JPH0712771A - ガス検出器 - Google Patents
ガス検出器Info
- Publication number
- JPH0712771A JPH0712771A JP15838793A JP15838793A JPH0712771A JP H0712771 A JPH0712771 A JP H0712771A JP 15838793 A JP15838793 A JP 15838793A JP 15838793 A JP15838793 A JP 15838793A JP H0712771 A JPH0712771 A JP H0712771A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- temperature
- gas
- resistance value
- ambient temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガス感応素子を周囲の雰囲気温度に影響され
ることなく、検出しようとするガスに高感度に反応する
温度にする。 【構成】 ガス感応素子14を加熱するヒータ13を所
定温度(ガス感応温度)に加熱し、該所定温度のときの
ガス感応素子14の抵抗値を測ることで雰囲気中のガス
を検出する。ヒータ13の抵抗値を測定する手段1と、
該ヒータの雰囲気温度のときの抵抗値と所定温度のとき
の抵抗値との差を求める演算手段2と、前記ヒータの抵
抗値を前記差分上昇するに必要な電力を記憶した記憶テ
ーブル3と、前記雰囲気温度と前記差分とにより前記記
憶テーブル3から前記ヒータに印加する電力を求めて電
力制御手段4を制御して電源5からヒータ13に供給す
る電力を決定する。
ることなく、検出しようとするガスに高感度に反応する
温度にする。 【構成】 ガス感応素子14を加熱するヒータ13を所
定温度(ガス感応温度)に加熱し、該所定温度のときの
ガス感応素子14の抵抗値を測ることで雰囲気中のガス
を検出する。ヒータ13の抵抗値を測定する手段1と、
該ヒータの雰囲気温度のときの抵抗値と所定温度のとき
の抵抗値との差を求める演算手段2と、前記ヒータの抵
抗値を前記差分上昇するに必要な電力を記憶した記憶テ
ーブル3と、前記雰囲気温度と前記差分とにより前記記
憶テーブル3から前記ヒータに印加する電力を求めて電
力制御手段4を制御して電源5からヒータ13に供給す
る電力を決定する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス検出器、より詳細
には、雰囲気中のガス検出をするのに、ヒータを用いて
ガス感応素子をガス検出温度(所定温度)まで上げ、該
ガス感応素子の該ガス検出温度での抵抗変化でガスを検
出するガス検出器に関する。
には、雰囲気中のガス検出をするのに、ヒータを用いて
ガス感応素子をガス検出温度(所定温度)まで上げ、該
ガス感応素子の該ガス検出温度での抵抗変化でガスを検
出するガス検出器に関する。
【0002】
【従来の技術】ガス検出器、例えば、半導体ガス検出器
は、ヒータで加熱した金属酸化物半導体(ガス感応素
子)、例えば、SnO2に還元性ガスを反応させると抵
抗値が減少することを利用し、雰囲気中の、例えば、水
蒸気、アルコール、イソブタン、メタンガス、その他の
ガスを検出する。
は、ヒータで加熱した金属酸化物半導体(ガス感応素
子)、例えば、SnO2に還元性ガスを反応させると抵
抗値が減少することを利用し、雰囲気中の、例えば、水
蒸気、アルコール、イソブタン、メタンガス、その他の
ガスを検出する。
【0003】図3は、本発明が適用される片持梁構造に
形成されたガス検知器の一例を説明するための構成図
で、図3(a)は平面図、図3(b)は図3(a)図の
B−B線断面図で、図中、10は基板、11は該基版1
0に形成された凹部、12は前記基板10の上に形成さ
れたシリコンチップの薄膜絶縁体で、該薄膜絶縁体12
は前記凹部11の上に片持梁式に張り出す張り出し部ま
たは前記凹部の上に両持梁式に架橋される橋架部12を
有し、該張り出し部又は橋架部12の上にヒータ13及
び該ヒータ13に近接してガス感応素子14が設けられ
ている。なお、このガス感応素子14は、具体的には、
前述のようにSnO2の金属酸化物半導体である。前記凹
部11、張り出し部12、ヒータ13、ガス感応素子1
4は、好ましくは、同一基板10上に形成されている。
形成されたガス検知器の一例を説明するための構成図
で、図3(a)は平面図、図3(b)は図3(a)図の
B−B線断面図で、図中、10は基板、11は該基版1
0に形成された凹部、12は前記基板10の上に形成さ
れたシリコンチップの薄膜絶縁体で、該薄膜絶縁体12
は前記凹部11の上に片持梁式に張り出す張り出し部ま
たは前記凹部の上に両持梁式に架橋される橋架部12を
有し、該張り出し部又は橋架部12の上にヒータ13及
び該ヒータ13に近接してガス感応素子14が設けられ
ている。なお、このガス感応素子14は、具体的には、
前述のようにSnO2の金属酸化物半導体である。前記凹
部11、張り出し部12、ヒータ13、ガス感応素子1
4は、好ましくは、同一基板10上に形成されている。
【0004】而して、ガス検出を行なうには、検出した
いガスに応じて、前記ヒータ13を加熱し、前記ガス感
応素子14を検出したいガスと反応しやすい温度にし、
例えば、雰囲気中の水蒸気の存在を検出したい時は、ヒ
ータ13(=ガス感応素子14)の温度を約250℃
に、アルコール分を検出したい時は約350℃に、イソ
ブタン分を検出したい時は400℃に、また、メタンガ
スを検出したい時は450℃にし、その時のガス感応素
子14の抵抗の変化より前記検出したいガスが雰囲気中
に存在するか否かの検出を行なっていた。
いガスに応じて、前記ヒータ13を加熱し、前記ガス感
応素子14を検出したいガスと反応しやすい温度にし、
例えば、雰囲気中の水蒸気の存在を検出したい時は、ヒ
ータ13(=ガス感応素子14)の温度を約250℃
に、アルコール分を検出したい時は約350℃に、イソ
ブタン分を検出したい時は400℃に、また、メタンガ
スを検出したい時は450℃にし、その時のガス感応素
子14の抵抗の変化より前記検出したいガスが雰囲気中
に存在するか否かの検出を行なっていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
によると、前記ヒータ13を加熱するのに、雰囲気温度
を全く考慮せずに前記ヒータ13に電力を与えているの
で、実際には、前記ヒータ13がガス感応温度になって
いるか否か不明であり、正確な検出ができなかった。
によると、前記ヒータ13を加熱するのに、雰囲気温度
を全く考慮せずに前記ヒータ13に電力を与えているの
で、実際には、前記ヒータ13がガス感応温度になって
いるか否か不明であり、正確な検出ができなかった。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、(1)ガス検出素子を加熱するヒータを所
定温度(ガス感応温度)に加熱し、該所定温度のときの
ガス検出素子の抵抗値を測ることで雰囲気中のガスを検
出するガス検出器において、前記ヒータの抵抗値を測定
する手段と、該ヒータの雰囲気温度のときの抵抗値と所
定温度のときの抵抗値との差を求める演算手段と、前記
ヒータの抵抗値を前記差分上昇するに必要な電力を記憶
した記憶テーブルと、前記雰囲気温度と前記差分とによ
り前記記憶テーブルから前記ヒータに印加する電力を求
め、求めた電力を前記ヒータに印加する手段とを有する
ことを特徴としたものである。
するために、(1)ガス検出素子を加熱するヒータを所
定温度(ガス感応温度)に加熱し、該所定温度のときの
ガス検出素子の抵抗値を測ることで雰囲気中のガスを検
出するガス検出器において、前記ヒータの抵抗値を測定
する手段と、該ヒータの雰囲気温度のときの抵抗値と所
定温度のときの抵抗値との差を求める演算手段と、前記
ヒータの抵抗値を前記差分上昇するに必要な電力を記憶
した記憶テーブルと、前記雰囲気温度と前記差分とによ
り前記記憶テーブルから前記ヒータに印加する電力を求
め、求めた電力を前記ヒータに印加する手段とを有する
ことを特徴としたものである。
【0007】
【作用】ガス感応素を加熱するヒータの雰囲気温度にお
ける抵抗値を測定し、該ヒータのガス検出時における抵
抗値と前記測定値との差を求め、その差により決まる電
力を前記ヒータに加えて該ヒータをガス検出温度にし、
もって、前記ガス感応素子を検出しようとするガスに高
感度に反応する温度にする。
ける抵抗値を測定し、該ヒータのガス検出時における抵
抗値と前記測定値との差を求め、その差により決まる電
力を前記ヒータに加えて該ヒータをガス検出温度にし、
もって、前記ガス感応素子を検出しようとするガスに高
感度に反応する温度にする。
【0008】
【実施例】図2は、ヒータの抵抗値と温度との関係を示
し、R01,…,R05,…,R10等はその時の周囲の雰囲
気温度、例えば、5℃,…,20℃,…,45℃等での
抵抗値、RH1,RH2,RH3,RH4は、それぞれヒータを
所定温度、例えば、雰囲気中の水蒸気の量を検出しよう
とする時は、前述のように、250℃、アルコールの量
を検出しようとする時は350℃、イソブタンの量を検
出しようとする時は400℃、メタンガスの量を検出し
ようとする時は450℃に加熱した時の抵抗値である。
し、R01,…,R05,…,R10等はその時の周囲の雰囲
気温度、例えば、5℃,…,20℃,…,45℃等での
抵抗値、RH1,RH2,RH3,RH4は、それぞれヒータを
所定温度、例えば、雰囲気中の水蒸気の量を検出しよう
とする時は、前述のように、250℃、アルコールの量
を検出しようとする時は350℃、イソブタンの量を検
出しようとする時は400℃、メタンガスの量を検出し
ようとする時は450℃に加熱した時の抵抗値である。
【0009】なお、前述の水蒸気、アルコール、イソブ
タン、メタンガス等を検出するには、前記ガス感応素子
14を、表1に示す温度範囲に加熱すれば、これらのガ
スを感度よく検出することができ、前述の250℃、3
50℃、400℃、450℃から多少ずれても、それ程
問題ではない。
タン、メタンガス等を検出するには、前記ガス感応素子
14を、表1に示す温度範囲に加熱すれば、これらのガ
スを感度よく検出することができ、前述の250℃、3
50℃、400℃、450℃から多少ずれても、それ程
問題ではない。
【0010】
【表1】
【0011】ここで、今、周囲温度25℃の時のヒータ
抵抗をRH25とすれば、このヒータを250℃に上げた
時の抵抗RH250は、 RH250=RH25(1+ΔT) ただし、ΔT=ガス検出時のヒータ温度−雰囲気温度 で表わされる。
抵抗をRH25とすれば、このヒータを250℃に上げた
時の抵抗RH250は、 RH250=RH25(1+ΔT) ただし、ΔT=ガス検出時のヒータ温度−雰囲気温度 で表わされる。
【0012】上記の式から、ヒータの抵抗値を現在の雰
囲気温度(上記例では25℃)の抵抗値RH25から、ガ
ス検出温度(上記例では、250℃)の抵抗値RH250に
上げるには、現在のヒータ抵抗値RH25と、所定温度と
現在温度との差ΔTが分ればよいことが分る。
囲気温度(上記例では25℃)の抵抗値RH25から、ガ
ス検出温度(上記例では、250℃)の抵抗値RH250に
上げるには、現在のヒータ抵抗値RH25と、所定温度と
現在温度との差ΔTが分ればよいことが分る。
【0013】而して、前記ヒータの抵抗値は、ヒータに
該ヒータを加熱しない程度の小電流を流し、その時の電
圧、電流により容易に測定することができ、同時に、こ
の時の抵抗値より、周囲温度も算出することができる。
従って、別途、温度測定手段を設けることなく、ガス感
応素子を加熱するヒータを用いて、周囲雰囲気温度及び
その時の抵抗値、換言すれば、前記式において、
RH20,ΔTを求めることができる。
該ヒータを加熱しない程度の小電流を流し、その時の電
圧、電流により容易に測定することができ、同時に、こ
の時の抵抗値より、周囲温度も算出することができる。
従って、別途、温度測定手段を設けることなく、ガス感
応素子を加熱するヒータを用いて、周囲雰囲気温度及び
その時の抵抗値、換言すれば、前記式において、
RH20,ΔTを求めることができる。
【0014】ここで、ヒータの抵抗と温度とは、比例関
係にあり、ヒータの温度は、該ヒータに加えたエネルギ
ーに比例するので、前記ΔTは、該ヒータに印加する電
力に置き換えることができる。従って、表2に示すよう
に、周囲温度及びその時のヒータ抵抗とから、ヒータを
各所定温度RH1,RH2,RH3,RH4にするための電力P
を予め求めておけば、ヒータ抵抗により周囲温度を求め
ることにより、該ヒータを所定温度(ガス検出温度)に
するために該ヒータに印加する電力を求めることができ
る。
係にあり、ヒータの温度は、該ヒータに加えたエネルギ
ーに比例するので、前記ΔTは、該ヒータに印加する電
力に置き換えることができる。従って、表2に示すよう
に、周囲温度及びその時のヒータ抵抗とから、ヒータを
各所定温度RH1,RH2,RH3,RH4にするための電力P
を予め求めておけば、ヒータ抵抗により周囲温度を求め
ることにより、該ヒータを所定温度(ガス検出温度)に
するために該ヒータに印加する電力を求めることができ
る。
【0015】
【表2】
【0016】なお、表2には、周囲温度の検出を5℃の
範囲内で検出する例について示したが、それ以下の精度
で、或いは、それ以上の精度で検出するようにしてもよ
いことは容易に理解できよう。更に、表2より、例え
ば、周囲温度が20℃と測定されたとすると、この20
℃の雰囲気中における、例えば、水蒸気の量、アルコー
ルの量、イソブタンの量、メタンガスの量等を、ヒータ
に印加する電力をP15,P25,P35,P45と順次変える
ことにより、迅速にかつ容易に検出することができる。
範囲内で検出する例について示したが、それ以下の精度
で、或いは、それ以上の精度で検出するようにしてもよ
いことは容易に理解できよう。更に、表2より、例え
ば、周囲温度が20℃と測定されたとすると、この20
℃の雰囲気中における、例えば、水蒸気の量、アルコー
ルの量、イソブタンの量、メタンガスの量等を、ヒータ
に印加する電力をP15,P25,P35,P45と順次変える
ことにより、迅速にかつ容易に検出することができる。
【0017】図1は、上述のごとき本発明を実施するの
に使用して好適な電気回路の一例を説明するための図
で、図中、1はヒータ13の抵抗を測定する抵抗測定回
路、2は演算回路、3は表2に示したデータが記憶され
ている記憶テーブル、4は電力制御回路、5は電源で、
雰囲気中に含まれているガスを測定するには、まず、そ
の時の雰囲気におけるヒータ13の抵抗を抵抗測定回路
1により測定する。このヒータ13の抵抗測定により、
その時の雰囲気の温度を知ることができる。例えば、表
2において、この時測定されたヒータ13の抵抗値がR
04であるならば、その時の雰囲気温度は、T04である。
に使用して好適な電気回路の一例を説明するための図
で、図中、1はヒータ13の抵抗を測定する抵抗測定回
路、2は演算回路、3は表2に示したデータが記憶され
ている記憶テーブル、4は電力制御回路、5は電源で、
雰囲気中に含まれているガスを測定するには、まず、そ
の時の雰囲気におけるヒータ13の抵抗を抵抗測定回路
1により測定する。このヒータ13の抵抗測定により、
その時の雰囲気の温度を知ることができる。例えば、表
2において、この時測定されたヒータ13の抵抗値がR
04であるならば、その時の雰囲気温度は、T04である。
【0018】ここで、今、雰囲気中の水蒸気の量(湿
度)を測定しようとする時は、演算回路2により、水蒸
気の量を測定する時に必要なヒータ13の加熱温度T1
(250℃)と前述のごとくして測定された雰囲気温度
T04(15≦T04<20)との差を求める。この差を求
めるには、演算回路2に、図示例の場合、4つの基準抵
抗RH1,RH2,RH3,RH4を設けておき、測定しようと
するガスに応じて、前記4つの基準抵抗のうちの1つを
選び、この選ばれた基準抵抗と前述のごとくして測定し
た雰囲気温度における抵抗値との差を求める。
度)を測定しようとする時は、演算回路2により、水蒸
気の量を測定する時に必要なヒータ13の加熱温度T1
(250℃)と前述のごとくして測定された雰囲気温度
T04(15≦T04<20)との差を求める。この差を求
めるには、演算回路2に、図示例の場合、4つの基準抵
抗RH1,RH2,RH3,RH4を設けておき、測定しようと
するガスに応じて、前記4つの基準抵抗のうちの1つを
選び、この選ばれた基準抵抗と前述のごとくして測定し
た雰囲気温度における抵抗値との差を求める。
【0019】上述のごとくして、雰囲気温度、及び測定
しようとするガスに対応して加熱すべきヒータ温度と雰
囲気温度との差を求めると、これら雰囲気温度と差温度
より、テーブル3から該雰囲気温と差温度によって決る
電力を求める。前述の例(雰囲気温度=20℃、被測定
ガス=水蒸気)の場合、P14が選択され、電力制御回路
4は、電源5の電力を該電力P14に制御し、この電力P
14をヒータ13に印加する。すなわち、ヒータ13は、
ガス感応素子14が測定しようとするガスに最も感度よ
く感応する温度に加熱される。
しようとするガスに対応して加熱すべきヒータ温度と雰
囲気温度との差を求めると、これら雰囲気温度と差温度
より、テーブル3から該雰囲気温と差温度によって決る
電力を求める。前述の例(雰囲気温度=20℃、被測定
ガス=水蒸気)の場合、P14が選択され、電力制御回路
4は、電源5の電力を該電力P14に制御し、この電力P
14をヒータ13に印加する。すなわち、ヒータ13は、
ガス感応素子14が測定しようとするガスに最も感度よ
く感応する温度に加熱される。
【0020】上述のごとく、本発明によると、雰囲気温
度に応じてヒータに印加する電力をコントロールして、
雰囲気温度に影響されることなくヒータの温度を所定温
度(ガス感応素子が被測定ガスに感応しやすい温度)に
正確に加熱することができ、しかも、1回の雰囲気温度
の測定で、複数種類のガスを順次検出することができ
る。更に詳細に説明すると、本発明の実施に用いるガス
検出素子は、図3の従来技術に示したように、熱容器の
非常に小さいものであるので、ヒータ13の加熱を遮断
すると、直ちに雰囲気温度に戻るので、演算回路の基準
抵抗をRH1,RH2,RH3,RH4と比較的早く切換えるこ
とができ、水蒸気(湿度)の検出、アルコール分の検
出、イソブタン分の検出、メタン分の検出を順次かつ迅
速に行うことができる。
度に応じてヒータに印加する電力をコントロールして、
雰囲気温度に影響されることなくヒータの温度を所定温
度(ガス感応素子が被測定ガスに感応しやすい温度)に
正確に加熱することができ、しかも、1回の雰囲気温度
の測定で、複数種類のガスを順次検出することができ
る。更に詳細に説明すると、本発明の実施に用いるガス
検出素子は、図3の従来技術に示したように、熱容器の
非常に小さいものであるので、ヒータ13の加熱を遮断
すると、直ちに雰囲気温度に戻るので、演算回路の基準
抵抗をRH1,RH2,RH3,RH4と比較的早く切換えるこ
とができ、水蒸気(湿度)の検出、アルコール分の検
出、イソブタン分の検出、メタン分の検出を順次かつ迅
速に行うことができる。
【0021】更に、前述のごときガス検出素子は、高精
度をもって略均一の精度のものが作られるが、どうして
も、製品精度にばらつきが生じ、ヒータ13の抵抗値が
必ずしも全ての製品で同じになるとは限らず、バラツキ
が生じる。しかし、ヒータ材料は全て同じであるので、
図2に示した温度−抵抗特性は、図中に点線にて示すよ
うに、その勾配が同じであるので、各素子に対して、任
意所望の温度における抵抗を測定することにより、テー
ブル3を簡単に作成することができ、ガス感応素子の特
性のバラツキに関係なく、ヒータ温度をガス検出に適し
た所望の温度に正確にすることができる。
度をもって略均一の精度のものが作られるが、どうして
も、製品精度にばらつきが生じ、ヒータ13の抵抗値が
必ずしも全ての製品で同じになるとは限らず、バラツキ
が生じる。しかし、ヒータ材料は全て同じであるので、
図2に示した温度−抵抗特性は、図中に点線にて示すよ
うに、その勾配が同じであるので、各素子に対して、任
意所望の温度における抵抗を測定することにより、テー
ブル3を簡単に作成することができ、ガス感応素子の特
性のバラツキに関係なく、ヒータ温度をガス検出に適し
た所望の温度に正確にすることができる。
【0022】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、ガス検出素子のヒータ温度を、雰囲気温度の変動に
関係なく、被検出ガスの感応温度に正確にすることがで
き、しかも、ガス検出素子の特性のバラツキに影響され
ることなく、正確に被検出ガスの存在を検出することが
できる。
と、ガス検出素子のヒータ温度を、雰囲気温度の変動に
関係なく、被検出ガスの感応温度に正確にすることがで
き、しかも、ガス検出素子の特性のバラツキに影響され
ることなく、正確に被検出ガスの存在を検出することが
できる。
【図1】 本発明を実施するのに使用して好適な電気回
路の一例を説明するための図である。
路の一例を説明するための図である。
【図2】 ヒータの温度−抵抗特性図である。
【図3】 本発明を実施するのに使用して好適な従来の
ガス検出器の一例を説明するための図である。
ガス検出器の一例を説明するための図である。
1…抵抗値測定手段、2…演算手段、3…データ記憶テ
ーブル、4…電力制御手段、5…電源、10…ガス検出
器、13…ヒータ、14…ガス感応素子。
ーブル、4…電力制御手段、5…電源、10…ガス検出
器、13…ヒータ、14…ガス感応素子。
Claims (1)
- 【請求項1】 ガス検出素子を加熱するヒータを所定温
度(ガス感応温度)に加熱し、該所定温度のときのガス
検出素子の抵抗値を測ることで雰囲気中のガスを検出す
るガス検出器において、前記ヒータの抵抗値を測定する
手段と、該ヒータの雰囲気温度のときの抵抗値と所定温
度のときの抵抗値との差を求める演算手段と、前記ヒー
タの抵抗値を前記差分上昇するに必要な電力を記憶した
記憶テーブルと、前記雰囲気温度と前記差分とにより前
記記憶テーブルから前記ヒータに印加する電力を求め、
求めた電力を前記ヒータに印加する手段とを有すること
を特徴とするガス検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15838793A JP3300110B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | ガス検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15838793A JP3300110B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | ガス検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0712771A true JPH0712771A (ja) | 1995-01-17 |
JP3300110B2 JP3300110B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=15670618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15838793A Expired - Fee Related JP3300110B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | ガス検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3300110B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11248659A (ja) * | 1998-03-04 | 1999-09-17 | Fuji Electric Co Ltd | ガス検知警報器 |
JP2012164094A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Fuji Electric Co Ltd | ガス警報器、ガス警報器におけるガスセンサのヒータ電圧設定方法 |
JP2012164095A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Fuji Electric Co Ltd | ガス警報器、ガス警報器におけるガスセンサのヒータ温度制御方法 |
JP2012164096A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Fuji Electric Co Ltd | ガス警報器、ガス警報器におけるガスセンサのヒータ電力制御方法 |
JP2012237642A (ja) * | 2011-05-11 | 2012-12-06 | Honda Motor Co Ltd | ガスセンサ |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP15838793A patent/JP3300110B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11248659A (ja) * | 1998-03-04 | 1999-09-17 | Fuji Electric Co Ltd | ガス検知警報器 |
JP2012164094A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Fuji Electric Co Ltd | ガス警報器、ガス警報器におけるガスセンサのヒータ電圧設定方法 |
JP2012164095A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Fuji Electric Co Ltd | ガス警報器、ガス警報器におけるガスセンサのヒータ温度制御方法 |
JP2012164096A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Fuji Electric Co Ltd | ガス警報器、ガス警報器におけるガスセンサのヒータ電力制御方法 |
JP2012237642A (ja) * | 2011-05-11 | 2012-12-06 | Honda Motor Co Ltd | ガスセンサ |
US9017612B2 (en) | 2011-05-11 | 2015-04-28 | Honda Motor Co., Ltd. | Gas sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3300110B2 (ja) | 2002-07-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5792938A (en) | Humidity sensor with differential thermal detection and method of sensing | |
EP0883801B1 (en) | Differential scanning calorimeter | |
JP3175887B2 (ja) | 測定装置 | |
JP2758458B2 (ja) | ガス或は蒸気の相対濃度を測定する為の測定方法及びセンサー | |
JP4505842B2 (ja) | 熱伝導率測定方法とその装置およびガス成分比率測定装置 | |
WO2000065315A1 (fr) | Detecteur de flux thermal, procede et appareil d'identification de fluide, detecteur de flux, et procede et appareil de mesure de flux | |
JP3343801B2 (ja) | 湿度センサ | |
US11467110B2 (en) | Method for operating a sensor device | |
JP3310430B2 (ja) | 計測装置および計測方法 | |
US4893508A (en) | Humidity sensing apparatus and method therefor | |
CN110779963A (zh) | 通过在气体传感器中进行脉冲加热的选择性多气体检测 | |
JP3300110B2 (ja) | ガス検出器 | |
JP3501746B2 (ja) | 流体の計測方法 | |
JPH095284A (ja) | 発熱抵抗体の温度制御回路 | |
JPH08184575A (ja) | 湿度センサ | |
JP3193241B2 (ja) | 計測装置 | |
JP3502085B2 (ja) | 計測装置 | |
JP3302784B2 (ja) | 湿度計 | |
JPH0566160A (ja) | 熱量測定装置及び方法 | |
JPH0516730B2 (ja) | ||
JPH0769221B2 (ja) | 温度検知材料、温度センサー及び温度測定方法 | |
JPH08122163A (ja) | 熱依存性検出装置 | |
JPH11160259A (ja) | 示差熱分析装置 | |
JPS6142122Y2 (ja) | ||
JP3506784B2 (ja) | 計測装置および計測方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080419 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090419 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100419 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100419 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110419 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |