JPH07106268A - 炉心管 - Google Patents
炉心管Info
- Publication number
- JPH07106268A JPH07106268A JP26808593A JP26808593A JPH07106268A JP H07106268 A JPH07106268 A JP H07106268A JP 26808593 A JP26808593 A JP 26808593A JP 26808593 A JP26808593 A JP 26808593A JP H07106268 A JPH07106268 A JP H07106268A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- main body
- impurities
- tube main
- furnace core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】炉心管内における不純物の堆積や不純物の垂れ
流しによる装置内外の汚染のおそれを防止する。 【構成】水平方向に延長するように取り付けられてなる
管状の炉心管本体１１に気化された不純物を供給し、炉
心管本体内に載置された被対象物に不純物を拡散又は堆
積させる際に用いられる炉心管において、炉心管本体の
うち搬出及び搬入用に設けられた開口の底部に受け皿１
２を配設し、再液化した不純物を収集する。この結果、
炉心管本体内における不純物の堆積や不純物の垂れ流し
による装置内外の汚染のおそれを防止する。
流しによる装置内外の汚染のおそれを防止する。 【構成】水平方向に延長するように取り付けられてなる
管状の炉心管本体１１に気化された不純物を供給し、炉
心管本体内に載置された被対象物に不純物を拡散又は堆
積させる際に用いられる炉心管において、炉心管本体の
うち搬出及び搬入用に設けられた開口の底部に受け皿１
２を配設し、再液化した不純物を収集する。この結果、
炉心管本体内における不純物の堆積や不純物の垂れ流し
による装置内外の汚染のおそれを防止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は炉心管に関し、例えば不
純物拡散炉に使用する炉心管に適用して好適なものであ
る。
純物拡散炉に使用する炉心管に適用して好適なものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】集積回路装置の製造工程では、ウエハ処
理工程の１つとして不純物をウエハ中に熱拡散させるド
ーピング工程が設けられている。従来、図３に示すよう
に不純物拡散炉１においては、石英ガラスからなる炉心
管本体２、炉内を加熱するためのヒータ源３及び炭化ケ
イ素からなるライナーチユーブ４で構成されている。
理工程の１つとして不純物をウエハ中に熱拡散させるド
ーピング工程が設けられている。従来、図３に示すよう
に不純物拡散炉１においては、石英ガラスからなる炉心
管本体２、炉内を加熱するためのヒータ源３及び炭化ケ
イ素からなるライナーチユーブ４で構成されている。
【０００３】炉心管本体２の一端には、不純物を管内に
導入するための導入口５が設けられている。この導入口
５は、炉心管本体２内で拡散させるための液体不純物の
POCl3（オキシ塩化リン）を不活性ガスにてバブリング
し気化させることにより得られる不純物ガスを炉心管本
体２内に導入するためのものである。また炉心管本体２
の他端には、ウエハの搬入及び搬出のための開口部６が
設けられている。
導入するための導入口５が設けられている。この導入口
５は、炉心管本体２内で拡散させるための液体不純物の
POCl3（オキシ塩化リン）を不活性ガスにてバブリング
し気化させることにより得られる不純物ガスを炉心管本
体２内に導入するためのものである。また炉心管本体２
の他端には、ウエハの搬入及び搬出のための開口部６が
設けられている。
【０００４】また炉心管本体２のうち開口部６付近に
は、管内に導入された不純物ガスを排気するための排気
口７が設けられている。この不純物ガスは有害であり人
体に悪影響を与えるため、拡散後、排気口７より排気さ
れ無害な状態に処理された後に排出される。
は、管内に導入された不純物ガスを排気するための排気
口７が設けられている。この不純物ガスは有害であり人
体に悪影響を与えるため、拡散後、排気口７より排気さ
れ無害な状態に処理された後に排出される。
【０００５】炉心管本体２の周囲には、ヒータ源３から
発生する熱を炉心管本体２内に均一に伝え、また金属か
らなるヒータ源３の汚染を防止するためのライナーチユ
ーブ４が配設されている。
発生する熱を炉心管本体２内に均一に伝え、また金属か
らなるヒータ源３の汚染を防止するためのライナーチユ
ーブ４が配設されている。
【０００６】導入口５より炉心管本体２内に取り入れら
れる不純物ガスは、ヒータ源３にて発生する熱により加
熱され、炉心管本体２内に沿つて並べられた状態で挿入
されているウエハ上に拡散される。このとき炉心管本体
２内は 950〜1000度位になつている。
れる不純物ガスは、ヒータ源３にて発生する熱により加
熱され、炉心管本体２内に沿つて並べられた状態で挿入
されているウエハ上に拡散される。このとき炉心管本体
２内は 950〜1000度位になつている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが炉心管本体の
開口部の温度はウエハの搬出及び搬入により低下するた
め、不純物ガスの一部が開口部にて液化し開口部付近に
堆積したり、固形化するという問題があつた。
開口部の温度はウエハの搬出及び搬入により低下するた
め、不純物ガスの一部が開口部にて液化し開口部付近に
堆積したり、固形化するという問題があつた。
【０００８】また排気口付近にはヒータ源が配設されて
おらず、ヒータ源の配設されている位置に比べて低温で
あるため、この付近でも不純物ガスの一部が液化し炉心
管から排出されずに堆積するという問題がある。加えて
搬出及び搬入の際、この開口部に溜まつた液体不純物が
床に垂れて装置周辺を汚染するといつた問題がある。
おらず、ヒータ源の配設されている位置に比べて低温で
あるため、この付近でも不純物ガスの一部が液化し炉心
管から排出されずに堆積するという問題がある。加えて
搬出及び搬入の際、この開口部に溜まつた液体不純物が
床に垂れて装置周辺を汚染するといつた問題がある。
【０００９】また液体不純物が炉心管内に残留するた
め、炉心管内に挿入されているウエハ表面における抵抗
値のばらつきや、堆積した不純物がはがれることにより
半導体製品の特性を変えてしまうおそれがある。
め、炉心管内に挿入されているウエハ表面における抵抗
値のばらつきや、堆積した不純物がはがれることにより
半導体製品の特性を変えてしまうおそれがある。
【００１０】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、炉心管内における不純物の堆積や不純物の垂れ流し
による装置内外の汚染のおそれを防止することができる
炉心管を提案しようとするものである。
で、炉心管内における不純物の堆積や不純物の垂れ流し
による装置内外の汚染のおそれを防止することができる
炉心管を提案しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、水平方向に延長するように取り付
けられてなる管状の炉心管本体１１に気化された不純物
を供給し、炉心管本体１１内に載置された被対象物に不
純物を拡散又は堆積させる際に用いられる炉心管１０に
おいて、炉心管本体１１のうち搬出及び搬入用に設けら
れた開口６の底部に再液化した不純物を収集するための
受け皿１２を備えるようにする。
め本発明においては、水平方向に延長するように取り付
けられてなる管状の炉心管本体１１に気化された不純物
を供給し、炉心管本体１１内に載置された被対象物に不
純物を拡散又は堆積させる際に用いられる炉心管１０に
おいて、炉心管本体１１のうち搬出及び搬入用に設けら
れた開口６の底部に再液化した不純物を収集するための
受け皿１２を備えるようにする。
【００１２】
【作用】水平方向に延長するように取り付けられてなる
管状の炉心管本体１１に気化された不純物を供給し、炉
心管本体１１内に載置された被対象物に不純物を拡散又
は堆積させる際に用いられる炉心管１０において、炉心
管本体１１のうち搬出及び搬入用に設けられた開口６の
底部に受け皿１２を配設し、再液化した不純物を収集す
ることにより炉心管本体１１内における不純物の堆積や
不純物の垂れ流しによる装置内外の汚染のおそれを防止
することができる。
管状の炉心管本体１１に気化された不純物を供給し、炉
心管本体１１内に載置された被対象物に不純物を拡散又
は堆積させる際に用いられる炉心管１０において、炉心
管本体１１のうち搬出及び搬入用に設けられた開口６の
底部に受け皿１２を配設し、再液化した不純物を収集す
ることにより炉心管本体１１内における不純物の堆積や
不純物の垂れ流しによる装置内外の汚染のおそれを防止
することができる。
【００１３】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１４】図３との対応部分に同一符号を付して示す
図１において、１０は全体として炉心管を示し、炉心管
本体１１に設けられた開口部６付近の底部に受け皿１２
を有することを除いて同様の構成を有している。この炉
心管本体１１には、開口部６付近の下方部に液化した不
純物 POCl3を収集するための受け皿１２が設けられてい
る。この液体不純物を受け皿１２まで流すための凹形状
の溝１３を炉心管本体１１の底部に沿つて受け皿１２か
ら導入口５に向けて設ける。また受け皿１２の底部に
は、集められた液体不純物を排出するための排液口１４
を設けている。
図１において、１０は全体として炉心管を示し、炉心管
本体１１に設けられた開口部６付近の底部に受け皿１２
を有することを除いて同様の構成を有している。この炉
心管本体１１には、開口部６付近の下方部に液化した不
純物 POCl3を収集するための受け皿１２が設けられてい
る。この液体不純物を受け皿１２まで流すための凹形状
の溝１３を炉心管本体１１の底部に沿つて受け皿１２か
ら導入口５に向けて設ける。また受け皿１２の底部に
は、集められた液体不純物を排出するための排液口１４
を設けている。
【００１５】この例の場合、例えば炉心管本体１１は長
さａが２．４〔ｍ〕、開口部６の外径ｂが18.5〔cm〕で
なる。炉心管本体１１に設けられた受け皿１２は長さｃ
を12〜13〔cm〕、幅ｄを４〜５〔cm〕、深さｅを 1.5
〔cm〕とし、受け皿１２の端から溝１３の端までの長さ
ｆを１〔ｍ〕とする。
さａが２．４〔ｍ〕、開口部６の外径ｂが18.5〔cm〕で
なる。炉心管本体１１に設けられた受け皿１２は長さｃ
を12〜13〔cm〕、幅ｄを４〜５〔cm〕、深さｅを 1.5
〔cm〕とし、受け皿１２の端から溝１３の端までの長さ
ｆを１〔ｍ〕とする。
【００１６】以上の構成において、ヒータ源（図示せ
ず）でウエハがセツトされている炉心管本体１１の内部
を加熱する。この際炉心管本体１１内には導入口５から
導入された不純物ガス POCl3があるためヒータ源による
加熱によつてウエハ中に熱拡散する。また熱拡散後の不
純物ガスは排気口７より排出される。
ず）でウエハがセツトされている炉心管本体１１の内部
を加熱する。この際炉心管本体１１内には導入口５から
導入された不純物ガス POCl3があるためヒータ源による
加熱によつてウエハ中に熱拡散する。また熱拡散後の不
純物ガスは排気口７より排出される。
【００１７】拡散後、処理が終了したウエハを搬出し、
続いて新たなウエハを搬入する際、開口部６付近の温度
が低下し不純物ガスが液化する。この液体不純物は炉心
管本体１１内に付着し、炉心管本体１１の下方に集まり
溝１３をつたつて受け皿１２へと集まり、受け皿１２に
設けられている排液口１４より排出される。
続いて新たなウエハを搬入する際、開口部６付近の温度
が低下し不純物ガスが液化する。この液体不純物は炉心
管本体１１内に付着し、炉心管本体１１の下方に集まり
溝１３をつたつて受け皿１２へと集まり、受け皿１２に
設けられている排液口１４より排出される。
【００１８】以上の構成によれば、炉心管本体１１の開
口部６付近に受け皿１２及び溝１３を設けることにより
液体不純物 POCl3は受け皿１２に集められ排出される。
このため炉心管本体１１に不純物が大量に残留すること
がなくなり、これら不純物が炉心管本体１１内壁に付着
や堆積することはない。これにより、炉心管本体１１内
に挿入されているウエハ表面における抵抗値を均一にで
き、また装置内外の洗浄回数を減少することができる。
口部６付近に受け皿１２及び溝１３を設けることにより
液体不純物 POCl3は受け皿１２に集められ排出される。
このため炉心管本体１１に不純物が大量に残留すること
がなくなり、これら不純物が炉心管本体１１内壁に付着
や堆積することはない。これにより、炉心管本体１１内
に挿入されているウエハ表面における抵抗値を均一にで
き、また装置内外の洗浄回数を減少することができる。
【００１９】なお上述の実施例において、液体の不純物
を溝１３に伝つて受け皿１２へと収集させるものについ
て述べたが、本発明はこれに限らず、溝１３を設ける代
わりに、図２に示すように、開口部６が低くなるように
炉心管本体１１に２〜３°の傾斜をつけても同様の効果
を得ることができる。
を溝１３に伝つて受け皿１２へと収集させるものについ
て述べたが、本発明はこれに限らず、溝１３を設ける代
わりに、図２に示すように、開口部６が低くなるように
炉心管本体１１に２〜３°の傾斜をつけても同様の効果
を得ることができる。
【００２０】また上述の実施例において、液体の不純物
を溝１３に伝つて受け皿１２へと収集させるものについ
て述べたが、本発明はこれに限らず、溝１３及び受け皿
１２を設ることに加えて炉心管本体１１全体に２〜３°
の傾斜をつけても同様の効果を得ることができる。
を溝１３に伝つて受け皿１２へと収集させるものについ
て述べたが、本発明はこれに限らず、溝１３及び受け皿
１２を設ることに加えて炉心管本体１１全体に２〜３°
の傾斜をつけても同様の効果を得ることができる。
【００２１】また上述の実施例において、拡散源として
不純物 POCl3を用いてＮ型半導体を作成する時について
述べたが、本発明はこれに限らず、拡散源としてＢ（ホ
ウ素）等のガスを用いてＰ型半導体を作成するときにも
良い。
不純物 POCl3を用いてＮ型半導体を作成する時について
述べたが、本発明はこれに限らず、拡散源としてＢ（ホ
ウ素）等のガスを用いてＰ型半導体を作成するときにも
良い。
【００２２】さらに上述の実施例において、不純物拡散
炉について述べたが、本発明はこれに限らず、横型減圧
ＣＶＤ装置等水平方向に延長する炉心管を有する装置に
も適用し得る。
炉について述べたが、本発明はこれに限らず、横型減圧
ＣＶＤ装置等水平方向に延長する炉心管を有する装置に
も適用し得る。
【００２３】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、炉心管本
体に再液化した不純物を収集するための受け皿を設ける
ことにより、炉心管内壁への不純物の堆積や不純物の垂
れ流しによる装置内外の汚染のおそれを低減することが
できる炉心管を容易に実現することができる。
体に再液化した不純物を収集するための受け皿を設ける
ことにより、炉心管内壁への不純物の堆積や不純物の垂
れ流しによる装置内外の汚染のおそれを低減することが
できる炉心管を容易に実現することができる。
【図１】本発明の一実施例による炉心管の構造を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】その他の不純物拡散炉を示す斜視図である。
【図３】従来の不純物拡散炉を示す斜視図である。
１……不純物拡散炉、２、１１……炉心管本体、３……
ヒータ源、４……ライナーチユーブ、５……導入口、６
……開口部、７……排気口、１０……炉心管、１２……
受け皿、１３……溝、１４……排液口。
ヒータ源、４……ライナーチユーブ、５……導入口、６
……開口部、７……排気口、１０……炉心管、１２……
受け皿、１３……溝、１４……排液口。
Claims (4)
- 【請求項１】水平方向に延長するように取り付けられて
なる管状の炉心管本体に気化された不純物を供給し、上
記炉心管本体内に載置された被対象物に不純物を拡散又
は堆積させる際に用いられる炉心管において、 上記炉心管本体のうち搬出及び搬入用に設けられた開口
の底部に再液化した不純物を収集するための受け皿を具
えることを特徴とする炉心管。 - 【請求項２】上記炉心管本体の底部に沿つて上記受け皿
から上記開口と反対方向に伸びる溝を具えることを特徴
とする請求項１に記載の炉心管。 - 【請求項３】上記炉心管本体を上記開口側が反対側に比
して低くなるように傾斜をつけ配設することを特徴とす
る請求項１又は請求項２に記載の炉心管。 - 【請求項４】上記受け皿の底部に収集された液体を排出
する排出部を具えることを特徴とする請求項１、請求項
２又は請求項３に記載の炉心管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26808593A JPH07106268A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 炉心管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26808593A JPH07106268A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 炉心管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07106268A true JPH07106268A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=17453681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26808593A Pending JPH07106268A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 炉心管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07106268A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009253179A (ja) * | 2008-04-10 | 2009-10-29 | Koyo Thermo System Kk | 横型炉装置 |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP26808593A patent/JPH07106268A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009253179A (ja) * | 2008-04-10 | 2009-10-29 | Koyo Thermo System Kk | 横型炉装置 |
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