JPH07153803A - Laminograph - Google Patents

Laminograph

Info

Publication number
JPH07153803A
JPH07153803A JP5299197A JP29919793A JPH07153803A JP H07153803 A JPH07153803 A JP H07153803A JP 5299197 A JP5299197 A JP 5299197A JP 29919793 A JP29919793 A JP 29919793A JP H07153803 A JPH07153803 A JP H07153803A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
subject
radiation
focus
lamino
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5299197A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiichiro Uyama
喜一郎 宇山
Masaji Fujii
正司 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP5299197A priority Critical patent/JPH07153803A/en
Publication of JPH07153803A publication Critical patent/JPH07153803A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PURPOSE:To realize excellent focusing only on a focal plane, by a method wherein relative rotation is induced between an object to be detected, a radiant ray source, and a two-dimensional radiation detector, the output thereof is collected as a plurality of transmission images, and image data on the transmission images of a radiant ray path are added each focus plane. CONSTITUTION:The couple of a radiant ray source 1a and a two-dimensional radiation detector 2a revolves on the locus 4a for the source and the detector center locus 5a, respectively, while keeping an inclination angle alpha to the axis Z passing an object 3 to be detected. A projection point of each revolution angle is calculated, and image data at the point are added and averaged. Thereby transmission data for the circular cone beam formed by the locus 4a of the radiant ray source wherein the projection point q0 is set as the vertex are calculated. The pattern except the projection point q0 is slightly defocused. By similarly calculating a lot of points arranged in a mesh type on a focal plane 3a, a lamino image as the transmission images focused on the focal plane 3a can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、被検体を透過した放射
線を検出し、被検体の断層像を得る断層撮影装置である
ラミノグラフに関し、更に詳しくは、例えば多層配線基
板等の被検体の内部を非破壊で検査するラミノグラフに
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminograph which is a tomographic apparatus for detecting radiation transmitted through a subject and obtaining a tomographic image of the subject. More specifically, the present invention relates to the inside of a subject such as a multilayer wiring board. Non-destructive inspection of laminographs.

【０００２】[0002]

【従来の技術】この種のラミノグラフは、多層配線基板
等の内部の層のパターンを検査するために使用し得るも
のとして、最近注目され始めているものであり、基本的
には医療用として普及している断層写真装置と同じであ
るが、断層写真がＸ線用フィルムを用いて１つの面にピ
ントの合った透過像である断層像を得るのに対して、ラ
ミノグラフは面センサ出力をディジタル画像化し、画像
処理で断層像を作成する点が異なっている。2. Description of the Related Art A laminograph of this kind has recently begun to be noticed as one that can be used for inspecting a pattern of an internal layer of a multilayer wiring board or the like, and is basically popularized for medical purposes. Although it is the same as the tomography device used in the present invention, a tomographic image obtains a tomographic image that is a transmission image in which one surface is in focus using an X-ray film, whereas a laminograph uses a surface sensor output as a digital image. The difference is that a tomographic image is created by image processing.

【０００３】図２６は従来のラミノグラフを示す図であ
り、特開平２−５０１４１１号公報に記載されている。
同図においては、焦点走査型Ｘ線管９１によって円形に
焦点が走査される。２次元面センサである回転Ｘ線検出
器９４は焦点に同期して回転し、この回転中に収集され
た被検体９２を透過した多数の透過像はディジタル処理
により加算され、１つの断層像が作成される。断層像は
焦点の回転半径と回転検出器９４の回転半径で決まる１
つの焦点面９３にピントの合った画像となる。FIG. 26 is a diagram showing a conventional laminograph, which is described in Japanese Patent Laid-Open No. 2-501411.
In the figure, the focus is scanned in a circular shape by the focus scanning X-ray tube 91. The rotating X-ray detector 94, which is a two-dimensional surface sensor, rotates in synchronization with the focal point, and a large number of transmission images transmitted through the subject 92 during the rotation are added by digital processing to obtain one tomographic image. Created. The tomographic image is determined by the turning radius of the focus and the turning radius of the rotation detector 94. 1
The image is focused on one focal plane 93.

【０００４】図２７は、「Industry’s New Vision」Bi
o-Imaging Research，Inc 発行第６頁に記載されている
従来のラミノグラフを示す図である。同図においては、
Ｘ線管９５から放射されるピラミッド型Ｘ線ビーム９６
の中に被検体９７を設け、その後方に２次元Ｘ線検出器
９８が設けられる。この検出器９８に平行な１つの回転
軸Ｏに対して被検体９７を矢印のように往復回転させ、
この間に透過像データを収集する。多数の透過像データ
から伸縮処理および加算処理により１つの焦点面Ｅにピ
ントの合った断面像が作成される。また、収集された同
じ透過像群から伸縮処理のパラメータを変えることによ
り、任意の他のピント面Ｆにピントの合った断面像も作
成することができる。FIG. 27 shows "Industry's New Vision" Bi.
It is a figure which shows the conventional laminograph described in the o-Imaging Research, Inc. issue page 6. In the figure,
Pyramid type X-ray beam 96 emitted from the X-ray tube 95
A subject 97 is provided in the inside of the container, and a two-dimensional X-ray detector 98 is provided behind it. The subject 97 is reciprocally rotated as shown by an arrow with respect to one rotation axis O parallel to the detector 98,
During this time, transmission image data is collected. A cross-sectional image focused on one focal plane E is created from a large number of transmission image data by expansion / contraction processing and addition processing. In addition, by changing the parameter of the expansion / contraction process from the same collected transmission image group, it is possible to create a sectional image in focus on any other focused surface F.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述した図２６に示す
従来のラミノグラフでは、焦点走査型Ｘ線管を用いてい
るため、焦点の位置が決められた軌道から狂い易く、画
像が不鮮明になることが多いとともに、高価になるとい
う問題がある。In the conventional laminograph shown in FIG. 26 described above, since the focus scanning X-ray tube is used, the focus position is likely to deviate from the determined trajectory and the image becomes unclear. However, there is a problem that it is expensive.

【０００６】また、焦点走査の直径もＸ線管の制約から
あまり大きくできないため、断層写真のピント深度が浅
くできず、ピント面外のパターンが十分にぼけないとい
う問題がある。Further, since the diameter of the focal scanning cannot be made too large due to the restriction of the X-ray tube, the depth of focus of the tomographic photograph cannot be made shallow, and the pattern outside the focus plane cannot be sufficiently blurred.

【０００７】図２７に示す別の従来のラミノグラフで
は、ピント面からはずれた面にあるパターンぼけが一方
向であるため、回転軸に直交する直線状のパターンはぼ
やけず、ピント面パターンと混同され易いという問題が
ある。本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目
的とするところは、ピント面のみによくピントが合うラ
ミノグラフを提供することにある。In another conventional laminograph shown in FIG. 27, since the pattern blur on the plane deviating from the focus plane is in one direction, the linear pattern orthogonal to the rotation axis is not blurred and is confused with the focus plane pattern. There is a problem that it is easy. The present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to provide a laminograph in which only a focus surface is well focused.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のラミノグラフは、放射線を発生し、被検体
に向けて放出する放射線源と、被検体を透過した放射線
を実質的に２次元の空間分解能をもって検出する２次元
放射線検出器と、前記放射線源と前記放射線検出器を結
ぶ中心線に対して所定の角度の傾きを持つ回転軸に対し
て被検体と前記放射線源および前記放射線検出器の組と
の間に相対的回転運動を与える回転手段と、前記回転運
動の間に前記放射線検出器の出力を複数の透過画像とし
て収集するデータ収集手段と、被検体内に設定したピン
ト面上に並んだ複数のピント点のそれぞれを通る放射線
通路の複数の透過画像上での画像データを各ピント点毎
に足し合わせて、被検体内のピント面に焦点の合った透
過画像であるラミノ画像を得る画像処理手段とを有する
ことを要旨とする。In order to achieve the above object, the laminograph of the present invention has a radiation source that generates radiation and emits the radiation toward a subject, and the radiation transmitted through the subject is substantially two-dimensional. Two-dimensional radiation detector for detecting with a spatial resolution of, a subject, the radiation source, and the radiation detection with respect to a rotation axis having an inclination of a predetermined angle with respect to a center line connecting the radiation source and the radiation detector. Rotating means for providing a relative rotational movement between the device and a set of instruments, data collecting means for collecting the output of the radiation detector as a plurality of transmission images during the rotational movement, and a focus plane set in the subject. Lamino, which is a transmission image focused on the focus plane in the subject, is obtained by adding together image data on multiple transmission images of radiation paths passing through each of the plurality of focus points arranged above. And summarized in that and an image processing means for obtaining an image.

【０００９】また、本発明のラミノグラフは、放射線を
発生し、被検体に向けて放出する放射線源と、被検体を
透過した放射線を実質的に２次元の空間分解能をもって
検出する２次元放射線検出器と、被検体と前記放射線源
および前記放射線検出器の組との間に相対的回転運動を
与える回転手段と、前記回転運動の間に前記放射線検出
器の出力を複数の透過画像として収集するデータ収集手
段と、被検体の代わりに棒状の放射線吸収物体を前記回
転軸に沿って近傍に設置し、前記収集を行う回転軸位置
校正過程を有し、被検体内に設定したピント面上に並ん
だ複数のピント点のそれぞれを通る放射線通路の複数の
透過画像上での画像データを各ピント点毎に足し合わせ
て、被検体内のピント面に焦点の合った透過画像である
ラミノ画像を得る画像処理手段とを有することを要旨と
する。Further, the laminograph of the present invention is a two-dimensional radiation detector that generates radiation and emits it toward a subject, and a radiation transmitted through the subject with substantially two-dimensional spatial resolution. And rotation means for providing relative rotational movement between the subject and the set of the radiation source and the radiation detector, and data for collecting the output of the radiation detector as a plurality of transmission images during the rotational movement. Collection means and a rod-shaped radiation absorbing object instead of the subject are installed in the vicinity along the rotation axis, and there is a rotation axis position calibration process for performing the collection, and they are arranged on the focus plane set in the subject. The image data on a plurality of transmission images of the radiation path passing through each of the plurality of focus points is added for each focus point to obtain a lamino image which is a transmission image focused on the focus surface in the subject. And summarized in that with an image processing unit.

【００１０】更に、本発明のラミノグラフは、放射線を
発生し、被検体に向けて放出する放射線源と、被検体を
透過した放射線を実質的に２次元の空間分解能をもって
検出する２次元放射線検出器と、異なった幾何学的配置
をとるように被検体、前記放射線源および前記放射線検
出器を走査する走査手段と、前記異なった幾何学的配置
において前記放射線検出器の出力を複数の異なった方向
からの透過画像として収集するデータ収集手段と、被検
体内に設定したピント面上に並んだ複数のピント点のそ
れぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上での画像デ
ータを各ピント点毎に足し合わせて、被検体内のピント
面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得る画像
処理装置と、複数の第１次ピント面を設定し、それぞれ
のピント面に対して第１次ラミノ画像を計算する第１次
ラミノ画像計算手段と、前記第１次ラミノ画像から第２
次ピント面を設定する設定手段と、前記第２次ピント面
から第２次ラミノ画像を計算する第２次ラミノ画像計算
手段とを有することを要旨とする。Furthermore, the laminograph of the present invention is a two-dimensional radiation detector that generates radiation and emits it toward a subject, and a radiation transmitted through the subject with substantially two-dimensional spatial resolution. And scanning means for scanning the subject, the radiation source and the radiation detector so as to take different geometrical arrangements, and the output of the radiation detector in a plurality of different directions in the different geometrical arrangement. Data collection means for collecting as a transmission image from the, and image data on each transmission image of a plurality of transmission images of the radiation path passing through each of the plurality of focus points arranged on the focus plane set in the subject An image processing apparatus is added to obtain a lamino image which is a transmission image focused on the focus plane in the subject, and a plurality of primary focus planes are set. A primary lamino image calculation means for calculating a first-order lamino image, first from the primary lamino image 2
The gist of the present invention is to have a setting means for setting a next focus surface and a secondary lamino image calculation means for calculating a secondary lamino image from the secondary focus surface.

【００１１】本発明のラミノグラフは、放射線を発生
し、被検体に向けて放出する放射線源と、被検体を透過
した放射線を実質的に２次元の空間分解能をもって検出
する２次元放射線検出器と、前記放射線源と前記放射線
検出器を結ぶ中心線に対してほぼ直角な回転軸に対して
被検体と前記放射線源および前記放射線検出器の組との
間に相対的回転運動を与える回転手段と、前記回転運動
の間にまたは回転静止中に前記放射線検出器の出力を複
数のまたは単数の透過画像として収集するデータ収集手
段と、前記複数の透過画像データより前記回転軸と直交
し、前記放射線源を通る平面であるスライス面のデータ
のみを用いて被検体のスライス面での断面像を計算する
再構成手段と、スライス面を変更するために被検体と前
記放射線源および放射線検出器の組との間に回転軸に沿
った方向の相対的変位を与えるスライス面変更手段と、
被検体内に設定したピント面上に並んだ複数のピント点
のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過像上での画像
データを各ピント点毎に足し合わせて、ピント面に焦点
の合った透過画像であるラミノ画像を得る画像処理手段
とを有することを要旨とする。The laminograph of the present invention comprises a radiation source that generates radiation and emits it toward a subject, and a two-dimensional radiation detector that detects the radiation transmitted through the subject with substantially two-dimensional spatial resolution. Rotating means for providing a relative rotational movement between the subject and the set of the radiation source and the radiation detector with respect to a rotation axis substantially perpendicular to the center line connecting the radiation source and the radiation detector, Data collecting means for collecting the output of the radiation detector as a plurality of or a single transmission image during the rotational movement or during the stationary rotation, and the radiation source orthogonal to the rotation axis from the plurality of transmission image data. Reconstructing means for calculating a cross-sectional image of the slice plane of the subject using only the data of the slice plane which is a plane passing through, and the subject, the radiation source and the radiation source for changing the slice plane. A slice plane changing means for giving a direction of the relative displacement along the rotational axis between the pair of line detectors,
The image data on multiple transmission images of the radiation path that passes through each of the multiple focus points arranged on the focus surface set in the subject is added together for each focus point, and the transmission is focused on the focus surface. The gist is to have an image processing means for obtaining a lamino image which is an image.

【００１２】また、本発明のラミノグラフは、放射線を
発生し、被検体に向けて放出する放射線源、被検体を透
過した放射線を検出する１次元放射線検出器、被検体を
通る種々の方向の透過データを収集するように前記放射
線源、前記放射線検出器、被検体を走査する走査手段、
および前記放射線検出器で検出した透過データから被検
体の断面像を構成する再構成手段を有するＣＴスキャナ
において、被検体を透過した放射線を実質的に２次元の
空間分解能をもって検出する２次元放射線検出器と、被
検体と前記放射線源および２次元放射線検出器の組との
間に相対的回転運動を与える回転手段と、前記回転運動
の間に前記２次元放射線検出器の出力を複数の透過画像
として収集するデータ収集手段と、被検体内に設定した
ピント面上に並んだ複数のピント点のそれぞれを通る放
射線通路の複数の透過画像上での画像データを各ピント
点毎に足し合わせて、被検体内のピント面に焦点の合っ
た透過画像であるラミノ画像を得る画像処理手段とを有
することを要旨とする。Further, the laminograph of the present invention includes a radiation source that generates radiation and emits it toward a subject, a one-dimensional radiation detector that detects radiation transmitted through the subject, and transmission in various directions through the subject. The radiation source, the radiation detector, scanning means for scanning the subject to collect data,
And a CT scanner having reconstruction means for constructing a cross-sectional image of a subject from transmission data detected by the radiation detector, two-dimensional radiation detection for detecting radiation transmitted through the subject with substantially two-dimensional spatial resolution Device, rotation means for providing relative rotational movement between the subject and the set of the radiation source and the two-dimensional radiation detector, and a plurality of transmission images of the output of the two-dimensional radiation detector during the rotational movement. As data collection means to collect as, adding image data for each focus point on a plurality of transmission images of the radiation path passing through each of the plurality of focus points arranged on the focus surface set in the subject, The gist of the present invention is to have an image processing means for obtaining a lamino image which is a transmission image focused on a focus surface in the subject.

【００１３】更に、本発明のラミノグラフは、放射線を
発生し、被検体に向けて放出する放射線源と、被検体を
透過した放射線を実質的に２次元の空間分解能をもって
検出する放射線検出器と、異なった幾何学的配置をとる
ように被検体、前記放射線源および前記放射線検出器を
走査する走査手段と、前記異なった幾何学的配置におい
て前記放射線検出器の出力を複数の異なった方向からの
透過画像として収集するデータ収集手段と、被検体内に
設定したピント面上に並んだ複数のピント点のそれぞれ
を通る放射線通路の複数の透過画像上での画像データを
各ピント点毎に足し合わせて、被検体内のピント面に焦
点の合った透過画像であるラミノ画像を得る画像処理手
段と、前記ラミノ画像とピント面の３次元表示である射
影像を一度に観察できるように表示する表示手段とを有
することを要旨とする。Further, the laminograph of the present invention comprises a radiation source which generates radiation and emits it toward a subject, and a radiation detector which detects the radiation transmitted through the subject with substantially two-dimensional spatial resolution. Scanning means for scanning the subject, the radiation source and the radiation detector so as to have different geometrical arrangements, and the output of the radiation detector in the different geometrical arrangements from a plurality of different directions. Data acquisition means for collecting as a transmission image and image data on a plurality of transmission images of a radiation path passing through each of a plurality of focus points arranged on the focus plane set in the subject are added for each focus point. Then, the image processing means for obtaining a lamino image which is a transmission image focused on the focus surface in the subject, and the projection image which is a three-dimensional display of the lamino image and the focus surface are observed at one time. And summarized in that and a display means for displaying to cut.

【００１４】[0014]

【作用】本発明のラミノグラフでは、放射線源と放射線
検出器を結ぶ中心線に対して所定の角度の傾きを持つ回
転軸に対して被検体と放射線源および放射線検出器の組
との間に相対的回転運動を与え、この回転運動の間に放
射線検出器の出力を複数の透過画像として収集し、被検
体内のピント面上に並んだ複数のピント点のそれぞれを
通る放射線通路の複数の透過画像上での画像データを各
ピント点毎に足し合わせて、被検体内のピント面に焦点
の合った透過画像であるラミノ画像を得る。In the laminograph of the present invention, the object and the set of the radiation source and the radiation detector are positioned relative to the rotation axis having a predetermined angle of inclination with respect to the center line connecting the radiation source and the radiation detector. The output of the radiation detector is collected as a plurality of transmission images during this rotational movement, and a plurality of transmissions of the radiation path passing through each of a plurality of focus points arranged on the focus plane in the subject are transmitted. The image data on the image is added for each focus point to obtain a lamino image which is a transmission image in which the focus surface in the subject is in focus.

【００１５】また、本発明のラミノグラフでは、被検体
と放射線源および放射線検出器の組との間に相対的回転
運動を与え、この回転運動の間に放射線検出器の出力を
複数の透過画像として収集し、被検体の代わりに棒状の
放射線吸収物体を回転軸に沿って近傍に設置し、収集を
行う回転軸位置校正過程を有し、被検体内のピント面上
に並んだ複数のピント点のそれぞれを通る放射線通路の
複数の透過画像上での画像データを各ピント点毎に足し
合わせて、被検体内のピント面に焦点の合った透過画像
であるラミノ画像を得る。Further, in the laminograph of the present invention, relative rotational movement is applied between the subject and the set of the radiation source and the radiation detector, and the output of the radiation detector is converted into a plurality of transmission images during the rotational movement. There is a rotation axis position calibration process that collects and installs a rod-shaped radiation absorbing object instead of the subject along the rotation axis in the vicinity, and collects multiple focus points arranged on the focus plane inside the subject. Image data on a plurality of transmission images of a radiation path passing through each of the above are added for each focus point to obtain a lamino image which is a transmission image focused on the focus surface in the subject.

【００１６】更に、本発明のラミノグラフでは、異なっ
た幾何学的配置をとるように被検体、放射線源および放
射線検出器を走査し、異なった幾何学的配置において放
射線検出器の出力を複数の異なった方向からの透過画像
として収集し、被検体内のピント面上に並んだ複数のピ
ント点のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上
での画像データを各ピント点毎に足し合わせて、被検体
内のピント面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像
を得るとともに、複数の第１次ピント面を設定し、それ
ぞれのピント面に対して第１次ラミノ画像を計算し、第
１次ラミノ画像から第２次ピント面を設定し、第２次ピ
ント面から第２次ラミノ画像を計算する。Further, in the laminograph of the present invention, the object, the radiation source and the radiation detector are scanned so as to have different geometrical arrangements, and the output of the radiation detector is changed to a plurality of different geometrical arrangements. Collected as a transmission image from a different direction, the image data on a plurality of transmission images of the radiation path passing through each of the plurality of focus points arranged on the focus surface in the subject is added for each focus point, A lamino image that is a transmission image focused on the focus plane in the subject is obtained, a plurality of primary focus planes are set, and a primary lamino image is calculated for each focus plane. A secondary focus plane is set from the next lamino image, and a secondary lamino image is calculated from the secondary focus plane.

【００１７】本発明のラミノグラフでは、放射線源と放
射線検出器を結ぶ中心線に対してほぼ直角な回転軸に対
して被検体と放射線源および前記放射線検出器の組との
間に相対的回転運動を与え、この回転運動の間にまたは
回転静止中に放射線検出器の出力を複数のまたは単数の
透過画像として収集し、複数の透過画像データより回転
軸と直交し、放射線源を通る平面であるスライス面のデ
ータのみを用いて被検体のスライス面での断面像を計算
し、スライス面を変更するために被検体と放射線源およ
び放射線検出器の組との間に回転軸に沿った方向の相対
的変位を与え、被検体内のピント面上に並んだ複数のピ
ント点のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過像上で
の画像データを各ピント点毎に足し合わせて、ピント面
に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得る。In the laminograph of the present invention, the relative rotational movement between the subject, the radiation source and the set of radiation detectors is about an axis of rotation substantially perpendicular to the center line connecting the radiation source and the radiation detector. The output of the radiation detector is collected as multiple or single transmission images during this rotational movement or during stationary rotation, and is a plane that is orthogonal to the rotation axis from the multiple transmission image data and passes through the radiation source. Calculate a cross-sectional image at the slice plane of the subject using only the slice plane data, in the direction along the axis of rotation between the subject and the set of radiation source and radiation detector to change the slice plane. A relative displacement is applied, and image data on multiple transmission images of the radiation path that passes through each of the multiple focus points arranged on the focus surface inside the subject is added together for each focus point to focus on the focus surface. Tohru who fit Get the lamino image is an image.

【００１８】また、本発明のラミノグラフでは、放射線
源、１次元放射線検出器、走査手段、および再構成手段
を有するＣＴスキャナにおいて、被検体と放射線源およ
び２次元放射線検出器の組との間に相対的回転運動を与
え、この回転運動の間に２次元放射線検出器の出力を複
数の透過画像として収集し、被検体内のピント面上に並
んだ複数のピント点のそれぞれを通る放射線通路の複数
の透過画像上での画像データを各ピント点毎に足し合わ
せて、被検体内のピント面に焦点の合った透過画像であ
るラミノ画像を得る。Further, in the laminograph of the present invention, in a CT scanner having a radiation source, a one-dimensional radiation detector, a scanning means, and a reconstruction means, between a subject and a set of the radiation source and the two-dimensional radiation detector. A relative rotational movement is applied, and during this rotational movement, the output of the two-dimensional radiation detector is collected as a plurality of transmission images, and the radiation path passing through each of a plurality of focus points arranged on the focus plane in the subject is detected. Image data on a plurality of transmission images are added up for each focus point to obtain a lamino image which is a transmission image in which the focus surface in the subject is in focus.

【００１９】更に、本発明のラミノグラフは、異なった
幾何学的配置をとるように被検体、放射線源および放射
線検出器を走査し、異なった幾何学的配置において放射
線検出器の出力を複数の異なった方向からの透過画像と
して収集し、被検体内のピント面上に並んだ複数のピン
ト点のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上で
の画像データを各ピント点毎に足し合わせて、被検体内
のピント面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を
得て、該ラミノ画像とピント面の３次元表示である射影
像を一度に観察できるように表示する。Further, the laminograph of the present invention scans the subject, the radiation source and the radiation detector in different geometrical arrangements, and outputs the radiation detector output in a plurality of different geometrical arrangements. Collected as a transmission image from a different direction, the image data on a plurality of transmission images of the radiation path passing through each of the plurality of focus points arranged on the focus surface in the subject is added for each focus point, A lamino image, which is a transmission image focused on the focus surface in the subject, is obtained, and the lamino image and a projection image, which is a three-dimensional display of the focus surface, are displayed so that they can be observed at one time.

【００２０】[0020]

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。最初に、実施例を説明する前に、図１を参照して、
本発明のラミノグラフの原理的作用について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, before describing the embodiment, referring to FIG.
The principle operation of the laminograph of the present invention will be described.

【００２１】図１においては、放射線源１ａと２次元放
射線検出器２ａ（放射線源１ｂと２次元放射線検出器２
ｂ）の組がそれぞれ図示のように被検体３を通るＺ軸に
対して角度αの傾きを保ちながら放射線源用軌道４ａお
よび検出器中心軌道５ａを描いて回転するようになって
いる。なお、図１において、座標ＸＹＺは被検体３に対
して固定した座標であり、Ｚ軸は回転軸に一致させてあ
る。In FIG. 1, a radiation source 1a and a two-dimensional radiation detector 2a (a radiation source 1b and a two-dimensional radiation detector 2 are shown.
As shown in the drawing, the group b) rotates while drawing the radiation source orbit 4a and the detector central orbit 5a while maintaining the inclination of the angle α with respect to the Z axis passing through the subject 3. In FIG. 1, coordinates XYZ are coordinates fixed with respect to the subject 3, and the Z axis is made to coincide with the rotation axis.

【００２２】被検体３内に設定されたピント面３ａ上の
１点ｑに着目すると、回転角０°の場合には、ｑ点の透
過像（すなわち、測定面６ａ）への射影点はｑ0 とな
る。この射影点ｑ0 は幾何学的に計算することができ
る。同様に、回転角１８０°の場合には、射影点はｑ
180 となる。Focusing on one point q on the focus plane 3a set in the subject 3, when the rotation angle is 0 °, q is the projection point on the transmission image (that is, the measurement plane 6a). It becomes 0 . This projection point q 0 can be calculated geometrically. Similarly, when the rotation angle is 180 °, the projection point is q
180 .

【００２３】このように各回転角での射影点を計算し、
その点での画像データを加算して平均することにより、
射影点ｑ0 を頂点とし、放射線源の軌道４ａで形成され
る円錐のビームに対する透過データが計算され、射影点
ｑ以外のパターンはぼやける。In this way, the projection point at each rotation angle is calculated,
By adding and averaging the image data at that point,
Transmission data for a cone beam formed by the trajectory 4a of the radiation source with the projection point q 0 as the apex is calculated, and patterns other than the projection point q are blurred.

【００２４】同様に、ピント面３ａ上に網の目状に配置
した多数の点について計算することにより、ピント面３
ａにピントの合った透過像であるラミノ像が得られる。
図１において、ピント面３ａ上にある文字Ｂははっきり
残り、上下の層にそれぞれある文字Ａ，Ｃはぼやける。
これにより上下層に邪魔されることなく、ピント面３ａ
を観察することができるのである。図２は、本発明の第
１の実施例に係わるラミノグラフの構成を示す図であ
る。Similarly, by calculating a large number of points arranged in a mesh pattern on the focusing surface 3a, the focusing surface 3
A lamino image that is a transmission image focused on a is obtained.
In FIG. 1, the character B on the focus surface 3a remains clear, and the characters A and C on the upper and lower layers are blurred.
As a result, the focusing surface 3a is not disturbed by the upper and lower layers.
Can be observed. FIG. 2 is a diagram showing the configuration of a laminograph according to the first embodiment of the present invention.

【００２５】図２において、放射線源を構成するＸ線管
１および放射線検出器を構成するＸ線イメージインテン
シファイヤ（以下、Ｘ線ＩＩと略称する）４が被検体３
を挟んで互いに対向して配設され、図示しないフロアー
等に固定されている。そして、Ｘ線管１とＸ線ＩＩ４と
を結ぶ中心線は鉛直線に対して角度α（約６０°）の傾
きをもっている。なお、図１において、２はＸ線管１か
ら発生したＸ線ビームである。In FIG. 2, an X-ray tube 1 which constitutes a radiation source and an X-ray image intensifier (hereinafter abbreviated as X-ray II) 4 which constitutes a radiation detector are subject 3
They are arranged so as to face each other with the pinch in between and are fixed to a floor or the like (not shown). The center line connecting the X-ray tube 1 and the X-ray II4 has an inclination of an angle α (about 60 °) with respect to the vertical line. In FIG. 1, 2 is an X-ray beam generated from the X-ray tube 1.

【００２６】被検体３は、鉛直方向の回転軸を有する回
転テーブル５に保持され、該回転テーブル５は回転機構
６によって回転し得るとともに、また回転機構６はフロ
アーに支持されている。なお、回転機構６は回転制御装
置１０によって回転制御されている。The subject 3 is held by a rotary table 5 having a vertical rotary shaft, the rotary table 5 can be rotated by a rotary mechanism 6, and the rotary mechanism 6 is supported on a floor. The rotation mechanism 6 is rotation-controlled by the rotation control device 10.

【００２７】前記Ｘ線ＩＩ４は２次元の透過画像をラス
タースキャンしてアナログ信号としてデータ収集装置７
に供給する。データ収集装置７はこの信号をディジタル
データに変換して画像処理装置８に供給する。画像処理
装置８はこのデータを回転制御装置１０から供給される
位置データと合わせて記録し、複数画像を計算処理して
ラミノ画像を計算し、ＣＲＴ９に表示する。The X-ray II4 is raster-scanned for a two-dimensional transmission image and converted into an analog signal by the data acquisition device 7
Supply to. The data collection device 7 converts this signal into digital data and supplies it to the image processing device 8. The image processing device 8 records this data together with the position data supplied from the rotation control device 10, calculates a plurality of images to calculate a lamino image, and displays it on the CRT 9.

【００２８】また、Ｘ線ＩＩ４にはモニタＣＲＴ１１が
接続され、ディジタル化前の透過画像をモニタできるよ
うになっている。なお、Ｘ線管１にはＸ線制御装置が接
続され、画像処理装置８からの信号によりオン／オフ制
御されるようになっているが、図面では省略されてい
る。A monitor CRT 11 is connected to the X-ray II4 so that a transmission image before digitization can be monitored. An X-ray control device is connected to the X-ray tube 1 so as to be ON / OFF controlled by a signal from the image processing device 8, but it is omitted in the drawing.

【００２９】次に、上述したように構成される第１の実
施例の作用を説明する。この作用では、校正時の作用、
実使用時の作用があるが、まず最初に校正時の作用につ
いて説明する。Next, the operation of the first embodiment constructed as described above will be described. In this action, the action at the time of calibration,
Although there is an operation during actual use, the operation during calibration will be described first.

【００３０】校正の頻度は比較的少なくてよく、例えば
１週間に１度程度である。まず、図３を参照して、歪の
校正について説明する。図３（ａ）に示すように、Ｘ線
ＩＩ４の前面上にはグリッド１３が設けられている。こ
のグリッド１３は図３（ｂ）に示すようにアクリル板１
４に溝を形成し、この溝内にステンレス線１５を埋め込
んで形成されている。なお、グリッドは格子の交差点に
球状の金属を埋め込んだものでもよい。The frequency of calibration may be relatively low, for example, about once a week. First, the distortion calibration will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3A, a grid 13 is provided on the front surface of the X-ray II4. This grid 13 is an acrylic plate 1 as shown in FIG.
4 is formed with a groove, and the stainless wire 15 is embedded in the groove. The grid may have a spherical metal embedded at the intersection of the grid.

【００３１】図３（ａ）に示すように、Ｘ線ＩＩ４の前
にグリッド１３を設けた状態で、画像処理装置８の操作
パネルから操作して、透過像を収集すると、グリッドの
透過像は図３（ｃ）に示すように歪が生じている。これ
に対して、歪補正と称する画像の伸縮処理（画像変換）
を行うと、図３（ｄ）に示すように歪のない格子状透過
像が得られる。歪の校正では、グリッドが歪のない格子
状になるような歪補正係数を求めて記憶することを行
う。画像処理装置８が画像から自動的に補正係数を求め
て記憶する。歪補正自体は公知であるのでその計算処理
の詳細は省略する。As shown in FIG. 3A, when the transmission image is collected by operating the operation panel of the image processing apparatus 8 with the grid 13 provided in front of the X-ray II 4, the transmission image of the grid is Distortion occurs as shown in FIG. On the other hand, image expansion / contraction processing called image correction (image conversion)
Then, as shown in FIG. 3D, a lattice-shaped transmission image without distortion is obtained. In the distortion calibration, a distortion correction coefficient that allows the grid to have a grid shape without distortion is obtained and stored. The image processing device 8 automatically obtains and stores a correction coefficient from the image. Since the distortion correction itself is known, the details of the calculation process will be omitted.

【００３２】次に、回転軸位置の校正（センタリング校
正）について図４を参照して説明する。図４（ａ）に示
すように、Ｘ線管１とＸ線ＩＩ４との間のＸ線ビーム２
内の図示しない回転テーブル５上に回転軸（Ｚ軸方向）
に沿ってかつ回転軸のなるべく近くにピンファントム２
０を設ける。このピンファントム２０は、図４（ｂ）に
示すようにアクリル管２１の中央にステンレス線２２を
張ったものである。Next, calibration of the rotational axis position (centering calibration) will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 4A, the X-ray beam 2 between the X-ray tube 1 and the X-ray II 4
A rotary shaft (Z-axis direction) on a rotary table 5 (not shown)
Pin phantom 2 along and near the axis of rotation
0 is set. As shown in FIG. 4B, the pin phantom 20 has an acrylic tube 21 with a stainless wire 22 stretched in the center thereof.

【００３３】図４（ａ）に示す状態において、画像処理
装置８の操作パネルから操作して回転させながら、透過
像を収集すると、ピンファントム２０の透過像は図４
（ｃ）において２３で示すように中央からずれたものに
なる。画像処理装置８は画像の２値化によりピンファン
トム２０のステンレス線の影の部分を抽出し、Δｄとβ
を求め、１８０°または３６０°の回転の間のΔｄとβ
の平均を求める。平均することにより、ピンファントム
が回転軸からずれていても、正確に回転軸のずれとかた
むきΔｄとβを求めたことになる。In the state shown in FIG. 4A, when a transmission image is collected while being rotated by operating the operation panel of the image processing device 8, the transmission image of the pin phantom 20 is as shown in FIG.
As shown by 23 in (c), it is displaced from the center. The image processing device 8 extracts the shadow portion of the stainless wire of the pin phantom 20 by binarizing the image, and calculates Δd and β.
And Δd and β during 180 ° or 360 ° rotation
Find the average of. By averaging, even if the pin phantom deviates from the rotation axis, it means that the deviation of the rotation axis and the hardnesses Δd and β are accurately obtained.

【００３４】センタリング補正では、このようにΔｄと
βを求めて記憶する。そして、実使用時に行うセンタリ
ング補正では、画像をβだけ回転し、Δｄだけずらすこ
とにより、画像は図４（ｄ）に示すように回転軸位置が
中央に位置するように補正される。In the centering correction, Δd and β are thus obtained and stored. In the centering correction performed during actual use, the image is rotated by β and shifted by Δd, so that the image is corrected so that the rotational axis position is located at the center, as shown in FIG. 4D.

【００３５】次に、実使用時の作用を図５を参照して説
明する。実使用時には、操作者はまず被検体３を回転テ
ーブル５に載置し、画像処理装置８の操作パネルからピ
ント面位置（例えば、Ｘ＝１ｍｍ）を入力し、データ収
集を開始させる。この結果、画像処理装置８は図５に示
すフローチャートに従ってラミノ画像を作成する。Next, the operation during actual use will be described with reference to FIG. At the time of actual use, the operator first places the subject 3 on the rotary table 5, inputs the focus plane position (for example, X = 1 mm) from the operation panel of the image processing apparatus 8, and starts data collection. As a result, the image processing device 8 creates a lamino image according to the flowchart shown in FIG.

【００３６】以下、図５のフローチャートに従って説明
する。図５において、まずＸ線管１がオンされ、回転が
開始する（ステップ１１０，１２０）。ついで、２次元
透過像がつづけて収集されていくが、１画面の収集時間
は回転ぶれが無視できる短い時間である。The process will be described below with reference to the flowchart of FIG. In FIG. 5, first, the X-ray tube 1 is turned on, and rotation starts (steps 110 and 120). Then, the two-dimensional transmission image is continuously collected, but the acquisition time for one screen is a short time in which the rotational shake can be ignored.

【００３７】１画面の収集が終了すると（ステップ１３
０）、前処理として上述した歪補正およびセンタリング
補正が施され、生画像（すなわち、前処理済みの透過
像）が作成されてファイルされる（ステップ１４０，１
５０）。生画像は１画像毎に後述するラミノ画像処理を
施され、ラミノ画像が作成される（ステップ１６０）。
次の画面も同様に処理され、前画面のラミノ画像上に結
果が足し込まれ、平均画像が作成される。When the collection of one screen is completed (step 13
0), the above-described distortion correction and centering correction are performed as preprocessing, and a raw image (that is, a preprocessed transmission image) is created and filed (steps 140, 1).
50). The raw image is subjected to the lamino image processing described later for each image to create a lamino image (step 160).
The next screen is processed in the same way and the results are added to the previous screen's lamino image to create an average image.

【００３８】３６０°または任意の設定角度分の画面が
処理され、ラミノ画像が完成すると、ラミノ画像が表示
される（ステップ１８０，１９０）。そして、回転が停
止し、Ｘ線管１がオフになり終了する（ステップ２０
０，２１０）。なお、回転は一方向の回転でなく、部分
的な角度監視の往復回転でもよい。When the screen for 360 ° or any set angle is processed and the laminin image is completed, the laminin image is displayed (steps 180, 190). Then, the rotation is stopped, the X-ray tube 1 is turned off, and the process ends (step 20).
0, 210). It should be noted that the rotation may be reciprocal rotation for partial angle monitoring, instead of unidirectional rotation.

【００３９】また、収集画像のうち、Ｘ線通路が被検体
３の長手方向に沿った方向になる画 には使用されない。Further, in the acquired image, an image in which the X-ray passage is in the direction along the longitudinal direction of the subject 3. Not used for.

【００４０】次に、図６のフローチャートを参照して、
図５のステップ１６０におけるラミノ画像処理について
説明する。なお、この処理では、図７および図８を参照
して説明を行う。Next, referring to the flowchart of FIG.
The lamino image processing in step 160 of FIG. 5 will be described. Note that this process will be described with reference to FIGS. 7 and 8.

【００４１】計算処理の座標系を図７（ａ）に示す。同
図において、ｘ，ｙ，ｚは測定系（Ｘ線管、検出器）に
固定された座標系であり、測定面３１は検出器の面であ
り、ｘｙ平面内にある。ＳはＸ線焦点である。Ｘ，Ｙ，
Ｚは被検体に固定した座標系であり、回転角θ＝０°の
とき、座標系Ｘ’，Ｙ’，Ｚ’に一致する。Ｘ’，Ｚ’
軸はｘｚ平面内になるように設定されている。The coordinate system of the calculation process is shown in FIG. In the figure, x, y, and z are coordinate systems fixed to the measurement system (X-ray tube, detector), and the measurement plane 31 is the plane of the detector and is in the xy plane. S is the X-ray focus. X, Y,
Z is a coordinate system fixed to the subject, and coincides with coordinate systems X ′, Y ′, Z ′ when the rotation angle θ = 0 °. X ', Z'
The axis is set to be in the xz plane.

【００４２】図７（ｂ）は被検体３内に設定されたピン
ト面を示しており、ピント面は式Ｘ＝Ｘo で表される。
図７（ｃ）はピント面の格子点（ｉ，ｊ）と座標Ｙ，Ｚ
の関係を示している。FIG. 7B shows a focus surface set in the subject 3, which is expressed by the formula X = X o .
FIG. 7C shows a grid point (i, j) on the focus surface and coordinates Y, Z.
Shows the relationship.

【００４３】図８は生画像の格子点（ｄ，ｍ）と座標
ｘ，ｙの関係を示している。図６を参照して、ラミノ画
像処理について説明する。図６では、まずピント面上の
始点位置ｉ＝０，ｊ＝０でのラミノ画像値の計算から開
始する（ステップ１６２）。それから、ピント点ｉ，ｊ
の値から次に示す式に従って生画像上への射影点ｄ，ｍ
を計算する（ステップ１６４）。まず、ｉ，ｊ→Ｘ，
Ｙ，Ｚの変換は次式により行う。FIG. 8 shows the relationship between the grid points (d, m) of the raw image and the coordinates x, y. The lamino image processing will be described with reference to FIG. In FIG. 6, first, the calculation is started from the lamino image value at the starting point position i = 0, j = 0 on the focus surface (step 162). Then, the focus points i, j
Projection values d, m onto the raw image from the value of
Is calculated (step 164). First, i, j → X,
The conversion of Y and Z is performed by the following equation.

【００４４】[0044]

【数１】 Ｘ＝Ｘo Ｙ＝Ｙo ＋ｉ・ｄＹ （１） Ｚ＝Ｚo ＋ｊ・ｄＺ 次に、Ｘ，Ｙ，Ｚ→ｘ，ｙ，ｚの変換は次式により行
う。[Number 1] X = X o Y = Y o + i · dY (1) Z = Z o + j · dZ Next performed, X, Y, Z → x , y, conversion of z by the following equation.

【００４５】[0045]

【数２】 図７を参照して、ピント点ｑ（ｘ，ｙ，ｚ）から射影点
Ｑ（ｘp ，ｙp ）を計算する。幾何計算により次式が求
まる。[Equation 2] Referring to FIG. 7, the projection point Q (x p , y p ) is calculated from the focus point q (x, y, z). The following formula is obtained by geometric calculation.

【００４６】[0046]

【数３】 ｘp ＝ｘ・Ｚs ／（Ｚs −ｚ） ｙp ＝ｙ・Ｚs ／（Ｚs −ｚ） （４） 次に、ｘo ，ｙo →ｄ，ｍの変換を行う。[Number 3] x p = x · Z s / (Z s -z) y p = y · Z s / (Z s -z) (4) Next, x o, y o → d , the conversion of m To do.

【００４７】[0047]

【数４】 ｄ＝（ｙp −ｙo ）／ｄｙ ｍ＝（ｘo −ｘp ）／ｄｘ （５） 以上により射影点ｄ，ｍが計算される。なお、ｄ，ｍは
一般に整数とならない。D = (y p −y o ) / dy m = (x o −x p ) / dx (5) The projection points d and m are calculated as described above. Note that d and m are not generally integers.

【００４８】次に、図６のステップ１６６に戻って、生
画像上で点（ｄ，ｍ）の近傍の４点の画像値を順次補間
して画像値Ｌ（ｄ，ｍ）を求める。それから、ラミノ画
像上の点（ｉ，ｊ）の位置に求めた画像値Ｌ（ｄ，ｍ）
を足し込む（ステップ１６８）。そして、図７（ｃ）に
示す全ｉ，ｊについて計算を行い、ラミノ画像処理が終
了する（ステップ１７０，１７２）。Next, returning to step 166 of FIG. 6, the image value L (d, m) is obtained by sequentially interpolating the image values of four points near the point (d, m) on the raw image. Then, the image value L (d, m) obtained at the position of the point (i, j) on the lamino image
Is added (step 168). Then, calculation is performed for all i and j shown in FIG. 7C, and the lamino image processing ends (steps 170 and 172).

【００４９】なお、上記実施例において、データ収集は
行わずに、前に終了した生画像ファイルを用いて、ラミ
ノ画像の計算のみを行うことができる。これによりデー
タ収集なしに、ピント面の設定（Ｘ＝Ｘo ）の値を変え
て、ラミノ画像を何度でも計算し直すことができる。It should be noted that, in the above-mentioned embodiment, it is possible to perform only the calculation of the lamino image by using the raw image file which has been finished before, without collecting the data. This allows the value of the focus plane setting (X = X o ) to be changed and the lamino image to be recalculated as many times as necessary without collecting data.

【００５０】図９はこの処理を示すフローチャートであ
る。すなわち、図９では、まず生画像ファイルを読み出
して（ステップ３１０）、図６に示したと同じラミノ画
像処理を行い（ステップ３２０）、これを全生画像につ
いて行い（ステップ３３０）、これによりラミノ画像が
表示されファイルされる（ステップ３４０）。FIG. 9 is a flow chart showing this processing. That is, in FIG. 9, first, the raw image file is read (step 310), the same lamino image processing as shown in FIG. 6 is performed (step 320), and this is performed for all raw images (step 330). Is displayed and filed (step 340).

【００５１】上述した第１の実施例では、焦点走査型Ｘ
線管を使用していないので、焦点位置が狂うことがな
く、高品質のラミノ像が得られ、装置も安価である。ま
た、回転走査でラミノ像が得られるので、機構が単純で
安価となり、精度も向上し、良好なラミノ像が得られ
る。In the above-mentioned first embodiment, the focus scanning type X
Since no line tube is used, the focus position does not change, a high quality lamino image can be obtained, and the apparatus is inexpensive. Further, since a lamino image can be obtained by rotational scanning, the mechanism is simple and inexpensive, the accuracy is improved, and a good lamino image can be obtained.

【００５２】走査型Ｘ線管と比べて、ぼけを大きくする
ことができるため、ピントのシャープなラミノ像が得ら
れる。ピント面からはずれた面にあるパターンのぼけ方
向が一方向でなく、楕円型であり、直線状のパターンも
よくぼけ、ピントのシャープなラミノ像が得られる。Since the blur can be increased as compared with the scanning X-ray tube, a sharp lamino image with a sharp focus can be obtained. The defocusing direction of the pattern on the defocused surface is not unidirectional but is elliptical, and the linear pattern is well defocused, and a sharp lamino image with a sharp focus can be obtained.

【００５３】一度収集した画像からピント面を変えて何
度でもラミノ像を作り直すことができる。グリッドを用
いて、歪補正をおこなうので、計算精度が上がり、高品
質なラミノ像が得られる。It is possible to recreate the lamino image many times by changing the focus plane from the image once collected. Since the distortion is corrected using the grid, the calculation accuracy is improved and a high quality lamino image can be obtained.

【００５４】ピンファントムを用いて、センタリング補
正を行うので、精密な幾何調整を行うことなく、高品位
なラミノ像が得られる。透過像収集と平行して、ラミノ
画像処理を行うので、収集後、短時間でラミノ像を得る
ことができる。Since centering correction is performed using a pin phantom, a high-quality lamino image can be obtained without performing precise geometric adjustment. Since the lamino image processing is performed in parallel with the transmission image acquisition, a lamino image can be obtained in a short time after the acquisition.

【００５５】隣接して平行する複数のラミノ像を作成し
ておくことにより、画像切り換えを行うことで、層のめ
くり（奥側への切り換え）およびかぶせ（手前側への切
り換え）ができ、層状態をよく把握することができる。By creating a plurality of laminar images that are adjacent and parallel to each other, the images can be switched to turn over the layers (switch to the back side) and cover (switch to the front side). You can understand the condition well.

【００５６】次に、図１０を参照して、本発明の第２の
実施例について説明する。図１０に示す実施例は、ピン
ト面の設定を変更したものである。すなわち、図１０
（ａ）では、ピント面を曲面で設定するものであり、同
図においてｉ方向、ｊ方向のそれぞれにｎ，ｍステップ
おきにＸ軸方向の高さＸo （０，０），Ｘo（０，
１），・・・を入力して設定するものである。ステップ
の中間は画像処理装置が補間計算でＸo を求める。ま
た、補間計算の代わりに各区間で左上の値を用いるよう
にすることもできる。この場合は曲面ではなく、階段状
の面となる。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the embodiment shown in FIG. 10, the focus plane setting is changed. That is, FIG.
In (a), the focus surface is set as a curved surface, and in the figure, the heights X o (0, 0), X o (X 0 (0, 0), X o 0,
1), ... Is input and set. In the middle of the steps, the image processing apparatus obtains X o by interpolation calculation. Further, the upper left value may be used in each section instead of the interpolation calculation. In this case, the surface is not a curved surface but a stepped surface.

【００５７】図１０（ｂ）では、平面の組合せを展開し
て１つの面を表示する方法を示している。図１０（ｃ）
は、円筒のピント面である。この面の場合、（１）式に
対応するｉ，ｊ→Ｘ，Ｙ，Ｚの変換式は次式のようにな
る。FIG. 10B shows a method of developing a combination of planes and displaying one plane. Figure 10 (c)
Is the focus surface of the cylinder. In the case of this surface, the conversion formula of i, j → X, Y, Z corresponding to the formula (1) is as follows.

【００５８】[0058]

【数５】 Ｘ＝Ｒ・cos （ｊ・ｄφ） Ｙ＝Ｒ・sin （ｊ・ｄφ） （１' ） Ｚ＝Ｚo ＋ｉ・ｄＺ 図１０（ｄ）は、球面のピント面を示している。この面
の場合、（１）式に対応するｉ，ｊ→Ｘ，Ｙ，Ｚの変換
式は次式のようになる。Equation 5] X = R · cos (j · dφ) Y = R · sin (j · dφ) (1 ') Z = Z o + i · dZ Figure. 10 (d) shows the focal plane of the spherical . In the case of this surface, the conversion formula of i, j → X, Y, Z corresponding to the formula (1) is as follows.

【００５９】[0059]

【数６】 Ｘ＝Ｒ・cos （ｉ・ｄη−ηo ）・cos （ｊ・ｄφ）＋Ｘo Ｙ＝Ｒ・cos （ｉ・ｄη−ηo ）・sin （ｊ・ｄφ）＋Ｙo （１''） Ｚ＝Ｒ・sin （ｉ・ｄη−ηo ）＋Ｚo いずれの式も（１）式の代わりに使用して、簡単にピン
ト面を変更することができる。[6] X = R · cos (i · dη-η o) · cos (j · dφ) + X o Y = R · cos (i · dη-η o) · sin (j · dφ) + Y o (1 '') Z = R · sin (i · dη-η o) + Z o none of the formula (1) used in place of the equation, it is possible to easily change the focal plane.

【００６０】次に、図１１に示すフローチャートを参照
して、第３の実施例について説明する。この実施例は、
複数の第１次ピント面ｉのそれぞれに対して第１次ラミ
ノ像Ｌi を計算し、これらから第２次ピント面を決定
し、この面に対して最終のラミノ像Ｌを計算するもので
ある。Next, the third embodiment will be described with reference to the flow chart shown in FIG. This example
A primary lamino image L i is calculated for each of a plurality of primary focus planes i, a secondary focus plane is determined from these, and a final lamino image L is calculated for this plane. is there.

【００６１】図１２に示すピント面を参照して、図１１
の処理を説明する。まず、生画像ファイルを読み出し
（ステップ４１０）、図１２（ａ），（ｂ）に示すよう
に、第１次ピント面の最初の面４１−１，Ｙ＝Ｙ1 を設
定する（ステップ４２０）。次に、この面についてラミ
ノ画像処理を行い、ラミノ像Ｌi を得てファイルする
（ステップ４３０）。なお、ラミノ画像処理は図６に示
した処理と同じである。Referring to the focusing surface shown in FIG. 12, FIG.
The processing of will be described. First, the raw image file is read (step 410), and as shown in FIGS. 12A and 12B, the first surface 41-1 of the primary focus surface and Y = Y 1 are set (step 420). . Next, lamino image processing is performed on this surface to obtain and file a laminin image L i (step 430). The lamino image processing is the same as the processing shown in FIG.

【００６２】同様にして、図１２（ａ），（ｃ）〜
（ｆ）に示すように、面４１−２〜４１−５についてそ
れぞれラミノ像Ｌi を求める（ステップ４４０，４５
０）。それから、このように得られたラミノ像Ｌi のそ
れぞれについて微分処理により輪郭抽出処理を行う（ス
テップ４６０）。そして、輪郭より上側から深さｔの位
置のポイントをＺ方向等の間隔の各ポイントで求め、各
点の座標を記憶する（ステップ４７０）。この処理を各
ラミノ像について行う。なお、深さｔは操作者が操作パ
ネルから指定する。Similarly, FIGS. 12 (a) and 12 (c)-
As shown in (f), the lamino image L i is obtained for each of the surfaces 41-2 to 41-5 (steps 440 and 45).
0). Then, the contour extraction process is performed by the differential process for each of the lamino images L i thus obtained (step 460). Then, the point at the position of the depth t from the upper side of the contour is obtained at each point at intervals such as the Z direction, and the coordinates of each point are stored (step 470). This process is performed for each lamino image. The depth t is specified by the operator from the operation panel.

【００６３】以上のポイントの座標から補間計算を行
い、図１２（ｇ），（ｈ）に示すように第２次ピント面
Ｘ＝Ｘ（Ｙ，Ｚ）が求まる（ステップ４８０）。この場
合、（１）式に対するｉ，ｊ→Ｘ，Ｙ，Ｚ変換式は次式
のようになる。Interpolation calculation is performed from the coordinates of the above points, and the secondary focus plane X = X (Y, Z) is obtained as shown in FIGS. 12 (g) and 12 (h) (step 480). In this case, the i, j → X, Y, Z conversion formula for the formula (1) is as follows.

【００６４】[0064]

【数７】 Ｙ＝Ｙo ＋ｉ・ｄＹ Ｚ＝Ｚo ＋ｊ・ｄＺ （１''' ） Ｘ＝Ｘ（Ｙ，Ｚ） それから、同様に第２次ピント面に対するラミノ像、す
なわち最終ラミノ像Ｌを計算し、これを表示するととも
にファイルする（ステップ４９０，５００）。Equation 7] Y = Y o + i · dY Z = Z o + j · dZ (1 ''') X = X (Y, Z) then, similarly lamino image for secondary focal plane, i.e. the final lamino image L Is calculated and displayed and filed (steps 490, 500).

【００６５】また、本実施例で、ステップ４６０，４７
０のポイント設定は操作者が画像上で点をマウス等で入
力して行うことも可能である。次に、第４の実施例を図
１３に示すピント面を参照して説明する。なお、この実
施例の処理は図１１に示したフローチャートと同じであ
る。Also, in this embodiment, steps 460 and 47 are executed.
The point setting of 0 can be performed by the operator by inputting a point on the image with a mouse or the like. Next, a fourth embodiment will be described with reference to the focusing surface shown in FIG. The processing of this embodiment is the same as the flowchart shown in FIG.

【００６６】図１３に示すピント面において、第１次ピ
ント面はＺ軸を含む平面であり、Ｚ軸に対して回転させ
た複数の面４４−１〜４４−８である。図１１のフロー
チャートを参照して、第４の実施例の作用を説明する。
図１１において、生画像ファイルを読み出し（ステップ
４１０）、図１３（ａ），（ｂ）に示すように、第１次
ピント面の最初の面４４−１を設定する（ステップ４２
０）。面を表す方程式はＺ軸を軸とする円筒座標（Ｒ，
φ，Ｚ）においてφ＝φ1 である。次に、この面につい
てのラミノ像Ｌi を計算する（ステップ４３０）。それ
から、同様に図１３（ａ），（ｃ）〜（ｉ）に示すよう
に面４４−２〜４４−８についてラミノ像Ｌi を得る
（ステップ４４０，４５０）。In the focus surface shown in FIG. 13, the primary focus surface is a plane including the Z axis and is a plurality of surfaces 44-1 to 44-8 rotated about the Z axis. The operation of the fourth embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG.
In FIG. 11, the raw image file is read (step 410), and the first surface 44-1 of the primary focus surface is set as shown in FIGS. 13 (a) and 13 (b) (step 42).
0). The equation expressing the surface is the cylindrical coordinate (R,
In φ, Z), φ = φ 1 . Next, the lamino image L i for this surface is calculated (step 430). Then, as FIG. 13 (a), the obtaining lamino image L i for surface 44-2～44-8 as shown in (c) ~ (i) (step 440, 450).

【００６７】次に、ラミノ像Ｌi のそれぞれについて輪
郭抽出を行う（ステップ４６０）。そして、輪郭よりピ
ント位置を決める。決め方は任意であるが、ここでは内
側から深さｔの位置のポイントの座標をＺ方向の等間隔
の各ポイントで求める（ステップ４７０）。すなわち、
円筒座標で求める。Next, contour extraction is performed for each of the lamino images L i (step 460). Then, the focus position is determined from the contour. The method of determination is arbitrary, but here, the coordinates of the point at the position of the depth t from the inside are obtained at points at equal intervals in the Z direction (step 470). That is,
Calculate in cylindrical coordinates.

【００６８】以上のポイントの座標から補間計算を行
い、第２次ピント面、Ｒ＝Ｒ（φ，Ｚ）が図１３
（ｊ），（ｋ）に示すように求まる（ステップ４８
０）。この場合、（１）式に対応するｉ，ｊ→ｘ，ｙ，
ｚ変換式は次式のようになる。Interpolation calculation is performed from the coordinates of the above points, and the secondary focus plane, R = R (φ, Z), is shown in FIG.
It is found as shown in (j) and (k) (step 48).
0). In this case, i, j → x, y, corresponding to the equation (1),
The z conversion formula is as follows.

【００６９】[0069]

【数８】 Ｚ＝Ｚo ＋ｉ・ｄＺ φ＝ｊ・ｄφ Ｒ＝Ｒ（φ，Ｚ） （１''''） Ｘ＝Ｒ・cos φ Ｙ＝Ｒ・sin φ 次に、第２次ピント面に対するラミノ像Ｌを計算し、す
なわち最終ラミノ像Ｌを計算し、これを表示しファイル
する（ステップ４９０，５００）。Z = Z o + i · dZ φ = j · dφ R = R (φ, Z) (1 ″ ″) X = R · cos φ Y = R · sin φ Next, the secondary focus Compute the lamino image L for the surface, ie the final lamino image L, which is displayed and filed (steps 490, 500).

【００７０】次に、図１４を参照して、本発明の第５の
実施例について説明する。図１４において、５１はＸ線
管、５２はＸ線ビーム、５３は被検体、５４はＸ線Ｉ
Ｉ、５５は回転テーブル、５６は回転機構、５７はＸＹ
テーブル、５８はＸＹ機構、５９は測距装置、６０は表
面モニタＣＲＴである。Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 14, 51 is an X-ray tube, 52 is an X-ray beam, 53 is a subject, and 54 is an X-ray I.
I and 55 are rotary tables, 56 is a rotary mechanism, and 57 is XY.
A table, 58 is an XY mechanism, 59 is a distance measuring device, and 60 is a surface monitor CRT.

【００７１】図１４に示す実施例は、基本的には図２に
示した第２の実施例と同じであるが、異なる点は、
（１）回転テーブル５５上に被検体５３を矢印５５ａ，
５８ａで示すようにＺ，Ｙ軸方向にそれぞれ移動するＸ
Ｙテーブル５７が追加されたこと、および（２）被検体
５３の表面位置を測定するための測距装置５９と表面の
像を目視するための表面モニタＣＲＴ６０が追加された
ことである。The embodiment shown in FIG. 14 is basically the same as the second embodiment shown in FIG. 2, but different in that
(1) Place the subject 53 on the rotary table 55 with the arrow 55a,
X, which moves in the Z and Y axis directions, as indicated by 58a.
The Y table 57 is added, and (2) the distance measuring device 59 for measuring the surface position of the subject 53 and the surface monitor CRT 60 for visually observing the surface image are added.

【００７２】測距装置５９はレンズとＣＣＤ素子からな
る可視光のオートフォーカスのＣＣＤカメラであり、通
常知られているオートフォーカス機能で表面にピントを
合わせるようになっている。この時のレンズの繰り出し
量で距離を測定して出力することができる。ＣＣＤの出
力は表面モニタＣＲＴ６０に表示され、ピント状態を確
認し、目視によるピント合わせ（測距）も可能である。The distance measuring device 59 is a CCD camera for auto-focusing visible light, which is composed of a lens and a CCD element, and is designed to focus on the surface by a generally known auto-focusing function. The distance can be measured and output by the amount of lens extension at this time. The output of the CCD is displayed on the front surface monitor CRT 60, and it is possible to confirm the focus state and perform visual focusing (distance measurement).

【００７３】測距を行う場合には、回転角０°に固定
し、Ｘ，Ｚ方向に被検体５３を送りながら測定すること
で、被検体５３の全体の表面の座標を求める。測定する
場合に被検体５３が撮影視野に一度も入らない場合は、
分割してラミノ像の撮影が可能である。見たい視野が中
央になるようにＸＹテーブルを動かして固定し、この状
態で第１の実施例と同様にラミノ像を得る。When performing distance measurement, the coordinates of the entire surface of the subject 53 are obtained by fixing the rotation angle to 0 ° and measuring the subject 53 while feeding the subject 53 in the X and Z directions. When the subject 53 never enters the field of view when measuring,
It is possible to divide and take a lamino image. The XY table is moved and fixed so that the desired visual field is in the center, and in this state, a lamino image is obtained as in the first embodiment.

【００７４】ピントの設定に関しては、第２の実施例の
図１０ａで説明した方法で設定する。測定した表面位置
Ｘから深さｔを減算して、ピント面位置Ｘo を求め、こ
の方法を適用する。The focus is set by the method explained in FIG. 10a of the second embodiment. The depth t is subtracted from the measured surface position X to obtain the focus surface position X o , and this method is applied.

【００７５】この装置で基板の検査を行うと、基板にそ
りがある場合でも、一定の深さのラミノ像を得ることが
できる。次に、図１５を参照して、第６の実施例につい
て説明する。When the substrate is inspected by this apparatus, a lamino image having a constant depth can be obtained even when the substrate has a warp. Next, a sixth embodiment will be described with reference to FIG.

【００７６】図１５において、図２と同じ構成要素には
同じ符号が付され、Ｘ線管１、Ｘ線ビーム２、被検体
３、Ｘ線ＩＩ４、回転テーブル５、回転機構６、データ
収集装置７、画像処理装置８、ＣＲＴ９、回転制御装置
１０、モニタＣＲＴ１１は図２の第１の実施例と同じで
ある。In FIG. 15, the same components as those in FIG. 2 are designated by the same reference numerals, and the X-ray tube 1, the X-ray beam 2, the subject 3, the X-ray II 4, the rotary table 5, the rotary mechanism 6, and the data acquisition device. 7, the image processing device 8, the CRT 9, the rotation control device 10, and the monitor CRT 11 are the same as those in the first embodiment shown in FIG.

【００７７】図１５の第６の実施例が図２に示した第１
の実施例と異なる点は、（１）角度αを９０°に設定
し、ＣＴスキャナとしての断面像を作成する再構成装置
６２が追加されたこと、（２）被検体３を回転テーブル
５とともに上下動させる上下動機構６３および上下動制
御装置６４が追加されたことである。The sixth embodiment shown in FIG. 15 corresponds to the first embodiment shown in FIG.
The difference from the embodiment of (1) is that (1) the angle α is set to 90 °, and a reconstruction device 62 that creates a cross-sectional image as a CT scanner is added, (2) the subject 3 together with the rotary table 5. That is, the vertical movement mechanism 63 for vertically moving and the vertical movement control device 64 are added.

【００７８】このように構成されたものにおいて、ラミ
ノグラフとしての作用は第１の実施例と全く同様である
ので、その作用は省略し、ＣＴスキャナとしての作用を
説明する。Since the operation of the laminograph constructed as described above is exactly the same as that of the first embodiment, the operation will be omitted and the operation of the CT scanner will be described.

【００７９】ＣＴスキャナとしては、Ｘ線ビーム２の焦
点Ｓを通る水平面がスライス面となり、この面の断面像
が得られる。上下動機構６３により被検体３を動かし、
所望の面をスライス面に合わせる。この状態で回転させ
ながら、透過像を収集し、スライス面位置のデータのみ
を用いて再構成装置６２で断面像を計算する。再構成処
理は通常のＣＴスキャナと同じである。As a CT scanner, a horizontal plane passing through the focal point S of the X-ray beam 2 becomes a slice plane, and a sectional image of this plane can be obtained. The subject 3 is moved by the vertical movement mechanism 63,
Align desired face with slice face. While rotating in this state, a transmission image is collected, and a cross-sectional image is calculated by the reconstruction device 62 using only the slice plane position data. The reconstruction process is the same as that of a normal CT scanner.

【００８０】以上のように構成される本装置は、ＣＴス
キャナして撮影した断面像を用いて、ピント面を設定
し、このピント面についてラミノ像を作成するという使
い方が可能である。The present apparatus configured as described above can be used for setting a focus plane using a cross-sectional image taken by a CT scanner and creating a lamino image for this focus plane.

【００８１】すなわち、まず上下動機構６３でスライス
位置を変え、所定ピッチで複数の断面像を作成する。次
に、第３の実施例の場合の第１次ピント面のラミノ像の
代わりにこの断面像を用いて、全く同様に第２次ピント
面を設定し、この面についてラミノ像を得ることができ
る。この方法はラミノ像より高品位なＣＴの断面像が使
用できるので、ピント面の設定がより正確にできる利点
がある。本装置はまたモニタＣＲＴ１１を用いて透視検
査にも使用することができる。That is, first, the vertical movement mechanism 63 changes the slice position to create a plurality of sectional images at a predetermined pitch. Then, using this sectional image instead of the lamino image of the primary focus plane in the case of the third embodiment, the secondary focus plane can be set in exactly the same way, and a lamino image can be obtained for this plane. it can. Since this method can use a CT cross-sectional image of higher quality than the lamino image, it has an advantage that the focus plane can be set more accurately. The device can also be used for fluoroscopy using the monitor CRT 11.

【００８２】次に、図１６を参照して、第７の実施例に
ついて説明する。図１６に示す実施例は、図１４に示す
第５の実施例を変形したものであり、被検体５３を回転
させる代わりに、Ｘ線管５１およびＸ線ＩＩ５４を回転
機構７０で回転させるように構成したものである。Next, the seventh embodiment will be described with reference to FIG. The embodiment shown in FIG. 16 is a modification of the fifth embodiment shown in FIG. 14. Instead of rotating the subject 53, the X-ray tube 51 and the X-ray II 54 are rotated by the rotating mechanism 70. It is composed.

【００８３】次に、図１７を参照して、第８の実施例に
ついて説明する。図１７において、７１はＸ線管、７２
はＸ線ビーム、７３は被検体、７４はＸ線ＩＩ、７５は
Ｘ線ファンビーム（スライス面用）、７６はＣＴ用検出
器、７７は回転テーブル、７８は回転機構、７９はトラ
バース機構、８０は上下動を示す矢印である。Next, the eighth embodiment will be described with reference to FIG. In FIG. 17, 71 is an X-ray tube and 72
Is an X-ray beam, 73 is a subject, 74 is an X-ray II, 75 is an X-ray fan beam (for slice plane), 76 is a CT detector, 77 is a rotary table, 78 is a rotating mechanism, 79 is a traverse mechanism, Reference numeral 80 is an arrow indicating vertical movement.

【００８４】図１７に示す第８の実施例は、通常の第３
世代ＣＴスキャナにラミノグラフ用のＸ線ＩＩ７４を追
加したものである。ＣＴ用検出器７６で回転軸に直交す
る平面のＸ線ファンビーム７５を測定し、断面像を作成
する。図では省略されているが、上下動機構でスライス
位置を変えて、断面像を作成する。第６の実施例と同様
に断面像を基にピント面を設定し、ラミノ像を得ること
ができる。The eighth embodiment shown in FIG. 17 is a normal third embodiment.
This is an X-ray II74 for a laminograph added to a generation CT scanner. The CT detector 76 measures the X-ray fan beam 75 in a plane orthogonal to the rotation axis to create a sectional image. Although not shown in the figure, the slice position is changed by the vertical movement mechanism to create a sectional image. Similar to the sixth embodiment, the focus plane can be set based on the sectional image to obtain a lamino image.

【００８５】次に、図１８を参照して、第９の実施例に
ついて説明する。図１８の第９の実施例は、図１７に示
す第８の実施例にトラバース機構７９を追加し、第２世
代ＣＴとした点が異なるのみで、その他の構成作用は同
じである。Next, the ninth embodiment will be described with reference to FIG. The ninth embodiment of FIG. 18 is different from the eighth embodiment shown in FIG. 17 only in that a traverse mechanism 79 is added and a second generation CT is provided, and the other constructional effects are the same.

【００８６】次に、図１９（ａ）を参照して、第１０の
実施例について説明する。この第１０の実施例は、第８
または第９の実施例からＸ線ＩＩを除去したものであ
る。そして、ラミノ像計算に使用される透過像は代わり
として１次元ラインセンサであるＣＴ用検出器７６とＸ
線管７１とを回転軸方向に移動かつ上下動させながらデ
ータを収集することにより得られる。なお、回転をステ
ップ送りにして、各ステップで透過像を収集することに
より、第１の実施例と同様にラミノ像が得られる。Next, the tenth embodiment will be described with reference to FIG. The tenth embodiment is the eighth embodiment.
Alternatively, the X-ray II is removed from the ninth embodiment. The transmission image used for the lamino image calculation is replaced by the CT detector 76, which is a one-dimensional line sensor, and the X-ray image.
It can be obtained by collecting data while moving and moving the wire tube 71 and the wire tube 71 in the direction of the rotation axis. By rotating the rotation stepwise and collecting the transmission image at each step, a lamino image can be obtained as in the first embodiment.

【００８７】また、第６の実施例にようにＣＴスキャナ
としての断面像を用いてピント面の設定が可能である。
また、上下動は被検体側で行うこともできる。また、Ｃ
Ｔスキャナの世代は何であっても本実施例は可能であ
る。Further, as in the sixth embodiment, the focus plane can be set by using a sectional image as a CT scanner.
The vertical movement can also be performed on the subject side. Also, C
This embodiment is possible regardless of the generation of the T scanner.

【００８８】第１０の実施例の変形例としては、図１９
（ｂ），（ｃ）に示すように、ＣＴ用検出器７６のみま
たはＸ線管７１のみを移動させて、透過像を得ることも
できる。FIG. 19 shows a modification of the tenth embodiment.
As shown in (b) and (c), it is possible to obtain a transmission image by moving only the CT detector 76 or only the X-ray tube 71.

【００８９】本実施例によれば、ラミノグラフ専用の検
出器が不要となり、またＣＴ断面図を用いた精度のよい
ピント面設定が可能である。次に、第１１の実施例につ
いて説明する。According to the present embodiment, the detector dedicated to the laminograph is not required, and the focus plane can be set with high accuracy using the CT sectional view. Next, an eleventh embodiment will be described.

【００９０】この第１１の実施例は、第１の実施例でピ
ント点の複数の透過像への射影点をそれぞれ計算し、画
像データをたし合わせる代わりに、複数の透過像の複数
の画像点（マトリックス）のピントへの射影点をそれぞ
れ計算し、近傍のピント点への画像データをそれぞれ足
し込むことによりラミノ像を得ることができる。これは
単純なピントの場合に有効であるが、曲面等の複雑な面
の場合には不利な方法である。In the eleventh embodiment, instead of calculating the projection points of the focus point on the plurality of transmission images and compiling the image data in the first embodiment, a plurality of images of the plurality of transmission images are obtained. A lamino image can be obtained by calculating the projection points of the points (matrix) to the focus and adding the image data to the neighboring focus points. This is effective in the case of a simple focus, but is a disadvantageous method in the case of a complicated surface such as a curved surface.

【００９１】次に、図２０を参照して、第１２の実施例
について説明する。図２０の第１２の実施例は、図１４
に示す第５の実施例の構成と同じであり、同じ構成要素
には同じ符号が付されているが、第５の実施例と異なる
点は、（１）ＸＹテーブル５７の移動方向がＺ’，Ｙ’
軸方向からそれぞれ約４５°傾いていること、および
（２）測距装置５９の配置がＹ’軸方向の位置を測定す
るように変更されていることである。Next, the twelfth embodiment will be described with reference to FIG. The twelfth embodiment shown in FIG.
Although the configuration is the same as that of the fifth embodiment shown in FIG. 4 and the same components are denoted by the same reference numerals, the difference from the fifth embodiment is that (1) the moving direction of the XY table 57 is Z ′. , Y '
They are each inclined by about 45 ° from the axial direction, and (2) the arrangement of the distance measuring device 59 is changed so as to measure the position in the Y′-axis direction.

【００９２】また、作用として異なる点は、被検体５３
の表面の位置を測定するとき回転テーブル５５を９０°
回転した位置で固定して行うことである。被検体５３は
多層基板であり、多層基板の配線パターンはほとんど外
周の辺に沿ったものであるので、角度αが９０°であっ
ても、ピントの外のパターンは良好にぼけ、ピントがシ
ャープになる。また、角度α＝９０°の場合は、Ｙ軸方
向への直線状のぼけが生じるが、基板の辺がＹ軸から傾
くように設定しているので、ピント外のパターンがよく
ぼけるのである。The difference in operation is that the subject 53
When measuring the position of the surface of the
It is to fix it in the rotated position. Since the subject 53 is a multi-layered substrate and the wiring pattern of the multi-layered substrate is almost along the outer peripheral side, even if the angle α is 90 °, the pattern outside the focus is well blurred and the focus is sharp. become. Further, when the angle α = 90 °, linear blurring occurs in the Y-axis direction, but since the side of the substrate is set to be tilted from the Y-axis, the pattern out of focus is well blurred.

【００９３】次に、第１３の実施例について説明する。
この実施例は、ピント面上のピント点の設定の仕方によ
って例えば地図の図法の違いに相当するラミノ像の表現
の変更を可能にするものである。地図の図法によれば、
１点からまたは無限遠点から平面または円筒面または円
錐面上に規則正しく並んだ点をピント面上に射影して種
々のピント点群を設定することができる。Next, a thirteenth embodiment will be described.
This embodiment makes it possible to change the representation of a lamino image corresponding to, for example, a difference in map projection depending on how the focus point is set on the focus plane. According to the map projection,
Various points can be set by projecting points regularly arranged on a plane, a cylindrical surface, or a conical surface from one point or an infinite point on the focus surface.

【００９４】また、１点または無限遠点からの射影では
できないようなピント点の設定もある。図２１は、その
一例を示すものである。同図では、ピント点８８が等間
隔で並んだラミノ像８６の面を曲げてピント面８７ａ，
８７ｂを作成したものである。同図において、８８ａ，
８８ｂもピント点である。要は、ピント点の格子をピン
ト面に再配置すればよいだけであり、本発明の範囲を逸
脱することなく様々な応用が可能である。There is also a focus point setting that cannot be performed by projection from one point or an infinite point. FIG. 21 shows an example thereof. In the figure, the plane of the lamino image 86 in which the focus points 88 are arranged at equal intervals is bent to focus the plane 87a,
87b is created. In the figure, 88a,
88b is also the focus point. The point is that it is only necessary to rearrange the grid of focus points on the focus surface, and various applications are possible without departing from the scope of the present invention.

【００９５】次に、図２２を参照して、本発明の第１４
の実施例について説明する。図２２は、ＣＲＴ画面８５
の左側にラミノ像８１を表示し、右側にピント面の３次
元表示８２を表示したものである。ピント面の３次元表
示８２は透過像８３を重ねて表示しているが、見にくい
場合には、パネル操作で消去することができる。３次元
表示８２はある視点から見た像であるが、視角を変える
ことができる。また、３次元表示の代わりに複数の断面
で表示させることも可能である。Next, referring to FIG. 22, the 14th embodiment of the present invention
An example will be described. FIG. 22 shows a CRT screen 85.
A lamino image 81 is displayed on the left side and a three-dimensional display 82 of the focus surface is displayed on the right side. The three-dimensional display 82 on the focus plane displays the transmission image 83 in an overlapping manner, but if it is difficult to see, it can be deleted by operating the panel. The three-dimensional display 82 is an image viewed from a certain viewpoint, but the viewing angle can be changed. Further, it is possible to display a plurality of cross sections instead of the three-dimensional display.

【００９６】この実施例では、ピント面とラミノ像の関
係を把握することができるという利点がある。次に、図
２３を参照して、本発明の第１５の実施例について説明
する。This embodiment has an advantage that the relationship between the focus plane and the lamino image can be grasped. Next, a fifteenth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

【００９７】図２３は、ＣＲＴ画面８５にラミノ像３次
元表示８４を示すものである。ピント面をある視点から
見たピント面の３次元表示上にラミノ像をピント面が一
致するように張り込んだ画像がラミノ像３次元表示８４
である。パネル操作で表示の視点を変えることができ、
ピント面とラミノ像の関係が把握できる利点がある。FIG. 23 shows a three-dimensional Laminar image display 84 on the CRT screen 85. An image in which a lamino image is stuck on a three-dimensional display of the focus surface viewed from a certain point so that the focus surfaces match each other is displayed.
Is. You can change the viewpoint of the display by operating the panel,
There is an advantage that the relationship between the focus plane and the lamino image can be understood.

【００９８】本実施例では、更に異なるピント面の複数
のラミノ像３次元表示を一画面で行うことができる。こ
の時、影になる部分は表示しない。視線側の面から順次
めくって（消去して）またはかぶせて（再表示して）観
察することで層構造をよく把握できる。In this embodiment, it is possible to display a plurality of three-dimensional laminar images on different focus planes on one screen. At this time, the shadowed part is not displayed. The layer structure can be grasped well by observing by turning over (erasing) or covering (redisplaying) one after another from the line of sight side.

【００９９】また、隣接して平行するピント面のラミノ
像３次元表示を隣接順に一方向に切り換えて表示するこ
とにより一枚一枚層をめくったり、かぶせたりしている
ように見せる表示が可能である。Further, by displaying the three-dimensional laminar images of the adjacent parallel focus planes in one direction in the order of adjacency, it is possible to display each layer as if it were turned over or overlaid. Is.

【０１００】次に、図２４を参照して、本発明の第１６
の実施例について説明する。図２４に示す実施例は、図
２に示す第１の実施例に対して測距装置２６および該測
距装置２６をＺ軸方向に移動させるための移動装置２７
を追加した点が異なるものである。Next, referring to FIG. 24, the 16th embodiment of the present invention
An example will be described. The embodiment shown in FIG. 24 is different from the first embodiment shown in FIG. 2 in distance measuring device 26 and moving device 27 for moving the distance measuring device 26 in the Z-axis direction.
The difference is that is added.

【０１０１】測距装置２６は被検体３の表面位置（Ｚ軸
からの距離）を測定するものであり、第５の実施例で説
明したものである。Ｚ軸方向への移動装置２７は測距装
置２６をＺ軸方向に移動させるものであるが、代わりと
して被検体３または回転テーブル５を移動させるように
してもよい。また、測距装置２６はＹ’軸に沿って方向
の測定を行うように設置されているが、Ｚ軸と直交する
方向であれば、その方向にも設置可能である。The distance measuring device 26 measures the surface position (distance from the Z-axis) of the subject 3 and has been described in the fifth embodiment. The moving device 27 in the Z-axis direction moves the distance measuring device 26 in the Z-axis direction, but instead, the subject 3 or the turntable 5 may be moved. Further, although the distance measuring device 26 is installed so as to measure the direction along the Y ′ axis, it may be installed in that direction as long as the direction is orthogonal to the Z axis.

【０１０２】そして、ラミノ像の撮影に先立ち、回転と
Ｚ軸方向の移動を使用して、被検体３の表面位置を測定
する。その測定により図２５に示すように被検体３に固
定した座標系で表面の座標Ｒ（φ，Ｚ）が求まる。そし
て、表面より深さｔの層のラミノ像が必要である場合、
ラミノ画像処理においてｉ，ｊ→Ｘ，Ｙ，Ｚ変換式
（１）の代わりに次式を使用することにより、所望のラ
ミノ像を得ることができる。Then, the surface position of the subject 3 is measured by using the rotation and the movement in the Z-axis direction before the photographing of the laminin image. By the measurement, as shown in FIG. 25, the surface coordinates R (φ, Z) can be obtained in the coordinate system fixed to the subject 3. Then, when a lamino image of a layer having a depth t from the surface is required,
By using the following equation instead of the i, j → X, Y, Z conversion equation (1) in the lamino image processing, a desired lamino image can be obtained.

【０１０３】[0103]

【数９】 Ｚ ＝Ｚo ＋ｉ・ｄＺ φ ＝ｊ・ｄφ Ｒ’＝Ｒ（φ，Ｚ）−ｔ （１''''' ） Ｘ ＝Ｒ’・cos （φ） Ｙ ＝Ｒ’・sin （φ）Equation 9] Z = Z o + i · dZ φ = j · dφ R '= R (φ, Z) -t (1''''') X = R '· cos (φ) Y = R' · sin (Φ)

【０１０４】[0104]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
放射線源と放射線検出器を結ぶ中心線に対して所定の角
度の傾きを持つ回転軸に対して被検体と放射線源および
放射線検出器の組との間に相対的回転運動を与え、この
回転運動の間に放射線検出器の出力を複数の透過画像と
して収集し、被検体内のピント面上に並んだ複数のピン
ト点のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上で
の画像データを各ピント点毎に足し合わせて、被検体内
のピント面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を
得ることができるので、ピント面にのみよくピントの合
ったラミノ像を得ることができるとともに、また焦点走
査型Ｘ線管を使用しないため、焦点位置が狂うことがな
く、高品位なラミノ像を安価に得ることができる。As described above, according to the present invention,
A relative rotational movement is applied between the subject and the set of the radiation source and the radiation detector with respect to a rotation axis having a predetermined angle with respect to the center line connecting the radiation source and the radiation detector. During this period, the output of the radiation detector is collected as multiple transmission images, and the image data on the multiple transmission images of the radiation path that passes through each of the multiple focus points lined up on the focus plane inside the subject is focused on each focus image. By adding each point, it is possible to obtain a lamino image that is a transmission image focused on the focus plane in the subject, so that it is possible to obtain a lamino image that is well focused only on the focus plane, and Since the focus scanning X-ray tube is not used, the focus position does not change and a high-quality lamino image can be obtained at low cost.

【０１０５】また、本発明によれば、被検体と放射線源
および放射線検出器の組との間に相対的回転運動を与
え、この回転運動の間に放射線検出器の出力を複数の透
過画像として収集し、被検体の代わりに棒状の放射線吸
収物体を回転軸に沿って近傍に設置し、収集を行う回転
軸位置校正過程を有し、被検体内のピント面上に並んだ
複数のピント点のそれぞれを通る放射線通路の複数の透
過画像上での画像データを各ピント点毎に足し合わせ
て、被検体内のピント面に焦点の合った透過画像である
ラミノ画像を得るので、精密な幾何学的調整を行うこと
なく、ピント面にのみピントの合った高品位なラミノ像
を得ることができる。Further, according to the present invention, relative rotary motion is applied between the subject and the set of the radiation source and the radiation detector, and the output of the radiation detector is converted into a plurality of transmission images during this rotary motion. There is a rotation axis position calibration process that collects and installs a rod-shaped radiation absorbing object instead of the subject along the rotation axis in the vicinity, and collects multiple focus points arranged on the focus plane inside the subject. The image data on a plurality of transmission images of the radiation path passing through each is added for each focus point to obtain a lamino image, which is a transmission image focused on the focus surface in the subject, so that the precise geometry It is possible to obtain a high-quality lamino image in which only the focus surface is in focus, without performing a geometrical adjustment.

【０１０６】更に、本発明によれば、異なった幾何学的
配置をとるように被検体、放射線源および放射線検出器
を走査し、異なった幾何学的配置において放射線検出器
の出力を複数の異なった方向からの透過画像として収集
し、被検体内のピント面上に並んだ複数のピント点のそ
れぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上での画像デ
ータを各ピント点毎に足し合わせて、被検体内のピント
面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得るとと
もに、複数の第１次ピント面を設定し、それぞれのピン
ト面に対して第１次のラミノ画像を計算し、第１次のラ
ミノ画像から第２次ピント面を設定し、第２次ピント面
から第２次のラミノ画像を計算するので、ピント面にの
みよくピントの合ったラミノ像を得ることができる。Furthermore, according to the present invention, the object, the radiation source and the radiation detector are scanned so as to have different geometrical arrangements, and the output of the radiation detector is changed to a plurality of different values in the different geometrical arrangements. Collected as a transmission image from a different direction, the image data on a plurality of transmission images of the radiation path passing through each of the plurality of focus points arranged on the focus surface in the subject is added for each focus point, While obtaining a lamino image which is a transmission image focused on the focus plane in the subject, a plurality of primary focus planes are set, and a primary lamino image is calculated for each focus plane. Since the secondary focus plane is set from the primary lamino image and the secondary lamino image is calculated from the secondary focus plane, it is possible to obtain a lamino image in good focus only on the focused plane.

【０１０７】本発明によれば、放射線源と放射線検出器
を結ぶ中心線に対してほぼ直角な回転軸に対して被検体
と放射線源および前記放射線検出器の組との間に相対的
回転運動を与え、この回転運動の間にまたは回転静止中
に放射線検出器の出力を複数のまたは単数の透過画像と
して収集し、複数の透過画像データより回転軸と直交
し、放射線源を通る平面であるスライス面のデータのみ
を用いて被検体のスライス面での断面像を計算し、スラ
イス面を変更するために被検体と放射線源および放射線
検出器の組との間に回転軸に沿った方向の相対的変位を
与え、被検体内のピント面上に並んだ複数のピント点の
それぞれを通る放射線通路の複数の透過像上での画像デ
ータを各ピント点毎に足し合わせて、ピント面に焦点の
合った透過画像であるラミノ画像を得るので、ピント面
にのみよくピントの合ったラミノ像を適確に得ることが
できる。According to the present invention, the relative rotational movement between the subject, the radiation source and the set of radiation detectors with respect to the rotation axis substantially perpendicular to the center line connecting the radiation source and the radiation detector. The output of the radiation detector is collected as multiple or single transmission images during this rotational movement or during stationary rotation, and is a plane that is orthogonal to the rotation axis from the multiple transmission image data and passes through the radiation source. Calculate a cross-sectional image at the slice plane of the subject using only the slice plane data, in the direction along the axis of rotation between the subject and the set of radiation source and radiation detector to change the slice plane. The relative displacement is given, and image data on multiple transmission images of the radiation path passing through each of the multiple focus points arranged on the focus surface in the subject are added together for each focus point to focus on the focus surface. It is a transparent image that matches Since obtaining lamino image, can be obtained accurately the lamino image that fits well in focus only on the focal plane.

【０１０８】また、本発明によれば、放射線源、１次元
放射線検出器、走査手段、および再構成手段を有するＣ
Ｔスキャナにおいて、被検体と放射線源および２次元放
射線検出器の組との間に相対的回転運動を与え、この回
転運動の間に２次元放射線検出器の出力を複数の透過画
像として収集し、被検体内のピント面上に並んだ複数の
ピント点のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過画像
上での画像データを各ピント点毎に足し合わせて、被検
体内のピント面に焦点の合った透過画像であるラミノ画
像を得るので、ピント面にのみよくピントの合ったラミ
ノ像を得ることができる。Further, according to the present invention, a C having a radiation source, a one-dimensional radiation detector, a scanning means and a reconstruction means is provided.
In the T-scanner, a relative rotational movement is applied between the subject and the set of the radiation source and the two-dimensional radiation detector, and during the rotational movement, the output of the two-dimensional radiation detector is collected as a plurality of transmission images, The image data on multiple transmission images of the radiation path that passes through each of the multiple focus points lined up on the focus surface in the subject is added together for each focus point, and the focus surface in the subject is focused. Since a lamino image which is a transparent image is obtained, it is possible to obtain a lamino image which is well focused only on the focused surface.

【０１０９】更に、本発明によれば、異なった幾何学的
配置をとるように被検体、放射線源および放射線検出器
を走査し、異なった幾何学的配置において放射線検出器
の出力を複数の異なった方向からの透過画像として収集
し、被検体内のピント面上に並んだ複数のピント点のそ
れぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上での画像デ
ータを各ピント点毎に足し合わせて、被検体内のピント
面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得て、該
ラミノ画像とピント面の３次元表示である射影像を一度
に観察できるように表示するので、ラミノ像の視認性を
向上することができる。Furthermore, according to the present invention, the object, the radiation source and the radiation detector are scanned so as to have different geometrical arrangements, and the output of the radiation detector is changed to a plurality of different values in the different geometrical arrangements. Collected as a transmission image from a different direction, the image data on a plurality of transmission images of the radiation path passing through each of the plurality of focus points arranged on the focus surface in the subject is added for each focus point, The laminin image, which is a transmission image focused on the focus plane in the subject, is obtained, and the laminin image and the projection image, which is a three-dimensional display of the focus plane, are displayed so that they can be observed at one time. It is possible to improve the property.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明のラミノグラフの原理的作用を説明する
ための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining a principle operation of a laminograph of the present invention.

【図２】本発明の第１の実施例に係わるラミノグラフの
構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a laminograph according to the first embodiment of the present invention.

【図３】第１の実施例における歪の校正を説明するため
の図である。FIG. 3 is a diagram for explaining distortion calibration in the first embodiment.

【図４】第１の実施例における回転軸の校正（センタリ
ング校正）を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining calibration (centering calibration) of a rotation axis in the first embodiment.

【図５】第１の実施例における実使用時の作用を示すフ
ローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing an operation during actual use in the first embodiment.

【図６】図５の処理に使用されているラミノ画像処理を
示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing a lamino image process used in the process of FIG.

【図７】図６のラミノ画像処理に使用される座標系を示
す図である。7 is a diagram showing a coordinate system used for the lamino image processing of FIG.

【図８】図６のラミノ画像処理に使用される生画像の格
子点（ｄ，ｍ）と座標ｘ，ｙの関係を示す図である。8 is a diagram showing a relationship between grid points (d, m) of a raw image and coordinates x, y used in the lamino image processing of FIG.

【図９】生画像ファイルを用いてラミノ画像の計算のみ
を行うことができる作用を示すフローチャートである。FIG. 9 is a flowchart showing an operation in which only a lamino image can be calculated using a raw image file.

【図１０】本発明の第２の実施例を説明するための図で
ある。FIG. 10 is a diagram for explaining the second embodiment of the present invention.

【図１１】本発明の第３の実施例の作用を示すフローチ
ャートである。FIG. 11 is a flowchart showing the operation of the third embodiment of the present invention.

【図１２】図１１の第３の実施例に使用されるピント面
を示す図である。12 is a diagram showing a focusing surface used in the third embodiment of FIG. 11. FIG.

【図１３】本発明の第４の実施例の説明に使用されるピ
ント面を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a focusing surface used for explaining a fourth embodiment of the present invention.

【図１４】本発明の第５の実施例を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing a fifth embodiment of the present invention.

【図１５】本発明の第６の実施例を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a sixth embodiment of the present invention.

【図１６】本発明の第７の実施例を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing a seventh embodiment of the present invention.

【図１７】本発明の第８の実施例を示す図である。FIG. 17 is a diagram showing an eighth embodiment of the present invention.

【図１８】本発明の第９の実施例を示す図である。FIG. 18 is a diagram showing a ninth embodiment of the present invention.

【図１９】本発明の第１０の実施例を示す図である。FIG. 19 is a diagram showing a tenth embodiment of the present invention.

【図２０】本発明の第１２の実施例を示す図である。FIG. 20 is a diagram showing a twelfth embodiment of the present invention.

【図２１】本発明の第１３の実施例を示す図である。FIG. 21 is a diagram showing a thirteenth embodiment of the present invention.

【図２２】本発明の第１４の実施例を示す図である。FIG. 22 is a diagram showing a fourteenth embodiment of the present invention.

【図２３】本発明の第１５の実施例を示す図である。FIG. 23 is a diagram showing a fifteenth embodiment of the present invention.

【図２４】本発明の第１６の実施例を示す図である。FIG. 24 is a diagram showing a sixteenth embodiment of the present invention.

【図２５】図２４の第１６の実施例の説明に使用される
図である。FIG. 25 is a diagram used for description of the sixteenth embodiment of FIG. 24.

【図２６】従来のラミノグラフを示す説明図である。FIG. 26 is an explanatory diagram showing a conventional laminograph.

【図２７】従来の別のラミノグラフを示す説明図であ
る。FIG. 27 is an explanatory diagram showing another conventional laminograph.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ Ｘ線管 ２ Ｘ線ビーム ３ 被検体 ４ Ｘ線ＩＩ ５ 回転テーブル ６ 回転機構 ７ データ収集装置 ８ 画像処理装置 ９ ＣＲＴ １０ 回転制御装置 １１ モニタＣＲＴ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 X-ray tube 2 X-ray beam 3 Subject 4 X-ray II 5 Rotating table 6 Rotating mechanism 7 Data acquisition device 8 Image processing device 9 CRT 10 Rotation control device 11 Monitor CRT

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 放射線を発生し、被検体に向けて放出す
る放射線源と、 被検体を透過した放射線を実質的に２次元の空間分解能
をもって検出する２次元放射線検出器と、 前記放射線源と前記放射線検出器を結ぶ中心線に対して
所定の角度の傾きを持つ回転軸に対して被検体と前記放
射線源および前記放射線検出器の組との間に相対的回転
運動を与える回転手段と、 前記回転運動の間に前記放射線検出器の出力を複数の透
過画像として収集するデータ収集手段と、 被検体内に設定したピント面上に並んだ複数のピント点
のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上での画
像データを各ピント点毎に足し合わせて、被検体内のピ
ント面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得る
画像処理手段とを有することを特徴とするラミノグラ
フ。1. A radiation source that generates radiation and emits it toward a subject, a two-dimensional radiation detector that detects the radiation that has passed through the subject with substantially two-dimensional spatial resolution, and the radiation source. Rotating means for providing relative rotational movement between the subject, the radiation source and the set of radiation detectors with respect to a rotation axis having a predetermined angle of inclination with respect to a center line connecting the radiation detectors, Data collection means for collecting the output of the radiation detector as a plurality of transmission images during the rotational movement, and a plurality of radiation paths passing through each of a plurality of focus points arranged on a focus plane set in the subject. An image processing means for adding image data on a transmission image for each focus point to obtain a lamino image which is a transmission image focused on a focus plane in the subject. 【請求項２】 放射線を発生し、被検体に向けて放出す
る放射線源と、 被検体を透過した放射線を実質的に２次元の空間分解能
をもって検出する２次元放射線検出器と、 被検体と前記放射線源および前記放射線検出器の組との
間に相対的回転運動を与える回転手段と、 前記回転運動の間に前記放射線検出器の出力を複数の透
過画像として収集するデータ収集手段と、 被検体の代わりに棒状の放射線吸収物体を前記回転軸に
沿って近傍に設置し、前記収集を行う回転軸位置校正過
程を有し、被検体内に設定したピント面上に並んだ複数
のピント点のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過画
像上での画像データを各ピント点毎に足し合わせて、被
検体内のピント面に焦点の合った透過画像であるラミノ
画像を得る画像処理手段とを有することを特徴とするラ
ミノグラフ。2. A radiation source that generates radiation and emits it toward a subject, a two-dimensional radiation detector that detects the radiation that has passed through the subject with substantially two-dimensional spatial resolution, the subject and the above. Rotating means for providing relative rotational movement between the radiation source and the set of radiation detectors; data collecting means for collecting the output of the radiation detector as a plurality of transmission images during the rotating movement; Instead of the rod-shaped radiation absorbing object is installed in the vicinity along the rotation axis, and has a rotation axis position calibration process to perform the collection, a plurality of focus points arranged on the focus surface set in the subject. Image processing means for adding image data on a plurality of transmission images of a radiation path passing through each for each focus point to obtain a lamino image which is a transmission image focused on the focus surface in the subject. thing Laminograph characterized. 【請求項３】 放射線を発生し、被検体に向けて放出す
る放射線源と、 被検体を透過した放射線を実質的に２次元の空間分解能
をもって検出する２次元放射線検出器と、 異なった幾何学的配置をとるように被検体、前記放射線
源および前記放射線検出器を走査する走査手段と、 前記異なった幾何学的配置において前記放射線検出器の
出力を複数の異なった方向からの透過画像として収集す
るデータ収集手段と、 被検体内に設定したピント面上に並んだ複数のピント点
のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上での画
像データを各ピント点毎に足し合わせて、被検体内のピ
ント面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得る
画像処理装置と、 複数の第１次ピント面を設定し、それぞれのピント面に
対して第１次ラミノ画像を計算する第１次ラミノ画像計
算手段と、 前記第１次ラミノ画像から第２次ピント面を設定する設
定手段と、 前記第２次ピント面から第２次ラミノ画像を計算する第
２次ラミノ画像計算手段とを有することを特徴とするラ
ミノグラフ。3. A radiation source that generates radiation and emits it toward a subject, a two-dimensional radiation detector that detects radiation that has passed through the subject with substantially two-dimensional spatial resolution, and a different geometry. Means for scanning the subject, the radiation source and the radiation detector so as to have a specific arrangement, and collecting the output of the radiation detector in a plurality of different geometrical arrangements as transmission images from a plurality of different directions. The data collection means and the image data on the multiple transmission images of the radiation path passing through each of the plurality of focus points arranged on the focus plane set in the subject are added together for each focus point, and the subject An image processing device that obtains a lamino image that is a transmission image focused on the in-focus plane and a plurality of primary focus planes are set, and the primary lamino image is calculated for each focus plane. Primary lamino image calculation means, setting means for setting a secondary focus surface from the primary lamino image, and secondary lamino image calculation means for calculating a secondary lamino image from the secondary focus surface A laminograph comprising: 【請求項４】 放射線を発生し、被検体に向けて放出す
る放射線源と、 被検体を透過した放射線を実質的に２次元の空間分解能
をもって検出する２次元放射線検出器と、 前記放射線源と前記放射線検出器を結ぶ中心線に対して
ほぼ直角な回転軸に対して被検体と前記放射線源および
前記放射線検出器の組との間に相対的回転運動を与える
回転手段と、 前記回転運動の間にまたは回転静止中に前記放射線検出
器の出力を複数のまたは単数の透過画像として収集する
データ収集手段と、 前記複数の透過画像データより前記回転軸と直交し、前
記放射線源を通る平面であるスライス面のデータのみを
用いて被検体のスライス面での断面像を計算する再構成
手段と、 スライス面を変更するために被検体と前記放射線源およ
び放射線検出器の組との間に回転軸に沿った方向の相対
的変位を与えるスライス面変更手段と、 被検体内に設定したピント面上に並んだ複数のピント点
のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過像上での画像
データを各ピント点毎に足し合わせて、ピント面に焦点
の合った透過画像であるラミノ画像を得る画像処理手段
とを有することを特徴とするラミノグラフ。4. A radiation source that generates radiation and emits it toward a subject, a two-dimensional radiation detector that detects radiation that has passed through the subject with substantially two-dimensional spatial resolution, and the radiation source. Rotating means for providing relative rotational movement between the subject and the set of the radiation source and the radiation detector with respect to an axis of rotation substantially perpendicular to the center line connecting the radiation detectors; Data collection means for collecting the output of the radiation detector as a plurality of or a single transmission image during or while rotating and stationary, in a plane that is orthogonal to the rotation axis from the plurality of transmission image data and passes through the radiation source. Reconstructing means for calculating a cross-sectional image of the slice plane of the subject using only the data of a certain slice plane, and between the subject and the set of the radiation source and the radiation detector for changing the slice plane. Image data on a plurality of transmission images of a radiation path that passes through a slice plane changing means that gives relative displacement in the direction along the rotation axis and a plurality of focus points arranged on the focus plane set in the subject. And an image processing unit that obtains a lamino image that is a transmission image focused on the focus surface by adding each of the focus points. 【請求項５】 放射線を発生し、被検体に向けて放出す
る放射線源、被検体を透過した放射線を検出する１次元
放射線検出器、被検体を通る種々の方向の透過データを
収集するように前記放射線源、前記放射線検出器、被検
体を走査する走査手段、および前記放射線検出器で検出
した透過データから被検体の断面像を構成する再構成手
段を有するＣＴスキャナにおいて、 被検体を透過した放射線を実質的に２次元の空間分解能
をもって検出する２次元放射線検出器と、 被検体と前記放射線源および２次元放射線検出器の組と
の間に相対的回転運動を与える回転手段と、 前記回転運動の間に前記２次元放射線検出器の出力を複
数の透過画像として収集するデータ収集手段と、 被検体内に設定したピント面上に並んだ複数のピント点
のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上での画
像データを各ピント点毎に足し合わせて、被検体内のピ
ント面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得る
画像処理手段とを有することを特徴とするラミノグラ
フ。5. A radiation source that generates and emits radiation toward a subject, a one-dimensional radiation detector that detects radiation that has passed through the subject, and collection of transmission data in various directions through the subject. In a CT scanner having the radiation source, the radiation detector, scanning means for scanning the subject, and reconstructing means for constructing a cross-sectional image of the subject from transmission data detected by the radiation detector, A two-dimensional radiation detector for detecting radiation with a substantially two-dimensional spatial resolution; rotating means for providing relative rotational movement between a subject and the set of the radiation source and the two-dimensional radiation detector; Data collecting means for collecting the output of the two-dimensional radiation detector as a plurality of transmission images during movement, and a plurality of focus points arranged on a focus plane set in the subject, respectively. Image processing means for adding image data on a plurality of transmission images of a radiation path passing through for each focus point to obtain a lamino image which is a transmission image focused on a focus surface in the subject. Characteristic laminograph. 【請求項６】 放射線を発生し、被検体に向けて放出す
る放射線源と、 被検体を透過した放射線を実質的に２次元の空間分解能
をもって検出する２次元放射線検出器と、 異なった幾何学的配置をとるように被検体、前記放射線
源および前記放射線検出器を走査する走査手段と、 前記異なった幾何学的配置において前記放射線検出器の
出力を複数の異なった方向からの透過画像として収集す
るデータ収集手段と、 被検体内に設定したピント面上に並んだ複数のピント点
のそれぞれを通る放射線通路の複数の透過画像上での画
像データを各ピント点毎に足し合わせて、被検体内のピ
ント面に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得る
画像処理手段と、 前記ラミノ画像とピント面の３次元表示である射影像を
一度に観察できるように表示する表示手段とを有するこ
とを特徴とするラミノグラフ。6. A radiation source that generates radiation and emits it toward a subject, a two-dimensional radiation detector that detects radiation that has passed through the subject with substantially two-dimensional spatial resolution, and a different geometry. Means for scanning the subject, the radiation source and the radiation detector so as to have a specific arrangement, and collecting the output of the radiation detector in a plurality of different geometrical arrangements as transmission images from a plurality of different directions. The data collection means and the image data on the multiple transmission images of the radiation path passing through each of the plurality of focus points arranged on the focus plane set in the subject are added together for each focus point, and the subject And an image processing means for obtaining a lamino image which is a transmission image focused on the in-focus plane, and a three-dimensionally projected image of the lamino image and the in-focus plane are displayed so that they can be observed at once. Laminograph characterized by having a shown means.
JP5299197A 1993-11-30 1993-11-30 Laminograph Pending JPH07153803A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5299197A JPH07153803A (en) 1993-11-30 1993-11-30 Laminograph

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5299197A JPH07153803A (en) 1993-11-30 1993-11-30 Laminograph

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07153803A true JPH07153803A (en) 1995-06-16

Family

ID=17869403

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5299197A Pending JPH07153803A (en) 1993-11-30 1993-11-30 Laminograph

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07153803A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004184122A (en) * 2002-11-29 2004-07-02 Shimadzu Corp Center axis calibrating fixture in x-ray ct equipment and calibration method using the fixture
JP2004354383A (en) * 2003-05-28 2004-12-16 General Electric Co <Ge> Method and system for inspecting constitutive component
JP2009036660A (en) * 2007-08-02 2009-02-19 Toshiba It & Control Systems Corp Tomogram system
JP2019158534A (en) * 2018-03-12 2019-09-19 株式会社ミツトヨ X-ray ct apparatus for measurement and method for generating fault image

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004184122A (en) * 2002-11-29 2004-07-02 Shimadzu Corp Center axis calibrating fixture in x-ray ct equipment and calibration method using the fixture
JP2004354383A (en) * 2003-05-28 2004-12-16 General Electric Co <Ge> Method and system for inspecting constitutive component
JP2009036660A (en) * 2007-08-02 2009-02-19 Toshiba It & Control Systems Corp Tomogram system
JP2019158534A (en) * 2018-03-12 2019-09-19 株式会社ミツトヨ X-ray ct apparatus for measurement and method for generating fault image

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5598453A (en) Method for X-ray fluoroscopy or radiography, and X-ray apparatus
CN108738341B (en) Spiral CT device
KR0164931B1 (en) Laminograph and inspection and repair device using the same
JP4959223B2 (en) Tomography equipment
US20040252811A1 (en) Radiographic apparatus
JPH02501411A (en) Automatic laminography system for testing electronics
US9060740B2 (en) Dental X-ray device with imaging unit for surface detection and method for generating a radiograph of a patient
US20110193953A1 (en) System and method for estimating the height of an object using tomosynthesis-like techniques
JP2006110342A (en) Method and apparatus for reconstruction of tilted cone beam data
JPWO2014115625A1 (en) X-ray CT apparatus and image reconstruction method
JP6153105B2 (en) CT equipment
JP5060862B2 (en) Tomography equipment
JP3792432B2 (en) Computed tomography equipment
JP2005058309A (en) Cone beam x-ray ct device and phantom used for the same
JPH119583A (en) X-ray ct scanner
US20030016781A1 (en) Method and apparatus for quantitative stereo radiographic image analysis
JP4429709B2 (en) X-ray tomography equipment
JP2002310943A (en) Computed tomograph
US11022570B2 (en) X-ray transmission inspection apparatus and X-ray transmission inspection method
JPH07153803A (en) Laminograph
JP2007330687A (en) Device and program for generating panorama tomographic image
JP3614214B2 (en) Tomography equipment
US6118843A (en) Quantitative stereoscopic radiography method
JP4027954B2 (en) Computed tomography equipment
WO1992006636A1 (en) Three-dimensional tomographic system