JPH07146213A - Aberration measuring apparatus - Google Patents
Aberration measuring apparatusInfo
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- JPH07146213A JPH07146213A JP5079146A JP7914693A JPH07146213A JP H07146213 A JPH07146213 A JP H07146213A JP 5079146 A JP5079146 A JP 5079146A JP 7914693 A JP7914693 A JP 7914693A JP H07146213 A JPH07146213 A JP H07146213A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、主に写真レンズを対象
とする光線収差の球面収差等を測定する収差測定装置に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aberration measuring device for measuring spherical aberration of ray aberration mainly for photographic lenses.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の装置の一例を図２に示
す。この従来例は、光線追跡計算により像面付近の収差
が計測できることを利用して、被検査対象となるレンズ
に実際に光線を通して焦点付近の光線の収束状態を測定
する実験的光線追跡法であり、いわゆるハルトマンテス
トと呼ばれている方式である。2. Description of the Related Art FIG. 2 shows an example of a conventional device of this type. This conventional example is an experimental ray-tracing method in which the aberration near the image plane can be measured by ray-tracing calculation to actually pass a ray through the lens to be inspected and measure the convergence state of the ray near the focus. The so-called Hartmann test is used.
【０００３】この従来例では、点光源１０１を発した光
をコリメ−タレンズ１０２で平行光として、絞り板１０
３を照射する。絞り板１０３は適当な位置に孔が設けら
たハルトマン板で構成されており、この絞り板１０３の
１対の孔を通った光は、被検レンズ１０４を通り、焦点
位置を挟んだ第一受光位置１０５と第二受光位置１０６
で光束の位置を夫々測定する。In this conventional example, the light emitted from the point light source 101 is collimated by a collimator lens 102 to be collimated light, and the diaphragm plate 10
Irradiate 3. The diaphragm plate 103 is composed of a Hartmann plate in which holes are provided at appropriate positions, and the light passing through the pair of holes of the diaphragm plate 103 passes through the lens 104 to be inspected and has the first focal point. Light receiving position 105 and second light receiving position 106
Measure the position of the light flux respectively.
【０００４】この夫々の測定値から、被検レンズ１０４
の色々な収差が求められる。例えば球面収差測定であれ
ば、光軸から１対の孔までの距離ｈを色々変え、それに
応じた第一受光位置１０５と第二受光位置１０６とでの
光束の位置を夫々個々に測定することにより、レンズに
対する入射位置に伴う個々の収束位置が検出できるの
で、これと焦点位置との関係から収差の状態を求めるこ
とができる。From the respective measured values, the lens 104 to be inspected
Various aberrations are required. For example, in the case of spherical aberration measurement, the distance h from the optical axis to the pair of holes is changed variously, and the positions of the light fluxes at the first light receiving position 105 and the second light receiving position 106 are individually measured. With this, each convergent position associated with the incident position with respect to the lens can be detected, and the aberration state can be obtained from the relationship between this and the focal position.
【０００５】ここで、従来のこの種の装置では、光軸か
ら孔の位置（距離ｈ）を変えるためには、ハルトマン板
を（距離ｈの異なるものに）取り替える方法や、らせん
状に孔があいているものをスリットと組み合わせて回転
させる方法等の色々な方法が知られている。そして、こ
れらの方法により、被検レンズに入射する光束を制限
し、被検レンズへの光線の入射位置とその収束状態とを
夫々測定することによって、被検レンズの諸収差を求め
る。Here, in the conventional device of this type, in order to change the position (distance h) of the hole from the optical axis, a method of replacing the Hartmann plate (with a different distance h) or a spiral hole is used. Various methods are known, such as a method of rotating an open object in combination with a slit. Then, by using these methods, the light flux incident on the lens to be inspected is limited, and the incident position of the light beam on the lens to be inspected and the converged state thereof are measured respectively to obtain various aberrations of the lens to be inspected.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の如き
従来の技術に於いては、光源からの光束を検査光束とす
る為のコリメ−タレンズが、対象となる被検レンズより
も、測定する収差に関して補正が十分になされたもので
なければならない。この為、諸収差の良好な補正を考慮
するとコリメ−タレンズの焦点距離は長くなり、結果と
して収差測定装置の全体が大きくならざるを得なかっ
た。In the prior art as described above, the collimator lens for making the light beam from the light source into the inspection light beam has a larger aberration than the target lens to be measured. The correction must have been made sufficiently. For this reason, the focal length of the collimator lens becomes long in consideration of good correction of various aberrations, and as a result, the entire aberration measuring device must be large.
【０００７】さらに、従来の収差測定装置では、コリメ
−タレンズの口径が被検レンズの測定可能な口径の限界
となってしまう為、検査対象となるレンズの口径が制限
されてしまうという問題もあった。Further, in the conventional aberration measuring apparatus, since the diameter of the collimator lens is the limit of the measurable diameter of the lens under test, there is a problem that the diameter of the lens to be inspected is limited. It was
【０００８】本発明はこのような問題点を解決する為に
なされたものであり、コリメ−タレンズに関する制限を
解消すると共に、また装置全体をコンパクトにすること
が可能な収差測定装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve such a problem, and provides an aberration measuring apparatus which can solve the limitation on the collimator lens and can make the entire apparatus compact. With the goal.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の目的達成のために
本発明では、被検査対象に対して異なる複数の位置に入
射させた検査光束が、被検査対象によりその焦点位置近
辺に収束する状態を各々検出することにより、被検査対
象の収差の状態を測定する収差測定装置において、平行
光束からなる検査光を生じさせる光源手段と、互いに直
交する少なくとも二つの反射面を有する反射手段と、前
記反射手段の位置を移動させる移動手段と、前記反射手
段の一方の反射面に前記検査光を入射させると共に、反
射手段の二つの反射面で反射された検査光を被検査対象
に入射させる光学手段とを備え、前記移動手段により反
射手段の位置を変化させることにより、前記被検査対象
への検査光の入射位置を変化させることを特徴とする収
差測定装置を提供する。In order to achieve the above-mentioned object, according to the present invention, a state in which an inspection light beam incident on a plurality of different positions on an object to be inspected converges near the focal position by the object to be inspected. In the aberration measuring device for measuring the state of the aberration of the object to be inspected by detecting each of, the light source means for generating the inspection light composed of the parallel light flux, the reflecting means having at least two reflecting surfaces orthogonal to each other, Moving means for moving the position of the reflecting means, and optical means for making the inspection light incident on one reflecting surface of the reflecting means and for making the inspection light reflected by the two reflecting surfaces of the reflecting means incident on the object to be inspected. And an aberration measuring apparatus characterized by changing the position of the reflecting means by the moving means to change the incident position of the inspection light on the object to be inspected. That.
【００１０】[0010]
【作用】本発明は、収差検査方法としてはいわゆるハル
トマンテスト方式を応用するものであるが、移動手段に
より反射手段の位置を変化させることにより、被検査対
象への検査光の入射位置を変化させるものであり、被検
査対象に対して入射光束の位置を変える為のハルトマン
板を備えていない点が従来と大きく異なる。The present invention applies the so-called Hartmann test method as the aberration inspection method, but changes the position of the reflecting means by the moving means to change the incident position of the inspection light on the object to be inspected. This is a major difference from the prior art in that it does not have a Hartmann plate for changing the position of the incident light beam with respect to the inspection object.
【００１１】そして、光源手段から得られた平行光束を
検査光として用い、反射手段の互いに直行する二つの反
射面により反射された検査光を被検査対象に入射させる
ことにより、その入射光束の収束位置を計測する。さら
に、移動手段により反射手段の位置を変える事により、
反射手段から射出される検査光の位置を変化させ、これ
により被検査対象への入射位置を変化させるものとし、
変化させた後の複数入射位置に対する収束位置検出結果
に基づいて、諸収差を計測する。Then, the parallel light beam obtained from the light source means is used as the inspection light, and the inspection light reflected by the two reflecting surfaces of the reflecting means orthogonal to each other is made incident on the object to be inspected, whereby the incident light flux is converged. Measure the position. Furthermore, by changing the position of the reflecting means by the moving means,
By changing the position of the inspection light emitted from the reflecting means, thereby changing the incident position on the object to be inspected,
Various aberrations are measured based on the convergence position detection results for a plurality of incident positions after being changed.
【００１２】即ち、本発明では被検査対象に対する検査
光の入射位置を変える為に、従来のようにハルトマン孔
の位置を変えるのではなく、検査光の光線そのものを検
査光束の光路自体を変化させることで移動させるものと
している。換言すれば、被検査対象に対して光源自体を
移動させる事により入射位置を変化させるのであるが、
従来の装置で言えば光源とこれメータレンズと孔とを一
体で移動させているものと同様の作用を備えている。That is, in the present invention, in order to change the incident position of the inspection light on the object to be inspected, the position of the Hartmann hole is not changed as in the conventional case, but the light beam of the inspection light itself is changed in the optical path of the inspection light beam. It is supposed to be moved by that. In other words, the incident position is changed by moving the light source itself with respect to the inspection object.
In the case of the conventional device, the same operation as that of moving the light source, the meter lens and the hole as a unit is provided.
【００１３】ここで、実際にこれらを一体で移動させる
と、静止した位置でのステ−ジの傾きが光線の傾きとな
り、そのまま被検査対象を通って誤差が生じる。例え
ば、球面収差であれば、この傾きと被検査対象（レン
ズ）の焦点距離を乗じた誤差が測定結果に生じることと
なる。この場合、被検レンズとして焦点距離の長いもの
を対象として測定する場合も考慮して、このような検出
誤差を生じさせないためには、入射光束自体を移動させ
ても検査光の光線に傾きが発生しないようにしなければ
ならない。Here, when these are actually moved integrally, the inclination of the stage at a stationary position becomes the inclination of the light beam, and an error occurs as it is through the object to be inspected. For example, in the case of spherical aberration, an error obtained by multiplying this inclination by the focal length of the inspection object (lens) will occur in the measurement result. In this case, in consideration of the case of measuring an object lens having a long focal length as well, in order to prevent such a detection error, even if the incident light beam itself is moved, the ray of the inspection light is inclined. It must not happen.
【００１４】本発明では、光源手段としては平行光束を
生じさせるものであれば良く、この光源手段からの光路
中に移動可能な反射手段を設け、反射手段を移動する事
により光路を移動させ、光源自体が移動しなくても良い
ものとしている。即ち、本発明における光源手段自体は
固定状態で機能を発揮できるものである。In the present invention, the light source means may be any one that produces a parallel light beam, and a movable reflecting means is provided in the optical path from the light source means, and the optical path is moved by moving the reflecting means. The light source itself does not have to move. That is, the light source means itself in the present invention can exhibit its function in a fixed state.
【００１５】ここで、本発明の光源手段は、平行光束を
生じさせるものであれば、その構成は特に限定させるも
のではない。一例を示せば、従来同様に光源とそこから
生じた光束を平行光束とするコリメーターレンズとから
なるものでも良く、その光軸近傍の光束のみを取り出す
様に、光路上に孔や絞り等を用いて検査光束を取り出せ
ば、コリメータレンズの諸収差は特に問題とならない。Here, the structure of the light source means of the present invention is not particularly limited as long as it produces a parallel light flux. As an example, a light source and a collimator lens for collimating a light beam generated from the light source as in the conventional case may be used, and a hole or a diaphragm is provided on the optical path so that only the light beam near the optical axis is taken out. If the inspection light flux is extracted by using it, various aberrations of the collimator lens do not pose any particular problem.
【００１６】また、本発明の反射手段は、互いに直行す
る少なくとも二つの反射面を備えたのものである。これ
を換言すれば、この反射手段における入射光束と反射光
束が互いに平行となるように構成されたものであれば良
く、入射光束に対する反射光束の偏角が１８０度となる
反射手段であれば良い。この反射手段の最も単純な構成
の一例を挙げれば、二つのミラーを互いの反射面が直角
となるように組み合わせたものが考えられるが、その他
にも、直角プリズムや、コーナーキューブプリズム等を
反射手段とするものでも良い。Further, the reflecting means of the present invention is provided with at least two reflecting surfaces orthogonal to each other. In other words, as long as the incident light flux and the reflected light flux in this reflecting means are configured to be parallel to each other, any reflecting means can be used so that the deflection angle of the reflected light flux with respect to the incident light flux is 180 degrees. . To give an example of the simplest configuration of this reflection means, it is possible to combine two mirrors so that their reflection surfaces form a right angle, but in addition, a right angle prism, a corner cube prism, etc. It may be a means.
【００１７】一方、移動手段は反射手段を移動させる事
により、反射手段から射出する検査光の位置が変化する
ように移動させるものであれば良い。反射手段を移動さ
せる事により反射手段に対する検査光の入射位置、さら
には反射手段の反射面への入射位置が異なるように構成
されているものであれば、異なる反射位置で反射された
検査光の光路が移動する事となる。On the other hand, the moving means may be any means that moves the reflecting means so that the position of the inspection light emitted from the reflecting means changes. If the incident position of the inspection light on the reflecting means by moving the reflecting means, and further the incident position on the reflecting surface of the reflecting means is different, the inspection light reflected at different reflecting positions The optical path will move.
【００１８】ここで、上述したように反射手段は偏角が
１８０度となるものである為、検査光の光路が変化して
も移動前後の光路は互いに平行に保たれている。そし
て、反射手段の移動により仮に反射手段が傾いた場合等
でも、この機能は変化しないため、検査光の移動による
検出誤差が生じないものとなっている。Here, as described above, since the reflection means has a deviation angle of 180 degrees, the optical paths before and after the movement are kept parallel to each other even if the optical path of the inspection light changes. Further, even if the reflecting means is tilted due to the movement of the reflecting means, this function does not change, so that the detection error due to the movement of the inspection light does not occur.
【００１９】本発明では、上記のような構成をとってい
るので、従来のように光源手段、特にコリメータレンズ
に対する制限が殆どないので、例えばコリメ−タレンズ
を使用する場合にも、その焦点距離を短くコンパクトに
することができる。さらに、従来の装置構成上の大きな
部位を占めていた光源手段自体を小さくする事で、収差
測定装置の小型化を図る事が可能となっている。Since the present invention has the above-mentioned structure, there is almost no limitation on the light source means, particularly the collimator lens, as in the conventional case. For example, even when a collimator lens is used, its focal length can be changed. Can be short and compact. Furthermore, the size of the aberration measuring device can be reduced by reducing the size of the light source means itself, which occupies a large portion in the conventional device configuration.
【００２０】また、反射手段を移動するだけで光路を移
動させており、その移動により移動前後の光路にふれ角
が生じさせることなく被検査対象に検査光を入射させる
ことができるので、被検査対象の諸収差を正確に測定す
ることができる。Further, since the optical path is moved only by moving the reflecting means, and the inspection light can be made incident on the object to be inspected without causing a deflection angle in the optical path before and after the movement due to the movement. Aberrations of interest can be accurately measured.
【００２１】加えて、従来のような被検査対象に対する
コリメ−タレンズによる制限がなくなるので、例えば、
口径の大きな被検レンズや、焦点距離の長い被検レンズ
の測定も可能となる利点がある。In addition, since there is no limitation on the object to be inspected by the collimator lens as in the prior art, for example,
There is an advantage that it is possible to measure a test lens having a large aperture and a test lens having a long focal length.
【００２２】[0022]
【実施例】以下、実施例を通じ本発明をさらに詳しく説
明する。図１に、本発明の一実施例に係るレンズ収差測
定装置の概略構成を示す。ここ実施例における収差測定
方式も、基本的にはハルトマンテスト方式を応用するも
のである。The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. FIG. 1 shows a schematic configuration of a lens aberration measuring apparatus according to an embodiment of the present invention. The aberration measurement method in this embodiment basically also applies the Hartmann test method.
【００２３】この実施例では、反射手段として直角プリ
ズム５を用いており、検査光束をその長辺側から入射さ
せると共に、内部で互いに直交する二つの短辺で検査光
束を反射させ、再度長辺側から検査光束を射出させる構
成となっている。In this embodiment, the rectangular prism 5 is used as the reflecting means, and the inspection light beam is made incident from the long side thereof, and the inspection light beam is internally reflected by the two short sides which are orthogonal to each other, and the long side is again detected. The inspection light flux is emitted from the side.
【００２４】この実施例の光源手段は、光源１からの光
束を比較的焦点距離の短いコリメータレンズ２により平
行光束とした後、絞り３により光束径を絞って検査光と
して使用する。なお、この実施例では光源手段からの検
査光束がミラー４により反射してプリズム５に入射する
構成となっている。これは、被検査対象となる被検レン
ズ６のセットの際に光源手段が邪魔にならないようにす
る為であり、さらに、光源手段からの不要光束、例えば
絞り３から漏れた光等がプリズムに直接入射しないよう
にする効果がある。In the light source means of this embodiment, the light flux from the light source 1 is made into a parallel light flux by the collimator lens 2 having a relatively short focal length, and then the light flux diameter is narrowed by the diaphragm 3 to be used as the inspection light. In this embodiment, the inspection light beam from the light source means is reflected by the mirror 4 and enters the prism 5. This is to prevent the light source means from getting in the way when the lens 6 to be inspected is set, and further, unnecessary light flux from the light source means, for example, light leaked from the diaphragm 3 is reflected on the prism. It has the effect of preventing direct incidence.
【００２５】プリズム５には移動手段（図示せず）が設
けられており、その長辺と平行な方向（図中の上下方
向）に移動可能なように構成されている。このプリズム
５の移動により、検査光の射出光路が移動する。なお、
図中の点線で示すようにプリズム５の移動量（距離ｈ／
２）に対し、光路の移動量は倍（距離ｈ）になる。The prism 5 is provided with a moving means (not shown), and is configured to be movable in a direction parallel to the long side thereof (vertical direction in the figure). The movement of the prism 5 moves the exit optical path of the inspection light. In addition,
As shown by the dotted line in the figure, the movement amount of the prism 5 (distance h /
2), the amount of movement of the optical path is doubled (distance h).
【００２６】プリズム５から射出された検査光束は、所
定位置にセットされた被検レンズ６の光軸と平行な光束
となって被検レンズ６に入射し、ここから射出した透過
検出光束は検出装置９に入射する。検出装置９は、いわ
ゆるスリットスキャンユニットからなり、光軸方向に対
して前後と上下方向（図中のＸＹ方向）に移動可能であ
り、第一受光位置７と第二受光位置８における先の透過
検出光束の通過位置を検出する。The inspection light beam emitted from the prism 5 becomes a light beam parallel to the optical axis of the lens 6 to be inspected set at a predetermined position, enters the lens 6 to be inspected, and the transmission detection light beam emitted from this is detected. It is incident on the device 9. The detection device 9 is composed of a so-called slit scan unit, is movable in the front-rear direction and the up-down direction (XY direction in the figure) with respect to the optical axis direction, and is transmitted through the first light receiving position 7 and the second light receiving position 8. The passing position of the detected light beam is detected.
【００２７】この検出装置９は、切り替えにより開放可
能なスリット１０、フィールドレンズ１１、ＲＧＢ（レ
ッド、グリーン、ブルー）の切り替え可能なフィルタ１
２、受光素子１３等からなり、スリット１０を透過した
光束がフィールドレンズ１１を介して受光素子１３に入
射するように構成され、フィルタ１２の切り替えにより
三色について検出可能になっている。The detection device 9 includes a slit 10 that can be opened by switching, a field lens 11, and a filter 1 that can switch RGB (red, green, blue).
2. The light receiving element 13 and the like are configured so that the light flux transmitted through the slit 10 is incident on the light receiving element 13 via the field lens 11, and three colors can be detected by switching the filter 12.
【００２８】ここで、この実施例を用いた収差測定の方
法を説明する。先ず、一例として写真レンズの諸収差を
測定する場合には、被検レンズ６を保持手段（図示せ
ず）により所定の取付位置にセットする。この保持手段
は、このレンズを使用するレンズ鏡筒とほぼ同様の保持
機構を有し、保持手段にレンズをセットした状態を基準
位置とする被検レンズ６の焦点位置が定まる。Now, a method of measuring aberrations using this embodiment will be described. First, as an example, when measuring various aberrations of a photographic lens, the lens 6 to be inspected is set at a predetermined mounting position by a holding means (not shown). This holding means has a holding mechanism substantially similar to a lens barrel using this lens, and the focus position of the lens 6 to be inspected is determined with the lens set in the holding means as the reference position.
【００２９】この時、絞り３をスル−（φ＝８ｍｍ程
度）にし、さらにスリット１０を開放として検出装置９
により、被検レンズ６による検査光の収束状態を焦点面
位置で検知する事により、光軸上の正規位置に被検レン
ズ６がセットされた事を確認する。At this time, the diaphragm 3 is set to the through (φ = about 8 mm), and the slit 10 is opened so that the detection device 9 is opened.
Thus, by detecting the convergence state of the inspection light by the test lens 6 at the focal plane position, it is confirmed that the test lens 6 is set at the regular position on the optical axis.
【００３０】次に、この実施例における検査光束の基準
位置となる光軸位置の検出、いわゆる光軸出しを行な
う。ここでは、絞り３を被検レンズ６が測定可能な適当
な大きさ（φ＝２〜３ｍｍ程度）に換え、さらに光軸付
近でプリズムを微動させることにより、被検レンズ６の
光軸（を透過する検査光束の位置）出しをおこなう。こ
の時、検出装置９は光軸上の前記焦点面位置で被検レン
ズ６が正しくセットされているかどうかをチェックす
る。Next, detection of the optical axis position, which is the reference position of the inspection light beam in this embodiment, so-called optical axis alignment is performed. Here, the aperture 3 is changed to an appropriate size (about φ = 2 to 3 mm) that can be measured by the lens 6 to be inspected, and the prism is slightly moved in the vicinity of the optical axis so that the optical axis ( The position of the transmitted inspection light beam is calculated. At this time, the detector 9 checks whether or not the lens 6 to be inspected is properly set at the focal plane position on the optical axis.
【００３１】このように被検レンズ６が正しくセットさ
れ、その光軸出しが終了した状態で諸収差の測定を行な
う。ここでは、球面収差の測定を例に取り、図３を用い
て説明する。先ず、前述した光軸出しにより決定した仮
想光軸をもとに、仮想光軸からｈだけ離れた点に検査光
束が射出されるようにする。この実施例では、プリズム
５を光軸位置（基準位置）からｈ／２だけ離れた位置に
移動させる事により行なう。As described above, various aberrations are measured in a state where the lens 6 to be inspected is properly set and the optical axis alignment is completed. Here, measurement of spherical aberration will be described as an example with reference to FIG. First, based on the virtual optical axis determined by the above-described optical axis alignment, the inspection light flux is emitted to a point separated from the virtual optical axis by h. In this embodiment, the prism 5 is moved by a distance of h / 2 from the optical axis position (reference position).
【００３２】この時、検出装置９のスリット１０は、開
放状態から所定のスリットに切り替えられる。そして、
検出装置９を移動させ、第一受光位置７（Ｍ．Ｂｆ位置
−ｄ／２）と第二受光位置８（Ｍ．Ｂｆ位置＋ｄ／２）
において検査光の検出を行なう。なお、図に示すよう
に、検査光束は光軸に対して対象な（＋ｈ）位置と（−
ｈ）位置の双方での検出を行なう。At this time, the slit 10 of the detection device 9 is switched from the open state to a predetermined slit. And
The detection device 9 is moved so that the first light receiving position 7 (M.Bf position−d / 2) and the second light receiving position 8 (M.Bf position + d / 2).
The inspection light is detected at. Note that, as shown in the figure, the inspection light beam is symmetrical with respect to the optical axis at the (+ h) position and (-).
h) Perform detection at both positions.
【００３３】そして、各受光位置において検出装置９を
ｙ方向に移動させることによりスリットスキャンを行な
い、その検出結果の重心位置計測により光軸からの偏心
距離ｙ1 及びｙ2 を求める。この検出値から、以下の式
(1) に基いて、被検レンズ６のｈ位置に対する収束位置
Ｚh が測定できる。Then, the slit scanning is performed by moving the detector 9 in the y direction at each light receiving position, and the eccentric distances y 1 and y 2 from the optical axis are obtained by measuring the gravity center position of the detection result. From this detected value, the following formula
Based on (1), the convergent position Z h of the lens 6 to be inspected with respect to the h position can be measured.
【００３４】 Ｚh ＝｛ｙ2 ｄ／（ｙ1 ＋ｙ2 ）｝−ｄ／２ …(1) 式Z h = {y 2 d / (y 1 + y 2 )} − d / 2 (1) Formula
【００３５】さらに、プリズム５を移動させ、ｈを変え
て夫々の計測値を求める事で球面収差が測定されるが、
この計測方式は従来知られているハルトマンテスト方式
と同様である。なお、被検レンズ６の横方向（図面の垂
直方向）の収差を測定する場合には、レンズを回転させ
てセットし直す事により、再度同様な計測を行なって計
測する。Further, the spherical aberration is measured by moving the prism 5 and changing h to obtain respective measured values.
This measurement method is similar to the conventionally known Hartmann test method. When measuring the aberration in the lateral direction (vertical direction in the drawing) of the lens 6 to be inspected, the same measurement is performed again by rotating the lens and setting it again.
【００３６】このように本実施例によれば、プリズム５
を移動させる事により、被検レンズ６に対する検査光束
の入射位置を変化させることで、ハルトマンテスト方式
と同様な収差計測が行なえるものとなっており、従来方
式のようにハルトマン板等は必要としない。As described above, according to this embodiment, the prism 5
By changing the incident position of the inspection light beam on the lens 6 to be inspected by moving the, the aberration measurement similar to the Hartmann test method can be performed, and the Hartmann plate or the like is required like the conventional method. do not do.
【００３７】さらに、プリズム５の大きさ並びに移動距
離により、計測できるレンズの口径が定まる為、従来の
ようにコリメータレンズの口径に制限される事がなく、
かなり大口径のレンズの収差計測が行なえるものとなっ
ている。また、焦点距離の長い被検レンズ（ｆ＝３００
〜１２００ｍｍ）の諸収差も測定可能である。Furthermore, since the measurable lens aperture is determined by the size and moving distance of the prism 5, there is no limitation to the aperture of the collimator lens as in the conventional case.
It is possible to measure the aberration of a lens with a fairly large aperture. In addition, the test lens with a long focal length (f = 300
Various aberrations of up to 1200 mm) can also be measured.
【００３８】一方、本実施例の光源手段に使用したコリ
メータレンズ２の焦点距離は、ｆ＝２０ｍｍ〜４０ｍｍ
程度で充分であり、光源手段自体の小型化が図れるもの
となっている。加えて、コリメータレンズ２の収差補正
状態の影響が、被検レンズ６の収差計測に与える影響が
極めて小さなものとなっているので、使用制限の緩和と
共に製造コストを抑えることができる利点もある。On the other hand, the focal length of the collimator lens 2 used in the light source means of this embodiment is f = 20 mm to 40 mm.
The degree is sufficient, and the light source means itself can be downsized. In addition, since the influence of the aberration correction state of the collimator lens 2 has an extremely small influence on the aberration measurement of the lens 6 to be inspected, there is an advantage that the use restriction can be relaxed and the manufacturing cost can be suppressed.
【００３９】また、本実施例では反射手段として直角プ
リズムを利用しているが、互いに垂直な二面反射を利用
している為、移動方向に対して直角プリズムが振れて
も、射出光束に影響がない。特に、球面収差及びコマ収
差測定では、位置検出方向がプリズムの移動方向と同一
であるため、検出結果に対する信頼性は高い。なお、反
射手段としてコ−ナ−キュ−ブを応用する事により、移
動方向に対する垂直方向の振れもキャンセル可能であ
る。In this embodiment, the right-angled prism is used as the reflection means, but since the two-faced reflections perpendicular to each other are used, even if the right-angled prism sways in the moving direction, the output light flux is affected. There is no. In particular, in spherical aberration and coma aberration measurement, the position detection direction is the same as the prism movement direction, and therefore the reliability of the detection result is high. By applying a corner cube as the reflecting means, it is possible to cancel the shake in the direction perpendicular to the moving direction.
【００４０】[0040]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、収
差測定装置の小型化並びに製造コストの減額が図れる利
点がある。As described above, according to the present invention, there are advantages that the aberration measuring device can be downsized and the manufacturing cost can be reduced.
【００４１】さらに、計測対象に対する制限が緩和され
るので、従来個別の装置で計測しなければならなかった
大口径のレンズや、焦点距離の長いレンズも同一の装置
で計測できる為、スループットの向上や計測設備全体の
簡素化やコストダウンを行なえる利点がある。Further, since the restriction on the object to be measured is relaxed, it is possible to measure a lens having a large aperture and a lens having a long focal length, which conventionally had to be measured by individual devices, by the same device, so that the throughput is improved. There is an advantage that the whole measuring equipment can be simplified and the cost can be reduced.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本発明の一実施例に係る収差測定装置の概略構
成を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of an aberration measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】従来のハルトマンテスト法による収差測定装置
の一例を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of a conventional aberration measurement device by the Hartmann test method.
１，１０１…点光源、 ２，１０２…コリメ−タレンズ、 ３…絞り、 １０３…ハルトマン板、 ４…ミラ−、 ５…直角プリズム、 ６，１０４…被検レンズ、 ７，１０５…第一受光位置、 ８，１０６…第二受光位置、 ９…検出装置、 １０…スリット、 １１…フィ−ルドレンズ、 １２…カラ−フィルタ、 １３…受光素子、 １０３…ハルトマン板、 1, 101 ... Point light source, 2, 102 ... Collimator lens, 3 ... Aperture, 103 ... Hartmann plate, 4 ... Miller, 5 ... Right angle prism, 6, 104 ... Test lens, 7, 105 ... First light receiving position , 8, 106 ... Second light receiving position, 9 ... Detection device, 10 ... Slit, 11 ... Field lens, 12 ... Color filter, 13 ... Light receiving element, 103 ... Hartmann plate,
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成６年１０月３１日[Submission date] October 31, 1994
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図面の簡単な説明[Name of item to be corrected] Brief description of the drawing
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本発明の一実施例に係る収差測定装置の概略構
成を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of an aberration measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】従来のハルトマンテスト法による収差測定装置
の一例を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of a conventional aberration measurement device by the Hartmann test method.
【図３】図１の装置による収差計測法の一例を示す説明
図である。3 is an explanatory diagram showing an example of an aberration measuring method by the apparatus of FIG.
【符号の説明】 １，１０１…点光源、 ２，１０２…コリメータレンズ、 ３…絞り、 １０３…ハルトマン板、 ４…ミラー、 ５…直角プリズム、 ６，１０４…被検レンズ、 ７，１０５…第一受光位置、 ８，１０６…第二受光位置、 ９…検出装置、 １０…スリット、 １１…フィールドレンズ、 １２…カラーフィルタ、 １３…受光素子、 １０３…ハルトマン板、[Explanation of Codes] 1, 101 ... Point light source, 2, 102 ... Collimator lens, 3 ... Aperture, 103 ... Hartmann plate, 4 ... Mirror, 5 ... Right angle prism, 6, 104 ... Inspected lens, 7, 105 ... No. One light receiving position, 8,106 ... Second light receiving position, 9 ... Detection device, 10 ... Slit, 11 ... Field lens, 12 ... Color filter, 13 ... Light receiving element, 103 ... Hartmann plate,
Claims (1)
入射させた検査光束が、被検査対象によりその焦点位置
近辺に収束する状態を各々検出することにより、被検査
対象の収差の状態を測定する収差測定装置において、 平行光束からなる検査光を生じさせる光源手段と、 互いに直交する少なくとも二つの反射面を有する反射手
段と、 前記反射手段の位置を移動させる移動手段と、 前記反射手段の一方の反射面に前記検査光を入射させる
と共に、反射手段の二つの反射面で反射された検査光を
被検査対象に入射させる光学手段とを備え、 前記移動手段により反射手段の位置を変化させることに
より、前記被検査対象への検査光の入射位置を変化させ
ることを特徴とする収差測定装置。1. An aberration state of an object to be inspected is detected by detecting a state in which an inspection light beam incident on a plurality of different positions on the object to be inspected converges in the vicinity of a focal position of the object to be inspected. In an aberration measuring device for measuring, light source means for generating inspection light composed of parallel light flux, reflecting means having at least two reflecting surfaces orthogonal to each other, moving means for moving the position of the reflecting means, and the reflecting means And an optical means for making the inspection light incident on one of the reflecting surfaces and for making the inspection light reflected by the two reflecting surfaces of the reflecting means incident on the object to be inspected, and changing the position of the reflecting means by the moving means. Accordingly, the incident position of the inspection light on the inspection target is changed, and the aberration measuring apparatus is characterized.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5079146A JPH07146213A (en) | 1993-03-13 | 1993-03-13 | Aberration measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5079146A JPH07146213A (en) | 1993-03-13 | 1993-03-13 | Aberration measuring apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07146213A true JPH07146213A (en) | 1995-06-06 |
Family
ID=13681825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5079146A Pending JPH07146213A (en) | 1993-03-13 | 1993-03-13 | Aberration measuring apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07146213A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100485562B1 (en) * | 2001-09-19 | 2005-04-28 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | Inspection apparatus and method for an optical element |
| JP2007085788A (en) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Nikon Corp | Hartmann sensor |
| JP2009258046A (en) * | 2008-04-21 | 2009-11-05 | Fujikoden Corp | Eccentricity amount measuring method, eccentricity amount measuring device and eccentricity adjusting device |
| CN108225744A (en) * | 2018-01-31 | 2018-06-29 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | Optical lens multi-view-field image quality detection device and method based on pyramid prism |
-
1993
- 1993-03-13 JP JP5079146A patent/JPH07146213A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100485562B1 (en) * | 2001-09-19 | 2005-04-28 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | Inspection apparatus and method for an optical element |
| JP2007085788A (en) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Nikon Corp | Hartmann sensor |
| JP2009258046A (en) * | 2008-04-21 | 2009-11-05 | Fujikoden Corp | Eccentricity amount measuring method, eccentricity amount measuring device and eccentricity adjusting device |
| CN108225744A (en) * | 2018-01-31 | 2018-06-29 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | Optical lens multi-view-field image quality detection device and method based on pyramid prism |
| CN108225744B (en) * | 2018-01-31 | 2023-09-01 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | Optical lens multi-view-field image quality detection device and method based on pyramid prism |
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