JPH071340B2 - ステ−ジの駆動装置 - Google Patents
ステ−ジの駆動装置Info
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- JPH071340B2 JPH071340B2 JP60039402A JP3940285A JPH071340B2 JP H071340 B2 JPH071340 B2 JP H071340B2 JP 60039402 A JP60039402 A JP 60039402A JP 3940285 A JP3940285 A JP 3940285A JP H071340 B2 JPH071340 B2 JP H071340B2
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- friction wheel
- guide
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Description
【発明の詳細な説明】 (発明の技術分野) 本発明はステージの駆動装置に関するものであり、例え
ば顕微鏡等光学検査機器用ステージに最適のものであ
る。
ば顕微鏡等光学検査機器用ステージに最適のものであ
る。
(発明の背景) 顕微鏡のステージ上にICのマスクやウェハー等の大型被
検物を載せて観察や検査を行う際、ステージを迅速に移
動させるため、顕微鏡ステージの操作ハンドルの偶力を
解除する装置が種々提案されており、例えば実公昭56−
19050号公報や特開昭57−45513号公報などで公知になっ
ている。
検物を載せて観察や検査を行う際、ステージを迅速に移
動させるため、顕微鏡ステージの操作ハンドルの偶力を
解除する装置が種々提案されており、例えば実公昭56−
19050号公報や特開昭57−45513号公報などで公知になっ
ている。
この種の装置は偶力解除装置が顕微鏡ステージハンドル
(前者)また顕微鏡ステージハンドルに近接した一方向
に移動可能な一枚の板の上(後者)に設置されている。
(前者)また顕微鏡ステージハンドルに近接した一方向
に移動可能な一枚の板の上(後者)に設置されている。
また、いずれの装置においても、偶力の解除状態におい
て、ピニオンとラックの係合が解除されない構造であ
る。
て、ピニオンとラックの係合が解除されない構造であ
る。
そのために、顕微鏡ステージの早送りをしたい場合、ま
ず解除装置が作動しているか否かを確認した後、解除装
置が作動していなければ作動させ、顕微鏡ステージをXY
に移動する上板部の一部、または上板部に固定された移
動つまみに持ち替えてステージを移動させる必要があっ
た。従って、操作が煩わしかった。
ず解除装置が作動しているか否かを確認した後、解除装
置が作動していなければ作動させ、顕微鏡ステージをXY
に移動する上板部の一部、または上板部に固定された移
動つまみに持ち替えてステージを移動させる必要があっ
た。従って、操作が煩わしかった。
また、ラックとピニオンは早送り、微動に係らず常に係
合しているので、長時間使用すると歯面が摩耗したり、
早送りの際ピニオンが高速で回転するので軸受がカジリ
を起こすという欠点があった。
合しているので、長時間使用すると歯面が摩耗したり、
早送りの際ピニオンが高速で回転するので軸受がカジリ
を起こすという欠点があった。
(発明の目的) 本発明は、ステージの早送りの場合の操作性が良く、か
つ耐久性に優れたステージの駆動装置を提供することを
目的とする。
つ耐久性に優れたステージの駆動装置を提供することを
目的とする。
(発明の概要) 本発明は、下板3と、該下板に対してY方向へ移動する
中板2と、該中板に対してX方向へ移動する上板1とを
有するステージの駆動装置において、前記上板に配設さ
れ、前記Y方向へ平行移動する案内面を有する第1案内
部材10,12,12′と、該第1案内部材の前記案内面に当接
する第1摩擦車7と、該第1摩擦車を回転する第1回転
駆動装置7′,9と、前記第1案内部材の案内面と前記第
1摩擦車とを押圧接触せしめる第1ばね部材19と、前記
中板に前記X方向へ平行移動するように配設した第2摩
擦車6と、該第2摩擦車を回転する第2回転駆動装置
6′と、前記下板に配設され、前記第2摩擦車の当接す
る案内面をY方向に有する第2案内部材11と、前記第2
案内部材の案内面と前記第2摩擦車とを押圧接触せしめ
る第2ばね部材20と、前記上板に固設した握り棒21と、
該握り棒と共に操作される操作部材22を有し、該操作部
材の操作による移動を前記第1案内部材の案内面と前記
第1摩擦車との当接を解除するように前記第1案内部材
に伝達する解除手段22,23と、前記第1案内部材の移動
を前記第2案内部材の案内面と前記第2摩擦車との当接
を解除するように前記第2案内部材に伝達する伝達手段
と、を有することを特徴とする駆動装置である。
中板2と、該中板に対してX方向へ移動する上板1とを
有するステージの駆動装置において、前記上板に配設さ
れ、前記Y方向へ平行移動する案内面を有する第1案内
部材10,12,12′と、該第1案内部材の前記案内面に当接
する第1摩擦車7と、該第1摩擦車を回転する第1回転
駆動装置7′,9と、前記第1案内部材の案内面と前記第
1摩擦車とを押圧接触せしめる第1ばね部材19と、前記
中板に前記X方向へ平行移動するように配設した第2摩
擦車6と、該第2摩擦車を回転する第2回転駆動装置
6′と、前記下板に配設され、前記第2摩擦車の当接す
る案内面をY方向に有する第2案内部材11と、前記第2
案内部材の案内面と前記第2摩擦車とを押圧接触せしめ
る第2ばね部材20と、前記上板に固設した握り棒21と、
該握り棒と共に操作される操作部材22を有し、該操作部
材の操作による移動を前記第1案内部材の案内面と前記
第1摩擦車との当接を解除するように前記第1案内部材
に伝達する解除手段22,23と、前記第1案内部材の移動
を前記第2案内部材の案内面と前記第2摩擦車との当接
を解除するように前記第2案内部材に伝達する伝達手段
と、を有することを特徴とする駆動装置である。
(実施例) 以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を説明す
る。
る。
第1図は本発明の一実施例の要部断面図、第2図は第1
図のA−A′矢視断面図、第3図は第1図のB−B′矢
視断面図、第4図は上板1,中板2,下板3を除いた主要部
分の斜視外観図、第5図は早送り操作部材の断面図であ
る。
図のA−A′矢視断面図、第3図は第1図のB−B′矢
視断面図、第4図は上板1,中板2,下板3を除いた主要部
分の斜視外観図、第5図は早送り操作部材の断面図であ
る。
上板1は中板2に対しコロレースを介してX方向(第1
図の左右方向)に移動可能に設けられている。中板2は
下板3に対しコロレースを介してY方向(第1図の紙面
垂直方向)に移動可能に設けられている。また、下板3
は例えば顕微鏡本体の上下動部に取り付けられており、
X方向,Y方向には固定されている。
図の左右方向)に移動可能に設けられている。中板2は
下板3に対しコロレースを介してY方向(第1図の紙面
垂直方向)に移動可能に設けられている。また、下板3
は例えば顕微鏡本体の上下動部に取り付けられており、
X方向,Y方向には固定されている。
中板2には、X方向に案内を有するメスコロレース4が
固設され、このメスコロレース4にはX方向及びY方向
各々に直交する方向へ延びた中空軸5′を有するオスコ
ロレース5がX方向(第1図の左右方向)へ移動自在に
設けられている。オスコロレース5の中空軸の外周に
は、上方に摩擦車6を有し下端に操作ハンドル6′を有
する中空軸が嵌合し、内周には、上方の突出端に摩擦車
7を有し、下方の突出端に操作ハンドル9を有する軸が
嵌合している。その結果、操作ハンドル6′,9はいわゆ
る同軸ハンドルとなっている。操作ハンドル6′とオス
コロレース5の間には押え環8が設けられ、スラスト方
向に適当な偶力が与えられている。同様に、摩擦車7と
オスコロレース5の間には操作ハンドル9により適当な
偶力が与えられている。
固設され、このメスコロレース4にはX方向及びY方向
各々に直交する方向へ延びた中空軸5′を有するオスコ
ロレース5がX方向(第1図の左右方向)へ移動自在に
設けられている。オスコロレース5の中空軸の外周に
は、上方に摩擦車6を有し下端に操作ハンドル6′を有
する中空軸が嵌合し、内周には、上方の突出端に摩擦車
7を有し、下方の突出端に操作ハンドル9を有する軸が
嵌合している。その結果、操作ハンドル6′,9はいわゆ
る同軸ハンドルとなっている。操作ハンドル6′とオス
コロレース5の間には押え環8が設けられ、スラスト方
向に適当な偶力が与えられている。同様に、摩擦車7と
オスコロレース5の間には操作ハンドル9により適当な
偶力が与えられている。
下板3にはY方向摩擦駆動板11が設けられている。メス
コロレース4とオスコロレース5の間には圧縮ばね20が
設けられており、この圧縮ばね20によってオスコロレー
ス5は摩擦車6がY方向摩擦駆動板11に当接するよう押
圧されている。
コロレース4とオスコロレース5の間には圧縮ばね20が
設けられており、この圧縮ばね20によってオスコロレー
ス5は摩擦車6がY方向摩擦駆動板11に当接するよう押
圧されている。
上板1にはX方向摩擦駆動板10が設けられている。X方
向摩擦駆動板10は、第3図に示したように、両端近傍に
固定した段付小ねじ13,13′と、上板1に固定した段付
小ねじ14,14′と、段付小ねじ13,14に回転自在に取り付
けた第1回転板12と、段付小ねじ13′,14′に回転自在
に取り付けた第2回転板12′とによって形成される、い
わゆる平行四辺形のリンク機構によって、Y方向へ平行
移動するように設けられている。すなわち、第3図にお
いて第1,第2回転板12,12′は段小ねじ14,14′を中心に
回転し、それによって摩擦駆動板10はX方向(左右)に
動きつつY方向(上下)に移動する。なお、第3図に示
したように、段付小ねじ13,14を結んだ方向がY方向
(第3図上下方向)となす角度θ(段付小ねじ13′,1
4′についても同じ)は、上板1と回転板12との間に配
設した圧縮ばね19により回転板12が反時計方向の回転力
を得るように適当に定められている。摩擦駆動板10は圧
縮ばね19によって、回転板12を介して、第3図下方へ付
勢され、摩擦車7に押圧されている。
向摩擦駆動板10は、第3図に示したように、両端近傍に
固定した段付小ねじ13,13′と、上板1に固定した段付
小ねじ14,14′と、段付小ねじ13,14に回転自在に取り付
けた第1回転板12と、段付小ねじ13′,14′に回転自在
に取り付けた第2回転板12′とによって形成される、い
わゆる平行四辺形のリンク機構によって、Y方向へ平行
移動するように設けられている。すなわち、第3図にお
いて第1,第2回転板12,12′は段小ねじ14,14′を中心に
回転し、それによって摩擦駆動板10はX方向(左右)に
動きつつY方向(上下)に移動する。なお、第3図に示
したように、段付小ねじ13,14を結んだ方向がY方向
(第3図上下方向)となす角度θ(段付小ねじ13′,1
4′についても同じ)は、上板1と回転板12との間に配
設した圧縮ばね19により回転板12が反時計方向の回転力
を得るように適当に定められている。摩擦駆動板10は圧
縮ばね19によって、回転板12を介して、第3図下方へ付
勢され、摩擦車7に押圧されている。
第3図に示したように、メスコロレース4の上面には移
動板15が設けられ、この移動板15にはその中央付近に左
上りの長溝15aが形成されていると共に、長溝15aを挾ん
でY方向に長手方向を形成した長溝15b,15b′が形成さ
れている。長溝15aにはオスコロレース5に植設したピ
ン16がメスコロレース4に形成した逃げ孔を通して嵌入
しており、また長溝15b,15b′にはメスコロレースに設
けた段付小ねじ17,17′が嵌入している。そして移動板1
5には、摩擦駆動板10の摩擦車7が当接する面とは反対
側の面に対向せしめて配設したベアリング18が支持され
ている。この際、ベアリング18は、第3図の状態、すな
わち摩擦駆動板10が摩擦車7に当接している状態におい
て、摩擦駆動板10とわずかな間隔を取るように配設され
ている。
動板15が設けられ、この移動板15にはその中央付近に左
上りの長溝15aが形成されていると共に、長溝15aを挾ん
でY方向に長手方向を形成した長溝15b,15b′が形成さ
れている。長溝15aにはオスコロレース5に植設したピ
ン16がメスコロレース4に形成した逃げ孔を通して嵌入
しており、また長溝15b,15b′にはメスコロレースに設
けた段付小ねじ17,17′が嵌入している。そして移動板1
5には、摩擦駆動板10の摩擦車7が当接する面とは反対
側の面に対向せしめて配設したベアリング18が支持され
ている。この際、ベアリング18は、第3図の状態、すな
わち摩擦駆動板10が摩擦車7に当接している状態におい
て、摩擦駆動板10とわずかな間隔を取るように配設され
ている。
第5図に示したように、上板1には回転案内軸23を有す
る握り棒21が固設されている。回転案内軸23には、握り
棒21と共に握持しうるレバー部材22が回転自在に設けら
れている。レバーの部材22の一部Aは、回転板12に圧縮
ばね19の反対側にて当接し、握り棒21と共にレバー部材
22を握持することにより、圧縮ばね19による付勢力に抗
して回転板12を時計方向に回転するように作用する。
る握り棒21が固設されている。回転案内軸23には、握り
棒21と共に握持しうるレバー部材22が回転自在に設けら
れている。レバーの部材22の一部Aは、回転板12に圧縮
ばね19の反対側にて当接し、握り棒21と共にレバー部材
22を握持することにより、圧縮ばね19による付勢力に抗
して回転板12を時計方向に回転するように作用する。
従って、握り棒21とレバー部材22とを握持すると、回転
板12は圧縮ばね19の付勢力に抗して時計方向に回転し、
その結果、摩擦駆動板10は第3図の左上方へ移動するか
ら、摩擦駆動板10と摩擦車7との接触は外れ、摩擦駆動
板10はベアリング18に当接する。摩擦駆動板10がさらに
左上方へ移動すると、ベアリング18と一体の移動板15は
長溝15b,15b′、段付小ねじ17,17′によってY方向への
み移動自在になっているから、ベアリング18は摩擦駆動
板10の当接面を摺動しつつ、摩擦駆動板10と共に上方
(Y方向)へ移動する。その際、移動板15の長溝15aに
嵌入したピン16は、長溝15aに案内されてX方向へ移動
する(第6図にこの状態を示す。)。すなわち、オスコ
ロレース5が圧縮ばね20の付勢力に抗して第1図右方へ
移動される。その結果、摩擦車6と摩擦駆動板11との接
触は外れる。
板12は圧縮ばね19の付勢力に抗して時計方向に回転し、
その結果、摩擦駆動板10は第3図の左上方へ移動するか
ら、摩擦駆動板10と摩擦車7との接触は外れ、摩擦駆動
板10はベアリング18に当接する。摩擦駆動板10がさらに
左上方へ移動すると、ベアリング18と一体の移動板15は
長溝15b,15b′、段付小ねじ17,17′によってY方向への
み移動自在になっているから、ベアリング18は摩擦駆動
板10の当接面を摺動しつつ、摩擦駆動板10と共に上方
(Y方向)へ移動する。その際、移動板15の長溝15aに
嵌入したピン16は、長溝15aに案内されてX方向へ移動
する(第6図にこの状態を示す。)。すなわち、オスコ
ロレース5が圧縮ばね20の付勢力に抗して第1図右方へ
移動される。その結果、摩擦車6と摩擦駆動板11との接
触は外れる。
それ故、第7図は外観図において示したように、握り棒
21とレバー部材22とを握持してX方向,Y方向へ移動すれ
ば、摩擦車6,7が摩擦駆動板10,11に接触していない状態
で早送りが実現できる。
21とレバー部材22とを握持してX方向,Y方向へ移動すれ
ば、摩擦車6,7が摩擦駆動板10,11に接触していない状態
で早送りが実現できる。
握り棒21,レバー部材22から手を離すと、圧縮ばね19に
より摩擦駆動板10が摩擦車7に押圧され、ばね20により
摩擦車6が摩擦駆動板11に押圧される。従って、操作ハ
ンドル6′を回転すると、摩擦車6と摩擦駆動板11によ
って中板2は下板3との間のコロレースによってY方向
へ移動し、操作ハンドル9を回転すると、摩擦車7と摩
擦駆動板11によって上板1は中板2との間のコロレース
によってX方向へ移動する。このようにして微動送りが
行なわれる。
より摩擦駆動板10が摩擦車7に押圧され、ばね20により
摩擦車6が摩擦駆動板11に押圧される。従って、操作ハ
ンドル6′を回転すると、摩擦車6と摩擦駆動板11によ
って中板2は下板3との間のコロレースによってY方向
へ移動し、操作ハンドル9を回転すると、摩擦車7と摩
擦駆動板11によって上板1は中板2との間のコロレース
によってX方向へ移動する。このようにして微動送りが
行なわれる。
なお、以上の実施例では、摩擦駆動板10が摩擦車7に当
接している状態において、ベアリング18は摩擦駆動板10
とわずかな間隔を取るように配設されていたため、握り
棒21とレバー部材22とを十分握らず、丁度、摩擦駆動板
10が摩擦車7と接触が解除され、ベアリング18に接触し
た状態において止めれば(握りの感触でわかる)、X方
向のみの早送りを行なうことができる。
接している状態において、ベアリング18は摩擦駆動板10
とわずかな間隔を取るように配設されていたため、握り
棒21とレバー部材22とを十分握らず、丁度、摩擦駆動板
10が摩擦車7と接触が解除され、ベアリング18に接触し
た状態において止めれば(握りの感触でわかる)、X方
向のみの早送りを行なうことができる。
また、操作ハンドル6′,9等を持ってオスコロレース5
を圧縮ばね20の付勢力に抗して移動させれば、摩擦車6
と摩擦駆動板11の接触が解除されるので、Y方向のみの
早送りを行なうこともできる。
を圧縮ばね20の付勢力に抗して移動させれば、摩擦車6
と摩擦駆動板11の接触が解除されるので、Y方向のみの
早送りを行なうこともできる。
勿論、X方向とY方向の送りを分離する必要がなけれ
ば、摩擦駆動板10が摩擦車7に当接している状態におい
て、ベアリング18が摩擦駆動板10に当接しているように
なしても構わない。
ば、摩擦駆動板10が摩擦車7に当接している状態におい
て、ベアリング18が摩擦駆動板10に当接しているように
なしても構わない。
さらに、例えば摩擦駆動板10は早送りの際、Y方向へ平
行移動すれば良いのであるから、上述の如くリンク機構
は案内面の長さが長いので好ましいものではあるが、リ
ンク機構を用いずともY方向に形成したガイドに沿って
摩擦駆動板10が移動するようになしても良い。
行移動すれば良いのであるから、上述の如くリンク機構
は案内面の長さが長いので好ましいものではあるが、リ
ンク機構を用いずともY方向に形成したガイドに沿って
摩擦駆動板10が移動するようになしても良い。
また、上述のレバー部材22は、圧縮ばね19をその復帰ば
ねとしても用いており、握り棒21と共に握持した場合に
のみ早送りとなるので、早送りと微動のいずれに設定さ
れているかの確認が不用なばかりでなく構造簡単なもの
であるが、他の構造のものに置き換えることができる。
例えば、第8図のように握り棒21′を上板1に対し、中
心軸を回転中心として回転自在になすと共に、握り棒2
1′の上方を回転板12に当接する偏心カム24として構成
し、握り棒21′を握って回転し、回転板12を圧縮ばね19
に抗して時計方向(第3図)へ回転するようになせば、
上述の早送りの状態になり、さらに回転して初期状態に
戻せば回転板12は反時計方向(第3図)へ回転し、微動
となる。この場合は、握り棒21′から手を離しても早送
りもしくは微動の状態が維持されるから、上述の第5図
の実施例の如く早送りの場合に常に握り棒21とレバー部
材22を握りしめているような不都合はないが、早送りか
微動の確認が必要になる。
ねとしても用いており、握り棒21と共に握持した場合に
のみ早送りとなるので、早送りと微動のいずれに設定さ
れているかの確認が不用なばかりでなく構造簡単なもの
であるが、他の構造のものに置き換えることができる。
例えば、第8図のように握り棒21′を上板1に対し、中
心軸を回転中心として回転自在になすと共に、握り棒2
1′の上方を回転板12に当接する偏心カム24として構成
し、握り棒21′を握って回転し、回転板12を圧縮ばね19
に抗して時計方向(第3図)へ回転するようになせば、
上述の早送りの状態になり、さらに回転して初期状態に
戻せば回転板12は反時計方向(第3図)へ回転し、微動
となる。この場合は、握り棒21′から手を離しても早送
りもしくは微動の状態が維持されるから、上述の第5図
の実施例の如く早送りの場合に常に握り棒21とレバー部
材22を握りしめているような不都合はないが、早送りか
微動の確認が必要になる。
(発明の効果) 以上述べた如く本発明によれば、ステージの早送りをす
る際、早送り用の握り棒と共に操作しうる操作部材によ
って摩擦車と案内面との当接を解除できるので、操作性
が良く、かつ摩擦車の耐久性の優れたステージの駆動装
置を得ることができる。
る際、早送り用の握り棒と共に操作しうる操作部材によ
って摩擦車と案内面との当接を解除できるので、操作性
が良く、かつ摩擦車の耐久性の優れたステージの駆動装
置を得ることができる。
第1図は本発明の一実施例の要部断面図、第2図は第1
図のA−A′矢視断面図、第3図は第1図のB−B′矢
視断面図、第4図は上板,中板,下板を除いた主要部分
の斜視外観図、第5図は早送り操作部材の断面図、第6
図は早送り時の動作説明図、第7図はステージの外観斜
視図、第8図は早送り操作部材の他の実施例の断面図で
ある。 (主要部分の符号の説明) 1…上板、2…中板、3…下板、4…メスコロレース、
5…オスコロレース、6…摩擦車、6′…操作ハンド
ル、7…摩擦車、9…操作ハンドル、10…X方向摩擦駆
動板、11…Y方向摩擦駆動板、12,12′…回転板、13,1
3′,14,14′,17,17′…段付小ねじ、15…移動板、15a,1
5b,15b′…長溝、16…ピン、18…ベアリング、19,20…
圧縮ばね、21,21′…握り棒、22…レバー部材。
図のA−A′矢視断面図、第3図は第1図のB−B′矢
視断面図、第4図は上板,中板,下板を除いた主要部分
の斜視外観図、第5図は早送り操作部材の断面図、第6
図は早送り時の動作説明図、第7図はステージの外観斜
視図、第8図は早送り操作部材の他の実施例の断面図で
ある。 (主要部分の符号の説明) 1…上板、2…中板、3…下板、4…メスコロレース、
5…オスコロレース、6…摩擦車、6′…操作ハンド
ル、7…摩擦車、9…操作ハンドル、10…X方向摩擦駆
動板、11…Y方向摩擦駆動板、12,12′…回転板、13,1
3′,14,14′,17,17′…段付小ねじ、15…移動板、15a,1
5b,15b′…長溝、16…ピン、18…ベアリング、19,20…
圧縮ばね、21,21′…握り棒、22…レバー部材。
Claims (1)
- 【請求項1】下板3と、該下板に対してY方向へ移動す
る中板2と、該中板に対してX方向へ移動する上板1と
を有するステージの駆動装置において、 前記上板に配設され、前記X方向に延在する案内面を有
すると共に、前記Y方向へ平行移動する第1案内部材1
0,12,12′と、該第1案内部材の前記案内面に当接する
第1摩擦車7と、該第1摩擦車を回転する第1回転駆動
装置7′,9と、前記第1案内部材の案内面と前記第1摩
擦車とを押圧接触せしめる第1押圧部材19と、前記中板
に前記X方向へ平行移動するように配設した第2摩擦車
6と、該第2摩擦車を回転する第2回転駆動装置6′
と、前記下板に配設され、前記第2摩擦車の当接する案
内面をY方向に有する第2案内部材11と、前記第2案内
部材の案内面と前記第2摩擦車とを押圧接触せしめる第
2押圧部材20と、前記上板に固設し、粗動の時に操作さ
れるにぎり棒21と、該握り棒と共に操作される操作部材
22を有し、該操作部材の操作による移動を前記第1案内
部材の案内面と前記第1摩擦車との当接を解除するよう
に前記第1案内部材に伝達する解除手段22,23と、前記
解除手段による第1案内部材のY方向への移動を伝達し
て前記第2案内部材の案内面と前記第2摩擦車との当接
を解除する伝達手段5,15,15a,16,18と、を有することを
特徴とするステージの駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60039402A JPH071340B2 (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | ステ−ジの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP60039402A JPH071340B2 (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | ステ−ジの駆動装置 |
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ID=12551995
Family Applications (1)
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JP60039402A Expired - Fee Related JPH071340B2 (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | ステ−ジの駆動装置 |
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JP (1) | JPH071340B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1985
- 1985-02-28 JP JP60039402A patent/JPH071340B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6341037B1 (en) | 1999-08-24 | 2002-01-22 | Mitutoyo Corporation | Positioning stage |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61198206A (ja) | 1986-09-02 |
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