JPH07140393A - Glass layer thickness correcting device for microscope - Google Patents
Glass layer thickness correcting device for microscopeInfo
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- JPH07140393A JPH07140393A JP29220593A JP29220593A JPH07140393A JP H07140393 A JPH07140393 A JP H07140393A JP 29220593 A JP29220593 A JP 29220593A JP 29220593 A JP29220593 A JP 29220593A JP H07140393 A JPH07140393 A JP H07140393A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡により試料の検
査を行なうときに、検査対象物と対物レンズとの間に介
在するガラス層に対して、その厚みバラツキを補正する
ために用いる顕微鏡用ガラス層厚み補正器に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microscope used for correcting a variation in thickness of a glass layer interposed between an object to be inspected and an objective lens when inspecting a sample with a microscope. The present invention relates to a glass layer thickness corrector.
【０００２】[0002]
【従来の技術】顕微鏡を使用するに際して、例えば、半
導体製造用マスクをガラス面側からクロムパターンを検
査する場合のように、検査対象物の上方に位置するガラ
ス層を介して対象物の観察、検査等を行なうことがあ
る。このような場合、通常、前記ガラス層の厚みはある
一定値であるとして顕微鏡の光学系調整を行なってお
り、ガラス層の厚みがバラツキを有する場合には顕微鏡
が所定の性能を発揮できないため、この厚みバラツキ分
を補正して性能低下を防止する必要がある。2. Description of the Related Art When a microscope is used, for example, when a semiconductor manufacturing mask is inspected for a chrome pattern from the glass surface side, the object is observed through a glass layer located above the object to be inspected, Inspection etc. may be performed. In such a case, usually, the thickness of the glass layer is an optical system adjustment of the microscope as a certain constant value, because the microscope can not exhibit the predetermined performance when the thickness of the glass layer has variations, It is necessary to correct this thickness variation to prevent performance deterioration.
【０００３】前記のようなガラス層を介した顕微鏡の使
用方法の例として、共焦点走査方式レーザ顕微鏡を用い
て、図４に示すように、半導体製造用マスク１をガラス
面２を上方側、すなわち、対物レンズ３側に向けて下面
側のクロムパターン４の検査を行なう場合がある（これ
を以下、バックサイドメジャーと称する）。この場合、
半導体製造用マスク１には６．３５、４．５６、３．８
１ｍｍ等、種々の厚み規格値を有するものがあり、どの
厚みのマスクを検査する場合でも対物レンズから出射さ
れたレーザ光が透過するガラス層の厚みを一定にするた
めに、通常、対物レンズ３とマスク１の間にモノクル５
と称する厚み補正用のガラス板を介装している。例え
ば、厚み６．３５ｍｍのマスクを検査する場合には厚み
３．６５ｍｍのモノクルを介装し、厚み４．５６ｍｍの
マスクを検査する場合には厚み５．４４ｍｍのモノクル
を介装することによって、双方ともレーザ光が透過する
ガラス層全体の厚みは１０ｍｍとなるようにして精度の
高い検査を行なうようにしている。As an example of the method of using the microscope through the glass layer as described above, a confocal scanning type laser microscope is used, as shown in FIG. That is, the chrome pattern 4 on the lower surface side may be inspected toward the objective lens 3 side (hereinafter, referred to as backside measure). in this case,
6.35, 4.56, 3.8 for the semiconductor manufacturing mask 1.
There are those having various thickness standard values such as 1 mm, and in order to make the thickness of the glass layer through which the laser light emitted from the objective lens penetrates constant when inspecting a mask of any thickness, the objective lens 3 is usually used. 5 between mask and mask 1
A glass plate for correcting the thickness referred to as is interposed. For example, when a 6.35 mm thick mask is inspected, a 3.65 mm thick monocle is inserted, and when a 4.56 mm thick mask is inspected, a 5.44 mm thick monocle is inserted. In both cases, the thickness of the entire glass layer through which the laser light is transmitted is set to 10 mm so that highly accurate inspection is performed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、共焦点
走査方式レーザ顕微鏡におけるガラス層の厚み補正に関
しては、モノクル５を使用することにより、異なる厚み
のマスクを測定する際にレーザ光が透過するガラス層全
体の厚みをほぼ一定にしようとする目的は達成できるも
のの、モノクル５自体も固定した厚みを有するものであ
り、マスク元来の製造バラツキである０．１ｍｍ程度の
公差をもモノクル５によって補正することは不可能であ
った。ところが、共焦点走査方式レーザ顕微鏡を用いて
マスクにおけるクロムパターンの検査を行なうといった
高い精度が要求される使用に際しては、０．１ｍｍ程度
の公差を補正できないために解像度が低下する等、顕微
鏡の性能に限界が生じていた。However, regarding the thickness correction of the glass layer in the confocal scanning type laser microscope, by using the monocle 5, the glass layer through which the laser light is transmitted when measuring masks of different thicknesses is used. Although the purpose of making the overall thickness almost constant can be achieved, the monocle 5 itself also has a fixed thickness, and the tolerance of about 0.1 mm which is the original manufacturing variation of the mask is also corrected by the monocle 5. It was impossible. However, in use where high accuracy is required, such as inspecting a chrome pattern on a mask using a confocal scanning laser microscope, the tolerance of about 0.1 mm cannot be corrected, resulting in a decrease in resolution. There was a limit to it.
【０００５】本発明は、前記の課題を解決するためにな
されたものであって、対象物と対物レンズとの間に介在
するガラス層の厚みバラツキを補正することによって、
顕微鏡の性能を最大限に発揮させ得る顕微鏡用ガラス層
厚み補正器を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and corrects the variation in thickness of the glass layer interposed between the object and the objective lens.
An object of the present invention is to provide a glass layer thickness compensator for a microscope that can maximize the performance of the microscope.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明の顕微鏡用ガラス層厚み補正器は、対物レ
ンズの下方の光軸上に該光軸に対して垂直となるように
設置され、前記対物レンズから出射された光を透過する
第１の透光板と、該第１の透光板の下方の光軸上に該第
１の透光板に対して平行となるように設置され、前記光
を透過する第２の透光板とを具備してなり、前記第１の
透光板と第２の透光板との間の空間にはこれら透光板と
同等の屈折率を有する光透過液体が満たされ、前記空間
に前記光透過液体が満たされた状態を保ちつつ、前記第
１、第２の透光板が前記光軸方向に沿って相対移動自在
とされてそれらの相互間隔が調節自在とされていること
を特徴とするものである。In order to achieve the above object, a glass layer thickness corrector for a microscope of the present invention is arranged on an optical axis below an objective lens so as to be perpendicular to the optical axis. A first light transmitting plate that is installed and transmits the light emitted from the objective lens, and is parallel to the first light transmitting plate on the optical axis below the first light transmitting plate. And a second light-transmitting plate that transmits the light, and is provided in a space between the first light-transmitting plate and the second light-transmitting plate. The first and second light transmitting plates are relatively movable along the optical axis direction while being filled with a light transmitting liquid having a refractive index and keeping the space filled with the light transmitting liquid. The mutual distance between them is adjustable.
【０００７】[0007]
【作用】本発明の顕微鏡用ガラス層厚み補正器において
は、対物レンズからの光を透過する第１、第２の透光板
が互いに平行に設置され、該第１、第２の透光板の間の
空間にこれら透光板と同等の屈折率を有する光透過液体
が満たされるとともに、前記第１、第２の透光板が光軸
方向に沿って相対移動自在とされているので、前記第
１、第２の透光板、および前記光透過液体によって全体
がほぼ同一の屈折率を有する光透過層が構成される。そ
して、前記第１、第２の透光板を光軸方向に沿って相対
移動させて前記光透過層全体の厚みを適宜、変化させる
と、これにより対物レンズと対象物との間に位置するガ
ラス層の厚みバラツキを補正することができる。In the microscope glass layer thickness corrector of the present invention, the first and second transparent plates that transmit the light from the objective lens are installed in parallel to each other, and the space between the first and second transparent plates is set. The space is filled with a light-transmitting liquid having the same refractive index as those of the light-transmitting plates, and the first and second light-transmitting plates are relatively movable in the optical axis direction. The first and second light-transmitting plates and the light-transmitting liquid form a light-transmitting layer having substantially the same refractive index as a whole. Then, the first and second light transmitting plates are relatively moved along the optical axis direction to appropriately change the thickness of the entire light transmitting layer, whereby the light transmitting layer is positioned between the objective lens and the object. It is possible to correct the thickness variation of the glass layer.
【０００８】[0008]
【実施例】以下、本発明における顕微鏡用ガラス層厚み
補正器の一実施例を図１ないし図３を参照して説明す
る。なお、本実施例の顕微鏡用ガラス層厚み補正器６
（以下、厚み補正器と略す）は、従来の技術の中で一例
として挙げた共焦点走査方式レーザ顕微鏡に設置して、
半導体製造用マスクにおけるパターン（対象物）のバッ
クサイドメジャーを行なう際に用いるものとして説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the glass layer thickness compensator for microscopes according to the present invention will be described below with reference to FIGS. In addition, the glass layer thickness corrector 6 for a microscope of the present embodiment.
(Hereinafter, it is abbreviated as a thickness corrector.) Is installed in the confocal scanning type laser microscope mentioned as an example in the prior art,
It will be described as being used when performing the backside measure of the pattern (object) in the semiconductor manufacturing mask.
【０００９】まず、共焦点走査方式レーザ顕微鏡につい
て図３を用いて説明する。図３は共焦点走査方式レーザ
顕微鏡７（以下、レーザ顕微鏡と略す）の原理を示す図
であって、レーザ発振器８から出射されたレーザ光Ｓは
ミラー９で反射され、レンズ１０で絞ってピンホール１
１に通される。ピンホール１１を通過したレーザ光Ｓ
は、ビームスプリッタ１２を透過して対物レンズ１３で
収束されて、試料１４に照射される。試料１４の表面で
反射された反射光は、ビームスプリッタ１２で反射さ
れ、ピンホール１５を通過して光電子増倍管１６で受光
および増幅されて、試料１４上のパターン１７が画像と
して捉えられる。First, a confocal scanning laser microscope will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a diagram showing the principle of the confocal scanning type laser microscope 7 (hereinafter, abbreviated as a laser microscope). The laser light S emitted from the laser oscillator 8 is reflected by the mirror 9 and focused by the lens 10 to be pinned. Hall 1
Threaded through 1. Laser light S that has passed through the pinhole 11
Passes through the beam splitter 12, is converged by the objective lens 13, and is applied to the sample 14. The reflected light reflected on the surface of the sample 14 is reflected by the beam splitter 12, passes through the pinhole 15, is received and amplified by the photomultiplier tube 16, and the pattern 17 on the sample 14 is captured as an image.
【００１０】厚み補正器６は、前記構成のレーザ顕微鏡
７において対物レンズ１３と試料１４との間に設置され
るものである。図１は、その全体構成を示す図であっ
て、固定窓１８、可動窓１９、窓駆動機構２１、光透過
液体２０により概略構成されている。The thickness corrector 6 is installed between the objective lens 13 and the sample 14 in the laser microscope 7 having the above structure. FIG. 1 is a diagram showing the overall configuration thereof, which is roughly configured by a fixed window 18, a movable window 19, a window drive mechanism 21, and a light transmitting liquid 20.
【００１１】固定窓１８は、対物レンズ１３の下方にそ
の光軸２２に垂直となるように設置され、対物レンズ１
３から出射されたレーザ光が透過する円盤状の窓部１８
ａ（第１の透光板）と、窓部１８ａの外周に設けられた
円筒状の支持部１８ｂと、その周囲に設けられ、上方が
開口した環状の液体溜め壁部１８ｃとを有し、その全体
がガラスにより一体に成形されたものである。そして、
支持部１８ｂがレーザ顕微鏡７の基台（図示せず）にネ
ジ止め等の手段により固定されることによって、厚み補
正器６全体が対物レンズ１３を下方側から覆うようにレ
ーザ顕微鏡７に保持されるようになっている。The fixed window 18 is installed below the objective lens 13 so as to be perpendicular to the optical axis 22 of the objective lens 13.
Disk-shaped window portion 18 through which the laser light emitted from 3 is transmitted
a (first light-transmitting plate), a cylindrical support portion 18b provided on the outer periphery of the window portion 18a, and an annular liquid reservoir wall portion 18c that is provided around the support portion 18b and has an upper opening. The whole is integrally molded of glass. And
By fixing the supporting portion 18b to the base (not shown) of the laser microscope 7 by means of screwing or the like, the entire thickness corrector 6 is held by the laser microscope 7 so as to cover the objective lens 13 from below. It has become so.
【００１２】可動窓１９は、対物レンズ１３から出射さ
れた光が透過する円盤状の窓部１９ａ（第２の透光板）
と、窓部１９ａの外周に設けられた円筒状の支持部１９
ｂとを有し、その全体がガラスにより一体に成形された
ものであり、固定窓１８および可動窓１９の双方の窓部
１８ａ、１９ａが互いに平行になるように、かつ窓駆動
機構２１により駆動されて上下方向に移動自在に設置さ
れている。また、支持部１９ｂの上方には厚肉部１９ｃ
が形成され、この厚肉部１９ｃにはこれを水平方向に貫
通する連通孔３１が形成されている。したがって、この
連通孔３１により、固定窓１８と可動窓１９との間の空
間２４と、固定窓１８の液体溜め壁部１８ｃ内部の液体
溜め空間２３とは連通された状態となっており、ここに
は後述する光透過液体２０が満たされている。また、支
持部１９ｂと厚肉部１９ｃとの段部の下方にはスプリン
グ２６が固定窓１８と可動窓１９との間に介装されてい
るとともに、可動窓１９と液体溜め壁部１８ｃとの対向
面の間には、光透過液体２０が液体溜め空間２３から漏
出するのを防止するためのシール部材２７が設置されて
いる。The movable window 19 is a disk-shaped window portion 19a (second light transmitting plate) through which the light emitted from the objective lens 13 is transmitted.
And a cylindrical support portion 19 provided on the outer periphery of the window portion 19a.
b, which is integrally molded entirely of glass, and is driven by a window drive mechanism 21 so that the window portions 18a, 19a of both the fixed window 18 and the movable window 19 are parallel to each other. It is installed so that it can move vertically. Further, the thick portion 19c is provided above the support portion 19b.
The thick wall portion 19c is formed with a communication hole 31 penetrating the thick wall portion 19c in the horizontal direction. Therefore, the communication hole 31 allows the space 24 between the fixed window 18 and the movable window 19 and the liquid storage space 23 inside the liquid storage wall portion 18c of the fixed window 18 to communicate with each other. Is filled with the light transmitting liquid 20 described later. A spring 26 is interposed between the fixed window 18 and the movable window 19 below the step between the support portion 19b and the thick portion 19c, and the movable window 19 and the liquid reservoir wall portion 18c are connected to each other. A seal member 27 for preventing the light transmitting liquid 20 from leaking from the liquid storage space 23 is provided between the facing surfaces.
【００１３】前記の窓駆動機構２１は、固定窓１８の支
持部１８ｂに取り付けられたマグネット２９と可動窓１
９の厚肉部１９ｃに取り付けられたコイル３０とからな
るものである。そして、コイル３０に電流を流すと、コ
イル３０とマグネット２９との間に作用する磁気力によ
りコイル３０を備えた可動窓１９が上下方向に移動する
ようになっている。The window driving mechanism 21 includes a magnet 29 attached to the support portion 18b of the fixed window 18 and the movable window 1.
9 and the coil 30 attached to the thick wall portion 19c. Then, when an electric current is passed through the coil 30, the movable window 19 provided with the coil 30 is moved in the vertical direction by the magnetic force acting between the coil 30 and the magnet 29.
【００１４】光透過液体２０は、固定窓１８および可動
窓１９を構成するガラスとほぼ同一の屈折率を有するも
のであり、例えば米国カーギル社製の５０３５０等が用
いられる。この光透過液体２０は、可動窓１９がどの位
置にあっても固定窓１８と可動窓１９との間の空間２４
内に満たされるようになっている。すなわち、例として
図１に示す状態から可動窓１９が下方に移動した場合、
それに伴って前記空間２４の容積が大きくなり、大気に
開放された液体溜め空間２３に対して空間２４側が負圧
となるので、液体溜め空間２３内の光透過液体２０が容
積増加分だけ空間２４側へ流れ込み、その結果、空間２
４には常に光透過液体２０が満たされている状態となる
ように構成されている。したがって、厚み補正器６は、
固定窓１８、可動窓１９および光透過液体２０の３層か
らなり、その全体がほぼ同一の屈折率を有する光透過層
２８を形成することになる。The light-transmitting liquid 20 has a refractive index substantially the same as that of the glass forming the fixed window 18 and the movable window 19, and for example, 50350 manufactured by Cargill Co., USA is used. The light-transmitting liquid 20 has a space 24 between the fixed window 18 and the movable window 19 regardless of the position of the movable window 19.
The inside is filled. That is, as an example, when the movable window 19 moves downward from the state shown in FIG.
Along with this, the volume of the space 24 increases, and the space 24 side becomes a negative pressure with respect to the liquid storage space 23 opened to the atmosphere, so that the light transmitting liquid 20 in the liquid storage space 23 increases in volume by the space 24. Flows to the side, resulting in space 2
4 is always filled with the light transmitting liquid 20. Therefore, the thickness corrector 6 is
A fixed window 18, a movable window 19, and a light-transmitting liquid 20 are formed in three layers, and the whole form a light-transmitting layer 28 having substantially the same refractive index.
【００１５】前記構成の厚み補正器６の使用例を説明す
る。図２（ａ）に示すように、厚みがｔ1 のマスク１
ａの検査を行なう場合、まず、固定窓１８の上面から可
動窓１９の下面までの光透過層２８ａ全体の厚みをある
所定の値ｄ1 に設定し、それに合わせてレーザ顕微鏡
７の性能を最大限に発揮させるべく各種パラメータをそ
の使用に対して最適な条件に設定する。An example of using the thickness corrector 6 having the above structure will be described. As shown in FIG. 2A, a mask 1 having a thickness of t1
In the case of inspecting a, first, the thickness of the entire light transmission layer 28a from the upper surface of the fixed window 18 to the lower surface of the movable window 19 is set to a predetermined value d1, and the performance of the laser microscope 7 is maximized accordingly. Set various parameters to the optimum conditions for their use in order to maximize their performance.
【００１６】つぎに、図２（ｂ）に示すように、厚みが
ｔ２ のマスク１ｂの検査を行なう場合には、対物レン
ズ１３からマスクパターン４ｂまでの間のレーザ光が透
過する光透過層全体の厚みが図２（ａ）の場合における
光透過層全体の厚みと等しくなるように、すなわち、ｄ
2 ＋ｔ２ ＝ｄ1 ＋ｔ1 となるように、厚み補正
器６における光透過層２８ｂの厚みｄ2 を決定して窓
駆動機構２１を作動させ、可動窓１９を図における上
方、または下方に移動させる。このようにして、この厚
み補正器６では、対物レンズ１３とマスクパターンとの
間の光透過層全体の厚みを常に一定にすることができ
る。Next, as shown in FIG. 2B, when the mask 1b having a thickness of t2 is to be inspected, the entire light transmission layer from the objective lens 13 to the mask pattern 4b through which the laser light is transmitted. 2 is equal to the thickness of the entire light transmission layer in the case of FIG. 2A, that is, d
The thickness d2 of the light transmission layer 28b in the thickness corrector 6 is determined so that 2 + t2 = d1 + t1 and the window driving mechanism 21 is operated to move the movable window 19 upward or downward in the figure. In this way, the thickness corrector 6 can always keep the thickness of the entire light transmission layer between the objective lens 13 and the mask pattern constant.
【００１７】本実施例の厚み補正器６においては、可動
窓１９が鉛直方向に移動自在に構成されたことにより、
固定窓１８、可動窓１９、および光透過液体２０からな
る光透過層２８全体の厚みを自在に調節できるので、検
査対象であるマスク１の厚みバラツキ分を補正して、常
に対物レンズ１３とマスクパターン４との間における光
透過層全体の厚みを一定に保つことができる。すなわ
ち、この厚み補正器６を使用すれば、従来の場合のよう
に固定した厚みを有するモノクルの交換を行なわずに、
異なる厚み規格値を有するマスク１に対して補正が行な
えるのは勿論のこと、従来なし得なかったマスクの製造
バラツキである０．１ｍｍ程度の公差をも補正すること
ができる。したがって、マスク１の厚みバラツキに起因
する解像度低下等が生じることもなく、レーザ顕微鏡７
の種々の性能を常に最大限に発揮させることができ、精
度の高い検査を行なうことができる。In the thickness corrector 6 of this embodiment, the movable window 19 is configured to be movable in the vertical direction,
Since the total thickness of the fixed window 18, the movable window 19, and the light transmission layer 28 composed of the light transmission liquid 20 can be freely adjusted, the thickness variation of the mask 1 to be inspected is corrected to constantly correct the objective lens 13 and the mask. The thickness of the entire light transmission layer between the pattern 4 and the pattern 4 can be kept constant. That is, if the thickness corrector 6 is used, the monocle having a fixed thickness is not replaced unlike the conventional case,
Of course, it is possible to correct the masks 1 having different standard thickness values, and it is also possible to correct a tolerance of about 0.1 mm, which is a manufacturing variation of the mask, which has been impossible in the past. Therefore, the resolution of the mask 1 is not deteriorated due to the thickness variation, and the laser microscope 7
It is possible to maximize the various performances of the above, and to perform highly accurate inspection.
【００１８】ところで、レーザ顕微鏡７においては、で
きる限り明るいレンズを実現するためにレンズの開口数
を向上させたいとする要求があるものの、開口数が大き
くなればなるほど、微妙なマスクの公差が解像度の低下
に影響するようになる。そこで、本実施例の厚み補正器
６を用いてこの公差を補正することによって、解像度を
低下させることなく、従来のものより大きい開口数を有
するレンズを有したレーザ顕微鏡を実現することもでき
る。Incidentally, in the laser microscope 7, there is a demand for increasing the numerical aperture of the lens in order to realize a lens as bright as possible, but the larger the numerical aperture, the finer the mask tolerance becomes. Will affect the decline of. Therefore, by correcting this tolerance by using the thickness corrector 6 of the present embodiment, it is possible to realize a laser microscope having a lens having a numerical aperture larger than that of the conventional one without lowering the resolution.
【００１９】さらに、本実施例においては、厚み補正器
６全体が対物レンズ１３を下方側から覆うように保持さ
れ、かつ、可動窓１９が鉛直方向に移動するように構成
されているので、厚み補正器６全体をレーザ顕微鏡７内
の小さい設置スペースに収めることができる。Further, in this embodiment, the thickness corrector 6 is entirely held so as to cover the objective lens 13 from below, and the movable window 19 is configured to move in the vertical direction. The entire corrector 6 can be housed in a small installation space inside the laser microscope 7.
【００２０】なお、本実施例の厚み補正器６において
は、固定窓１８をレーザ顕微鏡７の基台に固定するよう
にしたが、この構造に代えて、固定窓１８を対物レンズ
１３に直接、固定してもよい。また、２つの窓のうち上
側を固定窓１８、下側を可動窓１９としたが、これら窓
は鉛直方向に相対的に移動すればよいので、本実施例と
は逆に、上側を可動窓、下側を固定窓とすることもでき
るし、双方を可動窓とすることもできる。In the thickness corrector 6 of this embodiment, the fixed window 18 is fixed to the base of the laser microscope 7. However, instead of this structure, the fixed window 18 is directly attached to the objective lens 13. You may fix it. Further, the upper side of the two windows is the fixed window 18 and the lower side is the movable window 19, but these windows may be moved relatively in the vertical direction. Therefore, contrary to the present embodiment, the upper side is the movable window. The lower side can be a fixed window, or both can be movable windows.
【００２１】また、本実施例では、大気に開放された液
体溜め空間２３を設けたが、この構造に代えて、液体溜
め空間を密閉し、固定窓と可動窓との間の空間と液体溜
め空間の面積を同一にしておくとともに、液体溜めの壁
部が可動窓とは独立して移動自在とされ、かつ可動窓の
移動と液体溜め壁部の移動とが互いに上下逆方向でスト
ロークは同一となるように構成しておけば、固定窓と可
動窓との間の空間と液体溜め空間の体積の和は常に一定
となるため、他の構造で固定窓と可動窓との間の空間が
常に光透過液体で満たされた厚み補正器を実現すること
ができる。In this embodiment, the liquid storage space 23 open to the atmosphere is provided, but instead of this structure, the liquid storage space is hermetically sealed and the space between the fixed window and the movable window and the liquid storage space are closed. The area of the space is kept the same, the wall of the liquid reservoir is movable independently of the movable window, and the movement of the movable window and the movement of the liquid reservoir wall are upside down and the stroke is the same. If it is configured such that the sum of the volume between the fixed window and the movable window and the liquid storage space will always be constant, the space between the fixed window and the movable window will be different in other structures. It is possible to realize a thickness corrector that is always filled with a light transmitting liquid.
【００２２】また、本実施例では、固定窓１８中に液体
溜め壁部１８ｃと可動窓１９とで囲まれた液体溜め空間
２３を形成するようにしたが、この液体溜め壁部に代え
て、液体溜めを弾性体、例えば伸縮自在のゴム等の材料
で形成する、または固定窓１８や可動窓１９とは離間し
た位置に貯液槽として設け、この貯液槽と、固定窓１８
と可動窓１９との間の空間２４とを管体により連通させ
る等の構成としてもよい。また、窓駆動機構２１につい
ては、マグネット２９とコイル３０で構成する他にステ
ッピングモータを用いる等、種々の駆動手段を用いるこ
とができる。さらに、本実施例においては、厚み補正器
６をレーザ顕微鏡７に適用した場合を例として説明した
が、これに限らず、一般の光学顕微鏡に適用することも
勿論可能である。Further, in this embodiment, the liquid reservoir space 23 surrounded by the liquid reservoir wall portion 18c and the movable window 19 is formed in the fixed window 18, but instead of this liquid reservoir wall portion, The liquid reservoir is made of an elastic material such as elastic rubber, or is provided as a liquid storage tank at a position separated from the fixed window 18 and the movable window 19, and the liquid storage tank and the fixed window 18 are provided.
The space 24 between the movable window 19 and the movable window 19 may be connected by a tubular body. As for the window driving mechanism 21, various driving means such as a stepping motor may be used in addition to the magnet 29 and the coil 30. Furthermore, in the present embodiment, the case where the thickness corrector 6 is applied to the laser microscope 7 has been described as an example, but the present invention is not limited to this, and it is of course possible to apply it to a general optical microscope.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
顕微鏡用ガラス層厚み補正器によれば、第１の透光板と
第２の透光板とを光軸方向に沿って相対移動させること
によって、対物レンズの下方の光軸上において第１の透
光板、第２の透光板、および光透過液体で構成される光
透過層全体の厚みを自在に変化させることができる。し
たがって、検査時に顕微鏡の対物レンズと試料との間に
介在するガラス層の厚みバラツキを前記光透過層が補正
することにより、顕微鏡の種々の性能を常に最大限に発
揮させることができ、精度の高い検査を行なうことがで
きる。As described in detail above, according to the glass layer thickness compensator for a microscope of the present invention, the first light transmitting plate and the second light transmitting plate are made to face each other along the optical axis direction. By moving, it is possible to freely change the thickness of the entire light transmitting layer formed of the first light transmitting plate, the second light transmitting plate, and the light transmitting liquid on the optical axis below the objective lens. . Therefore, by correcting the thickness variation of the glass layer interposed between the objective lens of the microscope and the sample at the time of inspection, it is possible to maximize the various performances of the microscope at all times and to improve the accuracy. High inspection can be performed.
【図１】本発明の一実施例である顕微鏡用ガラス層厚み
補正器の構成を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a glass layer thickness corrector for a microscope which is an embodiment of the present invention.
【図２】同、顕微鏡用ガラス層厚み補正器の作用を示す
図である。FIG. 2 is a diagram showing an operation of the glass layer thickness compensator for a microscope.
【図３】同、顕微鏡用ガラス層厚み補正器を適用する共
焦点走査方式レーザ顕微鏡の概略構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of a confocal scanning laser microscope to which the glass layer thickness corrector for a microscope is applied.
【図４】従来の顕微鏡用ガラス層厚み補正器の一例を示
す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of a conventional glass layer thickness corrector for a microscope.
４ パターン（対象物） ６ 顕微鏡用ガラス層厚み補正器 ７ 共焦点走査方式レーザ顕微鏡 １３ 対物レンズ １８ 固定窓 １８ａ 固定窓の窓部（第１の透光板） １９ 可動窓 １９ａ 可動窓の窓部（第２の透光板） ２０ 光透過液体 ２２ 光軸 ２４ 固定窓と可動窓との間の空間（第１の透光板と第
２の透光板との間の空間）4 Pattern (Object) 6 Glass Layer Thickness Corrector for Microscope 7 Confocal Scanning Laser Microscope 13 Objective Lens 18 Fixed Window 18a Fixed Window Window (First Translucent Plate) 19 Movable Window 19a Movable Window Window (Second light-transmitting plate) 20 Light-transmitting liquid 22 Optical axis 24 Space between fixed window and movable window (space between first light-transmitting plate and second light-transmitting plate)
Claims (1)
在するガラス層を通して顕微鏡により前記対象物の検査
を行なうときに、前記ガラス層の厚みバラツキを補正す
ることによって顕微鏡の性能低下を防止するための顕微
鏡用ガラス層厚み補正器であって、 前記対物レンズの下方の光軸上に該光軸に対して垂直と
なるように設置され、前記対物レンズから出射された光
を透過する第１の透光板と、 該第１の透光板の下方の光軸上に該第１の透光板に対し
て平行となるように設置され、前記光を透過する第２の
透光板とを具備してなり、 前記第１の透光板と第２の透光板との間の空間にはこれ
ら透光板と同等の屈折率を有する光透過液体が満たさ
れ、 前記空間に前記光透過液体が満たされた状態を保ちつ
つ、前記第１、第２の透光板が前記光軸方向に沿って相
対移動自在とされてそれらの相互間隔が調節自在とされ
ていることを特徴とする顕微鏡用ガラス層厚み補正器。1. When a microscope is used to inspect an object through a glass layer interposed between an objective lens of the microscope and the object, deterioration in the performance of the microscope is prevented by correcting variation in the thickness of the glass layer. A glass layer thickness corrector for a microscope for performing, which is installed on the optical axis below the objective lens so as to be perpendicular to the optical axis, and which transmits the light emitted from the objective lens. A first transparent plate, and a second transparent plate which is installed on the optical axis below the first transparent plate so as to be parallel to the first transparent plate and which transmits the light. And a space between the first light transmitting plate and the second light transmitting plate is filled with a light transmitting liquid having a refractive index equivalent to those of the light transmitting plates. While maintaining the state of being filled with the light transmitting liquid, the first and second light transmitting plates are Glass layer thickness corrector microscope, characterized in that their mutual distance is the relatively movable along the axial direction is freely adjusted.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29220593A JPH07140393A (en) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | Glass layer thickness correcting device for microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29220593A JPH07140393A (en) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | Glass layer thickness correcting device for microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07140393A true JPH07140393A (en) | 1995-06-02 |
Family
ID=17778891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29220593A Pending JPH07140393A (en) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | Glass layer thickness correcting device for microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07140393A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09184984A (en) * | 1995-12-28 | 1997-07-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Microscope |
| US6226119B1 (en) | 1997-09-19 | 2001-05-01 | Olympus Optical Co., Ltd. | High-magnification objective optical system for binocular stereomicroscopes |
| JP2002537579A (en) * | 1999-02-17 | 2002-11-05 | ルーシド インコーポレーテッド | Tissue specimen holder |
-
1993
- 1993-11-22 JP JP29220593A patent/JPH07140393A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09184984A (en) * | 1995-12-28 | 1997-07-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Microscope |
| US6226119B1 (en) | 1997-09-19 | 2001-05-01 | Olympus Optical Co., Ltd. | High-magnification objective optical system for binocular stereomicroscopes |
| JP2002537579A (en) * | 1999-02-17 | 2002-11-05 | ルーシド インコーポレーテッド | Tissue specimen holder |
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|---|---|---|---|
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