JPH07121335B2 - 排気ガス流中の黄リン等の分離除却方法及び分離除却装置 - Google Patents
排気ガス流中の黄リン等の分離除却方法及び分離除却装置Info
- Publication number
- JPH07121335B2 JPH07121335B2 JP5221989A JP22198993A JPH07121335B2 JP H07121335 B2 JPH07121335 B2 JP H07121335B2 JP 5221989 A JP5221989 A JP 5221989A JP 22198993 A JP22198993 A JP 22198993A JP H07121335 B2 JPH07121335 B2 JP H07121335B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- exhaust gas
- yellow phosphorus
- temperature
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
- B01D47/02—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent by passing the gas or air or vapour over or through a liquid bath
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D50/00—Combinations of methods or devices for separating particles from gases or vapours
- B01D50/60—Combinations of devices covered by groups B01D46/00 and B01D47/00
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，化学的気相成長法によ
る半導体製造過程における排気ガス流中の黄リン等の分
離除却方法及び装置に関する。なお，本発明は，上記半
導体製造過程における排気ガス又は蒸気に限らず，黄リ
ン等を包含する他のガス流中の有害物質を分離除却する
装置にも利用することができる。
る半導体製造過程における排気ガス流中の黄リン等の分
離除却方法及び装置に関する。なお，本発明は，上記半
導体製造過程における排気ガス又は蒸気に限らず，黄リ
ン等を包含する他のガス流中の有害物質を分離除却する
装置にも利用することができる。
【０００２】
【従来の技術】従来，化学的気相成長法による半導体製
造過程における排気ガス流中に含まれる黄リン等は，単
体で空気中にさらされると，常温下で燃焼する物性を具
えているため，その除却作業は危険を伴いしばしば事故
の発生を見た。そこで，上記排ガスの吸込管或いは吐出
管体から排気ガス中の黄リン等の除却に当っては，該吸
込管又は吐出管の適宜の位置に，濾過フィルターを配置
し，該フィルターを介して黄リン等の有害物質を分離し
除却することが知られている。しかし，上記吸込管又は
吐出管体は，その断面積が狭いため排気ガスの流速が速
く，管体に装着する濾過フィルターは，黄リン等を分離
する効率を揚げることが困難で，該濾過フィルターを複
数個所に配置しても容易に黄リン等の分離除却が解決困
難で，経済性にも欠け分離除却の信頼性が乏しかった。
造過程における排気ガス流中に含まれる黄リン等は，単
体で空気中にさらされると，常温下で燃焼する物性を具
えているため，その除却作業は危険を伴いしばしば事故
の発生を見た。そこで，上記排ガスの吸込管或いは吐出
管体から排気ガス中の黄リン等の除却に当っては，該吸
込管又は吐出管の適宜の位置に，濾過フィルターを配置
し，該フィルターを介して黄リン等の有害物質を分離し
除却することが知られている。しかし，上記吸込管又は
吐出管体は，その断面積が狭いため排気ガスの流速が速
く，管体に装着する濾過フィルターは，黄リン等を分離
する効率を揚げることが困難で，該濾過フィルターを複
数個所に配置しても容易に黄リン等の分離除却が解決困
難で，経済性にも欠け分離除却の信頼性が乏しかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は，主として化
学的気相成長法による半導体製造過程における排気ガス
濾中に含まれる黄リン等の分離除却作業における上記問
題点に鑑み，従来技術の欠点を克服除去し，一層簡単な
機構によって，ガス流中より黄リン等の分離効率を良く
すると共に，安全に分離して除却することのできる分離
除却方法及び装置を供することである。
学的気相成長法による半導体製造過程における排気ガス
濾中に含まれる黄リン等の分離除却作業における上記問
題点に鑑み，従来技術の欠点を克服除去し，一層簡単な
機構によって，ガス流中より黄リン等の分離効率を良く
すると共に，安全に分離して除却することのできる分離
除却方法及び装置を供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明においては，上記
課題を解決する手段として下記の技術を結合した。 （ａ），半導体製造過程における排気ガスを，冷却及び
流量制御機構に連係した不燃性作動油を用いた油回転真
空ポンプに吸込管を介して誘導する。 （ｂ），該ポンプ内の不燃性作動油の温度を適宜冷却し
ながら，該冷却した作動油中において，排気ガスを油浴
させ，その油浴中に黄リン等を作動油中に分離，混合さ
せる技術を結合する。 （ｃ），上記混合作動油を，オイルフィルター及び油循
環ポンプを具える濾過装置に誘導管を介して誘導し，該
オイルフィルターに分離析出した黄リン等を別途除却す
る。 （ｄ），上記濾液の作動油を，温度制御素子を具える油
温度制御器に誘導管を介して誘導し，適宜の温度に冷却
制御後これを環流管により上記真空ポンプに環流させ
る。 （ｅ），上記環流した冷却された作動油によって，ポン
プ内に高温で誘導される蒸気を含む排気ガスの温度を急
速に冷却しながら，排気ガスを油浴させ黄リン等の分離
作用を促進させ，これを順次循環させる技術を結合する
ことである。
課題を解決する手段として下記の技術を結合した。 （ａ），半導体製造過程における排気ガスを，冷却及び
流量制御機構に連係した不燃性作動油を用いた油回転真
空ポンプに吸込管を介して誘導する。 （ｂ），該ポンプ内の不燃性作動油の温度を適宜冷却し
ながら，該冷却した作動油中において，排気ガスを油浴
させ，その油浴中に黄リン等を作動油中に分離，混合さ
せる技術を結合する。 （ｃ），上記混合作動油を，オイルフィルター及び油循
環ポンプを具える濾過装置に誘導管を介して誘導し，該
オイルフィルターに分離析出した黄リン等を別途除却す
る。 （ｄ），上記濾液の作動油を，温度制御素子を具える油
温度制御器に誘導管を介して誘導し，適宜の温度に冷却
制御後これを環流管により上記真空ポンプに環流させ
る。 （ｅ），上記環流した冷却された作動油によって，ポン
プ内に高温で誘導される蒸気を含む排気ガスの温度を急
速に冷却しながら，排気ガスを油浴させ黄リン等の分離
作用を促進させ，これを順次循環させる技術を結合する
ことである。
【０００５】
【作用】吸込管を介して不燃性作動油を用いた油回転真
空ポンプに誘導された排気ガス流は，ポンプ内の冷却さ
れた作動油によって急速に冷却されながら油浴を余義な
くされる。その油浴中に排気ガス流中の黄リン等は，作
動油中に分離し，コロイド状に作動油にてん装された状
態で混合され，混合作動油が形成され，余剰のガス体
は，ポンプに別に設けた吐出管から放出され，必要に応
じて再処理される。上記の混合作動油を，濾過装置に誘
導し該混合作動油に含まれた黄リン等は，オイルフィル
ターを介して濾過析出され適宜除却される。上記濾液の
作動油は，温度制御素子を具える油温度制御器に誘導さ
れ，所望の温度に冷却制御後真空ポンプに環流し，該冷
却した作動油は，ポンプ内の作動油の温度を急速に冷却
調整して，ポンプ内における吸込直後の排気ガス流の油
溶温度を調整し，黄リン等の分離，作動油との混合効率
を良くし，および濾過装置における作業の安全に資す
る。
空ポンプに誘導された排気ガス流は，ポンプ内の冷却さ
れた作動油によって急速に冷却されながら油浴を余義な
くされる。その油浴中に排気ガス流中の黄リン等は，作
動油中に分離し，コロイド状に作動油にてん装された状
態で混合され，混合作動油が形成され，余剰のガス体
は，ポンプに別に設けた吐出管から放出され，必要に応
じて再処理される。上記の混合作動油を，濾過装置に誘
導し該混合作動油に含まれた黄リン等は，オイルフィル
ターを介して濾過析出され適宜除却される。上記濾液の
作動油は，温度制御素子を具える油温度制御器に誘導さ
れ，所望の温度に冷却制御後真空ポンプに環流し，該冷
却した作動油は，ポンプ内の作動油の温度を急速に冷却
調整して，ポンプ内における吸込直後の排気ガス流の油
溶温度を調整し，黄リン等の分離，作動油との混合効率
を良くし，および濾過装置における作業の安全に資す
る。
【０００６】
【実施例１】本発明の好ましい実施例について図面を参
照して説明する。図１において，本発明に係わる排気ガ
ス流中の黄リン等の分離除却方法及び装置は，化学的気
相成長法による半導体の製造過程におけるプロセス室
（１）において，成膜上不要となった反応ガス例えば，
フォスフィン（ＰＨ３）が分解して出来た黄リン蒸気等
の不純物（主として黄リン）を安全かつ効率的に除却す
る機構であって，半導体製造プロセス室（１）より排出
されるガス流を，油温度制御器（７）に連係したフッ素
化油（炭素，フッソ，酸素の３原子よりなる油）等の不
燃性作動油を用いた油回転真空ポンプ（３）の作動油槽
中に誘導し，該排気ガス中に包含されている黄リン等
を，該作動油中に油浴させ，その油浴中において，黄リ
ン等の分子を抱え込むように作動油をてん装することに
よって，排気ガス中より分離させてコロイド状の混合作
動油を生成させると共に，該混合作動油を循環ポンプ
（４）を介して，適宜の油ファルター（Ｆ）（カートリ
ッジ）を具える濾過装置（５）に誘導し，該油フィルタ
ー（Ｆ）を介して黄リン等を濾過析出し適時該フィルタ
ー（Ｆ）を交換し除却する。なお，上記の油回転真空ポ
ンプ（３）の油浴中に混合作動油中に分離された黄リン
以外の残余の排気ガスは，上記油回転真空ポンプ（３）
に別に配置した吐出管（６）を介して空気中に放出する
か又は必要に応じて再処理の上環境衛生上支障のない手
段を構ずる。
照して説明する。図１において，本発明に係わる排気ガ
ス流中の黄リン等の分離除却方法及び装置は，化学的気
相成長法による半導体の製造過程におけるプロセス室
（１）において，成膜上不要となった反応ガス例えば，
フォスフィン（ＰＨ３）が分解して出来た黄リン蒸気等
の不純物（主として黄リン）を安全かつ効率的に除却す
る機構であって，半導体製造プロセス室（１）より排出
されるガス流を，油温度制御器（７）に連係したフッ素
化油（炭素，フッソ，酸素の３原子よりなる油）等の不
燃性作動油を用いた油回転真空ポンプ（３）の作動油槽
中に誘導し，該排気ガス中に包含されている黄リン等
を，該作動油中に油浴させ，その油浴中において，黄リ
ン等の分子を抱え込むように作動油をてん装することに
よって，排気ガス中より分離させてコロイド状の混合作
動油を生成させると共に，該混合作動油を循環ポンプ
（４）を介して，適宜の油ファルター（Ｆ）（カートリ
ッジ）を具える濾過装置（５）に誘導し，該油フィルタ
ー（Ｆ）を介して黄リン等を濾過析出し適時該フィルタ
ー（Ｆ）を交換し除却する。なお，上記の油回転真空ポ
ンプ（３）の油浴中に混合作動油中に分離された黄リン
以外の残余の排気ガスは，上記油回転真空ポンプ（３）
に別に配置した吐出管（６）を介して空気中に放出する
か又は必要に応じて再処理の上環境衛生上支障のない手
段を構ずる。
【０００７】次に，上記濾過装置（５）において黄リン
等の濾過析出後の作動油は，温度制御素子（７）ａを具
える油温度制御器（７）に誘導し，所定の温度に冷却制
御された後，該作動油を流量制御機構（８）を具える環
流管（９）を介して油回転真空ポンプ（３）に環流さ
せ，該真空ポンプ（３）の作動油と合体させ，プロセス
室（１）より吸引する高温の排気ガス流によって，加温
されようとする真空ポンプ（３）内の作動油の温度を極
力所定の温度を維持するよう温度調整を行い，該真空ポ
ンプ（３）中における排気ガス流を常に冷却された作動
油中にて油浴させ，該排気ガス流中の黄リン等の油浴中
の分離作用を促進させる。したがって，該真空ポンプ
（３）内の油温は，実用的には１０〜１５℃に設定し，
さらに，該真空ポンプ（３）内の油温を該温度に維持す
るためには，作動油の流量にもよるが，上記油温度制御
器（７）からの環流作動油の温度を０〜５℃に設定する
ことが望ましい。
等の濾過析出後の作動油は，温度制御素子（７）ａを具
える油温度制御器（７）に誘導し，所定の温度に冷却制
御された後，該作動油を流量制御機構（８）を具える環
流管（９）を介して油回転真空ポンプ（３）に環流さ
せ，該真空ポンプ（３）の作動油と合体させ，プロセス
室（１）より吸引する高温の排気ガス流によって，加温
されようとする真空ポンプ（３）内の作動油の温度を極
力所定の温度を維持するよう温度調整を行い，該真空ポ
ンプ（３）中における排気ガス流を常に冷却された作動
油中にて油浴させ，該排気ガス流中の黄リン等の油浴中
の分離作用を促進させる。したがって，該真空ポンプ
（３）内の油温は，実用的には１０〜１５℃に設定し，
さらに，該真空ポンプ（３）内の油温を該温度に維持す
るためには，作動油の流量にもよるが，上記油温度制御
器（７）からの環流作動油の温度を０〜５℃に設定する
ことが望ましい。
【０００８】このことは，該真空ポンプ（３）内の作動
油の温度を，上記の設定温度に保持することがまだ学問
的に解明されていないが，試作動油中で油浴する黄リン
等の分離作用が促進され，又後記の濾過装置における黄
リン等の濾過析出上安全性が保たれると共に，さらに，
作動油の粘度が濾過作用上一層効率的であり，流動性も
阻害されず円滑な循環に寄与できることが判ったからで
ある、
油の温度を，上記の設定温度に保持することがまだ学問
的に解明されていないが，試作動油中で油浴する黄リン
等の分離作用が促進され，又後記の濾過装置における黄
リン等の濾過析出上安全性が保たれると共に，さらに，
作動油の粘度が濾過作用上一層効率的であり，流動性も
阻害されず円滑な循環に寄与できることが判ったからで
ある、
【０００９】
【実施例２】上記実施例１において述べた油回転真空ポ
ンプ（３）の作動油の温度を所定温度に維持させるため
に，上記油温度制御器（７）から真空ポンプ（３）に向
って環流する作動油の温度を所定値に維持するため，上
記真空ポンプ（８）に作動油温度検知器（３）ａ及び油
温度制御器（７）に温度制御素子（７）ａをそれぞれ配
置し，及び作動油誘導管（９）ａ或いは環流管（９）の
適宜の位置に流量制御機構（８）を予め装着して手動バ
ルブ（１１）によって，作動油の温度および流量を知り
これの制御を行うことができる。
ンプ（３）の作動油の温度を所定温度に維持させるため
に，上記油温度制御器（７）から真空ポンプ（３）に向
って環流する作動油の温度を所定値に維持するため，上
記真空ポンプ（８）に作動油温度検知器（３）ａ及び油
温度制御器（７）に温度制御素子（７）ａをそれぞれ配
置し，及び作動油誘導管（９）ａ或いは環流管（９）の
適宜の位置に流量制御機構（８）を予め装着して手動バ
ルブ（１１）によって，作動油の温度および流量を知り
これの制御を行うことができる。
【００１０】しかし，別の実施態様として，該油回転真
空ポンプ（３）に配置した作動油温度検知器（３）ａ，
油温度制御器（７）に配置した温度制御素子（７）ａお
よび，作動油誘導管（９）ａ又は環流管（９）に配置し
た流量制御機構（８）と，並びに適宜の位置に配置した
プログラム判別装置（１０）とを互いにそれぞれ電気的
に結線することによって，該油回転真空ポンプ（３）の
作動油温度検知器（３）ａが真空ポンプ（３）内の作動
油の温度を検知した情報を，該プログラム判別装置（１
０）がこれを識別して，油温度制御器（７）の温度制御
素子（７）ａに指令を伝達し，該油温度制御器（７）の
温度を所定温度に調整すると共に，該プログラム判別装
置（１０）の情報が流量制御機構（８）にも情報を伝達
し，該流量制御機構（８）を作動させプログラムに沿っ
て必要なる流量に調整させ，該油温度と流量の調整を相
互的に関連させて作動制御させ，油回転真空ポンプ
（３）内の作動油の温度を自動的に所定の温度を維持さ
せる構成とすることができる。
空ポンプ（３）に配置した作動油温度検知器（３）ａ，
油温度制御器（７）に配置した温度制御素子（７）ａお
よび，作動油誘導管（９）ａ又は環流管（９）に配置し
た流量制御機構（８）と，並びに適宜の位置に配置した
プログラム判別装置（１０）とを互いにそれぞれ電気的
に結線することによって，該油回転真空ポンプ（３）の
作動油温度検知器（３）ａが真空ポンプ（３）内の作動
油の温度を検知した情報を，該プログラム判別装置（１
０）がこれを識別して，油温度制御器（７）の温度制御
素子（７）ａに指令を伝達し，該油温度制御器（７）の
温度を所定温度に調整すると共に，該プログラム判別装
置（１０）の情報が流量制御機構（８）にも情報を伝達
し，該流量制御機構（８）を作動させプログラムに沿っ
て必要なる流量に調整させ，該油温度と流量の調整を相
互的に関連させて作動制御させ，油回転真空ポンプ
（３）内の作動油の温度を自動的に所定の温度を維持さ
せる構成とすることができる。
【００１１】なお，濾過装置（５）に作動油粘度検知器
等を配置し，該作動油粘度検知器等の信号をプログラム
判別装置（１０）に伝達し，該信号を識別したプログラ
ム判別装置（１０）が，その情報を流量制御機構（８）
及び油温度制御素子（７）ａに伝達して，環流する作動
油の粘度を濾過に適する粘度に制御して循環させ，濾過
効率を改善する構成とすることもできる。（但し，図示
を省略する。）
等を配置し，該作動油粘度検知器等の信号をプログラム
判別装置（１０）に伝達し，該信号を識別したプログラ
ム判別装置（１０）が，その情報を流量制御機構（８）
及び油温度制御素子（７）ａに伝達して，環流する作動
油の粘度を濾過に適する粘度に制御して循環させ，濾過
効率を改善する構成とすることもできる。（但し，図示
を省略する。）
【００１２】
【発明の効果】本発明は，システム室から吐出される排
気ガスを油回転真空ポンプの面積の広い作動油槽に誘導
して，該排気ガスを油浴させることによって，排気ガス
中に包含されている黄リン等は，流速の遅い作動油中で
油浴する。その際，該作動油は冷却されているため，黄
リン等の分子は排気ガス中より速かに分離して，作動油
に包み込まれた状態でコロイド状に黄リン等の分子を捕
え，黄リン等を包含した混合作動油となり，濾過装置に
誘導され，濾過析出され，適温に冷却された黄リン等
は，該濾過カートリッジとして交換処理され，安全に分
離除却することができる。また，機構が簡単であり，黄
リン等の分離メカニズムが化学的気相成長法における異
種の装置にも共通して連結し，作動が容易で安価に提供
できる等種々の工業的効果を奏することができる。
気ガスを油回転真空ポンプの面積の広い作動油槽に誘導
して，該排気ガスを油浴させることによって，排気ガス
中に包含されている黄リン等は，流速の遅い作動油中で
油浴する。その際，該作動油は冷却されているため，黄
リン等の分子は排気ガス中より速かに分離して，作動油
に包み込まれた状態でコロイド状に黄リン等の分子を捕
え，黄リン等を包含した混合作動油となり，濾過装置に
誘導され，濾過析出され，適温に冷却された黄リン等
は，該濾過カートリッジとして交換処理され，安全に分
離除却することができる。また，機構が簡単であり，黄
リン等の分離メカニズムが化学的気相成長法における異
種の装置にも共通して連結し，作動が容易で安価に提供
できる等種々の工業的効果を奏することができる。
【図１】本発明に係わる黄リン等の分離除却装置の系統
図である。
図である。
【図２】同，分離除却装置の作動油循環制御系統の模式
説明図である。
説明図である。
１：プロセス室 ２：吸込管 ３：油回転真空ポンプ ３ａ：作動油温度
検知器 ４：循環ポンプ ５：瀘過装置 ６：吐出管 ７：油温度制御
器 ７ａ：油温度制御素子 ８：流量制御
機構 ９：環流管 ９ａ：誘導管 １０：プログラム判別装置 １１：手動バル
ブ Ｆ：フィルター
検知器 ４：循環ポンプ ５：瀘過装置 ６：吐出管 ７：油温度制御
器 ７ａ：油温度制御素子 ８：流量制御
機構 ９：環流管 ９ａ：誘導管 １０：プログラム判別装置 １１：手動バル
ブ Ｆ：フィルター
Claims (2)
- 【請求項１】 化学的気相成長法による半導体製造過程
における排気ガスを吸込管を介して油温度制御機構に連
係した油回転真空ポンプに誘導し，該排気ガス中の黄リ
ン等を，該ポンプ内において分離し作動油と混合させ，
該黄リン等と作動油との混合作動油を，適宜のオイルフ
ィルターを具える濾過装置に誘導し，該濾過装置におい
て黄リン等を濾出して別途処理可能とすると共に，残余
の排気ガスを機外に放出し，および濾液の作動油を温度
制御素子を具える油温度制御器に誘導し，適宜の温度に
冷却制御後，上記油回転真空ポンプに環流し，該真空ポ
ンプの作動油の温度を所定の温度に調節可能に冷却して
循環させるようにしたことを特徴とする排気ガス流中の
黄リン等の分離除却方法。 - 【請求項２】 化学的気相成長法による半導体製造過程
における排気ガスを吸込管を介して油温度制御機構に連
係した油回転真空ポンプに誘導し，該排気ガス中の黄リ
ン等を，該ポンプ内において分解し作動油と混合させ，
該黄リン等と作動油との混合作動油を，適宜のオイルフ
ィルターを具える濾過装置に誘導し，該濾過装置におい
て黄リン等を濾出して別途処理可能とすると共に，残余
の排気ガスを機外に放出し，および濾液の作動油を誘導
管を介して温度制御素子を具える油温度制御器に誘導
し，適宜の温度に冷却制御後，環流管を介して上記油回
転真空ポンプに環流し，該真空ポンプの作動油の温度を
所定の温度に調節可能に冷却して循環させるようにした
ことを特徴とする排気ガス流中の黄リン等の分離除却装
装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5221989A JPH07121335B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 排気ガス流中の黄リン等の分離除却方法及び分離除却装置 |
| US08/271,735 US5551965A (en) | 1993-07-08 | 1994-07-07 | Apparatus for separating and removing a dangerous substance from an exhaust gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5221989A JPH07121335B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 排気ガス流中の黄リン等の分離除却方法及び分離除却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0724250A JPH0724250A (ja) | 1995-01-27 |
| JPH07121335B2 true JPH07121335B2 (ja) | 1995-12-25 |
Family
ID=16775341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5221989A Expired - Fee Related JPH07121335B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 排気ガス流中の黄リン等の分離除却方法及び分離除却装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5551965A (ja) |
| JP (1) | JPH07121335B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09202973A (ja) * | 1996-01-24 | 1997-08-05 | Tokyo Electron Ltd | 成膜処理装置の排気システム構造 |
| WO2003005428A1 (en) * | 2001-06-14 | 2003-01-16 | Tae-Gon Kim | Method and apparatus for removing a reaction by-product in the semiconductor and the liquid crystal display manufactured field |
| JP2006110467A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Furukawa Co Ltd | 半導体製造装置用燐分離装置 |
| CN101484229A (zh) * | 2006-05-26 | 2009-07-15 | 绿色领导科技有限公司 | 处理废气的方法 |
| CN102773009B (zh) * | 2012-07-23 | 2014-09-03 | 昆明理工大学 | 一种净化黄磷尾气中次甲基磷的方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3963464A (en) * | 1974-03-06 | 1976-06-15 | Merck & Co., Inc. | Gas washer and liquid treatment system |
| US4054429A (en) * | 1976-06-04 | 1977-10-18 | Geo. A. Hormel & Co. | Method and apparatus for solvent recovery |
| US4371563A (en) * | 1980-03-27 | 1983-02-01 | Electro-Plasma, Inc. | Fine particle filter system having low pressure drop for gaseous flow systems |
| US4990166A (en) * | 1989-06-08 | 1991-02-05 | Babich William F | Gas stream purifying equipment |
| JP2948842B2 (ja) * | 1989-11-24 | 1999-09-13 | 日本真空技術株式会社 | インライン型ｃｖｄ装置 |
| US5143527A (en) * | 1991-04-24 | 1992-09-01 | Tian Song Guo | Waste gas-purifying device |
-
1993
- 1993-07-08 JP JP5221989A patent/JPH07121335B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-07-07 US US08/271,735 patent/US5551965A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5551965A (en) | 1996-09-03 |
| JPH0724250A (ja) | 1995-01-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100951200B1 (ko) | 폐수 또는 생산수의 처리 방법 | |
| CN100336182C (zh) | 蚀刻液的再生方法、蚀刻方法和蚀刻*** | |
| US6077437A (en) | Device and method for recovering and reusing a polishing agent | |
| JP3788985B2 (ja) | エッチング液の再生方法、エッチング方法およびエッチング装置 | |
| US4519899A (en) | Purification of oil using a jet pump mixer | |
| JPH07121335B2 (ja) | 排気ガス流中の黄リン等の分離除却方法及び分離除却装置 | |
| DE69507106T2 (de) | Vorrichtung zur Herstellung von Schutzfilmen in Kesselspeisewasserleitungen | |
| CA1094495A (en) | Process for cleaning rolling lubricant | |
| US4518505A (en) | Thermal softening process | |
| EP0362978B1 (en) | Process for treating caustic cyanide metal wastes | |
| DE4326076A1 (de) | Verfahren zum Wiedergewinnen von Rhodium | |
| EP0560505A2 (en) | Wet oxidation of ammonium salt containing liquors | |
| JP4482636B2 (ja) | 焼却灰の洗浄処理方法及び装置 | |
| GB2132180A (en) | Method and apparatus for calcining raw phosphate material | |
| CN108178360A (zh) | 一种废乳化液净化处理方法及应用此方法的废乳化液净化处理装置 | |
| US653741A (en) | Method of purifying water. | |
| US3966508A (en) | Treating waste discharge liquids from metal hardening baths, particularly containing nitrite and nitrate compounds | |
| US7208079B2 (en) | Process for the treatment of waste oils | |
| JP6041433B2 (ja) | 汚染物質処理装置 | |
| JP2002292201A (ja) | 処理水の蒸発濃縮手段を備えた晶析反応装置 | |
| US4765912A (en) | Geothermal brine clarifier process for removing solids from geothermal brine | |
| JPH0739874A (ja) | フォトレジスト含有廃液の濃縮方法 | |
| JPS61143527A (ja) | 金属含有水の処理方法 | |
| JPH02504652A (ja) | 脱脂溶液を浄化する方法及び装置 | |
| US1655175A (en) | Method of deodorizing and filtering oils |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960618 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |