JPH07109970B2 - 双音叉型圧電振動子の構造 - Google Patents
双音叉型圧電振動子の構造Info
- Publication number
- JPH07109970B2 JPH07109970B2 JP62185036A JP18503687A JPH07109970B2 JP H07109970 B2 JPH07109970 B2 JP H07109970B2 JP 62185036 A JP62185036 A JP 62185036A JP 18503687 A JP18503687 A JP 18503687A JP H07109970 B2 JPH07109970 B2 JP H07109970B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- tuning fork
- fork type
- piezoelectric vibrator
- type piezoelectric
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は圧力振動子，殊に圧力センサー等に用いられる
双音叉型圧電振動子の構造に関する。
双音叉型圧電振動子の構造に関する。
（従来技術） 電子機器及び計測機器の小型化に伴ない実装される電子
回路部品の小型化要求が高まり圧電デバイス等の全長も
短かくせざるを得なくなっている。しかし，圧力センサ
ー等に用いられる圧電振動子，殊に気圧計又は水位計の
ように微細な圧力変化を検出するセンサーの圧電振動子
に於いては，その全長を短かくするに伴ないそのＱが低
下し，応力感度が低く且つCI値が高くなるという問題が
あり，この問題は圧電振動子のサイズが小さくなるほど
著しいという欠点があった。
回路部品の小型化要求が高まり圧電デバイス等の全長も
短かくせざるを得なくなっている。しかし，圧力センサ
ー等に用いられる圧電振動子，殊に気圧計又は水位計の
ように微細な圧力変化を検出するセンサーの圧電振動子
に於いては，その全長を短かくするに伴ないそのＱが低
下し，応力感度が低く且つCI値が高くなるという問題が
あり，この問題は圧電振動子のサイズが小さくなるほど
著しいという欠点があった。
（発明の目的） 本発明は上記欠点を解決するためになされたものであっ
て，微細なる圧電振動子に於いてもその自由振動を疎外
することなく，応力感度及びCI値を向上させた圧電振動
子の構造を提供せんとするものである。
て，微細なる圧電振動子に於いてもその自由振動を疎外
することなく，応力感度及びCI値を向上させた圧電振動
子の構造を提供せんとするものである。
（発明の概要） 本発明は上記目的を達成するために双音叉型圧電振動子
に於いて，該圧電振動子の保持部と振動子部との間に接
続部を設け，該接続部材の断面積を前記保持部材のそれ
より小さく且つ前記振動子部材のそれより大きくするこ
とによって微細なる圧電振動子に於いてもそのＱを維持
し，応力感度を高めるよう構成する。
に於いて，該圧電振動子の保持部と振動子部との間に接
続部を設け，該接続部材の断面積を前記保持部材のそれ
より小さく且つ前記振動子部材のそれより大きくするこ
とによって微細なる圧電振動子に於いてもそのＱを維持
し，応力感度を高めるよう構成する。
（発明の実施例） 以下図示した実施例に基づき本発明を詳細に説明する。
先づ本発明を説明する前に本発明の理解を助ける為に従
来の圧力センサーに用いられる圧電デバイスの構造につ
いて第２図を用いて簡単に説明する。
来の圧力センサーに用いられる圧電デバイスの構造につ
いて第２図を用いて簡単に説明する。
同図（ａ），（ｂ）は従来一般的な双音叉型圧電振動子
を表わしたもので3,3は保持部であって，夫々保持部の
間にスリット２で分割された振動子部1,1を持つ。上記
振動子の保持部3,3を支持構造体に接着材等により固定
し，該支持構造体を測定物の圧力等により可動させ前記
振動子に対し圧縮或いは引張りの力を加えることによっ
てその共振周波数を変化させ，該共振周波数を検出する
ことにより圧力を測定するものである。
を表わしたもので3,3は保持部であって，夫々保持部の
間にスリット２で分割された振動子部1,1を持つ。上記
振動子の保持部3,3を支持構造体に接着材等により固定
し，該支持構造体を測定物の圧力等により可動させ前記
振動子に対し圧縮或いは引張りの力を加えることによっ
てその共振周波数を変化させ，該共振周波数を検出する
ことにより圧力を測定するものである。
しかし周知の如く，圧電振動子はその振動子部材が振動
する事により作動し，その振動素子の共振周波数決定の
要因は該振動子部の長さ及び振動振巾方向の寸法等によ
り決定され，更に該振動子の両端部に於ける固定状態に
も左右されるものである。即ち該振動子の両端部を固定
することにより該振動子の自由振動を疎外し，機械的Ｑ
を低下させるものである。
する事により作動し，その振動素子の共振周波数決定の
要因は該振動子部の長さ及び振動振巾方向の寸法等によ
り決定され，更に該振動子の両端部に於ける固定状態に
も左右されるものである。即ち該振動子の両端部を固定
することにより該振動子の自由振動を疎外し，機械的Ｑ
を低下させるものである。
上記障害は振動子の小型化につれ顕著に現われ，且つそ
の測定圧力が微細なものとなればなるほどその障害の影
響を受けるものである。
の測定圧力が微細なものとなればなるほどその障害の影
響を受けるものである。
上記障害を緩和するために第２図（ｃ）（ｄ）に示す如
く圧電振動子のスリット端部と保持部端部との長さｌを
長くする方法もとられる。
く圧電振動子のスリット端部と保持部端部との長さｌを
長くする方法もとられる。
しかしながら上記方法は電子回路部品の小型化に反する
ばかりでなく，負荷圧力に対する振動子の破壊強度の低
下をもたらすことになり，更に製造上の問題として強度
等の条件により歩留まりが悪く，生産性の低下を生じる
ものである。
ばかりでなく，負荷圧力に対する振動子の破壊強度の低
下をもたらすことになり，更に製造上の問題として強度
等の条件により歩留まりが悪く，生産性の低下を生じる
ものである。
この問題を解決するために本発明の双音叉型圧電振動子
は例えば第１図に示す如き構成をとる。
は例えば第１図に示す如き構成をとる。
即ち，同図に示す如く振動子部1,1と保持部3,3との間に
接続部4,4を設け，該接続部材4,4の断面積を前記保持部
材3,3のそれより小さく且つ前記振動子部材1,1のそれよ
り大きくすることにより該振動子の自由振動を保持部の
固定によって疎外せず，そのＱを維持し，応力感度が良
く且つ振動もれを少なくするものである。
接続部4,4を設け，該接続部材4,4の断面積を前記保持部
材3,3のそれより小さく且つ前記振動子部材1,1のそれよ
り大きくすることにより該振動子の自由振動を保持部の
固定によって疎外せず，そのＱを維持し，応力感度が良
く且つ振動もれを少なくするものである。
更に上記形状の圧電振動子に於いてその応力感度及びCI
を良くするために，第１図（ｂ）に示したd1及びd2の関
係を d1／d2＝１ とすれば応力感度が最大となり，又l1及びＷの関係を l1/W≧３ とすればCI値が最小，即ち振動もれが最小となる。
を良くするために，第１図（ｂ）に示したd1及びd2の関
係を d1／d2＝１ とすれば応力感度が最大となり，又l1及びＷの関係を l1/W≧３ とすればCI値が最小，即ち振動もれが最小となる。
（発明の効果） 本発明は上述の如く構成し且つ機能するものであるか
ら，電子回路部品の小型化の要求に伴ない小型化する圧
電振動子，殊に圧力センサーに用いられる双音叉型圧電
振動子の応力感度を高め，更にＱを維持する上で著効を
奏するものである。
ら，電子回路部品の小型化の要求に伴ない小型化する圧
電振動子，殊に圧力センサーに用いられる双音叉型圧電
振動子の応力感度を高め，更にＱを維持する上で著効を
奏するものである。
第１図は本発明の一実施例を示す双音叉型圧電振動子斜
視図及び平面図、第２図は従来の双音叉型圧電振動子を
示す斜視図及び平面図である。 １……振動子部、２……スリット、３……保持部、４…
…接続部
視図及び平面図、第２図は従来の双音叉型圧電振動子を
示す斜視図及び平面図である。 １……振動子部、２……スリット、３……保持部、４…
…接続部
Claims (1)
- 【請求項１】板面の中央部に切込みを入れて２分割して
作られた振動素子からなる振動子部と保持部との間に接
続部を設け、該接続部材の断面積を前記保持部材のそれ
より小さく且つ前記振動子部材のそれより大きくした双
音叉型圧電振動子において、前記振動子部の振動素子の
幅をＷ、前記振動子部の切込みの幅を2d2、前記接続部
材の幅と前記振動子部材の幅の差を2d1、前記接続部の
長さをl1としたときに d1／d2＝１ 且つ l1/W≧３ を満たすことを特徴とする双音叉型圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62185036A JPH07109970B2 (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 | 双音叉型圧電振動子の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62185036A JPH07109970B2 (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 | 双音叉型圧電振動子の構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6429110A JPS6429110A (en) | 1989-01-31 |
| JPH07109970B2 true JPH07109970B2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=16163665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62185036A Expired - Lifetime JPH07109970B2 (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 | 双音叉型圧電振動子の構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07109970B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7677105B2 (en) | 2005-09-26 | 2010-03-16 | Epson Toyocom Corporation | Double-ended tuning fork type piezoelectric resonator and pressure sensor |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04131032U (ja) * | 1991-05-27 | 1992-12-01 | 日本航空電子工業株式会社 | 捻れ振動双音叉型振動子 |
| JP5998688B2 (ja) | 2012-07-10 | 2016-09-28 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62141810A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-25 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 双ビ−ム圧電共振子の構造 |
-
1987
- 1987-07-24 JP JP62185036A patent/JPH07109970B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7677105B2 (en) | 2005-09-26 | 2010-03-16 | Epson Toyocom Corporation | Double-ended tuning fork type piezoelectric resonator and pressure sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6429110A (en) | 1989-01-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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