JPH07108451A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPH07108451A JPH07108451A JP25674093A JP25674093A JPH07108451A JP H07108451 A JPH07108451 A JP H07108451A JP 25674093 A JP25674093 A JP 25674093A JP 25674093 A JP25674093 A JP 25674093A JP H07108451 A JPH07108451 A JP H07108451A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- case
- load
- tool
- load detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 研磨作業の自動化と仕上がり精度や品質の向
上が図れる、汎用性の高い研磨装置を提供する。 【構成】 研磨工具1を動力伝達機構を介して回転させ
るための回転数制御が可能なサーボモータ6と、前記研
磨工具の研磨面Aへの押付方向の荷重を検出する荷重検
出器17と、この荷重検出器に対し前記研磨工具,動力
伝達機構及びサーボモータ等から成る研磨ヘッドの自重
による負荷がかからないように当該研磨ヘッドを前記荷
重検出器とは独立して吊り下げる軸受13等から成る吊
下げ機構と、この吊下げ機構を前記押付方向へ前後に移
動させるための送り速度及び位置決めの制御が可能な電
動テーブル11と、この電動テーブルを搭載して当該電
動テーブルを上下,左右及び前後に移動させるためのマ
ニプレータ15とを備え、研磨作業の自動化を図った。
上が図れる、汎用性の高い研磨装置を提供する。 【構成】 研磨工具1を動力伝達機構を介して回転させ
るための回転数制御が可能なサーボモータ6と、前記研
磨工具の研磨面Aへの押付方向の荷重を検出する荷重検
出器17と、この荷重検出器に対し前記研磨工具,動力
伝達機構及びサーボモータ等から成る研磨ヘッドの自重
による負荷がかからないように当該研磨ヘッドを前記荷
重検出器とは独立して吊り下げる軸受13等から成る吊
下げ機構と、この吊下げ機構を前記押付方向へ前後に移
動させるための送り速度及び位置決めの制御が可能な電
動テーブル11と、この電動テーブルを搭載して当該電
動テーブルを上下,左右及び前後に移動させるためのマ
ニプレータ15とを備え、研磨作業の自動化を図った。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、砥石車を用いて研磨作
業を行う自動研磨装置に関する。
業を行う自動研磨装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、大型構造物の研磨作業におい
ては、作業姿勢、砥石車の研磨面への当て方,動かし
方,押付力や押付方向の微妙な調整等熟練作業者のノウ
ハウが有り、自動化が進んでいない。被研磨面が単純な
平面等の研磨作業について、研磨工具をマニプレータや
治具に搭載して行っているにすぎない。
ては、作業姿勢、砥石車の研磨面への当て方,動かし
方,押付力や押付方向の微妙な調整等熟練作業者のノウ
ハウが有り、自動化が進んでいない。被研磨面が単純な
平面等の研磨作業について、研磨工具をマニプレータや
治具に搭載して行っているにすぎない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】そして、研磨工具をマ
ニプレータで支持する従来方式では次のような問題があ
った。 (1) 従来から押付力を検知し、自動的に一定の力に
なるようにモータの押付軸を移動させたり、或いはバネ
力により自動押付力を制御する機構を持った研磨或いは
研削装置も開発されて来ているが、これらは、モータの
振動そのものを、押付力を検知するセンサ又はバネが拾
ってしまうことから、信頼性のある制御が行えなかっ
た。 (2) 砥石車の形状,種類により、研磨面への当て
方,姿勢が変わるため、押付力を検知するセンサ又はバ
ネの位置も変わり、研磨装置が専用化されており、汎用
性が無かった。また、砥石車の研磨面への当て方,姿勢
を任意に変えることができないため、研磨面の状態,精
度を向上させる場合、条件としては押付力,回転数及び
研磨進行速度を制御するしかなく、自ずと限度があっ
た。
ニプレータで支持する従来方式では次のような問題があ
った。 (1) 従来から押付力を検知し、自動的に一定の力に
なるようにモータの押付軸を移動させたり、或いはバネ
力により自動押付力を制御する機構を持った研磨或いは
研削装置も開発されて来ているが、これらは、モータの
振動そのものを、押付力を検知するセンサ又はバネが拾
ってしまうことから、信頼性のある制御が行えなかっ
た。 (2) 砥石車の形状,種類により、研磨面への当て
方,姿勢が変わるため、押付力を検知するセンサ又はバ
ネの位置も変わり、研磨装置が専用化されており、汎用
性が無かった。また、砥石車の研磨面への当て方,姿勢
を任意に変えることができないため、研磨面の状態,精
度を向上させる場合、条件としては押付力,回転数及び
研磨進行速度を制御するしかなく、自ずと限度があっ
た。
【0004】そこで、本発明の目的は、研磨作業の自動
化と仕上がり精度や品質の向上が図れる、汎用性の高い
研磨装置を提供することにある。
化と仕上がり精度や品質の向上が図れる、汎用性の高い
研磨装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の構成は、ケース内に回転数可変モータを内蔵
し工具取付軸を突出させた研磨ヘッドと、ベース板を介
して前記研磨ヘッドを傾動自在に吊下げ支持する電動テ
ーブルと、前記ベース板に位置調整機構を介して垂下支
持され前記研磨ヘッドのケースの背面に接触する荷重検
出器と、前記電動テーブルを把持するマニプレータと、
前記研磨ヘッドの工具取付軸に脱着自在に取着される研
磨工具とを有することを特徴とする。また、前記ベース
板に支持される前記研磨ヘッドの支持部にスライド機構
を介装し、前記ベース板に対する前記研磨ヘッドの重心
位置を可変にすると好適である。
の本発明の構成は、ケース内に回転数可変モータを内蔵
し工具取付軸を突出させた研磨ヘッドと、ベース板を介
して前記研磨ヘッドを傾動自在に吊下げ支持する電動テ
ーブルと、前記ベース板に位置調整機構を介して垂下支
持され前記研磨ヘッドのケースの背面に接触する荷重検
出器と、前記電動テーブルを把持するマニプレータと、
前記研磨ヘッドの工具取付軸に脱着自在に取着される研
磨工具とを有することを特徴とする。また、前記ベース
板に支持される前記研磨ヘッドの支持部にスライド機構
を介装し、前記ベース板に対する前記研磨ヘッドの重心
位置を可変にすると好適である。
【0006】
【作用】前記発明によれば、研磨材の減少による研磨工
具の研磨面との接触面の周速の変化や研磨面の凹凸の負
荷による回転数の変化に対して電動モータを制御して常
に回転数を一定に保つことができると共に、研磨面の凹
凸に対して荷重検出器から得られる押付荷重により電動
テーブルの前後の送り速度及び位置決め制御を行って常
に研磨工具の押付荷重を一定に保つことができる。ま
た、研磨ヘッドを荷重検出器とは独立して吊り下げたの
で、荷重検出器に対して自重による負荷がかからず、真
の研磨力を検出でき、研磨工具の高精度な押付力制御を
行うことができる。一方、前記研磨装置に研磨ヘッドを
スライドさせる機構を設けることにより、通常、即ち研
磨工具を研磨面に対して直角に当てる(回転軸と研磨面
を平行にする)場合は、吊下げ機構部の中心と研磨ヘッ
ドの重心を鉛直線に合わせて姿勢を鉛直にし、研磨工具
を傾ける場合は、吊下げ機構部の中心と重心を任意にず
らすことにより、姿勢を任意の角度に傾斜させられる。
具の研磨面との接触面の周速の変化や研磨面の凹凸の負
荷による回転数の変化に対して電動モータを制御して常
に回転数を一定に保つことができると共に、研磨面の凹
凸に対して荷重検出器から得られる押付荷重により電動
テーブルの前後の送り速度及び位置決め制御を行って常
に研磨工具の押付荷重を一定に保つことができる。ま
た、研磨ヘッドを荷重検出器とは独立して吊り下げたの
で、荷重検出器に対して自重による負荷がかからず、真
の研磨力を検出でき、研磨工具の高精度な押付力制御を
行うことができる。一方、前記研磨装置に研磨ヘッドを
スライドさせる機構を設けることにより、通常、即ち研
磨工具を研磨面に対して直角に当てる(回転軸と研磨面
を平行にする)場合は、吊下げ機構部の中心と研磨ヘッ
ドの重心を鉛直線に合わせて姿勢を鉛直にし、研磨工具
を傾ける場合は、吊下げ機構部の中心と重心を任意にず
らすことにより、姿勢を任意の角度に傾斜させられる。
【0007】
【実施例】以下添付図面に基づいて本発明の一実施例を
説明する。図1は本実施例に係る研磨装置の側面図であ
る。図示のように、研磨布紙又は砥石等の円板状の研磨
工具1は、研磨ヘッドを構成するケース2に軸受3を介
して回転自在に支持された回転軸4の下端に固定されて
いる。回転軸4の上端にはプーリ5が取着され、このプ
ーリ5と前記ケース2に下向きに取り付けられたサーボ
モータ6の出力軸に取着されたプーリ7との間にベルト
8が掛け回されている。
説明する。図1は本実施例に係る研磨装置の側面図であ
る。図示のように、研磨布紙又は砥石等の円板状の研磨
工具1は、研磨ヘッドを構成するケース2に軸受3を介
して回転自在に支持された回転軸4の下端に固定されて
いる。回転軸4の上端にはプーリ5が取着され、このプ
ーリ5と前記ケース2に下向きに取り付けられたサーボ
モータ6の出力軸に取着されたプーリ7との間にベルト
8が掛け回されている。
【0008】ベルト8のテンションはテンションローラ
9の押付しろにより調整され、ケース2の開放部はカバ
ー10で閉じられてケース内に粉塵等が入らないように
なっている。
9の押付しろにより調整され、ケース2の開放部はカバ
ー10で閉じられてケース内に粉塵等が入らないように
なっている。
【0009】ケース2は電動テーブル11のベース板1
2に軸受13を介して吊り下げられ、軸受13でケース
2の自重を受けている。電動テーブル11はブラケット
14を介してマニプレータ15の先端に搭載される。
2に軸受13を介して吊り下げられ、軸受13でケース
2の自重を受けている。電動テーブル11はブラケット
14を介してマニプレータ15の先端に搭載される。
【0010】図示例では、前記ケース2と軸受13との
間にスライド22を設け、ケース2と軸受13の取合位
置を前方に移動することにより、図1に示すように、軸
受13の支点とケース2の重心を鉛直上に合わせてケー
ス2を垂直にした状態から、図2に示すように、ケース
2の重心を後方にずらし、前後方向に傾斜させた状態に
できるようになっている。また、ブラケット14がマニ
プレータ15の軸中心に旋回可能に設けられている。
間にスライド22を設け、ケース2と軸受13の取合位
置を前方に移動することにより、図1に示すように、軸
受13の支点とケース2の重心を鉛直上に合わせてケー
ス2を垂直にした状態から、図2に示すように、ケース
2の重心を後方にずらし、前後方向に傾斜させた状態に
できるようになっている。また、ブラケット14がマニ
プレータ15の軸中心に旋回可能に設けられている。
【0011】前記ケース2とは独立して、ケース2の背
面には、前面に球軸受16を設けた荷重検出器17が配
されている。従って、この荷重検出器17は、ケース2
の自重による負荷が常時かからず又モータ自身の振動も
伝わらないので、電動テーブル11によりケース2を前
方に送り研磨工具1を研磨面Aに押し付けた時の真の押
付荷重のみを検出し得る。
面には、前面に球軸受16を設けた荷重検出器17が配
されている。従って、この荷重検出器17は、ケース2
の自重による負荷が常時かからず又モータ自身の振動も
伝わらないので、電動テーブル11によりケース2を前
方に送り研磨工具1を研磨面Aに押し付けた時の真の押
付荷重のみを検出し得る。
【0012】そして、前記荷重検出器17は、軸受18
を介して手動テーブル19に搭載され、手動テーブル1
9はブラケット20によりベース板12に固定されてケ
ース2と共に前後に移動し得るようになっている。
を介して手動テーブル19に搭載され、手動テーブル1
9はブラケット20によりベース板12に固定されてケ
ース2と共に前後に移動し得るようになっている。
【0013】また、ケース2の背面に荷重検出器17の
球軸受16が全て均一に当たるように、軸受18による
荷重検出器17の傾斜や手動テーブル19による前後の
送りが微妙に調整可能となっている。更に、先端部のフ
ランジ面が球軸受16により自在の角度になる構造のボ
ルト21を荷重検出器17の背面4箇所に当てて固定す
るようにもなっている。
球軸受16が全て均一に当たるように、軸受18による
荷重検出器17の傾斜や手動テーブル19による前後の
送りが微妙に調整可能となっている。更に、先端部のフ
ランジ面が球軸受16により自在の角度になる構造のボ
ルト21を荷重検出器17の背面4箇所に当てて固定す
るようにもなっている。
【0014】このように構成されるため、研磨作業は、
先ず、電動テーブル11をストロークの中央位置に位置
決めし、マニプレータ15により研磨工具1を研磨面A
の直近に移動位置決めする。
先ず、電動テーブル11をストロークの中央位置に位置
決めし、マニプレータ15により研磨工具1を研磨面A
の直近に移動位置決めする。
【0015】次に、サーボモータ6によりベルト8を駆
動し、研磨工具1を回転させる。研磨工具1の回転が所
定の回転数(例えば2000rpm)に到達したら、電
動テーブル11を前進させ、研磨工具1を研磨面Aに押
し当てていき、荷重検出器17により押付荷重をリアル
タイムで検出する。
動し、研磨工具1を回転させる。研磨工具1の回転が所
定の回転数(例えば2000rpm)に到達したら、電
動テーブル11を前進させ、研磨工具1を研磨面Aに押
し当てていき、荷重検出器17により押付荷重をリアル
タイムで検出する。
【0016】そして、押付荷重が所定の荷重(例えば3
0Kgf)に到達したら、電動テーブル11の送りを止
め、ワーク(被研磨材)又は研磨工具1を研磨方向に移
動させて研磨していく。
0Kgf)に到達したら、電動テーブル11の送りを止
め、ワーク(被研磨材)又は研磨工具1を研磨方向に移
動させて研磨していく。
【0017】この際、研磨面Aに凹凸或いはワークが円
筒の場合、位置ずれによる研磨面の前後の偏心がある場
合、研磨工具1の押付荷重が増減するため、常に一定の
押付荷重となるように電動テーブル11を前後に移動
し、位置決め制御する。
筒の場合、位置ずれによる研磨面の前後の偏心がある場
合、研磨工具1の押付荷重が増減するため、常に一定の
押付荷重となるように電動テーブル11を前後に移動
し、位置決め制御する。
【0018】この時、ワーク又は研磨工具1の研磨方向
への送り速度と電動テーブル11の前後の送り速度の関
係は、倣いがスムーズにいくように各々最適な速度とす
る。
への送り速度と電動テーブル11の前後の送り速度の関
係は、倣いがスムーズにいくように各々最適な速度とす
る。
【0019】更に、上記の場合、負荷の変化により研磨
工具1の回転数も変化するため、常に一定の回転数とな
るようにサーボモータ6の回転数を制御する。
工具1の回転数も変化するため、常に一定の回転数とな
るようにサーボモータ6の回転数を制御する。
【0020】また、研磨工具1は時間と共に研磨材が減
少し、外径が小さくなっていき、研磨面Aへの接触面の
周速度も減少していくため、電動テーブル11の初期の
基準位置からの移動しろ(初期の所定の押付荷重に達す
る位置から次に同じ研磨箇所に来たときに所定の押付荷
重に達する位置までの)、即ち研磨工具1の減りしろか
ら外径を求め、更に周速度を求め、常に一定の回転数と
なるようにサーボモータ6の回転数を制御することも可
能である。
少し、外径が小さくなっていき、研磨面Aへの接触面の
周速度も減少していくため、電動テーブル11の初期の
基準位置からの移動しろ(初期の所定の押付荷重に達す
る位置から次に同じ研磨箇所に来たときに所定の押付荷
重に達する位置までの)、即ち研磨工具1の減りしろか
ら外径を求め、更に周速度を求め、常に一定の回転数と
なるようにサーボモータ6の回転数を制御することも可
能である。
【0021】また、本実施例では、スライド22により
ケース2と軸受13の取合位置を移動してケース2の重
心をずらせるようにしたので、研磨面Aに対して研磨工
具1の当てる角度θ1を任意に変えることができる。
ケース2と軸受13の取合位置を移動してケース2の重
心をずらせるようにしたので、研磨面Aに対して研磨工
具1の当てる角度θ1を任意に変えることができる。
【0022】この場合、ケース2の背面と荷重検出器1
7とが角度θ1を持って離れるが、軸受13で荷重検出
器17を角度θ1傾け、ボルト21により突っ張って固
定し、この状態で手動テーブル19により荷重検出器1
7を前方に移動させ、球軸受16をケース2の背面に均
一に接触させればよい。なお、球軸受16は、ケース2
の傾斜角度によりまた、研磨中に反力でケース2が前後
することにより、ケース2の背面に対する荷重検出器1
7の接触位置が上下に変わるため、ケース2と荷重検出
器17の接触面積を小さくしかつ、無理な力がかからな
いようにケース2の背面で摺動しながら荷重検出器17
に押付力を伝達させるために設けられている。
7とが角度θ1を持って離れるが、軸受13で荷重検出
器17を角度θ1傾け、ボルト21により突っ張って固
定し、この状態で手動テーブル19により荷重検出器1
7を前方に移動させ、球軸受16をケース2の背面に均
一に接触させればよい。なお、球軸受16は、ケース2
の傾斜角度によりまた、研磨中に反力でケース2が前後
することにより、ケース2の背面に対する荷重検出器1
7の接触位置が上下に変わるため、ケース2と荷重検出
器17の接触面積を小さくしかつ、無理な力がかからな
いようにケース2の背面で摺動しながら荷重検出器17
に押付力を伝達させるために設けられている。
【0023】更に、本実施例では、ブラケット14がマ
ニプレータ15の軸中心に旋回可能に設けられているの
で、図3に示すように、ケース2を左右方向に傾けるこ
とで、研磨工具1を研磨方向に平行状態から傾斜状態ま
で任意の角度θ2で当てることができる。
ニプレータ15の軸中心に旋回可能に設けられているの
で、図3に示すように、ケース2を左右方向に傾けるこ
とで、研磨工具1を研磨方向に平行状態から傾斜状態ま
で任意の角度θ2で当てることができる。
【0024】このようにして、ケース2を前後及び左右
に傾斜させることで、研磨面Aの仕上がり状態を向上さ
せるための研磨条件範囲が広くなる。
に傾斜させることで、研磨面Aの仕上がり状態を向上さ
せるための研磨条件範囲が広くなる。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、研
磨工具の回転数制御が可能な電動モータと押付荷重のみ
検出できる荷重検出器と常に押付荷重が一定となるよう
に研磨ヘッドを移動位置決めできる電動テーブルとこの
電動テーブルを搭載するマニプレータとを設けたので、
従来、熟練作業者のノウハウにより困難であった研磨作
業の自動化が可能となり、工数削減が図れると共に、常
に均一な研磨面が得られ、仕上がり精度,品質の向上が
図れる。また、研磨ヘッドの重心位置をずらす機構を設
けた場合は、研磨工具を研磨面に対して色々な姿勢で当
てることができるので、前記品質の向上をさらに助長す
ると共に汎用性が高まる。
磨工具の回転数制御が可能な電動モータと押付荷重のみ
検出できる荷重検出器と常に押付荷重が一定となるよう
に研磨ヘッドを移動位置決めできる電動テーブルとこの
電動テーブルを搭載するマニプレータとを設けたので、
従来、熟練作業者のノウハウにより困難であった研磨作
業の自動化が可能となり、工数削減が図れると共に、常
に均一な研磨面が得られ、仕上がり精度,品質の向上が
図れる。また、研磨ヘッドの重心位置をずらす機構を設
けた場合は、研磨工具を研磨面に対して色々な姿勢で当
てることができるので、前記品質の向上をさらに助長す
ると共に汎用性が高まる。
【図1】本発明の一実施例に係る研磨装置の側面図であ
る。
る。
【図2】図1の前後方向の傾斜姿勢側面図である。
【図3】図1の左右方向の傾斜姿勢正面図である。
1 研磨工具 2 ケース 3 軸受 4 回転軸 5,7 プーリ 6 サーボモータ 8 ベルト 11 電動モータ 13 軸受 15 マニプレータ 17 荷重検出器 18 軸受 19 手動テーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 段林 勝治 兵庫県神戸市兵庫区和田崎町一丁目1番1 号 三菱重工業株式会社神戸造船所内 (72)発明者 岡田 孝哉 兵庫県神戸市兵庫区和田崎町一丁目1番1 号 三菱重工業株式会社神戸造船所内
Claims (2)
- 【請求項1】 ケース内に回転数可変モータを内蔵し工
具取付軸を突出させた研磨ヘッドと、ベース板を介して
前記研磨ヘッドを傾動自在に吊下げ支持する電動テーブ
ルと、前記ベース板に位置調整機構を介して垂下支持さ
れ前記研磨ヘッドのケースの背面に接触する荷重検出器
と、前記電動テーブルを把持するマニプレータと、前記
研磨ヘッドの工具取付軸に脱着自在に取着される研磨工
具とを有することを特徴とする研磨装置。 - 【請求項2】 前記ベース板に支持される前記研磨ヘッ
ドの支持部にスライド機構を介装し、前記ベース板に対
する前記研磨ヘッドの重心位置を可変にしたことを特徴
とする請求項1記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25674093A JPH07108451A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25674093A JPH07108451A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07108451A true JPH07108451A (ja) | 1995-04-25 |
Family
ID=17296788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25674093A Pending JPH07108451A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | 研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07108451A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013168425A1 (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-14 | パナソニック 株式会社 | 押付力調整装置及び動力工具 |
JP2014514169A (ja) * | 2011-03-24 | 2014-06-19 | エルヴィン ユンカー マシーネンファブリーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 研削スピンドルユニットがピボット運動可能に取り付けられた研削機械及び研削スピンドルユニットを研削機械上でピボット運動させる方法 |
CN113953932A (zh) * | 2021-10-12 | 2022-01-21 | 恒迈光学精密机械(杭州)有限公司 | 光学元件的研磨抛光装置及加工方法 |
-
1993
- 1993-10-14 JP JP25674093A patent/JPH07108451A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014514169A (ja) * | 2011-03-24 | 2014-06-19 | エルヴィン ユンカー マシーネンファブリーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 研削スピンドルユニットがピボット運動可能に取り付けられた研削機械及び研削スピンドルユニットを研削機械上でピボット運動させる方法 |
WO2013168425A1 (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-14 | パナソニック 株式会社 | 押付力調整装置及び動力工具 |
JP2013237105A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-28 | Panasonic Corp | 押付力調整装置及び動力工具 |
CN113953932A (zh) * | 2021-10-12 | 2022-01-21 | 恒迈光学精密机械(杭州)有限公司 | 光学元件的研磨抛光装置及加工方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040210 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |