JPH07104224B2 - 洩れ検査装置 - Google Patents
洩れ検査装置Info
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- JPH07104224B2 JPH07104224B2 JP3326267A JP32626791A JPH07104224B2 JP H07104224 B2 JPH07104224 B2 JP H07104224B2 JP 3326267 A JP3326267 A JP 3326267A JP 32626791 A JP32626791 A JP 32626791A JP H07104224 B2 JPH07104224 B2 JP H07104224B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は微小容積の密封容器の
洩れの有無を検査することに用いられる洩れ検査装置に
関する。
洩れの有無を検査することに用いられる洩れ検査装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は、例えば水晶発振子、リードリレ
ーあるいは容器に納められたリレー等の電子部品、腕時
計等の密封容器に洩れが有るか否かを検査する装置の一
例として図２に示す容積差検出型の洩れ検査装置が用い
られている。図２に示した洩れ検査装置は一定の空気圧
を発生する空気圧源１と、この空気圧源１が発生する空
気圧を遮断操作する３方電磁弁２と、この３方電磁弁２
の出力側Ｂに接続されて空気圧源１の空気圧を２本の通
路３Ａ，３Ｂに分岐する分岐管３Ｃと、この分岐管３Ｃ
で分岐された２本の通路３Ａ，３Ｂに挿入され、この通
路３Ａ，３Ｂに分岐された空気圧を断続操作する２方電
磁弁４Ａ，４Ｂと、この２方電磁弁４Ａ，４Ｂの出力側
に設けられ、互いに等しい内容積を持つタンクＴＮ１，
ＴＮ２と、このタンクＴＮ１およびＴＮ２の出力側に設
けられた２方電磁弁５Ａ、５Ｂと、この２方電磁弁５
Ａ，５Ｂの各出力側に接続されたワークカプセル６Ａ，
マスタカプセル６Ｂと、これらワークカプセル６Ａとマ
スタカプセル６Ｂとの間の圧力差を測定する差圧検出器
７とによって構成される。
ーあるいは容器に納められたリレー等の電子部品、腕時
計等の密封容器に洩れが有るか否かを検査する装置の一
例として図２に示す容積差検出型の洩れ検査装置が用い
られている。図２に示した洩れ検査装置は一定の空気圧
を発生する空気圧源１と、この空気圧源１が発生する空
気圧を遮断操作する３方電磁弁２と、この３方電磁弁２
の出力側Ｂに接続されて空気圧源１の空気圧を２本の通
路３Ａ，３Ｂに分岐する分岐管３Ｃと、この分岐管３Ｃ
で分岐された２本の通路３Ａ，３Ｂに挿入され、この通
路３Ａ，３Ｂに分岐された空気圧を断続操作する２方電
磁弁４Ａ，４Ｂと、この２方電磁弁４Ａ，４Ｂの出力側
に設けられ、互いに等しい内容積を持つタンクＴＮ１，
ＴＮ２と、このタンクＴＮ１およびＴＮ２の出力側に設
けられた２方電磁弁５Ａ、５Ｂと、この２方電磁弁５
Ａ，５Ｂの各出力側に接続されたワークカプセル６Ａ，
マスタカプセル６Ｂと、これらワークカプセル６Ａとマ
スタカプセル６Ｂとの間の圧力差を測定する差圧検出器
７とによって構成される。
【０００３】この構成において、３方電磁弁２をＡ−Ｂ
間が連通する状態に制御すると共に２方電磁弁４Ａと４
Ｂを開き、空気圧源１の空気圧をタンクＴＮ１とＴＮ２
に与える。この場合、２方電磁弁５Ａと５Ｂは閉じられ
ている。従ってタンクＴＮ１とＴＮ２には空気圧源１か
ら出力される圧力が蓄えられる。タンクＴＮ１とＴＮ２
の空気圧が安定した時点で２方電磁弁４Ａと４Ｂを閉に
制御し、代わって２方電磁弁５Ａと５Ｂを開に制御す
る。２方電磁弁５Ａと５Ｂが開の状態に制御されること
により、タンクＴＮ１とＴＮ２に蓄えられた空気圧はワ
ークカプセル６Ａとマスタカプセル６Ｂに与えられる。
間が連通する状態に制御すると共に２方電磁弁４Ａと４
Ｂを開き、空気圧源１の空気圧をタンクＴＮ１とＴＮ２
に与える。この場合、２方電磁弁５Ａと５Ｂは閉じられ
ている。従ってタンクＴＮ１とＴＮ２には空気圧源１か
ら出力される圧力が蓄えられる。タンクＴＮ１とＴＮ２
の空気圧が安定した時点で２方電磁弁４Ａと４Ｂを閉に
制御し、代わって２方電磁弁５Ａと５Ｂを開に制御す
る。２方電磁弁５Ａと５Ｂが開の状態に制御されること
により、タンクＴＮ１とＴＮ２に蓄えられた空気圧はワ
ークカプセル６Ａとマスタカプセル６Ｂに与えられる。
【０００４】ワークカプセル６Ａおよびマスタカプセル
６Ｂは特に図示していないが、蓋が開閉自在に設けられ
る。マスタカプセル６Ｂには予めワーク８と同一の容積
を持つマスタ容器９が挿入されており、ワークカプセル
６Ａの蓋を開閉してワーク８の入れ替えを行う。ワーク
カプセル６Ａにワーク８を挿入することによりワークカ
プセル６Ａ側とマスタカプセル６Ｂ側の空隙内容積（カ
プセルと配管を含む全内容積）が等しくなる。
６Ｂは特に図示していないが、蓋が開閉自在に設けられ
る。マスタカプセル６Ｂには予めワーク８と同一の容積
を持つマスタ容器９が挿入されており、ワークカプセル
６Ａの蓋を開閉してワーク８の入れ替えを行う。ワーク
カプセル６Ａにワーク８を挿入することによりワークカ
プセル６Ａ側とマスタカプセル６Ｂ側の空隙内容積（カ
プセルと配管を含む全内容積）が等しくなる。
【０００５】ワークカプセル６Ａとマスタカプセル６Ｂ
にタンクＴＮ１とＴＮ２から一定の容量の空気圧を放出
させたとき、ワーク８に大きな洩れが無ければワークカ
プセル６Ａとマスタカプセル６Ｂとの間には差圧が発生
しない。また、その後徐々に差圧が発生しなければ小さ
な洩れもないことが解る。従ってこの場合、判定装置１
０はワーク８を良品と判定する。
にタンクＴＮ１とＴＮ２から一定の容量の空気圧を放出
させたとき、ワーク８に大きな洩れが無ければワークカ
プセル６Ａとマスタカプセル６Ｂとの間には差圧が発生
しない。また、その後徐々に差圧が発生しなければ小さ
な洩れもないことが解る。従ってこの場合、判定装置１
０はワーク８を良品と判定する。
【０００６】一方、タンクＴＮ１およびＴＮ２からワー
クカプセル６Ａとマスタカプセル６Ｂに一定容量の空気
圧を与えたとき、差圧検出器７によって差圧が検出され
た場合には、判定装置１０はワーク８に大きな洩れがあ
ると判定する。つまりワークカプセル６Ａとマスタカプ
セル６Ｂに空気圧を与えた直後に差圧が発生した場合
は、比較的大きい洩れがあることが判る。また空気圧の
供給後、ある時間経過した時点で電磁弁５Ａ，５Ｂを閉
じ、この状態で徐々に差圧値が上昇する場合は、判定装
置１０は小さな洩れがあると判定する。
クカプセル６Ａとマスタカプセル６Ｂに一定容量の空気
圧を与えたとき、差圧検出器７によって差圧が検出され
た場合には、判定装置１０はワーク８に大きな洩れがあ
ると判定する。つまりワークカプセル６Ａとマスタカプ
セル６Ｂに空気圧を与えた直後に差圧が発生した場合
は、比較的大きい洩れがあることが判る。また空気圧の
供給後、ある時間経過した時点で電磁弁５Ａ，５Ｂを閉
じ、この状態で徐々に差圧値が上昇する場合は、判定装
置１０は小さな洩れがあると判定する。
【０００７】検査が終了すると、２方電磁弁４Ａと４Ｂ
を開け、更に３方電磁弁２をＢ−Ｃが連通する状態に切
替え、空気通路３Ａと３Ｂを大気に開放し、ワークカプ
セル６Ａとマスタカプセル６Ｂの差圧を大気圧に戻す。
ワークカプセル６Ａの蓋を開け、ワーク８を交換し、再
び上述と同様の過程を経てワーク８の検査を行う。
を開け、更に３方電磁弁２をＢ−Ｃが連通する状態に切
替え、空気通路３Ａと３Ｂを大気に開放し、ワークカプ
セル６Ａとマスタカプセル６Ｂの差圧を大気圧に戻す。
ワークカプセル６Ａの蓋を開け、ワーク８を交換し、再
び上述と同様の過程を経てワーク８の検査を行う。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置において、
ワーク８の容積が小さくなると、その洩れの有無を検出
できない欠点がある。つまり、ワークカプセルおよびこ
れに通じる配管、電磁弁等の内容積（空隙内容積）は有
限であり、微小値にすることはできない。このためにワ
ーク８の内容積が小さくなると、空隙内容積とワーク８
の内容積との比が大きくなり、差圧の発生感度が低くな
るからである。従って、従来の技術により差圧発生感度
を高めるためには、空隙内容積を限りなく小さくしなけ
ればならない。このために電磁弁５Ａ，５Ｂを閉じてタ
ンクＴＮ１，ＴＮ２を切り離す等して空隙内容積を小さ
くする工夫を施しているが、それには限度がある。この
結果従来の技術で検査が可能なワーク８の容積は１cc程
度までで、これ以下の容積のワークに対しては洩れ検査
を行うことができない不都合がある。
ワーク８の容積が小さくなると、その洩れの有無を検出
できない欠点がある。つまり、ワークカプセルおよびこ
れに通じる配管、電磁弁等の内容積（空隙内容積）は有
限であり、微小値にすることはできない。このためにワ
ーク８の内容積が小さくなると、空隙内容積とワーク８
の内容積との比が大きくなり、差圧の発生感度が低くな
るからである。従って、従来の技術により差圧発生感度
を高めるためには、空隙内容積を限りなく小さくしなけ
ればならない。このために電磁弁５Ａ，５Ｂを閉じてタ
ンクＴＮ１，ＴＮ２を切り離す等して空隙内容積を小さ
くする工夫を施しているが、それには限度がある。この
結果従来の技術で検査が可能なワーク８の容積は１cc程
度までで、これ以下の容積のワークに対しては洩れ検査
を行うことができない不都合がある。
【０００９】最近の傾向としてどの分野でも小型化が盛
んである。特に電子部品の分野では各種の部品、例えば
リードリレー、水晶発振子等は小型化されており、微小
容積の部品の洩れの有無を検査できる技術が要求されて
いる。
んである。特に電子部品の分野では各種の部品、例えば
リードリレー、水晶発振子等は小型化されており、微小
容積の部品の洩れの有無を検査できる技術が要求されて
いる。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明では、ワークカ
プセルおよびマスタカプセルに第１の空気圧源から直接
空気圧を与えると共に、ワークカプセルおよびマスタカ
プセルに通じる空気圧供給路に２方空気圧制御式の制御
弁と、第２の空気圧源から３方電磁弁を通じて空気圧の
与えられる第１と第２容積可変手段とを設ける。ワーク
カプセルおよびマスタカプセルに所定圧力の空気圧を与
えた後に２方制御弁を閉じ、空圧源とワークカプセルお
よびマスタカプセルを切り離す。この状態で差圧が徐々
に発生するか否かを見てワーク８の微小な洩れの有無を
判定する。微小な洩れがないと判定すれば３方電磁弁を
開いて第１の空気圧源よりも高圧の第２の空気圧源の空
気を容積可変手段に供給して容積可変手段内に第１の空
気圧源から供給されていた空気をワークカプセル側およ
びマスタカプセル側に送り出すと共に、両カプセル側に
接続されていた容積可変手段の容積を０にして両カプセ
ル側の空隙内容積を等量ずつ減少させるように構成す
る。
プセルおよびマスタカプセルに第１の空気圧源から直接
空気圧を与えると共に、ワークカプセルおよびマスタカ
プセルに通じる空気圧供給路に２方空気圧制御式の制御
弁と、第２の空気圧源から３方電磁弁を通じて空気圧の
与えられる第１と第２容積可変手段とを設ける。ワーク
カプセルおよびマスタカプセルに所定圧力の空気圧を与
えた後に２方制御弁を閉じ、空圧源とワークカプセルお
よびマスタカプセルを切り離す。この状態で差圧が徐々
に発生するか否かを見てワーク８の微小な洩れの有無を
判定する。微小な洩れがないと判定すれば３方電磁弁を
開いて第１の空気圧源よりも高圧の第２の空気圧源の空
気を容積可変手段に供給して容積可変手段内に第１の空
気圧源から供給されていた空気をワークカプセル側およ
びマスタカプセル側に送り出すと共に、両カプセル側に
接続されていた容積可変手段の容積を０にして両カプセ
ル側の空隙内容積を等量ずつ減少させるように構成す
る。
【００１１】この内容積の変化により、仮に大きな洩れ
がある場合は、空気圧を与えた時点で瞬時にワークの内
容積がワークカプセルの内容積に加えられる。このため
ワークカプセル側とマスタカプセル側との間に内容積に
差が発生し、この容積差によって差圧が発生する。ワー
クに洩れが無ければ容積可変手段を可変制御しても差圧
は発生しない。
がある場合は、空気圧を与えた時点で瞬時にワークの内
容積がワークカプセルの内容積に加えられる。このため
ワークカプセル側とマスタカプセル側との間に内容積に
差が発生し、この容積差によって差圧が発生する。ワー
クに洩れが無ければ容積可変手段を可変制御しても差圧
は発生しない。
【００１２】よって、この発明によれば容積が微小な部
品でも、洩れの有無を検査することができる。
品でも、洩れの有無を検査することができる。
【００１３】
【実施例】図１にこの発明の一実施例を示す。図中１は
第１の空気圧源、２は３方電磁弁、４Ａ，４Ｂは２方制
御弁、６Ａはワークカプセル、６Ｂはマスタカプセル、
７は差圧検出器を示す点は従来の技術の説明と同じであ
る。この発明では、ワークカプセル６Ａおよびマスタカ
プセル６Ｂに連通させて第１及び第２の容積可変手段１
２Ａ，１２Ｂを設ける。この例では、この第１及び第２
の容積可変手段１２Ａ，１２ＢをダイヤフラムＤＦによ
って構成した場合を示す。ダイヤフラムＤＦによって仕
切られた一方の室Ｃ2 をワークカプセル６Ａおよびマス
タカプセル６Ｂに連通させ、他方の室Ｃ1 を３方電磁弁
１３を通じて第２の空気圧源１４に接続する。
第１の空気圧源、２は３方電磁弁、４Ａ，４Ｂは２方制
御弁、６Ａはワークカプセル、６Ｂはマスタカプセル、
７は差圧検出器を示す点は従来の技術の説明と同じであ
る。この発明では、ワークカプセル６Ａおよびマスタカ
プセル６Ｂに連通させて第１及び第２の容積可変手段１
２Ａ，１２Ｂを設ける。この例では、この第１及び第２
の容積可変手段１２Ａ，１２ＢをダイヤフラムＤＦによ
って構成した場合を示す。ダイヤフラムＤＦによって仕
切られた一方の室Ｃ2 をワークカプセル６Ａおよびマス
タカプセル６Ｂに連通させ、他方の室Ｃ1 を３方電磁弁
１３を通じて第２の空気圧源１４に接続する。
【００１４】第２の空気圧源１４は第１の空気圧源１の
圧力より高い正圧を発生するが、検査開始時は３方電磁
弁１３はＢ−Ｃ間を連通させる。従って検査開始時点で
は、第２の空気圧源１４の圧力はダイヤフラムＤＦに与
えられず、ダイヤフラムＤＦで仕切られた一方の室Ｃ1
は大気に開放されている。この状態で、ワークカプセル
６Ａおよびマスタカプセル６Ｂに第１の空気圧源１から
空気圧Ｐを与える。よって、このとき空気圧Ｐによって
ダイヤフラムＤＦは、室Ｃ1 の壁に圧接される。空気圧
Ｐが安定するに必要な時間を経て、２方制御弁４Ａ，４
Ｂを閉じる。この状態で差圧検出器７の検出感度を電気
的に高め差圧の発生の有無を見る。差圧が発生した場合
は、微小な洩れがあることが解る。ワーク８に瞬時に空
気が侵入するような大きな洩れが存在する場合は、第１
の空気圧源１から与えられた空気が瞬時にワーク８に侵
入してしまうため、差圧の発生はない。
圧力より高い正圧を発生するが、検査開始時は３方電磁
弁１３はＢ−Ｃ間を連通させる。従って検査開始時点で
は、第２の空気圧源１４の圧力はダイヤフラムＤＦに与
えられず、ダイヤフラムＤＦで仕切られた一方の室Ｃ1
は大気に開放されている。この状態で、ワークカプセル
６Ａおよびマスタカプセル６Ｂに第１の空気圧源１から
空気圧Ｐを与える。よって、このとき空気圧Ｐによって
ダイヤフラムＤＦは、室Ｃ1 の壁に圧接される。空気圧
Ｐが安定するに必要な時間を経て、２方制御弁４Ａ，４
Ｂを閉じる。この状態で差圧検出器７の検出感度を電気
的に高め差圧の発生の有無を見る。差圧が発生した場合
は、微小な洩れがあることが解る。ワーク８に瞬時に空
気が侵入するような大きな洩れが存在する場合は、第１
の空気圧源１から与えられた空気が瞬時にワーク８に侵
入してしまうため、差圧の発生はない。
【００１５】差圧の発生が無であれば、大きい洩れがあ
るか否かを検査する。このため、この発明では第２の空
気圧源１４側に挿入した３方電磁弁１３のＡ−Ｂ間を連
通させる状態に切替え、ダイヤフラムＤＦで仕切られた
室Ｃ1 に第２の空気圧源１４の圧力を与える。第２の空
気圧源１４の圧力はテスト圧Ｐより大きく採っているか
ら、ダイヤフラムＤＦは室Ｃ2 の壁に圧接される。この
ダイヤフラムＤＦの移動により、ワークカプセル６Ａお
よびマスタカプセル６Ｂの見かけの内容積は、室Ｃ1 と
Ｃ2 の内容積を加えた量だけ小さくなる。この容積変化
により、仮にワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル６
Ｂ側とで容積に差がある場合は差圧が発生し、その差圧
は差圧検出器７で検出され、判定装置１０で大きい洩れ
があると判定される。
るか否かを検査する。このため、この発明では第２の空
気圧源１４側に挿入した３方電磁弁１３のＡ−Ｂ間を連
通させる状態に切替え、ダイヤフラムＤＦで仕切られた
室Ｃ1 に第２の空気圧源１４の圧力を与える。第２の空
気圧源１４の圧力はテスト圧Ｐより大きく採っているか
ら、ダイヤフラムＤＦは室Ｃ2 の壁に圧接される。この
ダイヤフラムＤＦの移動により、ワークカプセル６Ａお
よびマスタカプセル６Ｂの見かけの内容積は、室Ｃ1 と
Ｃ2 の内容積を加えた量だけ小さくなる。この容積変化
により、仮にワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル６
Ｂ側とで容積に差がある場合は差圧が発生し、その差圧
は差圧検出器７で検出され、判定装置１０で大きい洩れ
があると判定される。
【００１６】ワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル６
Ｂ側との間で配管を含めて容積を合致させておき、マス
タカプセル６Ｂにワーク８と同容量の洩れのないマスタ
容器９を挿入しておくことにより、ワーク８に洩れがな
ければワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル６Ｂ側と
で容積は等しい。従ってこの場合には、第１及び第２の
容積可変手段１２Ａと１２Ｂとで容積を変化させても両
者間に差圧は発生しない。
Ｂ側との間で配管を含めて容積を合致させておき、マス
タカプセル６Ｂにワーク８と同容量の洩れのないマスタ
容器９を挿入しておくことにより、ワーク８に洩れがな
ければワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル６Ｂ側と
で容積は等しい。従ってこの場合には、第１及び第２の
容積可変手段１２Ａと１２Ｂとで容積を変化させても両
者間に差圧は発生しない。
【００１７】しかしながら、ワーク８に洩れがある場合
には、ワーク８の内容積がワークカプセル６Ａの内容積
に加わるため、ワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル
６Ｂ側との間に内容積の差が発生する。この結果、容積
可変手段１２Ａと１２Ｂで容積変化を与えると容積差に
比例した差圧が発生する。これを数式を用いて説明す
る。ここで使うワーク８の条件として比較的大きい洩れ
があり、短時間にワーク８内に空気が侵入する。ワーク
８及びマスタ容器９の内容積はΔＶ，ワークカプセル６
Ａおよびマスタカプセル６Ｂの内容積（ワーク８および
マスタ容器９の内容積ΔＶを含まず）はＶ，第１及び第
２の容積可変手段１２Ａ，１２Ｂの容積変化量をΔＶ
1 ，第１の空気圧源１から与えられる空気圧（テスト圧
力）をＰ，第１及び第２の容積可変手段１２Ａ，１２Ｂ
の容積がΔＶ1 変化したときのワークカプセル側の圧力
変化をΔＰ1 ，マスタカプセル側の圧力変化をΔＰ2 と
すると、 ワーク側 Ｐ（Ｖ＋ΔＶ＋ΔＶ1）＝（Ｐ＋ΔＰ1）（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1） ……(1) マスタ側 Ｐ（Ｖ＋ΔＶ1）＝（Ｐ＋ΔＰ2）（Ｖ−ΔＶ1 ） ……(2) （１）式から ΔＰ1 ＝２Ｐ×ΔＶ1 ／（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1 ） ……(3) （２）式から ΔＰ2 ＝２Ｐ×ΔＶ1 ／（Ｖ−ΔＶ1 ） ……(4) ΔＰ2−ΔＰ1＝２Ｐ×ΔＶ1×ΔＶ／（Ｖ−ΔＶ1）（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1） ……(5) （５）式より、容積差の感度はテスト圧力Ｐと容積変化
ΔＶ1 に比例し、カプセル６Ａ，６Ｂの内容積Ｖの２乗
にほゞ反比例する。
には、ワーク８の内容積がワークカプセル６Ａの内容積
に加わるため、ワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル
６Ｂ側との間に内容積の差が発生する。この結果、容積
可変手段１２Ａと１２Ｂで容積変化を与えると容積差に
比例した差圧が発生する。これを数式を用いて説明す
る。ここで使うワーク８の条件として比較的大きい洩れ
があり、短時間にワーク８内に空気が侵入する。ワーク
８及びマスタ容器９の内容積はΔＶ，ワークカプセル６
Ａおよびマスタカプセル６Ｂの内容積（ワーク８および
マスタ容器９の内容積ΔＶを含まず）はＶ，第１及び第
２の容積可変手段１２Ａ，１２Ｂの容積変化量をΔＶ
1 ，第１の空気圧源１から与えられる空気圧（テスト圧
力）をＰ，第１及び第２の容積可変手段１２Ａ，１２Ｂ
の容積がΔＶ1 変化したときのワークカプセル側の圧力
変化をΔＰ1 ，マスタカプセル側の圧力変化をΔＰ2 と
すると、 ワーク側 Ｐ（Ｖ＋ΔＶ＋ΔＶ1）＝（Ｐ＋ΔＰ1）（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1） ……(1) マスタ側 Ｐ（Ｖ＋ΔＶ1）＝（Ｐ＋ΔＰ2）（Ｖ−ΔＶ1 ） ……(2) （１）式から ΔＰ1 ＝２Ｐ×ΔＶ1 ／（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1 ） ……(3) （２）式から ΔＰ2 ＝２Ｐ×ΔＶ1 ／（Ｖ−ΔＶ1 ） ……(4) ΔＰ2−ΔＰ1＝２Ｐ×ΔＶ1×ΔＶ／（Ｖ−ΔＶ1）（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1） ……(5) （５）式より、容積差の感度はテスト圧力Ｐと容積変化
ΔＶ1 に比例し、カプセル６Ａ，６Ｂの内容積Ｖの２乗
にほゞ反比例する。
【００１８】 因みに、カプセル６Ａ，６Ｂの内容積Ｖ：２cc 容積可変手段１２Ａ，１２Ｂの容積変化量ΔＶ1 ：0.３cc テスト圧力（絶対圧） Ｐ：1.５kg／cm2 ワーク８の内容積 ΔＶ：0.０１cc とした場合、ΔＰ2 −ΔＰ1 は（５）式より、 ΔＰ2−ΔＰ1＝２Ｐ×1.5×104×0.3×0.01／(2−0.3）(2＋0.01−0.3) ＝３１（mm H2O） となり、この圧力差は通常の差圧検出器によって充分測
定可能である。
定可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
ワーク８として内容積が例えば0.０１cc程度の微小な物
でも、その洩れの有無、特に大きな洩れの有無を検知す
ることができる。よって電子部品あるいは腕時計等の微
小容積の密封容器の洩れを検査することができる大きな
効果が得られる。また、この発明では制御弁４Ａ，４Ｂ
を空気作動型の弁を用いたから、動作時に電磁弁のよう
に発熱を伴わないから、空気回路に温度変化を与えるお
それがない。よって安定して検査を実行することがで
き、信頼性の高い検査を行うことができる。
ワーク８として内容積が例えば0.０１cc程度の微小な物
でも、その洩れの有無、特に大きな洩れの有無を検知す
ることができる。よって電子部品あるいは腕時計等の微
小容積の密封容器の洩れを検査することができる大きな
効果が得られる。また、この発明では制御弁４Ａ，４Ｂ
を空気作動型の弁を用いたから、動作時に電磁弁のよう
に発熱を伴わないから、空気回路に温度変化を与えるお
それがない。よって安定して検査を実行することがで
き、信頼性の高い検査を行うことができる。
【００２０】なお、上述の実施例では第１及び第２の容
積可変手段１２Ａ，１２ＢとしてダイヤフラムＤＦを用
いた例を説明したが、他の要素として、例えばシリンダ
あるいはペローズ等の要素を用いることもできる。また
第１及び第２の容積可変手段１２Ａ，１２Ｂを大きい洩
れの有無を検査する際に空隙内容積を小さくする方向に
変化させたが、空隙内容積を大きくする方向に変化させ
ても、大きい洩れの有無を検査することができる。
積可変手段１２Ａ，１２ＢとしてダイヤフラムＤＦを用
いた例を説明したが、他の要素として、例えばシリンダ
あるいはペローズ等の要素を用いることもできる。また
第１及び第２の容積可変手段１２Ａ，１２Ｂを大きい洩
れの有無を検査する際に空隙内容積を小さくする方向に
変化させたが、空隙内容積を大きくする方向に変化させ
ても、大きい洩れの有無を検査することができる。
【図１】この発明の一実施例を説明するためのブロック
図。
図。
【図２】従来の技術を説明するためのブロック図。
１ 空気圧源 ２ ３方電磁弁 ４Ａ，４Ｂ ２方制御弁 ６Ａ ワークカプセル ６Ｂ マスタカプセル ７ 差圧検出器 ８ ワーク ９ マスタ容器 １２Ａ，１２Ｂ 容積可変手段 １３ ３方電磁弁 １４ 空気圧源
Claims (1)
- 【請求項１】 Ａ．一定圧力の空気圧を発生する第１の
空圧源と、 Ｂ．上記第１空圧源が発生する上記空気圧がそれぞれ与
えられるワークカプセルおよびマスタカプセルと、 Ｃ．上記第１空圧源から上記ワークカプセルおよび上記
マスタカプセルに通じる各通路にそれぞれ挿入され、通
路を開閉する第１、第２制御弁と、 Ｄ．上記ワークカプセルとマスタカプセルとの間の圧力
差を測定する差圧検出器と、 Ｅ．上記第１制御弁より上記ワークカプセル側において
上記ワークカプセル内と連通され、空気圧により容積を
一定量変化させることができる第１容積可変手段と、 Ｆ．上記第２制御弁より上記マスタカプセル側において
上記マスタカプセル内と連通され、空気圧により容積を
上記一定量 変化させることができる第２容積可変手段
と、Ｇ．上記第１、第２容積可変手段に対しそれぞれ容積変
化を与える空気圧を発生する第２空圧源と、 Ｈ．上記第２空圧源から上記第１、第２容積可変手段に
通じる共通の通路に挿入され、通路を開閉する第３制御
弁と、 Ｉ．上記第１、第２制御弁を閉じた状態で上記第１、第
２容積可変手段の各容積を一定量減少させて上記ワーク
カプセル内及び上記マスタカプセル内の各圧力を高める
制御手段と、 によって構成した洩れ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3326267A JPH07104224B2 (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | 洩れ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3326267A JPH07104224B2 (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | 洩れ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0611408A JPH0611408A (ja) | 1994-01-21 |
| JPH07104224B2 true JPH07104224B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=18185864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3326267A Expired - Fee Related JPH07104224B2 (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | 洩れ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104224B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
| US5792940A (en) * | 1996-09-30 | 1998-08-11 | Becton, Dickinson And Company | Rapid evaluation of thin-film barrier coatings on thick substrates via transient response measurements |
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| US8534120B1 (en) | 2012-09-14 | 2013-09-17 | Advanced Scientifics, Inc. | Test system and method for flexible containers |
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|---|---|---|---|---|
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-
1991
- 1991-12-11 JP JP3326267A patent/JPH07104224B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009145991A1 (en) * | 2008-03-31 | 2009-12-03 | Levtech, Inc. | Apparatus and method for the integrity testing of flexible containers |
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| JPH0611408A (ja) | 1994-01-21 |
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