JPH07128049A - Displacement detector - Google Patents
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- JPH07128049A JPH07128049A JP27707493A JP27707493A JPH07128049A JP H07128049 A JPH07128049 A JP H07128049A JP 27707493 A JP27707493 A JP 27707493A JP 27707493 A JP27707493 A JP 27707493A JP H07128049 A JPH07128049 A JP H07128049A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、接触子を被測
定面に接触させて変位を検出する検出装置に使用して好
適な変位検出装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a displacement detecting device suitable for use in, for example, a detecting device for detecting displacement by bringing a contact into contact with a surface to be measured.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、接触子を被測定面に接触させて変
位を検出する変位検出装置は、接触子および、接触子と
一体に構成された変位量検出機構部に、バネまたはおも
りを取り付けて、接触子を被測定面に接触させる押圧
力、つまり測定力を得ていた。2. Description of the Related Art Conventionally, a displacement detecting device for detecting a displacement by bringing a contactor into contact with a surface to be measured has a spring or a weight attached to the contactor and a displacement amount detecting mechanism unit integrally formed with the contactor. Then, the pressing force for bringing the contactor into contact with the surface to be measured, that is, the measuring force is obtained.
【０００３】まず、変位量検出機構部にバネを取り付け
る変位検出装置は、図８に示すように構成されている。
外筒１８の内部に、外筒１８に固定されたヘッド１１を
設け、このヘッド１１と相対移動することにより変位量
を検出するスケールを設ける。このスケール４はリニア
スケールであり、筒状のスピンドル２に連結されてい
る。スピンドル２には摺動を容易にする支持装置１０が
摺接している。スピンドル２の先端には接触子１が設け
られている。このスピンドル２には圧縮コイルバネの一
端が設けられている。その圧縮コイルバネの他端はヘッ
ド１１の下端部に固定されていて、スピンドル２を圧縮
コイルバネの弾性力により進出可能に構成している。First, a displacement detecting device in which a spring is attached to the displacement amount detecting mechanism is constructed as shown in FIG.
A head 11 fixed to the outer cylinder 18 is provided inside the outer cylinder 18, and a scale for detecting the amount of displacement by moving relative to the head 11 is provided. The scale 4 is a linear scale and is connected to the cylindrical spindle 2. A support device 10 that facilitates sliding is in sliding contact with the spindle 2. A contactor 1 is provided at the tip of the spindle 2. The spindle 2 is provided with one end of a compression coil spring. The other end of the compression coil spring is fixed to the lower end of the head 11 so that the spindle 2 can be advanced by the elastic force of the compression coil spring.
【０００４】上述の変位検出装置は、スピンドル２の先
端の接触子１が被測定面１４に接触するようにして設置
し、被測定面１４の表面の変位に従って、接触子１が進
出または後退し、これにより、ヘッド１１に接続された
信号処理回路１６により、スケールの変位を検出するも
のである。The above-mentioned displacement detecting device is installed so that the contactor 1 at the tip of the spindle 2 contacts the surface 14 to be measured, and the contactor 1 advances or retracts according to the displacement of the surface of the surface 14 to be measured. Accordingly, the displacement of the scale is detected by the signal processing circuit 16 connected to the head 11.
【０００５】また、変位量検出機構部におもりを取り付
ける変位検出装置は、図９に示すように構成されてい
る。ゲージスタンド２１に設けられた支柱２２に水平ア
ーム２３を取り付ける。水平アーム２３上で中央に垂直
アーム１４を設け、垂直アーム１４のＹ字状の両先端部
に滑車２５、２６を設ける。滑車２５、２６に糸１７を
張設し、その糸１７の一端におもり２８を設け、他端に
スピンドル２を設ける。スピンドル２は水平アーム２３
の先端部に設けられた変位検出器本体２９内を摺動可能
に設けられている。スピンドル２の先端部には接触子１
が設けられている。変位検出器本体２９には信号処理回
路１６が接続されていて、スピンドル２の変位を検出す
るように構成されている。Further, a displacement detecting device, in which a weight is attached to the displacement amount detecting mechanism, is constructed as shown in FIG. A horizontal arm 23 is attached to a column 22 provided on the gauge stand 21. The vertical arm 14 is provided at the center on the horizontal arm 23, and the pulleys 25 and 26 are provided at both Y-shaped end portions of the vertical arm 14. The thread 17 is stretched around the pulleys 25 and 26, the weight 28 is provided at one end of the thread 17, and the spindle 2 is provided at the other end. The spindle 2 is a horizontal arm 23
It is slidably provided in the displacement detector main body 29 provided at the tip of the. The tip of the spindle 2 has a contact 1
Is provided. A signal processing circuit 16 is connected to the displacement detector main body 29 and is configured to detect the displacement of the spindle 2.
【０００６】上述の変位検出装置は、おもり２８とスピ
ンドル２とのバランスをとることにより、接触子１がゲ
ージスタンド２１上の被測定物３０の被測定面１４に接
触するように進出し、その時のスピンドル２の変位を信
号処理回路１６により検出するものである。In the above displacement detecting device, the weight 28 and the spindle 2 are balanced so that the contactor 1 advances so as to come into contact with the surface 14 to be measured of the object 30 to be measured on the gauge stand 21. The displacement of the spindle 2 is detected by the signal processing circuit 16.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した図８
の従来の変位検出装置では、圧縮コイルバネ２０の弾性
力によりスピンドル２を進出させて、接触子１を被測定
面１４に押圧させているので、被測定面１４の変位量に
よって接触子１が被測定面１４を押圧する押圧力、つま
りこの変位検出装置の測定力が変化する。そのため、接
触子１が被測定面１４に接触することにより、測定力に
よって被測定面１４が変形するような軟らかい被測定面
１４を有する被測定物の変位量を正確に測定することが
できないという不都合があった。However, the above-mentioned FIG.
In the conventional displacement detecting device, since the spindle 2 is advanced by the elastic force of the compression coil spring 20 to press the contactor 1 against the surface 14 to be measured, the contactor 1 is moved by the displacement of the surface 14 to be measured. The pressing force for pressing the measuring surface 14, that is, the measuring force of the displacement detecting device changes. Therefore, when the contactor 1 comes into contact with the measured surface 14, it is impossible to accurately measure the displacement amount of the measured object having the soft measured surface 14 that is deformed by the measuring force. There was an inconvenience.
【０００８】また、上述した図８の従来の変位検出装置
では、圧縮コイルバネ２０の弾性力によりスピンドル２
を進出させて、接触子１を被測定面１４に押圧させてい
るので、測定力を簡単に調節することが困難なため、例
えば測定する姿勢が上向きである場合などには、その姿
勢によってスピンドル２等の重力により測定力が変化す
るという不都合があった。Further, in the above-described conventional displacement detecting device of FIG. 8, the spindle 2 is driven by the elastic force of the compression coil spring 20.
Since the contactor 1 is advanced to press the contact surface 1 against the surface to be measured 14, it is difficult to easily adjust the measuring force. There is an inconvenience that the measuring force changes due to gravity such as 2.
【０００９】さらに、上述した図８の従来の変位検出装
置では、圧縮コイルバネ２０の弾性力によりスピンドル
２を進出させて、接触子１を被測定面１４に押圧させて
いるので、測定力を変化させる量は、接触子１および、
接触子１と一体に構成された変位量検出機構部の質量を
超えて変化させるだけか、またはその質量を減じる方向
に変化させるだけであり、その質量を含む一定範囲で変
化させる調整が困難であるという不都合があった。Further, in the above-described conventional displacement detecting device of FIG. 8, the spindle 2 is advanced by the elastic force of the compression coil spring 20 to press the contact 1 against the surface 14 to be measured, so that the measuring force is changed. The amount of contact is 1 and
The displacement detection mechanism unit integrally formed with the contact 1 is changed only by exceeding the mass or in the direction of decreasing the mass, and it is difficult to adjust the change within a certain range including the mass. There was an inconvenience.
【００１０】さらにまた、上述した図８の従来の変位検
出装置では、圧縮コイルバネ２０の弾性力によりスピン
ドル２を進出させて、接触子１を被測定面１４に押圧さ
せているので、測定力を変化させるためには、圧縮コイ
ルバネ２０を機械的に伸縮させることが必要なので、そ
の調節機構が複雑となり、測定力を外部から変化させる
自動変位量測定装置に組み込む場合には、さらに機構が
複雑となるという不都合があった。Further, in the above-described conventional displacement detecting device of FIG. 8, the spindle 2 is advanced by the elastic force of the compression coil spring 20 and the contact 1 is pressed against the surface 14 to be measured. In order to change it, it is necessary to mechanically expand and contract the compression coil spring 20, so that the adjusting mechanism becomes complicated, and when incorporated in an automatic displacement measuring device that changes the measuring force from the outside, the mechanism becomes more complicated. There was an inconvenience.
【００１１】一方、上述した図９の従来の変位検出装置
では、おもり２８とのバランスをとることによってスピ
ンドル２を進出させ、接触子１を被測定面１４に接触さ
せるので、一定の測定力を得ることができるが、測定力
を変化させるためには、おもり２８を付け変えなければ
ならず、測定力を外部から変化させる自動変位量測定装
置に組み込む場合には、調整が煩雑になるという不都合
があった。On the other hand, in the above-mentioned conventional displacement detecting apparatus of FIG. 9, the spindle 2 is advanced by balancing with the weight 28 and the contact 1 is brought into contact with the surface 14 to be measured, so that a constant measuring force is applied. However, in order to change the measurement force, the weight 28 must be changed, and when the weight 28 is incorporated in an automatic displacement amount measuring device that changes the measurement force from the outside, the adjustment becomes complicated. was there.
【００１２】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、スピンドル２が進出・後退しても一定の測定力
で被測定面の変位を測定できる変位検出装置の提供を目
的とする。The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide a displacement detecting device capable of measuring the displacement of a surface to be measured with a constant measuring force even when the spindle 2 advances and retracts.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明の変位検出装置
は、例えば、図１から図７に示す如く、被測定面１４に
対して接触する接触子１と、接触子１を被測定面１４に
対して進出する方向に、被測定面１４に対して接触する
ように移動させるアクチュエータ９と、アクチュエータ
９に一体的に取り付けられ、接触子１の変位量を検出す
るリニアスケール４とを備え、このリニアスケール４の
スケール部４もしくはヘッド部１１を有する移動体が接
触子１と一体的に移動されるようにした変位検出装置に
おいて、アクチュエータ９が接触子１を被測定面１４に
対して一定の押圧力で押圧することにより、接触子１の
変位量に拘らず一定の測定力を得るようにしたものであ
る。DISCLOSURE OF THE INVENTION The displacement detecting apparatus of the present invention is, for example, as shown in FIGS. 1 to 7, a contactor 1 that contacts a surface 14 to be measured, and the contactor 1 is a surface 14 to be measured. An actuator 9 that moves the surface to be measured 14 so as to come into contact with the surface 14 to be measured, and a linear scale 4 that is integrally attached to the actuator 9 and that detects the amount of displacement of the contact 1. In the displacement detecting device in which the moving body having the scale portion 4 or the head portion 11 of the linear scale 4 is moved integrally with the contactor 1, the actuator 9 keeps the contactor 1 constant with respect to the measured surface 14. By pressing with the pressing force of 1, the constant measuring force is obtained regardless of the displacement amount of the contact 1.
【００１４】また、本発明の変位検出装置は、例えば、
図１から図７に示す如く、上述において、アクチュエー
タ９はボイスコイルモータ９であるものである。The displacement detecting device of the present invention is, for example,
As shown in FIGS. 1 to 7, in the above description, the actuator 9 is the voice coil motor 9.
【００１５】[0015]
【作用】本発明によれば、アクチュエータ９が接触子１
を被測定面１４に対して一定の押圧力で押圧することに
より、接触子１の変位量に拘らず一定の測定力を得るの
で、接触子１の変位量にかかわらず、一定の測定力で被
測定面１４の変位を測定することができる。According to the present invention, the actuator 9 includes the contactor 1.
Since a constant measuring force is obtained irrespective of the displacement amount of the contact 1 by pressing the measured surface 14 against the measured surface 14 with a constant pressing force, a constant measuring force is applied regardless of the displacement amount of the contact 1. The displacement of the measured surface 14 can be measured.
【００１６】また、本発明によれば、アクチュエータ９
はボイスコイルモータ９であるので、一定の力でスピン
ドル２を進出させ、接触子１を被測定面１４に対して一
定の押圧力で押圧することができる。Further, according to the present invention, the actuator 9
Is the voice coil motor 9, so that the spindle 2 can be advanced with a constant force to press the contact 1 against the surface to be measured 14 with a constant pressing force.
【００１７】[0017]
【実施例】以下本発明に係る変位検出装置の一実施例
を、図１から図７に従い詳細に説明する。図８および図
９に示した従来の変位検出装置に対応する部分には同一
の符号を付し、その詳細な説明を省略する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the displacement detecting device according to the present invention will be described in detail below with reference to FIGS. The parts corresponding to those of the conventional displacement detection device shown in FIGS. 8 and 9 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【００１８】図１から図７に本発明の変位検出装置の実
施例の一つの構成を示す。図１は本発明の変位検出装置
の一実施例の構成図である。図２から図７にその詳細な
構成を示す。１は接触子である。1 to 7 show one construction of an embodiment of the displacement detecting device of the present invention. FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the displacement detecting device of the present invention. 2 to 7 show the detailed configuration. Reference numeral 1 is a contactor.
【００１９】この接触子１をその一端に設けたスピンド
ル２は低膨張の長尺部材からなり、他端はスピンドルジ
ョイント３を介してスケール４に固着する。A spindle 2 provided with this contactor 1 at one end is made of a low expansion long member, and the other end is fixed to a scale 4 via a spindle joint 3.
【００２０】スケール４は、リニアスケールであり、長
さ方向に一定間隔で目盛が設けられている。スケール４
は、スケールヘッド１１と協働して、その相対移動によ
りスピンドル２の先端に設けられた接触子１が被測定面
１４の変位を測定するものである。The scale 4 is a linear scale and is provided with graduations at regular intervals in the length direction. Scale 4
Is for measuring the displacement of the surface to be measured 14 by the contact 1 provided at the tip of the spindle 2 in cooperation with the scale head 11 by relative movement thereof.
【００２１】このスケール４をその一端の上端面に固着
したリフトバー５は長尺のほぼ板状体であり、他端の下
端面にボビンＲ６−Ｒの断面Ｔ字状の中央突出部の一端
面を固着する。ボビンＲ６−Ｒの断面Ｔ字状の中央突出
部の他端面には、ボビンＬ６−Ｌの断面Ｔ字状の中央突
出部の一端面を固着する。The lift bar 5 having the scale 4 fixed to the upper end surface of one end thereof is a long and substantially plate-like body, and the lower end surface of the other end has one end surface of the central protruding portion of the bobbin R6-R having a T-shaped cross section. To fix. One end surface of the T-shaped central projecting portion of the bobbin L6-L is fixed to the other end surface of the T-shaped central projecting portion of the bobbin R6-R.
【００２２】ここで、コイル７はボビンＲ６−Ｒおよび
ボビンＬ６−Ｌのコア部に巻回される。Here, the coil 7 is wound around the core portions of the bobbins R6-R and bobbins L6-L.
【００２３】上述した、接触子１、スピンドル２、スピ
ンドルジョイント３、スケール４、リフトバー５、ボビ
ンＲ６−Ｒ、ボビンＬ６−Ｌ、コイル７は互いに一体的
に固定され、一体的に移動可能であり、これらを以下、
変位量検出機構部という。The contact 1, the spindle 2, the spindle joint 3, the scale 4, the lift bar 5, the bobbin R6-R, the bobbin L6-L, and the coil 7, which are described above, are integrally fixed to each other and can be moved integrally. , These below,
It is called a displacement amount detection mechanism section.
【００２４】アクチュエータ９は、例えばボイスコイル
モータからなり、コイル７に流れる電流によって駆動力
が決まる特性を有する。これにより、変位量検出機構部
を被測定面に対向する方向に一定の測定力で移動可能と
する。つまり、コイル７の位置には依存しない性質を有
する。また、アクチュエータ９は同様の特性を有するサ
ーボモータ等を用いてもよい。The actuator 9 is composed of, for example, a voice coil motor, and has a characteristic that the driving force is determined by the current flowing through the coil 7. As a result, the displacement amount detection mechanism section can be moved with a constant measuring force in the direction facing the surface to be measured. That is, it has the property of not depending on the position of the coil 7. Further, the actuator 9 may use a servo motor or the like having the same characteristics.
【００２５】支持装置１０は、例えば、リニアベアリン
グ等からなり、変位量検出機構部をその長さ方向に滑動
移動可能とするものであり、シャーシを構成するベース
１２に固定される。スケールヘッド１１はシャーシを構
成するステム１３に固定され、スケール４との相対移動
により、スピンドル２の先端に設けられた接触子１が被
測定面１４の変位を測定するものである。従って、スケ
ールヘッド１１をスピンドルジョイント３を介してスピ
ンドル２に固定し、スケール４をシャーシに固定しても
よい。The support device 10 is composed of, for example, a linear bearing or the like, and makes the displacement amount detection mechanism part slidably movable in the length direction thereof, and is fixed to a base 12 constituting a chassis. The scale head 11 is fixed to a stem 13 that constitutes a chassis, and the contact 1 provided at the tip of the spindle 2 measures the displacement of the measured surface 14 by moving relative to the scale 4. Therefore, the scale head 11 may be fixed to the spindle 2 via the spindle joint 3 and the scale 4 may be fixed to the chassis.
【００２６】上述した、アクチュエータ９、支持装置１
０、スケールヘッド１１、ベース１２、ステム１３は、
固定体であり、変位量検出機構部と相対的に移動するも
のである。The above-described actuator 9 and supporting device 1
0, scale head 11, base 12, stem 13,
It is a fixed body that moves relative to the displacement amount detection mechanism section.
【００２７】このような変位検出装置において、駆動回
路１７に所定の初期値を設定し、アクチュエータ９のコ
イル７に流す電流値を選定することにより、測定力を設
定する。この場合、コイル７に流す電流値を変更するだ
けで簡単に測定力を変更することができる。In such a displacement detecting device, the measuring force is set by setting a predetermined initial value in the drive circuit 17 and selecting the value of the current flowing in the coil 7 of the actuator 9. In this case, the measuring force can be easily changed only by changing the value of the current flowing through the coil 7.
【００２８】従って、接触子１、および接触子１と一体
に構成された変位量検出機構部の質量を含む一定の範囲
で、測定力を変化させることができる。すなわち、変位
量検出機構部の質量より軽い測定力に設定することもで
きるし、変位量検出機構部の質量と等しい測定力に設定
することもできるし、変位量検出機構部の質量より重い
測定力に設定することもできる。さらに、任意の測定姿
勢において、変位量検出機構部の質量分を補正すること
によって、測定力を一定に保つことができる。Therefore, the measuring force can be changed within a certain range including the mass of the contactor 1 and the displacement amount detection mechanism portion integrally formed with the contactor 1. That is, it is possible to set a measuring force that is lighter than the mass of the displacement amount detection mechanism unit, set it to a measuring force equal to the mass of the displacement amount detection mechanism unit, or measure heavier than the mass of the displacement amount detection mechanism unit. It can also be set to force. Further, in any measurement posture, the measurement force can be kept constant by correcting the mass amount of the displacement amount detection mechanism section.
【００２９】上例では、被測定面１４の高さ、段差等の
変位の測定を行う例を示したが、接触子１を被測定面１
４の表面に追従して移動させて被測定面１４の形状を測
定するようにしてもよい。In the above example, the height of the surface to be measured 14 and the displacement such as a step are measured, but the contact 1 is replaced by the surface 1 to be measured.
Alternatively, the shape of the surface 14 to be measured may be measured by moving the surface of No. 4 following the movement.
【００３０】また、変位量検出機構部がどの位置にあっ
ても、一定の測定力を得られる性質を有するボイスコイ
ルモータを用いることにより、被測定面１４の変位量に
従って、変位量検出機構部が変位しても、一定の測定力
で被測定面１４の変位量の測定をすることができる。Further, by using a voice coil motor having a property that a constant measuring force can be obtained regardless of the position of the displacement amount detecting mechanism unit, the displacement amount detecting mechanism unit is in accordance with the displacement amount of the surface 14 to be measured. Even if is displaced, the displacement amount of the measured surface 14 can be measured with a constant measuring force.
【００３１】従って、測定力によって、変形しやすい被
測定面１４の段差等の測定においても、測定力の影響を
受けずに測定をすることができる。Therefore, even when measuring a step or the like on the measured surface 14 which is easily deformed by the measuring force, the measurement can be performed without being affected by the measuring force.
【００３２】なお、接触子１に発生する測定力は、一般
に市販されている秤や歪ゲージ等により実測し、駆動回
路１７で所望の測定力となるようにアクチュエータ９の
駆動電流を調節することにより求めることができる。The measuring force generated in the contact 1 is actually measured by a commercially available scale, strain gauge, or the like, and the driving current of the actuator 9 is adjusted by the driving circuit 17 so as to obtain a desired measuring force. Can be obtained by
【００３３】さらにまた、スケール４に原点を形成する
ことにより、その原点の位置を基準位置として変位量を
検出することができる。Furthermore, by forming the origin on the scale 4, the displacement amount can be detected with the position of the origin as the reference position.
【００３４】また、本発明は上述の実施例に限らず本発
明の要旨を逸脱することなく種々の構成を取り得ること
はいうまでもない。Needless to say, the present invention is not limited to the above-described embodiments, but can take various configurations without departing from the gist of the present invention.
【００３５】[0035]
【発明の効果】本発明によれば、アクチュエータが接触
子を被測定面に対して一定の押圧力で押圧することによ
り、接触子の変位量に拘らず一定の測定力を得るので、
被測定面の形状にかかわらず、一定の測定力で被測定面
の変位を測定することができ、測定力によって被測定面
が変形するような軟らかい被測定面を有する被測定物の
変位量を正確に測定することができるという効果を奏す
る。According to the present invention, since the actuator presses the contact piece against the surface to be measured with a constant pressing force, a constant measuring force can be obtained regardless of the displacement amount of the contact piece.
Regardless of the shape of the surface to be measured, the displacement of the surface to be measured can be measured with a constant measuring force, and the displacement of the object to be measured having a soft surface to be measured is deformed by the measuring force. An effect that it can measure accurately is produced.
【００３６】また、本発明によれば、アクチュエータは
ボイスコイルモータであるので、一定の力でスピンドル
を進出させ、接触子を被測定面に対して一定の押圧力で
押圧することができる。Further, according to the present invention, since the actuator is a voice coil motor, the spindle can be advanced with a constant force and the contactor can be pressed against the surface to be measured with a constant pressing force.
【００３７】また、本発明によれば、アクチュエータの
駆動電流の設定により、測定力を簡単に調節することが
でき、測定する姿勢によらず一定の測定力で測定するこ
とができる。Further, according to the present invention, the measuring force can be easily adjusted by setting the drive current of the actuator, and the measuring force can be measured with a constant measuring force regardless of the posture to be measured.
【００３８】また、本発明によれば、測定力を変化させ
る量は、接触子および、接触子と一体に構成された変位
量検出機構部の質量を含む一定範囲で変化させる調整が
できるという効果を奏する。Further, according to the present invention, the amount of changing the measuring force can be adjusted to be changed within a certain range including the mass of the contact and the displacement amount detecting mechanism unit integrally formed with the contact. Play.
【図１】この発明の変位検出装置の一実施例の概略の構
成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an embodiment of a displacement detection device of the present invention.
【図２】この発明の変位検出装置の一実施例の平面図で
ある。FIG. 2 is a plan view of an embodiment of the displacement detecting device of the present invention.
【図３】この発明の変位検出装置の図２に示した一実施
例のＡ−Ａ’線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA ′ of the embodiment shown in FIG. 2 of the displacement detecting device of the present invention.
【図４】この発明の変位検出装置の図２に示した一実施
例のＢ−Ｂ’線断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB ′ of the embodiment shown in FIG. 2 of the displacement detection device of the present invention.
【図５】この発明の変位検出装置の図２に示した一実施
例のＣ−Ｃ’線断面図である。5 is a sectional view taken along line CC ′ of the embodiment shown in FIG. 2 of the displacement detection device of the present invention.
【図６】この発明の変位検出装置の図２に示した一実施
例のＤ−Ｄ’線断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line DD ′ of the embodiment shown in FIG. 2 of the displacement detection device of the present invention.
【図７】この発明の変位検出装置の一実施例の底面図で
ある。FIG. 7 is a bottom view of an embodiment of the displacement detecting device of the present invention.
【図８】従来の変位検出装置の例を示す構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram showing an example of a conventional displacement detection device.
【図９】従来の変位検出装置の例を示す構成図である。FIG. 9 is a configuration diagram showing an example of a conventional displacement detection device.
１ 接触子 ２ スピンドル ３ スピンドルジョイント ４ スケール ５ リフトバー ６−Ｒ ボビンＲ ６−Ｌ ボビンＬ ７ コイル ９ アクチュエータ １０ 支持装置 １１ スケールヘッド １２ ベース １３ ステム １４ 被測定面 １５ 支持中心、コイルの中心 １６ 信号処理回路 １７ 駆動回路 １８ 外筒 ２０ 圧縮コイルバネ ２１ ゲージスタンド ２２ 支柱 ２３ 水平アーム ２４ 垂直アーム ２５ 滑車 ２６ 滑車 ２７ 糸 ２８ おもり ２９ 変位検出器本体 ３０ 被測定物 1 Contact Element 2 Spindle 3 Spindle Joint 4 Scale 5 Lift Bar 6-R Bobbin R 6-L Bobbin L 7 Coil 9 Actuator 10 Support Device 11 Scale Head 12 Base 13 Stem 14 Measured Surface 15 Support Center, Coil Center 16 Signal Processing Circuit 17 Driving Circuit 18 Outer Cylinder 20 Compression Coil Spring 21 Gauge Stand 22 Strut 23 Horizontal Arm 24 Vertical Arm 25 Pulley 26 Pulley 27 Thread 28 Weight 29 Displacement Detector Main Body 30 Measured Object
Claims (2)
動させるアクチュエータと、 上記アクチュエータに一体的に取り付けられ、上記接触
子の変位量を検出するリニアスケールとを備え、 このリニアスケールのスケール部もしくはヘッド部を有
する移動体が上記接触子と一体的に移動されるようにし
た変位検出装置において、 上記アクチュエータが上記接触子を上記被測定面に対し
て一定の押圧力で押圧することにより、上記接触子の変
位量に拘らず一定の測定力を得るようにしたことを特徴
とする変位検出装置。1. A contactor that contacts a surface to be measured, an actuator that moves the contactor in a direction in which the contactor advances with respect to the surface to be measured, and the contactor that is integrally attached to the actuator. And a linear scale that detects the amount of displacement of the linear scale, wherein a moving body having a scale portion or a head portion of the linear scale is moved integrally with the contactor, wherein the actuator is the contactor. The displacement detecting device is characterized in that a constant measuring force is obtained irrespective of the displacement amount of the contactor by pressing the surface to be measured with a constant pressing force.
特徴とする変位検出装置。2. The displacement detecting device according to claim 1, wherein the actuator is a voice coil motor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27707493A JPH07128049A (en) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | Displacement detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27707493A JPH07128049A (en) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | Displacement detector |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07128049A true JPH07128049A (en) | 1995-05-19 |
Family
ID=17578419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27707493A Pending JPH07128049A (en) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | Displacement detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07128049A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006266903A (en) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Citizen Watch Co Ltd | Contact type displacement length measuring machine |
| JP2010197384A (en) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | Contact type measuring device |
| KR20160077802A (en) * | 2014-12-24 | 2016-07-04 | 현대제철 주식회사 | Backlash mesurement apparatus |
-
1993
- 1993-11-05 JP JP27707493A patent/JPH07128049A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006266903A (en) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Citizen Watch Co Ltd | Contact type displacement length measuring machine |
| JP2010197384A (en) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | Contact type measuring device |
| KR20160077802A (en) * | 2014-12-24 | 2016-07-04 | 현대제철 주식회사 | Backlash mesurement apparatus |
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