JPH07107759A - Vibration wave linear motor - Google Patents
Vibration wave linear motorInfo
- Publication number
- JPH07107759A JPH07107759A JP5248027A JP24802793A JPH07107759A JP H07107759 A JPH07107759 A JP H07107759A JP 5248027 A JP5248027 A JP 5248027A JP 24802793 A JP24802793 A JP 24802793A JP H07107759 A JPH07107759 A JP H07107759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- shaped stator
- vibration wave
- elastic body
- linear motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は振動波モーター、特に進
行波が形成される弾性体をレール状固定子に圧接し、弾
性体をレール状固定子に沿って移動させる方式の振動波
リニアモーターに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration wave motor, and more particularly to a vibration wave linear motor of a type in which an elastic body on which a traveling wave is formed is pressed against a rail-shaped stator and the elastic body is moved along the rail-shaped stator. It is about.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来この種の振動波リニアモーターとし
ては、図５、図６に示すものがある。この振動波リニア
モーターは、長円形状の弾性体１の片面に圧電素子２を
接合し、また圧電素子２とは反対側の駆動面側に櫛歯形
状の突起（不図示）を進行波の進行方向に沿って多数隔
設したものを振動子とし、該突起の先端にはシート状の
耐摩耗材１８がエポキシ系接着剤などにより接合されて
いる。2. Description of the Related Art Conventionally, vibration-wave linear motors of this type are shown in FIGS. In this vibration wave linear motor, a piezoelectric element 2 is bonded to one surface of an elliptic elastic body 1, and a comb-shaped projection (not shown) is formed on a drive surface side opposite to the piezoelectric element 2 to form a traveling wave. A plurality of vibrators are arranged along the traveling direction, and a sheet-shaped wear-resistant material 18 is bonded to the tip of the protrusion by an epoxy adhesive or the like.
【０００３】弾性体１の摺動面側直線部には、図５に示
す様な支持板６がスポット溶接等の接合手段により接合
されており、図中右側に位置する、例えばプリンタ装置
として使用する場合には印字ヘッドを搭載するための載
置台４から該弾性体１に向けて突出する支持部材７の端
部がこの支持板６に取りつけられ、載置台４と振動子と
が一体に組み付けられている。また載置台４と弾性体１
との間には、図６の（ｂ）に示すように支持部材７から
延びる板状の加圧バネ３が設けられている。この加圧バ
ネ３の先端部は、フェルト等の振動絶縁体５及びステン
レス等の加圧板１９を介して弾性体１の片面側に当接
し、加圧バネ３のバネ力により、駆動に供する弾性体１
の直線駆動部を後記するレール状固定子８のフランジ状
に形成されたレール部８ａに押圧している。A supporting plate 6 as shown in FIG. 5 is joined to the linear portion on the sliding surface side of the elastic body 1 by a joining means such as spot welding, and is used on the right side in the figure, for example, as a printer device. In this case, the end of the supporting member 7 projecting from the mounting table 4 for mounting the print head toward the elastic body 1 is attached to the supporting plate 6, and the mounting table 4 and the vibrator are integrally assembled. Has been. Further, the mounting table 4 and the elastic body 1
A plate-shaped pressure spring 3 extending from the support member 7 is provided between the and, as shown in FIG. The tip end of the pressure spring 3 abuts on one surface side of the elastic body 1 via the vibration insulator 5 such as felt and the pressure plate 19 such as stainless steel, and the elastic force of the pressure spring 3 provides elasticity for driving. Body 1
The linear drive part is pressed against a rail part 8a formed in a flange shape of a rail-shaped stator 8 described later.
【０００４】レール状固定子８は、弾性体１の直線駆動
部が接触する為の適度な弾性を有するレール部８ａと、
このレール部８ａと対向し、このレール部８ａよりも剛
性が高くなる様に構成されたガイドレール部８ｂとが形
成されている。The rail-shaped stator 8 has a rail portion 8a having a proper elasticity for contacting the linear drive portion of the elastic body 1,
A guide rail portion 8b is formed facing the rail portion 8a and having a rigidity higher than that of the rail portion 8a.
【０００５】このレール状固定子８の下面には、軸棒１
１を支持する軸棒支持板１３ａ，１３ｂが不図示の位置
決めピン等により正確な位置に取付けられており、軸棒
１１がレール状固定子のガイドレール部８ｂと平行にな
る様にしている。また、軸棒１１はスラスト方向に外れ
ないように不図示の軸棒止め具で軸棒支持板１３ａ，１
３ｂに固定されている。On the lower surface of the rail-shaped stator 8, the shaft rod 1
The shaft rod support plates 13a and 13b for supporting the shaft 1 are mounted at accurate positions by positioning pins or the like (not shown) so that the shaft rod 11 is parallel to the guide rail portion 8b of the rail-shaped stator. Further, the shaft rod 11 is secured by a shaft rod stopper (not shown) so as not to come off in the thrust direction.
It is fixed to 3b.
【０００６】図５に示す様に載置台４からは、移動方向
の前後に、該軸棒１１に向けて折曲片４ａ，４ｂが形成
され、折曲片４ａには樹脂系又は含油メタルなどの丸長
穴形状のすべり軸受１２ａが取付けられ、折曲片４ｂに
は丸穴形状の軸受１２ｂが取り付けられ、これらの軸受
１２ａ，１２ｂに軸棒１１が挿通され、載置台４が予定
移動方向であるＡY 方向に移動自在で、かつＡz 方向に
は軸受１２ａ及び１２ｂによりガタなく拘束されてい
る。As shown in FIG. 5, bent pieces 4a and 4b are formed from the mounting table 4 toward the shaft rod 11 in the front and rear of the moving direction. The bent pieces 4a are made of resin or oil-impregnated metal. The round oblong slide bearing 12a is attached, the bent piece 4b is attached with the round hole bearing 12b, the shaft rod 11 is inserted into these bearings 12a and 12b, and the mounting table 4 is moved in the planned movement direction. Is movable in the A Y direction and is restrained in the A z direction by the bearings 12a and 12b without backlash.
【０００７】一方、載置台４には２本の軸棒１５ａ，１
５ｂが取りつけられており、この先端にはガイドレール
部８ｂの内側面に当接するコロ軸受１４ａ，１４ｂが回
転自在に取り付けられ、バネ３により弾性体１をレール
状固定子８に押圧した反力を載置台４、コロ軸１５を介
してコロ軸受１４ａ，１４ｂが受ける構造になってい
る。On the other hand, the mounting table 4 has two shaft rods 15a, 1
5b is attached, and roller bearings 14a, 14b that abut against the inner surface of the guide rail portion 8b are rotatably attached to the tip of this, and the reaction force that presses the elastic body 1 against the rail-shaped stator 8 by the spring 3 is attached. The roller bearings 14a and 14b are structured so as to receive them via the mounting table 4 and the roller shaft 15.
【０００８】この様に、載置台４には、加圧バネ３によ
り振動子を押圧する反力がＣ方向に付勢されるので、Ａ
x 方向には、コロ軸受１４ａ，１４ｂ及びすべり軸受１
２ｂの３点で自由度を拘束することになる。そのため、
レール状固定子８と軸棒１１との取付精度が悪く両者の
平行度が悪くなったり軸棒１１が曲っていても、丸長穴
形状の軸受１２ａが長穴方向のＡx 方向に自由なため、
転がり軸受とすべり軸受とがせり合って軸受抵抗を増大
させることもなく、スムーズに載置台４がＡY方向に移
動可能となる。As described above, since a reaction force for pressing the vibrator is applied to the mounting table 4 in the C direction by the pressure spring 3, A
In the x direction, the roller bearings 14a and 14b and the slide bearing 1
The degree of freedom is restricted by the three points 2b. for that reason,
Even if the mounting accuracy of the rail-shaped stator 8 and the shaft rod 11 is poor and the parallelism between the two is poor, or the shaft rod 11 is bent, the round oblong hole-shaped bearing 12a can freely move in the A x direction of the oblong hole direction. For,
The rolling table and the sliding bearing do not interfere with each other to increase the bearing resistance, and the mounting table 4 can be smoothly moved in the A Y direction.
【０００９】また、レール状固定子８に取り付けられた
軸棒支持板１３ａ，１３ｂの一部には板バネ（不図示）
によって、適度な張力を与えられたスリット板１７が取
り付けられる。スリット板１７には予定移動方向ＡY に
沿って所定ピッチで予定移動方向ＡY と直交するＡX 方
向に開口部１７ａが形成されている。また底板２１の一
部には、載置台４の方向へ向けて突出する突起２１ａが
設けられている。更に載置台４には、スリット板１７、
突起２１ａを含む位置に位置検出センサー３１と基準位
置検出センサー３０が設けられ、それぞれのセンサーに
は不図示の給電及び信号取り出し用配線が制御回路へ接
続されている。A leaf spring (not shown) is provided on a part of the shaft rod support plates 13a and 13b attached to the rail-shaped stator 8.
The slit plate 17 to which an appropriate tension has been applied is attached by. Opening 17a in the A X direction perpendicular to the planned moving direction A Y at a predetermined pitch along the planned moving direction A Y in the slit plate 17 is formed. Further, a projection 21 a that projects toward the mounting table 4 is provided on a part of the bottom plate 21. Further, on the mounting table 4, a slit plate 17,
A position detection sensor 31 and a reference position detection sensor 30 are provided at positions including the protrusion 21a, and power supply and signal extraction wiring (not shown) is connected to the control circuit for each sensor.
【００１０】次に上記した構成の振動波リニアモーター
の動作を説明する。Next, the operation of the vibration wave linear motor having the above-described structure will be described.
【００１１】不図示の電源から圧電素子２に高周波電界
を印加すると弾性体１に進行性振動波が励振され、弾性
体１とレール状固定子８との摩擦力により弾性体１と載
置台４及び載置台４に取り付けられた部材（３，５，
６，７，１２，１４，１５，１６，１８，１９）はレー
ル状固定子８に設けられたガイドレール部８ｂ及びレー
ル状固定子８に取り付けられた軸棒１１に沿ってＡY 方
向へ移動する。この時コロ軸受１４ａ，１４ｂは弾性体
１の加圧反力によりレール状固定子８のガイドレール部
８ｂに押し付けられ、該ガイドレール部８ｂ上を転がる
ので、載置台４の軸棒１１回りの回転自由度が拘束され
る為、載置台４はＡY 方向以外の移動自由度を拘束され
る事になり、ＡY 方向へスムーズに移動が可能となる。When a high frequency electric field is applied to the piezoelectric element 2 from a power source (not shown), a progressive vibration wave is excited in the elastic body 1, and the elastic body 1 and the mounting table 4 are caused by the frictional force between the elastic body 1 and the rail-shaped stator 8. And members (3, 5, 5 attached to the mounting table 4
6, 7, 12, 14, 15, 15, 16, 18, 19) along the guide rail portion 8b provided on the rail-shaped stator 8 and the shaft rod 11 attached to the rail-shaped stator 8 in the A Y direction. Moving. At this time, the roller bearings 14a and 14b are pressed against the guide rail portion 8b of the rail-shaped stator 8 by the pressure reaction force of the elastic body 1 and roll on the guide rail portion 8b. since rotational freedom is constrained, placing table 4 is made to be bound to freedom of movement than a Y-direction, it is possible to move smoothly to the a Y-direction.
【００１２】この時、図４に示すように、載置台４に設
けられたフォトセンサからなる基準位置検知センサー３
０には底板２１の突起２１ａを通過する際、その形状に
応じた信号が発生し、制御回路３２にて基準位置として
認識される。同様に載置台４に設けられたフォトセンサ
からなる位置検出センサー３１にもスリット板１７の開
口１７ａの形状に応じた信号が発生し制御回路３２に
て、位置検出が行なわれ、位置制御、移動速度制御が行
なわれる。At this time, as shown in FIG. 4, a reference position detecting sensor 3 formed of a photo sensor provided on the mounting table 4 is provided.
When passing through the projection 21a of the bottom plate 21 at 0, a signal corresponding to the shape is generated and recognized by the control circuit 32 as the reference position. Similarly, a signal corresponding to the shape of the opening 17a of the slit plate 17 is also generated in the position detection sensor 31, which is a photo sensor provided on the mounting table 4, and the control circuit 32 performs position detection to perform position control and movement. Speed control is performed.
【００１３】[0013]
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記従来例では、載置台の位置を検出する為にエンコーダ
ーを構成する必要から、スリット板と基準位置検出用の
突起が別途必要であった。However, in the above-mentioned conventional example, the slit plate and the projection for detecting the reference position are separately required because the encoder is required to detect the position of the mounting table.
【００１４】従って上記構成を達成するには、それらの
部品を取り付けるスペースを確保しなければならず、モ
ーターの小型化が難しかった。Therefore, in order to achieve the above structure, it is necessary to secure a space for mounting those parts, and it is difficult to downsize the motor.
【００１５】また、それぞれが別の部品として構成され
る事から、誤差が積み重なり、精度の低下を招き、部品
コスト、組立・調整のコストの上昇につながってしまっ
た。本発明の目的は、位置および速度制御の高精度化を
可能とし、省スペースによる装置の小型化、部品点数の
削減によるコストの低減を図ることができる振動波リニ
アモーターを提供することにある。Further, since each of them is constructed as a separate component, errors are accumulated, resulting in a decrease in accuracy and an increase in component cost and assembly / adjustment cost. An object of the present invention is to provide a vibration wave linear motor that enables highly accurate position and speed control, can reduce the size of the device by saving space, and can reduce the cost by reducing the number of parts.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段および作用】本発明の目的
を実現する構成は特許請求の範囲に記載した通りであ
り、具体的には、載置台の移動を拘束するレール状固定
子のガイドレール部に、長さ方向（予定移動方向）に沿
ってその頂部に等間隔のスリットを形成して構成される
規則パターン部と、該規則パターン部８ｃの下部側に基
準位置を示すための１つの開口孔部からなる不規則パタ
ーン部を形成し、そして、載置台には規則パターン部を
挟むようにして投・受光素子からなる位置検出センサー
を設けると共に、不規則パターン部を挟むようにして投
・受光素子からなる基準位置検出センサーを設け、これ
らセンサーからの信号を駆動制御回路に出力する。The structure for achieving the object of the present invention is as set forth in the claims. Specifically, the guide rail of the rail-shaped stator for restraining the movement of the mounting table. A regular pattern portion formed by forming slits at equal intervals along the length direction (scheduled movement direction), and one for indicating the reference position on the lower side of the regular pattern portion 8c. An irregular pattern part consisting of aperture holes is formed, and the mounting table is provided with a position detection sensor consisting of a light emitting / receiving element so as to sandwich the regular pattern part, and a light emitting / receiving element is sandwiched so as to sandwich the irregular pattern part. The following reference position detection sensors are provided, and signals from these sensors are output to the drive control circuit.
【００１７】[0017]
【実施例】図１に本発明による第１の実施例を示す。FIG. 1 shows a first embodiment according to the present invention.
【００１８】本実施例における振動子は、図５に示す従
来例と同様に、長円形状の弾性体１の片面に圧電素子２
が接合され、また圧電素子２とは反対側の駆動面側には
櫛歯形状の突起（不図示）を進行波の進行方向に沿って
多数隔設しており、その先端にはシート状の耐摩耗材１
８がエポキシ系接着剤などにより接合されている。In the vibrator of this embodiment, as in the conventional example shown in FIG. 5, the piezoelectric element 2 is formed on one surface of the oblong elastic body 1.
Are joined together, and a large number of comb-shaped projections (not shown) are provided along the traveling direction of the traveling wave on the side of the driving surface opposite to the piezoelectric element 2. Wear resistant material 1
8 are joined by an epoxy adhesive or the like.
【００１９】弾性体１の摺動面側直線部には、図１に示
す様な支持板６がスポット溶接等の接合手段により接合
されており、右側に位置する載置台４から左方に出され
た支持部材７の端部がこの支持板６に取りつけられ、載
置台４と振動子とが一体に組み付けられている。また載
置台４と弾性体１との間には、板状の加圧バネ３が図３
（ｂ）の様に取り付けられ、加圧バネ３の先端部と弾性
体１との間に介装したフェルト等の振動絶縁体５及びス
テンレス等の加圧板１９を介して加圧バネ３のバネ力に
より、駆動に供する弾性体１の直線駆動部を後記するレ
ール状固定子８のレール部８ａに押圧している。A support plate 6 as shown in FIG. 1 is joined to the linear portion on the sliding surface side of the elastic body 1 by a joining means such as spot welding, so that it is projected to the left from the mounting table 4 located on the right side. The end portion of the formed support member 7 is attached to the support plate 6, and the mounting table 4 and the vibrator are integrally assembled. A plate-shaped pressure spring 3 is provided between the mounting table 4 and the elastic body 1 as shown in FIG.
The spring of the pressure spring 3 is mounted through the vibration insulator 5 such as felt and the pressure plate 19 such as stainless steel, which is attached between the tip of the pressure spring 3 and the elastic body 1 as shown in FIG. By force, the linear drive portion of the elastic body 1 used for driving is pressed against a rail portion 8a of a rail-shaped stator 8 described later.
【００２０】本実施例のレール状固定子は、弾性体１の
直線部が接触する為、適度な弾性を有するレール部８ａ
と、このレール部８ａと対向し、該レール部８ａよりも
剛性が高くなる様に構成されたガイドレール部８ｂとが
形成されている。In the rail-shaped stator of this embodiment, since the linear portion of the elastic body 1 contacts, the rail portion 8a having a proper elasticity.
And a guide rail portion 8b facing the rail portion 8a and having a rigidity higher than that of the rail portion 8a.
【００２１】このレール状固定子８の下面には、軸棒１
１を支持する軸棒支持板１３ａ，１３ｂが不図示の位置
決めピン等により正確な位置に取付けられており、軸棒
１１がレール状固定子８のガイドレール部８ｂと平行に
なる様にしている。また、軸棒１１はスラスト方向に外
れないように不図示の軸棒止め具で軸棒支持板１３ａ，
１３ｂに固定されている。On the lower surface of the rail-shaped stator 8, the shaft rod 1
Shaft rod support plates 13a and 13b for supporting 1 are mounted at accurate positions by positioning pins or the like (not shown) so that the shaft rod 11 is parallel to the guide rail portion 8b of the rail-shaped stator 8. . Further, the shaft rod 11 is secured by a shaft rod stopper (not shown) so as not to come off in the thrust direction.
It is fixed to 13b.
【００２２】図３に示す様に載置台４からは、図中左方
に２ケ所突出した部材が設けられ、ここに樹脂系又は含
油メタルなどの丸長穴形状のすべり軸受部材１２ａ及び
丸穴形状の軸受１２ｂが取付けられており、載置台４が
ＡY 方向に移動自在で、かつＡz 方向には軸受１２ａ及
び１２ｂによりガタなく拘束されている。As shown in FIG. 3, the mounting table 4 is provided with two members projecting to the left in the figure, and a sliding bearing member 12a and a round hole having a round oblong hole shape such as resin or oil-impregnated metal are provided there. A bearing 12b having a shape is attached, the mounting table 4 is movable in the A Y direction, and is restrained in the A z direction by the bearings 12a and 12b without backlash.
【００２３】一方、載置台４には２本の軸棒１５ａ，１
５ｂが取りつけられており、この先端にはコロ軸受１４
ａ，１４ｂが回転自在に取り付けられ、バネ３により弾
性体１を押圧した反力を載置台４、コロ軸１５を介して
コロ軸受１４が受ける構造になっている。On the other hand, the mounting table 4 has two shaft rods 15a, 1
5b is attached, and a roller bearing 14 is attached to the tip of this.
a and 14b are rotatably attached, and the roller bearing 14 receives the reaction force of pressing the elastic body 1 by the spring 3 via the mounting table 4 and the roller shaft 15.
【００２４】この様に、載置台４には、加圧バネ３によ
り振動子を押圧する反力がＣ方向に付勢されるので、Ａ
x 方向には、コロ軸受１４ａ，１４ｂ及びすべり軸受１
２ｂの３点で自由度を拘束することになる。そのため、
レール状固定子８と軸棒１１との取付精度が悪く、両者
の平行度が悪くなったり軸棒１１が曲っていても、軸受
１２ａがＡx 方向に自由なため、転がり軸受とすべり軸
受とが競り合って軸受抵抗を増大させることなくスムー
ズに載置台４がＡY 方向に移動可能となる。In this way, the mounting table 4 is urged in the direction C by the reaction force for pressing the vibrator by the pressure spring 3, so that A
In the x direction, the roller bearings 14a and 14b and the slide bearing 1
The degree of freedom is restricted by the three points 2b. for that reason,
Even if the mounting accuracy of the rail-shaped stator 8 and the shaft rod 11 is poor and the parallelism between the two is poor or the shaft rod 11 is bent, the bearing 12a is free in the A x direction, so that it can be used as a rolling bearing and a sliding bearing. Can be smoothly moved in the A Y direction without competing with each other to increase the bearing resistance.
【００２５】一方レール状固定子８のガイドレール部８
ｂには、長さ方向（予定移動方向）に沿ってその頂部に
等間隔のスリットを形成して構成される規則パターン部
８ｃと、該規則パターン部８ｃの下部側に基準位置を示
すための１つの開口孔部からなる不規則パターン部８ｄ
が形成されている。そして、載置台４には規則パターン
部８ｃを挟むようにして投・受光素子からなる位置検出
センサー３１が設けられると共に、不規則パターン部８
ｄを挟むようにして投・受光素子からなる基準位置検出
センサー３０が設けられ、これらセンサー３０，３１か
らの信号が図４に示すように制御回路３２に出力され
る。On the other hand, the guide rail portion 8 of the rail-shaped stator 8
In b, a regular pattern portion 8c formed by forming slits at equal intervals along the length direction (scheduled movement direction), and a regular position for indicating a reference position on the lower side of the regular pattern portion 8c. Irregular pattern part 8d consisting of one opening hole
Are formed. The mounting table 4 is provided with a position detection sensor 31 including a light emitting / receiving element so as to sandwich the regular pattern portion 8c, and the irregular pattern portion 8 is provided.
A reference position detection sensor 30 including a light emitting / receiving element is provided so as to sandwich d, and signals from these sensors 30 and 31 are output to a control circuit 32 as shown in FIG.
【００２６】このように構成した位置検出機構は、（不
図示）のメイン電源が投入されると、制御回路３２によ
って載置台４がレール状固定子８の不規則パターン８ｄ
を通過すると、基準位置検出センサー３０からはデジタ
ル信号に変換すると図４に示すように１パルス分のパル
ス信号を出力し、基準位置の認識が行われる。またレー
ル状固定子８の規則パターン部８ｃを位置検出センサー
３１が通過して得られるデジタル変換された信号は図４
に示すように規則パターン部８ｃのスリットに合わせた
等間隔のパルス波形となり、このパルス数をカウントと
することで載置台４の移動速度制御が行われ、また該基
準位置に対しての加減算によって載置台４の位置検出を
行う。In the position detecting mechanism constructed in this manner, when the main power source (not shown) is turned on, the mounting circuit 4 causes the mounting table 4 to have the irregular pattern 8d of the rail-shaped stator 8 by the control circuit 32.
After passing through, the reference position detection sensor 30 outputs a pulse signal for one pulse when converted into a digital signal, and the reference position is recognized. Further, the digitally converted signal obtained by passing the position detection sensor 31 through the regular pattern portion 8c of the rail-shaped stator 8 is shown in FIG.
As shown in FIG. 4, the pulse waveform has an equal interval matched with the slit of the regular pattern portion 8c, and the moving speed of the mounting table 4 is controlled by counting the number of pulses, and addition / subtraction is performed with respect to the reference position. The position of the mounting table 4 is detected.
【００２７】すなわち、位置検出や速度検出等の基準と
なる不規則パターン８ｄと、位置検出や速度検出のため
に用いられる規則パターン８ｃとは同じ部材であるレー
ル状固定子８に一体に形成されているので、部品点数の
削減化、装置の小型化、精度の向上が図れる。That is, the irregular pattern 8d serving as a reference for position detection and speed detection and the regular pattern 8c used for position detection and speed detection are integrally formed on the rail-shaped stator 8 which is the same member. Therefore, it is possible to reduce the number of parts, downsize the device, and improve the accuracy.
【００２８】なお、上記した実施例では、レール状固定
子８のガイドレール部８ｂに櫛歯状のスリットで規則パ
ターン部８ｃを、また開口孔部により不規則パターン部
８ｄを形成しているが、これらの方法に変えて、印刷に
より白黒のパターンを形成し、反射型のフォトカップラ
ー等で検出したり、エッチングにより形成した凹凸をレ
ーザー光の反射等で検出したり、あるいはＮＳに着磁し
たパターンをＭＲ素子等で検出する方法であっても良
く、さらにパターンを形成する場所もレール状固定子の
他の箇所であっても良い。In the above embodiment, the guide rail portion 8b of the rail-shaped stator 8 has the regular pattern portion 8c formed by the comb-like slits and the irregular pattern portion 8d formed by the opening hole. Instead of these methods, a black-and-white pattern is formed by printing, and it is detected by a reflection type photocoupler or the like, unevenness formed by etching is detected by reflection of laser light, or the NS is magnetized. The pattern may be detected by an MR element or the like, and the place where the pattern is formed may be another place of the rail-shaped stator.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、レ
ール状固定子の一部に位置読み取り用パターンを形成し
エンコーダー機能を持たせる事で、従来別体構造となっ
ていたエンコーダフィルム及びその取付部材が不要にな
る。従って、省スペースが計られ、装置の小型化が可能
になるのと同時に製造コストの低減も可能にするもので
ある。As described above, according to the present invention, by forming a position reading pattern on a part of the rail-shaped stator to provide an encoder function, the encoder film and the encoder film, which have conventionally been provided as separate structures, The mounting member becomes unnecessary. Therefore, it is possible to save space, reduce the size of the apparatus, and reduce the manufacturing cost.
【００３０】また上記位置読み取りパターンに規則的パ
ターンだけでなく不規則パターンも設ける事で基準位置
が検出でき、従来別構造であった位置検出手段が不要に
なり小型化、低コスト化が可能となるのと同時に一体構
造の為に精度もアップする。Further, by providing not only a regular pattern but also an irregular pattern in the position reading pattern, the reference position can be detected, and the position detecting means, which has a different structure in the past, is not required, and the size and cost can be reduced. At the same time, the accuracy is improved due to the integrated structure.
【図１】本発明の第１の実施例を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention.
【図２】図１の要部拡大斜視図。FIG. 2 is an enlarged perspective view of a main part of FIG.
【図３】図１の断面図。FIG. 3 is a sectional view of FIG.
【図４】振動波リニアモーターの駆動制御系のブロック
図。FIG. 4 is a block diagram of a drive control system of a vibration wave linear motor.
【図５】従来の振動波リニアモーターの斜視図。FIG. 5 is a perspective view of a conventional vibration wave linear motor.
【図６】図５の断面図。6 is a sectional view of FIG.
１…弾性体 ２…圧電素子 ３…加圧バネ ４…載置台 ５…振動絶縁体 ６…弾性体支持板 ７…支持体 ８…レール状固定
子 １１…軸棒 １２…すべり軸受 １３ａ，１３ｂ…軸棒支持板 １４ａ，１４ｂ…
ころ軸受 １５…コロ軸 １６…コロ軸受抜
け止め １７…スリット板 １８…振動子摩擦
材 ２０…底板 ３０…基準位置セ
ンサー ３１…位置検出センサー ３２…制御回路DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Elastic body 2 ... Piezoelectric element 3 ... Pressing spring 4 ... Mounting table 5 ... Vibration insulator 6 ... Elastic body support plate 7 ... Support body 8 ... Rail-shaped stator 11 ... Shaft rod 12 ... Sliding bearing 13a, 13b ... Shaft rod support plates 14a, 14b ...
Roller bearing 15 ... Roller shaft 16 ... Roller bearing retainer 17 ... Slit plate 18 ... Oscillator friction material 20 ... Bottom plate 30 ... Reference position sensor 31 ... Position detection sensor 32 ... Control circuit
Claims (2)
気−機械エネルギー変換素子を接合し、該電気−機械エ
ネルギー変換素子に駆動用信号を印加することにより該
振動弾性体の駆動面に進行性振動波を形成する振動子
と、該振動子における振動弾性体の駆動面に接触するレ
ール状固定子と、該振動子に取り付けられて該振動子と
共に該レール状固定子に沿って移動する移動体と、該振
動子を該レール状固定子に押圧する加圧手段と、該移動
体を予定の移動方向に沿って案内する案内手段とを有
し、該振動子の駆動によって該移動体を該レール状固定
子に沿った予定移動方向に移動させる振動波リニアモー
ターにおいて、 該レール状固定子の一部にその長さ方向に沿って連続的
パターンからなる位置読取部を形成し、該移動体に該位
置読取部を検出する検出手段を設けたことを特徴とする
振動波リニアモーター。1. An electro-mechanical energy conversion element is joined to a vibration elastic body formed in a loop shape, and a drive signal is applied to the electro-mechanical energy conversion element to advance to the drive surface of the vibration elastic body. Oscillator that forms a sex vibration wave, a rail-shaped stator that comes into contact with the driving surface of a vibrating elastic body of the oscillator, and is attached to the oscillator and moves along with the oscillator along the rail-shaped stator. The moving body includes a moving body, a pressing unit that presses the vibrator against the rail-shaped stator, and a guide unit that guides the moving body in a predetermined moving direction. In a vibration wave linear motor for moving the rail-shaped stator in a predetermined movement direction along the rail-shaped stator, a position reading unit formed of a continuous pattern is formed on a part of the rail-shaped stator along the length direction thereof, Read the position on the moving body Vibration wave linear motor, characterized in that a detecting means for detecting a.
成されるパターンが規則的パターン部と不規則パターン
部であることを特徴とする振動波リニアモーター。2. The vibration wave linear motor according to claim 1, wherein the pattern formed on the rail-shaped stator is a regular pattern portion and an irregular pattern portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5248027A JPH07107759A (en) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | Vibration wave linear motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5248027A JPH07107759A (en) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | Vibration wave linear motor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07107759A true JPH07107759A (en) | 1995-04-21 |
Family
ID=17172119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5248027A Pending JPH07107759A (en) | 1993-10-04 | 1993-10-04 | Vibration wave linear motor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07107759A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102904480A (en) * | 2012-11-05 | 2013-01-30 | 哈尔滨工业大学 | Sandwich type square frame ultrasonic motor vibrator |
-
1993
- 1993-10-04 JP JP5248027A patent/JPH07107759A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102904480A (en) * | 2012-11-05 | 2013-01-30 | 哈尔滨工业大学 | Sandwich type square frame ultrasonic motor vibrator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4786803A (en) | Single channel encoder with specific scale support structure | |
| US7362522B2 (en) | Lens barrel | |
| EP0544409A1 (en) | Codestrip for positioning a carriage in a large format device | |
| EP1233295A1 (en) | Probe light scanning actuator | |
| JP2001121721A (en) | Recording device | |
| US5596241A (en) | Vibration wave driven linear-motor or printer | |
| JPH07107759A (en) | Vibration wave linear motor | |
| JP2004160871A (en) | Recording apparatus | |
| US5574326A (en) | Vibration actuator | |
| EP0351854B1 (en) | Serial recording apparatus | |
| JPS60161160A (en) | Dot line printer | |
| JPH0564467A (en) | Oscillation wave linear motor | |
| JP3155109B2 (en) | Vibration wave driving device and printer device | |
| JPH06276769A (en) | Vibrating-wave linear motor and printer | |
| JPH1080166A (en) | Vibration driving device and apparatus with vibration driving device | |
| JPH0432561Y2 (en) | ||
| JPS6157364A (en) | Carriage driver | |
| JPH06217565A (en) | Oscillatory-wave linear motor and printer | |
| JPH1015890A (en) | Positioning device for slitter and the like | |
| EP0404113A2 (en) | Sheet feeding apparatus | |
| JP2556403B2 (en) | Ultrasonic motor position detection method | |
| JPH0425146B2 (en) | ||
| JP2696432B2 (en) | Step motor with built-in position detector | |
| JPH0577514A (en) | Setting device for home position of printer | |
| JPS60230883A (en) | Carrier driver for printer |