JPH07103704A - 測定機 - Google Patents

測定機

Info

Publication number
JPH07103704A
JPH07103704A JP25172993A JP25172993A JPH07103704A JP H07103704 A JPH07103704 A JP H07103704A JP 25172993 A JP25172993 A JP 25172993A JP 25172993 A JP25172993 A JP 25172993A JP H07103704 A JPH07103704 A JP H07103704A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide rail
bracket
measuring machine
thermal expansion
guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP25172993A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2901851B2 (ja
Inventor
Sadayuki Matsumiya
貞行 松宮
Chihiro Ishizu
千裕 石津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP25172993A priority Critical patent/JP2901851B2/ja
Publication of JPH07103704A publication Critical patent/JPH07103704A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2901851B2 publication Critical patent/JP2901851B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 従来異なった素材を用いた場合に発生してい
た熱膨張による悪影響を排除して機構案内部の真直精度
を保持すると共に、用いる素材に制限を受けないために
設計の自由度が良く、測定精度が向上する測定機を提供
する。 【構成】 測定機Aのコラム4に設け、アルミニウムに
より構成されるブラケット11(第1部材)と、光学系
ユニット5の昇降動のガイドであるために鋼性の高い鉄
により構成されるガイドレール12(第1部材)とを備
える案内部材であって、このブラケット11の下端に所
定長さ突出して形成される突部11aが、ガイドレール
12(第2部材)の下端と固定接合される。一方、この
ブラケット11とガイドレール12との間に平行板ばね
ユニット13(弾性部材)がZ軸方向への弾性を保持し
て掛け渡されるものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、測定機に係わり、例え
ば、測定機に具備される測定部を被測定物に対して移動
させながら被測定物の寸法や形状等を測定する測定機に
関する。
【0002】
【背景技術】図6に示すように、従来、高い部品精度を
要求される測定機等の機構案内部20にあっては、摺動
するスライダ21とガイドレール22の摺動部位には高
い真直性が要求されるために鋼性の高い素材、多くは鉄
等の重量素材が用いられている。そしてこのガイドレー
ル22を支持するブラケット23には軽量のアルミニウ
ム等を用い、相互に接合することによって測定機全体の
軽量化を図る試みがなされている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のように
異なる素材を組み合わせて接合した場合、それぞれの素
材の熱膨張係数が異なるために、いわゆるバイメタル効
果(工場で用いる場合には夏冬でその温度差は30度に
達することもあり、高精度が要求される測定機にあって
はその影響は無視できないオーダーとなるものであ
る。)によって機構案内部全体に図中記号Vで指し示す
ような歪み部分が生じ、ガイドレール22とスライダ2
1との真直精度の悪化を招き、測定機としての実用性に
耐えられないといった欠点が指摘されていた。このよう
な事態を防ぐために、ガイドレール22とブラケット2
3に熱膨張係数が同一の素材を用いるか、熱膨張による
悪影響を無視できるような接合とするといった手法が従
来取られてきたが、何れも設計の自由度が制限されてし
まう等の問題点が生じていた。
【0004】本発明の目的は、以上のような問題点を解
決し、従来異なった素材を用いた場合に発生していた熱
膨張による悪影響を排除して機構案内部の真直精度を保
持すると共に、用いる素材に制限を受けないために設計
の自由度が良く、測定精度が向上する測定機を提供する
ことにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】このため、本発明の測定
機は、可動部を有する測定機において、この可動部を案
内支持する部材を熱膨張係数の異なる第1、第2部材で
形成し、この第1、第2部材の一端側を互いに連結する
と共に他端側を弾性部材を介して連結したことを特徴と
する。
【0006】
【作用】例えば被測定物を測定するための測定部を支持
しかつ移動可能に構成された可動部を案内支持する部材
に熱膨張係数の異なる第1、第2部材を用い、この第
1、第2部材を支持する一端側を固定連結し、他端側は
弾性部材を介して連結した測定機にあっては、温度、湿
度管理の行き届いた環境で用いることが原則であるが、
やむを得ず生じる環境の温度変化に伴い、熱膨張係数の
異なる第1、第2部材にはそれぞれ異なる膨張量あるい
は収縮量が発生してしまうことがある。このように第
1、第2部材に相互に異なる膨張、収縮が生じた場合で
も、一端側にて介在連結された弾性部材によって膨張、
収縮は吸収されるものである。従って、異なった素材を
用いた場合に発生していた熱膨張による悪影響を排除す
ることができる。
【0007】
【実施例】以下に、本発明の測定機を用いた実施例につ
いて、添付図面を参照しながら詳細に説明する。図1は
本実施例の測定機の全体側面を示している。この測定機
Aはベース1上にY軸方向に移動自在に設けられたY軸
テーブル2と、このY軸テーブル2上にX軸方向に移動
自在に設けられかつ上面に被測定物Wを載置するX軸テ
ーブル3と、前記ベース1上の後部位置に立設されたコ
ラム4と、このコラム4に取り付けられるZ軸駆動系B
によってZ軸方向へ昇降自在に設けられたZ軸スライダ
6と、このZ軸スライダ6に取り付けられる光学系ユニ
ット5とから構成されている。従って、被測定物Wを載
置するX軸テーブル3と光学系ユニット5とがX軸方
向、Y軸方向およびZ軸方向へ相対移動可能に設けられ
ている。尚、被測定物Wに対する測定を行う光学系ユニ
ット5は、被測定物Wに向かって照明光Lを発する発光
部5aと、被測定物Wからの反射光Lを受光するCCD
センサ5bと、このCCDセンサ5bで得られたデータ
を演算処理して被測定物Wの測定を行うものである。
【0008】図2はZ軸駆動系の側面を示している。こ
のZ軸駆動系Bは、コラム4に取り付けられると共に軽
量化を図るためにアルミニウムにより構成されているブ
ラケット11(第1部材)と、このブラケット11によ
って上端と下端で支持されるガイドレール12(第2部
材)とを備えている。尚、このガイドレール12は光学
系ユニット5の昇降動のガイドを司るために高精度が要
求され、鋼性の高い鉄により構成されている。そして、
ブラケット11の下端には所定長の突部11aが突出形
成され、ガイドレール12の下端と固定接合される。一
方、このブラケット11の上端にあってはガイドレール
12の上端との間に平行板ばねユニット13(弾性部
材)が掛け渡されるように介在固定されるものである。
即ち、ガイドレール12はブラケット11に対して下端
が強固に固定され、上端はZ軸方向への弾性を保持して
固定されるものである。又、ブラケット11にはモータ
B1の駆動により送りねじB2に対して昇降動する部材
B3(ナット)が備えられるものである。そしてこの部
材B3(ナット)には連結部材14aが取り付けられ、
更にこの連結部材14aの前端にはガイドレール12に
対して摺動するスライダ6が配されている。そしてこの
スライダ6の先端には光学系ユニット5が取り付けられ
て被測定物Wの測定に供されるものである。
【0009】図3は前記平行板ばねユニット13(弾性
部材)の詳細な構成を示している。この平行板ばねユニ
ット13は所定の弾性を有するばね鋼材13aと、この
ばね鋼材13aに対して所定間隔でもって上下から挟ん
でなる補強部材13bを具備してなる。又、この補強部
材13bは平行板ばねユニット13をブラケット11と
ガイドレール12とに介在連結する際の固定用補強材
(ワッシャー)としての機能を有するものである。尚、
ブラケット11並びにガイドレール12への固定にあた
っては、図2に示すように下側の補強部材13bを外し
て取り付けても良い。次に、本実施例の作用を図4を参
照しながら説明する。測定機Aが置かれる環境の温度変
化により各部材は程度の差はあるものの膨張するのであ
るが、特に高精度が要求されるガイドレール12にあっ
ては膨張による少しの歪みも許容されるものではない。
【0010】このようなガイドレール12における熱膨
張による歪み(伸び、縮み)の対策として、ブラケット
11に対する固定手段に特長を有するものである。即
ち、ガイドレール12の下端を強固に固定することで熱
膨張による歪み(伸び、縮み)を上端に集中させ、この
歪みを上端に配置した平行板ばねユニット13によって
吸収するものである。そしてこの熱膨張の歪みを吸収す
るにあたってもX軸あるいはY軸方向への膨張は平行板
ばねユニット13の持つ鋼性により完全に阻止し、Z軸
方向への膨張を効果的に吸収するものである。従って、
本実施例によれば、測定に悪影響を与えるガイドレール
12部分における効果的な熱膨張対策を達成でき、軽量
化のための素材を適所に用いることができるので設計の
自由度が阻害されることはない。又、熱膨張による歪み
(伸び、縮み)を吸収するために板ばねを用いることに
より構造も簡単でコストダウンにつながるものである。
【0011】以上、本発明について好適な実施例を挙げ
て説明したが、この実施例に限られるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに
設計の変更が可能である。例えば、上記実施例では、ブ
ラケット11とガイドレール12との間に掛け渡す弾性
体として平行板ばねユニット13を用いて説明してきた
が、これに限らず図5の側面図に示すような弾性を有す
るばね鋼材を用いて一体型に成形した弾性体23を用い
ても良い。更に、上記実施例ではZ軸スライダ6につい
て説明したが、その他の機構案内部(X軸、Y軸等)に
用いても良い。
【0012】
【発明の効果】以上の通り、本発明の測定機によれば、
配置される環境の温度変化に伴う熱膨張の悪影響を排除
できるので、高精度な測定を維持できる一方、軽量化の
ための素材を適所に用いることができるなど設計の自由
度を阻害することがなく、コストダウンにつながるもの
である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す測定機の全体側面図で
ある。
【図2】同上実施例の測定機のZ軸駆動系の側面図であ
る。
【図3】同上実施例の測定機に用いた平行板ばねユニッ
ト(弾性部材)の詳細斜視図である。
【図4】同上実施例の測定機に用いた平行板ばねユニッ
ト(弾性部材)の作用を示す説明図である。
【図5】本発明の他の実施例に用いた弾性部材を示す側
面図である。
【図6】従来の測定機において熱膨張によって歪んだ状
態を示した側面図である。
【符号の説明】
A 測定機 11 ブラケット(第1部材) 12 ガイドレール(第2部材) 13 平行板ばねユニット(弾性部材)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】可動部を有する測定機において、 この可動部を案内支持する部材を熱膨張係数の異なる第
    1、第2部材で形成し、この第1、第2部材の一端側を
    互いに連結すると共に他端側を弾性部材を介して連結し
    たことを特徴とする測定機。
JP25172993A 1993-10-07 1993-10-07 測定機 Expired - Lifetime JP2901851B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25172993A JP2901851B2 (ja) 1993-10-07 1993-10-07 測定機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25172993A JP2901851B2 (ja) 1993-10-07 1993-10-07 測定機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07103704A true JPH07103704A (ja) 1995-04-18
JP2901851B2 JP2901851B2 (ja) 1999-06-07

Family

ID=17227097

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25172993A Expired - Lifetime JP2901851B2 (ja) 1993-10-07 1993-10-07 測定機

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2901851B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006170665A (ja) * 2004-12-13 2006-06-29 Kyoto Univ 歯車歯面形状測定機の検査・校正アーティファクト
JP2007147359A (ja) * 2005-11-25 2007-06-14 Mitsutoyo Corp 直線ガイド搭載装置
KR100856115B1 (ko) * 2008-04-15 2008-09-02 정진우 프레임 부품 용접버어 감지장치 및 그 작동방법
CN111043935A (zh) * 2019-12-30 2020-04-21 武汉市恒通诚汽车零部件有限公司 一种自动检测外星轮中心孔位置差异值的装置及方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006170665A (ja) * 2004-12-13 2006-06-29 Kyoto Univ 歯車歯面形状測定機の検査・校正アーティファクト
JP2007147359A (ja) * 2005-11-25 2007-06-14 Mitsutoyo Corp 直線ガイド搭載装置
KR100856115B1 (ko) * 2008-04-15 2008-09-02 정진우 프레임 부품 용접버어 감지장치 및 그 작동방법
CN111043935A (zh) * 2019-12-30 2020-04-21 武汉市恒通诚汽车零部件有限公司 一种自动检测外星轮中心孔位置差异值的装置及方法
CN111043935B (zh) * 2019-12-30 2021-08-17 武汉市恒通诚汽车零部件有限公司 一种自动检测外星轮中心孔位置差异值的装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2901851B2 (ja) 1999-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4815213A (en) Apparatus for temperature compensation of sensing means of a machine
JP2003177009A (ja) 座標測定テーブル装置及び座標測定装置
US4727653A (en) Coordinate measuring instrument
EP0380755B1 (en) Coordinate measuring machine with improved carriage way arrangement
JPS6255081B2 (ja)
JPH0478927B2 (ja)
JP2675245B2 (ja) 測長機
JPS59157510A (ja) カプセルに入つた測定装置
JPH08285566A (ja) 位置測定装置
US20040104694A1 (en) Moving body drive unit
US7356940B2 (en) Elastic fixture and attachment method for length measuring apparatus
JPH07103704A (ja) 測定機
CN110954016A (zh) 一种高精度光学元件干涉检测中的装夹装置
KR102555532B1 (ko) 와이어 방전 가공 장치
JP6480572B2 (ja) 工作機械で使用する位置測定装置
JPH10318728A (ja) 三次元形状測定装置および三次元形状測定装置におけるz軸ステージ
JP4636928B2 (ja) 測定部支持機構およびそれを備えた薄板の表面形状測定装置
KR20100111320A (ko) 공작기계
JP4490564B2 (ja) 電子部品搭載機
JPH04258711A (ja) スケール装置
JPH07159151A (ja) 三次元測定機
JP3184371B2 (ja) シングルプレート型x−yテーブル装置
JP3430644B2 (ja) 座標測定機
JP7137373B2 (ja) ステージ装置及び顕微鏡システム
JP2617342B2 (ja) ワイヤ放電加工機のガイドアーム支持機構

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19990302

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110319

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319

Year of fee payment: 14