JPH07104500B2 - Speckle erasing optics - Google Patents
Speckle erasing opticsInfo
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- JPH07104500B2 JPH07104500B2 JP61218496A JP21849686A JPH07104500B2 JP H07104500 B2 JPH07104500 B2 JP H07104500B2 JP 61218496 A JP61218496 A JP 61218496A JP 21849686 A JP21849686 A JP 21849686A JP H07104500 B2 JPH07104500 B2 JP H07104500B2
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、レーザの如き可干渉性の光を使用して露光ま
たはアライメントを行う露光装置において、光の干渉に
よる悪影響、特にスペックルによる悪影響を除去する光
学装置の改良に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Field of Application) The present invention is directed to an exposure apparatus that performs exposure or alignment using coherent light such as a laser, and has a negative effect due to light interference. In particular, it relates to an improvement in an optical device that eliminates the adverse effects of speckle.
（従来の技術） 従来、マスク上のパターンをウエハ上に転写するための
半導体露光装置においては、マスクとウエハとの精密な
アライメントのためにレーザ光束が多く用いられてい
る。また、近年、超LSI等の微細パターンをウエハ上に
転写するための露光用光源に波長が短くしかも高輝度の
レーザ光の使用が提案されている。しかしながら、この
レーザ光は強い干渉性を有するため、マスク面やウエハ
面で光の干渉に帰因するスペックルが発生し、微細パタ
ーン像の形勢に悪影響を及ぼす恐れが有する。(Prior Art) Conventionally, in a semiconductor exposure apparatus for transferring a pattern on a mask onto a wafer, a laser beam is often used for precise alignment between the mask and the wafer. Further, in recent years, it has been proposed to use a laser beam having a short wavelength and high brightness as an exposure light source for transferring a fine pattern such as a VLSI to a wafer. However, since this laser light has a strong coherence, speckles due to the light interference are generated on the mask surface and the wafer surface, which may adversely affect the shape of the fine pattern image.
このレーザ光の干渉による悪影響を減少させるためち、
第４図に示すように、レーザ光源１からのレーザ光束を
ビームエキスパンダ２にて拡大した後、長さのそれぞれ
異なる単位ファイバー束を多数束ねたオプチカルファイ
バー束３に入射させ、各単位ファイバー束にて分岐され
た異なる光路長のファイバー内を通過したレーザ光束を
集光レンズ４にて重ね合せる光学装置が、例えば特開昭
60−247643号公報によって開示され、既に公知である。To reduce the adverse effects of this laser light interference,
As shown in FIG. 4, after the laser light flux from the laser light source 1 is expanded by the beam expander 2, it is incident on the optical fiber bundle 3 in which a plurality of unit fiber bundles having different lengths are bundled, and each unit fiber bundle is An optical device that superimposes laser light fluxes, which have passed through fibers having different optical path lengths branched by a condenser lens 4, by a condenser lens 4 is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No.
It is disclosed by JP 60-247643 A and is already known.
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、レーザ光の干渉の影響を減ずるための上
記公知技術においては、各ファイバー内を通過する光束
間に可干渉距離以上の光路差を持たせる必要があるた
め、可干渉の距離が長い波長に対しては、それだけ長く
しかも互いに長さの異るファイバー束を何束も用いなけ
ればならない。そのため、そのオプチカルファイバー束
は構成が複雑でしかも長いファイバー束を必要とし、高
価なものとなる欠点が有った。(Problems to be Solved by the Invention) However, in the above-described known technique for reducing the influence of interference of laser light, it is necessary to provide an optical path difference of a coherence length or more between light beams passing through each fiber. Therefore, for a wavelength with a long coherence length, it is necessary to use many fiber bundles that are longer and have different lengths. Therefore, the optical fiber bundle has a drawback that it has a complicated structure and requires a long fiber bundle, which makes it expensive.
本発明は、従来装置の上記問題点を解決し、安価でしか
も従来装置と同等またはそれ以上に干渉による悪影響を
除去できる効果を有するスペックル消去光学装置を提供
することを目的とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a speckle erasing optical device which solves the above problems of the conventional device and is inexpensive and has the effect of removing the adverse effect of interference to the same level as or higher than that of the conventional device. .
（問題点を解決する為の手段） 上記の目的を達成するために本発明においては、レーザ
光源からのレーザ光束の光路上にハーフミラーを斜設す
ると共に、そのハーフミラーによって分割されたレーザ
光束の反射光と透過光のうち、いずれか一方の光束をそ
のハーフミラーに繰り返して入射させて他方の光束に対
して可干渉距離以上の光路差を持たせる光転向手段を設
け、分割された双方の光束を前記のハーフミラーに重ね
合わせるように構成することを技術的要点とするもので
ある。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, in the present invention, a half mirror is obliquely provided on the optical path of a laser beam from a laser light source, and a laser beam divided by the half mirror is provided. Of the reflected light and the transmitted light, the light-turning means for repeatedly entering one of the light fluxes into the half mirror and providing the other light flux with an optical path difference equal to or greater than the coherence distance is provided, and both light splitting means are provided. The technical point is that the luminous flux of (1) is superposed on the half mirror.
（作用） レーザ光源から出た光はレーザ光特有の強い干渉性を有
し、例えば光学系の透過面の不規則な凹凸や外周の荒摺
り面等を透過または反射した光が互いに重なり合うと、
光の干渉によって投射面に明暗模様のスペックルが生じ
る。また、その重なり合う２光束の光路差が、レーザ光
束の可干渉距離より大きければ、干渉することの無いイ
ンコヒーレント光となる。従って、レーザ光源（１）か
らのコヒーレント光をハーフミラー（11）にて反射光と
透過光とに２分し、分割された一方の光束を、オプチカ
ルファイバー（15）、反射ミラー（21、22、23）あるい
はプリズム（32、33）等の光転向手段を介しそのハーフ
ミラー（11）に繰り返し入射させると、分割された一方
の光束と他方の光束との光路差が可干渉距離より大きく
なり、その光路差が可干渉距離より大きい２光束を、ハ
ーフミラー（11）によって重ね合わせると、その２光束
はインコヒーレント光となって投射面（13）に向う。そ
のため、投射面（13）でのレーザ光の干渉によるスペッ
クルは消去される。また、光転向手段を介してハーフミ
ラー（11）に入射される一方の光束のうち、光路差が可
干渉距離に達しない光束も、ハーフミラー（11）を介し
て投射面に向い、他方の光束と重なり合う。この場合、
スペックルが生じるが、種々光路差の異なる光波によっ
て生じる多数のスペックルが重なり合うため、ほぼ一様
光分布となる。従ってスペックルの明暗の差が減少する
し、実質的に影響するスペックルは殆んど消滅する。(Function) Light emitted from the laser light source has strong coherence peculiar to laser light, and for example, when light transmitted or reflected through irregular unevenness of the transmission surface of the optical system or roughened surface of the outer periphery overlaps each other,
Light interference causes speckles on the projection surface. Further, if the optical path difference between the two overlapping light beams is larger than the coherence length of the laser light beam, incoherent light that does not interfere is obtained. Therefore, the coherent light from the laser light source (1) is divided into a reflected light and a transmitted light by the half mirror (11), and one of the divided light beams is divided into an optical fiber (15) and a reflection mirror (21, 22). , 23) or prisms (32, 33) and so on, it is repeatedly incident on the half mirror (11), the optical path difference between one of the divided light beams and the other light beam becomes larger than the coherence length. When two light fluxes whose optical path difference is larger than the coherence length are superposed by the half mirror (11), the two light fluxes become incoherent light and are directed to the projection surface (13). Therefore, speckles due to the interference of the laser light on the projection surface (13) are erased. Further, of the one light flux entering the half mirror (11) through the light turning means, the light flux whose optical path difference does not reach the coherence distance is also directed to the projection surface through the half mirror (11), and the other light flux. It overlaps the luminous flux. in this case,
Although speckles are generated, a large number of speckles generated by light waves with different optical path differences overlap each other, resulting in a substantially uniform light distribution. Therefore, the difference in light and shade of speckles is reduced, and the speckles that have a substantial effect are almost eliminated.
（実施例） 次に、本発明の実施例を添付の図面に基づいて詳しく説
明する。(Example) Next, the Example of this invention is described in detail based on an accompanying drawing.
第１図は本発明の第１の実施例を示す光学装置の概略構
成図で、レーザ光源10から出力されたレーザ光はハーフ
ミラー11にて２分され、一方のレーザ光は反射してビー
ムエキスパンダのようなビーム整形光学系12に入射した
後、投光面13に投射される。一方、ハーフミラー11を透
過したレーザ光は集光レンズ14によって集光されてオプ
チカルファイバー束15の一方の入射端面15Aに入射し、
他方の射出端面15Bから射出され、集光レンズ16にて再
び平行なレーザ光束となってハーフミラー11に入射す
る。集光レンズ16を介してハーフミラー11に入射された
レーザ光束の一部はハーフミラー11を透過してビーム整
形光学系12に入射するが、残りのレーザ光束はハーフミ
ラー11にて反射されて、再び集光レンズ14、オプチカル
ファイバー束15、集光レンズ16を介してハーフミラー11
に入射し、このハーフミラー11により、レーザ光束の反
射および透過がそれぞれ繰り返して行われる。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optical device showing a first embodiment of the present invention. Laser light output from a laser light source 10 is divided into two by a half mirror 11, and one laser light is reflected and beamed. After entering a beam shaping optical system 12 such as an expander, it is projected on a light projecting surface 13. On the other hand, the laser light transmitted through the half mirror 11 is condensed by the condenser lens 14 and is incident on one incident end surface 15A of the optical fiber bundle 15,
The light is emitted from the other emission end surface 15B and again becomes a parallel laser light flux at the condenser lens 16 and enters the half mirror 11. Part of the laser light flux that has entered the half mirror 11 via the condenser lens 16 passes through the half mirror 11 and enters the beam shaping optical system 12, but the remaining laser light flux is reflected by the half mirror 11. , Again through the condenser lens 14, the optical fiber bundle 15, and the condenser lens 16, the half mirror 11
The laser beam is repeatedly reflected and transmitted by the half mirror 11.
このハーフミラー11からオプチカルファイバー束15を経
由して再びハーフミラー11によって反射されるまでの光
路長は、スペースの節約のためレーザ光の可干渉距離よ
り短く構成されている。この場合、オプチカルファイバ
ー束15を構成する単位ファイバー束の長さは、特にラン
ダムに形成する必要は無く、一定の長さのものを複数集
めて束ねたものでもよい。The optical path length from the half mirror 11 through the optical fiber bundle 15 to the reflection by the half mirror 11 again is shorter than the coherence length of the laser light in order to save space. In this case, the length of the unit fiber bundle that constitutes the optical fiber bundle 15 does not need to be randomly formed, and a plurality of bundles having a fixed length may be collected and bundled.
ハーフミラー11を透過してオプチカルファイバー束15に
入射するレーザ光束は、ハーフミラー11にて繰返して反
射される。その際、一部のレーザ光はハーフミラー11を
透過し、レーザ光源10から発してハーフミラー11にて反
射されたレーザ光と重り合う。この場合、オプチカルフ
ァイバー束15を介して繰り返してハーフミラー11に入射
した光は、通過する光路長が長くなり、その光路差がレ
ーザ光の可干渉距離より大きくなると、その光は互いに
干渉せず、スペックルは生じない。また、その光路長が
レーザ光の可干渉距離に達しないでハーフミラー11を透
過した光は、レーザ光源10からのレーザ光と干渉し、ス
ペックルを生じさせる恐れが有る。しかし、このスペッ
クルは、光路差すなわち干渉する光波の位相が種々異な
ることになるため、極めて多数のスペックルが重なり合
うことになり、スペックルはさらに微細化されて一様に
分布することになる。従って、各スペックルの明暗の差
か減少し、実質的に悪影響を及ぼすスペックルは殆ど消
滅する。The laser light flux that passes through the half mirror 11 and enters the optical fiber bundle 15 is repeatedly reflected by the half mirror 11. At that time, a part of the laser light passes through the half mirror 11, overlaps with the laser light emitted from the laser light source 10 and reflected by the half mirror 11. In this case, the light repeatedly incident on the half mirror 11 via the optical fiber bundle 15 has a long optical path length to pass, and when the optical path difference becomes larger than the coherence length of the laser light, the lights do not interfere with each other. , Speckle does not occur. Further, the light that has passed through the half mirror 11 without its optical path length reaching the coherence length of the laser light may interfere with the laser light from the laser light source 10 to cause speckle. However, in this speckle, since the optical path difference, that is, the phase of the interfering light waves are different from each other, an extremely large number of speckles are overlapped, and the speckles are further miniaturized and uniformly distributed. . Therefore, the difference between the lightness and darkness of each speckle is reduced, and the speckles that have a substantial adverse effect are almost eliminated.
第２図は第１図におけるオプチカルファイバー束15の代
りに反射ミラーを用いた本発明の第２実施例を示す光学
系配置図である。第１図の実施例と同一の機能を有する
部分には同一の符号を付し、その構成についての詳しい
説明は省略する。FIG. 2 is an optical system layout diagram showing a second embodiment of the present invention in which a reflecting mirror is used instead of the optical fiber bundle 15 in FIG. The parts having the same functions as those of the embodiment of FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and detailed description of the structure thereof will be omitted.
第２図において、レーザ光源10からのレーザ光束は、ハ
ーフミラー11により一部は反射されて、ビーム整形光学
系12にて拡大され、投光面13に達する。一方、ハーフミ
ラー11を透過したレーザ光束は、反射ミラー21、22、23
にて順次反射転向されてハーフミラー11に戻り、一部は
透過し、残りは反射して、反射ミラー21へ向い、第１図
の実施例と同様にハーフミラー11において繰り返して反
射され、また、その都度一部のレーザ光は透過してビー
ム整形光学系12に向う。この場合にも、ハーフミラー1
1、反射ミラー21、22、23による反射の繰り返しによっ
て得られる光路長がレーザ光源10から発するレーザ光の
可干渉距離を超えると、ハーフミラー11を透過したレー
ザ光とレーザ光源10からのレーザ光とは、もはや干渉し
なくなり、両者はインコヒーレント光となる。従って両
レーザ光がハーフミラー11によって互いに重ね合わされ
ても、スペックルが生じることが無い。すなわち、３枚
の反射ミラー21、22、23により、第１図のオプチカルフ
ァイバー束15と同様の機能を有する光転向手段が構成さ
れる。また、この第２図の実施例においては、製作の容
易な反射ミラー21、22、23のみが用いられるので構成が
簡単で安価なものとなる。In FIG. 2, the laser light flux from the laser light source 10 is partially reflected by the half mirror 11, expanded by the beam shaping optical system 12, and reaches the light projecting surface 13. On the other hand, the laser light flux transmitted through the half mirror 11 is reflected by the reflection mirrors 21, 22, 23.
At that time, the light is sequentially reflected and turned back to the half mirror 11, a part of the light is transmitted, the rest is reflected, and the light is reflected to the reflection mirror 21, and is repeatedly reflected by the half mirror 11 as in the embodiment of FIG. , A part of the laser light is transmitted to the beam shaping optical system 12 each time. Also in this case, half mirror 1
1, when the optical path length obtained by repeating reflection by the reflection mirrors 21, 22, 23 exceeds the coherence length of the laser light emitted from the laser light source 10, the laser light transmitted through the half mirror 11 and the laser light from the laser light source 10 And will no longer interfere, and both will become incoherent light. Therefore, even if the two laser beams are superposed on each other by the half mirror 11, speckle does not occur. That is, the three reflecting mirrors 21, 22, and 23 constitute a light diverting unit having the same function as that of the optical fiber bundle 15 of FIG. Further, in the embodiment of FIG. 2, since only the reflecting mirrors 21, 22, 23 which are easy to manufacture are used, the structure is simple and the cost is low.
なお、ハーフミラー11で光束が繰返して反射、透過され
ると、反射ミラー21〜23によって転向される光束には、
一方の偏光成分（Ｓ偏光成分）のみが残る恐れが有る。
この偏向を転換するために第２図の実施例においては、
反射ミラー21〜23によって転向される光路中に、破線に
て示す如く位相板24が設けられている。これにより、そ
の偏光は転換され、ハーフミラー11によって分割される
透過光と反射光とをほぼ一定の比率に保つことが可能で
ある。When the light flux is repeatedly reflected and transmitted by the half mirror 11, the light flux deflected by the reflection mirrors 21 to 23 is
Only one polarized component (S polarized component) may remain.
In order to reverse this deflection, in the embodiment of FIG. 2,
A phase plate 24 is provided in the optical path deflected by the reflecting mirrors 21 to 23 as shown by a broken line. As a result, the polarized light is converted, and the transmitted light and the reflected light split by the half mirror 11 can be maintained at a substantially constant ratio.
第３図は、第２図の実施例におけるハーフミラーで最初
に反射された光を、一対の直角プリズムにて転向させて
光路長を伸ばすように構成した本発明の第３実施例を示
す光学系配置図である。なお第２図の実施例と同一機能
を有する部分には同一の符号を付し、それについての詳
しい構成の説明は省略する。FIG. 3 shows an optical system according to a third embodiment of the present invention in which the light first reflected by the half mirror in the embodiment of FIG. 2 is turned by a pair of right-angle prisms to extend the optical path length. FIG. The parts having the same functions as those in the embodiment of FIG. 2 are designated by the same reference numerals, and the detailed description of the structure will be omitted.
第３図において、レーザ光源10から発したレーザ光束
は、反射ミラー34にて反射転向された後、ハーフミラー
31に入射する。このハーフミラー31に入射したレーザ光
束のうちの一部は、ハーフミラー31を透過してビーム整
形光学系12に向い、残りのレーザ光束は、ハーフミラー
31にて反射転向され、そのハーフミラー31を挟んで対向
する２個の直角プリズム32、33で全反射し、ハーフミラ
ー31に繰り返して入射する。その際、ハーフミラー31に
おいて、反射ミラー34によって反射されたレーザ光源10
からの光と重ね合わされる。この場合にも、前記の第１
図および第２図の実施例と同様に、プリズム32、33内を
繰り返して反射し、光路長がレーザ光の可干渉距離を超
えたものはインコヒーレント光となってハーフミラー31
を介してビーム整形光学系に向う。また、可干渉距離を
超えないでハーフミラー31によって重ね合わされて、ビ
ーム整形光学系12に向うレーザ光は、コヒーレント光で
あるが、生じるスペックルは極めて微細なコントラスト
の弱いものとなり、実質的に悪影響を及ぼすようなスペ
ックルは殆んど消滅する。In FIG. 3, the laser light flux emitted from the laser light source 10 is reflected and diverted by the reflection mirror 34, and then the half mirror.
Incident on 31. A part of the laser light flux incident on the half mirror 31 passes through the half mirror 31 and is directed to the beam shaping optical system 12, and the remaining laser light flux is a half mirror.
The light is reflected and diverted by 31 and is totally reflected by two right-angle prisms 32 and 33 which face each other with the half mirror 31 interposed therebetween, and is repeatedly incident on the half mirror 31. At that time, in the half mirror 31, the laser light source 10 reflected by the reflection mirror 34
Superposed with the light from. Also in this case, the first
Similar to the embodiment shown in FIGS. 2 and 2, if the optical path length exceeds the coherence length of the laser light and is repeatedly reflected in the prisms 32 and 33, the half mirror 31 becomes incoherent light.
To the beam shaping optics via. Further, the laser light that is superposed by the half mirror 31 without exceeding the coherence distance and is directed to the beam shaping optical system 12 is coherent light, but the speckle that occurs is extremely fine and has a weak contrast, and is substantially Almost all speckles that have an adverse effect disappear.
なお、この第３実施例においても、対向する直角プリズ
ム32と33の間の光路上に位相板24を設けることによっ
て、重ね合わされるレーザ光の位相を互いにわずかずつ
ズラすことができ、これにより、ハーフミラー11にて繰
り返して光束が分割されることによる偏光が転換され
る。In the third embodiment as well, by providing the phase plate 24 on the optical path between the right-angled prisms 32 and 33 facing each other, the phases of the laser beams to be superimposed can be slightly shifted from each other. The polarized light is converted by repeatedly splitting the light beam by the half mirror 11.
上記実施例のハーフミラー11やプリズム32、33等の光線
透過面には増透処理を施し、光の損失を少なくすること
が望ましい。またハーフミラー11の反射、透過率を適当
に設立することにより光量がほぼ等しい光を重ね合わせ
ることができる。It is desirable to reduce the light loss by subjecting the light-transmitting surfaces such as the half mirror 11 and the prisms 32 and 33 in the above-mentioned embodiment to a light-transmitting treatment. Further, by appropriately setting the reflection and transmittance of the half mirror 11, it is possible to superimpose lights having almost the same light amount.
なお、一対のプリズム32、33は、オプチカルファイバー
束15、複数の反射ミラー21〜23と同様に、ハーフミラー
11にて２分された光束のうちの一方を繰り返してそのハ
ーフミラーに入射させる光転向手段を構成する。The pair of prisms 32 and 33 are half mirrors like the optical fiber bundle 15 and the plurality of reflection mirrors 21 to 23.
A light diverting unit that repeats one of the light beams divided into two at 11 and makes it enter the half mirror is configured.
以上の如く、本発明によれば、ハーフミラーによって分
割された一方の光束が光転向手段を介して繰り返しその
ハーフミラーに入射させ、そのハーフミラーによって、
多数の光路長の異なる光を重ね合わせるように構成した
ので、光路の短い光転向手段であっても、そのレーザ光
の可干渉距離よりも長い光路長をもつレーザ光束を互い
に重ね合わせて実質的にインコヒーレントなレーザ光束
とすることができ、光の干渉によって生じるスペックル
を殆んど消去することが可能となる。As described above, according to the present invention, one of the light beams split by the half mirror is repeatedly made incident on the half mirror via the light diverting means, and by the half mirror,
Since a large number of light beams having different optical path lengths are configured to be superposed, even if the light turning means has a short optical path, the laser light fluxes having optical path lengths longer than the coherence length of the laser light are superposed on each other and are substantially overlapped. The laser beam can be incoherent, and almost all speckles caused by light interference can be eliminated.
第１図は本発明の第１の実施例を示す光学系構成図、 第２図は本発明の第２の実施例を示す光学系構成図、 第３図は、第１図および第２図の実施例とは光転向手段
を異にする第３実施例を示す光学系構成図、 第４図は従来公知のスペックル発生防止光学装置の構成
図である。 （主要部分の符号の説明） 10……レーザ光源 11……ハーフミラー 13……投光面 15……オプチカルファイバー束（光転向手段） 21、22、23……反射ミラー（光転向手段） 32、33……直角プリズム（光転向手段） 24……位相板FIG. 1 is an optical system configuration diagram showing a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an optical system configuration diagram showing a second embodiment of the present invention, and FIG. 3 is FIG. 1 and FIG. 3 is an optical system configuration diagram showing a third embodiment in which the light diverting means is different from that of FIG. 4, and FIG. 4 is a configuration diagram of a conventionally known speckle generation preventing optical device. (Explanation of symbols of main parts) 10 …… Laser light source 11 …… Half mirror 13 …… Projection surface 15 …… Optical fiber bundle (light turning means) 21, 22, 23 …… Reflecting mirror (light turning means) 32 , 33 …… Right-angle prism (light turning means) 24 …… Phase plate
Claims (3)
過光とに分割するハーフミラーを光路上に斜設すると共
に、該ハーフミラーによって分割された反射光と透過光
のうち、いずれか一方の光束が前記ハーフミラーに繰り
返して入射するように光束を転向させる光転向手段を設
け、前記ハーフミラーに繰り返して入射した前記一方の
光束と前記ハーフミラーによって分割された他方の光束
とを前記ハーフミラーによって重ね合わせる如く構成し
たことを特徴とするスペックル消去光学装置。1. A half mirror for dividing a laser beam from a laser light source into reflected light and transmitted light is obliquely provided on an optical path, and one of reflected light and transmitted light divided by the half mirror is provided. Is provided so as to repeatedly enter the half mirror, and the one light beam repeatedly incident on the half mirror and the other light beam split by the half mirror are divided by the half mirror. A speckle erasing optical device characterized by being configured so as to be superposed by a mirror.
1）によって分割された前記一方の光束の進路に設けら
れたオプチカルファイバー束（15）または複数の光反射
部材（21、22、23、32、33）にて構成されていることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のスペックル消去
光学装置。2. The light turning means is the half mirror (1).
It is characterized by being constituted by an optical fiber bundle (15) or a plurality of light reflecting members (21, 22, 23, 32, 33) provided in the path of the one light flux divided by 1). The speckle erasing optical device according to claim 1.
複数の光反射部材（21、22、23、32、33）から成り、前
記一方の光束を前記ハーフミラー（11）の近傍に設けら
れた位相板（24）を介して前記ハーフミラー（11）に導
く如く構成されていることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のスペックル消去光学装置。3. The light diverting means comprises a plurality of light reflecting members (21, 22, 23, 32, 33) separated from each other, and the one light flux is provided in the vicinity of the half mirror (11). The speckle erasing optical device according to claim 1, wherein the speckle erasing optical device is configured so as to be guided to the half mirror (11) via a phase plate (24) formed therein.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61218496A JPH07104500B2 (en) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | Speckle erasing optics |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61218496A JPH07104500B2 (en) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | Speckle erasing optics |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6373221A JPS6373221A (en) | 1988-04-02 |
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