JPH071340B2 - ステ−ジの駆動装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明はステージの駆動装置に関するものであり、例え
ば顕微鏡等光学検査機器用ステージに最適のものであ
る。

（発明の背景） 顕微鏡のステージ上にICのマスクやウェハー等の大型被
検物を載せて観察や検査を行う際、ステージを迅速に移
動させるため、顕微鏡ステージの操作ハンドルの偶力を
解除する装置が種々提案されており、例えば実公昭56−
19050号公報や特開昭57−45513号公報などで公知になっ
ている。

この種の装置は偶力解除装置が顕微鏡ステージハンドル
（前者）また顕微鏡ステージハンドルに近接した一方向
に移動可能な一枚の板の上（後者）に設置されている。

また、いずれの装置においても、偶力の解除状態におい
て、ピニオンとラックの係合が解除されない構造であ
る。

そのために、顕微鏡ステージの早送りをしたい場合、ま
ず解除装置が作動しているか否かを確認した後、解除装
置が作動していなければ作動させ、顕微鏡ステージをXY
に移動する上板部の一部、または上板部に固定された移
動つまみに持ち替えてステージを移動させる必要があっ
た。従って、操作が煩わしかった。

また、ラックとピニオンは早送り、微動に係らず常に係
合しているので、長時間使用すると歯面が摩耗したり、
早送りの際ピニオンが高速で回転するので軸受がカジリ
を起こすという欠点があった。

（発明の目的） 本発明は、ステージの早送りの場合の操作性が良く、か
つ耐久性に優れたステージの駆動装置を提供することを
目的とする。

（発明の概要） 本発明は、下板３と、該下板に対してＹ方向へ移動する
中板２と、該中板に対してＸ方向へ移動する上板１とを
有するステージの駆動装置において、前記上板に配設さ
れ、前記Ｙ方向へ平行移動する案内面を有する第１案内
部材10,12,12′と、該第１案内部材の前記案内面に当接
する第１摩擦車７と、該第１摩擦車を回転する第１回転
駆動装置７′,9と、前記第１案内部材の案内面と前記第
１摩擦車とを押圧接触せしめる第１ばね部材19と、前記
中板に前記Ｘ方向へ平行移動するように配設した第２摩
擦車６と、該第２摩擦車を回転する第２回転駆動装置
６′と、前記下板に配設され、前記第２摩擦車の当接す
る案内面をＹ方向に有する第２案内部材11と、前記第２
案内部材の案内面と前記第２摩擦車とを押圧接触せしめ
る第２ばね部材20と、前記上板に固設した握り棒21と、
該握り棒と共に操作される操作部材22を有し、該操作部
材の操作による移動を前記第１案内部材の案内面と前記
第１摩擦車との当接を解除するように前記第１案内部材
に伝達する解除手段22,23と、前記第１案内部材の移動
を前記第２案内部材の案内面と前記第２摩擦車との当接
を解除するように前記第２案内部材に伝達する伝達手段
と、を有することを特徴とする駆動装置である。

（実施例） 以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を説明す
る。

第１図は本発明の一実施例の要部断面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ′矢視断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ′矢
視断面図、第４図は上板1,中板2,下板３を除いた主要部
分の斜視外観図、第５図は早送り操作部材の断面図であ
る。

上板１は中板２に対しコロレースを介してＸ方向（第１
図の左右方向）に移動可能に設けられている。中板２は
下板３に対しコロレースを介してＹ方向（第１図の紙面
垂直方向）に移動可能に設けられている。また、下板３
は例えば顕微鏡本体の上下動部に取り付けられており、
Ｘ方向,Y方向には固定されている。

中板２には、Ｘ方向に案内を有するメスコロレース４が
固設され、このメスコロレース４にはＸ方向及びＹ方向
各々に直交する方向へ延びた中空軸５′を有するオスコ
ロレース５がＸ方向（第１図の左右方向）へ移動自在に
設けられている。オスコロレース５の中空軸の外周に
は、上方に摩擦車６を有し下端に操作ハンドル６′を有
する中空軸が嵌合し、内周には、上方の突出端に摩擦車
７を有し、下方の突出端に操作ハンドル９を有する軸が
嵌合している。その結果、操作ハンドル６′,9はいわゆ
る同軸ハンドルとなっている。操作ハンドル６′とオス
コロレース５の間には押え環８が設けられ、スラスト方
向に適当な偶力が与えられている。同様に、摩擦車７と
オスコロレース５の間には操作ハンドル９により適当な
偶力が与えられている。

下板３にはＹ方向摩擦駆動板11が設けられている。メス
コロレース４とオスコロレース５の間には圧縮ばね20が
設けられており、この圧縮ばね20によってオスコロレー
ス５は摩擦車６がＹ方向摩擦駆動板11に当接するよう押
圧されている。

上板１にはＸ方向摩擦駆動板10が設けられている。Ｘ方
向摩擦駆動板10は、第３図に示したように、両端近傍に
固定した段付小ねじ13,13′と、上板１に固定した段付
小ねじ14,14′と、段付小ねじ13,14に回転自在に取り付
けた第１回転板12と、段付小ねじ13′,14′に回転自在
に取り付けた第２回転板12′とによって形成される、い
わゆる平行四辺形のリンク機構によって、Ｙ方向へ平行
移動するように設けられている。すなわち、第３図にお
いて第1,第２回転板12,12′は段小ねじ14,14′を中心に
回転し、それによって摩擦駆動板10はＸ方向（左右）に
動きつつＹ方向（上下）に移動する。なお、第３図に示
したように、段付小ねじ13,14を結んだ方向がＹ方向
（第３図上下方向）となす角度θ（段付小ねじ13′,1
4′についても同じ）は、上板１と回転板12との間に配
設した圧縮ばね19により回転板12が反時計方向の回転力
を得るように適当に定められている。摩擦駆動板10は圧
縮ばね19によって、回転板12を介して、第３図下方へ付
勢され、摩擦車７に押圧されている。

第３図に示したように、メスコロレース４の上面には移
動板15が設けられ、この移動板15にはその中央付近に左
上りの長溝15aが形成されていると共に、長溝15aを挾ん
でＹ方向に長手方向を形成した長溝15b,15b′が形成さ
れている。長溝15aにはオスコロレース５に植設したピ
ン16がメスコロレース４に形成した逃げ孔を通して嵌入
しており、また長溝15b,15b′にはメスコロレースに設
けた段付小ねじ17,17′が嵌入している。そして移動板1
5には、摩擦駆動板10の摩擦車７が当接する面とは反対
側の面に対向せしめて配設したベアリング18が支持され
ている。この際、ベアリング18は、第３図の状態、すな
わち摩擦駆動板10が摩擦車７に当接している状態におい
て、摩擦駆動板10とわずかな間隔を取るように配設され
ている。

第５図に示したように、上板１には回転案内軸23を有す
る握り棒21が固設されている。回転案内軸23には、握り
棒21と共に握持しうるレバー部材22が回転自在に設けら
れている。レバーの部材22の一部Ａは、回転板12に圧縮
ばね19の反対側にて当接し、握り棒21と共にレバー部材
22を握持することにより、圧縮ばね19による付勢力に抗
して回転板12を時計方向に回転するように作用する。

従って、握り棒21とレバー部材22とを握持すると、回転
板12は圧縮ばね19の付勢力に抗して時計方向に回転し、
その結果、摩擦駆動板10は第３図の左上方へ移動するか
ら、摩擦駆動板10と摩擦車７との接触は外れ、摩擦駆動
板10はベアリング18に当接する。摩擦駆動板10がさらに
左上方へ移動すると、ベアリング18と一体の移動板15は
長溝15b,15b′、段付小ねじ17,17′によってＹ方向への
み移動自在になっているから、ベアリング18は摩擦駆動
板10の当接面を摺動しつつ、摩擦駆動板10と共に上方
（Ｙ方向）へ移動する。その際、移動板15の長溝15aに
嵌入したピン16は、長溝15aに案内されてＸ方向へ移動
する（第６図にこの状態を示す。）。すなわち、オスコ
ロレース５が圧縮ばね20の付勢力に抗して第１図右方へ
移動される。その結果、摩擦車６と摩擦駆動板11との接
触は外れる。

それ故、第７図は外観図において示したように、握り棒
21とレバー部材22とを握持してＸ方向,Y方向へ移動すれ
ば、摩擦車6,7が摩擦駆動板10,11に接触していない状態
で早送りが実現できる。

握り棒21,レバー部材22から手を離すと、圧縮ばね19に
より摩擦駆動板10が摩擦車７に押圧され、ばね20により
摩擦車６が摩擦駆動板11に押圧される。従って、操作ハ
ンドル６′を回転すると、摩擦車６と摩擦駆動板11によ
って中板２は下板３との間のコロレースによってＹ方向
へ移動し、操作ハンドル９を回転すると、摩擦車７と摩
擦駆動板11によって上板１は中板２との間のコロレース
によってＸ方向へ移動する。このようにして微動送りが
行なわれる。

なお、以上の実施例では、摩擦駆動板10が摩擦車７に当
接している状態において、ベアリング18は摩擦駆動板10
とわずかな間隔を取るように配設されていたため、握り
棒21とレバー部材22とを十分握らず、丁度、摩擦駆動板
10が摩擦車７と接触が解除され、ベアリング18に接触し
た状態において止めれば（握りの感触でわかる）、Ｘ方
向のみの早送りを行なうことができる。

また、操作ハンドル６′,9等を持ってオスコロレース５
を圧縮ばね20の付勢力に抗して移動させれば、摩擦車６
と摩擦駆動板11の接触が解除されるので、Ｙ方向のみの
早送りを行なうこともできる。

勿論、Ｘ方向とＹ方向の送りを分離する必要がなけれ
ば、摩擦駆動板10が摩擦車７に当接している状態におい
て、ベアリング18が摩擦駆動板10に当接しているように
なしても構わない。

さらに、例えば摩擦駆動板10は早送りの際、Ｙ方向へ平
行移動すれば良いのであるから、上述の如くリンク機構
は案内面の長さが長いので好ましいものではあるが、リ
ンク機構を用いずともＹ方向に形成したガイドに沿って
摩擦駆動板10が移動するようになしても良い。

また、上述のレバー部材22は、圧縮ばね19をその復帰ば
ねとしても用いており、握り棒21と共に握持した場合に
のみ早送りとなるので、早送りと微動のいずれに設定さ
れているかの確認が不用なばかりでなく構造簡単なもの
であるが、他の構造のものに置き換えることができる。
例えば、第８図のように握り棒21′を上板１に対し、中
心軸を回転中心として回転自在になすと共に、握り棒2
1′の上方を回転板12に当接する偏心カム24として構成
し、握り棒21′を握って回転し、回転板12を圧縮ばね19
に抗して時計方向（第３図）へ回転するようになせば、
上述の早送りの状態になり、さらに回転して初期状態に
戻せば回転板12は反時計方向（第３図）へ回転し、微動
となる。この場合は、握り棒21′から手を離しても早送
りもしくは微動の状態が維持されるから、上述の第５図
の実施例の如く早送りの場合に常に握り棒21とレバー部
材22を握りしめているような不都合はないが、早送りか
微動の確認が必要になる。

（発明の効果） 以上述べた如く本発明によれば、ステージの早送りをす
る際、早送り用の握り棒と共に操作しうる操作部材によ
って摩擦車と案内面との当接を解除できるので、操作性
が良く、かつ摩擦車の耐久性の優れたステージの駆動装
置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部断面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ′矢視断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ′矢
視断面図、第４図は上板，中板，下板を除いた主要部分
の斜視外観図、第５図は早送り操作部材の断面図、第６
図は早送り時の動作説明図、第７図はステージの外観斜
視図、第８図は早送り操作部材の他の実施例の断面図で
ある。 （主要部分の符号の説明） １…上板、２…中板、３…下板、４…メスコロレース、
５…オスコロレース、６…摩擦車、６′…操作ハンド
ル、７…摩擦車、９…操作ハンドル、10…Ｘ方向摩擦駆
動板、11…Ｙ方向摩擦駆動板、12,12′…回転板、13,1
3′,14,14′,17,17′…段付小ねじ、15…移動板、15a,1
5b,15b′…長溝、16…ピン、18…ベアリング、19,20…
圧縮ばね、21,21′…握り棒、22…レバー部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】下板３と、該下板に対してＹ方向へ移動す
   る中板２と、該中板に対してＸ方向へ移動する上板１と
   を有するステージの駆動装置において、 前記上板に配設され、前記Ｘ方向に延在する案内面を有
   すると共に、前記Ｙ方向へ平行移動する第１案内部材1
   0,12,12′と、該第１案内部材の前記案内面に当接する
   第１摩擦車７と、該第１摩擦車を回転する第１回転駆動
   装置７′,9と、前記第１案内部材の案内面と前記第１摩
   擦車とを押圧接触せしめる第１押圧部材19と、前記中板
   に前記Ｘ方向へ平行移動するように配設した第２摩擦車
   ６と、該第２摩擦車を回転する第２回転駆動装置６′
   と、前記下板に配設され、前記第２摩擦車の当接する案
   内面をＹ方向に有する第２案内部材11と、前記第２案内
   部材の案内面と前記第２摩擦車とを押圧接触せしめる第
   ２押圧部材20と、前記上板に固設し、粗動の時に操作さ
   れるにぎり棒21と、該握り棒と共に操作される操作部材
   22を有し、該操作部材の操作による移動を前記第１案内
   部材の案内面と前記第１摩擦車との当接を解除するよう
   に前記第１案内部材に伝達する解除手段22,23と、前記
   解除手段による第１案内部材のＹ方向への移動を伝達し
   て前記第２案内部材の案内面と前記第２摩擦車との当接
   を解除する伝達手段5,15,15a,16,18と、を有することを
   特徴とするステージの駆動装置。