JPH07128048A - Calibrating/measuring method of diameter for relative measuring machine - Google Patents
Calibrating/measuring method of diameter for relative measuring machineInfo
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- JPH07128048A JPH07128048A JP6575491A JP6575491A JPH07128048A JP H07128048 A JPH07128048 A JP H07128048A JP 6575491 A JP6575491 A JP 6575491A JP 6575491 A JP6575491 A JP 6575491A JP H07128048 A JPH07128048 A JP H07128048A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕本発明は、測定対象物とプローブ
測定子とが相対的に移動する計測法に係り、特にワーク
の円形部が、マスター計測時の対応位置と偏位してセッ
トされた場合、前記マスターの計測時にティーチングさ
れた、プローブ測定子の計測ライン上での測定値から、
円形部の偏位量を演算し、この演算値により、プローブ
測定子の計測ラインが、前記ワークの円形部中心を通る
様にプログラミングし、偏位後の円径を正確に計測する
ことを目的とした比較測定機に於ける円径の較正計測法
に関する。The present invention relates to a measuring method in which an object to be measured and a probe probe move relative to each other, and in particular, a circular portion of a work corresponds to a corresponding position at the time of master measurement. When set with a deviation, from the measurement value on the measurement line of the probe probe, which was taught during the measurement of the master,
The purpose is to calculate the amount of deviation of the circular part, and to program the measurement line of the probe probe so that it passes through the center of the circular part of the workpiece based on this calculated value, and to accurately measure the circle diameter after the deviation. The present invention relates to a calibration measuring method of a circle diameter in a comparative measuring machine.
〔従来の技術とその問題点〕測定対象物の形状と、測定
目的に対処した適切な治具により、定盤上に保持したマ
スター、またはワークに対して、測定機側に装備したプ
ローブに、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸方向などの三次元的な相対移動
を行なわせ、前記マスター、又はワークの計測面とプロ
ーブ測定子との相対移動量を検出して、この値を比較す
ることにより、マスターとワークの形状、あるいは寸法
などを比較計測、表示、記録など、する様にした測定機
があり、これらは計測作業の効率上、プローブの移動を
予じめプログラミングされた自動駆動方式によることが
多い（平成元年特許願第２５７５１０号参照）。製品の
寸法誤差を考慮した場合、ワークの円形部直径が前記マ
スターの円形部直径と一致することは一般的に少なく、
その中心座標値も異なることが通常であり、従ってマス
ターの計測時にプログラミングしたプローブ測定子の計
測移動ラインが、ワークの円形部中心を通ることはな
い。[Prior art and its problems] With the shape of the object to be measured and a proper jig that copes with the purpose of measurement, with respect to the master held on the surface plate or the workpiece, the probe equipped on the measuring machine side, By performing a three-dimensional relative movement in the X, Y, Z axis directions, etc., detecting the relative movement amount between the master or the measurement surface of the workpiece and the probe probe, and comparing this value, the master There are measuring machines that compare, measure, display, and record the shape or size of the workpiece with the workpiece.For the efficiency of measurement work, these can be programmed by the automatic drive system in advance. Many (see Heisei 1st Patent Application No. 257510). When considering the dimensional error of the product, the diameter of the circular portion of the work is generally less than the diameter of the circular portion of the master,
The center coordinate values are also usually different, so that the measurement moving line of the probe probe programmed at the time of measurement of the master does not pass through the center of the circular portion of the work.
〔問題を解決するための手段及び作用〕このため本発明
の比較測定機に於ける円径の較正計測法は、ワークの円
形部中心が、予じめ設定されたマスター計測時のプロー
ブ測定子移動ライン上にある、マスター円形部の中心よ
り偏位する量を、ワーク計測時の測定点検出値より演算
し、この偏位量を付加した座標値での、ワーク計測移動
ラインをインプットすることによって、ワーク円形部の
中心を通るプローブ測定子の計測移動ラインを新設し、
円径の正確な計測を行なう様にしたものである。即ち、
測定機に予じめプログラミングされた計測ライン（マス
ターの計測モードに合せたもので、マスター円形部の中
心を通るものとする）上を移動するプローブからの、ワ
ーク円形部に於けるラッチ・データを演算し、この結果
求められるマスターとワークとの円形部中心偏位量を、
前記マスターの計測ライン座標値に付加して、ワークの
計測用プローブ移動ラインを新規に設定し、プローブが
正確にワークの円形部中心線上を移動する様にしたもの
である。[Means and Actions for Solving Problems] Therefore, in the calibration measuring method of the circle diameter in the comparative measuring machine of the present invention, the center of the circular portion of the workpiece is a probe probe at the time of master measurement in which the center is preset. Calculate the amount of deviation from the center of the master circular part on the movement line from the measurement point detection value when measuring the work, and input the work measurement movement line with the coordinate value with this deviation added. , A new measurement moving line of the probe stylus that passes through the center of the work circular part,
It is designed to measure the circle diameter accurately. That is,
Latch data in the work circle from a probe moving on a pre-programmed measurement line in the machine (matching the measurement mode of the master, passing through the center of the master circle) And calculate the center deviation of the circular part between the master and the work,
In addition to the master measurement line coordinate value, a work measurement probe movement line is newly set so that the probe accurately moves on the center line of the circular portion of the work.
〔実施例〕本発明の一実施例を示すに当り図面について
説明すると、図中１は機枠のベース２上をＸ軸方向（矢
印で示す）に移動自在としたテーブルで、上部には適切
な治具により、測定対象物３を保持する定盤４を固定す
る。ベース２の中央部後方に、テーブル１に対応するコ
ラム５を立設し、その上部に前記Ｘ軸と直交するＹ軸方
向への移動を自在としたＹ軸スライダ６を架設する。Ｙ
軸スライダ６の前側には、支持フレーム７などを介し
て、前記Ｘ軸、Ｙ軸と夫々直交し、垂直方向の移動を自
在としたＺ軸スライダ８の保持体９を設ける。Ｚ軸スラ
イダ８の延長下端には、プローブ１０を装着して、その
測定子１１を前記測定対象物３の計測面に対応させ、こ
れに当接する測定子１１の三次元的な移動を可能とさせ
る。またベース２に対するテーブル１のＸ軸方向への移
動と、コラム５に対するスライダ６のＹ軸方向への移
動、及び保持体９に対するスライダ８のＺ軸方向への移
動は、モータや直動変換機構などによって構成され、且
つサーボ機能を有する多軸コントローラ１２と電気的に
連結した夫々の駆動装置１３，１４，１５によって行わ
れる。プローブ測定子１１の測定対象物３に対するＸ軸
方向への相対移動量は、テーブル１とベース２とに係設
したＸ軸移動量読み取り装置１６によって検出され、ま
た測定子１１のＹ軸方向、及びＺ軸方向への相対移動量
は、コラム５とスライダ６とに係設したＹ軸移動量読み
取り装置１７，及び保持体９とスライダ８とに係設した
Ｚ軸移動量読み取り装置１８によって夫々検出される。
Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各移動量読み取り装置１６，１７，１８
からの信号は、各々の検出回路１９，２０，２１及びカ
ウンタ２２，２３，２４を経てデータ処理装置２５に伝
送されるが、前記プローブ１０からの測定子タッチ信号
が、各別のカウンタ２２，２３，２４に与えられるの
で、各カウンタ２２，２３，２４はこの信号を受けた時
点でのＸ，Ｙ，Ｚ軸移動量読み取り値をラッチし、これ
をデータ処理装置２５に送り込む。またＸ，Ｙ，Ｚ軸の
各駆動装置１３，１４，１５を制御する多軸コントロー
ラ１２は、所望の測定点に対応した動作指令を出力する
学修機能器（ティーチング・ボックス）２６と接続され
ると共に、前記データ処理装置２５と接続されており、
更に前記測定点に於けるＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の公差値、及
び測定点に関与するマスターの実測値などを入力する演
算、又は計測データ設定装置２７が、データ処理装置２
５に接続されている。このデータ処理装置２５で演算、
比較など処理された結果は、ＣＲＴなどの表示装置２８
に出力されて、計測演算データを表示する一方、必要に
応じてプリンタなどの記録装置２９に出力するようにな
っている。本発明の実施例は上記の様に構成されている
ので、先づ各部の主要寸法が正確に計測済みのマスター
を、テーブル１の定盤４上に適切な治具を使って保持
し、この計測面に於ける所望の測定点に、プローブ測定
子が当接する様な動作をプローブ１０に与えるため、駆
動装置１３，１４，１５に、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸座標値に相当
する同期駆動信号を多軸コントローラ１２から発信させ
る。このマスター測定点への当接軌道制御に必要な指令
は、ティーチング・ボックス２６の操作により、多軸コ
ントローラ１２に与えられると同時に、データ処理装置
２５あるいは計測データ設定装置２７に設けたメモリー
・ユニット（図面には示してない）に送られ、メモリー
・カードなどの記憶媒体に記録されて、再度の同一測定
対象物への計測作業に対処することができるもので、こ
のメモリー・カード（又はフロッピー・ディスク）など
からの信号により、多軸コントローラ１２を制御するこ
ともある。こゝで測定面が円形の対象物（円形外面と円
穴内面とがあるが、両者は所定の測定点に対して、プロ
ーブ測定子の当接移動方向が逆になるだけで、理論的に
は同じであるから、以後円形外面について説明する）に
対するプローブ測定子の当接位置を説明するに当り、Ｘ
−Ｙの二軸に於ける関係を現わした第４図及び第５図に
ついて説明すると、一般的にマスター計測面に於ける円
形部の中心Ｑと、これに対応するワークの円形部中心
Ｑ’とは、εｘ，εｙだけ偏位しているから、夫々の座
標値（ｘＱ，ｙＱ）と（ｘ´Ｑ，ｙ´Ｑ）とが、異なる
値となるのは当然である。第４図に於て、マスター円径
部の中心Ｑを通る直交線 上を移動するプローブ測定子の各測定点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ
３，Ｐ４，（これ等の点は、図面の円形ライン上にはな
く、プローブ測定子の動的半径δだけ夫々円の外側にあ
るのは言うまでもない）に於ける測定機座標の絶対値
（機械座標軸の原点０を基準とした座標値）を夫々（ｘ
１，ｙ１）（ｘ２，ｙ２）（ｘ３，ｙ３）（ｘ４，
ｙ４）とすると、マスターの円形部直径Ｄは Ｄ＝ｘ２−ｘ１−２δ…………… Ｄ＝ｙ４−ｙ３−２δ…………… で計算できると共に、マスターの事前計測時に確認され
ている既知数である。しかしワークの外径Ｄ’は、これ
から計測される未知数で、プローブ測定子がワークの円
形面と当接する測定点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４の各座標
値（ｘ１，ｙ１）（ｘ２，ｙ２）（ｘ３，ｙ３）
（ｘ４，ｙ４）から、前記，式を使って演算して
も、実寸法と違うことは図面上から明らかであり、，
式の結果も同じ値とならないのが通常である。まして
第５図に示す様に、機械座標軸と平行な支持面ＲＳＴを
持つ治具に、直径Ｄ’のワークを接触保持し、マスター
の計測時にプログラミングされた計測ライン 上にプローブを移動して得られた測定点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ
３，Ｐ４の座標絶対値から Ｄ’＝ｘ’２−ｘ’１−２δ………… Ｄ’＝ｙ’４−ｙ’３−２δ………… と演算しても、真のワーク径とは誤差が大き過ぎる。こ
ゝで治具面ＲＳＴに保持された円形部の中心Ｑ’が、マ
スターの円形部中心Ｑからどのくらい偏位したかを求め
ると、中心Ｑ’及びＱの座標は であるから、 の様に演算することができる。そこでワーク円形部の計
測に際して、プローブ測定子が移動するラインを にシフトすれば、このラインはワーク円形部の中心Ｑ’
を通るので、このシフトライン上の測定点Ｐ５，Ｐ６，
Ｐ７，Ｐ８，から得られた座標絶対値（ｘ５，ｙ５）
（ｘ６，ｙ６）（ｘ７，ｙ７）（ｘ８，ｙ８）を使っ
て、 Ｄ’＝ｘ６−ｘ５−２δ………… Ｄ’＝ｙ８−ｙ７−２δ………… の様に正確に求めることができる。ここで、式を使っ
て演算する場合の計測ラインのシフト量εｙは、測定点
Ｐ’３，Ｐ’４の計測値ｙ’３，ｙ’４と、測定点
Ｐ３，Ｐ４の計測値ｙ３，ｙ４から式によって求めら
れることは、前記の通りであるが、測定点が 線上にあるＰ１，Ｐ’１及びＰ２，Ｐ’２しか与えられ
なかった場合には、これ等の計測値からεｙを演算しな
ければならない。そこで第５図に於ける各測定値の関係
を ｘ’２−ｘ２＝λ εｘ＝εｙ…………………… ２（εｘ−φ）＝λ………………▲１０▼ とすると、 φ：εｙ≒εｙ：Ｄ’ これを展開して が得られ、又式と式▲１０▼から εｙ＝λ／２＋φ…………………▲１２▼ が導かれ、これに式▲１１▼を代入し、 更に右辺にのみ式▲１２▼を代入すると、 また式▲１１▼から εｙ≪Ｄ ∴φ≪εｙ のため▲１４▼式の３項は小さな値となり の演算値を使ってプローブ測定子の移動ラインをシフト
しても、充分な測定精度を得ることができる。[Embodiment] Referring to the drawings for showing an embodiment of the present invention, reference numeral 1 in the drawing denotes a table which is movable on a base 2 of a machine frame in the X-axis direction (shown by an arrow), and is suitable for an upper portion. The surface plate 4 that holds the measurement target 3 is fixed with a different jig. A column 5 corresponding to the table 1 is erected on the rear side of the center of the base 2, and a Y-axis slider 6 which is freely movable in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis is installed on the column 5. Y
On the front side of the shaft slider 6, a holding body 9 of a Z-axis slider 8 is provided which is orthogonal to the X-axis and the Y-axis and is movable in the vertical direction via a support frame 7 and the like. A probe 10 is attached to the extended lower end of the Z-axis slider 8 so that the probe 11 is made to correspond to the measurement surface of the object 3 to be measured, and the probe 11 in contact therewith can be moved three-dimensionally. Let Further, movement of the table 1 with respect to the base 2 in the X-axis direction, movement of the slider 6 with respect to the column 5 in the Y-axis direction, and movement of the slider 8 with respect to the holding body 9 in the Z-axis direction are performed by a motor or a linear motion conversion mechanism. Is performed by the respective drive devices 13, 14, 15 electrically connected to the multi-axis controller 12 having a servo function. The relative movement amount of the probe probe 11 in the X-axis direction with respect to the measurement target 3 is detected by the X-axis movement amount reading device 16 provided on the table 1 and the base 2, and the Y-axis direction of the probe 11 is detected. The relative movement amount in the Z-axis direction is read by the Y-axis movement amount reading device 17 associated with the column 5 and the slider 6, and the Z-axis movement amount reading device 18 associated with the holder 9 and the slider 8, respectively. To be detected.
X-, Y-, and Z-axis movement amount reading devices 16, 17, 18
The signal from the probe is transmitted to the data processing device 25 via the respective detection circuits 19, 20, 21 and the counters 22, 23, 24, and the probe touch signal from the probe 10 is transmitted to the respective counters 22, Since the counters 23, 24 are supplied to the counters 23, 24, the counters 22, 23, 24 latch the X-, Y-, and Z-axis movement amount read values at the time of receiving this signal and send them to the data processor 25. The multi-axis controller 12 that controls the X-, Y-, and Z-axis driving devices 13, 14, and 15 is connected to a learning function unit (teaching box) 26 that outputs an operation command corresponding to a desired measurement point. Together with the data processing device 25,
Further, the calculation for inputting the tolerance values in the X, Y, and Z-axis directions at the measurement point, the actual measurement value of the master involved in the measurement point, or the measurement data setting device 27 is used as the data processing device 2.
Connected to 5. This data processing device 25 calculates,
The result of processing such as comparison is displayed on a display device 28 such as a CRT.
The measurement calculation data is displayed on the other hand, and is output to the recording device 29 such as a printer when necessary. Since the embodiment of the present invention is configured as described above, the master in which the main dimensions of each part have been accurately measured is held on the surface plate 4 of the table 1 by using an appropriate jig. In order to give the probe 10 an operation such that the probe probe comes into contact with a desired measurement point on the measurement surface, the drive device 13, 14, 15 is provided with a synchronous drive signal corresponding to the XYZ coordinate values. Is transmitted from the multi-axis controller 12. The command necessary for controlling the contact trajectory to the master measurement point is given to the multi-axis controller 12 by operating the teaching box 26, and at the same time, a memory unit provided in the data processing device 25 or the measurement data setting device 27. This memory card (or floppy disk) can be sent to a storage medium (not shown in the drawing) and recorded in a storage medium such as a memory card so as to deal with the measurement work for the same measurement object again. -The multi-axis controller 12 may be controlled by a signal from a disk or the like. There is an object whose measurement surface is circular here (there is a circular outer surface and a circular hole inner surface, but both are theoretical Is the same, the following description will be made on the circular outer surface).
Referring to FIG. 4 and FIG. 5 showing the relationship in the two axes of −Y, generally, the center Q of the circular part on the master measurement surface and the center Q of the circular part of the work corresponding thereto. 'and, since epsilon x, are only deviation epsilon y, coordinate values of the respective (x Q, y Q) and (x'Q, y'Q) and, but natural that different values . In Fig. 4, an orthogonal line passing through the center Q of the master circle diameter part Measuring points P 1 , P 2 , P of the probe probe moving above
Absolute value of the measuring machine coordinates at 3 , P 4 , (these points are not on the circular line of the drawing, but are outside the circle by the dynamic radius δ of the probe probe, respectively) (Coordinate value based on the origin 0 of the machine coordinate axis)
1 , y 1 ) (x 2 , y 2 ) (x 3 , y 3 ) (x 4 ,
When y 4), the circular portion the diameter D of the master with can be calculated by D = x 2 -x 1 -2δ ............... D = y 4 -y 3 -2δ ..............., pre-measurement of the master It is a known number that is sometimes confirmed. However, the outer diameter D ′ of the work is an unknown number to be measured, and the coordinate values (x 1 , y 1) of the measurement points P 1 , P 2 , P 3 , P 4 at which the probe contact point contacts the circular surface of the work. ) (X 2 , y 2 ) (x 3 , y 3 )
From (x 4 , y 4 ), it is clear from the drawing that the actual size is different even if the above equation is used for the calculation.
The result of an expression is usually not the same value. Furthermore, as shown in FIG. 5, a workpiece having a diameter D ′ is held in contact with a jig having a support surface RST parallel to the machine coordinate axis, and a measurement line programmed at the time of master measurement is used. Measurement points P 1 , P 2 , P obtained by moving the probe upward
Even if it is calculated from the absolute values of the coordinates of 3 and P 4 as D ′ = x ′ 2 −x ′ 1 −2δ ………… D ′ = y ′ 4 −y ′ 3 −2δ ……. There is too much error with the diameter. When the center Q'of the circular part held on the jig surface RST is deviated from the center Q of the circular part of the master, the coordinates of the centers Q'and Q are Therefore, Can be calculated as follows. Therefore, when measuring the circular part of the workpiece, set the line on which the probe head moves. Shift to the center of the work circle
Measurement points P 5 , P 6 , on this shift line,
Absolute coordinate values (x 5 , y 5 ) obtained from P 7 and P 8 .
(X 6, y 6) ( x 7, y 7) using the (x 8, y 8), D '= x 6 -x 5 -2δ ............ D' = y 8 -y 7 -2δ ... ……… You can get it exactly like. Here, the shift amount epsilon y of measurement line in the case of calculating using the equation, the measurement point P '3, P' 4 measurements y '3, y' 4, measurement of the measurement points P 3, P 4 The fact that the values y 3 and y 4 are obtained by the formula is as described above, but the measurement point is If only P 1 , P ′ 1 and P 2 , P ′ 2 on the line are given, ε y must be calculated from these measured values. Therefore Figure 5 in a relationship in each measurement x '2 -x 2 = λ ε x = ε y ........................ 2 (ε x -φ) = λ .................. ▲ 10 ▼, φ: ε y ≈ε y : D ' Is obtained, and ε y = λ / 2 + φ …………………… ▲ ▼ is derived from the formula and formula (10), and the formula (11) is substituted into this. Furthermore, substituting equation (12) for only the right side, In addition, from formula (11) For ε y «D ∴φ«ε y ▲ 14 ▼ 3 term in equation becomes a small value Even if the moving line of the probe probe is shifted using the calculated value of, sufficient measurement accuracy can be obtained.
〔発明の効果〕本発明は以上説明した様に、治具面に接
触保持したワークの計測に際して、マスター計測時にプ
ログラミングされた計測ライン上でのプローブ検出デー
タから、ワーク円形部の中心Ｑ’がマスター円形部の中
心Ｑから偏位した量εｘ，εｙを演算し、この数値をデ
ータ処理装置に入力して、プローブ測定子の移動ライン
がワークの中心Ｑ’を通る様に較正するもので、新規設
定した計測ライン上での検出データから、ワーク円形部
の直径Ｄ’を正確に計測、演算しようとするものであ
る。この計測法によれば、プローブの測定移動ライン
は、常に測定対象物に於ける円形部の中心を通る様に再
登録されるので、ワーク円形部の計測が正確で誤差が少
なく、又計測ライン較正後に得られる測定点の公差量
（測定点の標準座標値との比較量でプローブ測定子の検
出移動方向に対して、プラス、マイナスの極性が決めら
れる）と、既知数としてのマスター円形部の外径寸法か
ら、ワークの直径が求められ、この値はプローブ駆動装
置の位置決め誤差に大きく左右されないので、より精度
の高いワーク円径の寸法を計測することができる。上記
の計測法は、この種比較測定機の計測精度向上と、製作
価格の低減に大きな効果を奏し、インライン計測システ
ムへの利用など、有用性の高いものである。[Effect of the Invention] As described above, according to the present invention, when measuring a workpiece held in contact with the jig surface, the center Q ′ of the circular portion of the workpiece is determined from the probe detection data on the measurement line programmed during master measurement. The amount ε x , ε y deviated from the center Q of the master circular part is calculated, and these numerical values are input to the data processing device to calibrate so that the moving line of the probe probe passes through the center Q ′ of the work. Then, the diameter D ′ of the circular portion of the work is accurately measured and calculated from the detection data on the newly set measurement line. According to this measuring method, the measurement movement line of the probe is always re-registered so as to pass through the center of the circular portion of the measuring object, so the measurement of the circular portion of the workpiece is accurate and there are few errors. Tolerance amount of the measurement point obtained after calibration (plus or minus polarity is determined with respect to the detection moving direction of the probe probe by the comparison amount with the standard coordinate value of the measurement point) and the master circular part as a known number The diameter of the work is determined from the outer diameter of the work, and since this value is not largely affected by the positioning error of the probe driving device, it is possible to measure the work circle diameter with higher accuracy. The above-mentioned measuring method has a great effect in improving the measuring accuracy of this kind of comparative measuring machine and in reducing the manufacturing cost, and is highly useful for use in an in-line measuring system.
第１図は本発明に係る円径の較正測定法を採用した比較
測定機の正面図、第２図は同側面図、第３図は計測シス
テムの電気的構成を示すブロック図、第４図はマスター
とワークの円形測定面に於ける計測状態を示す説明図、
第５図は円形部の較正測定法を示す説明図である。 １・・・テーブル。 ２・・・ベース。 ３・・・測定対象物。 ５・・・コラム。 ６・・・Ｙ軸スライダ。 ８・・・Ｚ軸スライダ。 １０・・・プローブ。 １２・・・多軸コントローラ。 １３・・・Ｘ軸駆動装置。 １４・・・Ｙ軸駆動装置。 １５・・・Ｚ軸駆動装置。 １６・・・Ｘ軸移動量読み取り装置。 １７・・・Ｙ軸移動量読み取り装置。 １８・・・Ｚ軸移動量読み取り装置。 ２５・・・データ処理装置。 ２７・・・計測データ設定装置。 ２８・・・表示装置。 ２９・・・記録装置。 Ｄ・・・マスター円形部の直径。 Ｄ’・・・ワーク円形部の直径。 Ｑ ・・・マスター円形部の中心。 Ｑ’・・・ワーク円形部の中心。FIG. 1 is a front view of a comparative measuring machine which adopts a circle diameter calibration measuring method according to the present invention, FIG. 2 is a side view of the same, and FIG. 3 is a block diagram showing an electrical configuration of a measuring system. Is an explanatory view showing the measurement state on the circular measurement surface of the master and the work,
FIG. 5 is an explanatory view showing a calibration measuring method for a circular portion. 1 ... table. 2 ... Base. 3 ... Object to be measured. 5 ... column. 6 ... Y-axis slider. 8 ... Z-axis slider. 10 ... Probe. 12 ... Multi-axis controller. 13 ... X-axis drive device. 14 ... Y-axis drive device. 15 ... Z-axis drive device. 16 ... X-axis movement amount reading device. 17 ... Y-axis movement amount reading device. 18 ... Z-axis movement amount reading device. 25 ... Data processing device. 27 ... Measurement data setting device. 28 ... Display device. 29 ... Recording device. D: Diameter of master circular part. D '... Diameter of circular part of work. Q: Center of the master circular part. Q '... Center of circular part of work.
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年１月２３日[Submission date] January 23, 1992
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【書類名】 明細書[Document name] Statement
【発明の名称】 比較測定機に於ける円径の較正計測
法[Title of Invention] Calibration and measurement method of circular diameter in comparative measuring machine
【特許請求の範囲】[Claims]
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、測定対象物とプローブ
測定子とが相対的に移動する計測法に係り、特にワーク
の円形部が、マスター計測時の対応位置と偏位してセッ
トされた場合、前記マスターの計測時にティーチングさ
れた、プローブ測定子の計測ライン上での測定値から、
円形部の偏位量を演算し、この演算値により、プローブ
測定子の計測ラインが、前記ワークの円形部中心を通る
様にプログラミングし、偏位後の円径を正確に計測する
ことを目的とした比較測定機に於ける円径の較正計測法
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a measuring method in which an object to be measured and a probe probe move relative to each other, and in particular, a circular part of a work is set in a position displaced from a corresponding position in master measurement. In the case of, from the measurement value on the measurement line of the probe probe, which was taught during the measurement of the master,
The purpose is to calculate the amount of deviation of the circular part, and to program the measurement line of the probe probe so that it passes through the center of the circular part of the workpiece based on this calculated value, and to accurately measure the circle diameter after the deviation. The present invention relates to a calibration measuring method of a circle diameter in a comparative measuring machine.
【０００２】[0002]
【従来の技術とその問題点】測定対象物の形状と、測定
目的に対処した適切な治具により、定盤上に保持したマ
スター、またはワークに対して、測定機に装備したプロ
ーブに、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸方向などの三次元的な相対移動を
行なわせ、前記マスター、またはワークの計測面とプロ
ーブ測定子との相対移動量を検出して、この値を比較す
ることにより、マスターとワークの形状、あるいは寸法
などを比較計測、表示、記録などする様にした測定機が
あり、これらは計測作業の効率上、プローブの移動を予
めプログラミングされた自動駆動方式によることが多い
（平成１年特許願第２５７５１０号参照）。2. Description of the Related Art The shape of an object to be measured and an appropriate jig corresponding to the purpose of measurement are used for a master or work held on a surface plate, a probe mounted on the measuring machine, and an X By performing a three-dimensional relative movement in the YZ axis direction or the like, detecting the relative movement amount between the master or the measurement surface of the workpiece and the probe probe, and comparing this value, the the shape of the workpiece or the like the comparison measurement dimension, the display, there is a measuring machine was set to be such recording, they on the efficiency of the measurement work, often by the automatic driving system which is pre-programmed movement of probe (1989 See Japanese Patent Application No. 257510).
【０００３】製品の寸法誤差を考慮した場合、ワークの
円形部直径が前記マスターの円形部直径と一致すること
は一般的に少なく、その中心座標値も異なることが通常
であり、従ってマスターの計測時にプログラミングした
プローブ測定子の計測移動ラインが、ワークの円形部中
心を通ることはない。When the dimensional error of the product is taken into consideration, the diameter of the circular portion of the work generally does not coincide with the diameter of the circular portion of the master, and the center coordinate values thereof are usually different. Sometimes the programmed movement line of the probe stylus does not pass through the center of the circular part of the workpiece.
【０００４】[0004]
【問題を解決するための手段及び作用】このため本発明
の比較測定機に於ける円径の演算計測法は、ワークの円
形部中心が、予め設定されたマスター計測時のプローブ
測定子移動ライン上にある、マスター円形部の中心より
偏位する量を、ワーク計測時の測定点検出値より演算
し、この偏位量を付加した座標値での、ワーク計測移動
ラインをプログラムすることによって、ワーク円形部の
中心を通るプローブ測定子の計測移動ラインを新設し、
円径の正確な計測を行なう様にしたものである。[Means and Actions for Solving the Problem] Therefore, in the method for calculating and measuring the circle diameter in the comparative measuring machine of the present invention, the center of the circular portion of the workpiece is a probe probe moving line during preset master measurement. Above, the amount of deviation from the center of the master circular part, is calculated from the measurement point detection value at the time of measuring the work, by the coordinate value with this deviation added, by programming the work measurement movement line, A new measuring movement line for the probe probe that passes through the center of the work circular part
It is designed to measure the circle diameter accurately.
【０００５】即ち、測定機に予めプログラミングされた
計測ライン（マスターの計測モードに合わせたもので、
マスター円形部の中心を通るものとする）上を移動する
プローブからの、ワーク円形部に於けるタッチ・データ
を演算し、この結果求められるマスターとワークとの円
形部中心偏位量を、前記マスターの計測ライン座標値に
付加して、ワークの計測用プローブ移動ラインを新規に
設定し、プローブが正確にワークの円形部中心線上を移
動する様にしたものである。That is, a measuring line preprogrammed in the measuring machine (which is adapted to the measuring mode of the master,
The touch data in the workpiece circular portion is calculated from the probe moving above (assuming that it passes through the center of the master circular portion), and the circular portion center deviation amount between the master and the workpiece obtained as a result is calculated as described above. In addition to the coordinate value of the measurement line of the master, a probe movement line for measurement of the work is newly set so that the probe accurately moves on the center line of the circular portion of the work.
【０００６】[0006]
【実施例】本発明の一実施例を示すに当り図面について
説明すると、図中１は機枠のベース２上をＸ軸方向（矢
印で示す）に移動自在としたテーブルで、上部には適切
な治具により、測定対象物３を保持する定盤４を固定す
る。ベース２の中央部後方に、テーブル１に対応するコ
ラム５を立設し、その上部に前記Ｘ軸と直交するＹ軸法
向への移動を自在としたＹ軸スライダ６を架設する。Ｙ
軸スライダ６の前側には、支持フレーム７などを介し
て、前記Ｘ軸、Ｙ軸と夫々直交し、垂直方向の移動を自
在としたＺ軸スライダ８の保持体９を設ける。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to the drawings for showing an embodiment of the present invention, reference numeral 1 in the drawing denotes a table which is movable on a base 2 of a machine frame in the X-axis direction (indicated by an arrow), and is suitable for an upper portion. The surface plate 4 that holds the measurement target 3 is fixed with a different jig. A column 5 corresponding to the table 1 is erected on the rear side of the central portion of the base 2, and a Y-axis slider 6 which is freely movable in the Y-axis normal direction orthogonal to the X-axis is installed on the column 5. Y
On the front side of the shaft slider 6, a holding body 9 of a Z-axis slider 8 is provided which is orthogonal to the X-axis and the Y-axis and is movable in the vertical direction via a support frame 7 and the like.
【０００７】Ｚ軸スライダ８の延長下端には、プローブ
１０を装着して、その測定子１１を前記測定対象物３の
計測面に対応させ、これに当接する測定子１１の三次元
的な移動を可能とさせる。またベース２に対するテーブ
ル１のＸ軸方向への移動と、コラム５に対するスライダ
６のＹ軸方向への移動、及び保持体９に対するスライダ
８のＺ軸方向への移動は、モータや直動変換機構などに
よって構成され、且つサーボ機能を有する多軸コントロ
ーラ１２と電気的に連結した、夫々の駆動装置１３，１
４，１５によって行われる。A probe 10 is attached to the extended lower end of the Z-axis slider 8 so that the probe 11 is made to correspond to the measurement surface of the object 3 to be measured, and the probe 11 in contact with this is moved three-dimensionally. To be possible. Further, movement of the table 1 with respect to the base 2 in the X-axis direction, movement of the slider 6 with respect to the column 5 in the Y-axis direction, and movement of the slider 8 with respect to the holding body 9 in the Z-axis direction are performed by a motor or a linear motion conversion mechanism. Each of the driving devices 13 and 1 electrically connected to the multi-axis controller 12 having a servo function.
4,15.
【０００８】プローブ測定子１１の測定対象物３に対す
るＸ軸方向への相対移動量は、テーブル１とベース２と
に係設したＸ軸移動量読み取り装置１６によって検出さ
れ、また測定子１１のＹ軸方向、及びＺ軸方向への相対
移動量は、コラム５とスライダ６とに係設したＹ軸移動
量読み取り装置１７，及び保持体９とスライダ８とに係
設したＺ軸移動量読み取り装置１８によって夫々検出さ
れる。The relative movement amount of the probe measuring element 11 in the X-axis direction with respect to the measuring object 3 is detected by the X-axis movement amount reading device 16 provided on the table 1 and the base 2, and the Y-axis of the measuring element 11 is detected. The relative movement amount in the axial direction and the Z-axis direction is determined by a Y-axis movement amount reading device 17 associated with the column 5 and the slider 6, and a Z-axis movement amount reading device associated with the holder 9 and the slider 8. 18 are respectively detected.
【０００９】Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各移動量読み取り装置１
６，１７，１８からの信号は、各々の検出回路１９，２
０，２１及びカウンタ２２，２３，２４を経てデータ処
理装置２５に伝送されるが、前記プローブ１０からの測
定子タッチ信号が、各別のカウンタ２２，２３，２４に
与えられるので、各カウンタ２２，２３，２４はこの信
号を受けた時点でのＸ，Ｙ，Ｚ軸移動読み取り値をラッ
チし、これをデータ処理装置２５に送り込む。X-, Y-, and Z-axis movement amount reading device 1
The signals from 6, 17 and 18 are detected by the detection circuits 19 and 2 respectively.
0, 21 and counters 22, 23, 24 are transmitted to the data processing device 25. However, since the tracing stylus touch signal from the probe 10 is given to the respective counters 22, 23, 24, each counter 22 , 23 and 24 latch the X, Y and Z axis movement read values at the time of receiving this signal and send them to the data processing device 25.
【００１０】またＸ，Ｙ，Ｚ軸の各駆動装置１３，１
４，１５を制御する多軸コントローラ１２は、所望の測
定点に対応した動作指令を出力する学修機能器（ティー
チング・ボックス）２６と接続されると共に、前記デー
タ処理装置２５と接続されており、更に前記測定点に於
けるＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の公差値、及び測定点に関与する
マスターの実測値などを入力する演算、又は計測データ
設定装置２７が、データ処理装置２５に接続されてい
る。このデータ処理装置２５で演算、比較など処理され
た結果は、ＣＲＴなどの表示装置２８に出力されて、計
測演算データを表示する一方、必要に応じてプリンタな
どの記録装置２９に出力するようになっている。Further, X, Y and Z axis drive devices 13 and 1
The multi-axis controller 12 for controlling 4, 15 is connected to a learning function unit (teaching box) 26 that outputs an operation command corresponding to a desired measurement point, and is also connected to the data processing device 25. Further, an arithmetic operation for inputting tolerance values in the X, Y, and Z-axis directions at the measurement point and an actual measurement value of a master involved in the measurement point, or a measurement data setting device 27 is connected to the data processing device 25. There is. The result of processing such as calculation and comparison performed by the data processing device 25 is output to a display device 28 such as a CRT to display the measured calculation data, and, if necessary, to a recording device 29 such as a printer. Has become.
【００１１】本発明の実施例は上記の様に構成されてい
るので、先ず各部の主要寸法が正確に計測済みのマスタ
ーを、テーブル１の定盤４上に適切な治具を使って保持
し、この計測面に於ける所望の測定点に、プローブ測定
子が当接する様な動作をプローブ１０に与えるため、駆
動装置１３，１４，１５に、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸座標値に相当
する同期駆動信号を多軸コントローラ１２から発信させ
る。このマスター測定点への当設軌道制御に必要な指令
は、ティーチング・ボックス２６の操作により、多軸コ
ントローラ１２に与えられると同時に、データ処理装置
２５あるいは計測データ設定装置２７に設けたメモリー
・ユニット（図面に示してない）に送られ、メモリー・
カードなどの記憶媒体に記録されて、再度の同一測定対
象物への計測作業に対処することができるもので、この
メモリー・カード（またはフロッピー・ディスク）など
からの信号により、多軸コントローラ１２を制御するこ
ともある。Since the embodiment of the present invention is constructed as described above, first, the master, whose main dimensions of each part have been accurately measured, is held on the surface plate 4 of the table 1 by using an appropriate jig. , In order to give the probe 10 an operation such that the probe contactor comes into contact with a desired measuring point on this measuring surface, the driving devices 13, 14, 15 are synchronized with each other by the synchronization corresponding to the XYZ axis coordinate values. A drive signal is transmitted from the multi-axis controller 12. A command necessary for controlling the present track to the master measurement point is given to the multi-axis controller 12 by operating the teaching box 26, and at the same time, a memory unit provided in the data processing device 25 or the measurement data setting device 27. Sent to the memory (not shown in the drawing)
It is recorded in a storage medium such as a card and can be used again for measurement work on the same object to be measured. The signal from this memory card (or floppy disk) enables the multi-axis controller 12 to operate. It may be controlled.
【００１２】こゝで測定面が円形の対象物（円形外側面
と円形穴内面とがあるが、両者は所定の測定点に対し
て、プローブ測定子の当接移動方向が逆になるだけで、
理論的には同じであるから、以後円形外側面について説
明する）に対するプローブ測定子の当接位置を説明する
に当り、Ｘ−Ｙの二軸に於ける関係を現わした図４及び
図５について説明すると、一般的にマスター計測面に於
ける円形部の中心Ｑと、これに対応するワークの円形部
中心Ｑ’とは、εｘ，εｙだけ偏位しているから、夫々
の座標値（ｘＱ，ｙＱ）と（ｘＱ’，ｙＱ’）とが異な
る値となるのは当然である。[0012] measurement surface in thisゝcircular object (it is a circular outer side surface and the circular-shaped bore inner surface, both for a given measurement point, abutment moving direction of the probe measuring element is reversed Alone
Since theoretically the same, per To explain the contact position of the probe feeler with respect to hereinafter be described a circular outer side surface), FIG. 4 and to Genwa the in relation to the two axes of the X-Y
Referring to FIG. 5 , in general, the center Q of the circular portion on the master measurement surface and the corresponding center Q ′ of the circular portion of the work are deviated by ε x and ε y, respectively. coordinates (x Q, y Q) and (x Q ', y Q' ) and the becomes a different value is natural.
【００１３】 プローブ測定子の各測定点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４（こ
れ等の点は、図面の円形ライン上にはなく、プローブ測
定子の動的半径δだけ夫々円の外側にあることは言うま
でもない）に於ける測定機座標の絶対値（機械座標軸の
原点Ｏを基準とした座標値）を夫々（ｘ１，ｙ１）（ｘ
２，ｙ２）（ｘ３，ｙ３）（ｘ４，ｙ４）とすると、マ
スターの円形部直径Ｄは数式１及び数式２で計算できる
と共に、マスターの事前計測時に確認されている既知数
である。[0013] Each measurement point P 1, P 2, P 3 , P 4 ( which like the point of the probe feeler, rather than on a circular line drawings, it is outside the dynamic radius δ only each circle of the probe feeler Needless to say, the absolute values of the measuring machine coordinates (coordinate values with reference to the origin O of the machine coordinate axes) are (x 1 , y 1 ) (x
2 , y 2 ) (x 3 , y 3 ) (x 4 , y 4 ), the diameter D of the circular part of the master can be calculated by Formula 1 and Formula 2 , and the known number confirmed at the time of pre-measurement of the master. Is.
【数１】 [Equation 1]
【数２】 [Equation 2]
【００１４】しかしワークの外径Ｄ’は、これから計算
される未知数で、プローブ測定子がワークの円形面と当
接する測定点Ｐ’１，Ｐ’２，Ｐ’３，Ｐ’４の各座標
値（ｘ’１，ｙ’１ ）（ｘ’２，ｙ’２ ）（ｘ’３，
ｙ’３ ）（ｘ’４，ｙ’４ ）から、数式１または数式２
を使用して演算しても、実寸法と違うことは図面上から
明らかであり、数式１と数式２の結果も同じ値とならな
いの通常である。まして図５に示す様に、機械座標軸と
平行な支持面ＲＳＴを持つ治具に、直径Ｄ’のワークを
接触保持し、マスターの計測時にプログラミングされた
計測ライ 絶対値から数式３及び数式４で計算しても、真のワーク
径とは誤差が大き過ぎる。[0014] However the outer diameter D of the work 'is a unknowns to be calculated from this, the measurement point P probe feeler is abutting on the circular surface of the work' 1, P '2, P' 3, P 'each coordinate of 4 Value ( x ′ 1 , y ′ 1 ) ( x ′ 2 , y ′ 2 ) ( x ′ 3 ,
y '3) (x' 4 , from y '4), the number Formula 1 or several Formula 2
And calculates using also be different from the actual dimensions are apparent from the drawing, the results of several Formula 1 to the number equation 2 is also a normal not the same value. Further, as shown in FIG. 5 , a workpiece having a diameter D ′ is held in contact with a jig having a supporting surface RST parallel to the machine coordinate axis, and the measurement line programmed at the time of measurement of the master is held. From the absolute value is calculated by Equation 3 and Equation 4, the error is too large is true of the work diameter.
【数３】 [Equation 3]
【数４】 [Equation 4]
【００１５】こゝで治具面ＲＳＴに保持されたワークの
円形部中心Ｑ’が、マスターの円形部中心Ｑからどのく
らい偏位したかを求めると、中心Ｑ’及びＱの座標は数
式５に示す値となる。The degree of deviation of the center Q'of the circular part of the workpiece held on the jig surface RST from the center Q of the circular part of the master is calculated as follows. It becomes the value shown.
【数５】 従って中心座標の偏位量εｘ，εｙは数式６及び数式７
の様に演算することができる。[Equation 5] Therefore, the displacement amounts ε x and ε y of the central coordinates are expressed by Equations 6 and 7
Can be calculated as follows.
【数６】 [Equation 6]
【数７】 [Equation 7]
【００１６】 ワークの外径Ｄ’は、このシフトライン上の測定点
Ｐ５，Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８から得られた座標絶対値
（ｘ５，ｙ５）（ｘ６，ｙ６）（ｘ７，ｙ７）（ｘ８，
ｙ８）を使って、数式８、数式９の様に正確に求めるこ
とができる。[0016] The outer diameter D ′ of the work is the absolute coordinate value (x 5 , y 5 ) (x 6 , y 6 ) (x 7 ) obtained from the measurement points P 5 , P 6 , P 7 , P 8 on this shift line. , Y 7 ) (x 8 ,
By using y 8 ), it is possible to accurately obtain the values as in Expressions 8 and 9 .
【数８】 [Equation 8]
【数９】 [Equation 9]
【００１７】こゝで数式８を使って演算する場合の計測
ラインのシフト量εｙは、測定点Ｐ’３，Ｐ’４の計測
値ｙ’３，ｙ’４と、測定点Ｐ３，Ｐ４の計測値ｙ３，
ｙ４から数式７によっ びＰ２，Ｐ’２しか与えられなかった場合には、これ等
の計測値からεｙを演算しなければならない。[0017] The shift amount epsilon y of measurement line in the case of calculating in thisゝusing Equation 8, and the measurement point P '3, P' 4 measurements y '3, y' 4, the measurement point P 3, The measured value y 3 of P 4 ,
According to the formula 7 from y 4 And only P 2 and P ′ 2 are given, ε y must be calculated from these measured values.
【００１８】そこで図５に於ける各測定値の関係を夫々
数式１０の様に決めると、これ等の間には数式１１の関
係が成り立つ。Therefore, if the relationship between the respective measured values in FIG. 5 is determined as in the equation 10, the relationship in the equation 11 is established between them.
【数１０】 [Equation 10]
【数１１】 この数式１１から下記の数式１２が得られ、また数式１
０の関係から数式１３が導かれる。[Equation 11] The following Equation 12 is obtained from this Equation 11, and also Equation 1
Equation 13 is derived from the relationship of 0.
【数１２】 [Equation 12]
【数１３】 [Equation 13]
【００１９】数式１３に数式１２を代入すると数式１４
となり、この右辺にのみ数式１３を代入すると、次の数
式１５が得られる。 Substituting Equation 12 into Equation 13 yields Equation 14
Then, by substituting the equation 13 into this right side, the following equation 15 is obtained.
【数１４】 [Equation 14]
【数１５】 [Equation 15]
【００２０】また数式１１の関係からεｙ《Ｄ’であれ
ば、φ《εｙであり、数式１５の３項と４項は小さな値
となるので、これを整理して数式１６が得られる。Further, from the relationship of Expression 11, if ε y << D ', then φ << ε y , and the third and fourth terms of Expression 15 are small values, so Expression 16 can be obtained by rearranging them. .
【数１６】 上式の演算値を使ってプローブ測定子の移動ラインをシ
フトしても、充分な測定精度を得ることができる。[Equation 16] Sufficient measurement accuracy can be obtained even if the moving line of the probe probe is shifted using the calculated value of the above equation .
【００２１】[0021]
【発明の効果】本発明は以上説明した様に、治具面に接
触保持したワークの計測に際して、マスター計測時にプ
ログラミングされた計測ライン上でのプローブ検出デー
タから、ワーク円形部の中心Ｑ’がマスター円形部の中
心Ｑから偏位した量εｘ，εｙを演算し、この数値をデ
ータ処理装置に入力して、プローブ測定子の移動ライン
がワークの中心Ｑ’を通る様に較正するもので、新規設
定した計測ライン上での検出データから、ワーク円形部
の直径Ｄ’を正確に計測、演算しようとするものであ
る。As described above, according to the present invention, when measuring a work held in contact with the jig surface, the center Q'of the work circular portion is determined from the probe detection data on the measurement line programmed during the master measurement. The amount ε x , ε y deviated from the center Q of the master circular part is calculated, and these numerical values are input to the data processing device to calibrate so that the moving line of the probe probe passes through the center Q ′ of the work. Then, the diameter D ′ of the circular portion of the work is accurately measured and calculated from the detection data on the newly set measurement line.
【００２１】この計測法によれば、プローブの測定移動
ラインは、常に測定対象物に於ける円形部の中心を通る
様に再登録されるので、ワーク円形部の計測が正確で誤
差が少なく、又計測ライン較正後に得られる測定点の公
差量（測定点の標準座標値との比較量で、プローブ測定
子の検出移動方向に対してプラス、マイナスの極性が決
められる）と、既知数としてのマスター円形部の外径寸
法から、ワークの直径が求められ、この値はプローブ駆
動装置の位置決め誤差に大きく左右されないので、より
精度の高いワーク円形部の寸法を計測することができ
る。上記の計測法は、この種比較測定機の計測精度向上
と、製作価格の低減に大きな効果を奏し、インライン計
測システムへの利用など、有用性の高いものである。According to this measuring method, the measuring movement line of the probe is always re-registered so as to pass through the center of the circular portion of the object to be measured. Therefore, the measurement of the circular portion of the work is accurate and there are few errors. Also, the tolerance of the measurement point obtained after the calibration of the measurement line (the comparison amount with the standard coordinate value of the measurement point, the positive or negative polarity is determined with respect to the detection moving direction of the probe probe) and the known number from the outer diameter of the master circular portion, the workpiece diameter is obtained, this value does not depend largely on the positioning error of the probe driver, it is possible to measure the size of more accurate workpiece circular shape section. The above-mentioned measuring method has a great effect in improving the measuring accuracy of this kind of comparative measuring machine and in reducing the manufacturing cost, and is highly useful for use in an in-line measuring system.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】 本発明に係る円径の較正計測法を採用した比較
測定機の正面図である。 FIG. 1 is a front view of a comparative measuring machine adopting a circle diameter calibration measuring method according to the present invention .
【図２】 図１の側面図である。 FIG. 2 is a side view of FIG.
【図３】 計測システムの電気的構成を示すブロック図で
ある。 [3] a block diagram showing an electrical configuration of the measuring system
is there.
【図４】 マスターとワークの円形測定面に於ける計測状
態を示す説明図である。 FIG. 4 is an explanatory diagram showing a measurement state on circular measurement surfaces of a master and a work .
【図５】 円形部の較正計測法を示す説明図である。 FIG. 5 is an explanatory diagram showing a calibration measurement method for a circular portion.
【符号の脱明】 １ テーブル ２ ベース ３ 測定対象物 ５ コラム ６ Ｙ軸スライダ ８ Ｚ軸スライダ １０ プローブ １２ 多軸コントローラ １３ Ｘ軸駆動装置 １４ Ｙ軸駆動装置 １５ Ｚ軸駆動装置 １６ Ｘ軸移動量読み取り装置 １７ Ｙ軸移動量読み取り装置 １８ Ｚ軸移動量読み取り装置 ２５ データ処理装置 ２７ 計測データ設定装置 ２８ 表示装置 ２９ 記録装置 Ｄ マスターの円形部直径 Ｄ’ ワークの円形部直径 Ｑ マスター円形部の中心 Ｑ’ ワーク円形部の中心 ─────────────────────────────────────────────────────
[Explanation of symbols] 1 Table 2 Base 3 Object to be measured 5 Column 6 Y-axis slider 8 Z-axis slider 10 Probe 12 Multi-axis controller 13 X-axis driving device 14 Y-axis driving device 15 Z-axis driving device 16 X-axis movement amount Reading device 17 Y-axis movement amount reading device 18 Z-axis movement amount reading device 25 Data processing device 27 Measurement data setting device 28 Display device 29 Recording device D Master circular part diameter D'Work circular part diameter Q Master circular part center Q'Center of circular part of work ──────────────────────────────────────────── ──────────
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年８月４日[Submission date] August 4, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００４[Correction target item name] 0004
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００４】[0004]
【問題を解決するための手段及び作用】このため本発明
の比較測定機に於ける円径の較正計測法は、ワークの円
形部中心が、予め設定されたマスター計測時のプローブ
測定子移動ライン上にある、マスター円形部の中心より
偏位する量を、ワーク計測時の測定点検出値より演算
し、この偏位量を付加した座標値での、ワーク計測移動
ラインをプログラムすることによって、ワーク円形部の
中心を通るプローブ測定子の計測移動ラインを新設し、
円径の正確な計測を行なう様にしたものである。[Means and Actions for Solving the Problem] Therefore, in the calibration measuring method of the circle diameter in the comparative measuring machine of the present invention, the center of the circular portion of the workpiece is the probe probe moving line at the time of preset master measurement. The amount of deviation from the center of the master circular part above is calculated from the measurement point detection value when measuring the work, and by programming the work measurement movement line at the coordinate value with this deviation added, A new measuring movement line for the probe probe that passes through the center of the work circular part
It is designed to measure the circle diameter accurately.
Claims (1)
る線上にプローブ測定子を移動させる計測システムに於
て、被測定物（ワーク）の円形部中心が、予じめ設定さ
れたモデル測定物（マスター）計測時の測定子移動ライ
ンより偏位してセットされた場合、前記測定子の既設測
定ライン上での計測データより、ワーク円径部の偏位量
を演算し、この値によりプローブ測定子の計測移動ライ
ンを変更することを特徴とした比較測定機に於ける円径
の較正計測法。(1) In a measuring system in which a probe probe is moved on a line parallel to the coordinate axis of the measuring machine and passing through the center of the circular portion, the center of the circular portion of the workpiece (workpiece) is , When the model is set in a pre-set manner and deviated from the stylus movement line at the time of measuring the master (master), the deviation of the work circle diameter is calculated from the measurement data on the existing measurement line of the stylus. A method for calibrating the diameter of a circle in a comparative measuring machine, which is characterized by calculating a unit and changing the measurement movement line of the probe probe according to this value.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6575491A JPH087059B2 (en) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | Calibration measurement method of circle diameter in comparative measuring machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6575491A JPH087059B2 (en) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | Calibration measurement method of circle diameter in comparative measuring machine |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07128048A true JPH07128048A (en) | 1995-05-19 |
| JPH087059B2 JPH087059B2 (en) | 1996-01-29 |
Family
ID=13296133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6575491A Expired - Fee Related JPH087059B2 (en) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | Calibration measurement method of circle diameter in comparative measuring machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087059B2 (en) |
-
1991
- 1991-01-10 JP JP6575491A patent/JPH087059B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH087059B2 (en) | 1996-01-29 |
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