JPH07110366A - 磁気顕微鏡 - Google Patents
磁気顕微鏡Info
- Publication number
- JPH07110366A JPH07110366A JP27909293A JP27909293A JPH07110366A JP H07110366 A JPH07110366 A JP H07110366A JP 27909293 A JP27909293 A JP 27909293A JP 27909293 A JP27909293 A JP 27909293A JP H07110366 A JPH07110366 A JP H07110366A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- squid
- magnetic field
- probe
- microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】環境磁界の影響を遮断して磁気的に安定な領域
を画成する磁気遮蔽容器１と、磁気遮蔽容器１内に載置
した観察対象の近傍に配置されたＳＱＵＩＤ２と、磁気
遮蔽容器１内でＳＱＵＩＤ２を移動させる移動手段３と
を備える。更に、該磁気遮蔽容器内に載置した観察対象
の近傍に位置するプローブコイルと、ＳＱＵＩＤと同じ
磁界環境に配置されたインプットコイルとを備えたプロ
ーブを設けてもよく、この場合は移動手段はプローブを
移動させる。
を画成する磁気遮蔽容器１と、磁気遮蔽容器１内に載置
した観察対象の近傍に配置されたＳＱＵＩＤ２と、磁気
遮蔽容器１内でＳＱＵＩＤ２を移動させる移動手段３と
を備える。更に、該磁気遮蔽容器内に載置した観察対象
の近傍に位置するプローブコイルと、ＳＱＵＩＤと同じ
磁界環境に配置されたインプットコイルとを備えたプロ
ーブを設けてもよく、この場合は移動手段はプローブを
移動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気顕微鏡に関する。
より詳細には、本発明は、物体の形状または磁化状態を
磁気センサを介して微細なレベルで観察することができ
る新規な顕微鏡の構成に関する。
より詳細には、本発明は、物体の形状または磁化状態を
磁気センサを介して微細なレベルで観察することができ
る新規な顕微鏡の構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】光の波長よりも短い分解能で物体の形状
を観察するために種々の顕微鏡が開発され、また使用さ
れている。代表的なものでは、電子線を利用した電子顕
微鏡やトンネル電流を応用したトンネル顕微鏡等がよく
知られている。
を観察するために種々の顕微鏡が開発され、また使用さ
れている。代表的なものでは、電子線を利用した電子顕
微鏡やトンネル電流を応用したトンネル顕微鏡等がよく
知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】電子線を使用する電子
顕微鏡やトンネル電流を利用する走査型トンネル顕微鏡
は、試料表面に導電性が必要なので利用範囲が限られ
る。また、導電性の無い試料に対しては前処理が必要に
なる。一方、原子間力顕微鏡や磁気力顕微鏡等では試料
表面に直接に応力を印加する必要があるので、弾力性あ
るいは変形性を有する試料は観察できない。
顕微鏡やトンネル電流を利用する走査型トンネル顕微鏡
は、試料表面に導電性が必要なので利用範囲が限られ
る。また、導電性の無い試料に対しては前処理が必要に
なる。一方、原子間力顕微鏡や磁気力顕微鏡等では試料
表面に直接に応力を印加する必要があるので、弾力性あ
るいは変形性を有する試料は観察できない。
【０００４】そこで、本発明は、上記従来技術の問題点
を解決し、高い分解能を有し、且つ観察試料に対する制
限のない新規な磁気顕微鏡の構成を提供することをその
目的としている。
を解決し、高い分解能を有し、且つ観察試料に対する制
限のない新規な磁気顕微鏡の構成を提供することをその
目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明に従うと、
環境磁界の影響を遮断して磁気的に安定な領域を画成す
る磁気遮蔽容器と、該磁気遮蔽容器内に載置した観察対
象の近傍に配置されたＳＱＵＩＤと、該磁気遮蔽容器内
で該ＳＱＵＩＤを移動させる移動手段とを備えることを
特徴とする磁気顕微鏡が提供される。
環境磁界の影響を遮断して磁気的に安定な領域を画成す
る磁気遮蔽容器と、該磁気遮蔽容器内に載置した観察対
象の近傍に配置されたＳＱＵＩＤと、該磁気遮蔽容器内
で該ＳＱＵＩＤを移動させる移動手段とを備えることを
特徴とする磁気顕微鏡が提供される。
【０００６】また、本発明の他の態様として、環境磁界
の影響を遮断して磁気的に安定な領域を画成する磁気遮
蔽容器と、該磁気遮蔽容器内に載置した観察対象の近傍
に先端が位置するプローブと、該プローブの先端に装着
されたプローブコイルと、該プローブコイルに接続され
たインプットコイルと、該インプットコイルと共通の磁
界環境に配置されたＳＱＵＩＤとを備えることを特徴と
する磁気顕微鏡が提供される。
の影響を遮断して磁気的に安定な領域を画成する磁気遮
蔽容器と、該磁気遮蔽容器内に載置した観察対象の近傍
に先端が位置するプローブと、該プローブの先端に装着
されたプローブコイルと、該プローブコイルに接続され
たインプットコイルと、該インプットコイルと共通の磁
界環境に配置されたＳＱＵＩＤとを備えることを特徴と
する磁気顕微鏡が提供される。
【０００７】さらに、本発明の好ましい一実施態様に従
うと、上記本発明に係る磁気顕微鏡は、前記磁気遮蔽容
器内に所定の安定した磁界を発生する磁界発生手段を備
えている。
うと、上記本発明に係る磁気顕微鏡は、前記磁気遮蔽容
器内に所定の安定した磁界を発生する磁界発生手段を備
えている。
【０００８】
【作用】本発明に係る磁気顕微鏡は、試料の存在により
生じる磁界の変化をＳＱＵＩＤを用いて検出するように
構成されている点に特徴がある。
生じる磁界の変化をＳＱＵＩＤを用いて検出するように
構成されている点に特徴がある。
【０００９】即ち、既に提案されている各種の非光学顕
微鏡では、観察に先立って試料を加工する必要があった
り、観察中に試料に応力を印加する必要がある等、観察
対象に対する条件が限定されていた。
微鏡では、観察に先立って試料を加工する必要があった
り、観察中に試料に応力を印加する必要がある等、観察
対象に対する条件が限定されていた。
【００１０】これに対して、本発明に係る磁気顕微鏡
は、磁気遮蔽容器により安定化された磁界内に試料を載
置し、試料の磁化率または透磁率により生じた磁界の変
動をＳＱＵＩＤにより検出して観察を行う。従って、磁
性体に対しても非磁性体に対しても観察を行うことがで
きる。また、磁気的に安定してさえいれば、容器内を減
圧したり、試料に応力を印加する必要がないので、試料
の物理的な性状に拠らず観察を行うことができる。
は、磁気遮蔽容器により安定化された磁界内に試料を載
置し、試料の磁化率または透磁率により生じた磁界の変
動をＳＱＵＩＤにより検出して観察を行う。従って、磁
性体に対しても非磁性体に対しても観察を行うことがで
きる。また、磁気的に安定してさえいれば、容器内を減
圧したり、試料に応力を印加する必要がないので、試料
の物理的な性状に拠らず観察を行うことができる。
【００１１】尚、上記のような磁気顕微鏡では、磁界強
度を検出するＳＱＵＩＤにより観察対象を直接に走査す
ることもできるが、その場合、磁気顕微鏡の分解能はＳ
ＱＵＩＤの物理的な寸法等により決定される。しかしな
がら、ＳＱＵＩＤは、それ自体が弱結合を含むループで
あるため、特に弱結合形成のために高度な技術が要求さ
れる。この点、現在の超電導材料に対する微細加工技術
レベルを考慮すると、実際に高い分解能を有する磁気顕
微鏡を実現することは難しい。
度を検出するＳＱＵＩＤにより観察対象を直接に走査す
ることもできるが、その場合、磁気顕微鏡の分解能はＳ
ＱＵＩＤの物理的な寸法等により決定される。しかしな
がら、ＳＱＵＩＤは、それ自体が弱結合を含むループで
あるため、特に弱結合形成のために高度な技術が要求さ
れる。この点、現在の超電導材料に対する微細加工技術
レベルを考慮すると、実際に高い分解能を有する磁気顕
微鏡を実現することは難しい。
【００１２】そこで、本発明の好ましい一態様に従う
と、いわゆる磁束トランスに似た回路を構成する１対の
コイルを備えたプローブを用いることにより、比較的容
易に分解能を向上させることができる。即ち、１対のコ
イルのうちの一方はプローブの先端に配置されており、
他方は別途配置されたＳＱＵＩＤと共通の磁界環境内に
配設される。また、これら１対のコイルは、互いに共通
の電流路により結合されている。
と、いわゆる磁束トランスに似た回路を構成する１対の
コイルを備えたプローブを用いることにより、比較的容
易に分解能を向上させることができる。即ち、１対のコ
イルのうちの一方はプローブの先端に配置されており、
他方は別途配置されたＳＱＵＩＤと共通の磁界環境内に
配設される。また、これら１対のコイルは、互いに共通
の電流路により結合されている。
【００１３】以上のような構成によれば、観察対象近傍
の磁界内でプローブの先端を走査させることによりプロ
ーブコイルに電流が生じ、この電流がＳＱＵＩＤ近傍の
インプットコイルに流れるので、ＳＱＵＩＤ内には、プ
ローブ先端の磁界強度と比例した強度の磁界が発生す
る。ここで、プローブコイルはＳＱＵＩＤそのものより
も設計の自由度が高いので小型化が可能であり、ＳＱＵ
ＩＤで直接に観察対象を走査する場合よりも遙かに高い
分解能を実現することができる。
の磁界内でプローブの先端を走査させることによりプロ
ーブコイルに電流が生じ、この電流がＳＱＵＩＤ近傍の
インプットコイルに流れるので、ＳＱＵＩＤ内には、プ
ローブ先端の磁界強度と比例した強度の磁界が発生す
る。ここで、プローブコイルはＳＱＵＩＤそのものより
も設計の自由度が高いので小型化が可能であり、ＳＱＵ
ＩＤで直接に観察対象を走査する場合よりも遙かに高い
分解能を実現することができる。
【００１４】一方、プローブコイルおよびインプットコ
イルの１対のコイルを備えたプローブの構成は、電流路
を介して検出した磁束をＳＱＵＩＤに伝達するという点
ではいわゆる磁束トランスと共通している。しかしなが
ら、いわゆる磁束トランスが検出すべき磁束を増幅する
ことを目的としているのに対して、本発明に係る磁気顕
微鏡におけるプローブコイルは、検出した磁束を伝播さ
せればよいので必ずしも増幅させる必要はない。
イルの１対のコイルを備えたプローブの構成は、電流路
を介して検出した磁束をＳＱＵＩＤに伝達するという点
ではいわゆる磁束トランスと共通している。しかしなが
ら、いわゆる磁束トランスが検出すべき磁束を増幅する
ことを目的としているのに対して、本発明に係る磁気顕
微鏡におけるプローブコイルは、検出した磁束を伝播さ
せればよいので必ずしも増幅させる必要はない。
【００１５】尚、上記磁気顕微鏡において、ＳＱＵＩＤ
およびプローブを構成する超電導電流路としては、従来
からの金属超電導材料のほか、酸化物超電導材料によっ
て構成することもできる。
およびプローブを構成する超電導電流路としては、従来
からの金属超電導材料のほか、酸化物超電導材料によっ
て構成することもできる。
【００１６】以下、実施例を挙げて本発明をより具体的
に説明するが、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎ
ず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。
に説明するが、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎ
ず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。
【００１７】
【実施例】図１は、本発明に係る磁気顕微鏡の基本的な
構成を模式的に構成を示す図である。
構成を模式的に構成を示す図である。
【００１８】同図に示すように、磁気顕微鏡は、環境磁
界による擾乱を遮断するための磁気遮蔽容器１と、磁気
遮蔽容器１内に所定の安定な磁界を発生させるための磁
界発生手段８と、磁界発生手段８が発生した磁界内に配
置されたＳＱＵＩＤ２と、ＳＱＵＩＤ２を磁気遮蔽容器
１内で精密に移動させることができる駆動装置３と、Ｓ
ＱＵＩＤ２から出力される信号に基づいて駆動装置３を
制御する制御装置４とを備えている。ここで、駆動装置
３は、ＳＱＵＩＤ２を垂直方向にも移動させる垂直駆動
手段３ａと、垂直駆動手段３ａ自体を移動させることに
よりＳＱＵＩＤ２を水平方向に移動させることができる
Ｘ−Ｙステージ３ｂとを組み合わせて構成されており、
ＳＱＵＩＤ２を任意の方向に移動させることができるよ
うに構成されている。尚、実際の磁気顕微鏡は、図中に
示すように、ＳＱＵＩＤ２を包囲し且つ底部が閉塞され
た断熱容器９を備えており、この断熱容器９に収容され
た冷却媒体の中にＳＱＵＩＤ２が浸漬された状態で使用
される。
界による擾乱を遮断するための磁気遮蔽容器１と、磁気
遮蔽容器１内に所定の安定な磁界を発生させるための磁
界発生手段８と、磁界発生手段８が発生した磁界内に配
置されたＳＱＵＩＤ２と、ＳＱＵＩＤ２を磁気遮蔽容器
１内で精密に移動させることができる駆動装置３と、Ｓ
ＱＵＩＤ２から出力される信号に基づいて駆動装置３を
制御する制御装置４とを備えている。ここで、駆動装置
３は、ＳＱＵＩＤ２を垂直方向にも移動させる垂直駆動
手段３ａと、垂直駆動手段３ａ自体を移動させることに
よりＳＱＵＩＤ２を水平方向に移動させることができる
Ｘ−Ｙステージ３ｂとを組み合わせて構成されており、
ＳＱＵＩＤ２を任意の方向に移動させることができるよ
うに構成されている。尚、実際の磁気顕微鏡は、図中に
示すように、ＳＱＵＩＤ２を包囲し且つ底部が閉塞され
た断熱容器９を備えており、この断熱容器９に収容され
た冷却媒体の中にＳＱＵＩＤ２が浸漬された状態で使用
される。
【００１９】以上のように構成された磁気顕微鏡は、以
下のように動作する。まず、磁気遮蔽容器１内に載置し
た観察対象Ｓに対してＳＱＵＩＤ２を接近させ、続いて
駆動装置３によりＳＱＵＩＤ２を水平方向に走査させ
る。このとき、観察対象の近傍の磁界は、観察対象自体
の透磁率または磁化率に応じて特異的になっており、Ｓ
ＱＵＩＤ２を移動させることにより検出される磁界は観
察対象の形状または磁化状態に応じて変化する。
下のように動作する。まず、磁気遮蔽容器１内に載置し
た観察対象Ｓに対してＳＱＵＩＤ２を接近させ、続いて
駆動装置３によりＳＱＵＩＤ２を水平方向に走査させ
る。このとき、観察対象の近傍の磁界は、観察対象自体
の透磁率または磁化率に応じて特異的になっており、Ｓ
ＱＵＩＤ２を移動させることにより検出される磁界は観
察対象の形状または磁化状態に応じて変化する。
【００２０】ここで、観察対象の形状を抽出する方法は
大別して２種類ある。その１つは前述したＳＱＵＩＤ２
により検出している磁界強度が変化しないようにＳＱＵ
ＩＤ２の高さを調節しつつ走査させ、ＳＱＵＩＤ２の移
動の軌跡から観察対象の形状を抽出する方法である。も
う１つの方法は、ＳＱＵＩＤ２を水平に移動させたとき
に検出される磁界強度の変化から観察対象の形状を算出
する方法である。尚、図１に示した磁気顕微鏡において
磁界発生手段８を動作させない、あるいは、磁界発生手
段８を取り除いた仕様でも、観察対象の磁化状態を観察
または測定する装置として使用することができる。
大別して２種類ある。その１つは前述したＳＱＵＩＤ２
により検出している磁界強度が変化しないようにＳＱＵ
ＩＤ２の高さを調節しつつ走査させ、ＳＱＵＩＤ２の移
動の軌跡から観察対象の形状を抽出する方法である。も
う１つの方法は、ＳＱＵＩＤ２を水平に移動させたとき
に検出される磁界強度の変化から観察対象の形状を算出
する方法である。尚、図１に示した磁気顕微鏡において
磁界発生手段８を動作させない、あるいは、磁界発生手
段８を取り除いた仕様でも、観察対象の磁化状態を観察
または測定する装置として使用することができる。
【００２１】図２は、本発明に係る磁気顕微鏡の他の構
成例を示す図である。
成例を示す図である。
【００２２】図２に示すように、この磁気顕微鏡は、磁
気遮蔽容器１と、磁気遮蔽容器１内に配置された磁界発
生手段８、プローブ５、駆動装置３、インプットコイル
６およびＳＱＵＩＤ２と、磁気遮蔽容器１の外部に配置
された制御装置４とを備えている。
気遮蔽容器１と、磁気遮蔽容器１内に配置された磁界発
生手段８、プローブ５、駆動装置３、インプットコイル
６およびＳＱＵＩＤ２と、磁気遮蔽容器１の外部に配置
された制御装置４とを備えている。
【００２３】ここで、プローブ５は、図１に示したもの
と同様な駆動装置３に支持されており、磁気遮蔽容器１
内で、水平な２方向と垂直方向とにそれぞれ任意に移動
できるように構成されている。このとき、プローブ５の
少なくとも先端は、磁界発生手段８により発生した磁界
内に位置するように構成されている。また、駆動装置３
は、制御装置４の制御の下に動作するように構成されて
いる。尚、実際には、更に、図２中に示すように、プロ
ープ５、インプットコイル６およびＳＱＵＩＤ２を包囲
し且つ下部が閉塞された断熱容器９が設けられており、
この断熱容器９内に収容された冷却媒体に浸漬されたプ
ロープ５、インプットコイル６およびＳＱＵＩＤ２が超
電導臨界温度以下に冷却された状態で使用できるように
構成されている。
と同様な駆動装置３に支持されており、磁気遮蔽容器１
内で、水平な２方向と垂直方向とにそれぞれ任意に移動
できるように構成されている。このとき、プローブ５の
少なくとも先端は、磁界発生手段８により発生した磁界
内に位置するように構成されている。また、駆動装置３
は、制御装置４の制御の下に動作するように構成されて
いる。尚、実際には、更に、図２中に示すように、プロ
ープ５、インプットコイル６およびＳＱＵＩＤ２を包囲
し且つ下部が閉塞された断熱容器９が設けられており、
この断熱容器９内に収容された冷却媒体に浸漬されたプ
ロープ５、インプットコイル６およびＳＱＵＩＤ２が超
電導臨界温度以下に冷却された状態で使用できるように
構成されている。
【００２４】図３は、図２に示した磁気顕微鏡で使用し
ているプローブの構成を拡大して示す図である。
ているプローブの構成を拡大して示す図である。
【００２５】同図に示すようにプローブ５の先端にはプ
ローブコイル７が装着されており、このプローブコイル
７はインプットコイル６と接続されている。また、イン
プットコイル６と同じ磁界環境にＳＱＵＩＤ２が搭載さ
れている。尚、ＳＱＵＩＤ２の出力信号は、駆動装置３
を制御するための制御装置４にも入力されるように構成
されている。
ローブコイル７が装着されており、このプローブコイル
７はインプットコイル６と接続されている。また、イン
プットコイル６と同じ磁界環境にＳＱＵＩＤ２が搭載さ
れている。尚、ＳＱＵＩＤ２の出力信号は、駆動装置３
を制御するための制御装置４にも入力されるように構成
されている。
【００２６】尚、図中に示されたプローブコイルおよび
インプットコイルの巻き数は、実際には必要に応じて適
宜設定される。
インプットコイルの巻き数は、実際には必要に応じて適
宜設定される。
【００２７】以上のように構成された磁気顕微鏡は、以
下のように動作する。
下のように動作する。
【００２８】まず、磁気遮蔽容器１の底部に検査対象を
載置した後、プローブ５の先端、即ちプローブコイル７
を検査対象に充分接近させる。続いて、プローブ５の先
端が水平に移動するように駆動装置３を動作させる。こ
のとき、試料の形状または磁化状態により検出する磁界
が変化する。この変化を検出することにより試料の形状
または磁化状態を検出することができる。
載置した後、プローブ５の先端、即ちプローブコイル７
を検査対象に充分接近させる。続いて、プローブ５の先
端が水平に移動するように駆動装置３を動作させる。こ
のとき、試料の形状または磁化状態により検出する磁界
が変化する。この変化を検出することにより試料の形状
または磁化状態を検出することができる。
【００２９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る磁気顕微鏡は、試料の存在により生じた磁界の変動を
ＳＱＵＩＤにより検出するという新規な原理に基づく顕
微鏡であり、精密な観察が可能である一方で観察試料に
対する自由度が大きい。即ち、従来の非光学顕微鏡にお
いては、観察環境を減圧する必要があったり、観察試料
が導体に限られたりあるいは導体化処理が必要である
等、試料に対して種々の制限があったが、本発明に係る
磁気顕微鏡にはこの種の制限はない。
る磁気顕微鏡は、試料の存在により生じた磁界の変動を
ＳＱＵＩＤにより検出するという新規な原理に基づく顕
微鏡であり、精密な観察が可能である一方で観察試料に
対する自由度が大きい。即ち、従来の非光学顕微鏡にお
いては、観察環境を減圧する必要があったり、観察試料
が導体に限られたりあるいは導体化処理が必要である
等、試料に対して種々の制限があったが、本発明に係る
磁気顕微鏡にはこの種の制限はない。
【００３０】また、プローブコイルを備えたプローブで
観察対象を走査するように構成することにより、充分に
高い分解能を得ることができる。また、プローブコイル
を備えた構成では、プローブとＳＱＵＩＤとを別に配置
することができるので、装置の構成の自由度が高くな
る、用途に応じて使用するＳＱＵＩＤを交換できる等の
利点もある。
観察対象を走査するように構成することにより、充分に
高い分解能を得ることができる。また、プローブコイル
を備えた構成では、プローブとＳＱＵＩＤとを別に配置
することができるので、装置の構成の自由度が高くな
る、用途に応じて使用するＳＱＵＩＤを交換できる等の
利点もある。
【図１】磁気顕微鏡の基本的な構成を模式的に示す図で
ある。
ある。
【図２】本発明に係る磁気顕微鏡の他の構成例を示す図
である。
である。
【図３】図２に示した磁気顕微鏡で使用することができ
るプローブの構成を拡大して示す図である。
るプローブの構成を拡大して示す図である。
１・・・磁気遮蔽容器、 ２・・・ＳＱＵＩＤ、３・・
・駆動手段、 ４・・・制御装置、５・・・プロー
ブ、 ６・・・インプットコイル、７・・・プロー
ブコイル ８・・・磁界発生手段、９・・・断熱容器
・駆動手段、 ４・・・制御装置、５・・・プロー
ブ、 ６・・・インプットコイル、７・・・プロー
ブコイル ８・・・磁界発生手段、９・・・断熱容器
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｒ 33/12 8203−2Ｇ
Claims (3)
- 【請求項１】環境磁界の影響を遮断して磁気的に安定な
領域を画成する磁気遮蔽容器と、該磁気遮蔽容器内に載
置した観察対象の近傍に配置されたＳＱＵＩＤと、該磁
気遮蔽容器内で該ＳＱＵＩＤを移動させる移動手段とを
備えることを特徴とする磁気顕微鏡。 - 【請求項２】環境磁界の影響を遮断して磁気的に安定な
領域を画成する磁気遮蔽容器と、該磁気遮蔽容器内に載
置した観察対象の近傍に先端が位置するプローブと、該
プローブの先端に装着されたプローブコイルと、該プロ
ーブコイルに接続されたインプットコイルと、該インプ
ットコイルと共通の磁界環境に配置されたＳＱＵＩＤ
と、該磁気遮蔽容器内で少なくとも該プローブコイルを
移動させる移動手段とを備えることを特徴とする磁気顕
微鏡。 - 【請求項３】請求項１または請求項２に記載された磁気
顕微鏡において、前記磁気遮蔽容器内に、所定の安定し
た磁界を発生する磁界発生手段を備えることを特徴とす
る磁気顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27909293A JPH07110366A (ja) | 1993-10-12 | 1993-10-12 | 磁気顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27909293A JPH07110366A (ja) | 1993-10-12 | 1993-10-12 | 磁気顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07110366A true JPH07110366A (ja) | 1995-04-25 |
Family
ID=17606309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27909293A Withdrawn JPH07110366A (ja) | 1993-10-12 | 1993-10-12 | 磁気顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07110366A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020088588A (ko) * | 2001-05-18 | 2002-11-29 | 엘지전자 주식회사 | 초전도 양자간섭소자 주사현미경 |
| WO2003048797A1 (de) * | 2001-11-27 | 2003-06-12 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Squid-mikroskop für raumtemperaturproben |
| JP2015133397A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-07-23 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | マグネトインピーダンスを用いた磁気センサー素子 |
-
1993
- 1993-10-12 JP JP27909293A patent/JPH07110366A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020088588A (ko) * | 2001-05-18 | 2002-11-29 | 엘지전자 주식회사 | 초전도 양자간섭소자 주사현미경 |
| WO2003048797A1 (de) * | 2001-11-27 | 2003-06-12 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Squid-mikroskop für raumtemperaturproben |
| JP2015133397A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-07-23 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | マグネトインピーダンスを用いた磁気センサー素子 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4343993A (en) | Scanning tunneling microscope | |
| US5537037A (en) | Apparatus with cancel coil assembly for cancelling a field parallel to an axial direction to the plural coils and to a squid pick up coil | |
| KR19990082262A (ko) | 실온의 물체의 물리적 성질들에 대한 현미경적 영상화 장치 | |
| CN111766550A (zh) | 三维磁场探针台测试***及测试方法 | |
| US6817231B2 (en) | Scanning probe microscope for ultra sensitive electro-magnetic field detection and probe thereof | |
| KR950012094A (ko) | 미소부 물성정보 측정장치 | |
| WO2015184761A1 (zh) | 一种超高分辨率的磁共振成像方法及装置 | |
| JPH06324021A (ja) | 非破壊検査装置 | |
| US4977779A (en) | Ultrasonic microscope having a focusing mechanism | |
| CN111766551A (zh) | 一种磁场探针台测试***及测试方法 | |
| JP2004301548A (ja) | 電気特性評価装置 | |
| JP2006093102A (ja) | プローブのアプローチ方法および荷電粒子ビーム装置 | |
| JPH07110366A (ja) | 磁気顕微鏡 | |
| JPH09218213A (ja) | 極微小磁区観察方法と極微小磁区観察装置 | |
| US4644282A (en) | Apparatus for the formation of images of an examination subject with nuclear magnetic resonance | |
| GB1597015A (en) | Magnetic lens system | |
| JP3647818B2 (ja) | 近接場光励起スクイド顕微鏡装置 | |
| RU2169954C1 (ru) | Способ и устройство контроля и исследования поверхности внутри ядерных и термоядерных установок | |
| Tapper et al. | A computer-controlled magnetic post-lens scanning system for the Lund proton microprobe | |
| US5121634A (en) | Ultrasonic microscope | |
| US4966038A (en) | Ultrasonic microscope | |
| JP3106239B2 (ja) | プローブ走査装置 | |
| JPH05209713A (ja) | 走査型トンネル顕微鏡付き走査型電子顕微鏡 | |
| JP3325372B2 (ja) | プローブ顕微鏡装置の探針接近方法 | |
| JPH0765770A (ja) | 冷却通電機能を有する電子顕微鏡装置及びこの装置による超電導電流分布測定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001226 |