JPH07146113A - Laser displacement meter - Google Patents
Laser displacement meterInfo
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- JPH07146113A JPH07146113A JP29373293A JP29373293A JPH07146113A JP H07146113 A JPH07146113 A JP H07146113A JP 29373293 A JP29373293 A JP 29373293A JP 29373293 A JP29373293 A JP 29373293A JP H07146113 A JPH07146113 A JP H07146113A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば物体の表面形状
の測定などに利用されるレーザ変位計に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser displacement meter used for measuring the surface shape of an object.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、レーザ光を使用した三角測距法に
よる変位計としては、図４に示すようなものがある。2. Description of the Related Art Conventionally, there is a displacement meter based on a triangulation method using a laser beam as shown in FIG.
【０００３】このレーザ変位計は、レーザ光を被測定物
である物体Ａに照射するためのレーザ照射器（レーザダ
イオードなどを有するもの）２１と、物体Ａからの反射
レーザ光をレンズ２２を通して受光するイメージセンサ
（例えば、ＣＣＤが使用される）２３とを有するもので
ある。This laser displacement meter receives a laser irradiator (having a laser diode etc.) 21 for irradiating an object A which is an object to be measured with a laser beam, and a reflected laser beam from the object A through a lens 22. Image sensor (for example, a CCD is used) 23.
【０００４】上記レーザ照射器２１から照射されたレー
ザ光は、物体Ａの表面で反射し、この反射レーザ光がレ
ンズ２２を通して、イメージセンサ２３に捉えられる。
そして、物体Ａの表面がレーザ光の照射方向に対して移
動したとき、イメージセンサ２３上に受光されている反
射レーザ光の受光位置が移動するため、この受光位置の
移動距離を測定することにより、物体Ａ表面の変位量、
すなわち物体Ａの表面形状が測定されることになる。The laser light emitted from the laser irradiator 21 is reflected on the surface of the object A, and the reflected laser light is captured by the image sensor 23 through the lens 22.
Then, when the surface of the object A moves in the irradiation direction of the laser light, the light receiving position of the reflected laser light received on the image sensor 23 moves. Therefore, by measuring the moving distance of the light receiving position. , The displacement of the surface of object A,
That is, the surface shape of the object A is measured.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の三角
測距法によると、図４に示すように、物体Ａとレーザ変
位計における各機器との位置関係は、幾何学的には、下
記(21)式のような関係がある。By the way, according to the above-mentioned triangulation method, as shown in FIG. 4, the positional relationship between the object A and each device in the laser displacement meter is geometrically as follows ( There is a relation like the formula 21).
【０００６】Ｓ／Ｂ＝ｆ／ｘ・・・・(21) 但し、Ｓ：物体とレンズまでの距離 Ｂ：照射レーザ光の中心位置とレンズ中心位置との距離 ｆ：レンズとイメージセンサとの距離（レンズの焦点距
離） ｘ：レンズの中心位置とイメージセンサ上の受光位置と
の距離 である。S / B = f / x (21) where S: distance between object and lens B: distance between center position of irradiation laser light and lens center position f: between lens and image sensor Distance (focal length of lens) x: Distance between the center position of the lens and the light receiving position on the image sensor.
【０００７】このとき、Ｓの微小変化δＳに対する検出
感度δｘ、すなわちイメージセンサの分解能をεとする
と、下記(22)式および(23)式の関係が成立する。 ｘ＋δｘ＝ｘ＋（∂ｘ／∂Ｓ）δＳ・・・・(22) δｘ＝ε＝−（Ｂｆ／Ｓ2 ）δＳ ・・・・(23) 上記(23)式を満たす｜δＳ｜が検出可能な最小限界であ
る。At this time, if the detection sensitivity δx with respect to a slight change δS in S, that is, the resolution of the image sensor is ε, the following equations (22) and (23) are established. x + δx = x + (∂x / ∂S) δS ···· (22) δx = ε = - (Bf / S 2) δS ···· (23) satisfies the above expression (23) | delta] S | is detectable Is the minimum limit.
【０００８】通常、εがイメージセンサ２３の１ドット
分に相当し、これが検出し得る最小限界の変位量を決め
ていた。ところで、上述した関係は、完全な幾何光学的
な近似により求めたものであり、実際のレーザ光では広
がりがあるとともに、照射される物体の表面の性状によ
り反射散乱光も含まれている。Usually, ε corresponds to one dot of the image sensor 23, and this determines the minimum amount of displacement that can be detected. By the way, the above-mentioned relation is obtained by a complete geometrical optics approximation, and the actual laser light has a spread and also includes reflected and scattered light depending on the property of the surface of the object to be irradiated.
【０００９】例えば、実際に受光される反射レンズ光の
光強度を示すと図５の白丸のようになり、もともとの反
射レーザ光の光強度分布の歪み、物体表面の性状の不均
一性に基づく測定誤差などにより、理想的な反射レーザ
光の光強度分布である正規分布曲線Ｂからは、どうして
もずれが生じてしまい、そのピーク値を正確に検出する
ことができず、したがって測定精度を向上させることが
できないという問題があった。For example, the light intensity of the reflected lens light that is actually received is as shown by the white circle in FIG. 5, which is based on the original distortion of the light intensity distribution of the reflected laser light and the nonuniformity of the property of the object surface. Due to a measurement error or the like, a deviation from the normal distribution curve B, which is the ideal light intensity distribution of the reflected laser light, is inevitably generated, and the peak value cannot be accurately detected, thus improving the measurement accuracy. There was a problem that I could not.
【００１０】そこで、本発明は上記問題を解消し得るレ
ーザ変位計を提供することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a laser displacement meter which can solve the above problems.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のレーザ変位計は、レーザ光を被測定物に照
射するとともに、その反射レーザ光をイメージセンサに
より受光して、その受光位置の変位に基づき、被測定物
の変位量を測定するレーザ変位計であって、レーザ光を
被測定物に照射するレーザ照射器と、被測定物の表面か
ら反射した反射レーザ光をレンズを通して受光するイメ
ージセンサと、このイメージセンサからの受光信号を入
力するとともに、その反射レーザ光の光強度のピーク位
置を算出する信号処理装置とから構成し、かつこの信号
処理装置において、上記イメージセンサで受光した反射
レーザ光の光強度分布曲線を最小自乗法により算出する
とともに、この算出された光強度分布曲線のピーク値に
基づき、反射レーザ光の受光位置を求めるように構成し
たものである。In order to solve the above-mentioned problems, a laser displacement meter of the present invention irradiates a laser beam on an object to be measured, receives the reflected laser beam by an image sensor, and receives it at a light receiving position. Is a laser displacement meter that measures the amount of displacement of the object to be measured based on the displacement of the Image sensor and a signal processing device for inputting a light reception signal from the image sensor and calculating the peak position of the light intensity of the reflected laser light, and in the signal processing device, the image sensor receives light. The light intensity distribution curve of the reflected laser light is calculated by the method of least squares, and the reflection laser is calculated based on the peak value of the calculated light intensity distribution curve. It is obtained by construction of so obtaining the light receiving position.
【００１２】[0012]
【作用】上記の構成によると、被測定物の表面からの反
射レーザ光をイメージセンサで受光するとともに、この
イメージセンサでの受光位置を求めて被測定物までの距
離を算出することにより、被測定物の変位を検出する際
に、被測定物からの反射レーザ光の光強度分布が正規分
布であるとみなすととともに、この正規分布曲線を求め
る際に、最小自乗法による近似を使用して、光強度分布
のピーク値を算出するようにしたので、反射レーザ光の
広がりや被測定物表面の性状の不均一性などに基づく測
定誤差を除去し得、したがって反射レーザ光における正
確なピーク値の位置を求めることができるので、被測定
物の位置、すなわち被測定物の変位量の測定精度の向上
を図ることができる。According to the above structure, the reflected laser light from the surface of the object to be measured is received by the image sensor, and the light receiving position at the image sensor is obtained to calculate the distance to the object to be measured. When detecting the displacement of the measured object, it is assumed that the light intensity distribution of the reflected laser light from the measured object is a normal distribution, and when obtaining this normal distribution curve, the approximation by the least square method is used. Since the peak value of the light intensity distribution is calculated, it is possible to eliminate the measurement error due to the spread of the reflected laser light or the non-uniformity of the property of the surface of the DUT, and thus the accurate peak value of the reflected laser light. Since it is possible to obtain the position of, the measurement accuracy of the position of the measured object, that is, the displacement amount of the measured object can be improved.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図３に基づ
き説明する。図１に示すように、本実施例におけるレー
ザ変位計１は、レーザ光を被測定物である物体Ａに発射
するためのレーザ照射器（レーザダイオードなどを有す
るもの）２と、物体Ａからの反射レーザ光をレンズ３を
通して受光するイメージセンサ（例えば、ＣＣＤセンサ
が使用されている）４と、上記レーザ照射器２の駆動回
路部５と、イメージセンサ４の駆動回路部６と、イメー
ジセンサ４からの受光信号を増幅する増幅器７と、上記
各駆動回路部５，６および増幅器７との間で、インタフ
ェース８を介して信号の授受を行うとともに、受光信号
に所定の処理を施して物体Ａ表面の位置を求めることに
より、物体Ａ表面の変位量を算出する信号処理装置９
と、この信号処理装置９により算出された変位量を表示
するための表示部１０とから構成されている。なお、上
記信号処理装置９には、図示しないが、信号に所定の処
理を施す演算部、信号を保持する記憶部（メモリ）など
が設けられている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, a laser displacement meter 1 according to this embodiment includes a laser irradiator (having a laser diode or the like) 2 for emitting a laser beam to an object A which is an object to be measured, and an object from the object A. An image sensor (for example, a CCD sensor is used) 4 that receives reflected laser light through a lens 3, a drive circuit unit 5 of the laser irradiator 2, a drive circuit unit 6 of the image sensor 4, and an image sensor 4 A signal is transmitted and received through the interface 8 between the amplifier 7 that amplifies the received light signal from the object, the drive circuit units 5 and 6 and the amplifier 7, and the received light signal is subjected to a predetermined process to obtain the object A. A signal processing device 9 for calculating the amount of displacement of the surface of the object A by obtaining the position of the surface
And a display unit 10 for displaying the displacement amount calculated by the signal processing device 9. Although not shown, the signal processing device 9 is provided with an arithmetic unit that performs a predetermined process on a signal, a storage unit (memory) that holds the signal, and the like.
【００１４】そして、上記信号処理装置９においては、
物体Ａの表面から反射された反射レーザ光の受光位置を
精度良く検出するために、反射レーザ光の光強度分布を
正規分布として扱うとともに、この正規分布として扱わ
れる光強度分布の自然対数をとり、この自然対数がとら
れた対数曲線を、イメージセンサ４により検出されたデ
ータを使用して最小自乗法により算出し、そしてこの最
小自乗法により算出された対数曲線のピーク値、すなわ
ち反射レーザ光の光強度のピーク位置が求められて、反
射レーザ光の受光位置が求められる。In the signal processing device 9,
In order to accurately detect the light receiving position of the reflected laser light reflected from the surface of the object A, the light intensity distribution of the reflected laser light is treated as a normal distribution, and the natural logarithm of the light intensity distribution treated as this normal distribution is taken. The logarithmic curve obtained by taking the natural logarithm is calculated by the least square method using the data detected by the image sensor 4, and the peak value of the logarithmic curve calculated by the least square method, that is, the reflected laser light. The peak position of the light intensity is calculated, and the light receiving position of the reflected laser light is calculated.
【００１５】以下、反射レーザ光の光強度のピーク位置
の算出方法について説明する。通常、測定される反射レ
ーザ光の光強度分布は正規分布からずれているが、この
ずれの原因、すなわち種々の要因に基づく検出誤差の総
体が、等分布性、正規性などの性質を備えていると考え
られ、したがって反射レーザ光の光強度分布を、測定誤
差を除去した形で求めることができる。The method of calculating the peak position of the light intensity of the reflected laser light will be described below. Normally, the measured light intensity distribution of the reflected laser light deviates from the normal distribution, but the cause of this deviation, that is, the total of detection errors based on various factors, has properties such as equal distribution and normality. Therefore, it is possible to obtain the light intensity distribution of the reflected laser light in a form in which the measurement error is removed.
【００１６】今、反射レーザ光の光強度分布ｆが、下記
(1) 式で示される正規分布に従うものとする。 ｆ(x) ＝ｆp ・exp （−ｘ2 ／２σ2 ）・・・・(1) なお、(1) 式中、ｆp は光強度分布の最大値、σは分散
を表す。Now, the light intensity distribution f of the reflected laser light is as follows:
It is assumed to follow the normal distribution shown in equation (1). f (x) = f p · exp (-x 2 / 2σ 2) ···· (1) In addition, (1) where the maximum value of f p is the light intensity distribution, sigma represents the variance.
【００１７】ここで、上記(1) 式の両辺の自然対数をと
ると、下記(2) 式のようになる。 lnｆ(x) ＝lnｆp −（ｘ2 ／２σ2 ）・・・・(2) 上記(2) 式から分かるように、ｘとlnｆ(x) との関係は
放物線となる。Here, when the natural logarithm of both sides of the above equation (1) is taken, the following equation (2) is obtained. lnf (x) = lnf p − (x 2 / 2σ 2 ) ... (2) As can be seen from the above equation (2), the relationship between x and lnf (x) is a parabola.
【００１８】したがって、ｘに対する反射レーザ光の光
強度の測定値をｙとすれば、標本値（ｘ1 ，ｙ1 ），
（ｘ2 ，ｙ2 ），・・・・，（ｘn ，ｙn ）を採取し、
そして（ｘ1 ，lnｙ1 ），（ｘ2 ，lnｙ2 ），・・・
・，（ｘn ，lnｙn ）を放物線で最小自乗法により近似
することにより、最終的に(1) 式を推定することができ
る。Therefore, assuming that the measured value of the light intensity of the reflected laser light with respect to x is y, sample values (x 1 , y 1 ),
(X 2 , y 2 ), ..., (x n , y n ) are sampled,
And (x 1 , lny 1 ), (x 2 , lny 2 ), ...
, (X n , lny n ) can be finally estimated by approximating (x n , lny n ) with a parabola by the method of least squares.
【００１９】ところで、最小自乗法の標本値としては、
実際には、光強度の最大値の10％以上のものを採用する
ものとする。すなわち、｛ｙi ‖ｙi ≧0.1 ｆp ｝（ｉ
＝1,2,・・・・・,n ）・・・・(3) これに対応するｘの範囲は、 ｛ｘi ‖｜ｘi ｜≦σ（−２ln0.1 ）1/2 ＝2.146 σ｝ （ｉ＝1,2,・・・・・,n ）・・・・(4) となる。By the way, as a sample value of the least squares method,
In practice, a light intensity of 10% or more of the maximum value shall be adopted. That, {y i ‖y i ≧ 0.1 f p} (i
= 1,2, ..., n) (3) The corresponding range of x is {x i ‖ | x i │ ≦ σ (-2ln0.1) 1/2 = 2.146 σ} (i = 1,2, ..., n) ... (4).
【００２０】ここで、残差（ｅi ）を求めると、 ｅi ＝ｙi −ｆ(xi)・・・・(5) となり、これは正規性を備えているから、その平均値
（バーｅ）は下記(6) 式で表されるとともに、分散（σ
e ）を考慮すると、(7) 式の関係を満足する。Here, when the residual (e i ) is obtained, e i = y i −f (x i ) ... (5) Since this has normality, its average value ( The bar e) is expressed by the following equation (6) and the variance (σ
Considering e ), the relation of Eq. (7) is satisfied.
【００２１】[0021]
【数１】 [Equation 1]
【００２２】なお、(7) 式は、平均値が０、分散が１の
標準化された正規分布に従うことを示している。ここ
で、有意水準を0.0027、すなわち(7) 式の値が99.73 ％
の確率で実現する場合を想定すると、下記の(8) 式が成
立する。Equation (7) indicates that a standardized normal distribution with a mean value of 0 and a variance of 1 is followed. Here, the significance level is 0.0027, that is, the value of equation (7) is 99.73%.
Assuming that it is realized with the probability of, the following equation (8) holds.
【００２３】[0023]
【数２】 [Equation 2]
【００２４】となり、測定誤差は√ｎに比例して小さく
なることが分かる。ここで、σe ＝0.1 ｆp とすると、
(8) 式は(9) 式のように変形される。It can be seen that the measurement error decreases in proportion to √n. Here, if σ e = 0.1 f p ,
Equation (8) is transformed into equation (9).
【００２５】[0025]
【数３】 [Equation 3]
【００２６】(9) 式において、ｆ(x) ＝ｆp ／２の点
（図２に示す）で、これだけの変化（バーｅ）が起きた
ものとして、ｘ方向の変化分（Δｘ）を求めると、下記
(10)式のようになる。In the equation (9), it is assumed that such a change (bar e) occurs at the point of f (x) = f p / 2 (shown in FIG. 2), and the change amount (Δx) in the x direction is If you ask,
It becomes like the formula (10).
【００２７】 Δｘ＝σ｛［−２ln（0.5 ＋0.3 ／ｎ1/2 ）］1/2 −［−２ln0.5 ］1/2 ・・・・(10) (10)式において、ｎ＝10とすると、 ｜Δｘ／σ｜＝0.1582 また、ｎ＝100 とすると、 ｜Δｘ／σ｜＝0.05057 となり、ｎが大きいほど、ピーク値のずれ（ｘ方向の変
化分）が小さくなることが分かる。Δx = σ {[− 2ln (0.5 + 0.3 / n1 / 2 )] 1/2 − [− 2ln0.5] 1/2 ... (10) In the formula (10), n = If it is 10, then | Δx / σ | = 0.1582, and if n = 100, then | Δx / σ | = 0.05057, and it can be seen that the larger the value of n, the smaller the deviation of the peak value (change in the x direction). .
【００２８】レーザ光の広がりから考えて、例えばσ＝
0.5 mmとすると、 Δｘ＝0.0791mm（ｎ＝10）・・・・(11) Δｘ＝0.0252mm（ｎ＝100 ）・・・・(12) となる。Considering the spread of the laser light, for example, σ =
If it is 0.5 mm, Δx = 0.0791 mm (n = 10) ... (11) Δx = 0.0252 mm (n = 100) ... (12)
【００２９】したがって、(4) 式より光強度分布の検出
範囲は、−1.07mm＜ｘ＜1.07となり、Ｓ＝１ｍ，ｆ＝90
mmとすると、イメージセンサ４上では、−96.5μm＜ｘ
＜96.5μmに相当する。Therefore, from the formula (4), the detection range of the light intensity distribution is -1.07 mm <x <1.07, and S = 1 m and f = 90.
mm, on the image sensor 4, −96.5 μm <x
Equivalent to <96.5 μm.
【００３０】ここで、イメージセンサ４のドットピッチ
を７μmとすると、このレーザ光の照射点（ビームスポ
ット）に対して、ｎ＝27個のサンプリングが可能であ
り、(11)および(12)式で示された検出誤差が妥当である
（ｎ＝27の場合、Δｘ＝0.048mm ）。この検出誤差は、
有為水準0.0027に基づいているので、充分な信頼性があ
る。Here, when the dot pitch of the image sensor 4 is 7 μm, n = 27 samplings are possible at the irradiation point (beam spot) of this laser light, and the equations (11) and (12) are used. The detection error shown by is appropriate (Δx = 0.048 mm for n = 27). This detection error is
Since it is based on the significance level 0.0027, it has sufficient reliability.
【００３１】なお、上記の手順を、フローチャートに示
すと、図３のようになる。図３に基づき、簡単に光強度
分布のピーク値の算出方法を説明すると、まず、反射レ
ーザ光の受光量のデータサンプリングを行い、次に受光
量のピーク部を検出する。次に、このピーク部付近のデ
ータを抽出し、対数に変換する。The above procedure is shown in the flow chart of FIG. A method of calculating the peak value of the light intensity distribution will be briefly described with reference to FIG. 3. First, data sampling of the received light amount of the reflected laser light is performed, and then the peak portion of the received light amount is detected. Next, the data near the peak portion is extracted and converted into logarithm.
【００３２】次に、最小自乗法により、光強度分布を示
す放物線を求めて、そのピーク値の位置を算出し、そし
てイメージセンサ４上における受光位置を求め、表示部
１０により、物体Ａ表面の位置、または物体Ａの変位量
の表示を行う。Next, the parabola showing the light intensity distribution is obtained by the least squares method, the position of the peak value is calculated, and the light receiving position on the image sensor 4 is obtained. The position or the displacement amount of the object A is displayed.
【００３３】このように、物体表面からの反射レーザ光
をイメージセンサで受光するとともに、このイメージセ
ンサでの受光位置を求めることにより、物体の変位を検
出する際に、物体からの反射レーザ光の光強度分布が正
規分布であるとみなすととともにこの正規分布曲線を求
める際に、最小自乗法による近似を行い、ピーク値を算
出するようにしたので、反射レーザ光の広がりまたは物
体表面の性状の不均一性などに基づく測定誤差を除去し
得、したがって反射レーザ光における正確なピーク値の
位置を求めることができるので、物体の位置、すなわち
物体の変位量の測定精度の向上を図ることができる。As described above, when the image sensor receives the reflected laser light from the surface of the object and the light receiving position of the image sensor is obtained, the reflected laser light from the object is detected when the displacement of the object is detected. The light intensity distribution is considered to be a normal distribution, and when this normal distribution curve is obtained, an approximation by the method of least squares is performed to calculate the peak value, so the spread of the reflected laser light or the property of the object surface Measurement error due to non-uniformity can be eliminated, and therefore the position of the accurate peak value in the reflected laser light can be obtained, so that the measurement accuracy of the position of the object, that is, the amount of displacement of the object can be improved. .
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上のように本発明の構成によると、被
測定物の表面からの反射レーザ光をイメージセンサで受
光するとともに、このイメージセンサでの受光位置を求
めることにより、被測定物の変位を検出する際に、被測
定物からの反射レーザ光の光強度分布が正規分布である
とみなすととともに、この正規分布曲線を求める際に、
最小自乗法による近似を使用してピーク値を算出するよ
うにしたので、反射レーザ光の広がりまたは被測定物表
面の性状の不均一性などに基づく測定誤差を除去し得、
したがって反射レーザ光における正確なピーク値の位置
を求めることができるので、被測定物の位置、すなわち
被測定物の変位量の測定精度の向上を図ることができ
る。As described above, according to the configuration of the present invention, the reflected laser light from the surface of the object to be measured is received by the image sensor, and the light receiving position at this image sensor is obtained, whereby the object to be measured is determined. When detecting the displacement, it is considered that the light intensity distribution of the reflected laser light from the object to be measured is a normal distribution, and when obtaining this normal distribution curve,
Since the peak value is calculated by using the approximation by the method of least squares, it is possible to remove the measurement error based on the spread of the reflected laser light or the nonuniformity of the property of the measured object surface.
Therefore, the position of the accurate peak value in the reflected laser light can be obtained, so that the measurement accuracy of the position of the measured object, that is, the displacement amount of the measured object can be improved.
【図１】本発明の一実施例におけるレーザ変位計の概略
構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a laser displacement meter according to an embodiment of the present invention.
【図２】同実施例の反射レーザ光の光強度分布曲線にお
ける変位状態を示すグラフ図である。FIG. 2 is a graph showing a displacement state in a light intensity distribution curve of reflected laser light of the example.
【図３】同実施例における物体の変位量算出方法を示す
フローチャート図である。FIG. 3 is a flowchart showing a method for calculating an amount of displacement of an object in the same embodiment.
【図４】従来例におけるレーザ変位計の概略構成を示す
図である。FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a laser displacement meter in a conventional example.
【図５】反射レーザ光の光強度とイメージセンサにおけ
る検出位置との関係を示すグラフである。FIG. 5 is a graph showing the relationship between the light intensity of reflected laser light and the detection position in the image sensor.
１ レーザ変位計 ２ レーザ照射器 ３ レンズ ４ イメージセンサ ９ 信号処理装置 1 Laser Displacement Meter 2 Laser Irradiator 3 Lens 4 Image Sensor 9 Signal Processor
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 晴彦 大阪府大阪市此花区西九条５丁目３番28号 日立造船株式会社内 (72)発明者 堅多 達也 大阪府大阪市此花区西九条５丁目３番28号 日立造船株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Haruhiko Yoshida Inventor Haruhiko Yoshida 5-3-8 Nishikujo, Konohana-ku, Osaka City, Osaka Prefecture Hitachi Shipbuilding Co., Ltd. 3-28, Hitachi Shipbuilding Co., Ltd.
Claims (1)
その反射レーザ光をイメージセンサにより受光して、そ
の受光位置の変位に基づき、被測定物の変位量を測定す
るレーザ変位計であって、レーザ光を被測定物に照射す
るレーザ照射器と、被測定物の表面から反射した反射レ
ーザ光をレンズを通して受光するイメージセンサと、こ
のイメージセンサからの受光信号を入力するとともに、
その反射レーザ光の光強度のピーク位置を算出する信号
処理装置とから構成し、かつこの信号処理装置におい
て、上記イメージセンサで受光した反射レーザ光の光強
度分布曲線を最小自乗法により算出するとともに、この
算出された光強度分布曲線のピーク値に基づき、反射レ
ーザ光の受光位置を求めるように構成したことを特徴と
するレーザ変位計。1. An object to be measured is irradiated with laser light, and
The reflected laser light is received by the image sensor, based on the displacement of the light receiving position, a laser displacement meter for measuring the displacement amount of the measured object, a laser irradiator for irradiating the measured object with laser light, An image sensor that receives reflected laser light reflected from the surface of the object to be measured through a lens, and a light reception signal from this image sensor are input,
And a signal processing device for calculating the peak position of the light intensity of the reflected laser light, and in this signal processing device, the light intensity distribution curve of the reflected laser light received by the image sensor is calculated by the method of least squares. A laser displacement meter characterized in that the light receiving position of the reflected laser light is obtained based on the calculated peak value of the light intensity distribution curve.
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| JP29373293A JPH07146113A (en) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | Laser displacement meter |
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| JP29373293A JPH07146113A (en) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | Laser displacement meter |
Publications (1)
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| JPH07146113A true JPH07146113A (en) | 1995-06-06 |
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ID=17798530
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