４】本実施例では、複数枚の板状の圧電共振子
４５１〜４５４が積層されている。これらの圧電共振子
４５１〜４５４の接合及び圧電共振子４５４とベース基
板３９６との接合に際しては、第８の実施例と同様に、
導電性接着剤等３９２〜３９５が用いられる。図４８に
おいても、これらの導電性接着剤３９２〜３９５は、中
に浮かされた状態で図示されているが、実際には、圧電
共振子４５１〜４５４の上面もしくは下面あるいはベー
ス基板３９６の下面に所定の厚みを有するように塗布さ
れる。ここまでは、第１１の実施例と同様である。ま
た、第１１の実施例及び第１２の実施例において、異方
性の導電接着剤を用いれば接合材を分離形成しないでも
よい。このような異方性導電接着剤の例を図４８の右方
に参照番号１９５Ａで示す。In this embodiment, a plurality of plate-shaped piezoelectric resonators 451 to 454 are laminated. When the piezoelectric resonators 451 to 454 are joined and the piezoelectric resonator 454 and the base substrate 396 are joined, as in the eighth embodiment,
A conductive adhesive or the like 392 to 395 is used. Also in FIG. 48, these conductive adhesives 392 to 395 are shown in a state of being floated inside, but in reality, they are predetermined on the upper surface or the lower surface of the piezoelectric resonators 451 to 454 or the lower surface of the base substrate 396. Is applied to have a thickness of. Up to this point, the procedure is the same as in the eleventh embodiment. Further, in the eleventh embodiment and the twelfth embodiment, if the anisotropic conductive adhesive is used, the bonding material may not be separately formed. An example of such an anisotropic conductive adhesive is indicated by reference numeral 195A on the right side of FIG.
【０１５５】本実施例の特徴は、圧電共振子４５１〜４
５４が、前述した幅拡がりモードを利用したエネルギー
閉じ込め型の圧電共振子として、振動体部分のみを用い
て構成されていることにある。すなわち、圧電共振子４
５１は、厚み方向に分極処理された矩形板状の圧電セラ
ミック板４５５を用いて構成されている。この圧電セラ
ミック板４５５の上面４５５ａは、矩形の形状を有し、
その短辺の長さをａ、長辺の長さをｂとし、圧電セラミ
ック板４５５を構成している材料のポアソン比をσとし
たときに、比ｂ／ａが、前述した式（１）を満たす値を
中心として±１０％の範囲内となるようにその形状が定
められている。また、圧電セラミック板４５５の上面及
び下面には、圧電共振子３７７と同様に、第１，第２の
共振電極４５６ａ，４５６ｂが主面よりもかなり小さな
面積に形成されている。The feature of this embodiment is that the piezoelectric resonators 451 to 4 are
54 is an energy trap type piezoelectric resonator utilizing the above-described widening mode, and is configured by using only the vibrating body portion. That is, the piezoelectric resonator 4
51 is configured using a rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate 455 that is polarized in the thickness direction. The upper surface 455a of the piezoelectric ceramic plate 455 has a rectangular shape,
When the length of the short side is a, the length of the long side is b, and the Poisson's ratio of the material forming the piezoelectric ceramic plate 455 is σ, the ratio b / a is expressed by the above-mentioned formula (1). The shape is determined to be within ± 10% with a value satisfying the condition as the center. Further, similarly to the piezoelectric resonator 377, first and second resonance electrodes 456a and 456b are formed on the upper surface and the lower surface of the piezoelectric ceramic plate 455 in an area considerably smaller than the main surface.
【０１５６】第１，第２の共振電極４５６ａ，４５６ｂ
から交流電圧を印加することにより、圧電共振子４５１
は圧電横効果により幅拡がりモードで振動される。この
場合、振動のノード点は、圧電セラミック板４５５の短
辺側に沿う側面の中央に位置する。従って、本実施例で
は、短辺側の側面の中央領域に、圧電共振子４５１を接
合するための引き出し電極４５７ａ〜４５７ｃ，４５８
ａ〜４５８ｃが形成されている。First and second resonance electrodes 456a and 456b
By applying an alternating voltage from the piezoelectric resonator 451
Is oscillated in the widening mode by the piezoelectric lateral effect. In this case, the node point of vibration is located at the center of the side surface along the short side of the piezoelectric ceramic plate 455. Therefore, in this embodiment, the extraction electrodes 457a to 457c, 458 for joining the piezoelectric resonator 451 to the central region of the side surface on the short side.
a to 458c are formed.
【０１５７】圧電共振子４５４は、上記圧電共振子４５
１とほぼ同様に構成されている。異なる点は、上面及び
下面に形成された第１，第２の共振電極４５６ａ，４５
６ｂの電極引き出し方向が異ならされているだけであ
る。The piezoelectric resonator 454 is the above-mentioned piezoelectric resonator 45.
The configuration is almost the same as 1. The difference is that the first and second resonance electrodes 456a and 45 formed on the upper and lower surfaces are different from each other.
Only the electrode lead-out directions of 6b are different.
【０１５８】また、圧電共振子４５２については、第
１，第２の共振電極４５７ａ，４５７ｂが、共振電極４
５６ａ，４５６ｂに比べてかなり大きな寸法を有するよ
うに形成されていることを除いては、圧電共振子４５１
と同様に構成されている。また、圧電共振子４５３は、
上記圧電共振子４５２と電極引き出し方向が異なる点を
除いては同様に構成されている。In the piezoelectric resonator 452, the first and second resonance electrodes 457a and 457b are the same as the resonance electrode 4
Piezoelectric resonator 451 except that it is formed to have a size considerably larger than those of 56a and 456b.
Is configured similarly to. Further, the piezoelectric resonator 453 is
The piezoelectric resonator 452 has the same structure as that of the piezoelectric resonator 452 except that the electrode drawing direction is different.
【０１５９】従って、圧電共振子４５２〜４５４におい
ても、両主面の第１，第２の共振電極から交流電圧を印
加することにより、幅拡がりモードの振動が励振され
る。そして、この振動に基づく共振エネルギーは、各圧
電共振子４５２〜４５４内に効果的に閉じ込められる。Therefore, also in the piezoelectric resonators 452 to 454, the vibration in the widening mode is excited by applying the AC voltage from the first and second resonant electrodes on both main surfaces. Then, the resonance energy based on this vibration is effectively trapped in each of the piezoelectric resonators 452 to 454.
【０１６０】他方、圧電共振子４５１〜４５４は、それ
ぞれ、上記のように振動のノード点が、短辺側に沿う側
面中央領域存在するため、上記のように、引き出し電極
４５７ａ〜４５７ｃ，４５８ａ〜４５８ｃが形成されて
いる部分において、導電性接着剤等１９２Ａ〜１９５を
用いて接合することにより、共振特性に影響をあまり与
えることなく、圧電共振子４５１〜４５４を積層・固着
することができる。On the other hand, in the piezoelectric resonators 451 to 454, since the vibration node points are present in the central region of the side surface along the short side as described above, the extraction electrodes 457a to 457c and 458a to The piezoelectric resonators 451 to 454 can be stacked and fixed without affecting the resonance characteristics by joining the portions in which the 458c are formed by using a conductive adhesive or the like 192A to 195.
【０１６１】本実施例においても、第１０及び第１１の
実施例のラダー型フィルタと同様に、２段のラダー型フ
ィルタを構成することができる。しかも、本実施例で
は、圧電共振子４５１〜４５４が、幅拡がりモードを利
用した振動体部分のみを有する圧電共振子を用いて構成
されているため、圧電共振子４５１〜４５４は、極めて
容易に製造することができ、かつ機械的強度も高められ
ている。Also in this embodiment, a two-stage ladder type filter can be constructed similarly to the ladder type filters of the tenth and eleventh embodiments. Moreover, in the present embodiment, since the piezoelectric resonators 451 to 454 are configured by using the piezoelectric resonator having only the vibrating body portion using the width expansion mode, the piezoelectric resonators 451 to 454 are extremely easy to use. It can be manufactured and has increased mechanical strength.
【０１６２】上述してきた第１〜第１２の実施例に係る
ラダー型フィルタは、いずれも、前述した幅拡がりモー
ドを利用した圧電共振子を用いて構成したことにおいて
共通するものであり、振動体の両短辺中央及び振動体の
主面に振動のノード点を有するため、支持構造を簡略化
することができる。従って、上述した各実施例から明ら
かなように、従来に比べて小型のラダー型フィルタを容
易に構成し得る。The ladder type filters according to the first to twelfth embodiments described above are all common in that they are constructed by using the piezoelectric resonators utilizing the above-described width expansion mode. Since the vibration node points are provided at the center of both short sides and the main surface of the vibrating body, the supporting structure can be simplified. Therefore, as is apparent from the above-described embodiments, it is possible to easily configure a ladder-type filter that is smaller than the conventional one.
【０１６３】なお、第１２の実施例から明らかなよう
に、本発明で用いられる圧電共振子は、振動体部分のみ
で構成されてもよく、従って、支持部を必ずしも備えず
ともよい。さらに、第１〜第１１の実施例では、支持部
を連結した幅拡がりモードを利用した圧電共振子を用い
た例につき説明したが、図示の実施例では、支持部が振
動体の両短辺略中央に連結されていたが、いずれか一方
の短辺略中央にのみ支持部が連結されている構造であっ
てもよい。As is apparent from the twelfth embodiment, the piezoelectric resonator used in the present invention may be composed of only the vibrating body portion, and therefore the supporting portion may not necessarily be provided. Further, in the first to eleventh embodiments, the example in which the piezoelectric resonator using the width expansion mode in which the supporting portions are connected is used has been described. However, in the illustrated embodiment, the supporting portions have both short sides of the vibrating body. Although it is connected to substantially the center, the structure may be such that the supporting portion is connected only to the center of one of the short sides.
【図１】従来のラダー型フィルタを説明するための分解
斜視図。FIG. 1 is an exploded perspective view for explaining a conventional ladder type filter.
【図２】従来のラダー型フィルタの回路構成を示す図。FIG. 2 is a diagram showing a circuit configuration of a conventional ladder type filter.
【図３】幅拡がりモードの圧電共振子で用いられる振動
体を説明するための斜視図。FIG. 3 is a perspective view for explaining a vibrating body used in a width-spread mode piezoelectric resonator.
【図４】拡がりモードを説明するための略図的平面図。FIG. 4 is a schematic plan view for explaining a spreading mode.
【図５】幅拡がりモードを説明するための略図的平面
図。FIG. 5 is a schematic plan view for explaining a width expansion mode.
【図６】幅モードを説明するための略図的平面図。FIG. 6 is a schematic plan view for explaining a width mode.
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、幅拡がりモードの有限要
素法により解析された変位分布を示す図及び（ａ）にお
ける座標を説明するための図。7A and 7B are diagrams showing a displacement distribution analyzed by a finite element method of a width expansion mode and a diagram for explaining coordinates in FIG. 7A.
【図８】図７に示した変位分布におけるｘ方向に沿った
位置と変位量との関係を示す図。8 is a diagram showing a relationship between a position and a displacement amount along the x direction in the displacement distribution shown in FIG.
【図９】ポアソン比と幅拡がりモードを励振させる寸法
比ｂ／ａとの関係を示す図。FIG. 9 is a diagram showing a relationship between a Poisson's ratio and a dimensional ratio b / a for exciting a width expansion mode.
【図１０】比ｂ／ａと、図７に示した変位分布における
相対変位量との関係を示す図。10 is a diagram showing the relationship between the ratio b / a and the relative displacement amount in the displacement distribution shown in FIG.
【図１１】ポアソン比と比ｂ／ａとの関係を示す図。FIG. 11 is a diagram showing a relationship between Poisson's ratio and ratio b / a.
【図１２】（ａ）及び（ｂ）は、幅拡がり振動モードを
利用した圧電共振子を示す平面図及び正面図。12A and 12B are a plan view and a front view showing a piezoelectric resonator using a widened vibration mode.
【図１３】本発明で用いられる幅拡がりモードを利用し
た圧電共振子の他の例を示す平面図。FIG. 13 is a plan view showing another example of the piezoelectric resonator using the width expansion mode used in the present invention.
【図１４】本発明で用いられる幅拡がりモードを利用し
た圧電共振子のさらに他の例を示す平面図。FIG. 14 is a plan view showing still another example of the piezoelectric resonator using the width expansion mode used in the present invention.
【図１５】第１の実施例のラダー型フィルタの分解斜視
図。FIG. 15 is an exploded perspective view of the ladder type filter according to the first embodiment.
【図１６】第１の実施例のラダー型フィルタの外観を示
す斜視図。FIG. 16 is a perspective view showing the outer appearance of the ladder type filter of the first embodiment.
【図１７】（ａ）及び（ｂ）は、第１の実施例に用いら
れる動吸振部内蔵型圧電共振子を説明するための各斜視
図。17 (a) and 17 (b) are perspective views for explaining the piezoelectric resonator with a built-in dynamic vibration absorber used in the first embodiment.
【図１８】第１の実施例において端子電極の結線状態を
説明するための模式的平面図。FIG. 18 is a schematic plan view for explaining the connection state of terminal electrodes in the first embodiment.
【図１９】第１の実施例のラダー型フィルタの回路構成
を示す図。FIG. 19 is a diagram showing a circuit configuration of a ladder type filter of the first embodiment.
【図２０】第２の実施例のラダー型フィルタを構成する
のに用いられるＴ型フィルタの分解斜視図。FIG. 20 is an exploded perspective view of a T-type filter used to form the ladder-type filter of the second embodiment.
【図２１】Ｔ型フィルタを示す斜視図。FIG. 21 is a perspective view showing a T-type filter.
【図２２】Ｔ型フィルタの回路構成を示す図。FIG. 22 is a diagram showing a circuit configuration of a T-type filter.
【図２３】第２の実施例において用いられるπ型フィル
タの説明するための分解斜視図。FIG. 23 is an exploded perspective view for explaining a π-type filter used in the second embodiment.
【図２４】図２３に示したπ型フィルタの外観を示す斜
視図。FIG. 24 is a perspective view showing the outer appearance of the π-type filter shown in FIG. 23.
【図２５】π型フィルタの回路構成を示す図。FIG. 25 is a diagram showing a circuit configuration of a π-type filter.
【図２６】第３の実施例のラダー型フィルタを示す分解
斜視図。FIG. 26 is an exploded perspective view showing a ladder type filter according to a third embodiment.
【図２７】第３の実施例のラダー型フィルタの斜視図。FIG. 27 is a perspective view of a ladder type filter according to a third embodiment.
【図２８】第４の実施例に係るラダー型フィルタを説明
するための分解斜視図。FIG. 28 is an exploded perspective view for explaining a ladder type filter according to a fourth embodiment.
【図２９】第４の実施例のラダー型フィルタを示す斜視
図。FIG. 29 is a perspective view showing a ladder type filter according to a fourth embodiment.
【図３０】第４の実施例に係るラダー型フィルタを説明
するための分解斜視図。FIG. 30 is an exploded perspective view for explaining a ladder type filter according to a fourth embodiment.
【図３１】第４の実施例のラダー型フィルタの外観を示
す斜視図。FIG. 31 is a perspective view showing the outer appearance of a ladder type filter according to a fourth embodiment.
【図３２】第４の実施例の回路構成を示す図。FIG. 32 is a diagram showing a circuit configuration of a fourth embodiment.
【図３３】第５の実施例のラダー型フィルタを説明する
ための分解斜視図。FIG. 33 is an exploded perspective view for explaining the ladder type filter of the fifth embodiment.
【図３４】第５の実施例のラダー型フィルタを示す斜視
図。FIG. 34 is a perspective view showing a ladder type filter of the fifth embodiment.
【図３５】第５の実施例のラダー型フィルタの回路構成
を示す図。FIG. 35 is a diagram showing a circuit configuration of a ladder type filter of the fifth embodiment.
【図３６】第６の実施例に係るラダー型フィルタを示す
分解斜視図。FIG. 36 is an exploded perspective view showing a ladder type filter according to a sixth embodiment.
【図３７】第６の実施例のラダー型フィルタの斜視図。FIG. 37 is a perspective view of a ladder type filter according to a sixth embodiment.
【図３８】第６の実施例のラダー型フィルタの回路構成
を示す図。FIG. 38 is a diagram showing a circuit configuration of a ladder type filter of the sixth embodiment.
【図３９】第７の実施例に係るラダー型フィルタを示す
分解斜視図。FIG. 39 is an exploded perspective view showing a ladder type filter according to the seventh embodiment.
【図４０】第７の実施例に係るラダー型フィルタの斜視
図。FIG. 40 is a perspective view of a ladder type filter according to a seventh embodiment.
【図４１】第８の実施例に係るラダー型フィルタを示す
分解斜視図。FIG. 41 is an exploded perspective view showing a ladder type filter according to the eighth embodiment.
【図４２】第８の実施例に係るラダー型フィルタの斜視
図。FIG. 42 is a perspective view of a ladder type filter according to the eighth embodiment.
【図４３】第９の実施例のラダー型フィルタを説明する
ための分解斜視図。FIG. 43 is an exploded perspective view for explaining the ladder type filter of the ninth embodiment.
【図４４】第９の実施例に係るラダー型フィルタを示す
斜視図。FIG. 44 is a perspective view showing a ladder type filter according to a ninth embodiment.
【図４５】第１０の実施例に係るラダー型フィルタを説
明するための分解斜視図。FIG. 45 is an exploded perspective view for explaining a ladder type filter according to the tenth embodiment.
【図４６】第１０の実施例に係るラダー型フィルタを示
す斜視図。FIG. 46 is a perspective view showing a ladder type filter according to the tenth embodiment.
【図４７】第１１の実施例に係るラダー型フィルタを説
明するための分解斜視図。FIG. 47 is an exploded perspective view for explaining a ladder type filter according to the eleventh embodiment.
【図４８】第１２の実施例に係るラダー型フィルタを説
明するための分解斜視図。FIG. 48 is an exploded perspective view for explaining a ladder type filter according to the twelfth embodiment.
２０…ラダー型フィルタ ２２，２３…共振プレート ２６，２７，３１…すべりモードを利用した動吸振部内
蔵型圧電共振子 ２８，３２，３３…幅拡がりモードを利用した動吸振部
内蔵型圧電共振子 ２８ａ…圧電セラミック板 ２８ｂ…共振部 ２８ｄ，２８ｅ…支持部 ２８ｆ，２８ｇ…動吸振部 ２８ｈ，２８ｉ…連結部 ２８ｊ，２８ｋ…保持部 ４０…ラダー型フィルタ ５２…動吸振部内蔵型圧電共振子 ５２ａ…共振部 ５２ｂ，５２ｃ…支持部 ５２ｄ，５２ｅ…動吸振部 ５２ｆ…連結部 ５２ｇ，５２ｈ…保持部 ６１…動吸振部内蔵型圧電共振子20 ... Ladder type filter 22, 23 ... Resonance plate 26, 27, 31 ... Piezoelectric resonator with built-in dynamic vibration absorber using sliding mode 28, 32, 33 ... Piezoresonator with built-in dynamic vibration absorber using wide spread mode 28a ... Piezoelectric ceramic plate 28b ... Resonance part 28d, 28e ... Support part 28f, 28g ... Dynamic vibration absorption part 28h, 28i ... Connection part 28j, 28k ... Holding part 40 ... Ladder type filter 52 ... Dynamic vibration absorption part built-in type piezoelectric resonator 52a Resonance part 52b, 52c ... Support part 52d, 52e ... Dynamic vibration absorption part 52f ... Connection part 52g, 52h ... Holding part 61 ... Dynamic vibration absorption part built-in type piezoelectric resonator
Claims (8)
共振子と、 並列腕を構成する少なくとも１個の並列共振子とを備
え、 前記直列共振子及び並列共振子のうち、少なくとも１個
の共振子が、 短辺の長さがａ、長辺の長さがｂであり、構成材料のポ
アソン比をσとしたときに、前記長辺と短辺の長さの比
ｂ／ａが、 【数１】 を満たす値を中心として±１０％の範囲内とされている
矩形板状の振動体を有する幅拡がりモードを利用したエ
ネルギー閉じ込め型共振子である、ラダー型フィルタ。1. At least one series resonator forming a series arm, and at least one parallel resonator forming a parallel arm, wherein at least one of the series resonator and the parallel resonator is provided. In the resonator, the length of the short side is a, the length of the long side is b, and the Poisson's ratio of the constituent material is σ, the ratio b / a of the lengths of the long side and the short side is [Equation 1] A ladder-type filter that is an energy trapping resonator that utilizes a width-spreading mode having a rectangular plate-shaped vibrating body that is within a range of ± 10% around a value that satisfies the condition.
持部をさらに備える、請求項１に記載のラダー型フィル
タ。2. The ladder type filter according to claim 1, further comprising a support portion connected to a substantially center of a short side of the vibrating body.
略中央に連結されている、請求項２に記載のラダー型フ
ィルタ。3. The ladder type filter according to claim 2, wherein the support portion is connected to substantially the center of the short sides on both sides of the vibrating body.
をさらに備える、請求項２または３に記載のラダー型フ
ィルタ。4. The ladder type filter according to claim 2, further comprising a holding portion connected to an outer end of the support portion.
部と、前記動吸振部の外側に連結された連結部とをさら
に備え、 前記連結部の外側端に前記保持部が連結されている、請
求項４に記載のラダー型フィルタ。5. A dynamic vibration absorbing part connected to an outer end of the support part, and a connecting part connected to an outer side of the dynamic vibration absorbing part, wherein the holding part is connected to an outer end of the connecting part. The ladder type filter according to claim 4, wherein
該枠状の部材の開口内に前記振動体が配置されている、
請求項４に記載のラダー型フィルタ。6. The holding portion is formed of a rectangular frame-shaped member,
The vibrating body is arranged in the opening of the frame-shaped member,
The ladder type filter according to claim 4.
同一部材により一体に構成されている、請求項６に記載
のラダー型フィルタ。7. The ladder-type filter according to claim 6, wherein the frame-shaped member, the vibrating body and the support portion are integrally formed of the same member.
求項１〜７のいずれかに記載のラダー型フィルタ。8. The ladder type filter according to claim 1, wherein the vibrating body comprises a piezoelectric resonator.
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|---|---|---|---|
| JP06229797A JP3114518B2 (en) | 1993-09-30 | 1994-09-26 | Ladder type filter |
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| JP24456993 | 1993-09-30 | ||
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