JPH0712667A - 物理量センサおよび物理量センサシステム - Google Patents
物理量センサおよび物理量センサシステムInfo
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- JPH0712667A JPH0712667A JP5159497A JP15949793A JPH0712667A JP H0712667 A JPH0712667 A JP H0712667A JP 5159497 A JP5159497 A JP 5159497A JP 15949793 A JP15949793 A JP 15949793A JP H0712667 A JPH0712667 A JP H0712667A
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Abstract
提供すること。 【構成】一つの被測定量を測定するための検出原理が異
なる主センサと補助センサ、一体化集約形成したセンサ
の一部に診断、校正作業を行うアクチュエ−タ及び信号
処理回路をマイクロマシニング、高密度実装の技術を利
用して一つの筐体に複合集約形成する。 【効果】センサの長寿命化とシステムの高信頼化、及び
デ−タの高精度化を図ることができる。
Description
号に変換し、この値から被測定量の変化を検知する装置
に係り、それぞれ検出原理機構が異なる主センサと、少
なくとも1つの補助センサを持ち、これら複数の電気信
号を用いて前記物理量を検出する物理量センサ及び物理
量センサシステムに関する。
号公告のような静電容量センサの電極間にク−ロン力を
作用させて感度を調整する差圧伝送装置や米国特許公報
5103667号に記載された自己診断機能付きの装置が公知
であるが、いずれも1つのセンサで検出するものであ
る。
伴う社会的責任が厳しく問われ、製品責任という形でメ
−カ−ひいては設計、製作者まで及ぶ状況となり、この
処置にかかる費用が膨大となっている。このため装置や
システムの信頼性向上が要求されており、ここに作動状
態の検知を行うセンサの役目は重要であり、またセンサ
自身の高信頼化が望まれている。このような要求に対
し、センサ特性の経年変化を診断、校正することによっ
て高信頼化を図ろうという考えは上記の他にも数多く提
案されてはいるが、検知装置の中で最も故障が多いセン
サ部(検出部)が一つであるため充分な信頼性向上が得
られないという問題があった。
度、高信頼性のセンサ及びセンサシステムを提供するこ
とを目的とする。
格が比較的高く少量一品生産的なので全数を細部の特性
についてまで丁寧に検査することによって高信頼化を図
ることが一般化している。そして大規模なプラントシス
テム等では従来から多数のセンサが用いられており、特
に重要な計測制御が要求されるル−プには複数のセンサ
を用いる例がある。ところが自動車、家電用のセンサの
分野では価格的に採算が合わず量産的にも無理であっ
た。
パクトで高精度、高信頼性のセンサ及びセンサシステム
を提供することを目的とする。
を特に必要としないでウエハレベルでの診断または校正
を行うことによって、量産性の向上と生産時にかかる費
用及び工数時間を低減し低コストのセンサまたはセンサ
システムを提供することを目的とする。
定量に応動する主センサと、該主センサとは検出原理機
構が異なる少なくとも1つの補助センサを筐体の一部に
設け、これら複数の電気信号を用いて前記被測定量を比
較し検出精度を高め、マイクロコンピュ−タを用いて互
いに診断しあうことにより高精度化、高信頼化を達成す
る。
置が大型となりコストアップにつながるため過去には実
現しなかったが、最近の半導体微細加工技術や小型実装
技術の進展によって小型で廉価な装置が容易に実現可能
となった。さらにマイクロコンピュ−タの価格/性能比
の向上が助けとなって本発明の複合センサシステムは実
現できるようになった。すなわち、マイクロマシニン
グ、マイクロファブリケ−ション技術を利用し、1枚の
基板、例えばシリコン基板上に検出原理機構が異なる複
数の小さいセンサデバイスとアクチュエ−タを一体的に
集積化した検出部とマイクロコンピュ−タを用いて診断
または校正を行うことによって小型で低価格の高精度、
高信頼型複合センサ、センサシステムを提供する。
ンサまたは補助センサのいずれかにアクチュエ−タ機能
を持たせたため特別な装置を必要とせず診断または校正
を行う。例えば、補助センサである静電容量検出用の固
定電極にパルス電圧を与え主センサであるピエゾ抵抗素
子を診断、校正する。
るプロ−バを用いて数100チップの診断または校正を
ペレタイズする前にウエハレベルで行うことことができ
る。これによって量産性の向上と生産時にかかる費用及
び工数時間を低減し低コストセンサシステムを提供す
る。
に対する耐久性が異なるため故障のモ−ドが異なる。つ
まり外乱の種類によっては主センサが故障しても補助セ
ンサは健全に動作したり、また逆のケ−スもある。この
理由によって一つの被測定量をそれぞれ検出原理機構が
異なる主センサと補助センサを用いて検出、比較するこ
とによって高精度化、高信頼化を達成することができ
る。
センサのいずれかにアクチュエ−タ機能を持たせこれを
駆動することによって被測定物理量に対応した等価負荷
を電気的に与えることができ、一方のセンサを診断、校
正することができる。例えば、圧力または加速度を測定
する場合、補助センサである静電容量型センサの固定電
極にパルス電圧を印加して等価負荷として可動電極にク
−ロン力を作用させ、ピエゾ抵抗式の主センサを構成す
るピエゾ抵抗素子に歪を与える。この時、主センサの出
力を測定することによって主センサの特性を診断、校正
できる。
測定量に応動するセンサ部組、2は検出原理機構が異な
る主センサと補助センサを持つ検知部、3は検知と駆動
の両機能を果たす電極、6はセンサ部組からの信号を処
理する部分で主センサと補助センサの信号をきりかえる
マルチプレクサ611、センサの感度に応じて増幅感度
を調整する機能をもつ増幅器612a、直流信号をディ
ジタル信号に変換するA/D変換器62、マイクロコン
ピュ−タ64はセンサ部組からの信号を補正計算する。
そして主センサと補助センサから複数の電気信号をとり
被測定量を互いに比較し検出精度を高める。また内部メ
モリにプログラムされた手順または通信機10からの外
部指令に従って診断、校正の指令を行う。指令信号は増
幅器612bで所定の大きさに増幅し、センサの一部と
一体化されたアクチュエ−タを駆動する。これは等価入
力負荷となり、製品出荷時には出力信号との関係を初期
特性としてテ−ブルの形でメモリ65に記憶しておく。
これは稼働時に行う自己診断、校正デ−タ等の基準とな
る。これらのセンサシステムはマイクロマシニング、高
密度実装技術を利用して、価格を上げることなくコンパ
クトに一体化され、複数のセンサの信号を処理する後述
のアルゴリズムにより1個のセンサでは得られない高精
度と高信頼化を達成することができる。一般的にはセン
サ検出原理機構が異なると外乱に対する耐久性が異なる
ため故障のモ−ドが異なる。つまり外乱の種類によって
は主センサが故障しても補助センサは健全に動作した
り、また逆のケ−スも発生する。この理由によって本発
明は一つの被測定量をそれぞれ検出原理機構が異なる主
センサと補助センサを用いて検出、比較することによっ
て高精度、高信頼のセンサシステムを提供するものであ
る。
す。被測定量に応動する主センサ21はN型シリコンの
一部を加工してダイアフラム24を形成し、そこにボロ
ンなどのP型イオンを打ち込みで形成した4個のピエゾ
抵抗素子21であり筐体の一部に設けた穴から導入した
被測定量の圧力に応動して変化する抵抗をホィ−トスト
ンブリッジに結線しアナログ出力電圧としてこれを計測
する。
けた接触端子110、120と導電膜の可動電極26か
らなり、ダイアフラムの中心剛体25が変位し可動電極
26が接触端子の先端に当接すると回路が閉じ表示手段
200で検知するオン.オフ出力型のスイッチング素子
である。100は表示手段のための電源である。
極3と可動電極26からなる静電容量で、被測定量の圧
力はダイアフラム中心剛体25の変位に対応した静電容
量変化として、絶縁基板30に設けた気密端子130,
140を通じて測定される。
の測定状態においては、常に主センサと補助センサの少
なくとも2つの異なるモ−ドの電気信号を用いて前記被
測定量を検出している。すなわち主センサとしてピエゾ
抵抗素子を、補助センサとして静電容量型変位検出素子
から得た電気信号を常に比較して被測定量の圧力を検出
する。両者の出力電圧が合致しているときはセンサが正
常に稼働しているので測定動作と出力を続行している。
しかし両者の出力間に差が生じたときは図6に示すよう
に通常測定のステップ1から診断測定のステップ3に移
行し現時点の入出力特性を測定しメモリに記憶した初期
特性と比較して変化の度合いを調べる。次に、この入出
力特性の測定方法について述べる。診断測定のステップ
はスイッチング素子型の補助センサのオン・オフ出力を
利用する。静電容量型補助センサは非測定状態の折には
自己診断または校正を行うためのアクチュエ−タとして
の機能を果たす。気密端子130,140から静電容量
検出用の電極には図8のようなのパルス発生部612b
によって図10ように動作点の上下に等しい振幅のパル
ス電圧を与える。被測定量に対応した等価負荷として電
気的なク−ロン力がダイアフラム中心剛体25に変位を
与え、ピエゾ抵抗素子21の抵抗変化から図9に示すよ
うな出力信号が得られる。動作点の上下に等しい振幅の
パルス電圧を用いているので被測定量の時間変化に比べ
診断または校正用パルス電圧の周期を充分に小さく設定
すれば最終出力にはその変化が見えないようにロ−パス
フィルタを用いて濾過することができる。このような手
順でセンサの入出力特性の自己診断または校正を短時間
に行うことができる。
明したが、本実施例を複合加速度センサシステムとして
構成することができる。即ち、測定対象によってセンサ
としてより適切な原理構造を選びこれを主センサとす
る。静電容量型変位検出素子電極間ギャップを小さくす
ることによって高感度に加速度を検出することができる
のでシステムの主センサとして使用する。ピエゾ抵抗素
子21が形成されるダイアフラムの加工部の寸法で決ま
る剛性Kと中心剛体25の質量Mの比を所定の値に設計
する。例えば電極間ギャップをg=3μm、質量M=1
mgでばね係数K=1mg/μmとすれば被測定加速度
1gの重力(9.8m/s2)で1μm変位するので電
極面積をA=1mm2に設計すれば次式から静電容量約
7pFで約20%の変化率が得られるセンサを校正する
ことができる。微小な容量検出ゆえ検出信号処理回路6
は筐体11に近くに実装することによって浮遊容量を極
力小さくし特性への悪影響を防止する。この例では補助
センサとしてピエゾ抵抗素子21のアナログ型出力とス
イッチング素子型のオン・オフ出力を利用して前記自己
診断または校正を行う。
あり、ダイアフラム中心剛体25の変位を2つの静電容
量の差として検出することによって周囲の温度変化によ
る影響を取り除くことができる。また、これらの2つの
固定電極は、診断、校正のおりには一方を中心剛体25
に変位を与える駆動手段として、他方を中心剛体の変位
の検出手段として用いることが出来る。
25の間に異物が入り込まないようにシ−ルダイアフラ
ム8を設け、検知部2とで形成する室の中にシリコ−ン
油等を封入した圧力センサ部組の例を示す。電極間ギャ
ップgを小さくした場合、被測定流体中の塵埃が浸入を
防止するため必要である。このような構成によって異物
の浸入を防止しながら、フランジ9に設けた圧力導入口
から導かれる被測定流体の圧力は封入油をかいして検知
部2に伝達される。このようなハ−ドウェアに前記した
自己診断または校正を行うことによって高い信頼度の複
合圧力センシングシステムを構築できる。
て例えばZnO等の電歪素子をアクチュエ−タとしてを
検知部2の薄肉部上に設け、パルス電圧によってこれを
変形させ封入油の圧力を変動させる。主センサであるダ
イアフラムに形成したピエゾ抵抗素子21の抵抗変化
と、補助センサである電極4と導電性シリコンから作ら
れる検知部2の中心剛体25の間に形成した静電容量変
位検出素子を用いて前記したと同じように図11に示す
手順により自己診断または校正を行う。図面の複雑化を
避けるため引出し端子は図示していない。加圧装置3と
検知部2及びシ−ルダイアフラムと筐体11で作る室の
間はしぼり14、16で連通されており、圧力パルスに
よってピエゾ抵抗素子21を形成した薄肉部を変形させ
得るよう上記パルス電圧の周期が選定される。
センサとして静電容量変位検出素子を、補助センサとし
て加速度スイッチを平面上に隣接形成した例を示す。測
定機能、自己診断または校正を行う機能は上記の実施例
と基本的に同じであるが、実施した態様が異なる。
造とこれを形成するプロセスにある。このセンサシステ
ムでは、マイクロマシニング、高密度実装技術を利用し
て、価格を上げることなく複数の検出原理が異なるセン
サをコンパクトに一体的に形成する。前の実施例で述べ
たのとほぼ同じ手順で複数のセンサの信号を処理し、図
11に示すアルゴリズムにより自己診断または校正を行
い高精度と高信頼化を達成する小型で量産性に優れた複
合センサ、センサシステムを提供する主センサはシリコ
ン基板11の上に形成した絶縁膜30、この上に重ね形
成した後でエッチング除去された犠牲層が作るギャッ
プ、この上にあるポリシリコンの一部を加工して形成し
た導電性の可撓部24と質量部25(可動電極として機
能、必要に応じこの上に比重の大きい金属材料を形成
し、これの質量をレ−ザトリミングによって調整して入
出力特性の感度を調整できる)、これと数ミクロンのギ
ャップをもって対向し、絶縁膜30の上に形成した固定
電極3との間に形成する静電容量型変位検出素子で、被
測定量の加速度は主センサの静電容量型変位検出素子と
下記補助センサのピエゾ抵抗素子21とから得た電気信
号を常に比較して検出する。
れ、絶縁膜30の上に形成した固定電極4、この上に重
ね形成した後にエッチング除去された犠牲層が作るギャ
ップ、この上にある導電性ポリシリコンの一部を加工し
て形成した可撓部24と質量部26、その先端部に設け
た接触子261、これに対抗し導電膜で形成した接触用
電極45、可動電極として機能する導電質量部26、こ
れと数ミクロンの前記ギャップをもって対向し、固定電
極4との間に形成する静電容量型アクチュエ−タとから
なり、周辺には、固定電極3,4、接触用電極45、ポ
リシリコンの一部から引出された電極パッド311、4
11、451、211がそれぞれ形成されている。この
補助センサは予め設定した値の加速度が加わると質量部
26が変位しその先端部に設けた接触子261が接触用
電極45に当接し、図2に示したと同じ(本説明図には
図示しない)検知回路が閉じて表示手段200が検知す
るオン・オフ出力型の加速度スイッチング素子である。
センサは、シリコン基板11の上に形成したN型ポリシ
リコン一部を加工して可撓部24とその一部に、ボロン
などのP型イオンを打ち込みで形成した4個のピエゾ抵
抗素子21であり、加速度が加わったとき質量部25
(可動電極)の動きを抵抗変化として捉え、ホィ−トスト
ンブリッジからアナログ出力電圧としてこれを計測す
る。
入力物理量に対する出力に乱れを及ぼすこと無く、自動
的に、装置を止めることなく、いわゆるオンラインで装
置を診断、較正することができる。このために工夫され
たコンセプトを図1,8〜10を用いて以下に述べる。
被測定量の変動時間に比べ極めて短い時間に較正作業を
行う必要があるので、一定振幅のパルス信号を擬似入力
する静電アクチュエ−タ電極3は補助センサ検出部と一
体化して設けてあり、検出手段2を駆動させる機能を持
つ。さらに応答遅れを小さくするため信号処理部をシリ
コン基板(筐体)11の一部に設ける。マイクロプロセ
ッサ64からの指令信号にもとずき図8に簡略化して示
したパルス発生部612(b)からアクチュエ−タ3を所
定の期間、迅速に作動させる。検出部2はこれが正常で
あれば入力(被測定量)に応答すると同様にアクチュエ−
タ3によって擬似入力された診断、較正信号(または等
価負荷)に応答し出力が変化する。出力の応答変化が実
際の被測定量の入力変化によるのか、若しくは診断、較
正作業によるのか弁別するために、診断、較正用パルス
電圧の周波数や期間、周期が被測定量の変動時間に比べ
極めて短い時間に決められているので、診断、較正作業
による高速の出力変化はマイクロプロセッサ64によっ
て診断、較正応答と判断されロ−パスフィルタ69によ
って高周波成分を除去された後出力される。クロック6
6はマイクロプロセッサ64の最小作動周期を決め、こ
れを基準にして診断、較正作業の期間や周期が決められ
る。オンライン診断の状態ではシステムの出力は診断、
較正作業によって中断されることなく出力されており、
またこの作業によって出力レベルが乱されてはいけな
い。この条件を満たすため、増幅器612bからの較正
用パルス電圧は診断、較正指令を受けたその時点の出力
レベルを中心として等しい量だけ増減するパルスまたは
パルス列となっている。従って増幅器612bの動作点
つまりアクチュエ−タ3の動作点は常に(少なくとも較
正指令をうけたら動作点を出力レベルに対応して調整す
る)出力レベルに対応して変動しており、マイクロプロ
セッサ64の較正指令を受けたら図10のように増幅器
612bはその時点の動作点を中心とし十分なパワ−に
増幅された較正用パルス電圧をアクチュエ−タ3に送
り、これを駆動する。図9に示すように応答した出力パ
ルスはロ−パスフィルタ69によって高周波成分を除去
されるため較正作業による出力レベルの乱れは無い。
の時点の入力に正確に比例している。波形はマイクロプ
ロセッサ64によってメモリ65内に予め記憶した初期
応答波形と比較され較正される。製品出荷時に行う入出
力較正時の特性と所定の較正用パルスに対する出力応答
波形の関係からそのセンサシステム固有の入力量と較正
用パルス値間の関係が特定され初期特性としてメモリ6
5内に記憶される。単なる診断の場合は必要ないが、校
正の場合ある程度の精度を要するので特にセンサに非線
形特性を持つ場合にはその次数に応じて較正点(動作点)
を増やす方が良い。線形特性の場合には動作点を選ぶ必
要はなく較正用パルスに対する出力応答の波高値を正確
に記憶しておけば良い。また時定数等の値で出力応答速
度の初期特性を記憶しておいた方が良い場合もある。
適切な周期で実施され記憶される一方、詳細は実施例で
説明するような方法によって初期特性とのずれを計算
し、これが保証精度と関連ずけた所定の値を越えた時、
警報信号として通信器に送り表示する。また図面には表
示していないが、必要に応じて検出装置5の一部に警報
表示する。さらに、ずれ量に基ずいてゼロ点と感度に補
正を加え検出装置5の精度を維持することにより製品寿
命を長くし、信頼性を向上させる。この結果、誤差(ず
れ量)を修正でき正確な検出信号を得ることができる。
補正のタイミングは、一定の周期ごとでもよいし、ずれ
量がある一定の値を越えたときであってもよい。 図1
1は測定、診断、校正ル−チンの手順を示すパド図であ
る。すでに個々の実施例は本図を参照してその都度説明
してきたが、共通項目について以下に説明する。診断要
求が無いときは1の定常測定を行っており、上位の指令
によって診断2,3、校正4,5のル−チンを実行す
る。その手順は (1)予めプログラムされた手順または通信器から診断
要求信号で診断を開始。
振幅のパルス信号をセンサ部組へ送る。
チュエ−タと機能し動かす。
し、出力信号との特性関係をマイコンが演算する。
常、異常を判定して通信器に返送する。
校正を行いメモリに記憶されたデ−タを書き替える。
なる主センサと補助センサの出力の差が保証精度と関連
づけた所定の値を越えたときであってもよい。また、セ
ンサの数が3個以上の場合、センサ同士の出力の関係が
あらかじめ決められた所定の関係を満たさないとき、警
報信号の発生を行う。また、検出原理が異なる複数のセ
ンサの出力を入力し、各センサの出力同士を比較し、出
力相互の関係からセンサの故障モ−ドや故障場所などの
故障状態を診断する診断回路を設けてもよい。故障状態
の診断は例えば所定の周期で行う。
ステムに応用した場合、上記のような警報信号または故
障状態に関する情報に基づき、安全性を確保したり、省
エネルギ−などの目的でシステムを停止したり、運転状
態を変えたりすることなどが可能である。
主センサと補助センサを同一環境に集積形成し、その出
力を常に比較し被測定量検知することにより次の効果を
有する。
センサの長寿命化とシステムの高信頼化を図ることがで
きる。
ため、デ−タの高精度化を図ることができる。
術を利用して集積形成したため上記の効果を保ちながら
自動車、家電用などのコンパクトで低コストセンサを提
供することができる。
断、校正作業を行うことができるので大量生産ができ
る。
形成した実施例の断面図及び平面図。
特性を示す図。
の関係を示す図。
図。
チュエ−タ、5…接続体 6…信号処理部、7…端子、21…ピエゾ抵抗素子、2
5…中心剛体,可動電極 110,120…スイッチング素子、64…マイクロコ
ンピュ−タ、65…メモリ
Claims (22)
- 【請求項1】入力物理量に対し、相異なる検出原理によ
って前記入力物理量を検出する複数のセンサを一体的に
形成したことを特徴とする物理量センサ。 - 【請求項2】特許請求の範囲第1項において、前記複数
のセンサは主としてシリコンによって形成されることを
特徴とする物理量センサ。 - 【請求項3】特許請求の範囲第2項において、前記シリ
コンはポリシリコンであることを特徴とする物理量セン
サ。 - 【請求項4】特許請求の範囲第1項において、前記複数
のセンサは基板の表面または表面付近に形成されること
を特徴とする物理量センサ。 - 【請求項5】特許請求の範囲第1項において、前記複数
のセンサは圧力また加速度を検出するセンサであること
を特徴とする物理量センサ。 - 【請求項6】特許請求の範囲第1項において、前記複数
のセンサはピエゾ抵抗式および静電容量式のセンサを含
むことを特徴とする物理量センサ。 - 【請求項7】特許請求の範囲第1項において、前記複数
のセンサは入力物理量の変化に対して出力がアナログ的
に変化するアナログ型センサと、入力物理量の変化に対
して出力がステップ的に変化するスイッチ型センサを含
むことを特徴とする物理量センサ。 - 【請求項8】可動電極と、該可動電極を支持する弾性体
と、該弾性体に設けられた歪抵抗素子と、前記可動電極
と空隙を隔てて形成された少なくとも1つの固定電極
と、前記歪抵抗素子の抵抗値及び前記可動電極と固定電
極との間の静電容量を検出する信号処理回路とを備えた
ことを特徴とする前記可動電極に働く力を測定する力セ
ンサ。 - 【請求項9】特許請求の範囲第8項において、前記可動
電極を支持する弾性体はダイアフラムであることを特徴
とする力センサ。 - 【請求項10】特許請求の範囲第8項において、前記可
動電極を支持する弾性体はカンチレバ−であることを特
徴とする力センサ。 - 【請求項11】特許請求の範囲第8項において、前記可
動電極は質量を有する質量体であることを特徴とする力
センサ。 - 【請求項12】特許請求の範囲第8項において、前記力
センサはさらに前記可動電極と固定電極との間に電圧を
印加する電圧印加手段を具備したことを特徴とする力セ
ンサ。 - 【請求項13】可動電極と、該可動電極を支持する弾性
体と、該弾性体に設けられた歪抵抗素子と、前記弾性体
に設けられた電歪素子と、前記可動電極と空隙を隔てて
形成された少なくとも1つの固定電極と、前記歪抵抗素
子の抵抗値及び前記可動電極と固定電極との間の静電容
量を検出する信号処理手段と、前記電歪素子に電圧を印
加する電圧印加手段とを備えたことを特徴とする前記可
動電極に働く力を測定する力センサ。 - 【請求項14】入力物理量に対し、相異なる検出原理に
よって前記入力物理量を検出する複数のセンサを同一筐
体に形成し、前記複数のセンサの出力を比較する比較手
段、前記比較結果が所定の範囲を越えたとき所定の信号
を発生する信号発生手段とを備えたことを特徴とする物
理量センサシステム。 - 【請求項15】入力物理量に対し、相異なる検出原理に
よって前記入力物理量を検出する複数のセンサを同一筐
体に形成し、前記複数のセンサの出力を比較する比較手
段、前記比較結果に基づき前記複数のセンサの状態を診
断する診断手段とを備えたことを特徴とする物理量セン
サシステム。 - 【請求項16】特許請求の範囲第15項において、前記
診断手段は診断を所定の周期で行うことを特徴とする物
理量センサシステム。 - 【請求項17】入力物理量に対し、相異なる検出原理に
よって前記入力物理量を検出する主センサを含む複数の
センサを同一筐体に形成し、前記複数のセンサの出力を
比較する比較手段、前記比較手段の出力に基づき、前記
主センサに前記物理量と等価的な負荷を入力する等価負
荷入力手段、前記等価的な負荷に対する主センサの初期
的な応答特性をあらかじめ記憶したメモリ手段、前記等
価的な入力負荷に対する主センサの応答特性と前記初期
的な応答特性とを比較演算し、前記比較演算結果が所定
の範囲を越えたとき所定の信号を発生する信号発生手段
とを備えたことを特徴とする物理量センサシステム。 - 【請求項18】入力物理量に対し、相異なる検出原理に
よって前記入力物理量を検出する主センサを含む複数の
センサを同一筐体に形成し、前記複数のセンサの出力を
比較する比較手段、前記比較手段の出力に基づき、前記
主センサに前記物理量と等価的な負荷を入力する等価負
荷入力手段、前記等価的な負荷に対する主センサの初期
的な応答特性をあらかじめ記憶したメモリ手段、前記等
価的な入力負荷に対する主センサの応答特性と前記初期
的な応答特性とを比較演算し、前記主センサの入力物理
量に対する出力特性を校正する手段とを備えたことを特
徴とする物理量センサシステム。 - 【請求項19】特許請求の範囲第18項において、前記
比較手段によって比較した複数のセンサの出力の違いが
所定の範囲を越えたとき、前記校正を実施することを特
徴とする物理量センサシステム。 - 【請求項20】入力加速度を検出する主センサを具備し
た加速度センサにおいて、 該加速度センサは前記主センサ以外に異なる検出原理に
よって前記入力加速度を検出する少なくとも1個のセン
サを同一筐体に一体的に有し、前記主センサを含む複数
のセンサの出力を比較し、前記比較結果に基づいて、前
記主センサに加速度と等価的な負荷を入力し、前記等価
的な入力負荷に対する主センサの応答特性と、あらかじ
めメモリに記憶された初期的な応答特性とを比較演算
し、前記主センサの入力加速度に対する出力特性を校正
することを特徴とする加速度センサの校正方法。 - 【請求項21】入力圧力を検出する主センサを具備した
圧力センサにおいて、 該圧力センサは前記主センサ以外に異なる検出原理によ
って前記入力圧力を検出する少なくとも1個のセンサを
同一筐体に一体的に有し、前記主センサを含む複数のセ
ンサの出力を比較し、前記比較結果に基づいて、前記主
センサに圧力と等価的な負荷を入力し、前記等価的な入
力負荷に対する主センサの応答特性とあらかじめメモリ
に記憶された初期的な応答特性とを比較演算し、前記主
センサの入力圧力に対する出力特性を校正することを特
徴とする圧力センサの校正方法。 - 【請求項22】入力される力を検出する主センサを具備
した力センサにおいて、前記力センサは、入力される力
とは異なり、平均値がほぼゼロとなる別の力を前記主セ
ンサに印加する手段を有し、前記主センサの前記別の力
に対する応答特性から前記主センサの入力される力に対
する出力特性を校正することを特徴とする力センサの校
正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5159497A JPH0712667A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 物理量センサおよび物理量センサシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP5159497A JPH0712667A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 物理量センサおよび物理量センサシステム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0712667A true JPH0712667A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15695064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5159497A Pending JPH0712667A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 物理量センサおよび物理量センサシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0712667A (ja) |
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