JPH07141883A - スタティックram - Google Patents

スタティックram

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Publication number
JPH07141883A
JPH07141883A JP28920993A JP28920993A JPH07141883A JP H07141883 A JPH07141883 A JP H07141883A JP 28920993 A JP28920993 A JP 28920993A JP 28920993 A JP28920993 A JP 28920993A JP H07141883 A JPH07141883 A JP H07141883A
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JP
Japan
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power supply
voltage
memory cell
supply voltage
transistor
Prior art date
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Withdrawn
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JP28920993A
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English (en)
Inventor
Makoto Sakata
真 坂田
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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  • Static Random-Access Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】CMOS形メモリセルを設けて構成されるSR
AMに関し、記憶データを書き替える場合、電源電圧の
変動を小さく抑え、動作の安定性を確保するとともに、
セルサイズを縮小化する。 【構成】メモリセル高電圧側電圧制御回路20を設け、
データの書込み時、電源電圧VCCを低電圧側に所定電
圧レベルシフトした電圧を高電圧側の電源電圧に、及び
電源電圧VSSを低電圧側の電源電圧として動作させ、
メモリセル19の記憶データを書替える場合、メモリセ
ルを流れる貫通電流のピーク値を小さくする。また、メ
モリセル低電圧側電源電圧制御回路を設け、低電圧側の
電源電圧を所定電圧だけレベルシフトさせる。又は、別
のレベルシフト回路を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、2個のインバータをリ
ング接続してなるフリップフロップ回路を備えてなるス
タティック形のメモリセルを設けて構成されるスタティ
ックRAM(Static Random Access Memory.以
下、SRAMという)に関する。
【0002】SRAMにおいては、大容量品の需要は、
年々、DRAM(Dynamic RandomAccess Memory)
にとって変わられる傾向にあり、低消費電力の中容量
品、小容量品に需要が移行している。
【0003】この結果、従来のSRAMにおいては、セ
ル面積の小さい抵抗負荷形のメモリセルが主流であった
が、動作の安定性や、ソフトエラー耐圧や、電圧マージ
ン等の点からして、CMOS(Complementory Metal
Oxide Semiconductor)形のメモリセルが見直されつ
つある。
【0004】
【従来の技術】図17は従来のSRAMが設けているC
MOS形のメモリセルを示す回路図である。
【0005】図中、WLはメモリセルの選択を行うワー
ド線、BL、/BLはデータ伝送路をなすビット線であ
る。
【0006】また、1は高電圧側の電源電圧VCC(例
えば、3.3[V])を供給する電源配線、2は低電圧
側の電源電圧VSS(例えば、0[V])に設定される
電源配線である。
【0007】また、3はCMIS(Complementory Me
tal Insulator Semiconductor)インバータの一種で
あるCMOSインバータ4、5をリング接続(クロスカ
ップル)してなるフリップフロップ回路である。
【0008】このフリップフロップ回路3において、
6、7はpチャネルMIS(MetalInsulator Semico
nductor)トランジスタ、いわゆるpMISトランジス
タの一種であるpチャネルMOS(Metal Oxide Sem
iconductor)トランジスタ、いわゆるpMOSトランジ
スタである。
【0009】また、8、9はnチャネルMISトランジ
スタ、いわゆるnMISトランジスタの一種であるnチ
ャネルMOSトランジスタ、いわゆるnMOSトランジ
スタである。
【0010】また、10、11はワード線WLを介して
導通(以下、オンという)、非導通(以下、オフとい
う)が制御される転送ゲートをなすnMOSトランジス
タである。
【0011】このメモリセルにおいては、論理「1」
(以下、単に「1」と記す)が記憶される場合には、p
MOSトランジスタ6=オン、nMOSトランジスタ8
=オフ、pMOSトランジスタ7=オフ、nMOSトラ
ンジスタ9=オンで、ノード12=Hレベル、ノード1
3=Lレベルとされる。
【0012】これに対して、論理「0」(以下、単に
「0」と記す)が記憶される場合には、pMOSトラン
ジスタ6=オフ、nMOSトランジスタ8=オン、pM
OSトランジスタ7=オン、nMOSトランジスタ9=
オフで、ノード12=Lレベル、ノード13=Hレベル
とされる。
【0013】ここに、図18は、このメモリセルが
「1」を記憶している場合において、この「1」が
「0」に書き替えられる場合の動作及び問題点を説明す
るための波形図であり、図18Aはワード線WLの電
圧、図18Bはビット線BL、/BLの電圧を示してい
る。
【0014】また、図18Cはノード12、13の電
圧、図18DはCMOSインバータ4に流れる貫通電流
4、図18EはCMOSインバータ5に流れる貫通電
流I5を示している。
【0015】また、図18Fは電源配線1から電源配線
2に流れる全貫通電流、即ち、貫通電流I4+I5、図1
8Gは電源電圧VCC、図18Hは電源電圧VSSを示
している。
【0016】即ち、「1」を記憶している場合におい
て、これが「0」に書き替えられる場合、まず、ビット
線BL、/BL=Hレベルの状態で、ワード線WL=H
レベルとされ、nMOSトランジスタ10、11=オン
とされ、特定のアドレスのメモリセルが選択される。
【0017】続いて、ビット線/BLはHレベルのま
ま、ビット線BLはHレベルからLレベルとされ、この
結果、ノード12はHレベルからLレベル、ノード13
はLレベルからHレベル、pMOSトランジスタ6=オ
フ、nMOSトランジスタ8=オン、pMOSトランジ
スタ7=オン、nMOSトランジスタ9=オフとされ、
「1」から「0」の書き替えが完了する。
【0018】次に、ワード線WL=Lレベル、nMOS
トランジスタ10、11=オフとされて、メモリセルの
選択が終了し、フリップフロップ回路3は、次の書き替
えが行われるまで、pMOSトランジスタ6=オフ、n
MOSトランジスタ8=オン、pMOSトランジスタ7
=オン、nMOSトランジスタ9=オフ、ノード12=
Lレベル(VSS)、ノード13=Hレベル(VCC)
の状態を維持する。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このメモリ
セルでは、記憶データが「1」から「0」に書き替えら
れる場合、ノード13がLレベルからHレベルに変化す
る過程で、pMOSトランジスタ6=オン、nMOSト
ランジスタ8=オンの状態が発生し、CMOSインバー
タ4にピーク値の大きな貫通電流I4が流れてしまう
(図18D参照)。
【0020】また、ノード12がHレベルからLレベル
に変化する過程で、pMOSトランジスタ7=オン、n
MOSトランジスタ9=オンの状態が発生し、貫通電流
4に若干遅れて、CMOSインバータ5に、貫通電流
4のピーク値よりは小さいが、やはりピーク値の大き
な貫通電流I5が流れてしまう(図18E参照)。
【0021】このため、電源配線1から電源配線2に、
ピーク値の大きな貫通電流I4+I5が流れてしまい、こ
のため、電源電圧VCCが大きく下降すると共に、電源
電圧VSSが大きく上昇してしまう(図18F、G、H
参照)。
【0022】また、記憶データが「0」から「1」に書
き替えられる場合には、CMOSインバータ5にピーク
値の大きな貫通電流I5が流れ、続いて、CMOSイン
バータ4に貫通電流I5のピーク値よりは小さいが、や
はりピーク値の大きな貫通電流I4が流れてしまい、こ
の場合においても、電源電圧VCCが大きく下降すると
共に、電源電圧VSSが大きく上昇してしまう。
【0023】このように、図17に示すメモリセルにお
いては、記憶データが書き替えられる場合、電源電圧V
CCが大きく下降すると共に、電源電圧VSSが大きく
上昇してしまうため、図17に示すメモリセルを設けて
なるSRAMにおいては、周辺回路において誤動作が発
生してしまい、動作の安定性を確保することができない
場合があるという問題点があった。
【0024】また、このように、図17に示すメモリセ
ルにおいては、記憶データが書き替えられる場合、電源
配線1から電源配線2にピーク値の大きな貫通電流I4
+I5が流れてしまい、電源電圧VCCが大きく下降す
ると共に、電源電圧VSSが大きく上昇してしまうた
め、電源配線1、2の線幅を大きくし、電源配線1、2
の抵抗値を小さくしなければならず、その分、セルサイ
ズが大きくなってしまうという問題点があった。
【0025】本発明は、かかる点に鑑み、pMISトラ
ンジスタとnMISトランジスタとからなる2個のCM
ISインバータをリング接続してなるフリップフロップ
回路を備えてなるCMIS形のメモリセルを改良し、又
は、CMIS形のメモリセルに供給する電源電圧を制御
するメモリセル電源電圧制御回路を設けて構成されるS
RAMであって、記憶データを書き替える場合、メモリ
セルに流れる貫通電流のピーク値を小さくし、周辺回路
における誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保する
ことができるようにすると共に、電源配線の線幅を小さ
くし、セルサイズの縮小化を図り、チップ面積の縮小化
を図ることができるようにしたSRAMを提供すること
を目的とする。
【0026】
【課題を解決するための手段】
第1の発明・・図1 図1は本発明中、第1の発明の原理説明図であり、第1
の発明によるSRAMは、電源配線15〜17と、周辺
回路18と、CMIS形のメモリセル19と、メモリセ
ル高電圧側電源電圧制御回路20とを含んで構成され
る。
【0027】ここに、電源配線15は、外部電源回路又
は内部電源回路から電源電圧VCCが供給される電源配
線、電源配線16は、電源電圧VCCよりも低電圧の電
源電圧VSSに設定される電源配線、電源配線17は、
メモリセル19に高電圧側の電源電圧を供給するための
電源配線である。
【0028】また、周辺回路18は、電源配線15の電
圧を高電圧側の電源電圧、電源配線16の電圧を低電圧
側の電源電圧として動作するものであり、メモリセル1
9は、電源配線17の電圧を高電圧側の電源電圧、電源
配線16の電圧を低電圧側の電源電圧として動作するも
のである。
【0029】また、メモリセル高電圧側電源電圧制御回
路20は、その一端20Aを電源配線15に接続され、
その他端20Bを電源配線17に接続され、メモリセル
19からのデータの読出し時には、電源配線17に電源
電圧VCCを供給し、メモリセル19に対するデータの
書込み時には、電源配線17の電圧を、電源電圧VCC
を低電圧側に所定電圧だけレベルシフトしてなる電圧に
制御するものである。
【0030】第2の発明・・図2 図2は本発明中、第2の発明の原理説明図であり、第2
の発明によるSRAMは、電源配線22〜24と、周辺
回路25と、CMIS形のメモリセル26と、メモリセ
ル低電圧側電源電圧制御回路27とを含めて構成され
る。
【0031】ここに、電源配線22は、外部電源回路又
は内部電源回路から電源電圧VCCが供給される電源配
線、電源配線23は、電源電圧VCCよりも低電圧の電
源電圧VSSに設定される電源配線、24はメモリセル
26に低電圧側の電源電圧を供給するための電源配線で
ある。
【0032】また、周辺回路25は、電源配線22の電
圧を高電圧側の電源電圧、電源配線23の電圧を低電圧
側の電源電圧として動作するものであり、メモリセル2
6は、電源配線22の電圧を高電圧側の電源電圧、電源
配線24の電圧を低電圧側の電源電圧として動作するも
のである。
【0033】また、メモリセル低電圧側電源電圧制御回
路27は、その一端27Aを電源配線23に接続され、
その他端27Bを電源配線24に接続され、メモリセル
26からのデータの読出し時には、電源配線24の電圧
を電源電圧VSSに設定し、メモリセル26に対するデ
ータの書込み時には、電源配線24の電圧を、電源電圧
VSSを高電圧側に所定電圧だけレベルシフトしてなる
電圧に制御するものである。
【0034】第3の発明・・図3 図3は本発明中、第3の発明の原理説明図であり、第3
の発明によるSRAMは、電源配線29〜32と、周辺
回路33と、CMIS形のメモリセル34と、メモリセ
ル高電圧側電源電圧制御回路35と、メモリセル低電圧
側電源電圧制御回路36とを含んで構成される。
【0035】ここに、電源配線29は、外部電源回路又
は内部電源回路から電源電圧VCCが供給される電源配
線、電源配線30は、電源電圧VCCよりも低電圧の電
源電圧VSSに設定される電源配線である。
【0036】また、電源配線31は、メモリセル34に
高電圧側の電源電圧を供給するための電源配線、電源配
線32は、メモリセル34に低電圧側の電源電圧を供給
するための電源配線である。
【0037】また、周辺回路33は、電源配線29の電
圧を高電圧側の電源電圧、電源配線30の電圧を低電圧
側の電源電圧として動作するものであり、メモリセル3
4は、電源配線31の電圧を高電圧側の電源電圧、電源
配線32の電圧を低電圧側の電源電圧として動作するも
のである。
【0038】また、メモリセル高電圧側電源電圧制御回
路35は、その一端35Aを電源配線29に接続され、
その他端35Bを電源配線31に接続され、メモリセル
34からのデータの読出し時には、電源配線31に電源
電圧VCCを供給し、メモリセル34に対するデータの
書込み時には、電源配線31の電圧を、電源電圧VCC
を低電圧側に所定電圧だけレベルシフトしてなる電圧に
制御するものである。
【0039】また、メモリセル低電圧側電源電圧制御回
路36は、その一端36Aを電源配線30に接続され、
その他端36Bを電源配線32に接続され、メモリセル
34からのデータの読出し時には、電源配線32の電圧
を電源電圧VSSに設定し、メモリセル34に対するデ
ータの書込み時には、電源配線32の電圧を、電源電圧
VSSを低電圧側に所定電圧だけレベルシフトしてなる
電圧に制御するものである。
【0040】第4の発明・・図4 図4は本発明中、第4の発明の原理説明図であり、第4
の発明によるSRAMが設けているメモリセルを示して
いる。即ち、第4の発明によるSRAMは、図4に示す
メモリセルを設けて構成される。
【0041】図中、38は外部電源回路又は内部電源回
路から電源電圧VCCが供給される電源配線、39は電
源電圧VCCよりも低電圧の電源電圧VSSに設定され
る電源配線である。
【0042】また、40はフリップフロップ回路、4
1、42はインバータであり、43、44は電源電圧V
CCを低電圧側に所定電圧だけレベルシフトするレベル
シフト回路、45、46はpMISトランジスタ、4
7、48はnMISトランジスタである。
【0043】また、49、50は転送ゲートをなすnM
ISトランジスタ、WLは前述したようにワード線、B
L、/BLは前述したようにビット線である。
【0044】第5の発明・・図5 図5は本発明中、第5の発明の原理説明図であり、第5
の発明によるSRAMが設けているメモリセルを示して
いる。即ち、第5の発明によるSRAMは、図5に示す
メモリセルを設けて構成される。
【0045】図中、52は外部電源回路又は内部電源回
路から電源電圧VCCが供給される電源配線、53は電
源電圧VCCよりも低電圧の電源電圧VSSに設定され
る電源配線である。
【0046】また、54はフリップフロップ回路、5
5、56はインバータであり、57、58はpMISト
ランジスタ、59、60はnMISトランジスタ、6
1、62は電源電圧VSSを高電圧側に所定電圧だけレ
ベルシフトするレベルシフト回路である。
【0047】また、63、64は転送ゲートをなすnM
ISトランジスタ、WLは前述したようにワード線、B
L、/BLは前述したようにビット線である。
【0048】第6の発明・・図6 図6は本発明中、第6の発明の原理説明図であり、第6
の発明によるSRAMが設けているメモリセルを示して
いる。即ち、第6の発明によるSRAMは、図6に示す
メモリセルを設けて構成される。
【0049】図中、66は外部電源回路又は内部電源回
路から電源電圧VCCが供給される電源配線、67は電
源電圧VCCよりも低電圧の電源電圧VSSに設定され
る電源配線である。
【0050】また、68はフリップフロップ回路、6
9、70はインバータであり、71、72は電源電圧V
CCを低電圧側に所定電圧だけレベルシフトするレベル
シフト回路、73、74はpMISトランジスタ、7
5、76はnMISトランジスタ、77、78は電源電
圧VSSを高電圧側に所定電圧だけレベルシフトするレ
ベルシフト回路である。
【0051】また、79、80は転送ゲートをなすnM
ISトランジスタ、WLは前述したようにワード線、B
L、/BLは前述したようにビット線である。
【0052】
【作用】
第1の発明・・図1 本発明中、第1の発明においては、メモリセル19は、
電源配線17の電圧を高電圧側の電源電圧とし、電源配
線16の電圧を低電圧側の電源電圧として動作する。
【0053】ここに、このメモリセル19に対するデー
タの書込み時には、電源配線17の電圧は、電源電圧V
CCを低電圧側に所定電圧だけレベルシフトしてなる電
圧に制御される。
【0054】この結果、メモリセル19の記憶データを
書き替える場合、メモリセル19に流れる貫通電流のピ
ーク値は、電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源
電圧VSSを低電圧側の電源電圧としてメモリセル19
を動作させる場合よりも小さくなる。
【0055】したがって、この第1の発明によれば、メ
モリセル19の記憶データを書き替える場合、電源電圧
VCCの下降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、
周辺回路18における誤動作の発生を避け、動作の安定
性を確保することができる。
【0056】また、この第1の発明によれば、メモリセ
ル19の記憶データを書き替える場合、前述のように、
メモリセル19に流れる貫通電流のピーク値は、電源電
圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSSを低電
圧側の電源電圧としてメモリセル19を動作させる場合
よりも小さくなるので、電源配線16、17の抵抗値を
大きくしても、これら電源配線16、17の電圧降下は
大きくならないので、これら電源配線16、17の線幅
を小さくし、セルサイズを小さくし、チップ面積の縮小
化を図ることができる。
【0057】第2の発明・・図2 本発明中、第2の発明においては、メモリセル26は、
電源配線22の電圧を高電圧側の電源電圧とし、電源配
線24の電圧を低電圧側の電源電圧として動作する。
【0058】ここに、このメモリセル26に対するデー
タの書込み時には、電源配線24の電圧は、電源電圧V
SSを高電圧側に所定電圧だけレベルシフトしてなる電
圧に制御される。
【0059】この結果、メモリセル26の記憶データを
書き替える場合、メモリセル26に流れる貫通電流のピ
ーク値は、電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源
電圧VSSを低電圧側の電源電圧としてメモリセル26
を動作させる場合よりも小さくなる。
【0060】したがって、この第2の発明によれば、メ
モリセル19の記憶データを書き替える場合、電源電圧
VCCの下降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、
周辺回路25における誤動作の発生を避け、動作の安定
性を確保することができる。
【0061】また、この第2の発明によれば、メモリセ
ル26の記憶データを書き替える場合、前述のように、
メモリセル26に流れる貫通電流のピーク値は、電源電
圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSSを低電
圧側の電源電圧としてメモリセル26を動作させる場合
よりも小さくなるので、電源配線22、24の抵抗値を
大きくしても、これら電源配線22、24の電圧降下は
大きくならないので、これら電源配線22、24の線幅
を小さくし、セルサイズを小さくし、チップ面積の縮小
化を図ることができる。
【0062】第3の発明・・図3 本発明中、第3の発明においては、メモリセル34は、
電源配線31の電圧を高電圧側の電源電圧とし、電源配
線32の電圧を低電圧側の電源電圧として動作する。
【0063】ここに、このメモリセル34に対する書込
み時には、電源配線31の電圧は、電源電圧VCCを低
電圧側に所定電圧だけレベルシフトしてなる電圧に制御
されると共に、電源配線32の電圧は、電源電圧VSS
を高電圧側に所定電圧だけレベルシフトしてなる電圧に
制御される。
【0064】この結果、メモリセル34の記憶データを
書き替える場合、メモリセル34に流れる貫通電流のピ
ーク値は、電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源
電圧VSSを低電圧側の電源電圧としてメモリセル34
を動作させる場合よりも小さくなる。
【0065】したがって、この第3の発明によれば、メ
モリセル34の記憶データを書き替える場合、電源電圧
VCCの下降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、
周辺回路33における誤動作の発生を避け、動作の安定
性を確保することができる。
【0066】また、この第3の発明によれば、メモリセ
ル34の記憶データを書き替える場合、前述のように、
メモリセル34に流れる貫通電流のピーク値は、電源電
圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSSを低電
圧側の電源電圧としてメモリセル34を動作させる場合
よりも小さくなるので、電源配線31、32の抵抗値を
大きくしても、これら電源配線31、32の電圧降下は
大きくならないので、これら電源配線31、32の線幅
を小さくし、セルサイズを小さくし、チップ面積の縮小
化を図ることができる。
【0067】第4の発明・・図4 本発明中、第4の発明においては、pMISトランジス
タ45がオン状態とされる場合、このpMISトランジ
スタ45のソース電圧は、電源電圧VCCをレベルシフ
ト回路43で低電圧側に所定電圧だけレベルシフトされ
た電圧となる。
【0068】また、pMISトランジスタ46がオン状
態とされる場合、このpMISトランジスタ46のソー
ス電圧は、電源電圧VCCをレベルシフト回路44で低
電圧側に所定電圧だけレベルシフトされた電圧となる。
【0069】この結果、書込み時、データを書き替える
場合においても、フリップフロップ回路40に流れる貫
通電流のピーク値は、レベルシフト回路43、44を設
けないようにした場合に比較して、小さくなる。
【0070】したがって、この第4の発明によれば、書
込み時、データを書き替える場合、電源電圧VCCの下
降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、周辺回路に
おける誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保するこ
とができる。
【0071】また、この第4の発明によれば、図4に示
すメモリセルの記憶データを書き替える場合、前述のよ
うに、図4に示すメモリセルに流れる貫通電流のピーク
値は、電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧
VSSを低電圧側の電源電圧として図4に示すメモリセ
ルを動作させる場合よりも小さくなるので、電源配線3
8、39の抵抗値を大きくしても、これら電源配線3
8、39の電圧降下は大きくならないので、これら電源
配線38、39の線幅を小さくし、セルサイズを小さく
し、チップ面積の縮小化を図ることができる。
【0072】第5の発明・・図5 本発明中、第5の発明においては、nMISトランジス
タ59がオン状態とされる場合、このnMISトランジ
スタ59のソース電圧は、電源電圧VSSをレベルシフ
ト回路61で高電圧側に所定電圧だけレベルシフトした
電圧となる。
【0073】また、nMISトランジスタ60がオン状
態とされる場合、このnMISトランジスタ60のソー
ス電圧は、電源電圧VSSをレベルシフト回路62で高
電圧側に所定電圧だけレベルシフトした電圧となる。
【0074】この結果、書込み時、データを書き替える
場合においても、フリップフロップ回路54に流れる貫
通電流のピーク値は、レベルシフト回路61、62を設
けないようにした場合に比較して、小さくなる。
【0075】したがって、この第5の発明によれば、書
込み時、データを書き替える場合、電源電圧VCCの下
降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、周辺回路に
おける誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保するこ
とができる。
【0076】また、この第5の発明によれば、図5に示
すメモリセルの記憶データを書き替える場合、前述のよ
うに、図5に示すメモリセルに流れる貫通電流のピーク
値は、電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧
VSSを低電圧側の電源電圧として図5に示すメモリセ
ルを動作させる場合よりも小さくなるので、電源配線5
2、53の抵抗値を大きくしても、これら電源配線5
2、53の電圧降下は大きくならないので、これら電源
配線52、53の線幅を小さくし、セルサイズを小さく
し、チップ面積の縮小化を図ることができる。
【0077】第6の発明・・図6 本発明中、第6の発明においては、pMISトランジス
タ73がオン状態とされる場合、このpMISトランジ
スタ73のソース電圧は、電源電圧VCCをレベルシフ
ト回路71で低電圧側に所定電圧だけレベルシフトした
電圧となる。
【0078】また、pMISトランジスタ74がオン状
態とされる場合、このpMISトランジスタ74のソー
ス電圧は、電源電圧VCCをレベルシフト回路72で低
電圧側に所定電圧だけレベルシフトした電圧となる。
【0079】また、nMISトランジスタ75がオン状
態とされる場合、このnMISトランジスタ75のソー
ス電圧は、電源電圧VSSをレベルシフト回路77で高
電圧側に所定電圧だけレベルシフトした電圧となる。
【0080】また、nMISトランジスタ76がオン状
態とされる場合、このnMISトランジスタ76のソー
ス電圧は、電源電圧VSSをレベルシフト回路78で高
電圧側に所定電圧だけレベルシフトした電圧となる。
【0081】この結果、書込み時、データを書き替える
場合においても、フリップフロップ回路68に流れる貫
通電流のピーク値は、レベルシフト回路71、72、7
7、78を設けないようにした場合に比較して、小さく
なる。
【0082】したがって、この第6の発明によれば、書
込み時、データを書き替える場合、電源電圧VCCの下
降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、周辺回路に
おける誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保するこ
とができる。
【0083】また、この第6の発明によれば、図6に示
すメモリセルの記憶データを書き替える場合、前述のよ
うに、図6に示すメモリセルに流れる貫通電流のピーク
値は、電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧
VSSを低電圧側の電源電圧として図6に示すメモリセ
ルを動作させる場合よりも小さくなるので、電源配線6
6、67の抵抗値を大きくしても、これら電源配線6
6、67の電圧降下は大きくならないので、これら電源
配線66、67の線幅を小さくし、セルサイズを小さく
し、チップ面積の縮小化を図ることができる。
【0084】
【実施例】以下、図7〜図16を参照して、本発明の第
1実施例〜第9実施例について説明する。なお、図14
〜図16において、図17に対応する部分には、同一符
号を付し、その重複説明は省略する。
【0085】第1実施例・・図7、図8 図7は本発明の第1実施例の要部を示す回路図であり、
図中、8211、821n、82m1、82mnはCMOS形の
メモリセルである。
【0086】なお、この第1実施例においては、メモリ
セルとして、ロウ方向(行方向)の個数をn個、コラム
方向(列方向)の個数をm個とする、合計n×m個のメ
モリセルが配列されているが、図7では、4個のメモリ
セル8211、821n、82m1、82mnを代表して示して
いる。
【0087】ここに、メモリセル8211、821n、82
m1、82mnにおいて、8311、83 1n、83m1、8
mn、8411、841n、84m1、84mnは負荷素子をな
すpMOSトランジスタ、8511、851n、85m1、8
mn、8611、861n、86m1、86mnは駆動素子をな
すnMOSトランジスタである。
【0088】また、8711、871n、87m1、87mn
8811、881n、88m1、88mnは転送ゲートをなすn
MOSトランジスタ、WL1、WLmはワード線、B
1、/BL1、BLn、/BLnはビット線である。
【0089】また、891はメモリセル8211、821n
に高電圧側の電源電圧を供給するための電源配線、89
mはメモリセル82m1、82mnに高電圧側の電源電圧を
供給するための電源配線、90は電源電圧VSSに設定
される電源配線である。なお、電源配線892〜89m-1
は、その図示を省略している。
【0090】また、91は内部電源回路(図示せず)か
ら電源電圧VCCが供給される電源配線、921は電源
配線891の電圧を制御するメモリセル高電圧側電源電
圧制御回路、92mは電源配線89mの電圧を制御するメ
モリセル高電圧側電源電圧制御回路である。なお、メモ
リセル高電圧側電源電圧制御回路922〜92m-1は、そ
の図示を省略している。
【0091】ここに、メモリセル高電圧側電源電圧制御
回路921、92mにおいて、931、93mは接続スイッ
チ素子をなすpMOSトランジスタである。
【0092】また、941、951は、メモリセル高電圧
側電源電圧制御回路921において、レベルシフト回路
を構成するnMOSトランジスタ、94m、95mは、メ
モリセル高電圧側電源電圧制御回路92mにおいて、レ
ベルシフト回路を構成するnMOSトランジスタであ
る。
【0093】また、96はロウアドレス信号をデコード
してワード線を選択、駆動するロウデコーダ、97はコ
ラムアドレス信号をデコードしてコラムの選択を行うコ
ラムデコーダである。
【0094】また、DB、/DBはデータバス、98は
読み出されたデータを増幅するセンスアンプ、99はメ
イン・センスアンプ、DOUTは出力データである。
【0095】また、100は外部から供給される書込み
制御信号/WEを取り込むためのWEバッファ、101
はWEバッファに取り込まれた書込み制御信号/WEを
反転するためのインバータである。
【0096】また、102は外部から供給される書込み
データDINを取り込むためのデータ入力バッファ、1
03は書込み時、選択されたコラムのビット線対の電圧
を制御するライトアンプである。
【0097】この第1実施例においては、読出し時、書
込み制御信号/WE=Hレベル、インバータ101の出
力=Lレベルとされ、メモリセル高電圧側電源電圧制御
回路921、92mにおいては、pMOSトランジスタ9
1、93m=オンとされる。
【0098】この結果、レベルシフト回路を構成するn
MOSトランジスタ941、951、94m、95m=オフ
となり、電源配線891、89mの電圧は電源電圧VCC
とされる。
【0099】これに対して、書込み時には、書込み制御
信号/WE=Lレベル、インバータ101の出力=Hレ
ベルとされ、メモリセル高電圧側電源電圧制御回路92
1、92mにおいては、pMOSトランジスタ931、9
m=オフとされる。
【0100】この結果、レベルシフト回路を構成するn
MOSトランジスタ941、951、94m、95m=オン
とされ、電源配線891、89mの電圧=VCC−2VT
n(但し、VTHnはnMOSトランジスタのスレッシ
ョルド電圧)とされる。
【0101】ここに、図8は、メモリセル8211がデー
タとして「1」を記憶している場合において、この
「1」を「0」に書き替える場合の動作を説明するため
の波形図であり、図8Aはワード線WL1の電圧、図8
Bはビット線BL1、/BL1の電圧、図8Cはノード1
04、105の電圧を示している。
【0102】また、図8DはpMOSトランジスタ83
11とnMOSトランジスタ8511とからなるCMOSイ
ンバータに流れる貫通電流IA、図8EはpMOSトラ
ンジスタ8411とnMOSトランジスタ8611とからな
るCMOSインバータに流れる貫通電流IBを示してい
る。
【0103】また、図8Fは電源配線891から電源配
線90に流れる全貫通電流、即ち、貫通電流IA+IB
図8Gは電源電圧VCC、図8Hは電源電圧VSSを示
している。
【0104】即ち、メモリセル8211が「1」を記憶し
ている場合において、この「1」が「0」に書き替えら
れる場合、まず、ビット線BL1、/BL1=Hレベルの
状態で、ワード線WL1=Hレベルとされ、nMOSト
ランジスタ8711、8811=オンとされた後、ビット線
/BL1=Hレベルのまま、ビット線BL1=Lレベルと
される。
【0105】この結果、ノード104=Lレベル、ノー
ド105=Hレベル、pMOSトランジスタ8311=オ
フ、nMOSトランジスタ8511=オン、pMOSトラ
ンジスタ8411=オン、nMOSトランジスタ8611
オフとされる。
【0106】次に、ワード線WL1=Lレベル、nMO
Sトランジスタ8711、8811=オフとされ、「1」か
ら「0」への書き替えが完了し、次の書き替えが行われ
るまで、pMOSトランジスタ8311=オフ、nMOS
トランジスタ8511=オン、pMOSトランジスタ84
11=オン、nMOSトランジスタ8611=オフ、ノード
104=Lレベル、ノード105=Hレベルの状態が維
持される。
【0107】ここに、この第1実施例においては、書込
み時、電源配線891、89mの電圧=VCC−2VTH
nとされるので、メモリセル8211は、VCC−2VT
nを高電圧側の電源電圧とし、VSSを低電圧側の電
源電圧として動作することになる。
【0108】この結果、メモリセル8211の記憶データ
を書き替える場合、pMOSトランジスタ8311とnM
OSトランジスタ8511とからなるCMOSインバータ
に流れる貫通電流IAのピーク値及びpMOSトランジ
スタ8411とnMOSトランジスタ8611とからなるC
MOSインバータに流れる貫通電流IBのピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211を動作さ
せる場合よりも小さくなる(図8D、E、F参照)。他
のメモリセルについても、同様のことが言える。
【0109】したがって、この第1実施例によれば、書
込み時、メモリセル8211、821n、82m1、82mn
記憶データを書き替える場合、電源電圧VCCの下降及
び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え(図8G、H参
照)、周辺回路における誤動作の発生を避け、動作の安
定性を確保することができる。
【0110】また、この第1実施例によれば、メモリセ
ル8211、821n、82m1、82mnの記憶データを書き
替える場合、前述のように、メモリセル8211、8
1n、82m1、82mnに流れる貫通電流のピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211、8
1n、82m1、82mnを動作させる場合よりも小さくな
るので、電源配線891、89m、90の抵抗値を大きく
しても、これら電源配線891、89m、90の電圧降下
は大きくならないので、これら電源配線891、89m
90の線幅を小さくし、セルサイズを小さくし、チップ
面積の縮小化を図ることができる。
【0111】第2実施例・・図9 図9は本発明の第2実施例の要部を示す回路図であり、
この第2実施例においても、メモリセルとして、ロウ方
向の個数をn個、コラム方向の個数をm個とする、合計
n×m個のメモリセルが配列されているが、図9では、
4個のメモリセル8211、821n、82m1、82mnを代
表して示している。
【0112】ここに、この第2実施例においては、図7
に示す第1実施例が設けているメモリセル高電圧側電源
電圧制御回路921、92mの代わりに、メモリセル82
11、821n、82m1、82mnの低電圧側の電源電圧を制
御するメモリセル低電圧側電源電圧制御回路1071
107mが設けられている。
【0113】また、これに伴って、図7に示すインバー
タ101は削除されており、また、図7に示す電源配線
891、89mは電源配線91の一部とされている。な
お、メモリセル低電圧側電源電圧制御回路1072〜1
07m-1は、その図示を省略している。
【0114】ここに、メモリセル低電圧側電源電圧制御
回路1071、107mにおいて、1081、108mは接
続スイッチ素子をなすnMOSトランジスタである。
【0115】また、1091、1101は、メモリセル低
電圧側電源電圧制御回路1071において、レベルシフ
ト回路を構成するpMOSトランジスタ、109m、1
10mは、メモリセル低電圧側電源電圧制御回路107m
において、レベルシフト回路を構成するpMOSトラン
ジスタである。
【0116】また、図7に示す電源配線90のうち、メ
モリセル8211、821n側の部分はメモリセル低電圧側
電源電圧制御回路1071によって電圧を制御される電
源配線1111とされ、メモリセル82m1、82mn側の
部分はメモリセル低電圧側電源電圧制御回路107m
よって電圧を制御される電源配線111mとされてい
る。
【0117】なお、電源配線1112〜111m-1は、そ
の図示を省略している。その他の部分については、図7
に示す第1実施例と同様に構成されている。
【0118】この第2実施例においては、読出し時、書
込み制御信号/WE=Hレベルとされ、メモリセル低電
圧側電源電圧制御回路1071、107mにおいては、n
MOSトランジスタ1081、108m=オンとされる。
【0119】この結果、レベルシフト回路を構成するp
MOSトランジスタ1091、1101、109m、11
m=オフとなり、電源配線1111、111mの電圧は
電源電圧VSSとされる。
【0120】これに対して、書込み時には、書込み制御
信号/WE=Lレベル、メモリセル低電圧側電源電圧制
御回路1071、107mにおいては、nMOSトランジ
スタ1081、108m=オフとされる。
【0121】この結果、pMOSトランジスタ10
1、1101、109m、110m=オンとされ、電源配
線1111、111mの電圧=2VTHp(pMOSトラ
ンジスタのスレッショルド電圧)とされる。
【0122】ここに、例えば、メモリセル8211
「1」を記憶している場合において、この「1」が
「0」に書き替えられる場合には、まず、ビット線BL
1、/BL1=Hレベルの状態で、ワード線WL1=Hレ
ベルとされ、nMOSトランジスタ8711、8811=オ
ンとされた後、ビット線/BL1=Hレベルのまま、ビ
ット線BL1=Lレベルとされる。
【0123】この結果、ノード104=Lレベル、ノー
ド105=Hレベル、pMOSトランジスタ8311=オ
フ、nMOSトランジスタ8511=オン、pMOSトラ
ンジスタ8411=オン、nMOSトランジスタ8611
オフとされる。
【0124】次に、ワード線WL1=Lレベル、nMO
Sトランジスタ8711、8811=オフとされ、「1」か
ら「0」への書き替えが完了し、次の書き替えが行われ
るまで、pMOSトランジスタ8311=オフ、nMOS
トランジスタ8511=オン、pMOSトランジスタ84
11=オン、nMOSトランジスタ8611=オフ、ノード
104=Lレベル、ノード105=Hレベルの状態が維
持される。
【0125】ここに、この第2実施例においては、書込
み時、電源配線1111、111mの電圧は、2VTHp
とされ、メモリセル8211は、電源電圧VCCを高電圧
側の電源電圧とし、2VTHpを低電圧側の電源電圧と
して動作することになる。
【0126】この結果、メモリセル8211の記憶データ
を書き替える場合、pMOSトランジスタ8311とnM
OSトランジスタ8511とからなるCMOSインバータ
に流れる貫通電流IAのピーク値及びpMOSトランジ
スタ8411とnMOSトランジスタ8611とからなるC
MOSインバータに流れる貫通電流IBのピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211を動作さ
せる場合よりも小さくなる。他のメモリセルについて
も、同様のことが言える。
【0127】したがって、この第2実施例によれば、書
込み時、メモリセル8211、821n、82m1、82mn
記憶データを書き替える場合、電源電圧VCCの下降及
び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、周辺回路におけ
る誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保することが
できる。
【0128】また、この第2実施例によれば、メモリセ
ル8211、821n、82m1、82mnの記憶データを書き
替える場合、前述のように、メモリセル8211、8
1n、82m1、82mnに流れる貫通電流のピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211、8
1n、82m1、82mnを動作させる場合よりも小さくな
るので、電源配線91、111 1、111mの抵抗値を大
きくしても、これら電源配線91、1111、111m
電圧降下は大きくならないので、これら電源配線91、
1111、111mの線幅を小さくし、セルサイズを小さ
くし、チップ面積の縮小化を図ることができる。
【0129】第3実施例・・図10 図10は本発明の第3実施例の要部を示す回路図であ
る。この第3実施例は、図7に示す第1実施例を改良す
るものであり、この第3実施例においても、メモリセル
として、ロウ方向の個数をn個、コラム方向の個数をm
個とする、合計n×m個のメモリセルが配列されている
が、図10では、4個のメモリセル8211、821n、8
m1、82mnを代表して示している。
【0130】この第3実施例においては、メモリセル高
電圧側電源電圧制御回路921、92mのほか、図9に示
す第2実施例が設けているメモリセル低電圧側電源電圧
制御回路1071、107mが設けられている。
【0131】なお、メモリセル高電圧側電源電圧制御回
路922〜92m-1及びメモリセル低電圧側電源電圧制御
回路1072〜107m-1は、その図示を省略している。
【0132】この結果、図9に示す第2実施例の場合と
同様に、図7に示す電源配線90のうち、メモリセル8
11、821n側の部分はメモリセル低電圧側電源電圧制
御回路1071によって電圧を制御される電源配線11
1とされ、メモリセル82m1、82mn側の部分はメモ
リセル低電圧側電源電圧制御回路107mによって電圧
を制御される電源配線111mとされている。
【0133】なお、電源配線1112〜111m-1は、そ
の図示を省略している。その他の部分については、図7
に示す第1実施例と同様に構成されている。
【0134】この第3実施例においては、読出し時、書
込み制御信号/WE=Hレベル、インバータ101の出
力=Lレベルとされ、メモリセル高電圧側電源電圧制御
回路921、92mにおいては、pMOSトランジスタ9
1、93m=オンとされる。
【0135】この結果、レベルシフト回路を構成するn
MOSトランジスタ941、951、94m、95m=オフ
となり、電源配線891、89mの電圧は、電源電圧VC
Cとされる。
【0136】また、メモリセル低電圧側電源電圧制御回
路1071、107mにおいては、nMOSトランジスタ
1081、108m=オンとされる。
【0137】この結果、レベルシフト回路を構成するp
MOSトランジスタ1091、1101、109m、11
m=オフとなり、電源配線1111、111mの電圧
は、電源電圧VSSとされる。
【0138】これに対して、書込み時には、書込み制御
信号/WE=Lレベル、インバータ101の出力=Hレ
ベルとされ、メモリセル高電圧側電源電圧制御回路92
1、92mにおいては、pMOSトランジスタ931、9
m=オフとされる。
【0139】この結果、レベルシフト回路を構成するn
MOSトランジスタ941、951、94m、95m=オン
とされ、電源配線891、89mの電圧=VCC−2VT
nとされる。
【0140】また、メモリセル低電圧側電源電圧制御回
路1071、107mにおいては、nMOSトランジスタ
1081、108m=オフとされる。
【0141】この結果、レベルシフト回路を構成するp
MOSトランジスタ1091、1101、109m、11
m=オンとされ、電源配線1111、111mの電圧=
2VTHpとされる。
【0142】ここに、例えば、メモリセル8211
「1」を記憶している場合において、この「1」が
「0」に書き替えられる場合には、まず、ビット線BL
1、/BL1=Hレベルの状態で、ワード線WL1=Hレ
ベルとされ、nMOSトランジスタ8711、8811=オ
ンとされた後、ビット線/BL1=Hレベルのまま、ビ
ット線BL1=Lレベルとされる。
【0143】この結果、ノード104=Lレベル、ノー
ド105=Hレベル、pMOSトランジスタ8311=オ
フ、nMOSトランジスタ8511=オン、pMOSトラ
ンジスタ8411=オン、nMOSトランジスタ8611
オフとされる。
【0144】次に、ワード線WL1=Lレベル、nMO
Sトランジスタ8711、8811=オフとされ、「1」か
ら「0」への書き替えが完了し、次の書き替えが行われ
るまで、pMOSトランジスタ8311=オフ、nMOS
トランジスタ8511=オン、pMOSトランジスタ84
11=オン、nMOSトランジスタ8611=オフ、ノード
104=Lレベル、ノード105=Hレベルの状態が維
持される。
【0145】ここに、この第3実施例においては、書込
み時、電源配線891、89mの電圧=VCC−2VTH
n、電源配線1111、111mの電圧は、2VTHpとさ
れるので、メモリセル8211は、VCC−2VTHn
高電圧側の電源電圧とし、2VTHpを低電圧側の電源
電圧として動作することになる。
【0146】この結果、メモリセル8211の記憶データ
を書き替える場合、pMOSトランジスタ8311とnM
OSトランジスタ8511とからなるCMOSインバータ
に流れる貫通電流IAのピーク値及びpMOSトランジ
スタ8411とnMOSトランジスタ8611とからなるC
MOSインバータに流れる貫通電流IBのピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211を動作さ
せる場合よりも小さくなる。他のメモリセルについて
も、同様のことが言える。
【0147】したがって、この第3実施例によれば、書
込み時、メモリセル8211、821n、82m1、82mn
記憶データを書き替える場合、電源電圧VCCの下降及
び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、周辺回路におけ
る誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保することが
できる。
【0148】また、この第3実施例によれば、メモリセ
ル8211、821n、82m1、82mnの記憶データを書き
替える場合、前述のように、メモリセル8211、8
1n、82m1、82mnに流れる貫通電流のピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211、8
1n、82m1、82mnを動作させる場合よりも小さくな
るので、電源配線891、89m、1111、111mの抵
抗値を大きくしても、これら電源配線891、89m、1
111、111mの電圧降下は大きくならないので、これ
ら電源配線891、89m、1111、111mの線幅を小
さくし、セルサイズを小さくし、チップ面積の縮小化を
図ることができる。
【0149】第4実施例・・図11 図11は本発明の第4実施例の要部を示す回路図であ
り、この第4実施例は、図7に示すnMOSトランジス
タ941、951、94m、95mの代わりにショットキー
・バリア・ダイオード1131、1141、113m、1
14mを設けてなるメモリセル高電圧側電源電圧制御回
路1151、115mを設け、その他の部分については、
図7に示す第1実施例と同様に構成したものである。
【0150】したがって、この第4実施例においても、
メモリセルとして、ロウ方向の個数をn個、コラム方向
の個数をm個とする、合計n×m個のメモリセルが配列
されているが、図11では、4個のメモリセル8211
821n、82m1、82mnを代表して示している。
【0151】また、メモリセル高電圧側電源電圧制御回
路1152〜115m-1や、電源配線892〜89m-1等に
ついても、その図示を省略している。
【0152】この第4実施例においては、読出し時、書
込み制御信号/WE=Hレベル、インバータ101の出
力=Lレベルとされ、メモリセル高電圧側電源電圧制御
回路1151、115mにおいては、pMOSトランジス
タ931、93m=オンとされる。
【0153】この結果、ショットキー・バリア・ダイオ
ード1131、113m、1141、114m=オフとな
り、電源配線891、89mの電圧は、電源電圧VCCと
される。
【0154】これに対して、書込み時には、書込み制御
信号/WE=Lレベル、インバータ101の出力=Hレ
ベルとされ、メモリセル高電圧側電源電圧制御回路11
1、115mにおいては、pMOSトランジスタ9
1、93m=オフとされる。
【0155】この結果、レベルシフト回路を構成するシ
ョットキー・バリア・ダイオード1131、1141、1
13m、114m=オンとされ、電源配線891、89m
電圧=VCC−2VF(但し、VFはショットキー・バ
リア・ダイオードの順方向電圧)とされる。
【0156】ここに、例えば、メモリセル8211
「1」を記憶している場合において、この「1」が
「0」に書き替えられる場合には、まず、ビット線BL
1、/BL1=Hレベルの状態で、ワード線WL1=Hレ
ベルとされ、nMOSトランジスタ8711、8811=オ
ンとされた後、ビット線/BL1=Hレベルのまま、ビ
ット線BL1=Lレベルとされる。
【0157】この結果、ノード104=Lレベル、ノー
ド105=Hレベル、pMOSトランジスタ8311=オ
フ、nMOSトランジスタ8511=オン、pMOSトラ
ンジスタ8411=オン、nMOSトランジスタ8611
オフとされる。
【0158】次に、ワード線WL1=Lレベル、nMO
Sトランジスタ8711、8811=オフとされ、「1」か
ら「0」への書き替えが完了し、次の書き替えが行われ
るまで、pMOSトランジスタ8311=オフ、nMOS
トランジスタ8511=オン、pMOSトランジスタ84
11=オン、nMOSトランジスタ8611=オフ、ノード
104=Lレベル、ノード105=Hレベルの状態が維
持される。
【0159】ここに、この第4実施例においては、書込
み時、電源配線891、89mの電圧=VCC−2VFと
されるので、メモリセル8211は、VCC−2VFを高
電圧側の電源電圧とし、VSSを低電圧側の電源電圧と
して動作することになる。
【0160】この結果、メモリセル8211の記憶データ
を書き替える場合、pMOSトランジスタ8311とnM
OSトランジスタ8511とからなるCMOSインバータ
に流れる貫通電流IAのピーク値及びpMOSトランジ
スタ8411とnMOSトランジスタ8611とからなるC
MOSインバータに流れる貫通電流IBのピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211を動作さ
せる場合よりも小さくなる。他のメモリセルについて
も、同様のことが言える。
【0161】したがって、この第4実施例によれば、書
込み時、記憶データを書き替える場合、電源電圧VCC
の下降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、周辺回
路における誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保す
ることができる。
【0162】また、この第4実施例によれば、メモリセ
ル8211、821n、82m1、82mnの記憶データを書き
替える場合、前述のように、メモリセル8211、8
1n、82m1、82mnに流れる貫通電流のピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211、8
1n、82m1、82mnを動作させる場合よりも小さくな
るので、電源配線891、89m、90の抵抗値を大きく
しても、これら電源配線891、89m、90の電圧降下
は大きくならないので、これら電源配線891、89m
90の線幅を小さくし、セルサイズを小さくし、チップ
面積の縮小化を図ることができる。
【0163】また、この第4実施例によれば、メモリセ
ル高電圧側電源電圧制御回路115 1、115mを構成す
るレベルシフト回路をショットキー・バリア・ダイオー
ド1131、113m、1141、114mで構成するとし
ているので、チップ面積を第1実施例の場合よりも小さ
くすることができる。
【0164】第5実施例・・図12 図12は本発明の第5実施例の要部を示す回路図であ
り、この第5実施例は、図9に示すpMOSトランジス
タ1091、1101、109m、110mの代わりにショ
ットキー・バリア・ダイオード1171、1181、11
m、118mを設けてなるメモリセル低電圧側電源電圧
制御回路1191、119mを設け、その他の部分につい
ては、図9に示す第2実施例と同様に構成したものであ
る。
【0165】したがって、この第5実施例においても、
メモリセルとして、ロウ方向の個数をn個、コラム方向
の個数をm個とする、合計n×m個のメモリセルが配列
されているが、図12では、4個のメモリセル8211
821n、82m1、82mnを代表して示している。
【0166】また、メモリセル低電圧側電源電圧制御回
路1192〜119m-1や、電源配線1112〜111m-1
等についても、その図示を省略している。
【0167】この第5実施例においては、読出し時、書
込み制御信号/WE=Hレベルとされ、メモリセル低電
圧側電源電圧制御回路1191、119mにおいては、n
MOSトランジスタ1081、108m=オンとされる。
【0168】この結果、レベルシフト回路を構成するシ
ョットキー・バリア・ダイオード1171、1181、1
17m、118m=オフとなり、電源配線1111、11
mの電圧は、電源電圧VCCとされる。
【0169】これに対して、書込み時には、書込み制御
信号/WE=Lレベルとされ、メモリセル高電圧側電源
電圧制御回路1191、119mにおいては、nMOSト
ランジスタ1081、108m=オフとされる。
【0170】この結果、レベルシフト回路を構成するシ
ョットキー・バリア・ダイオード1171、117m、1
181、118m=オンとされ、電源配線1111、11
mの電圧=2VFとされる。
【0171】ここに、例えば、メモリセル8211
「1」を記憶している場合において、この「1」が
「0」に書き替えられる場合には、まず、ビット線BL
1、/BL1=Hレベルの状態で、ワード線WL1=Hレ
ベルとされ、nMOSトランジスタ8711、8811=オ
ンとされた後、ビット線/BL1=Hレベルのまま、ビ
ット線BL1=Lレベルとされる。
【0172】この結果、ノード104=Lレベル、ノー
ド105=Hレベル、pMOSトランジスタ8311=オ
フ、nMOSトランジスタ8511=オン、pMOSトラ
ンジスタ8411=オン、nMOSトランジスタ8611
オフとされる。
【0173】次に、ワード線WL1=Lレベル、nMO
Sトランジスタ8711、8811=オフとされ、「1」か
ら「0」への書き替えが完了し、次の書き替えが行われ
るまで、pMOSトランジスタ8311=オフ、nMOS
トランジスタ8511=オン、pMOSトランジスタ84
11=オン、nMOSトランジスタ8611=オフ、ノード
104=Lレベル、ノード105=Hレベルの状態が維
持される。
【0174】ここに、この第5実施例においては、書込
み時、電源配線1111、111mの電圧=2VFとされ
るので、メモリセル8211は、VCCを高電圧側の電源
電圧とし、2VFを低電圧側の電源電圧として動作する
ことになる。
【0175】この結果、メモリセル8211の記憶データ
を書き替える場合、pMOSトランジスタ8311とnM
OSトランジスタ8511とからなるCMOSインバータ
に流れる貫通電流IAのピーク値及びpMOSトランジ
スタ8411とnMOSトランジスタ8611とからなるC
MOSインバータに流れる貫通電流IBのピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211を動作さ
せる場合よりも小さくなる。他のメモリセルについて
も、同様のことが言える。
【0176】したがって、この第5実施例によれば、書
込み時、記憶データを書き替える場合、電源電圧VCC
の下降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、周辺回
路における誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保す
ることができる。
【0177】また、この第5実施例によれば、メモリセ
ル8211、821n、82m1、82mnの記憶データを書き
替える場合、前述のように、メモリセル8211、8
1n、82m1、82mnに流れる貫通電流のピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211、8
1n、82m1、82mnを動作させる場合よりも小さくな
るので、電源配線91、111 1、111mの抵抗値を大
きくしても、これら電源配線91、1111、111m
電圧降下は大きくならないので、これら電源配線91、
1111、111mの線幅を小さくし、セルサイズを小さ
くし、チップ面積の縮小化を図ることができる。
【0178】また、この第5実施例によれば、メモリセ
ル低電圧側電源電圧制御回路119 1、119mを構成す
るレベルシフト回路をショットキー・バリア・ダイオー
ド1171、117m、1181、118mで構成するとし
ているので、チップ面積を第2実施例よりも小さくする
ことができる。
【0179】第6実施例・・図13 図13は本発明の第6実施例の要部を示す回路図であ
り、この第6実施例においては、図10に示すnMOS
トランジスタ941、951、94m、95mの代わりにシ
ョットキー・バリア・ダイオード1131、1141、1
13m、114mを設けてなるメモリセル高電圧側電源電
圧制御回路1151、115mが設けられている。
【0180】また、図10に示すpMOSトランジスタ
1091、1101、109m、110mの代わりにショッ
トキー・バリア・ダイオード1171、1181、117
m、118mを設けてなるメモリセル低電圧側電源電圧制
御回路1191、119mが設けられている。その他の部
分については、図10に示す第3実施例と同様に構成さ
れている。
【0181】したがって、この第6実施例においても、
メモリセルとして、ロウ方向の個数をn個、コラム方向
の個数をm個とする、合計n×m個のメモリセルが配列
されているが、図13では、4個のメモリセル8211
821n、82m1、82mnを代表して示している。
【0182】また、メモリセル高電圧側電源電圧制御回
路1152〜115m-1、メモリセル低電圧側電源電圧制
御回路1192〜119m-1、電源配線892〜89m-1
1112〜111m-1等についても、その図示を省略して
いる。
【0183】この第6実施例においては、読出し時、書
込み制御信号/WE=Hレベル、インバータ101の出
力=Lレベルとされ、メモリセル高電圧側電源電圧制御
回路1151、115mにおいては、pMOSトランジス
タ931、93m=オンとされる。
【0184】この結果、レベルシフト回路を構成するシ
ョットキー・バリア・ダイオード1131、1141、1
13m、114m=オフとなり、電源配線891、89m
電圧は、電源電圧VCCとされる。
【0185】また、メモリセル低電圧側電源電圧制御回
路1191、119mにおいては、nMOSトランジスタ
1081、108m=オンとされる。
【0186】この結果、レベルシフト回路を構成するシ
ョットキー・バリア・ダイオード1171、1181、1
17m、118m=オフとなり、電源配線1111、11
mの電圧は、電源電圧VSSとされる。
【0187】これに対して、書込み時には、書込み制御
信号/WE=Lレベル、インバータ101の出力=Hレ
ベルとされ、メモリセル高電圧側電源電圧制御回路11
1、115mにおいては、pMOSトランジスタ9
1、93m=オフとされる。
【0188】この結果、レベルシフト回路を構成するシ
ョットキー・バリア・ダイオード1131、1141、1
13m、114m=オンとされ、電源配線891、89m
電圧=VCC−2VFとされる。
【0189】また、メモリセル低電圧側電源電圧制御回
路1191、119mにおいては、nMOSトランジスタ
1081、108m=オフとされる。
【0190】この結果、レベルシフト回路を構成するシ
ョットキー・バリア・ダイオード1171、117m、1
181、118m=オンとされ、電源配線1111、11
mの電圧=2VFとされる。
【0191】ここに、例えば、メモリセル8211
「1」を記憶している場合において、この「1」が
「0」に書き替えられる場合には、まず、ビット線BL
1、/BL1=Hレベルの状態で、ワード線WL1=Hレ
ベルとされ、nMOSトランジスタ8711、8811=オ
ンとされた後、ビット線/BL1=Hレベルのまま、ビ
ット線BL1=Lレベルとされる。
【0192】この結果、ノード104=Lレベル、ノー
ド105=Hレベル、pMOSトランジスタ8311=オ
フ、nMOSトランジスタ8511=オン、pMOSトラ
ンジスタ8411=オン、nMOSトランジスタ8611
オフとされる。
【0193】次に、ワード線WL1=Lレベル、nMO
Sトランジスタ8711、8811=オフとされ、「1」か
ら「0」への書き替えが完了し、次の書き替えが行われ
るまで、pMOSトランジスタ8311=オフ、nMOS
トランジスタ8511=オン、pMOSトランジスタ84
11=オン、nMOSトランジスタ8611=オフ、ノード
104=Lレベル、ノード105=Hレベルの状態が維
持される。
【0194】ここに、この第6実施例においては、書込
み時、電源配線891、89mの電圧=VCC−2VF、
電源配線1111、111mの電圧=2VFとされるの
で、メモリセル8211は、VCC−2VFを高電圧側の
電源電圧とし、2VFを低電圧側の電源電圧として動作
することになる。
【0195】この結果、メモリセル8211の記憶データ
を書き替える場合、pMOSトランジスタ8311とnM
OSトランジスタ8511とからなるCMOSインバータ
に流れる貫通電流IAのピーク値及びpMOSトランジ
スタ8411とnMOSトランジスタ8611とからなるC
MOSインバータに流れる貫通電流IBのピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211を動作さ
せる場合よりも小さくなる。他のメモリセルについて
も、同様のことが言える。
【0196】したがって、この第6実施例によれば、書
込み時、記憶データを書き替える場合においても、電源
電圧VCCの下降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑
え、周辺回路における誤動作の発生を避け、動作の安定
性を確保することができる。
【0197】また、この第6実施例によれば、メモリセ
ル8211、821n、82m1、82mnの記憶データを書き
替える場合、前述のように、メモリセル8211、8
1n、82m1、82mnに流れる貫通電流のピーク値は、
電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSS
を低電圧側の電源電圧としてメモリセル8211、8
1n、82m1、82mnを動作させる場合よりも小さくな
るので、電源配線891、89m、1111、111mの抵
抗値を大きくしても、これら電源配線891、89m、1
111、111mの電圧降下は大きくならないので、これ
ら電源配線891、89m、1111、111mの線幅を小
さくし、セルサイズを小さくし、チップ面積の縮小化を
図ることができる。
【0198】また、この第6実施例によれば、メモリセ
ル高電圧側電源電圧制御回路115 1、115mを構成す
るレベルシフト回路をショットキー・バリア・ダイオー
ド1131、1141、113m、114mで構成すると共
に、メモリセル低電圧側電源電圧制御回路1191、1
19mを構成するレベルシフト回路をショットキー・バ
リア・ダイオード1171、1181、117m、118m
で構成するとしているので、チップ面積を第3実施例の
場合よりも小さくすることができる。
【0199】第7実施例・・図14 図14は本発明の第7実施例の要部を示す回路図であ
り、本発明の第7実施例が備えるメモリセルを示してい
る。即ち、本発明の第7実施例は、図14に示すメモリ
セルを設け、その他の部分については、従来周知のよう
に構成するというものである。
【0200】この図14に示すメモリセルは、電源配線
1と、pMOSトランジスタ6、7のソースとの間に、
それぞれ、ショットキー・バリア・ダイオード121、
122を順方向に接続し、その他については、図17に
示すメモリセルと同様に構成したものである。
【0201】このメモリセルにおいては、書込み時、p
MOSトランジスタ6及びnMOSトランジスタ8が共
にオン状態とされる場合、pMOSトランジスタ6のソ
ース電圧は、VCC−VFとなる。
【0202】また、pMOSトランジスタ7及びnMO
Sトランジスタ9が共にオン状態とされる場合、pMO
Sトランジスタ7のソース電圧は、VCC−VFとな
る。
【0203】ここに、例えば、このメモリセルが「1」
を記憶している場合において、この「1」が「0」に書
き替えられる場合、まず、ビット線BL、/BL=Hレ
ベルの状態で、ワード線WL=Hレベルとされ、nMO
Sトランジスタ10、11=オンとされた後、ビット線
/BL=Hレベルのまま、ビット線BL=Lレベルとさ
れる。
【0204】この結果、ノード12=Lレベル、ノード
13=Hレベル、pMOSトランジスタ6=オフ、nM
OSトランジスタ8=オン、pMOSトランジスタ7=
オン、nMOSトランジスタ9=オフとされる。
【0205】次に、ワード線WL=Lレベル、nMOS
トランジスタ10、11=オフとされて、「1」から
「0」への書き替えが完了し、次の書き替えが行われる
まで、pMOSトランジスタ6=オフ、nMOSトラン
ジスタ8=オン、pMOSトランジスタ7=オン、nM
OSトランジスタ9=オフ、ノード12=Lレベル、ノ
ード13=Hレベルの状態が維持される。
【0206】ここに、このメモリセルのうち、pMOS
トランジスタ6、7及びnMOSトランジスタ8、9の
部分は、高電圧側の電源電圧をVCC−VF、低電圧側
の電源電圧をVSSとして動作する。
【0207】この結果、このメモリセルの記憶データを
書き替える場合、ショットキー・バリア・ダイオード1
21と、pMOSトランジスタ6と、nMOSトランジ
スタ8とからなるインバータ123に流れる貫通電流の
ピーク値及びショットキー・バリア・ダイオード122
と、pMOSトランジスタ7と、nMOSトランジスタ
9とからなるインバータ124に流れる貫通電流のピー
ク値は、ショットキー・バリア・ダイオード121、1
22を設けない場合に比較して、小さくなる。
【0208】したがって、この第7実施例によれば、書
込み時、記憶データを書き替える場合、電源電圧VCC
の下降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、周辺回
路における誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保す
ることができる。
【0209】また、この第7実施例によれば、記憶デー
タを書き替える場合、前述のように、メモリセルに流れ
る貫通電流のピーク値は、電源電圧VCCを高電圧側の
電源電圧、電源電圧VSSを低電圧側の電源電圧として
メモリセルを動作させる場合よりも小さくなるので、電
源配線1、2の抵抗値を大きくしても、これら電源配線
1、2の電圧降下は大きくならないので、これら電源配
線1、2の線幅を小さくし、セルサイズを小さくし、チ
ップ面積の縮小化を図ることができる。
【0210】第8実施例・・図15 図15は本発明の第8実施例の要部を示す回路図であ
り、本発明の第8実施例が備えるメモリセルを示してい
る。即ち、本発明の第8実施例は、図15に示すメモリ
セルを設け、その他の部分については、従来周知のよう
に構成するというものである。
【0211】この図15に示すメモリセルは、nMOS
トランジスタ8、9のソースと、電源配線2との間に、
それぞれ、ショットキー・バリア・ダイオード126、
127を順方向に接続し、その他については、図17に
示すメモリセルと同様に構成したものである。
【0212】このメモリセルにおいては、書込み時、p
MOSトランジスタ6及びnMOSトランジスタ8が共
にオン状態とされる場合、nMOSトランジスタ8のソ
ース電圧は、VFとなる。
【0213】また、pMOSトランジスタ7及びnMO
Sトランジスタ9が共にオン状態とされる場合、nMO
Sトランジスタ9のソース電圧は、VFとなる。
【0214】ここに、例えば、このメモリセルが「1」
を記憶している場合において、この「1」が「0」に書
き替えられる場合、まず、ビット線BL、/BL=Hレ
ベルの状態で、ワード線WL=Hレベルとされ、nMO
Sトランジスタ10、11=オンとされた後、ビット線
/BL=Hレベルのまま、ビット線BL=Lレベルとさ
れる。
【0215】この結果、ノード12=Lレベル、ノード
13=Hレベル、pMOSトランジスタ6=オフ、nM
OSトランジスタ8=オン、pMOSトランジスタ7=
オン、nMOSトランジスタ9=オフとされる。
【0216】次に、ワード線WL=Lレベル、nMOS
トランジスタ10、11=オフとされて、「1」から
「0」への書き替えが完了し、次の書き替えが行われる
まで、pMOSトランジスタ6=オフ、nMOSトラン
ジスタ8=オン、pMOSトランジスタ7=オン、nM
OSトランジスタ9=オフ、ノード12=Lレベル、ノ
ード13=Hレベルの状態が維持される。
【0217】ここに、このメモリセルのうち、pMOS
トランジスタ6、7及びnMOSトランジスタ8、9の
部分は、高電圧側の電源電圧をVCC、低電圧側の電源
電圧をVFとして動作することになる。
【0218】この結果、このメモリセルの記憶データを
書き替える場合、pMOSトランジスタ6と、nMOS
トランジスタ8と、ショットキー・バリア・ダイオード
126とからなるインバータ128に流れる貫通電流の
ピーク値及びpMOSトランジスタ7と、nMOSトラ
ンジスタ9と、ショットキー・バリア・ダイオード12
7とからなるインバータ129に流れる貫通電流のピー
ク値は、ショットキー・バリア・ダイオード126、1
27を設けない場合に比較して、小さくなる。
【0219】したがって、この第8実施例によれば、書
込み時、記憶データを書き替える場合、電源電圧VCC
の下降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、周辺回
路における誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保す
ることができる。
【0220】また、この第8実施例によれば、記憶デー
タを書き替える場合、前述のように、メモリセルに流れ
る貫通電流のピーク値は、電源電圧VCCを高電圧側の
電源電圧、電源電圧VSSを低電圧側の電源電圧として
メモリセルを動作させる場合よりも小さくなるので、電
源配線1、2の抵抗値を大きくしても、これら電源配線
1、2の電圧降下は大きくならないので、これら電源配
線1、2の線幅を小さくし、セルサイズを小さくし、チ
ップ面積の縮小化を図ることができる。
【0221】第9実施例・・図16 図16は本発明の第9実施例の要部を示す回路図であ
り、本発明の第9実施例が備えるメモリセルを示してい
る。即ち、本発明の第9実施例は、図16に示すメモリ
セルを設け、その他の部分については、従来周知のよう
に構成するというものである。
【0222】このメモリセルにおいては、電源配線1と
pMOSトランジスタ6、7のソースとの間に、それぞ
れ、ショットキー・バリア・ダイオード121、122
が順方向に接続されている。
【0223】また、nMOSトランジスタ8、9のソー
スと電源配線2との間に、それぞれ、ショットキー・バ
リア・ダイオード126、127が順方向に接続されて
いる。その他については、図17に示すメモリセルと同
様に構成されている。
【0224】このメモリセルにおいては、書込み時、p
MOSトランジスタ6及びnMOSトランジスタ8が共
にオン状態とされる場合、pMOSトランジスタ6のソ
ース電圧は、VCC−VFとなり、nMOSトランジス
タ8のソース電圧は、VFとなる。
【0225】また、pMOSトランジスタ7及びnMO
Sトランジスタ9が共にオン状態とされる場合、pMO
Sトランジスタ7のソース電圧は、VCC−VFとな
り、nMOSトランジスタ9のソース電圧は、VFとな
る。
【0226】ここに、例えば、このメモリセルが「1」
を記憶している場合において、この「1」が「0」に書
き替えられる場合、まず、ビット線BL、/BL=Hレ
ベルの状態で、ワード線WL=Hレベルとされ、nMO
Sトランジスタ10、11=オンとされた後、ビット線
/BL=Hレベルのまま、ビット線BL=Lレベルとさ
れる。
【0227】この結果、ノード12=Lレベル、ノード
13=Hレベル、pMOSトランジスタ6=オフ、nM
OSトランジスタ8=オン、pMOSトランジスタ7=
オン、nMOSトランジスタ9=オフとされる。
【0228】次に、ワード線WL=Lレベル、nMOS
トランジスタ10、11=オフとされて、「1」から
「0」への書き替えが完了し、次の書き替えが行われる
まで、pMOSトランジスタ6=オフ、nMOSトラン
ジスタ8=オン、pMOSトランジスタ7=オン、nM
OSトランジスタ9=オフ、ノード12=Lレベル、ノ
ード13=Hレベルの状態が維持される。
【0229】ここに、このメモリセルのうち、pMOS
トランジスタ6、7及びnMOSトランジスタ8、9の
部分は、高電圧側の電源電圧をVCC−VF、低電圧側
の電源電圧をVFとして動作することになる。
【0230】この結果、このメモリセルの記憶データを
書き替える場合、ショットキー・バリア・ダイオード1
21と、pMOSトランジスタ6と、nMOSトランジ
スタ8と、ショットキー・バリア・ダイオード126と
からなるインバータ131に流れる貫通電流のピーク値
及びショットキー・バリア・ダイオード122と、pM
OSトランジスタ7と、nMOSトランジスタ9と、シ
ョットキー・バリア・ダイオード127とからなるイン
バータ132に流れる貫通電流のピーク値は、ショット
キー・バリア・ダイオード121、122、126、1
27を設けない場合に比較して、小さくなる。
【0231】したがって、この第9実施例によれば、書
込み時、記憶データを書き替える場合、電源電圧VCC
の下降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑え、周辺回
路における誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保す
ることができる。
【0232】また、この第9実施例によれば、記憶デー
タを書き替える場合、前述のように、メモリセルに流れ
る貫通電流のピーク値は、電源電圧VCCを高電圧側の
電源電圧、電源電圧VSSを低電圧側の電源電圧として
メモリセルを動作させる場合よりも小さくなるので、電
源配線1、2の抵抗値を大きくしても、これら電源配線
1、2の電圧降下は大きくならないので、これら電源配
線1、2の線幅を小さくし、セルサイズを小さくし、チ
ップ面積の縮小化を図ることができる。
【0233】
【発明の効果】
第1の発明・・図1 本発明中、第1の発明によれば、メモリセル高電圧側電
源電圧制御回路20を設け、メモリセル19は、データ
の書込み時、電源電圧VCCを低電圧側に所定電圧だけ
レベルシフトしてなる電圧を高電圧側の電源電圧、電源
電圧VSSを低電圧側の電源電圧として動作するように
構成したことにより、メモリセル19の記憶データを書
き替える場合、メモリセル19に流れる貫通電流のピー
ク値を、電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電
圧VSSを低電圧側の電源電圧としてメモリセル19を
動作させる場合よりも小さくし、電源電圧VCCの下降
及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑えることができる
ので、周辺回路18における誤動作の発生を避け、動作
の安定性を確保することができる。
【0234】また、この第1の発明によれば、メモリセ
ル19の記憶データを書き替える場合、メモリセル19
に流れる貫通電流のピーク値を、電源電圧VCCを高電
圧側の電源電圧、電源電圧VSSを低電圧側の電源電圧
としてメモリセル19を動作させる場合よりも小さくす
ることができるので、電源配線16、17の抵抗値を大
きくしても、これら電源配線16、17の電圧降下は大
きくならないので、電源配線16、17の線幅を小さく
し、セルサイズを小さくし、チップ面積の縮小化を図る
ことができる。
【0235】第2の発明・・図2 本発明中、第2の発明によれば、メモリセル低電圧側電
源電圧制御回路27を設け、メモリセル26は、電源電
圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSSを高電
圧側に所定電圧だけレベルシフトしてなる電圧を低電圧
側の電源電圧として動作するように構成したことによ
り、メモリセル26の記憶データを書き替える場合、メ
モリセル26に流れる貫通電流のピーク値を、電源電圧
VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSSを低電圧
側の電源電圧としてメモリセル26を動作させる場合よ
りも小さくし、電源電圧VCCの下降及び電源電圧VS
Sの上昇を小さく抑えることができるので、周辺回路2
5における誤動作の発生を避け、動作の安定性を確保す
ることができる。
【0236】また、この第2の発明によれば、メモリセ
ル26の記憶データを書き替える場合、メモリセル26
に流れる貫通電流のピーク値を、電源電圧VCCを高電
圧側の電源電圧、電源電圧VSSを低電圧側の電源電圧
としてメモリセル26を動作させる場合よりも小さくす
ることができるので、電源配線22、24の抵抗値を大
きくしても、これら電源配線22、24の電圧降下は大
きくならないので、電源配線22、24の線幅を小さく
し、セルサイズを小さくし、チップ面積の縮小化を図る
ことができる。
【0237】第3の発明・・図3 本発明中、第3の発明によれば、メモリセル高電圧側電
源電圧制御回路35及びメモリセル低電圧側電源電圧制
御回路36を設け、メモリセル34は、データの書込み
時、電源電圧VCCを低電圧側に所定電圧だけレベルシ
フトしてなる電圧を高電圧側の電源電圧、電源電圧VS
Sを高電圧側に所定電圧だけレベルシフトしてなる電圧
を低電圧側の電源電圧として動作するように構成したこ
とにより、メモリセル34の記憶データを書き替える場
合、メモリセル34に流れる貫通電流のピーク値を、電
源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源電圧VSSを
低電圧側の電源電圧としてメモリセル34を動作させる
場合よりも小さくし、電源電圧VCCの下降及び電源電
圧VSSの上昇を小さく抑えることができるので、周辺
回路33における誤動作の発生を避け、動作の安定性を
確保することができる。
【0238】また、この第3の発明によれば、メモリセ
ル34の記憶データを書き替える場合、メモリセル34
に流れる貫通電流のピーク値を、電源電圧VCCを高電
圧側の電源電圧、電源電圧VSSを低電圧側の電源電圧
としてメモリセル34を動作させる場合よりも小さくす
ることができるので、電源配線31、32の抵抗値を大
きくしても、これら電源配線31、32の電圧降下は大
きくならないので、電源配線31、32の線幅を小さく
し、セルサイズを小さくし、チップ面積の縮小化を図る
ことができる。
【0239】第4の発明・・図4 本発明中、第4の発明によれば、レベルシフト回路4
3、44を設け、pMISトランジスタ45がオン状態
とされる場合には、そのソース電圧を、電源電圧VCC
を低電圧側に所定電圧だけレベルシフトした電圧とし、
pMISトランジスタ46がオン状態とされる場合に
は、そのソース電圧を、電源電圧VCCを低電圧側に所
定電圧だけレベルシフトした電圧とするように構成した
ことにより、記憶データを書き替える場合、メモリセル
に流れる貫通電流のピーク値を、電源電圧VCCを高電
圧側の電源電圧、電源電圧VSSを低電圧側の電源電圧
としてメモリセルを動作させる場合よりも小さくし、電
源電圧VCCの下降及び電源電圧VSSの上昇を小さく
抑えることができるので、周辺回路における誤動作の発
生を避け、動作の安定性を確保することができる。
【0240】また、この第4の発明によれば、記憶デー
タを書き替える場合、メモリセルに流れる貫通電流のピ
ーク値を、電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源
電圧VSSを低電圧側の電源電圧としてメモリセルを動
作させる場合よりも小さくすることができるので、電源
配線38、39の抵抗値を大きくしても、これら電源配
線38、39の電圧降下は大きくならないので、電源配
線38、39の線幅を小さくし、セルサイズを小さく
し、チップ面積の縮小化を図ることができる。
【0241】第5の発明・・図5 本発明中、第5の発明によれば、レベルシフト回路6
1、62を設け、nMISトランジスタ59がオン状態
とされる場合には、そのソース電圧を、電源電圧VSS
を高電圧側に所定電圧だけレベルシフトした電圧とし、
nMISトランジスタ60がオン状態とされる場合に
は、そのソース電圧を、電源電圧VSSを高電圧側に所
定電圧だけレベルシフトした電圧とするように構成した
ことにより、記憶データを書き替える場合、メモリセル
に流れる貫通電流のピーク値を、電源電圧VCCを高電
圧側の電源電圧、電源電圧VSSを低電圧側の電源電圧
としてメモリセルを動作させる場合よりも小さくし、電
源電圧VCCの下降及び電源電圧VSSの上昇を小さく
抑えることができるので、周辺回路における誤動作の発
生を避け、動作の安定性を確保することができる。
【0242】また、この第5の発明によれば、記憶デー
タを書き替える場合、メモリセルに流れる貫通電流のピ
ーク値を、電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源
電圧VSSを低電圧側の電源電圧としてメモリセルを動
作させる場合よりも小さくすることができるので、電源
配線52、53の抵抗値を大きくしても、これら電源配
線52、53の電圧降下は大きくならないので、電源配
線52、53の線幅を小さくし、セルサイズを小さく
し、チップ面積の縮小化を図ることができる。記憶デー
タを書き替える場合、電源電圧VCCの下降及び電源電
圧VSSの上昇を小さく抑え、周辺回路における誤動作
の発生を避け、動作の安定性を確保することができる。
【0243】第6の発明・・図6 本発明中、第6の発明によれば、レベルシフト回路7
1、72、77、78を設け、pMISトランジスタ7
3がオン状態とされる場合には、そのソース電圧を、電
源電圧VCCを低電圧側に所定電圧だけレベルシフトし
た電圧とし、pMISトランジスタ74がオン状態とさ
れる場合には、そのソース電圧を、電源電圧VCCを低
電圧側に所定電圧だけレベルシフトされた電圧とし、n
MISトランジスタ75がオン状態とされる場合には、
そのソース電圧を、電源電圧VSSを高電圧側に所定電
圧だけレベルシフトした電圧とし、nMISトランジス
タ76がオン状態とされる場合には、そのソース電圧
を、電源電圧VSSを高電圧側に所定電圧だけレベルシ
フトされた電圧とするように構成したことにより、記憶
データを書き替える場合、メモリセルに流れる貫通電流
のピーク値を、電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、
電源電圧VSSを低電圧側の電源電圧としてメモリセル
を動作させる場合よりも小さくし、電源電圧VCCの下
降及び電源電圧VSSの上昇を小さく抑えることができ
るので、周辺回路における誤動作の発生を避け、動作の
安定性を確保することができる。
【0244】また、この第6の発明によれば、記憶デー
タを書き替える場合、メモリセルに流れる貫通電流のピ
ーク値を、電源電圧VCCを高電圧側の電源電圧、電源
電圧VSSを低電圧側の電源電圧としてメモリセルを動
作させる場合よりも小さくすることができるので、電源
配線66、67の抵抗値を大きくしても、これら電源配
線66、67の電圧降下は大きくならないので、電源配
線66、67の線幅を小さくし、セルサイズを小さく
し、チップ面積の縮小化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明中、第1の発明の原理説明図である。
【図2】本発明中、第2の発明の原理説明図である。
【図3】本発明中、第3の発明の原理説明図である。
【図4】本発明中、第4の発明の原理説明図である。
【図5】本発明中、第5の発明の原理説明図である。
【図6】本発明中、第6の発明の原理説明図である。
【図7】本発明の第1実施例の要部を示す回路図であ
る。
【図8】本発明の第1実施例の書込み動作を説明するた
めの波形図である。
【図9】本発明の第2実施例の要部を示す回路図であ
る。
【図10】本発明の第3実施例の要部を示す回路図であ
る。
【図11】本発明の第4実施例の要部を示す回路図であ
る。
【図12】本発明の第5実施例の要部を示す回路図であ
る。
【図13】本発明の第6実施例の要部を示す回路図であ
る。
【図14】本発明の第7実施例の要部を示す回路図であ
る。
【図15】本発明の第8実施例の要部を示す回路図であ
る。
【図16】本発明の第9実施例の要部を示す回路図であ
る。
【図17】従来のSRAMが設けているCMOS形のメ
モリセルを示す回路図である。
【図18】図17に示すメモリセルの書込み動作及び問
題点を説明するための波形図である。
【符号の説明】
(図1) 15〜17 電源配線 18 周辺回路 19 CMIS形のメモリセル 20 メモリセル高電圧側電源電圧制御回路 (図2) 22〜24 電源配線 25 周辺回路 26 CMIS形のメモリセル 27 メモリセル低電圧側電源電圧制御回路 (図3) 29〜32 電源配線 33 周辺回路 34 CMIS形のメモリセル 35 メモリセル高電圧側電源電圧制御回路 36 メモリセル低電圧側電源電圧制御回路 (図4) 43、44 レベルシフト回路 (図5) 61、62 レベルシフト回路 (図6) 71、72、77、78 レベルシフト回路

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】外部電源回路又は内部電源回路から第1の
    電源電圧(VCC)が供給される第1の電源配線(1
    5)と、 前記第1の電源電圧(VCC)よりも低電圧の第2の電
    源電圧(VSS)に設定される第2の電源配線(16)
    と、 前記第1の電源配線(15)の電圧を高電圧側の電源電
    圧、前記第2の電源配線(16)の電圧を低電圧側の電
    源電圧として動作する周辺回路(18)と、 2個のCMISインバータをリング接続してなるフリッ
    プフロップ回路を備えてなり、前記第2の電源配線(1
    6)の電圧を低電圧側の電源電圧として動作するCMI
    S形のメモリセル(19)と、 このメモリセル(19)に高電圧側の電源電圧を供給す
    るための第3の電源配線(17)と、 一端(20A)を前記第1の電源配線(15)に接続さ
    れ、他端(20B)を前記第3の電源配線(17)に接
    続され、前記メモリセル(19)からのデータの読出し
    時には、前記第3の電源配線(17)に前記第1の電源
    電圧(VCC)を供給し、前記メモリセル(19)に対
    するデータの書込み時には、前記第3の電源配線(1
    7)の電圧を、前記第1の電源電圧(VCC)を低電圧
    側に所定電圧だけレベルシフトした電圧に制御するメモ
    リセル高電圧側電源電圧制御回路(20)とを含んで構
    成されていることを特徴とするスタティックRAM。
  2. 【請求項2】前記メモリセル高電圧側電源電圧制御回路
    (20)は、前記第1の電源配線(15)と前記第3の
    電源配線(17)との間に接続され、前記メモリセル
    (19)からのデータの読出し時には導通状態とされ、
    前記メモリセル(19)に対するデータの書込み時には
    非導通状態とされる接続スイッチ素子と、前記第1の電
    源配線(15)と前記第3の電源配線(17)との間に
    接続されたレベルシフト回路とで構成されていることを
    特徴とする請求項1記載のスタティックRAM。
  3. 【請求項3】外部電源回路又は内部電源回路から第1の
    電源電圧(VCC)が供給される第1の電源配線(2
    2)と、 前記第1の電源電圧(VCC)よりも低電圧の第2の電
    源電圧(VSS)に設定される第2の電源配線(23)
    と、 前記第1の電源配線(22)の電圧を高電圧側の電源電
    圧、前記第2の電源配線(23)の電圧を低電圧側の電
    源電圧として動作する周辺回路(25)と、 2個のCMISインバータをリング接続してなるフリッ
    プフロップ回路を備えてなり、前記第1の電源配線(2
    2)の電圧を高電圧側の電源電圧として動作するCMI
    S形のメモリセル(26)と、 このメモリセル(26)に低電圧側の電源電圧を供給す
    るための第3の電源配線(24)と、 一端(27A)を前記第2の電源配線(23)に接続さ
    れ、他端(27B)を前記第3の電源配線(24)に接
    続され、前記メモリセル(26)からのデータの読出し
    時には前記第3の電源配線(24)の電圧を前記第2の
    電源電圧(VSS)に設定し、前記メモリセル(26)
    に対するデータの書込み時には、前記第3の電源配線
    (24)の電圧を、前記第2の電源電圧(VSS)を高
    電圧側に所定電圧だけレベルシフトした電圧に制御する
    メモリセル低電圧側電源電圧制御回路(27)とを含ん
    で構成されていることを特徴とするスタティックRA
    M。
  4. 【請求項4】前記メモリセル低電圧側電源電圧制御回路
    (27)は、前記第3の電源配線(24)と前記第2の
    電源配線(23)との間に接続され、前記メモリセル
    (26)からのデータの読出し時には導通状態とされ、
    前記メモリセル(26)に対するデータの書込み時には
    非導通状態とされる接続スイッチ素子と、前記第3の電
    源配線(24)と前記第2の電源配線(23)との間に
    接続されたレベルシフト回路とで構成されていることを
    特徴とする請求項3記載のスタティックRAM。
  5. 【請求項5】外部電源回路又は内部電源回路から第1の
    電源電圧(VCC)が供給される第1の電源配線(2
    9)と、 前記第1の電源電圧(VCC)よりも低電圧の第2の電
    源電圧(VSS)に設定される第2の電源配線(30)
    と、 前記第1の電源配線(29)の電圧を高電圧側の電源電
    圧、前記第2の電源配線(30)の電圧を低電圧側の電
    源電圧として動作する周辺回路(33)と、 2個のCMISインバータをリング接続してなるフリッ
    プフロップ回路を備えてなるCMIS形のメモリセル
    (34)と、 このメモリセル(34)に高電圧側の電源電圧を供給す
    るための第3の電源配線(31)と、 このメモリセル(34)に低電圧側の電源電圧を供給す
    るための第4の電源配線(32)と、 一端(35A)を前記第1の電源配線(29)に接続さ
    れ、他端(35B)を前記第3の電源配線(31)に接
    続され、前記メモリセル(34)からのデータの読出し
    時には、前記第3の電源配線(31)に前記第1の電源
    電圧(VCC)を供給し、前記メモリセル(34)に対
    するデータの書込み時には、前記第3の電源配線(3
    1)の電圧を、前記第1の電源電圧(VCC)を低電圧
    側に所定電圧だけレベルシフトした電圧に制御するメモ
    リセル高電圧側電源電圧制御回路(35)と、 一端(36A)を前記第2の電源配線(30)に接続さ
    れ、他端(36B)を前記第4の電源配線(32)に接
    続され、前記メモリセル(34)からのデータの読出し
    時には前記第4の電源配線(32)の電圧を前記第2の
    電源電圧(VSS)に設定し、前記メモリセル(34)
    に対するデータの書込み時には、前記第4の電源配線
    (32)の電圧を、前記第2の電源電圧(VSS)を高
    電圧側に所定電圧だけレベルシフトした電圧に制御する
    メモリセル低電圧側電源電圧制御回路(36)とを含ん
    で構成されていることを特徴とするスタティックRA
    M。
  6. 【請求項6】前記メモリセル高電圧側電源電圧制御回路
    (35)は、前記第1の電源配線(29)と前記第3の
    電源配線(31)との間に接続され、前記メモリセル
    (34)からのデータの読出し時には導通状態とされ、
    前記メモリセル(34)に対するデータの書込み時には
    非導通状態とされる接続スイッチ素子と、前記第1の電
    源配線(29)と前記第3の電源配線(31)との間に
    接続されたレベルシフト回路とで構成されていることを
    特徴とする請求項5記載のスタティックRAM。
  7. 【請求項7】前記メモリセル低電圧側電源電圧制御回路
    (36)は、前記第4の電源配線(32)と前記第2の
    電源配線(30)との間に接続され、前記メモリセル
    (34)からのデータの読出し時には導通状態とされ、
    前記メモリセル(34)に対するデータの書込み時には
    非導通状態とされる接続スイッチ素子と、前記第4の電
    源配線(32)と前記第2の電源配線(30)との間に
    接続されたレベルシフト回路とで構成されていることを
    特徴とする請求項5記載のスタティックRAM。
  8. 【請求項8】前記接続スイッチ素子は、pMISトラン
    ジスタで構成されていることを特徴とする請求項2又は
    6記載のスタティックRAM。
  9. 【請求項9】前記接続スイッチ素子は、nMISトラン
    ジスタで構成されていることを特徴とする請求項4又は
    7記載のスタティックRAM。
  10. 【請求項10】前記レベルシフト回路は、1個の一方向
    性素子又は直列接続された複数の一方向性素子で構成さ
    れていることを特徴とする請求項2、4、6、7、8又
    は9記載のスタティックRAM。
  11. 【請求項11】前記一方向性素子は、ショットキー・バ
    リア・ダイオードであることを特徴とする請求項10記
    載のスタティックRAM。
  12. 【請求項12】前記一方向性素子は、ダイオード接続さ
    れたMISトランジスタであることを特徴とする請求項
    10記載のスタティックRAM。
  13. 【請求項13】一端(43A)を外部電源回路又は内部
    電源回路から第1の電源電圧(VCC)が供給される第
    1の電源配線(38)に接続され、前記第1の電源電圧
    (VCC)を低電圧側に所定電圧だけレベルシフトする
    第1のレベルシフト回路(43)と、 ソースを前記第1のレベルシフト回路(43)の他端
    (43B)に接続された第1のpMISトランジスタ
    (45)と、 ドレインを前記第1のpMISトランジスタ(45)の
    ドレインに接続され、ソースを前記第1の電源電圧(V
    CC)よりも低電圧の第2の電源電圧(VSS)に設定
    される第2の電源配線(39)に接続された第1のnM
    ISトランジスタ(47)と、 一端(44A)を前記第1の電源配線(38)に接続さ
    れ、前記第1の電源電圧(VCC)を低電圧側に所定電
    圧だけレベルシフトする第2のレベルシフト回路(4
    4)と、 ソースを前記第2のレベルシフト回路(44)の他端
    (44B)に接続された第2のpMISトランジスタ
    (46)と、 ドレインを前記第2のpMISトランジスタ(46)の
    ドレインに接続され、ソースを前記第2の電源配線(3
    9)に接続された第2のnMISトランジスタ(48)
    と、 ドレインを一方のビット線(BL)に接続され、ゲート
    をワード線(WL)に接続され、ソースを前記第1のp
    MISトランジスタ(45)のドレインと前記第1のn
    MISトランジスタ(47)のドレインとの接続点、前
    記第2のpMISトランジスタ(46)のゲート及び前
    記第2のnMISトランジスタ(48)のゲートに接続
    された第3のnMISトランジスタ(49)と、 ドレインを他方のビット線(/BL)に接続され、ゲー
    トを前記ワード線(WL)に接続され、ソースを前記第
    2のpMISトランジスタ(46)のドレインと前記第
    2のnMISトランジスタ(48)のドレインとの接続
    点、前記第1のpMISトランジスタ(45)のゲート
    及び前記第1のnMISトランジスタ(47)のゲート
    に接続された第4のnMISトランジスタ(50)とか
    らなるメモリセルを含んで構成されていることを特徴と
    するスタティックRAM。
  14. 【請求項14】前記第1、第2のレベルシフト回路(4
    3、44)は、それぞれ、1個の一方向性素子又は直列
    接続された複数の一方向性素子で構成されていることを
    特徴とする請求項13記載のスタティックRAM。
  15. 【請求項15】ソースを外部電源回路又は内部電源回路
    から第1の電源電圧(VCC)が供給される第1の電源
    配線(52)に接続された第1のpMISトランジスタ
    (57)と、 ドレインを前記第1のpMISトランジスタ(57)の
    ドレインに接続された第1のnMISトランジスタ(5
    9)と、 一端(61A)を前記第1のnMISトランジスタ(5
    9)のソースに接続され、他端(61B)を前記第1の
    電源電圧(VCC)よりも低電圧の第2の電源電圧(V
    SS)に設定される第2の電源配線(53)に接続さ
    れ、前記第2の電源電圧(VSS)を高電圧側に所定電
    圧だけレベルシフトする第1のレベルシフト回路(6
    1)と、 ソースを前記第1の電源配線(52)に接続された第2
    のpMISトランジスタ(58)と、 ドレインを前記第2のpMISトランジスタ(58)の
    ドレインに接続された第2のnMISトランジスタ(6
    0)と、 一端(62A)を前記第2のnMISトランジスタ(6
    0)のソースに接続され、他端(62B)を前記第2の
    電源配線(53)に接続され、前記第2の電源電圧(V
    SS)を高電圧側に所定電圧だけレベルシフトする第2
    のレベルシフト回路(62)と、 ドレインを一方のビット線(BL)に接続され、ゲート
    をワード線(WL)に接続され、ソースを前記第1のp
    MISトランジスタ(57)のドレインと前記第1のn
    MISトランジスタ(59)のドレインとの接続点、前
    記第2のpMISトランジスタ(58)のゲート及び前
    記第2のnMISトランジスタ(60)のゲートに接続
    された第3のnMISトランジスタ(63)と、 ドレインを他方のビット線(/BL)に接続され、ゲー
    トを前記ワード線(WL)に接続され、ソースを前記第
    2のpMISトランジスタ(58)のドレインと前記第
    2のnMISトランジスタ(60)のドレインとの接続
    点、前記第1のpMISトランジスタ(57)のゲート
    及び前記第1のnMISトランジスタ(59)のゲート
    に接続された第4のnMISトランジスタ(64)とか
    らなるメモリセルを含んで構成されていることを特徴と
    するスタティックRAM。
  16. 【請求項16】前記第1、第2のレベルシフト回路(6
    1、62)は、それぞれ、1個の一方向性素子又は直列
    接続された複数の一方向性素子で構成されていることを
    特徴とする請求項15記載のスタティックRAM。
  17. 【請求項17】一端(71A)を外部電源回路又は内部
    電源回路から第1の電源電圧(VCC)が供給される第
    1の電源配線(66)に接続され、前記第1の電源電圧
    (VCC)を低電圧側に所定電圧だけレベルシフトする
    第1のレベルシフト回路(71)と、 ソースを前記第1のレベルシフト回路(71)の他端
    (71B)に接続された第1のpMISトランジスタ
    (73)と、 ドレインを前記第1のpMISトランジスタ(73)の
    ドレインに接続された第1のnMISトランジスタ(7
    5)と、 一端(77A)を前記第1のnMISトランジスタ(7
    5)のソースに接続され、他端(77B)を前記第1の
    電源電圧(VCC)よりも低電圧の第2の電源電圧(V
    SS)に設定される第2の電源配線(67)に接続さ
    れ、前記第2の電源電圧(VSS)を高電圧側に所定電
    圧だけレベルシフトする第2のレベルシフト回路(7
    7)と、 一端(72A)を前記第1の電源配線(66)に接続さ
    れ、前記第1の電源電圧(VCC)を低電圧側に所定電
    圧だけレベルシフトする第3のレベルシフト回路(7
    2)と、 ソースを前記第2のレベルシフト回路(72)の他端
    (72B)に接続された第2のpMISトランジスタ
    (74)と、 ドレインを前記第2のpMISトランジスタ(74)の
    ドレインに接続された第2のnMISトランジスタ(7
    6)と、 一端(78A)を前記第2のnMISトランジスタ(7
    6)のソースに接続され、他端(78B)を前記第2の
    電源配線(67)に接続され、前記第2の電源電圧(V
    SS)を高電圧側に所定電圧だけレベルシフトする第4
    のレベルシフト回路(78)と、 ドレインを一方のビット線(BL)に接続され、ゲート
    をワード線(WL)に接続され、ソースを前記第1のp
    MISトランジスタ(73)のドレインと前記第1のn
    MISトランジスタ(75)のドレインとの接続点、前
    記第2のpMISトランジスタ(74)のゲート及び前
    記第2のnMISトランジスタ(76)のゲートに接続
    された第3のnMISトランジスタ(79)と、 ドレインを他方のビット線(/BL)に接続され、ゲー
    トを前記ワード線(WL)に接続され、ソースを前記第
    2のpMISトランジスタ(74)のドレインと前記第
    2のnMISトランジスタ(76)のドレインとの接続
    点、前記第1のpMISトランジスタ(73)のゲート
    及び前記第1のnMISトランジスタ(75)のゲート
    に接続された第4のnMISトランジスタ(80)とか
    らなるメモリセルを含めて構成されていることを特徴と
    するスタティックRAM。
  18. 【請求項18】前記第1、第2、第3、第4のレベルシ
    フト回路(71、77、72、78)は、それぞれ、1
    個の一方向性素子又は直列接続された複数の一方向性素
    子で構成されていることを特徴とする請求項17記載の
    スタティックRAM。
  19. 【請求項19】前記一方向性素子は、ショットキー・バ
    リア・ダイオードであることを特徴とする請求項18記
    載のスタティックRAM。
  20. 【請求項20】前記一方向性素子は、ダイオード接続さ
    れたMISトランジスタであることを特徴とする請求項
    18記載のスタティックRAM。
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