JPH0714995A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH0714995A JPH0714995A JP5143196A JP14319693A JPH0714995A JP H0714995 A JPH0714995 A JP H0714995A JP 5143196 A JP5143196 A JP 5143196A JP 14319693 A JP14319693 A JP 14319693A JP H0714995 A JPH0714995 A JP H0714995A
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- JP
- Japan
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- dye
- yellow
- solid
- filter
- color filter
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- Pending
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- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カラーフィルタの染色バラツキを減少した固
体撮像装置を提供する。 【構成】 平坦化膜１５に薄いイエロー（ｙ）を染色
し、その上のカラーフィルタ１６の各フィルタ１６Ａ，
１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄは、薄いイエロー（ｙ）を含ま
せずに染色するため、少ない染色工程で形成でき、安定
な色フィルタとなる。このため、ウェハ面内，ウェハ
間，ロット間でのフィルタの染色バラツキを抑えること
ができる。
体撮像装置を提供する。 【構成】 平坦化膜１５に薄いイエロー（ｙ）を染色
し、その上のカラーフィルタ１６の各フィルタ１６Ａ，
１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄは、薄いイエロー（ｙ）を含ま
せずに染色するため、少ない染色工程で形成でき、安定
な色フィルタとなる。このため、ウェハ面内，ウェハ
間，ロット間でのフィルタの染色バラツキを抑えること
ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、固体撮像装置に関
し、特に、カラーフィルタを備えた固体撮像装置に係わ
る。
し、特に、カラーフィルタを備えた固体撮像装置に係わ
る。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像装置に形成されるカラーフィル
タは、以前単品の染料で染色されたオンチップカラーフ
ィルタであった。しかし、最近の固体撮像装置では、シ
ステム側の色再現性に対する要求が厳しくなり染料を混
合することにより対応している。
タは、以前単品の染料で染色されたオンチップカラーフ
ィルタであった。しかし、最近の固体撮像装置では、シ
ステム側の色再現性に対する要求が厳しくなり染料を混
合することにより対応している。
【０００３】固体撮像装置の構成は、図８に示すような
構造のものが知られている。この固体撮像装置は、半導
体基板１に受光部１Ａが形成され、この基板１上に絶縁
膜２，多結晶シリコン電極３，アルミニウム電極４等が
形成され、さらに、その上にアクリル系樹脂で成る平坦
化膜５，カラーフィルタ６，（６Ａ，６Ｂ…）オンチッ
プレンズ７等が形成されている。
構造のものが知られている。この固体撮像装置は、半導
体基板１に受光部１Ａが形成され、この基板１上に絶縁
膜２，多結晶シリコン電極３，アルミニウム電極４等が
形成され、さらに、その上にアクリル系樹脂で成る平坦
化膜５，カラーフィルタ６，（６Ａ，６Ｂ…）オンチッ
プレンズ７等が形成されている。
【０００４】カラーフィルタ６は、図９に示すように、
グリーン（Ｇ）の染料で着色されたフィルタ６Ａ，マゼ
ンタ（Ｍ）の染料で着色されたフィルタ６Ｂ，イエロー
（Ｙ）の染料で着色されたフィルタ６Ｃ及びシアン
（Ｃ）の染料で着色されたフィルタ６Ｄが配列されて構
成されている。しかし、厳密には、上記フィルタ６Ｂの
染料は、マゼンタ（Ｍ）に薄いイエロー（ｙ）が加えら
れており、フィルタ６Ｄの染料は、シアン（Ｃ）に薄い
イエロー（ｙ）が加えられたものであった。この薄いイ
エロー（ｙ）は、短波長側での分光特性を制御する目的
で加えられている。なお、フィルタ６Ａの染料は、濃い
イエロー（Ｃ）と濃いシアン（Ｃ）が混ざってグリーン
（Ｇ）となっている。また、フィルタ６Ｃの染料は、濃
いイエロー（Ｙ）のみである。
グリーン（Ｇ）の染料で着色されたフィルタ６Ａ，マゼ
ンタ（Ｍ）の染料で着色されたフィルタ６Ｂ，イエロー
（Ｙ）の染料で着色されたフィルタ６Ｃ及びシアン
（Ｃ）の染料で着色されたフィルタ６Ｄが配列されて構
成されている。しかし、厳密には、上記フィルタ６Ｂの
染料は、マゼンタ（Ｍ）に薄いイエロー（ｙ）が加えら
れており、フィルタ６Ｄの染料は、シアン（Ｃ）に薄い
イエロー（ｙ）が加えられたものであった。この薄いイ
エロー（ｙ）は、短波長側での分光特性を制御する目的
で加えられている。なお、フィルタ６Ａの染料は、濃い
イエロー（Ｃ）と濃いシアン（Ｃ）が混ざってグリーン
（Ｇ）となっている。また、フィルタ６Ｃの染料は、濃
いイエロー（Ｙ）のみである。
【０００５】このようなカラーフィルタ６を形成する方
法は、図３（Ａ）〜（Ｄ）に示すような工程で行われて
いる。なお、図中１は表面に各種電極等（図示省略す
る）が作製された半導体基板である。
法は、図３（Ａ）〜（Ｄ）に示すような工程で行われて
いる。なお、図中１は表面に各種電極等（図示省略す
る）が作製された半導体基板である。
【０００６】先ず、図３（Ａ）に示すように、半導体基
板１上に平坦化膜５を形成し、この平坦化膜５上に、図
３（Ｂ）に示すようにポリマーで成るフィルタ膜６ａを
スピンコートする。次に、フィルタ膜６ａ上にフォトジ
スト８をスピンコートした後、露光・現像して、図３
（Ｃ）に示すように、フォトレジスト８をパターニング
する。この状態でフォトレジスト８をマスクとして所望
の染料を接触させ、過熱して染料をフィルタ膜６ａに浸
透させる。次に、図３（Ｄ）に示すように、フォトレジ
スト８を除去する。なお、フィルタ６Ｃ以外のフィルタ
６Ａ，６Ｂ，６Ｄにおいては、２つの染料を混ぜるた
め、各染料毎に図３（Ｃ）に示す工程を行っている。
板１上に平坦化膜５を形成し、この平坦化膜５上に、図
３（Ｂ）に示すようにポリマーで成るフィルタ膜６ａを
スピンコートする。次に、フィルタ膜６ａ上にフォトジ
スト８をスピンコートした後、露光・現像して、図３
（Ｃ）に示すように、フォトレジスト８をパターニング
する。この状態でフォトレジスト８をマスクとして所望
の染料を接触させ、過熱して染料をフィルタ膜６ａに浸
透させる。次に、図３（Ｄ）に示すように、フォトレジ
スト８を除去する。なお、フィルタ６Ｃ以外のフィルタ
６Ａ，６Ｂ，６Ｄにおいては、２つの染料を混ぜるた
め、各染料毎に図３（Ｃ）に示す工程を行っている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た薄いイエロー（ｙ）と他の染料をそれぞれ同一のフィ
ルタ内へ浸透させる場合、染料によって温度特性等が異
なり、また、温度のわずかな変動によっても染色性が変
わる問題があった。このため、同じ色のフィルタでもウ
ェハ面内，ウェハ間，ロット間でバラツキが大きくなる
問題があり、要求される特性のフィルタを混合染料で安
定に生産することは非常に困難であった。
た薄いイエロー（ｙ）と他の染料をそれぞれ同一のフィ
ルタ内へ浸透させる場合、染料によって温度特性等が異
なり、また、温度のわずかな変動によっても染色性が変
わる問題があった。このため、同じ色のフィルタでもウ
ェハ面内，ウェハ間，ロット間でバラツキが大きくなる
問題があり、要求される特性のフィルタを混合染料で安
定に生産することは非常に困難であった。
【０００８】この発明が解決しようとする問題は、安定
な特性をもつカラーフィルタを備えた固体撮像装置を得
るには、どのような手段を講じればよいかという点にあ
る。
な特性をもつカラーフィルタを備えた固体撮像装置を得
るには、どのような手段を講じればよいかという点にあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この出願の請求項１記載
の発明は、半導体基板に、受光部を含む撮像素子が形成
され、該半導体基板上に平坦化膜，カラーフィルタ層が
順次積層されている固体撮像装置において、前記平坦化
膜を分光特性を制御する染料で着色したことを、その解
決手段としている。請求項２記載の発明は、前記分光特
性を制御する染料がイエローであることを特徴とする。
の発明は、半導体基板に、受光部を含む撮像素子が形成
され、該半導体基板上に平坦化膜，カラーフィルタ層が
順次積層されている固体撮像装置において、前記平坦化
膜を分光特性を制御する染料で着色したことを、その解
決手段としている。請求項２記載の発明は、前記分光特
性を制御する染料がイエローであることを特徴とする。
【００１０】
【作用】この出願の請求項１及び２記載の発明は、平坦
化膜が分光特性を制御する染料で着色されるため、カラ
ーフィルタ層を着色する染料の種類が少なくなる。ま
た、分光特性を制御する染料とカラーフィルタ層を着色
する染料との温度特性が異なっても、夫々別の層を着色
するため、安定な染色が可能となる。このため、ウェハ
のほぼ全面を覆う平坦化膜が、分光特性を制御する染料
で、均一に着色されるため、ウェハ面面，ウェハ間，ロ
ット間でのバラツキの発生を防止することが可能とな
る。
化膜が分光特性を制御する染料で着色されるため、カラ
ーフィルタ層を着色する染料の種類が少なくなる。ま
た、分光特性を制御する染料とカラーフィルタ層を着色
する染料との温度特性が異なっても、夫々別の層を着色
するため、安定な染色が可能となる。このため、ウェハ
のほぼ全面を覆う平坦化膜が、分光特性を制御する染料
で、均一に着色されるため、ウェハ面面，ウェハ間，ロ
ット間でのバラツキの発生を防止することが可能とな
る。
【００１１】
【実施例】以下、この発明に係る固体撮像装置の詳細を
図面に示す実施例に基づいて説明する。
図面に示す実施例に基づいて説明する。
【００１２】図１は本実施例の要部断面図、図２は平坦
化膜及びカラーフィルタの斜視図である。図１中１１は
半導体基板である。この基板１１には、受光部１１Ａが
形成されている。そして、半導体基板１１上には、絶縁
膜１２を介して多結晶シリコン電極１３とＡｌ電極１４
とが形成されている。以上の構造は従来と同様である。
化膜及びカラーフィルタの斜視図である。図１中１１は
半導体基板である。この基板１１には、受光部１１Ａが
形成されている。そして、半導体基板１１上には、絶縁
膜１２を介して多結晶シリコン電極１３とＡｌ電極１４
とが形成されている。以上の構造は従来と同様である。
【００１３】このような構造の段差を平坦化するため、
その上にアクリル系樹脂で成る平坦化膜１５が形成され
ている。そして、この平坦化膜１５は、薄くイエロー
（ｙ）に着色されている。また、このイエロー（ｙ）の
濃度は、後記するカラーフィルタ１６との相互の関係で
決まる。このような平坦化膜１５上には、図１に示すよ
うに、カラーフィルタ１６，オンチップレンズ１７が順
次形成されている。
その上にアクリル系樹脂で成る平坦化膜１５が形成され
ている。そして、この平坦化膜１５は、薄くイエロー
（ｙ）に着色されている。また、このイエロー（ｙ）の
濃度は、後記するカラーフィルタ１６との相互の関係で
決まる。このような平坦化膜１５上には、図１に示すよ
うに、カラーフィルタ１６，オンチップレンズ１７が順
次形成されている。
【００１４】カラーフィルタ１６は、フィルタ１６Ａ，
１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄの４色を配列させて構成されて
いる。フィルタ１６Ａは、イエロー（Ｙ）とシアン
（Ｃ）とを混ぜてグリーンに着色されている。フィルタ
１６Ｂはマゼンタ（Ｍ）のみ、フィルタ１６Ｃはイエロ
ー（Ｙ）のみ、フィルタ１６Ｄはシアン（Ｃ）のみで着
色されている。なお、フィルタ１６Ａのみが２種類の染
料で染色されているが、染色させるときの過熱温度がイ
エロー（Ｙ）とシアン（Ｃ）とでほぼ同様（１９０゜前
後）であるため、混合染色を行っても、フィルタ１６Ａ
のエッジが明瞭となり、安定した染色ができる。
１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄの４色を配列させて構成されて
いる。フィルタ１６Ａは、イエロー（Ｙ）とシアン
（Ｃ）とを混ぜてグリーンに着色されている。フィルタ
１６Ｂはマゼンタ（Ｍ）のみ、フィルタ１６Ｃはイエロ
ー（Ｙ）のみ、フィルタ１６Ｄはシアン（Ｃ）のみで着
色されている。なお、フィルタ１６Ａのみが２種類の染
料で染色されているが、染色させるときの過熱温度がイ
エロー（Ｙ）とシアン（Ｃ）とでほぼ同様（１９０゜前
後）であるため、混合染色を行っても、フィルタ１６Ａ
のエッジが明瞭となり、安定した染色ができる。
【００１５】本実施例は、平坦化膜１５に薄いイエロー
（ｙ）を染色したことにより、カラーフィルタ１６（１
６Ａ〜１６Ｄ）に薄いイエロー（ｙ）を混ぜる必要がな
くなる。よって、カラーフィルタ１６の染色は容易に行
えるようになる。また、イエロー（ｙ）を平坦化膜に着
色させる場合は、レジストマスクを用いることなく全面
に一括して着色処理できるため、均一な着色となる。
（ｙ）を染色したことにより、カラーフィルタ１６（１
６Ａ〜１６Ｄ）に薄いイエロー（ｙ）を混ぜる必要がな
くなる。よって、カラーフィルタ１６の染色は容易に行
えるようになる。また、イエロー（ｙ）を平坦化膜に着
色させる場合は、レジストマスクを用いることなく全面
に一括して着色処理できるため、均一な着色となる。
【００１６】このように、従来、分光特性を制御するた
めのイエロー（ｙ）と他の主な染料とが温度特性の差に
より混合染色が不安定であったのを、本実施例では、そ
れぞれを別の層（平坦化膜１５及びカラーフィルタ１６
に染色したことにより安定に染色することが可能にな
る。このため、ウェハ面内，ウェハ間，ロット間での染
色のバラツキ発生を防止できる。
めのイエロー（ｙ）と他の主な染料とが温度特性の差に
より混合染色が不安定であったのを、本実施例では、そ
れぞれを別の層（平坦化膜１５及びカラーフィルタ１６
に染色したことにより安定に染色することが可能にな
る。このため、ウェハ面内，ウェハ間，ロット間での染
色のバラツキ発生を防止できる。
【００１７】図４は、光源の色温度が３２００Ｋの時
の、本実施例の単品染料と従来の混合染料との飽和度
（レベル）のバラツキを示している。グラフ中、Ｂはブ
ルー，Ｒはレッド，Ｍはマゼンタ，Ｇはグリーン，Ｃは
シアン，Ｙはイエローを示している。このグラフから、
単品染料（外実施例）では、ブルー（Ｂ）のバラツキが
改善されていることが判る。また、図５は、同じく３２
００Ｋの時の位相（フェーズ）のバラツキを示している
が、単品染料（本実施例）と混合染料（従来例）とでバ
ラツキは小さい。さらに、図６は、９０００Ｋの時の飽
和度の比較である。このグラフから、単品染料（本実施
例）では、ブルー（Ｂ）とイエロー（Ｙ）のバラツキが
抑えられていることが判る。なお、図７に示すように、
９０００Ｋの時の位相のバラツキは、単品染料（本実施
例）と混合染料（従来例）とで同様であり、共に小さい
ことが判る。
の、本実施例の単品染料と従来の混合染料との飽和度
（レベル）のバラツキを示している。グラフ中、Ｂはブ
ルー，Ｒはレッド，Ｍはマゼンタ，Ｇはグリーン，Ｃは
シアン，Ｙはイエローを示している。このグラフから、
単品染料（外実施例）では、ブルー（Ｂ）のバラツキが
改善されていることが判る。また、図５は、同じく３２
００Ｋの時の位相（フェーズ）のバラツキを示している
が、単品染料（本実施例）と混合染料（従来例）とでバ
ラツキは小さい。さらに、図６は、９０００Ｋの時の飽
和度の比較である。このグラフから、単品染料（本実施
例）では、ブルー（Ｂ）とイエロー（Ｙ）のバラツキが
抑えられていることが判る。なお、図７に示すように、
９０００Ｋの時の位相のバラツキは、単品染料（本実施
例）と混合染料（従来例）とで同様であり、共に小さい
ことが判る。
【００１８】以上、実施例について説明したが、本発明
は、構成の要旨に付随する各種の設計変更が可能であ
る。
は、構成の要旨に付随する各種の設計変更が可能であ
る。
【００１９】例えば、上記実施例は、補色系の染料を用
いたが原色系にも適用が可能である。また、上記実施例
においては、Ａｌ電極１４を有する構成としたが、他の
構成の固体撮像装置に本発明を適用することが可能であ
る。
いたが原色系にも適用が可能である。また、上記実施例
においては、Ａｌ電極１４を有する構成としたが、他の
構成の固体撮像装置に本発明を適用することが可能であ
る。
【００２０】また、上記実施例においては、分光特性を
制御する染料としてイエローを用いたが、これに限定さ
れるものではない。
制御する染料としてイエローを用いたが、これに限定さ
れるものではない。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１及び２記載の発明によれば、平坦化膜に分光特性を制
御する色を着色することで、カラーフィルタ層に単品染
料が使用できるようになり、温度変化の変動などによる
染色性が変化がなくなる効果がある。このため、カラー
フィルタのウェハ面内，ウェハ間，ロット間のバラツキ
を小さくすることができる効果を奏する。
１及び２記載の発明によれば、平坦化膜に分光特性を制
御する色を着色することで、カラーフィルタ層に単品染
料が使用できるようになり、温度変化の変動などによる
染色性が変化がなくなる効果がある。このため、カラー
フィルタのウェハ面内，ウェハ間，ロット間のバラツキ
を小さくすることができる効果を奏する。
【図１】本発明の実施例を示す要部断面図。
【図２】本発明の実施例を示す斜視図。
【図３】（Ａ）〜（Ｄ）はカラーフィルタの形成工程を
示す断面図。
示す断面図。
【図４】光源の色温度が３２００Ｋの時の単品染料と混
合染料との飽和バラツキを示すグラフ。
合染料との飽和バラツキを示すグラフ。
【図５】光源の色温度が３２００Ｋの時の位相のバラツ
キを示すグラフ。
キを示すグラフ。
【図６】光源の色温度が９０００Ｋの時の飽和度のバラ
ツキを示すグラフ。
ツキを示すグラフ。
【図７】光源の色温度が９０００Ｋの時の位相のバラツ
キを示すグラフ。
キを示すグラフ。
【図８】従来例の要部断面図。
【図９】従来例の斜視図。
１１…半導体基板 １１Ａ…受光部 １５…平坦化膜 １６…カラーフィルタ １６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄ…フィルタ
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体基板に、受光部を含む撮像素子が
形成され、該半導体基板上に平坦化膜，カラーフィルタ
層が順次積層されている固体撮像装置において、 前記平坦化膜を分光特性を制御する染料で着色したこと
を特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項２】 前記分光特性を制御する染料はイエロー
である請求項１記載に係る固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5143196A JPH0714995A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5143196A JPH0714995A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0714995A true JPH0714995A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15333110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5143196A Pending JPH0714995A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714995A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100379541B1 (ko) * | 2000-11-20 | 2003-04-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 컬러 이미지 센서 및 이 컬러 이미지 센서를 제조하는 방법 |
| JP2006162706A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Sharp Corp | カラーフィルタ、表示パネル、表示装置、ならびにカラーフィルタの製造方法 |
| US9595570B2 (en) | 2015-06-10 | 2017-03-14 | Japan Display Inc. | Display device |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP5143196A patent/JPH0714995A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100379541B1 (ko) * | 2000-11-20 | 2003-04-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 컬러 이미지 센서 및 이 컬러 이미지 센서를 제조하는 방법 |
| JP2006162706A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Sharp Corp | カラーフィルタ、表示パネル、表示装置、ならびにカラーフィルタの製造方法 |
| US9595570B2 (en) | 2015-06-10 | 2017-03-14 | Japan Display Inc. | Display device |
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Legal Events
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