JPH07134206A - Photosensitive film for color filter - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To produce a color filter with the surface smoothed and without any picture defect by specifying the average roughness of the surface of a transparent substrate film in contact with a colored photosensitive resin layer. CONSTITUTION:A transparent substrate film, a colored photosensitive resin layer and a protective film are laminated in this order to constitute the photosensitive film for a color filter. The average roughness of the surface of the substrate film in contact with the colored photosensitive resin layer is controlled to be <=0.02mum, and the average roughness of the other surface can be adjusted to be <=0.2mum. The average surface roughness can be easily measured, for example, with a surface roughness meter by direct contact of needle and a laser measuring system. The thickness of the substrate film is preferably controlled to be 2 to 10mum. Further, an ethylenic unsaturated compd., a film property-imparting polymer contg. carboxyl, a photopolymerization initiator and pigment or dye are preferably incorporated into the colored photosensitive resin layer.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶ディスプレ
イ等に用いられるカラーフィルタ用感光性フィルム、詳
しくは表面平滑なカラーフィルタの得られるカラーフイ
ルター用感光性フィルムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive film for a color filter used in a color liquid crystal display or the like, and more particularly to a photosensitive film for a color filter which can provide a color filter having a smooth surface.

【０００２】[0002]

【従来の技術】カラーフィルタは、ガラスなどの光学的
に透明な基板の表面に２種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又モザイク状のパターンを一定の間
隔を開けて、平行又は交差して並べた物である。これら
のパターンは色相を所定の順序に所定の間隔をおいて整
然と配置し、しかも厚さムラの少ない均一な層とする必
要があり、種々のカラーフィルタの製造法が提案されて
いる。例えばスクリーン印刷法では低コストのカラーフ
ィルタの形成が可能である。またフォトリソグラフィ技
術を用いる方法、すなわち、カラーフィルタ用基板上に
形成された透明膜に、所定のネガマスクを通して紫外線
照射し、未露光部を除去したのち、防染層を形成しなが
ら染色する方法がある。2. Description of the Related Art A color filter is an optically transparent substrate, such as glass, having two or more kinds of very fine stripe-like or mosaic-like patterns having different hues, which are parallel or parallel to each other at regular intervals. It is a crossed arrangement. It is necessary for these patterns to arrange hues in a predetermined order at predetermined intervals and to form a uniform layer with little thickness unevenness, and various methods for manufacturing color filters have been proposed. For example, the screen printing method can form a low-cost color filter. Further, there is a method using a photolithography technique, that is, a method of irradiating a transparent film formed on a color filter substrate with ultraviolet rays through a predetermined negative mask to remove an unexposed portion, and then dyeing while forming a stain-proof layer. is there.

【０００３】前記の方法の改良法として、基板上に着色
した溶液状感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥したのち、
露光、現像して一色のパターンを形成させ、該工程を他
の色についても同様に繰り返し行ってカラーフィルタを
形成する方法がある。また、現在プリント配線板製造時
のエッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジス
ト等に一般に使用されている、透明支持体フィルム及び
感光性樹脂層から成る感光性フィルムを使用した多色の
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単に
高精度で形成できるカラーフィルタの製造法が知られて
いる。As an improved method of the above-mentioned method, a colored solution type photosensitive resin composition is applied on a substrate and dried,
There is a method of forming a color filter by exposing and developing to form a pattern of one color and repeating this step for other colors in the same manner. In addition, multicolor fine stripes using a transparent support film and a photosensitive film composed of a photosensitive resin layer, which are generally used for etching resists, plating resists, solder resists, etc. at the time of manufacturing printed wiring boards, or There is known a method of manufacturing a color filter that can easily and accurately form a mosaic pattern.

【０００４】透明基板上に支持体フィルムと一色に着色
された感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを、着色
された感光性樹脂層が基板に面するように貼り合わせる
工程、露光して所定のパターンを形成させる工程及び前
記支持体フィルムを剥がして現像する工程を繰り返して
多色パターンを形成させてカラーフィルタが製造され
る。A step of adhering a photosensitive film composed of a support film and a photosensitive resin layer colored in one color on a transparent substrate so that the colored photosensitive resin layer faces the substrate, is exposed to light and is predetermined. The step of forming a pattern and the step of peeling and developing the support film are repeated to form a multicolor pattern, thereby manufacturing a color filter.

【０００５】例えば、一つの色相着色剤を含む感光性樹
脂の層を透明支持体フィルムに塗布乾燥した感光性フィ
ルムの感光性樹脂の層を透明な板の上に転写して、所定
のパターンのマスクを介して露光、現像してパターンを
形成する方法（特開昭６１−９９１０２号公報）が知ら
れている。また、このフィルムに所定のパターンのマス
クを介して露光、現像してパターンを形成したのちに、
透明な板の上に転写してカラーフィルタのパターンを形
成する方法（特開昭６１−９９１０３号公報）及びこの
フィルムを透明な板の上に加熱圧着して、所定のパター
ンのマスクを介して露光して、支持体フィルムを剥離
し、現像して透明着色の画像パターンを形成する方法
（特開昭６３−１８７２０３号公報）が知られている。
また、着色感光性樹脂の上にポリ酢酸ビニル共重合体の
接着体を構成した感光性フィルムを用いて特開昭６３−
１８７２０３号公報と同様の方法でカラーフィルタのパ
ターンを形成する方法（特開平２−２４６２４号公報）
が知られている。For example, a layer of a photosensitive resin containing one hue colorant is applied to a transparent support film and dried, and the layer of the photosensitive resin of the photosensitive film is transferred onto a transparent plate to obtain a predetermined pattern. A method of forming a pattern by exposing and developing through a mask (Japanese Patent Laid-Open No. 61-99102) is known. Also, after exposing and developing this film through a mask of a predetermined pattern to form a pattern,
A method of forming a color filter pattern by transferring onto a transparent plate (Japanese Patent Laid-Open No. 61-99103), and heat-pressing this film onto the transparent plate through a mask having a predetermined pattern. A method is known in which a support film is exposed, exposed, and developed to form a transparent colored image pattern (JP-A-63-187203).
Further, a photosensitive film having a polyvinyl acetate copolymer adhesive on a colored photosensitive resin is used.
A method of forming a color filter pattern by the same method as in Japanese Patent No. 187203 (Japanese Patent Laid-Open No. 24-24624)
It has been known.

【０００６】しかしながら、プリント配線板製造用の従
来の平均表面粗さが０．０５μｍである透明支持体フィ
ルムを使用し、カラーフィルタ用の感光性フィルムを作
製し、更にそれを用いてカラーフィルタを製造すると、
その表面に多数の凹凸が出来てしまい、後工程の透明樹
脂からなるオーバーコート層の塗工むらやその後のスパ
ッタリングによるＩｎ₂Ｏ₃−ＳｎＯ₂系の電極形成のむ
らが発生する問題が有る。また、大きな凹凸は、直接に
画像欠陥としてあらわれる（画像欠陥の表われるカラー
フィルターの表面平均粗さは０．０５μｍである）。However, a conventional transparent support film having an average surface roughness of 0.05 μm for producing a printed wiring board is used to prepare a photosensitive film for a color filter, which is further used to form a color filter. When manufactured,
A large number of irregularities are formed on the surface, and there is a problem that uneven coating of an overcoat layer made of a transparent resin in a subsequent step and unevenness in the formation of an In ₂ O ₃ —SnO ₂ system electrode due to subsequent sputtering occur. Also, large irregularities directly appear as image defects (the surface average roughness of the color filter in which image defects appear is 0.05 μm).

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
点を解決し、表面が平滑で画像欠陥のないカラーフィル
タを製造できるカラーフィルタ用感光性フィルムを提供
するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above problems and provides a photosensitive film for a color filter which is capable of producing a color filter having a smooth surface and no image defects.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）透明支
持体フィルム、（ｂ）着色された感光性樹脂層及び
（ｃ）保護フィルムの順に積層されたカラーフィルタ用
感光性フィルムにおいて、（ａ）透明支持体フィルムの
（ｂ）着色された感光性樹脂層と接触する面の平均表面
粗さを０．０２μｍ以下としたことを特徴とするカラー
フィルタ用感光性フィルムに関する。The present invention provides a photosensitive film for a color filter in which (a) a transparent support film, (b) a colored photosensitive resin layer and (c) a protective film are laminated in this order, (A) A photosensitive film for a color filter, wherein (b) the surface of the transparent support film which comes into contact with the colored photosensitive resin layer has an average surface roughness of 0.02 μm or less.

【０００９】本発明における（ａ）透明支持体フィルム
は、（ｂ）着色された感光性樹脂層と接触する面の平均
表面粗さを０．０２μｍ以下とすることが必要である。
なお、透明支持体フィルムの他の面も平均表面粗さが
０．０２μｍ以下であってもよい。平均表面粗さは、例
えば針の直接接触型やレーザー測定式等の表面粗さ計で
容易に測定できる。The transparent support film (a) in the present invention is required to have an average surface roughness of 0.02 μm or less on the surface in contact with the (b) colored photosensitive resin layer.
The average surface roughness of the other surface of the transparent support film may be 0.02 μm or less. The average surface roughness can be easily measured with a surface roughness meter such as a direct contact type of a needle or a laser measuring type.

【００１０】これら、平均表面粗さが０．０２μｍ以下
の透明支持体フィルムとしては、例えば、帝人社製テト
ロンフィルムＧＳシリーズやＭ５Ｒシリーズのポリエス
テルフィルムや、デュポン社製マイラーフィルムＤシリ
ーズのポリエステルフィルム等が挙げられる。Examples of these transparent support films having an average surface roughness of 0.02 μm or less include Tetron film GS series and M5R series polyester films manufactured by Teijin Limited, and Mylar film D series polyester films manufactured by DuPont. Is mentioned.

【００１１】透明支持体フィルムの膜厚は、２〜１０μ
ｍであることが好ましい。２μｍ未満では感光性フィル
ムの製造が困難となる傾向があり、１０μｍを超える
と、カラーフィルタの製造時に、すでに形成された画
素、つまり赤、青及び緑の場合の１色目や２色目に対し
て追随性が悪く画素欠陥となる傾向がある。The thickness of the transparent support film is 2 to 10 μm.
It is preferably m. If it is less than 2 μm, it tends to be difficult to manufacture a photosensitive film, and if it is more than 10 μm, it may be difficult to manufacture pixels already formed at the time of manufacturing a color filter, that is, for the first and second colors in the case of red, blue and green. Poor followability tends to result in pixel defects.

【００１２】着色された感光性樹脂層は、エチレン性不
飽和化合物（Ａ）、カルボキシル基含有フィルム性付与
ポリマー（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）及び顔料又は染料
（Ｄ）を含有するのが好ましく、層の厚さは０．５〜５
μｍとすることが好ましい。The colored photosensitive resin layer contains an ethylenically unsaturated compound (A), a carboxyl group-containing film-forming polymer (B), a photopolymerization initiator (C) and a pigment or dye (D). Is preferable, and the layer thickness is 0.5 to 5
It is preferably set to μm.

【００１３】エチレン性不飽和化合物（（Ａ）成分）と
しては、例えば多価アルコールにα、β−不飽和カルボ
ン酸を付加して得られる化合物、例えばトリメチロール
プロパンジ（メタ）アクリレート（メタアクリレートま
たはアクリレートを意味する、以下同じ）、トリメチロ
ールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロ
ールメタントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサ（メタ）アクリレート等；グリシジル基
含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得ら
れる化合物、例えばトリメチロールプロパントリグリシ
ジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノールＡジグ
リシジルエーテルジ（メタ）アクリレート等；多価カル
ボン酸、例えば無水フタル酸等と水酸基およびエチレン
性不飽和基を有する化合物、例えばβ−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレート等とのエステル化物；（メタ）
アクリル酸（メタアクリル酸またはアクリル酸を意味す
る、以下同じ）のアルキルエステル、例えば（メタ）ア
クリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）
アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキ
シル等が挙げられ、トリメチルヘキサメチレンジイソシ
アナートと２価アルコールと２価の（メタ）アクリル酸
モノエステルとを反応させて得られるウレタンジアクリ
レート化合物なども用いられる。これらの化合物は２種
以上用いても良い。（Ａ）成分の配合量は（Ａ）成分と
（Ｂ）成分の総量を１００重量部として好ましくは９０
〜５０重量部である。The ethylenically unsaturated compound ((A) component) is, for example, a compound obtained by adding an α, β-unsaturated carboxylic acid to a polyhydric alcohol, for example, trimethylolpropane di (meth) acrylate (methacrylate). Or acrylate, the same shall apply hereinafter), trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, etc .; glycidyl group-containing A compound obtained by adding an α, β-unsaturated carboxylic acid to the compound, for example, trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate; a polyvalent carboxylic acid, for example, anhydrous Compounds with Tal acid and a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group, ester of example β- hydroxyethyl (meth) acrylate; (meth)
Alkyl ester of acrylic acid (meaning methacrylic acid or acrylic acid, the same applies hereinafter), for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, (meth)
Examples thereof include butyl acrylate and 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and urethane diacrylate compounds obtained by reacting trimethylhexamethylene diisocyanate with a dihydric alcohol and a divalent (meth) acrylic acid monoester. Is also used. You may use 2 or more types of these compounds. The compounding amount of the component (A) is preferably 90 with the total amount of the component (A) and the component (B) being 100 parts by weight.
˜50 parts by weight.

【００１４】カルボキシル基含有フィルム性付与ポリマ
ー（（Ｂ）成分）としては、例えば（メタ）アクリル酸
アルキルエステルと（メタ）アクリル酸との共重合体：
（メタ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）アクリ
ル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合
体が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステル
としては、例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）
アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられる。ま
た、（メタ）アクリル酸アルキルエステルや（メタ）ア
クリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとして
は、（メタ）アクリル酸ジメチルエチル、（メタ）アク
リル酸テトラヒドロフルフリル、（メタ）アクリル酸ジ
エチル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アク
リレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル
（メタ）アクリレート、アクリルアミド、ジアセトンア
クリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられ
る。さらに（メタ）アクリル酸を共重合成分として含む
テレフタル酸、イソフタル酸、セバシン酸等のポリエス
テル、ブタジエンとアクリロニトリルの共重合体、セル
ロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、
メチルセルロース、エチルセルロース等も用いることが
出来る。Examples of the carboxyl group-containing film-forming polymer (component (B)) include, for example, a copolymer of (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid:
Examples thereof include copolymers of (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid, and a vinyl monomer copolymerizable therewith. Examples of alkyl (meth) acrylates include methyl (meth) acrylate, (meth)
Examples thereof include ethyl acrylate, butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth) acrylate. Further, as vinyl monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid, dimethylethyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, diethyl (meth) acrylate 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, acrylamide, diacetone acrylamide, styrene, vinyltoluene and the like. Furthermore, polyesters such as terephthalic acid, isophthalic acid and sebacic acid containing (meth) acrylic acid as a copolymerization component, copolymers of butadiene and acrylonitrile, cellulose acetate, cellulose acetate butyrate,
Methyl cellulose, ethyl cellulose and the like can also be used.

【００１５】（Ｂ）成分の使用によって、塗膜性や硬化
物の膜特性が向上し、その配合量は（Ａ）成分と（Ｂ）
成分の総量を１００重量部として好ましくは１０〜５０
重量部である。配合量が１０重量部未満では、エチレン
性不飽和化合物が多くなるため光感度が低下し、５０重
量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。ま
た、（Ｂ）成分の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強
度の点から１０，０００以上が好ましい。By using the component (B), the coating properties and the film properties of the cured product are improved, and the blending amounts are the components (A) and (B).
The total amount of the components is 100 parts by weight, and preferably 10 to 50.
Parts by weight. If the blending amount is less than 10 parts by weight, the amount of ethylenically unsaturated compound increases, and the photosensitivity decreases, and if it exceeds 50 parts by weight, the photocured product tends to become brittle. Further, the weight average molecular weight of the component (B) is preferably 10,000 or more from the viewpoint of the coating property and the film strength.

【００１６】前記の光重合開始剤（（Ｃ）成分）として
は、例えばベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−
４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケト
ン）、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベ
ンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベ
ンゾフェノン、４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノ
ン、２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン
等の芳香族ケトン；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等の
ベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾ
イン等のベンゾイン；２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−ク
ロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−
フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール
二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフ
ェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４
−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾ
ール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メ
チルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾー
ル二量体等が用いられる。Examples of the photopolymerization initiator (component (C)) include benzophenone, N, N'-tetramethyl-
4,4'-diaminobenzophenone (Michler's ketone), N, N'-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 4,4'-diethylaminobenzophenone, 2-ethylanthraquinone , Aromatic ketones such as phenanthrenequinone; benzoin ethers such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin phenyl ether; benzoins such as methylbenzoin and ethylbenzoin; 2- (o-chlorophenyl)-
4,5-Diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl)
-4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-
Fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer Body, 2, 4
-Di (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, 2- (2,4-dimethoxyphenyl)-
A 2,4,5-triarylimidazole dimer such as 4,5-diphenylimidazole dimer or 2- (p-methylmercaptophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer is used.

【００１７】（Ｃ）成分の配合量は（Ａ）成分と（Ｂ）
成分の総量１００重量部に対して好ましくは０．１〜１
０重量部である。この配合量が０．１重量部未満では光
感度が不十分となり、１０重量部を超えると露光の際に
組成物の表面での光吸収が増大し、内部の光硬化が不十
分となる傾向がある。The blending amounts of the component (C) are the components (A) and (B).
The total amount of the components is preferably 0.1 to 1 with respect to 100 parts by weight.
0 parts by weight. If the content is less than 0.1 parts by weight, the photosensitivity will be insufficient, and if it exceeds 10 parts by weight, the light absorption on the surface of the composition will increase during exposure, and the internal photocuring will tend to be insufficient. There is.

【００１８】前記顔料又は染料（（Ｄ）成分）として
は、公知の着色剤が使用でき、感光性樹脂層の成分、特
にエチレン性不飽和化合物またはカルボキシル基含有フ
ィルム性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色
相、光透過性等を考慮して選択される。（Ｄ）成分の配
合量は、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して好ましくは１〜５０重量部である。この配合量が
１重量部未満では着色が不十分となる傾向があり、５０
重量部を超えると光透過率が低下する傾向がある。As the above-mentioned pigment or dye (component (D)), known colorants can be used, and the compatibility with the components of the photosensitive resin layer, especially the compatibility with the ethylenically unsaturated compound or the carboxyl group-containing film-forming polymer. Is selected in consideration of the hue, the light transmittance, and the like. The compounding amount of the component (D) is preferably 1 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (B). If the blending amount is less than 1 part by weight, coloring tends to be inadequate.
If it exceeds the weight part, the light transmittance tends to decrease.

【００１９】着色感光性樹脂層には、加熱硬化性を高め
るためにカルボキシル基含有フィルム性付与ポリマー
（Ｂ）のカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂およ
び／またはエポキシ樹脂を、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の
総量１００重量部に対して１〜２０重量部添加含有させ
ることが好ましい。これらを添加して１３０〜２００℃
で３０〜６０分加熱することによって架橋密度が向上
し、耐熱性が著しく向上する。In the colored photosensitive resin layer, a melamine resin and / or an epoxy resin which thermally reacts with the carboxyl group of the carboxyl group-containing film-forming polymer (B) in order to enhance the heat curability, and (A) component ( It is preferable to add 1 to 20 parts by weight to 100 parts by weight of the total amount of component B). Add these to 130 ~ 200 ℃
By heating for 30 to 60 minutes, the crosslink density is improved and the heat resistance is significantly improved.

【００２０】本発明における保護フィルム（Ｃ）として
は、例えば、ポリエステルフィルム、ポリオレフィンフ
ィルム等が用いられるが、価格、柔軟性、強度、硬度等
の面から、ポリオレフィンフィルム、中でもポリエチレ
ンフィルムが好ましい。また、その厚みは、１．０〜４
０μｍであることが好ましく、１０μｍ未満では取扱い
性が劣る傾向があり、４０μｍを超えると、コストアッ
プになる傾向がある。As the protective film (C) in the present invention, for example, a polyester film, a polyolefin film and the like are used, but from the viewpoint of price, flexibility, strength, hardness and the like, a polyolefin film, especially a polyethylene film is preferable. The thickness is 1.0 to 4
The thickness is preferably 0 μm, and if it is less than 10 μm, the handling property tends to be poor, and if it exceeds 40 μm, the cost tends to increase.

【００２１】本発明においてカラーフィルタは、次のよ
うにして製造される。まず、透明基板上に保護フィルム
をはがしながら着色された感光性樹脂層をラミネート
（貼り合わせ）、着色された感光性樹脂層の表面の透明
支持体フィルム上に所定パターンのネガマスクを乗せて
露光したあと、透明支持体フィルムが除去される。つい
で未露光部分が現像液で現像され、着色パターンが形成
される。この着色パターン形成工程を、色の異なる感光
性フィルムを用いて所定回数繰り返し行い、他色のパタ
ーンを形成させてカラーフィルタが得られる。In the present invention, the color filter is manufactured as follows. First, a colored photosensitive resin layer was laminated (bonded) on a transparent substrate while the protective film was peeled off, and a negative mask having a predetermined pattern was placed on the transparent support film on the surface of the colored photosensitive resin layer for exposure. Then, the transparent support film is removed. Then, the unexposed portion is developed with a developing solution to form a colored pattern. This colored pattern forming step is repeated a predetermined number of times using photosensitive films of different colors to form a pattern of another color to obtain a color filter.

【００２２】ラミネート工程は、一般にホットロールと
呼ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと呼ばれる
加熱用ジャケットとラミネートロールと呼ばれるロール
により、感光性樹脂層を加熱し軟化しながら行う。The laminating step is performed while the photosensitive resin layer is heated and softened by a heatable roll generally called a hot roll or a heating jacket called a heat shoe and a roll called a laminating roll.

【００２３】露光工程は、一般に専用の露光機があり、
接触又は非接触型のものを用いて行う。ランプとして
は、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドラン
プ、キセノンランプ灯等の紫外線を有効に放射するもの
を用いることができる。The exposure process generally has a dedicated exposure device,
Use a contact or non-contact type. As the lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp lamp, or the like that effectively radiates ultraviolet rays can be used.

【００２４】現像方法は、デイップ法、スプレー法等が
あげられ、高解像度化には高圧スプレー法が最適であ
る。現像液は、溶剤現像型とアルカリ現像型で大きく異
なり、溶剤現像型では１，１，１−トリクロロエタン、
アルカリ現像型では、１重量％の炭酸ナトリウムを用い
るのが一般的である。The developing method includes a dipping method, a spray method and the like, and the high pressure spray method is most suitable for achieving high resolution. The developing solution is greatly different between the solvent developing type and the alkali developing type. In the solvent developing type, 1,1,1-trichloroethane,
In the alkali development type, it is common to use 1% by weight of sodium carbonate.

【００２５】本発明のカラーフィルタ用感光性フィルム
を用いれば、その透明支持体フィルムが平均表面粗さが
０．０２μｍ以下のため、転写された着色された感光性
樹脂層の表面もまた平均表面粗さが０．０２μｍ以下の
平滑な表面が得られ、続いての工程の不具合を大巾に低
減でき、画像欠陥もなくすことができる。When the photosensitive film for a color filter of the present invention is used, since the transparent support film has an average surface roughness of 0.02 μm or less, the surface of the transferred colored photosensitive resin layer also has an average surface. A smooth surface having a roughness of 0.02 μm or less can be obtained, defects in subsequent steps can be greatly reduced, and image defects can be eliminated.

【００２６】[0026]

【実施例】次に、本発明を実施例により詳しく説明す
る。EXAMPLES Next, the present invention will be described in detail with reference to Examples.

【００２７】実施例１、２及び比較例１、２ 表１の材料を均一に溶解した溶液２１１重量部に表２の
いずれかの顔料３５重量部を添加し、溶解して着色され
た感光性樹脂層用塗工溶液を得た。Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 To 211 parts by weight of a solution prepared by uniformly dissolving the materials shown in Table 1, 35 parts by weight of any of the pigments shown in Table 2 was added and dissolved to give a photosensitive material. A resin layer coating solution was obtained.

【００２８】[0028]

【表１】 [Table 1]

【００２９】[0029]

【表２】 [Table 2]

【００３０】次いで、この溶液を表３に示す各種のポリ
エチレンテレフタレートフィルム（透明支持体フィルム
（ａ））上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥
機で約１０分間乾燥して着色された感光性樹脂層（ｂ）
を形成した後、３０μｍ厚のポリエチレンフィルムを保
護フィルム（ｃ）として積層しカラーフィルター用感光
性フィルムを得た。着色された感光性樹脂層の乾燥後の
膜厚は、１．８μｍであった。Then, this solution was uniformly coated on various polyethylene terephthalate films (transparent support film (a)) shown in Table 3 and dried by a hot air convection dryer at 100 ° C. for about 10 minutes to be colored. Photosensitive resin layer (b)
After forming, a polyethylene film having a thickness of 30 μm was laminated as a protective film (c) to obtain a photosensitive film for a color filter. The film thickness of the colored photosensitive resin layer after drying was 1.8 μm.

【００３１】つぎに、カラーフィルタ用の下地基板を１
５０℃で１０分間加熱後、カラーフィルタ用感光性フィ
ルムの保護フィルムを剥がしながら、着色された感光性
樹脂層をロール温度１５０℃、ロール圧６kg/cm²、速度
１．０m/分でラミネートした。次いで、所定のパターン
のネガマスクを通して露光機ＨＭＷ−２０１Ｂ（３kW、
超高圧水銀灯、オーク製作所製）で露光した後、ポリエ
チレンテレフタレートフィルムを除去し、３０℃で０．
０５重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液で１０〜２０秒スプレー
現像をして未露光部を除去し、１色の着色パターンを形
成した。この着色パターンの形成工程を、赤、青及び緑
の順に各色の感光性フィルムを用いて３回繰り返し行
い、図１に示す多色のパターンを形成した。Next, the base substrate for the color filter is
After heating at 50 ° C. for 10 minutes, the colored photosensitive resin layer was laminated at a roll temperature of 150 ° C., a roll pressure of 6 kg / cm ² , and a speed of 1.0 m / min while peeling off the protective film of the color filter photosensitive film. . Then, the exposure machine HMW-201B (3kW,
After exposure with an ultra-high pressure mercury lamp (Oak Seisakusho), the polyethylene terephthalate film was removed, and the film was removed at 30 ° C. to 0.
Spray development was carried out for 10 to 20 seconds with a 05% by weight Na ₂ CO ₃ aqueous solution to remove the unexposed portion and form a colored pattern of one color. This step of forming a colored pattern was repeated three times using the photosensitive films of each color in the order of red, blue and green to form the multicolor pattern shown in FIG.

【００３２】この際の露光量は、２００mJ/cm²とした。
得られた多色パターンに１５０℃で４５分間加熱してカ
ラーフィルタを得た。得られたカラーフィルタの外観を
目視で観察し、欠陥の有無を調べた。また、透明支持体
フィルム及びカラーフィルタの平均表面粗さを測定（表
面粗さ計として小坂製作所製、商品名サーフコーダー３
０Ｄを用い、倍率１００００倍で測定）し、その結果を
表３にあわせて示した。平均表面粗さ０．０２μｍ以下
の支持体フィルムを用いたものは、カラーフィルタの画
素の平均表面粗さも０．０２μｍ以下と良い値を示し
た。The exposure dose at this time was 200 mJ / cm ² .
The obtained multicolor pattern was heated at 150 ° C. for 45 minutes to obtain a color filter. The appearance of the obtained color filter was visually observed to check for defects. In addition, the average surface roughness of the transparent support film and the color filter was measured (as a surface roughness meter, manufactured by Kosaka Seisakusho, trade name Surf Coder 3).
(Measured at a magnification of 10000 times using 0D), and the results are shown in Table 3 together. In the case of using the support film having an average surface roughness of 0.02 μm or less, the average surface roughness of the pixels of the color filter also showed a good value of 0.02 μm or less.

【００３３】[0033]

【表３】 [Table 3]

【００３４】[0034]

【発明の効果】本発明のカラーフィルタ用感光性フィル
ムを使用すれば、表面が平滑で画像欠陥等のない優れた
品質のカラーフィルタを容易に作業性良く製造すること
ができる。By using the photosensitive film for a color filter of the present invention, a color filter having a smooth surface and no image defects can be easily manufactured with good workability.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 （ａ）透明支持体フィルム、（ｂ）着色
された感光性樹脂層及び（ｃ）保護フィルムの順に積層
されたカラーフィルタ用感光性フィルムにおいて、
（ａ）透明支持体フィルムの（ｂ）着色された感光性樹
脂層と接触する面の平均表面粗さを０．０２μｍ以下と
したことを特徴とするカラーフィルタ用感光性フィル
ム。1. A photosensitive film for a color filter, in which (a) a transparent support film, (b) a colored photosensitive resin layer and (c) a protective film are laminated in this order,
A photosensitive film for a color filter, wherein (a) the transparent support film (b) has an average surface roughness of 0.02 μm or less on the surface in contact with the colored photosensitive resin layer. 【請求項２】 （ａ）透明支持体フィルムの厚みを２〜
１０μｍとした請求項１記載のカラーフィルタ用感光性
フィルム。2. The thickness of (a) the transparent support film is 2 to
The photosensitive film for a color filter according to claim 1, which has a thickness of 10 μm.