JPH07130541A - Manufacture of coil device - Google Patents
Manufacture of coil deviceInfo
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- JPH07130541A JPH07130541A JP29737793A JP29737793A JPH07130541A JP H07130541 A JPH07130541 A JP H07130541A JP 29737793 A JP29737793 A JP 29737793A JP 29737793 A JP29737793 A JP 29737793A JP H07130541 A JPH07130541 A JP H07130541A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、電気、電子機器等に用
いられるトランスやインダクタンス素子等のコイル装置
の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a coil device such as a transformer or an inductance element used in electric or electronic equipment.
【0002】[0002]
【従来の技術】トランスやインダクタンス素子等の各種
のコイル装置は、フェライト等の磁性材料で形成された
磁性コアに線材を巻回することにより巻線した構成であ
り、近年、電気、電子機器の小型化に伴ってコイル装置
の小型化、薄型化が要求されている。2. Description of the Related Art Various coil devices such as transformers and inductance elements are constructed by winding a wire around a magnetic core made of a magnetic material such as ferrite. Along with the miniaturization, miniaturization and thinning of the coil device are required.
【0003】特公昭53−36140号等に開示されて
いるように、従来のコイル装置の製造方法は、磁性コア
に直接線材を巻回して巻線するか、あるいはボビンを介
して巻線を施す構成が主流であった。As disclosed in Japanese Examined Patent Publication No. Sho 53-36140 and the like, in the conventional method for manufacturing a coil device, a wire is directly wound around a magnetic core and wound, or wound through a bobbin. The composition was the mainstream.
【0004】また、本出願人が特公昭60−50331
号で提案しているように、コイル装置としてのインダク
タンス素子の製造方法において、磁性体のフェライト粉
末を含む絶縁性塗料と、巻線となる周回する導体パター
ンを形成するための導電性塗料とを交互に印刷積層し
て、磁性体と導電性塗料を同時焼成させる構成が開示さ
れている。Further, the applicant of the present invention has disclosed that the Japanese Patent Publication No. 60-50331.
In the method for manufacturing an inductance element as a coil device, an insulating coating material containing ferrite powder of a magnetic material and a conductive coating material for forming a winding conductive pattern to be a winding are proposed in A configuration is disclosed in which the magnetic material and the conductive paint are fired simultaneously by alternately printing and laminating.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の従来
例で示したコイル装置の製造方法では以下のようにそれ
ぞれ問題点がある。The coil device manufacturing method shown in the above-mentioned conventional example has the following problems.
【0006】磁性コアに直接あるいはボビンを介し線材
を巻回して巻線を施す方法では、磁性コア、ボビン及び
コイルの寸法誤差の影響を受けるため、コイルの小型化
又は高密度化への対応が困難であり、コイル装置の小型
化あるいは薄型化に不向きである。In the method of winding a wire around a magnetic core directly or via a bobbin for winding, the size of the coil is reduced because of the influence of the dimensional error of the magnetic core, the bobbin and the coil. It is difficult and not suitable for making the coil device smaller or thinner.
【0007】磁性体と導電性塗料とを交互に印刷積層
し、同時焼成したものはコイルを形成する導電性塗料の
膜厚が薄いため、電流容量が小さいという欠点があり、
大きな電流容量を必要とするコイル装置の製造方法には
適さない。A magnetic material and a conductive paint which are alternately printed and laminated and co-fired have a drawback that the current capacity is small because the thickness of the conductive paint forming the coil is thin.
It is not suitable for a manufacturing method of a coil device that requires a large current capacity.
【0008】本発明は、上記の点に鑑み、コイル装置の
小型化に伴うコイル導体パターンの小型化又は高密度化
に対応し、十分な電流容量を確保できるコイル装置の製
造方法を提供することを目的とする。In view of the above points, the present invention provides a method for manufacturing a coil device, which can cope with the miniaturization or high density of the coil conductor pattern accompanying the miniaturization of the coil device and can secure a sufficient current capacity. With the goal.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のコイル装置の製造方法は、相互に一体化さ
れる第1の板状磁性コアと第2の板状磁性コアとで構成
される内部空間にコイルを配した場合において、前記第
1の板状磁性コアの一面に前記内部空間の少なくとも一
部を構成する凹部を設け、該凹部に導電性ペーストを印
刷し焼結することにより導電層を形成し、エッチングに
より該導電層でコイル導体パターンを形成することを特
徴としている。In order to achieve the above object, a method of manufacturing a coil device according to the present invention comprises a first plate-shaped magnetic core and a second plate-shaped magnetic core which are integrated with each other. When a coil is arranged in the internal space that is formed, a concave portion that forms at least a part of the internal space is provided on one surface of the first plate-shaped magnetic core, and a conductive paste is printed and sintered in the concave portion. Thus, the conductive layer is formed, and the coil conductor pattern is formed by the conductive layer by etching.
【0010】また、前記第1の板状磁性コアの前記凹部
の底面から当該磁性コアの裏面に貫通する貫通孔を形成
し、該貫通孔の内部及び前記凹部に導電性ペーストを印
刷し焼結してもよい。A through hole penetrating from the bottom surface of the recess of the first plate-shaped magnetic core to the back surface of the magnetic core is formed, and a conductive paste is printed inside the through hole and the recess and sintered. You may.
【0011】また、前記導電性ペーストとして銀ペース
トを用いてもよい。A silver paste may be used as the conductive paste.
【0012】[0012]
【作用】本発明のコイル装置の製造方法においては、第
1の板状磁性コアの凹部に導電性ペーストを印刷、焼結
(焼き付け)して導電層を形成した後、該導電層にエッ
チングを施すことにより、凹部にスパイラル状等のコイ
ル導体パターンを形成しており、コイル導体パターンの
巻き数や線幅がエッチングにより自在に設定可能であ
り、コイル導体パターンの小型化又は高密度化が可能で
ある。また、凹部に形成する前記導電層は、十分な厚さ
で形成することができるため、コイル導体パターンの電
流容量を大きくすることが可能である。さらに、工程の
自動化が可能であるため量産に適し、製造コストの低減
が可能である。従って、従来の磁性コアに線材からなる
巻線を直接あるいはボビンを介して巻回したり、磁性体
と導電性塗料とを交互に印刷積層し、同時焼成してコイ
ルを形成する方法と比較して、コイル装置の小型化や薄
型化に適しており、コイルの電流容量も大きくすること
が可能であり、製造が容易で低コストである。In the method for manufacturing a coil device of the present invention, the conductive paste is printed and sintered (baked) in the recess of the first plate-shaped magnetic core to form the conductive layer, and then the conductive layer is etched. By applying it, a spiral-shaped coil conductor pattern is formed in the recess, and the number of turns and line width of the coil conductor pattern can be freely set by etching, enabling miniaturization or higher density of the coil conductor pattern. Is. Further, since the conductive layer formed in the recess can be formed with a sufficient thickness, it is possible to increase the current capacity of the coil conductor pattern. Furthermore, since the process can be automated, it is suitable for mass production and the manufacturing cost can be reduced. Therefore, in comparison with the conventional method in which a coil made of a wire is wound around a magnetic core directly or via a bobbin, or by alternately printing and laminating a magnetic material and a conductive coating and simultaneously firing to form a coil. The coil device is suitable for downsizing and thinning, the current capacity of the coil can be increased, and the manufacturing is easy and the cost is low.
【0013】また、第1の板状磁性コアにその凹部の底
面から裏面に貫通する貫通孔を形成し、該貫通孔の内部
及び前記凹部に導電性ペーストを印刷し焼結することに
より、凹部に形成された導電層と一体となった接続用の
リード部を同時に形成することができ、導電層をエッチ
ングすることで得られたコイル導体パターンと第1の板
状磁性コア裏面の端子(又は電極)とをそのリード部で
接続することができる。Further, a through hole penetrating from the bottom surface of the recess to the back surface is formed in the first plate-shaped magnetic core, and a conductive paste is printed and sintered in the through hole and in the recess to form the recess. A connecting lead portion integrated with the conductive layer formed on the first conductive magnetic layer can be formed at the same time, and the coil conductor pattern obtained by etching the conductive layer and the terminal on the back surface of the first plate-shaped magnetic core (or The electrode) can be connected with the lead portion.
【0014】なお、導電性ペーストは、銀ペーストを用
いることにより、エッチング後のスパイラル状等のコイ
ル導体パターンにメッキ処理等の腐食防止を施す必要が
なく、電気抵抗の低い良好な特性が得られる。By using a silver paste as the conductive paste, it is not necessary to perform corrosion prevention such as plating on the spiral coil conductor pattern after etching, and good characteristics with low electric resistance can be obtained. .
【0015】[0015]
【実施例】以下、本発明に係るコイル装置の製造方法の
実施例を図面に従って説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a method for manufacturing a coil device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0016】図1乃至図8は本発明の第1実施例を示
す。図1は本実施例によって得られるインダクタンス素
子1を示しており、該インダクタンス素子1は、スパイ
ラル状コイル導体パターン2を設けた第1の板状磁性コ
アとしての凹溝付き円板状コア(極めて薄型の円形ポッ
トコア)3と、第2の板状磁性コアとしての円板状コア
4とを接着等で一体化したものであり、以下にこのイン
ダクタンス素子1の製造方法を示す。1 to 8 show a first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows an inductance element 1 obtained according to the present embodiment. The inductance element 1 is a disc-shaped core with a groove as a first plate-shaped magnetic core provided with a spiral coil conductor pattern 2 (extremely A thin circular pot core 3 and a disk-shaped core 4 as a second plate-shaped magnetic core are integrated by adhesion or the like. The method for manufacturing the inductance element 1 will be described below.
【0017】前記凹溝付き円板状コア3は、図2及び図
3に示すように、平板部5の一面の中央に円柱状部6
を、周縁部に円環状部7をそれぞれ一体に有し、円柱状
部6と円環状部7の間に円環状凹溝(凹部)8が設けら
れたものであり、高抵抗フェライトを一体成型して焼結
したものである。前記円柱状部6及び円環状部7は、両
者の端面が同一高さになるように形成し、前記円環状凹
溝8の幅は用途に応じた所望のコイル導体パターンに対
応させて任意の幅に設定する。なお、凹溝付き円板状コ
ア3は数mm程度の厚さ(高さ)とし、円環状凹溝8の深
さは100μm〜200μm程度としている。As shown in FIGS. 2 and 3, the disc-shaped core 3 with the concave groove has a cylindrical portion 6 at the center of one surface of the flat plate portion 5.
Is integrally formed with a ring-shaped portion 7 at the peripheral portion, and a ring-shaped groove (recess) 8 is provided between the column-shaped portion 6 and the ring-shaped portion 7, and a high resistance ferrite is integrally molded. And then sintered. The columnar portion 6 and the annular portion 7 are formed so that both end surfaces thereof have the same height, and the width of the annular recessed groove 8 is arbitrary corresponding to a desired coil conductor pattern according to the application. Set to width. The disc-shaped core 3 with concave grooves has a thickness (height) of about several mm, and the depth of the circular concave groove 8 is about 100 μm to 200 μm.
【0018】次に、図4のように前記凹溝付き円板状コ
ア3の円環状凹溝8の底面に導電性ペーストとしての銀
ペーストを印刷し焼結する(焼き付ける)ことで円環状
導電層9を形成する。すなわち、スクリーン印刷あるい
はパット印刷(転写による印刷)といった印刷方法によ
り、円環状凹溝8底面に銀ペーストを印刷し乾燥する工
程を数回繰り返した後焼結するか、あるいは印刷、焼結
工程を数回繰り返し行うことにより、所望の厚さの円環
状導電層9を得る。なお、後工程のフォトエッチング法
による処理を考慮した場合、円環状導電層9の上面が前
記円柱状部6及び円環状部7と実質的に同一高さとなる
ことが望ましい。Next, as shown in FIG. 4, silver paste as a conductive paste is printed on the bottom surface of the annular groove 8 of the disk-shaped core 3 with the groove and sintered (baked) to form an annular conductive material. Form the layer 9. That is, by a printing method such as screen printing or pad printing (printing by transfer), the step of printing the silver paste on the bottom surface of the annular groove 8 and drying it is repeated several times and then sintered, or the printing and sintering steps are performed. By repeating the process several times, the annular conductive layer 9 having a desired thickness is obtained. It is preferable that the upper surface of the annular conductive layer 9 has substantially the same height as the cylindrical portion 6 and the annular portion 7 in consideration of the treatment by the photoetching method in the subsequent step.
【0019】それから、図5及び図6に示すように、前
記円環状導電層9にフォトエッチング法によるエッチン
グを施し、円環状凹溝8底面に所望の導体パターンとし
てのスパイラル状コイル導体パターン2をそれぞれ形成
する。すなわち、円環状導電層9上面にフォトレジスト
を塗布し、そのフォトレジスト層に数ターン周回するス
パイラル状パターンを露光し、スパイラル状パターンの
フォトレジスト層で被覆された部分以外をエッチングで
除去してスパイラル状コイル導体パターン2をそれぞれ
形成する。Then, as shown in FIGS. 5 and 6, the annular conductive layer 9 is etched by a photo-etching method to form a spiral coil conductor pattern 2 as a desired conductor pattern on the bottom surface of the annular groove 8. Form each. That is, a photoresist is applied to the upper surface of the ring-shaped conductive layer 9, a spiral pattern that circulates for several turns is exposed to the photoresist layer, and the portion of the spiral pattern other than the portion covered with the photoresist layer is removed by etching. The spiral coil conductor patterns 2 are formed respectively.
【0020】前記円板状コア4は、図7及び図8に示す
ように、前記凹溝付き円板状コア3と同径の円板状磁性
コアであり、高抵抗フェライトを一体成型して焼結した
ものである。As shown in FIGS. 7 and 8, the disk-shaped core 4 is a disk-shaped magnetic core having the same diameter as that of the disk-shaped core 3 with a groove, and is formed by integrally molding a high resistance ferrite. It is a sintered product.
【0021】そして、前記円環状凹溝8を有する凹溝付
き円板状コア3の上面と前記円板状コア4の底面とを対
向させ、円板状コア4の底面に凹溝付き円板状コア3の
円柱状部6及び円環状部7の端面を接面し、凹溝付き円
板状コア3と円板状コア4とを一体に固定する。なお、
凹溝付き円板状コア3と円板状コア4とは、接着剤を用
いて接着固定するか、あるいは両者を接面した状態で固
定金具等で挟持する。Then, the upper surface of the disk-shaped core 3 with a groove having the annular groove 8 and the bottom surface of the disk-shaped core 4 are opposed to each other, and the disk with a groove is formed on the bottom surface of the disk-shaped core 4. The end faces of the cylindrical portion 6 and the annular portion 7 of the cylindrical core 3 are brought into contact with each other, and the disc-shaped core 3 with a groove and the disc-shaped core 4 are integrally fixed. In addition,
The disk-shaped core 3 with a groove and the disk-shaped core 4 are adhered and fixed using an adhesive agent, or are sandwiched by fixing metal fittings or the like in a state where they are in contact with each other.
【0022】以上により、図1に示した如く、凹溝付き
円板状コア3と円板状コア4とで囲まれた円環状凹溝8
からなる内部空間10にスパイラル状コイル導体パター
ン2を有し、凹溝付き円板状コア3の円柱状部6及び円
環状部7の端面と円板状コア4底面とが接面して閉磁路
が構成されたインダクタンス素子1が得られる。As described above, as shown in FIG. 1, the annular groove 8 surrounded by the disk-shaped core 3 with a groove and the disk-shaped core 4 is formed.
Has a spiral coil conductor pattern 2 in an inner space 10 made of, and the end faces of the columnar portion 6 and the annular portion 7 of the disk-shaped core 3 with concave grooves are in contact with the bottom surface of the disk-shaped core 4 to close the magnetic field. An inductance element 1 having a path is obtained.
【0023】以上の第1実施例によると、印刷法により
円環状凹溝8の形状に合う円環状導電層9を形成するた
め、円環状凹溝8の形状への対応が容易で、小型のフェ
ライトコアにも対応できる。また、スパイラル状コイル
導体パターン2は円環状凹溝8底面に焼き付けられた前
記円環状導電層9をフォトエッチング法により所望の導
体パターンに加工して形成するため、コイルの巻き数や
線幅を高い寸法精度で自在に設定でき、スパイラル状コ
イル導体パターンの高密度化も容易であり、インダクタ
ンス素子の小型化や薄型化に適している。また、前記円
環状導電層9は、導電性ペーストを印刷し乾燥する工程
を数回繰り返した後焼結するか、あるいは印刷、焼結工
程を数回繰り返し行うことにより十分な厚さで形成する
ことができるため、コイル導体パターンの電流容量の大
きくすることが可能である。さらに、前記各工程は自動
化が可能であるため量産に適し、製造コストの低減を図
ることができる。According to the first embodiment described above, since the ring-shaped conductive layer 9 that matches the shape of the ring-shaped groove 8 is formed by the printing method, the shape of the ring-shaped groove 8 can be easily accommodated and the size can be reduced. It can also be used for ferrite cores. Further, since the spiral coil conductor pattern 2 is formed by processing the ring-shaped conductive layer 9 baked on the bottom surface of the ring-shaped groove 8 into a desired conductor pattern by a photo-etching method, the number of turns and the line width of the coil can be reduced. It can be freely set with high dimensional accuracy, and it is easy to increase the density of the spiral coil conductor pattern, making it suitable for downsizing and thinning of inductance elements. In addition, the annular conductive layer 9 is formed to have a sufficient thickness by repeating the steps of printing and drying the conductive paste several times and then sintering, or repeating the printing and sintering steps several times. Therefore, the current capacity of the coil conductor pattern can be increased. Furthermore, since each of the above steps can be automated, it is suitable for mass production, and the manufacturing cost can be reduced.
【0024】また、円環状導電層9を形成する導電性ペ
ーストとして銀ペーストを用いることにより、フォトエ
ッチング後のスパイラル状コイル導体パターン2にメッ
キ処理等の腐食防止を施す必要がなく、該スパイラル状
コイル導体パターン2は電気抵抗が低く、良好な特性が
得られる。Further, by using a silver paste as the conductive paste for forming the annular conductive layer 9, it is not necessary to prevent the spiral coil conductor pattern 2 after photoetching from being corroded by plating or the like. The coil conductor pattern 2 has a low electric resistance and good characteristics can be obtained.
【0025】図9乃至図11は本発明の第2実施例を示
す。図9は本実施例によって得られるインダクタンス素
子1Aを示しており、該インダクタンス素子1Aは前記
第1実施例で示したスパイラル状コイル導体パターン2
を有する第1の板状磁性コアとしての凹溝付き円板状コ
ア3と、第2の板状磁性コアとしての凹部付き円板状コ
ア21とを一体化したものである。この第2実施例の場
合も凹溝付き円板状コア3にスパイラル状コイル導体パ
ターン2をフォトエッチングで形成する工程は前述の第
1実施例と同じである。9 to 11 show a second embodiment of the present invention. FIG. 9 shows an inductance element 1A obtained according to this embodiment. The inductance element 1A is the spiral coil conductor pattern 2 shown in the first embodiment.
The disc-shaped core 3 with a groove as a first plate-shaped magnetic core and the disc-shaped core 21 with a recess as a second plate-shaped magnetic core are integrated. Also in the case of the second embodiment, the step of forming the spiral coil conductor pattern 2 on the disk-shaped core 3 with the concave groove by photoetching is the same as that of the first embodiment.
【0026】前記凹部付き円板状コア21は、図10及
び図11に示すように、前記凹溝付き円板状コア3と同
径の円板の底面周縁部に円環状部22を突設する如く底
面側に円形状凹部23を形成した磁性コアであり、高抵
抗フェライトを一体成型して焼結したものである。As shown in FIGS. 10 and 11, the recessed disk-shaped core 21 has an annular portion 22 protruding from the bottom peripheral edge of a disk having the same diameter as the recessed disk-shaped core 3. As described above, the magnetic core has a circular concave portion 23 formed on the bottom surface side, and is formed by integrally molding and sintering high-resistance ferrite.
【0027】そして、円環状凹溝8を有する前記凹溝付
き円板状コア3の上面と円形状凹部23を有する前記円
板状コア21の底面とを対向させ、凹溝付き円板状コア
3の円環状部7の端面と円板状コア21の円環状部22
の端面とを接面し、凹溝付き円板状コア3と円板状コア
21とを接着等の固定手段で固定一体化する。Then, the upper surface of the disc-shaped core 3 with the concave groove having the annular concave groove 8 and the bottom surface of the disc-shaped core 21 having the circular concave portion 23 are opposed to each other, and the disc-shaped core with the concave groove is provided. 3, the end surface of the annular portion 7 and the annular portion 22 of the disk-shaped core 21.
And the disk-shaped core 3 with concave groove and the disk-shaped core 21 are fixed and integrated by a fixing means such as bonding.
【0028】以上により、図9に示すように、凹溝付き
円板状コア3と凹部付き円板状コア21とで囲まれた円
環状凹溝8及び円形状凹部23からなる内部空間20に
スパイラル状コイル導体パターン2を有し、凹溝付き円
板状コア3の円環状部7と円板状コア21の円環状部2
2とが接面して閉磁路を構成し、凹溝付き円板状コア3
の円柱状部6端面と円板状コア21の円形状凹部23天
井面との間に磁気ギャップ(エアギャップ)25を有す
るインダクタンス素子1Aが得られる。なお、磁気ギャ
ップ25は、円形状凹部23の深さを変更することで任
意の大きさに設定できる。As described above, as shown in FIG. 9, the inner space 20 composed of the circular concave groove 8 and the circular concave portion 23 surrounded by the circular disk-shaped core 3 with concave groove and the circular disk-shaped core 21 with concave portion is formed. An annular portion 7 of the disc-shaped core 3 with a groove and a circular portion 2 of the disc-shaped core 21 having the spiral coil conductor pattern 2.
2 and the surface 2 form a closed magnetic circuit, and a disk-shaped core 3 with a groove is formed.
The inductance element 1A having a magnetic gap (air gap) 25 between the end surface of the cylindrical portion 6 and the ceiling surface of the circular recess 23 of the disk-shaped core 21 is obtained. The magnetic gap 25 can be set to an arbitrary size by changing the depth of the circular recess 23.
【0029】図12乃至図14は本発明の第3実施例を
示す。図12は本実施例によって得られるインダクタン
ス素子1Bを示しており、該インダクタンス素子1Bは
前記第1実施例で示したスパイラル状コイル導体パター
ン2を有する第1の板状磁性コアとしての凹溝付き円板
状コア3と、第2の板状磁性コアとしての凹溝付き円板
状コア31とを一体化したものである。この第3実施例
の場合も凹溝付き円板状コア3にスパイラル状コイル導
体パターン2をフォトエッチングで形成する工程は前述
の第1実施例と同じである。12 to 14 show a third embodiment of the present invention. FIG. 12 shows an inductance element 1B obtained according to this embodiment, which has a groove as a first plate-shaped magnetic core having the spiral coil conductor pattern 2 shown in the first embodiment. The disc-shaped core 3 and the disc-shaped core 31 with a groove as a second plate-shaped magnetic core are integrated. Also in the case of the third embodiment, the step of forming the spiral coil conductor pattern 2 on the disk-shaped core 3 with the concave groove by photoetching is the same as that of the first embodiment.
【0030】前記凹溝付き円板状コア31は、図13及
び図14に示すように、前記凹溝付き円板状コア3と同
径の円板の底面周縁部に円環状部32を突設する如く底
面側に形成した円環状凹溝33の中央に円柱状部34を
突設した磁性コアであり、高抵抗フェライトを一体成型
して焼結したものである。前記円柱状部34は、その端
面が円環状部32の端面より低くなるように形成されて
いる。As shown in FIGS. 13 and 14, the disc-shaped core with concave groove 31 projects an annular portion 32 on the bottom peripheral portion of a disc having the same diameter as the disc-shaped core with concave groove 3. It is a magnetic core in which a cylindrical portion 34 is provided in the center of an annular recessed groove 33 formed on the bottom surface side as provided, and is formed by integrally molding and sintering high-resistance ferrite. The cylindrical portion 34 is formed so that its end surface is lower than the end surface of the annular portion 32.
【0031】そして、円環状凹溝8を有する前記凹溝付
き円板状コア3の上面と円環状凹溝33を有する前記凹
溝付き円板状コア31の底面とを対向させ、凹溝付き円
板状コア3の円環状部7の端面と凹溝付き円板状コア3
1の円環状部32の端面とを接面し、凹溝付き円板状コ
ア3と凹溝付き円板状コア31とを接着等の固定手段で
固定一体化する。Then, the upper surface of the disk-shaped core 3 with the groove having the annular groove 8 and the bottom surface of the disk-shaped core 31 with the groove having the annular groove 33 are opposed to each other, and The end surface of the annular portion 7 of the disk-shaped core 3 and the disk-shaped core 3 with the concave groove
The end face of the annular portion 32 of No. 1 is in contact with the end face, and the disc-shaped core 3 with concave groove and the disc-shaped core 31 with concave groove are fixed and integrated by a fixing means such as bonding.
【0032】以上により、図12に示したように、凹溝
付き円板状コア3と凹溝付き円板状コア31とで囲まれ
た円環状凹溝8及び凹溝33からなる内部空間30にス
パイラル状コイル導体パターン2を有し、凹溝付き円板
状コア3の円環状部7と凹溝付き円板状コア31の円環
状部32とが接面して閉磁路を構成し、凹溝付き円板状
コア3の円柱状部6端面と凹溝付き円板状コア31の円
柱状部34端面との間に磁気ギャップ(エアギャップ)
35を有するインダクタンス素子1Bが得られる。な
お、磁気ギャップ35は、円柱状部34の高さを変更す
ることで任意の大きさに設定できる。As described above, as shown in FIG. 12, the internal space 30 composed of the annular groove 8 and the groove 33 surrounded by the disk-shaped core 3 with a groove and the disk-shaped core 31 with a groove. Has a spiral coil conductor pattern 2, and the annular portion 7 of the disk-shaped core 3 with concave groove and the annular portion 32 of the disk-shaped core 31 with concave groove are in contact with each other to form a closed magnetic circuit. A magnetic gap (air gap) is formed between the end surface of the cylindrical portion 6 of the disk-shaped core 3 with the groove and the end surface of the cylindrical portion 34 of the disk-shaped core 31 with the groove.
An inductance element 1B having 35 is obtained. The magnetic gap 35 can be set to any size by changing the height of the cylindrical portion 34.
【0033】図15乃至図21は本発明の第4実施例を
示す。図15は本実施例によって得られるインダクタン
ス素子1Cを示しており、該インダクタンス素子1C
は、角形スパイラル状コイル導体パターン42を設けた
第1の板状磁性コアとしての凹溝付き角板状コア(極め
て薄型の角形ポットコア)43と、第2の板状磁性コア
としての角板状コア44とを一体化したものであり、以
下にこのインダクタンス素子1Cの製造方法を示す。15 to 21 show a fourth embodiment of the present invention. FIG. 15 shows an inductance element 1C obtained according to this embodiment.
Are rectangular plate cores with concave grooves (extremely thin rectangular pot cores) 43 as the first plate magnetic cores provided with the rectangular spiral coil conductor patterns 42, and rectangular plate cores as the second plate magnetic cores. This is integrated with the core 44, and the manufacturing method of the inductance element 1C will be described below.
【0034】前記凹溝付き角板状コア43は、図16及
び図17に示すように、正方形状の平板部45の一面に
て、中央に角柱状部46を、周縁部に環状部47をそれ
ぞれ一体に有し、角柱状部46と角形の環状部47の間
に環状凹部48が設けられた磁性コアであり、高抵抗フ
ェライトを一体成型して焼結したものである。前記角柱
状部46及び環状部47は、両者の端面が同一高さにな
るように形成し、前記環状凹部48の幅は用途に応じた
所望のコイルパターンに対応させて任意の幅に設定す
る。なお、凹溝付き角板状コア43は数mm程度の厚さと
し、環状凹部48の深さは100μm〜200μm程度
としている。As shown in FIGS. 16 and 17, the square grooved core 43 with a groove has a square columnar portion 46 at the center and an annular portion 47 at the peripheral edge on one surface of a square flat plate portion 45. These are magnetic cores that are integrally formed with each other and have an annular recess 48 provided between a prismatic portion 46 and a rectangular annular portion 47, and are formed by integrally molding and sintering high-resistance ferrite. The prismatic portion 46 and the annular portion 47 are formed so that both end faces have the same height, and the width of the annular recessed portion 48 is set to an arbitrary width corresponding to a desired coil pattern according to the application. . The rectangular plate-shaped core 43 with a groove has a thickness of about several mm, and the annular recess 48 has a depth of about 100 μm to 200 μm.
【0035】次に、前記第1実施例の図4で示したのと
同様に、前記凹溝付き角板状コア43の環状凹部48の
底面に導電性ペーストとしての銀ペーストを印刷し焼結
することで環状導電層を形成する。Next, as in the case of the first embodiment shown in FIG. 4, silver paste as a conductive paste is printed and sintered on the bottom surface of the annular recess 48 of the rectangular plate-shaped core 43 with the recessed groove. By doing so, an annular conductive layer is formed.
【0036】それから、図18及び図19に示すよう
に、前記環状導電層にフォトエッチング法によるエッチ
ングを施し、環状凹部48底面に所望の角形スパイラル
状コイル導体パターン42をそれぞれ形成する。この工
程は、導体パターン形状が角形スパイラル状になる他は
前述した第1実施例と同様である。Then, as shown in FIGS. 18 and 19, the annular conductive layer is subjected to etching by a photoetching method to form desired spiral spiral coil conductor patterns 42 on the bottom surface of the annular recess 48, respectively. This step is the same as that of the above-described first embodiment except that the conductor pattern has a rectangular spiral shape.
【0037】前記角板状コア44は、図20及び図21
に示すように、前記凹溝付き角板状コア43と平面形状
が同一の正方形状の平板状磁性コアであり、高抵抗フェ
ライトを一体成型して焼結したものである。The square plate-shaped core 44 is shown in FIGS.
As shown in (4), it is a square plate-shaped magnetic core having the same planar shape as the rectangular plate-shaped core 43 with concave grooves, and is made by integrally molding and sintering high-resistance ferrite.
【0038】そして、前記環状凹部48を有する凹溝付
き角板状コア43の上面と前記角板状コア44の底面と
を対向させ、角板状コア44の底面に凹溝付き角板状コ
ア43の角柱状部46及び環状部47の端面を接面し、
凹溝付き角板状コア43と角板状コア44とを接着等の
固定手段で固定一体化する。The upper surface of the rectangular plate-shaped core 43 with the groove having the annular recess 48 and the bottom surface of the rectangular plate-shaped core 44 are opposed to each other, and the rectangular plate-shaped core with the grooved groove is formed on the bottom surface of the rectangular plate-shaped core 44. The end faces of the prismatic portion 46 and the annular portion 47 of 43 are brought into contact with each other,
The rectangular plate-shaped core 43 with a groove and the rectangular plate-shaped core 44 are fixed and integrated by a fixing means such as bonding.
【0039】以上により、図15に示した如く、凹溝付
き角板状コア43と角板状コア44とで囲まれた環状凹
部48からなる内部空間40に角形スパイラル状コイル
導体パターン42を有し、凹溝付き角板状コア43の角
柱状部46及び環状部47の端面と角板状コア44底面
とが接面して閉磁路が構成されたインダクタンス素子1
Cが得られる。As described above, as shown in FIG. 15, the rectangular spiral coil conductor pattern 42 is provided in the internal space 40 formed of the annular recess 48 surrounded by the rectangular plate-shaped core 43 with the concave groove and the rectangular plate-shaped core 44. Then, the inductance element 1 in which the end faces of the prismatic portion 46 and the annular portion 47 of the rectangular plate-shaped core 43 with the groove and the bottom face of the rectangular plate-shaped core 44 are in contact with each other to form a closed magnetic circuit.
C is obtained.
【0040】なお、第4実施例で用いた角板状コア44
の代わりに、図22及び図23の凹部付き角板状コア5
1を用いてもよい。この凹部付き角板状コア51は、方
形平板の底面周縁部に環状部52を突設する如く、底面
側に正方形状の凹部53を形成したものであり、高抵抗
フェライトを一体成型して焼結したものである。この場
合、図18及び図19を示したコイル導体パターン42
を形成した凹溝付き角板状コア43の上面と、前記角板
状コア51の底面とを対向させ、角板状コア51の環状
部52の端面と凹溝付き角板状コア43の環状部47の
端面とを接面し、凹溝付き角板状コア43と角板状コア
51とを接着等の固定手段で固定一体化すれば、凹溝付
き角板状コア43の角柱状部46端面と角板状コア51
の凹部53天井面との間に磁気ギャップ(エアギャッ
プ)を有するインダクタンス素子が得られる。なお、前
記磁気ギャップは、凹部53の深さを変更することで任
意の大きさに設定できる。The square plate core 44 used in the fourth embodiment is used.
Instead of the square plate-shaped core 5 with concave portions shown in FIGS.
1 may be used. The rectangular plate-shaped core 51 with concave portions is formed by forming a square concave portion 53 on the bottom surface side so as to project an annular portion 52 on the peripheral edge portion of the bottom surface of a rectangular flat plate. It is a tied one. In this case, the coil conductor pattern 42 shown in FIGS.
The upper surface of the rectangular plate-shaped core 43 with concave grooves and the bottom surface of the rectangular plate-shaped core 51 are opposed to each other, and the end surface of the annular portion 52 of the rectangular plate-shaped core 51 and the annular plate of the rectangular plate-shaped core 43 with concave groove are formed. If the end face of the portion 47 is brought into contact with each other and the rectangular plate-shaped core 43 with concave groove and the rectangular plate-shaped core 51 are fixed and integrated by a fixing means such as adhesion, the prismatic portion of the rectangular plate-shaped core 43 with concave groove. 46 End Face and Square Plate Core 51
An inductance element having a magnetic gap (air gap) with the ceiling surface of the recess 53 is obtained. The magnetic gap can be set to any size by changing the depth of the recess 53.
【0041】また、第4実施例で用いた角板状コア44
の代わりに、図24及び図25の凹溝付き角板状コア6
1を用いてもよい。この凹溝付き角板状コア61は、底
面周縁部に環状部62を突設する如く、底面側に形成し
た正方形状の凹部63の中央に角柱状部64を突設した
ものであり、高抵抗フェライトを一体成型して焼結した
ものである。前記角柱状部64は、その端面が環状部6
2の端面より低くなるように形成されている。この場
合、図18及び図19で示した凹溝付き角板状コア43
の上面と、前記凹溝付き角板状コア61の底面とを対向
させ、凹溝付き角板状コア61の環状部62の端面と凹
溝付き角板状コア43の環状部47の端面とを接面し、
凹溝付き角板状コア43と凹溝付き角板状コア61とを
接着等の固定手段で固定一体化すれば、凹溝付き角板状
コア43の角柱状部46端面と凹溝付き角板状コア61
の角柱状部64端面との間に磁気ギャップ(エアギャッ
プ)を有するインダクタンス素子が得られる。なお、前
記磁気ギャップは、角柱状部64の高さを変更すること
で任意の大きさに設定できる。Also, the rectangular plate core 44 used in the fourth embodiment is used.
Instead of the square plate-shaped core 6 with concave grooves shown in FIGS.
1 may be used. The rectangular plate-shaped core 61 with a groove is such that a square columnar portion 64 is provided at the center of a square-shaped recess 63 formed on the bottom surface side like an annular portion 62 is provided at the peripheral portion of the bottom surface. The resistance ferrite is integrally molded and sintered. The end face of the prismatic portion 64 is the annular portion 6
It is formed so as to be lower than the end face of No. 2. In this case, the rectangular plate-shaped core 43 with the groove shown in FIGS.
And the bottom surface of the rectangular plate-shaped core 61 with concave grooves are opposed to each other, and the end surface of the annular portion 62 of the rectangular plate-shaped core 61 with concave grooves and the end surface of the annular portion 47 of the rectangular-plate-shaped core 43 with concave grooves are formed. Face the
If the rectangular plate-shaped core 43 with concave groove and the rectangular plate-shaped core 61 with concave groove are fixed and integrated by a fixing means such as bonding, the end face of the prismatic portion 46 of the rectangular plate-shaped core 43 with concave groove and the corner with concave groove. Plate-shaped core 61
An inductance element having a magnetic gap (air gap) with the end face of the prismatic portion 64 of is obtained. The magnetic gap can be set to an arbitrary size by changing the height of the prismatic portion 64.
【0042】なお、前記各実施例では図示は省したが、
例えば、スパイラル状コイル導体パターン2,42の両
端部にリード線を接続し、凹溝付き円板状、角板状コア
3,43の環状部7,47を横断する如く形成した溝か
ら前記リード線を引き出すことにより、スパイラル状コ
イル導体パターン2,42の引き出し端を設けてもよ
い。Although not shown in the above embodiments,
For example, a lead wire is connected to both ends of the spiral coil conductor patterns 2 and 42, and the lead is formed from a groove formed so as to traverse the annular portions 7 and 47 of the disk-shaped concave groove-shaped core 3 and 43. The lead-out end of the spiral coil conductor patterns 2 and 42 may be provided by pulling out the wire.
【0043】また、前記各実施例では、円形あるいは角
形の板状コア同士を一体化して構成していたが、インダ
クタンス素子の用途に応じて、他の形状(多角形)の板
状コアを同士を一体化する構成としてもよい。同様に、
コイル導体パターンを設けた第1の磁性コア側の凹溝あ
るいは柱状部、第2の板状磁性コア側の凹部あるいは柱
状部もインダクタンス素子の仕様に応じて適宜変更して
もよい。Further, in each of the above-mentioned embodiments, the circular or rectangular plate-shaped cores are integrated with each other. However, plate-shaped cores of other shapes (polygons) are combined with each other depending on the application of the inductance element. May be integrated. Similarly,
The groove or columnar portion on the side of the first magnetic core provided with the coil conductor pattern and the recessed portion or columnar portion on the side of the second plate-shaped magnetic core may be appropriately changed according to the specifications of the inductance element.
【0044】図5及び図6または図18及び図19で示
したように、前記スパイラル状コイル導体パターン2,
42は、環状凹溝8,48の全幅を利用して周回形成さ
れているが、ターン数や線幅をインダクタンス素子の仕
様に応じて適宜変更してもよい。As shown in FIGS. 5 and 6 or FIGS. 18 and 19, the spiral coil conductor pattern 2,
Although 42 is formed so as to circulate using the entire widths of the annular recessed grooves 8 and 48, the number of turns and the line width may be appropriately changed according to the specifications of the inductance element.
【0045】図26乃至図31は本発明の第5実施例で
あって、環状導電層と同時に凹溝付き円板状コアを貫通
するリード部を形成する場合を示す。図26は本実施例
によって得られるトランス71を示しており、該トラン
ス71は一対のスパイラル状コイル導体パターン72
A,72Bを設けた第1の板状磁性コアとしての凹溝付
き円板状コア73と、前記第1実施例の図7及び図8で
示した第2の板状磁性コアとしての円板状コア4を一体
化したものであり、以下にこのトランス71の製造方法
を示す。FIGS. 26 to 31 show a fifth embodiment of the present invention in which a lead portion penetrating a disk-shaped core with a groove is formed simultaneously with an annular conductive layer. FIG. 26 shows a transformer 71 obtained according to this embodiment. The transformer 71 includes a pair of spiral coil conductor patterns 72.
A disk-shaped core 73 with a groove as a first plate-shaped magnetic core provided with A and 72B, and a disk as the second plate-shaped magnetic core shown in FIGS. 7 and 8 of the first embodiment. The core 4 is integrated, and a method of manufacturing the transformer 71 will be described below.
【0046】図27及び図28に示すように、凹溝付き
円板状コア73の円形状の平板部75の一面には、中央
に円柱状部76が、周縁部に円環状部77が、それぞれ
の端面が同一高さになるように突設され、円柱状部76
及び円環状部77の間に円環状凹部78が形成されてい
る。この円環状凹部78の幅は用途に応じた所望のコイ
ルパターンに対応させて任意の幅に設定する。また、円
環状凹部78には、2対の貫通孔91A,91B,92
A,92Bが凹部底面から凹溝付き円板状コア73裏面
まで貫通するように形成されている。なお、貫通孔91
A,91B,92A,92Bを設ける位置は、所望のコ
イル導体パターンの端部に位置するように設定する。As shown in FIGS. 27 and 28, on one surface of the circular flat plate portion 75 of the disk-shaped core 73 with concave groove, a cylindrical portion 76 is formed at the center, and an annular portion 77 is formed at the peripheral portion. Each end face is projected so as to have the same height, and the cylindrical portion 76
An annular recess 78 is formed between the annular recess 77 and the annular recess 77. The width of the annular recess 78 is set to an arbitrary width corresponding to a desired coil pattern according to the application. Further, the annular recess 78 has two pairs of through holes 91A, 91B, 92.
A and 92B are formed so as to penetrate from the bottom surface of the concave portion to the back surface of the disk-shaped core 73 with the concave groove. The through hole 91
The positions where A, 91B, 92A, and 92B are provided are set so as to be located at the ends of the desired coil conductor pattern.
【0047】次に、図29のように、前記凹溝付き円板
状コア73の円環状凹部78の底面に導電性ペーストと
しての銀ペーストを印刷し焼結することで円環状導電層
79を形成する。すなわち、スクリーン印刷あるいはパ
ット印刷(転写による印刷)といった印刷方法により、
円環状凹部78底面に銀ペーストを印刷し乾燥する工程
を数回繰り返した後焼結するか、あるいは印刷、焼結工
程を数回繰り返し行うことにより、所望の厚さの円環状
導電層79を得る。その際、前記銀ペーストの印刷時に
貫通孔91A,91B,92A,92B内を凹溝付き円
板状コア73の裏面から負圧源で吸引することにより、
銀ペーストは貫通孔91A,91B,92A,92B内
にも充填され、印刷後の焼結により円環状導電層79と
一体となった2対の接続用リード部93A,93B,9
4A,94Bがそれぞれ同時に形成される。Next, as shown in FIG. 29, a silver paste as a conductive paste is printed on the bottom surface of the annular concave portion 78 of the disk-shaped core 73 with concave grooves and sintered to form an annular conductive layer 79. Form. That is, by a printing method such as screen printing or pad printing (printing by transfer),
By repeating the step of printing the silver paste on the bottom surface of the annular recess 78 and drying several times and then sintering, or repeating the printing and sintering steps several times, the annular conductive layer 79 having a desired thickness is formed. obtain. At this time, when the silver paste is printed, the inside of the through-holes 91A, 91B, 92A, 92B is sucked from the back surface of the disk-shaped core 73 with concave grooves by a negative pressure source,
The silver paste is also filled in the through holes 91A, 91B, 92A, 92B, and two pairs of connecting lead portions 93A, 93B, 9 integrated with the annular conductive layer 79 by sintering after printing are formed.
4A and 94B are simultaneously formed.
【0048】それから、図30及び図31に示すよう
に、前記円環状導電層79にフォトエッチング法による
エッチングを施し、円環状凹部78底面に所望の一対の
スパイラル状コイル導体パターン72A,72Bをそれ
ぞれ形成する。前記スパイラル状コイル導体パターン7
2Aは両端部が接続用リード部93A,93Bに接続さ
れ、スパイラル状コイル導体パターン72Bは両端部が
接続用リード部94A,94Bに接続されている。この
エッチング工程は前述した第1実施例と同様である。Then, as shown in FIGS. 30 and 31, the annular conductive layer 79 is etched by a photo-etching method to form a desired pair of spiral coil conductor patterns 72A and 72B on the bottom surface of the annular recess 78, respectively. Form. The spiral coil conductor pattern 7
2A has both ends connected to the connection lead parts 93A and 93B, and both ends of the spiral coil conductor pattern 72B are connected to the connection lead parts 94A and 94B. This etching process is similar to that of the first embodiment described above.
【0049】そして、前記円環状凹部78を有する凹溝
付き円板状コア37の上面と前記円板状コア4の底面と
を対向させ、円板状コア4の底面に凹溝付き円板状コア
73の円柱状部76及び円環状部77の端面を接面し、
凹溝付き円板状コア73と円板状コア4とを接着等の固
定手段で固定一体化する。The upper surface of the disk-shaped core 37 with the groove having the annular recess 78 and the bottom surface of the disk-shaped core 4 are opposed to each other, and the disk-shaped core 4 with the groove is formed on the bottom surface of the disk-shaped core 4. Contact the end faces of the cylindrical portion 76 and the annular portion 77 of the core 73,
The disk-shaped core 73 with a groove and the disk-shaped core 4 are fixed and integrated by a fixing means such as adhesion.
【0050】以上により、図26に示した如く、凹溝付
き円板状コア73と円板状コア4とで囲まれた円環状凹
部78からなる内部空間70に一対のスパイラル状コイ
ル導体パターン72A,72Bを有し、凹溝付き円板状
コア73の円柱状部76及び円環状部77の端面と円板
状コア4底面とが接面して閉磁路が構成されたトランス
71が得られる。As described above, as shown in FIG. 26, a pair of spiral coil conductor patterns 72A are provided in the internal space 70 formed by the disk-shaped core 73 with a groove and the ring-shaped recess 78 surrounded by the disk-shaped core 4. , 72B, and the end portion of the cylindrical portion 76 and the annular portion 77 of the disk-shaped core 73 with concave grooves and the bottom surface of the disk-shaped core 4 are in contact with each other to form a closed magnetic circuit. .
【0051】以上の第5実施例の場合、凹溝付き円板状
コア73に円環状凹部78の底面から凹溝付き円板状コ
ア73の裏面に貫通する貫通孔91A,91B,92
A,92Bを形成し、該貫通孔91A,91B,92
A,92Bの内部及び前記円環状凹部78に導電性ペー
ストを印刷し焼結することで、円環状凹部78底部の円
環状導電層79と一体となった接続用リード部93A,
93B,94A,94Bを同時に簡単に形成することが
でき、該接続用リード部93A,93B,94A,94
Bを各々のスパイラル状コイル導体パターン72A,7
2Bの端部に接続する引出線として利用でき、各々のス
パイラル状コイル導体パターン72A,72Bと凹溝付
き円板状コア73裏面の端子(又は電極)とを各々の接
続用リード部93A,93B,94A,94Bで接続す
ることができる。その他の作用効果は、前述した第1実
施例と同様であり、トランスの小型化や薄型化を図るこ
とができる。In the case of the fifth embodiment described above, the through hole 91A, 91B, 92 penetrating from the bottom surface of the annular recess 78 to the back surface of the recessed disk-shaped core 73 in the recessed disk-shaped core 73.
A, 92B are formed and the through holes 91A, 91B, 92 are formed.
By printing and sintering a conductive paste inside the A and 92B and the annular recess 78, the connecting lead portion 93A integrated with the annular conductive layer 79 at the bottom of the annular recess 78,
93B, 94A, 94B can be easily formed at the same time, and the connecting lead portions 93A, 93B, 94A, 94 can be formed.
B is each spiral coil conductor pattern 72A, 7
It can be used as a lead wire to connect to the end of 2B, and each spiral coil conductor pattern 72A, 72B and the terminal (or electrode) on the back surface of the disk-shaped core 73 with a groove groove are connected to each lead portion 93A, 93B. , 94A, 94B. Other functions and effects are similar to those of the above-described first embodiment, and the size and thickness of the transformer can be reduced.
【0052】なお、上記第5実施例では、前記貫通孔9
1A,91B,92A,92Bを所望のコイルパターン
の端部に位置するように設けたが、コイルの中間に引き
出し端を設ける場合、貫通孔をコイルパターンの任意の
中間部に設け、スパイラル状コイルの中間に接続用リー
ド部を設けてもよい。また、コイルパターンとして、一
対のスパイラル状コイルを設ける構成としたが、コイル
の数はトランスの仕様に応じて適宜変更できる。同様
に、スパイラル状コイルの周回数や線幅もトランスの仕
様に応じて適宜変更できる。In the fifth embodiment, the through hole 9
1A, 91B, 92A, and 92B are provided so as to be positioned at the ends of the desired coil pattern. However, when the lead-out end is provided in the middle of the coil, a through hole is provided at any middle part of the coil pattern to form a spiral coil. You may provide a connection lead part in the middle of. Further, although a pair of spiral coils is provided as the coil pattern, the number of coils can be appropriately changed according to the specifications of the transformer. Similarly, the number of turns and the line width of the spiral coil can be appropriately changed according to the specifications of the transformer.
【0053】また、上記第5実施例では、円環状凹部7
8を形成した凹溝付き円板状コア73に対して、前記図
7及び図8で示した第1実施例と同様の円板状コア4を
接面一体化した構成としたが、円板状コア4の代わり
に、前記第2実施例で示した図10及び図11と同様の
凹部付き円板状コア21や前記第3実施例で示した図1
3及び図14と同様の凹溝付き円板状コア31と一体化
する構成としてもよい。これらの場合、磁気ギャップを
有するトランスが得られる。同様に、前記第1乃至第4
実施例で示した凹溝付き円板状、角板状コアに貫通孔を
形成したものを用いてコイル導体パターン及び接続用リ
ード部を形成し、これと円板状、角形板状コアとの組み
合わせとしてもよい。すなわち、前記第1乃至第4実施
例において、スパイラル状コイル導体パターン2,42
の両端部に接続用リード部を設けるために、環状凹溝
8,48からコア裏面に達する貫通孔を設ける構成とし
てもよい。In the fifth embodiment, the annular recess 7
The disk-shaped core 73 with a groove having the groove 8 has the disk-shaped core 4 similar to that of the first embodiment shown in FIG. 7 and FIG. Instead of the core 4, the disk-shaped core 21 with a recess similar to that of FIGS. 10 and 11 shown in the second embodiment and FIG. 1 shown in the third embodiment.
3 and the disk-shaped core 31 with a groove similar to FIG. 14 may be integrated. In these cases, a transformer with a magnetic gap is obtained. Similarly, the first to fourth
The coiled conductor pattern and the connecting lead portion are formed by using the disc-shaped grooved disc-shaped core shown in the example and the through-hole formed in the prismatic core, and the disc-shaped and the rectangular plate-shaped cores. It may be a combination. That is, in the first to fourth embodiments, the spiral coil conductor patterns 2, 42
In order to provide the connecting lead portions at both ends of the core, through holes extending from the annular recessed grooves 8 and 48 to the core back surface may be provided.
【0054】図32は本発明の第6実施例を示す。この
場合、凹溝付き円板状又は角板状コア3,43の一面に
設けた環状凹溝8,78底部の環状導電層85をエッチ
ングしてスパイラル状コイル86を形成した後、スパイ
ラル状コイル86の露出部分に腐食防止のためのメッキ
を施し、はんだ等のメッキ層87を設けている。銀以外
の導電性ペーストで導電層85を形成したときは、メッ
キ層87が必要となる場合が多い。なお、凹溝付き円板
状、又は角板状コア3,43等の全体構成は前述の第1
乃至第5実施例と同様である。FIG. 32 shows a sixth embodiment of the present invention. In this case, the spiral conductive coil 85 is formed by etching the annular conductive groove 85 at the bottom of the annular recessed grooves 8 and 78 provided on one surface of the disk-shaped or rectangular plate-shaped cores 3 and 43 with recessed grooves, and then forming the spiral coil 86. The exposed portion of 86 is plated to prevent corrosion, and a plated layer 87 of solder or the like is provided. When the conductive layer 85 is formed of a conductive paste other than silver, the plated layer 87 is often required. The overall structure of the disk-shaped or groove-shaped cores 3, 43 with a groove is the same as the first
The same as the fifth embodiment.
【0055】以上本発明の実施例について説明してきた
が、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の
範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者
には自明であろう。Although the embodiment of the present invention has been described above, it is obvious to those skilled in the art that the present invention is not limited to this and various modifications and changes can be made within the scope of the claims. Let's do it.
【0056】[0056]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のコイル装
置の製造方法によれば、相互に一体化される第1の板状
磁性コアと第2の板状磁性コアとで構成される内部空間
にコイルを配する場合において、前記第1の板状磁性コ
アの一面に前記内部空間の少なくとも一部を構成する凹
部を設け、該凹部に導電性ペーストを印刷し焼結するこ
とにより導電層を形成し、エッチングにより該導電層で
コイル導体パターンを形成するようにしたので、コイル
となる導体パターンの巻き数や線幅等を自在に設定可能
であり、コイルの小型化又は高密度化が可能になる。ま
た、前記導電層は導電性ペーストの印刷焼結を繰り返す
ことにより、所望の厚さに形成できるため、電流容量の
大きいコイルを形成することができる。さらに、工程の
自動化が可能であって量産に適し、製造コストも低減で
きる。従って、小型、薄型化に適し、しかも電流容量の
大きい安価なコイル装置を得ることができる。As described above, according to the method for manufacturing the coil device of the present invention, the interior made up of the first plate-shaped magnetic core and the second plate-shaped magnetic core which are integrated with each other. In the case of arranging a coil in a space, a concave portion forming at least a part of the internal space is provided on one surface of the first plate-shaped magnetic core, and a conductive paste is printed in the concave portion and sintered to form a conductive layer. Since the coil conductor pattern is formed with the conductive layer by etching, it is possible to freely set the number of turns, the line width, etc. of the conductor pattern to be the coil, and to reduce the size or density of the coil. It will be possible. Further, since the conductive layer can be formed to have a desired thickness by repeating printing and sintering of the conductive paste, a coil having a large current capacity can be formed. Further, the process can be automated, suitable for mass production, and the manufacturing cost can be reduced. Therefore, it is possible to obtain an inexpensive coil device that is suitable for downsizing and thinning and has a large current capacity.
【図1】本発明に係るコイル装置の製造方法の第1実施
例で得られるインダクタンス素子を示す正断面図であ
る。FIG. 1 is a front sectional view showing an inductance element obtained in a first embodiment of a method for manufacturing a coil device according to the present invention.
【図2】第1実施例で用いる第1の板状磁性コアとして
の凹溝付き円板状コアを示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a disk-shaped core with a groove as a first plate-shaped magnetic core used in the first embodiment.
【図3】同正断面図である。FIG. 3 is a front sectional view of the same.
【図4】凹溝付き円板状コアの円環状凹部の底面に導電
性ペーストを印刷し、焼結して円環状導電層を形成する
工程を示す正断面図である。FIG. 4 is a front cross-sectional view showing a step of printing a conductive paste on the bottom surface of an annular recess of a disk-shaped core with a groove and sintering the paste to form an annular conductive layer.
【図5】円環状導電層にフォトエッチングを施して凹溝
付き円板状コアの円環状凹部の底面にスパイラル状コイ
ルを形成する工程を示す正断面図である。FIG. 5 is a front cross-sectional view showing a step of performing photoetching on the annular conductive layer to form a spiral coil on the bottom surface of the annular recess of the disk-shaped core with a groove.
【図6】同平面図である。FIG. 6 is a plan view of the same.
【図7】第1実施例で用いる第2の板状磁性コアとして
の円板状コアを示す平面図である。FIG. 7 is a plan view showing a disk-shaped core as a second plate-shaped magnetic core used in the first embodiment.
【図8】同正断面図である。FIG. 8 is a front sectional view of the same.
【図9】本発明の第2実施例で得られるインダクタンス
素子を示す正断面図である。FIG. 9 is a front sectional view showing an inductance element obtained in a second embodiment of the present invention.
【図10】第2実施例で用いる第2の板状磁性コアとし
ての凹部付き円板状コアを示す底面図である。FIG. 10 is a bottom view showing a disk-shaped core with recesses as a second plate-shaped magnetic core used in the second embodiment.
【図11】同正断面図である。FIG. 11 is a front sectional view of the same.
【図12】本発明の第3実施例で得られるインダクタン
ス素子を示す正断面図である。FIG. 12 is a front sectional view showing an inductance element obtained in the third embodiment of the present invention.
【図13】第3実施例で用いる第2の板状磁性コアとし
ての凹溝付き円板状コアを示す底面図である。FIG. 13 is a bottom view showing a disk-shaped core with a groove as a second plate-shaped magnetic core used in the third embodiment.
【図14】同正断面図である。FIG. 14 is a front sectional view of the same.
【図15】本発明の第4実施例で得られるインダクタン
ス素子を示す正断面図である。FIG. 15 is a front sectional view showing an inductance element obtained in the fourth embodiment of the present invention.
【図16】第4実施例で用いる第1の板状磁性コアとし
ての凹溝付き角板状コアを示す平面図である。FIG. 16 is a plan view showing a square plate-shaped core with a groove as a first plate-shaped magnetic core used in the fourth embodiment.
【図17】同正断面図である。FIG. 17 is a front sectional view of the same.
【図18】環状導電層にフォトエッチングを施して凹溝
付き角板状コアの環状凹部の底面に角形スパイラル状コ
イルを形成する工程を示す正断面図である。FIG. 18 is a front cross-sectional view showing a step of performing photoetching on the annular conductive layer to form a rectangular spiral coil on the bottom surface of the annular recess of the rectangular plate-shaped core with a groove.
【図19】同平面図である。FIG. 19 is a plan view of the same.
【図20】第4実施例で用いる第2の板状磁性コアとし
ての平板状コアを示す底面図である。FIG. 20 is a bottom view showing a flat plate-shaped core as a second plate-shaped magnetic core used in the fourth embodiment.
【図21】同正断面図である。FIG. 21 is a front sectional view of the same.
【図22】第4実施例の第2の板状磁性コアとして使用
可能な凹部付き角板状コアを示す底面図である。FIG. 22 is a bottom view showing a square plate core with recesses that can be used as the second plate magnetic core of the fourth embodiment.
【図23】同正断面図である。FIG. 23 is a front sectional view of the same.
【図24】第4実施例の第2の板状磁性コアとして使用
可能な凹溝付き角板状コアを示す底面図である。FIG. 24 is a bottom view showing a square plate-shaped core with a groove that can be used as a second plate-shaped magnetic core of the fourth embodiment.
【図25】同正断面図である。FIG. 25 is a front sectional view of the same.
【図26】本発明の第5実施例で得られるトランスを示
す正断面図である。FIG. 26 is a front sectional view showing a transformer obtained in a fifth embodiment of the present invention.
【図27】第5実施例で用いる第1の板状磁性コアとし
ての凹溝付き円板状コアを示す平面図である。FIG. 27 is a plan view showing a disk-shaped core with a groove as a first plate-shaped magnetic core used in the fifth embodiment.
【図28】同正断面図である。FIG. 28 is a front sectional view of the same.
【図29】凹溝付き円板状コアの円環状凹部の底面に導
電性ペーストを印刷し、焼結して円環状導電層を形成す
るとともに、貫通孔内にリード部を形成する工程を示す
正断面図である。FIG. 29 shows a step of printing a conductive paste on the bottom surface of an annular recess of a disk-shaped core with a groove and sintering the paste to form an annular conductive layer and a lead portion in the through hole. FIG.
【図30】円環状導電層にフォトエッチングを施して凹
溝付き円板状コアの円環状凹部の底面にスパイラル状コ
イルを形成する工程を示す正断面図である。FIG. 30 is a front cross-sectional view showing a step of performing photoetching on the annular conductive layer to form a spiral coil on the bottom surface of the annular recess of the disk-shaped core with a groove.
【図31】同平面図である。FIG. 31 is a plan view of the same.
【図32】本発明の第6実施例であって、スパイラル状
コイル上にメッキ層を設ける工程を示す部分拡大断面図
である。FIG. 32 is a partial enlarged cross-sectional view showing a step of providing a plating layer on the spiral coil according to the sixth embodiment of the present invention.
1,1A,1B,1C インダクタンス素子 2,72A,72B スパイラル状コイル導体パターン 3,31,73 凹溝付き円板状コア 4 円板状コア 5,45,75 平板部 6,76 円柱状部 7,77 円環状部 8,78 円環状凹溝 9,79 円環状導電層 10,20,30,40,70 内部空間 21 凹部付き円板状コア 42 角形スパイラル状コイル導体パターン 43,61 凹溝付き角板状コア 44 角板状コア 46 角柱状部 47 環状部 48 環状凹溝 51 凹部付き角板状コア 87 メッキ層 91A,91B,92A,92B 貫通孔 93A,93B,94A,94B 接続用リード部 1, 1A, 1B, 1C Inductance element 2, 72A, 72B Spiral coil conductor pattern 3, 31, 73 Disc-shaped core with concave groove 4 Disc-shaped core 5, 45, 75 Flat plate portion 6, 76 Cylindrical portion 7 , 77 annular portion 8, 78 annular concave groove 9, 79 annular conductive layer 10, 20, 30, 40, 70 internal space 21 concave disk-shaped core 42 square spiral coil conductor pattern 43, 61 with concave groove Square plate core 44 Square plate core 46 Square column part 47 Annular part 48 Annular recess groove 51 Square plate core with recess 87 Plating layer 91A, 91B, 92A, 92B Through hole 93A, 93B, 94A, 94B Connection lead part
Claims (3)
と第2の板状磁性コアとで構成される内部空間にコイル
を配したコイル装置の製造方法において、 前記第1の板状磁性コアの一面に前記内部空間の少なく
とも一部を構成する凹部を設け、該凹部に導電性ペース
トを印刷し焼結することにより導電層を形成し、エッチ
ングにより該導電層でコイル導体パターンを形成するこ
とを特徴とするコイル装置の製造方法。1. A method of manufacturing a coil device, wherein a coil is arranged in an internal space composed of a first plate-shaped magnetic core and a second plate-shaped magnetic core, which are integrated with each other, wherein the first plate is provided. A concave portion forming at least a part of the internal space is provided on one surface of the magnetic core, a conductive layer is formed by printing and sintering a conductive paste in the concave portion, and a coil conductor pattern is formed on the conductive layer by etching. A method for manufacturing a coil device, comprising forming the coil device.
面から当該磁性コアの裏面に貫通する貫通孔を有してお
り、該貫通孔の内部及び前記凹部に導電性ペーストを印
刷し焼結することにより前記導電層を形成する請求項1
記載のコイル装置の製造方法。2. The first plate-shaped magnetic core has a through hole penetrating from the bottom surface of the recess to the back surface of the magnetic core, and a conductive paste is printed inside the through hole and in the recess. The conductive layer is formed by sintering.
A method for manufacturing the described coil device.
請求項1又は2記載のコイル装置の製造方法。3. The method for manufacturing a coil device according to claim 1, wherein the conductive paste is a silver paste.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29737793A JPH07130541A (en) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | Manufacture of coil device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29737793A JPH07130541A (en) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | Manufacture of coil device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07130541A true JPH07130541A (en) | 1995-05-19 |
Family
ID=17845704
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP29737793A Pending JPH07130541A (en) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | Manufacture of coil device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07130541A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013504891A (en) * | 2009-09-16 | 2013-02-07 | マラディン テクノロジーズ リミテッド | Micro-coil device and manufacturing method thereof |
US9153547B2 (en) | 2004-10-27 | 2015-10-06 | Intel Corporation | Integrated inductor structure and method of fabrication |
-
1993
- 1993-11-02 JP JP29737793A patent/JPH07130541A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9153547B2 (en) | 2004-10-27 | 2015-10-06 | Intel Corporation | Integrated inductor structure and method of fabrication |
JP2013504891A (en) * | 2009-09-16 | 2013-02-07 | マラディン テクノロジーズ リミテッド | Micro-coil device and manufacturing method thereof |
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