JPH07111355B2 - 静電容量形変位測定装置 - Google Patents
静電容量形変位測定装置Info
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- JPH07111355B2 JPH07111355B2 JP3015831A JP1583191A JPH07111355B2 JP H07111355 B2 JPH07111355 B2 JP H07111355B2 JP 3015831 A JP3015831 A JP 3015831A JP 1583191 A JP1583191 A JP 1583191A JP H07111355 B2 JPH07111355 B2 JP H07111355B2
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- electrode
- measuring device
- electrodes
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、直線的又は角度的な変
位測定を行うための測定装置に係り、特に、小形化して
も変位測定を高精度で行うことができる改良された静電
容量形変位測定装置に関するものである。
位測定を行うための測定装置に係り、特に、小形化して
も変位測定を高精度で行うことができる改良された静電
容量形変位測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】直線的又は角度的な変位測定を行うため
の多くの静電容量形測定装置が開発されている。
の多くの静電容量形測定装置が開発されている。
【0003】この容量型測定装置においては、電極がそ
れぞれ配置された2つの支持部材を相対的に移動させ、
これら2つの支持部材の相対位置を、それぞれの支持部
材に形成された対象とする上記電極によって発生する容
量パターンの変化を関知することによって決定してい
る。
れぞれ配置された2つの支持部材を相対的に移動させ、
これら2つの支持部材の相対位置を、それぞれの支持部
材に形成された対象とする上記電極によって発生する容
量パターンの変化を関知することによって決定してい
る。
【0004】具体的には、一方の電極アレイに複数の周
期的な信号を供給することにより、対向配置された他方
の電極アレイへ伝達されて生じる信号のシフトを測定す
ることによって相対位置を決定するものが知られてい
る。
期的な信号を供給することにより、対向配置された他方
の電極アレイへ伝達されて生じる信号のシフトを測定す
ることによって相対位置を決定するものが知られてい
る。
【0005】このような測定装置は、三次元座標測定シ
ステムや数値制御された仕上機械のような大規模な装置
から、携帯型ノギス、マイクロメータ等のような小規模
な装置まで、広い範囲に亘っている。
ステムや数値制御された仕上機械のような大規模な装置
から、携帯型ノギス、マイクロメータ等のような小規模
な装置まで、広い範囲に亘っている。
【0006】上述した静電容量形変位測定装置の中に
は、相対移動可能な支持部材の一方に送信電極と受信電
極とが並設され、他方にこれら両電極とそれぞれ静電結
合された対向電極が配設され、上記送信電極から出力さ
れた信号を上記対向電極に受信させ、その対応電気信号
を上記受信電極に受信させ、その静電情報を検出するこ
とにより、上記支持部材間の変位を測定するものが知ら
れている。
は、相対移動可能な支持部材の一方に送信電極と受信電
極とが並設され、他方にこれら両電極とそれぞれ静電結
合された対向電極が配設され、上記送信電極から出力さ
れた信号を上記対向電極に受信させ、その対応電気信号
を上記受信電極に受信させ、その静電情報を検出するこ
とにより、上記支持部材間の変位を測定するものが知ら
れている。
【0007】この静電容量形変位測定装置は、希望する
組合せの電極(送信電極と対向電極)間の静電容量が、
両支持部材の相対位置(変位)によって変化すること
を、その測定原理としている。
組合せの電極(送信電極と対向電極)間の静電容量が、
両支持部材の相対位置(変位)によって変化すること
を、その測定原理としている。
【0008】従って、希望する組合せ以外の電極間には
不要な浮游容量が発生することを防止し、該浮游容量が
原因となる測定精度の低下を防止することが重要であ
る。
不要な浮游容量が発生することを防止し、該浮游容量が
原因となる測定精度の低下を防止することが重要であ
る。
【0009】即ち、上記のように一方の同一の支持部材
に、電気信号を入力する送信電極と、対向電極を介して
その入力に応答した静電信号を検出する受信電極とが並
設されている場合は、相対移動する他方の支持部材との
間の変位を正確に測定するために、同一の上記支持部材
における送信電極と受信電極とが静電気的に十分に絶縁
され、これら送信電極と受信電極との間に不要な浮游容
量が生じないようにすることが重要である。
に、電気信号を入力する送信電極と、対向電極を介して
その入力に応答した静電信号を検出する受信電極とが並
設されている場合は、相対移動する他方の支持部材との
間の変位を正確に測定するために、同一の上記支持部材
における送信電極と受信電極とが静電気的に十分に絶縁
され、これら送信電極と受信電極との間に不要な浮游容
量が生じないようにすることが重要である。
【0010】
【発明が解決しようする課題】しかしながら、前述の小
規模な装置等に、上記静電容量形変位測定装置を適用す
る場合には、同一の支持部材に形成する送信電極と受信
電極との間隔が必然的に小さくなるため、これら両電極
間に静電誘導に起因して生じる不要な浮游容量が、測定
誤差の原因となり易い。
規模な装置等に、上記静電容量形変位測定装置を適用す
る場合には、同一の支持部材に形成する送信電極と受信
電極との間隔が必然的に小さくなるため、これら両電極
間に静電誘導に起因して生じる不要な浮游容量が、測定
誤差の原因となり易い。
【0011】静電容量形変位測定装置を小形化すればす
る程、電極間隔が狭くなるために、上記浮游容量の影響
は大きくなる。その結果、小形の静電容量形変位測定装
置では、測定精度を確保できない事態が生じるという問
題がある。
る程、電極間隔が狭くなるために、上記浮游容量の影響
は大きくなる。その結果、小形の静電容量形変位測定装
置では、測定精度を確保できない事態が生じるという問
題がある。
【0012】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、小形化する場合でも、優れた測定精
度を有する静電容量形変位測定装置を提供することを課
題とする。
くなされたもので、小形化する場合でも、優れた測定精
度を有する静電容量形変位測定装置を提供することを課
題とする。
【0013】
【課題を達成するための手段】本発明は、相対移動する
支持部材の一方の表面に、送信電極と受信電極とが並設
されている静電容量形変位測定装置において、送信電極
と受信電極との間に介在する絶縁領域に、これら両電極
間の静電誘導を遮断又は減衰させるための、上記絶縁領
域の支持部材を貫通するスルーホールと、該スルーホー
ルを介して、支持部材の裏面に形成されている裏面接地
電極と電気的に接続されている接地電極とからなる遮蔽
部を配設したことにより、前記課題を達成したものであ
る。
支持部材の一方の表面に、送信電極と受信電極とが並設
されている静電容量形変位測定装置において、送信電極
と受信電極との間に介在する絶縁領域に、これら両電極
間の静電誘導を遮断又は減衰させるための、上記絶縁領
域の支持部材を貫通するスルーホールと、該スルーホー
ルを介して、支持部材の裏面に形成されている裏面接地
電極と電気的に接続されている接地電極とからなる遮蔽
部を配設したことにより、前記課題を達成したものであ
る。
【0014】
【0015】
【作用】まず、具体例を挙げ、静電容量形変位測定装置
の測定原理について説明する。
の測定原理について説明する。
【0016】図4は、静電容量形変位測定装置の一例で
ある、容量形直線測定ノギス10である。
ある、容量形直線測定ノギス10である。
【0017】このようなノギス10については、出願人
の先行出願である米国特許出願07/200368(対
応日本特許出願は特願平1−171378号)及び米国
特許出願07/200580(対応日本特許出願は特願
平1−171379号)(米国出願日は共に1988年
5月31日)に、詳細に説明されている。
の先行出願である米国特許出願07/200368(対
応日本特許出願は特願平1−171378号)及び米国
特許出願07/200580(対応日本特許出願は特願
平1−171379号)(米国出願日は共に1988年
5月31日)に、詳細に説明されている。
【0018】簡単に説明すると、ノギス10は、容量変
換器(TRANSDUCER)12と、電子測定装置
(ELECTRONIC MEASURING APP
ARATUS)100とを含んでいる。
換器(TRANSDUCER)12と、電子測定装置
(ELECTRONIC MEASURING APP
ARATUS)100とを含んでいる。
【0019】該電子測定装置100は、電気的な励起信
号を変換器12に供給するための信号発生器(SIGN
AL GENERATOR)102と、所定の測定位置
を確定するために、変換器12によって発生した出力信
号を処理するための信号処理器(SIGNAL PRO
CESSOR)104とを備えている。
号を変換器12に供給するための信号発生器(SIGN
AL GENERATOR)102と、所定の測定位置
を確定するために、変換器12によって発生した出力信
号を処理するための信号処理器(SIGNAL PRO
CESSOR)104とを備えている。
【0020】変換器12は、直線状の第1支持部材20
と、所定の測定軸Xに沿って部材20に対して縦方向の
軸変位を行うように摺動可能に取付けられた、第2支持
部材30とを備えている。この第2支持部材30は、ピ
ックオフ部材として一般的に知られている。
と、所定の測定軸Xに沿って部材20に対して縦方向の
軸変位を行うように摺動可能に取付けられた、第2支持
部材30とを備えている。この第2支持部材30は、ピ
ックオフ部材として一般的に知られている。
【0021】上記両支持部材20及び30は、それぞ
れ、物体の寸法測定を可能とするのに使われるノギスア
ーム(図示省略)を通常備えている。
れ、物体の寸法測定を可能とするのに使われるノギスア
ーム(図示省略)を通常備えている。
【0022】前記支持部材20及び30は、それぞれ、
平らな表面を有しており、その上に、以下に説明する、
様々な電極配列又は構造210、220及び310、3
20が、それぞれ配置されている。
平らな表面を有しており、その上に、以下に説明する、
様々な電極配列又は構造210、220及び310、3
20が、それぞれ配置されている。
【0023】前記支持部材20と30は、互いに間隔
(例えば、0.05mm)を隔てて平行に対向しており、
第2支持部材30が、第1支持部材20に対して測定軸
に沿って縦方向(X方向)に変位できるように、摺動自
在に支持されている。
(例えば、0.05mm)を隔てて平行に対向しており、
第2支持部材30が、第1支持部材20に対して測定軸
に沿って縦方向(X方向)に変位できるように、摺動自
在に支持されている。
【0024】前記第2支持部材30上には、電極構造3
10と320が、測定軸Xに対して整合して、互いに近
接して配置されている。第1支持部材20上には、同様
に、電極構造210と220が、電気的に接続された状
態で、測定軸に対して整合して互いに近接して配置され
ている。
10と320が、測定軸Xに対して整合して、互いに近
接して配置されている。第1支持部材20上には、同様
に、電極構造210と220が、電気的に接続された状
態で、測定軸に対して整合して互いに近接して配置され
ている。
【0025】前記信号発生器102の励起信号出力は、
電極構造310の各電極312に接続され、信号処理器
104は、変換器12の出力を受信するため電極構造3
20に接続されている。なお、説明の便宜上、電極構造
310(以下、アレイ310とも称する)の電極を第1
送信電極と称し、電極構造210(以下、アレイ210
とも称する)の電極を第1受信電極と称し、電極構造2
20(以下、アレイ220とも称する)の電極を第2送
信電極と称し、電極構造320を第2受信電極と称す
る。
電極構造310の各電極312に接続され、信号処理器
104は、変換器12の出力を受信するため電極構造3
20に接続されている。なお、説明の便宜上、電極構造
310(以下、アレイ310とも称する)の電極を第1
送信電極と称し、電極構造210(以下、アレイ210
とも称する)の電極を第1受信電極と称し、電極構造2
20(以下、アレイ220とも称する)の電極を第2送
信電極と称し、電極構造320を第2受信電極と称す
る。
【0026】図示した例において、第1送信電極310
は、測定軸Xの方向に延びる幅Wt 及び長さTl の矩形
包絡線を形成するように、ピッチPt の所定間隔で互い
に均一の間隔を開けて近接するようにされた、同一形状
の複数の矩形電極として形成されている。
は、測定軸Xの方向に延びる幅Wt 及び長さTl の矩形
包絡線を形成するように、ピッチPt の所定間隔で互い
に均一の間隔を開けて近接するようにされた、同一形状
の複数の矩形電極として形成されている。
【0027】又、図示されているように、近接する電極
312の1以上の所定数(図では8)からなる連続する
シリーズが、それぞれ、対応する一連の異なる励起又は
入力信号に接続されており、電極の各シリーズが、1送
信波長Lt を決定する距離に亘る長さのグループを構成
している。
312の1以上の所定数(図では8)からなる連続する
シリーズが、それぞれ、対応する一連の異なる励起又は
入力信号に接続されており、電極の各シリーズが、1送
信波長Lt を決定する距離に亘る長さのグループを構成
している。
【0028】前記第2受信電極320は、前記第1送信
電極310に近接して平行に配置された、測定軸Xの方
向に延びる幅Wr 及びRl の略細長い形状を有する。
電極310に近接して平行に配置された、測定軸Xの方
向に延びる幅Wr 及びRl の略細長い形状を有する。
【0029】前記第1受信電極アレイ210は、測定軸
Xの方向に、第1支持部材20上に互いに均一の間隔を
開けて近接するようにされた、それぞれが矩形の電極要
素212を複数個備えている。
Xの方向に、第1支持部材20上に互いに均一の間隔を
開けて近接するようにされた、それぞれが矩形の電極要
素212を複数個備えている。
【0030】前記第2送信電極アレイ220も、同様
に、測定軸Xの方向に、互いに間隔を開けて近接するよ
うにされた、それぞれが矩形の電極要素222を複数個
備えている。この第2送信電極アレイ220の個々の電
極要素222は、それぞれ、前記第1受信電極アレイ2
10の対応する個々の電極要素212に電気的に結合さ
れている。
に、測定軸Xの方向に、互いに間隔を開けて近接するよ
うにされた、それぞれが矩形の電極要素222を複数個
備えている。この第2送信電極アレイ220の個々の電
極要素222は、それぞれ、前記第1受信電極アレイ2
10の対応する個々の電極要素212に電気的に結合さ
れている。
【0031】前記第1送信電極312及び第1受信電極
212は、それぞれ、支持部材20及び30上に配置さ
れ、測定軸に沿う第1と第2の支持部材20と30の相
対移動の間、間隔を開けて向い合った関係を維持するよ
うにされている。同様に、検出電極320と第2の送信
電極222も、それぞれ、支持部材30と20上に配置
され、測定軸に沿う支持部材20と30の移動の間、間
隔を開けて向い合った関係を維持するようにされてい
る。
212は、それぞれ、支持部材20及び30上に配置さ
れ、測定軸に沿う第1と第2の支持部材20と30の相
対移動の間、間隔を開けて向い合った関係を維持するよ
うにされている。同様に、検出電極320と第2の送信
電極222も、それぞれ、支持部材30と20上に配置
され、測定軸に沿う支持部材20と30の移動の間、間
隔を開けて向い合った関係を維持するようにされてい
る。
【0032】前記関連出願により詳しく説明したよう
に、周期的に変化する励起信号が、信号発生器102に
よって前記第1送信電極310の各グループに印加され
る。前記第1送信電極312からの信号は、第1受信電
極212に静電容量的に結合され、そして第2送信電極
222に電気的に結合される。
に、周期的に変化する励起信号が、信号発生器102に
よって前記第1送信電極310の各グループに印加され
る。前記第1送信電極312からの信号は、第1受信電
極212に静電容量的に結合され、そして第2送信電極
222に電気的に結合される。
【0033】前記信号は、その後、静電容量性結合によ
って第2受信電極320に伝達され、この受信電極32
0が出力信号を発生すると、この出力信号が信号処理器
104によって検出される。信号処理器104は、その
後、前記第1送信電極312に送信された信号と、前記
検出電極320で受信された信号の間の関係を感知する
ことによって、位置の指示を与える。
って第2受信電極320に伝達され、この受信電極32
0が出力信号を発生すると、この出力信号が信号処理器
104によって検出される。信号処理器104は、その
後、前記第1送信電極312に送信された信号と、前記
検出電極320で受信された信号の間の関係を感知する
ことによって、位置の指示を与える。
【0034】又、他のノギス10の例としては、図5に
示したような、第1送信電極310′を、測定軸方向の
両端部に、それぞれテーパ状部316A及び316Bを
有する形状とした以外は、基本的構成が共通であるもの
が、出願人の先行出願である米国特許出願07/357
699(対応日本出願は特願平2−132434号)に
提案されている。
示したような、第1送信電極310′を、測定軸方向の
両端部に、それぞれテーパ状部316A及び316Bを
有する形状とした以外は、基本的構成が共通であるもの
が、出願人の先行出願である米国特許出願07/357
699(対応日本出願は特願平2−132434号)に
提案されている。
【0035】以上詳述したノギス(静電容量形変位測定
装置)10においては、希望する組合せの電極(第1送
信電極310と第1受信電極210、第2送信電極22
0と第2受信電極320)以外の電極間、即ち第1送信
電極310(310′)と第2受信電極320との間に
静電浮游容量が生じると、測定精度が低下することにな
る。
装置)10においては、希望する組合せの電極(第1送
信電極310と第1受信電極210、第2送信電極22
0と第2受信電極320)以外の電極間、即ち第1送信
電極310(310′)と第2受信電極320との間に
静電浮游容量が生じると、測定精度が低下することにな
る。
【0036】そこで、本発明では、例えば、後に説明す
る第1図のように、送信電極310´´(第1送信電極
に相当する)と受信電極320´´(第2受信電極に相
当する)との間の絶縁領域Zに、接地電極とスルーホー
ルからなる遮閉部を設けることにより、該両電極310
´´と320´´との間の静電誘導を遮断又は減衰させ
るようにした。なお、この場合、対向電極(図示せず)
は前記電極210、220に相当している。
る第1図のように、送信電極310´´(第1送信電極
に相当する)と受信電極320´´(第2受信電極に相
当する)との間の絶縁領域Zに、接地電極とスルーホー
ルからなる遮閉部を設けることにより、該両電極310
´´と320´´との間の静電誘導を遮断又は減衰させ
るようにした。なお、この場合、対向電極(図示せず)
は前記電極210、220に相当している。
【0037】このように、静電気的に相互作用の発生を
避けたい電極310''と320''との間の静電誘導を遮
断又は減衰させることを可能としたため、測定精度を低
下させずに、これら両電極間の間隔を小さくすることが
でき、その結果、優れた測定精度を備えた小形のノギス
10を得ることが可能となった。
避けたい電極310''と320''との間の静電誘導を遮
断又は減衰させることを可能としたため、測定精度を低
下させずに、これら両電極間の間隔を小さくすることが
でき、その結果、優れた測定精度を備えた小形のノギス
10を得ることが可能となった。
【0038】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。
細に説明する。
【0039】図1(A)は、本発明の第1実施例である
静電容量形ノギスの要部を示す部分平面図、図1(B)
は、その一部破断部の斜視図である。
静電容量形ノギスの要部を示す部分平面図、図1(B)
は、その一部破断部の斜視図である。
【0040】本実施例の静電容量形変位測定装置は、第
2支持部材30が図1(A)に示した構成を有している
以外は、基本構成が図4又は図5に示したものと実質的
に共通のものである。
2支持部材30が図1(A)に示した構成を有している
以外は、基本構成が図4又は図5に示したものと実質的
に共通のものである。
【0041】上記第2支持部材30には、前記図4に示
したものと同様の測定方向両端部にテーパ状部316A
及び316Bを有する、電極要素312''からなる送信
電極310''と、該送信電極310''に近接して測定軸
方向に伸びる受信電極320''とが並設されている。こ
の受信電極320''は、相補的な形状の2つの受信電極
(a )、(b )で形成されている。そして、これら両電
極310''と320''との間に位置する絶縁領域Zが支
持部材30を構成する絶縁基板40で形成されている。
したものと同様の測定方向両端部にテーパ状部316A
及び316Bを有する、電極要素312''からなる送信
電極310''と、該送信電極310''に近接して測定軸
方向に伸びる受信電極320''とが並設されている。こ
の受信電極320''は、相補的な形状の2つの受信電極
(a )、(b )で形成されている。そして、これら両電
極310''と320''との間に位置する絶縁領域Zが支
持部材30を構成する絶縁基板40で形成されている。
【0042】本実施例においては、図1(B)に拡大し
て示したように、上記送信電極310''と受信電極32
0''との静電誘導を遮断又は減衰させるための遮蔽部と
して、接地電極42と、該接地電極42の中央部を測定
軸X方向に所定のピッチで形成されたスルーホール44
とを、前記絶縁領域Zに設けてある。
て示したように、上記送信電極310''と受信電極32
0''との静電誘導を遮断又は減衰させるための遮蔽部と
して、接地電極42と、該接地電極42の中央部を測定
軸X方向に所定のピッチで形成されたスルーホール44
とを、前記絶縁領域Zに設けてある。
【0043】上記接地電極42は、基板40の裏面に付
設されている裏面接地電極42Aと、上記スルーホール
44を介して電気的に接続されている。
設されている裏面接地電極42Aと、上記スルーホール
44を介して電気的に接続されている。
【0044】本実施例では、上述の如く、上記絶縁領域
Zに、遮蔽部(接地電極42、スルーホール44)46
を配設したので、前記送信電極310''と前記受信電極
320''との間に不要な浮游容量が発生することを有効
に防止することができる。
Zに、遮蔽部(接地電極42、スルーホール44)46
を配設したので、前記送信電極310''と前記受信電極
320''との間に不要な浮游容量が発生することを有効
に防止することができる。
【0045】従って、本実施例の静電容量形ノギス10
は、送信電極310''と受信電極320''との間の間隔
を小さくした場合でも、優れた測定精度を得ることがで
きるため、測定精度を低下させることなく、静電容量形
ノギス自体を小形化することが可能となる。
は、送信電極310''と受信電極320''との間の間隔
を小さくした場合でも、優れた測定精度を得ることがで
きるため、測定精度を低下させることなく、静電容量形
ノギス自体を小形化することが可能となる。
【0046】図2は、本発明の第2実施例の要部を示す
部分断面図であり、上記図1(B)の破断部を正面から
見た図に相当している。
部分断面図であり、上記図1(B)の破断部を正面から
見た図に相当している。
【0047】本実施例は、送信電極310´´と受信電
極320´´との間に位置する基板(絶縁領域)に断面
がV字形状の電極を、上記図1(A)に示した接地電極
42の延在方向と同一方向に延びる導体からなる遮蔽部
46を配設したものである。この図2に示した遮蔽部4
6は、上記接地電極42の部分に相当し、図示は省略し
てあるが、前記第1実施例と同様にスルーホール44を
介して裏面接地電極42Aと電気的に接続されている。
極320´´との間に位置する基板(絶縁領域)に断面
がV字形状の電極を、上記図1(A)に示した接地電極
42の延在方向と同一方向に延びる導体からなる遮蔽部
46を配設したものである。この図2に示した遮蔽部4
6は、上記接地電極42の部分に相当し、図示は省略し
てあるが、前記第1実施例と同様にスルーホール44を
介して裏面接地電極42Aと電気的に接続されている。
【0048】このようにすることにより、上記両電極3
10''と受信電極320''との間の静電容量を低減でき
るので、前記第1実施例の静電容量形ノギス10と同様
に、小形化しても、優れた測定精度を発揮させることが
できる。
10''と受信電極320''との間の静電容量を低減でき
るので、前記第1実施例の静電容量形ノギス10と同様
に、小形化しても、優れた測定精度を発揮させることが
できる。
【0049】図3は、本発明の第3実施例の要部を示
す、前記図2に相当する部分断面図である。
す、前記図2に相当する部分断面図である。
【0050】本実施例は、遮蔽部46を、前記第2実施
例の場合と逆に凸形とすると共に、その裏側にも該遮蔽
部46と同方向に突出する第2遮蔽部46Aを配設した
構成としたものである。
例の場合と逆に凸形とすると共に、その裏側にも該遮蔽
部46と同方向に突出する第2遮蔽部46Aを配設した
構成としたものである。
【0051】本実施例の場合も、同様に、小形化して
も、優れた測定精度を発揮させることができる。
も、優れた測定精度を発揮させることができる。
【0052】以上、本発明を具体的に説明したが、本発
明は前記実施例に示したものに限られるものでないこと
はいうまでもない。
明は前記実施例に示したものに限られるものでないこと
はいうまでもない。
【0053】例えば、送信電極と受信電極との間の絶縁
領域に配設する遮蔽部は、スルーホールと、これを介し
て裏面接地電極と電気的に接続されている前述した接地
電極、V字形状の導体、凸形状の導体とからなるものに
限らず、上記両電極間の浮游容量の発生を防止したり、
減衰させたりすることができる形状であれば、任意の形
状にすることができる。
領域に配設する遮蔽部は、スルーホールと、これを介し
て裏面接地電極と電気的に接続されている前述した接地
電極、V字形状の導体、凸形状の導体とからなるものに
限らず、上記両電極間の浮游容量の発生を防止したり、
減衰させたりすることができる形状であれば、任意の形
状にすることができる。
【0054】又、送信電極、受信電極の構成、形状等も
必要に応じて任意に変更可能である。
必要に応じて任意に変更可能である。
【0055】又、静電容量形変位測定装置としては、前
記静電容量形ノギスに限られるものでなく、直線又は回
転等の変位を測定する任意の静電容量形変位測定装置で
あってもよい。
記静電容量形ノギスに限られるものでなく、直線又は回
転等の変位を測定する任意の静電容量形変位測定装置で
あってもよい。
【0056】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、静
電容量形変位測定装置を小形化する場合であっても、優
れた測定精度を発揮させることができる。
電容量形変位測定装置を小形化する場合であっても、優
れた測定精度を発揮させることができる。
【図1】図1(A)は、第1実施例の要部を示す部分平
面図、図1(B)は、その一部破断部を拡大した斜視図
である。
面図、図1(B)は、その一部破断部を拡大した斜視図
である。
【図2】図2は、第2実施例の要部を示す部分断面図で
ある。
ある。
【図3】図3は、第3実施例の要部を示す部分断面図で
ある。
ある。
【図4】図4は、静電容量形ノギスの一例を示す部分斜
視図である。
視図である。
【図5】図5は、静電容量形ノギスの他の一例を示す部
分斜視図である。
分斜視図である。
20…第1支持部材、 30…第2支持部材、 40…基板、 42…接地電極、 44…スルーホール、 46…遮蔽部、 310''…送信電極、 320''…受信電極、 Z…絶縁領域。
Claims (1)
- 【請求項1】相対移動する支持部材の一方の表面に、送
信電極と受信電極とが並設されている静電容量形変位測
定装置において、 送信電極と受信電極との間に介在する絶縁領域に、これ
ら両電極間の静電誘導を遮断又は減衰させるための、上
記絶縁領域の支持部材を貫通するスルーホールと、該ス
ルーホールを介して、支持部材の裏面に形成されている
裏面接地電極と電気的に接続されている接地電極とから
なる遮蔽部を配設したことを特徴とする静電容量形変位
測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3015831A JPH07111355B2 (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 静電容量形変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3015831A JPH07111355B2 (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 静電容量形変位測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04242117A JPH04242117A (ja) | 1992-08-28 |
JPH07111355B2 true JPH07111355B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=11899792
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3015831A Expired - Fee Related JPH07111355B2 (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 静電容量形変位測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07111355B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59212710A (ja) * | 1983-05-18 | 1984-12-01 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 静電容量型変位検出器 |
JPS59214713A (ja) * | 1983-05-20 | 1984-12-04 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 静電容量型変位検出器 |
-
1991
- 1991-01-16 JP JP3015831A patent/JPH07111355B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04242117A (ja) | 1992-08-28 |
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