JPH0714995A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH0714995A JPH0714995A JP5143196A JP14319693A JPH0714995A JP H0714995 A JPH0714995 A JP H0714995A JP 5143196 A JP5143196 A JP 5143196A JP 14319693 A JP14319693 A JP 14319693A JP H0714995 A JPH0714995 A JP H0714995A
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- Japan
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- dye
- yellow
- solid
- filter
- color filter
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- Pending
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- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
体撮像装置を提供する。 【構成】 平坦化膜15に薄いイエロー(y)を染色
し、その上のカラーフィルタ16の各フィルタ16A,
16B,16C,16Dは、薄いイエロー(y)を含ま
せずに染色するため、少ない染色工程で形成でき、安定
な色フィルタとなる。このため、ウェハ面内,ウェハ
間,ロット間でのフィルタの染色バラツキを抑えること
ができる。
Description
し、特に、カラーフィルタを備えた固体撮像装置に係わ
る。
タは、以前単品の染料で染色されたオンチップカラーフ
ィルタであった。しかし、最近の固体撮像装置では、シ
ステム側の色再現性に対する要求が厳しくなり染料を混
合することにより対応している。
構造のものが知られている。この固体撮像装置は、半導
体基板1に受光部1Aが形成され、この基板1上に絶縁
膜2,多結晶シリコン電極3,アルミニウム電極4等が
形成され、さらに、その上にアクリル系樹脂で成る平坦
化膜5,カラーフィルタ6,(6A,6B…)オンチッ
プレンズ7等が形成されている。
グリーン(G)の染料で着色されたフィルタ6A,マゼ
ンタ(M)の染料で着色されたフィルタ6B,イエロー
(Y)の染料で着色されたフィルタ6C及びシアン
(C)の染料で着色されたフィルタ6Dが配列されて構
成されている。しかし、厳密には、上記フィルタ6Bの
染料は、マゼンタ(M)に薄いイエロー(y)が加えら
れており、フィルタ6Dの染料は、シアン(C)に薄い
イエロー(y)が加えられたものであった。この薄いイ
エロー(y)は、短波長側での分光特性を制御する目的
で加えられている。なお、フィルタ6Aの染料は、濃い
イエロー(C)と濃いシアン(C)が混ざってグリーン
(G)となっている。また、フィルタ6Cの染料は、濃
いイエロー(Y)のみである。
法は、図3(A)〜(D)に示すような工程で行われて
いる。なお、図中1は表面に各種電極等(図示省略す
る)が作製された半導体基板である。
板1上に平坦化膜5を形成し、この平坦化膜5上に、図
3(B)に示すようにポリマーで成るフィルタ膜6aを
スピンコートする。次に、フィルタ膜6a上にフォトジ
スト8をスピンコートした後、露光・現像して、図3
(C)に示すように、フォトレジスト8をパターニング
する。この状態でフォトレジスト8をマスクとして所望
の染料を接触させ、過熱して染料をフィルタ膜6aに浸
透させる。次に、図3(D)に示すように、フォトレジ
スト8を除去する。なお、フィルタ6C以外のフィルタ
6A,6B,6Dにおいては、2つの染料を混ぜるた
め、各染料毎に図3(C)に示す工程を行っている。
た薄いイエロー(y)と他の染料をそれぞれ同一のフィ
ルタ内へ浸透させる場合、染料によって温度特性等が異
なり、また、温度のわずかな変動によっても染色性が変
わる問題があった。このため、同じ色のフィルタでもウ
ェハ面内,ウェハ間,ロット間でバラツキが大きくなる
問題があり、要求される特性のフィルタを混合染料で安
定に生産することは非常に困難であった。
な特性をもつカラーフィルタを備えた固体撮像装置を得
るには、どのような手段を講じればよいかという点にあ
る。
の発明は、半導体基板に、受光部を含む撮像素子が形成
され、該半導体基板上に平坦化膜,カラーフィルタ層が
順次積層されている固体撮像装置において、前記平坦化
膜を分光特性を制御する染料で着色したことを、その解
決手段としている。請求項2記載の発明は、前記分光特
性を制御する染料がイエローであることを特徴とする。
化膜が分光特性を制御する染料で着色されるため、カラ
ーフィルタ層を着色する染料の種類が少なくなる。ま
た、分光特性を制御する染料とカラーフィルタ層を着色
する染料との温度特性が異なっても、夫々別の層を着色
するため、安定な染色が可能となる。このため、ウェハ
のほぼ全面を覆う平坦化膜が、分光特性を制御する染料
で、均一に着色されるため、ウェハ面面,ウェハ間,ロ
ット間でのバラツキの発生を防止することが可能とな
る。
図面に示す実施例に基づいて説明する。
化膜及びカラーフィルタの斜視図である。図1中11は
半導体基板である。この基板11には、受光部11Aが
形成されている。そして、半導体基板11上には、絶縁
膜12を介して多結晶シリコン電極13とAl電極14
とが形成されている。以上の構造は従来と同様である。
その上にアクリル系樹脂で成る平坦化膜15が形成され
ている。そして、この平坦化膜15は、薄くイエロー
(y)に着色されている。また、このイエロー(y)の
濃度は、後記するカラーフィルタ16との相互の関係で
決まる。このような平坦化膜15上には、図1に示すよ
うに、カラーフィルタ16,オンチップレンズ17が順
次形成されている。
16B,16C,16Dの4色を配列させて構成されて
いる。フィルタ16Aは、イエロー(Y)とシアン
(C)とを混ぜてグリーンに着色されている。フィルタ
16Bはマゼンタ(M)のみ、フィルタ16Cはイエロ
ー(Y)のみ、フィルタ16Dはシアン(C)のみで着
色されている。なお、フィルタ16Aのみが2種類の染
料で染色されているが、染色させるときの過熱温度がイ
エロー(Y)とシアン(C)とでほぼ同様(190゜前
後)であるため、混合染色を行っても、フィルタ16A
のエッジが明瞭となり、安定した染色ができる。
(y)を染色したことにより、カラーフィルタ16(1
6A〜16D)に薄いイエロー(y)を混ぜる必要がな
くなる。よって、カラーフィルタ16の染色は容易に行
えるようになる。また、イエロー(y)を平坦化膜に着
色させる場合は、レジストマスクを用いることなく全面
に一括して着色処理できるため、均一な着色となる。
めのイエロー(y)と他の主な染料とが温度特性の差に
より混合染色が不安定であったのを、本実施例では、そ
れぞれを別の層(平坦化膜15及びカラーフィルタ16
に染色したことにより安定に染色することが可能にな
る。このため、ウェハ面内,ウェハ間,ロット間での染
色のバラツキ発生を防止できる。
の、本実施例の単品染料と従来の混合染料との飽和度
(レベル)のバラツキを示している。グラフ中、Bはブ
ルー,Rはレッド,Mはマゼンタ,Gはグリーン,Cは
シアン,Yはイエローを示している。このグラフから、
単品染料(外実施例)では、ブルー(B)のバラツキが
改善されていることが判る。また、図5は、同じく32
00Kの時の位相(フェーズ)のバラツキを示している
が、単品染料(本実施例)と混合染料(従来例)とでバ
ラツキは小さい。さらに、図6は、9000Kの時の飽
和度の比較である。このグラフから、単品染料(本実施
例)では、ブルー(B)とイエロー(Y)のバラツキが
抑えられていることが判る。なお、図7に示すように、
9000Kの時の位相のバラツキは、単品染料(本実施
例)と混合染料(従来例)とで同様であり、共に小さい
ことが判る。
は、構成の要旨に付随する各種の設計変更が可能であ
る。
いたが原色系にも適用が可能である。また、上記実施例
においては、Al電極14を有する構成としたが、他の
構成の固体撮像装置に本発明を適用することが可能であ
る。
制御する染料としてイエローを用いたが、これに限定さ
れるものではない。
1及び2記載の発明によれば、平坦化膜に分光特性を制
御する色を着色することで、カラーフィルタ層に単品染
料が使用できるようになり、温度変化の変動などによる
染色性が変化がなくなる効果がある。このため、カラー
フィルタのウェハ面内,ウェハ間,ロット間のバラツキ
を小さくすることができる効果を奏する。
示す断面図。
合染料との飽和バラツキを示すグラフ。
キを示すグラフ。
ツキを示すグラフ。
キを示すグラフ。
Claims (2)
- 【請求項1】 半導体基板に、受光部を含む撮像素子が
形成され、該半導体基板上に平坦化膜,カラーフィルタ
層が順次積層されている固体撮像装置において、 前記平坦化膜を分光特性を制御する染料で着色したこと
を特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項2】 前記分光特性を制御する染料はイエロー
である請求項1記載に係る固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5143196A JPH0714995A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5143196A JPH0714995A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0714995A true JPH0714995A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15333110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5143196A Pending JPH0714995A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0714995A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100379541B1 (ko) * | 2000-11-20 | 2003-04-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 컬러 이미지 센서 및 이 컬러 이미지 센서를 제조하는 방법 |
JP2006162706A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Sharp Corp | カラーフィルタ、表示パネル、表示装置、ならびにカラーフィルタの製造方法 |
US9595570B2 (en) | 2015-06-10 | 2017-03-14 | Japan Display Inc. | Display device |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP5143196A patent/JPH0714995A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100379541B1 (ko) * | 2000-11-20 | 2003-04-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 컬러 이미지 센서 및 이 컬러 이미지 센서를 제조하는 방법 |
JP2006162706A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Sharp Corp | カラーフィルタ、表示パネル、表示装置、ならびにカラーフィルタの製造方法 |
US9595570B2 (en) | 2015-06-10 | 2017-03-14 | Japan Display Inc. | Display device |
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