JPH0699582A - Production of ink jet head - Google Patents
Production of ink jet headInfo
- Publication number
- JPH0699582A JPH0699582A JP25143192A JP25143192A JPH0699582A JP H0699582 A JPH0699582 A JP H0699582A JP 25143192 A JP25143192 A JP 25143192A JP 25143192 A JP25143192 A JP 25143192A JP H0699582 A JPH0699582 A JP H0699582A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive resin
- resin layer
- substrate
- pressure chamber
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はインク滴を吐出させ記録
媒体上にインク像を形成するプリンタ等の装置に用いら
れるインクジェットヘッドの製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an ink jet head used in an apparatus such as a printer which ejects ink droplets to form an ink image on a recording medium.
【０００２】[0002]
【従来の技術】基板上に感光性樹脂層を形成し、感光性
樹脂の必要部分を露光後、未露光の感光性樹脂層を除去
してインク流路壁または圧力室壁とするインクジェット
ヘッドは、特公昭６２−５９６７２号公報および特公平
２−４２６７０号公報に開示されている。その構造を図
１１及び図１２を用いて説明する。第一の基板１１はガ
ラス、プラスチック、セラミック、金属等からなり、イ
ンク流路または圧力室の１壁面として機能する。第一の
基板１１上にはノズルからインクを吐出するために利用
されるエネルギーを発生するエネルギー発生体７３が設
けられる。次に、エネルギー発生体７３が設けられた基
板１１上に感光性樹脂層が設けられる。その後、公知の
フォトリソグラフィの手段によって硬化した感光性樹脂
層のインク流路壁または圧力室壁２３を得る。次に、第
二の基板６１を接合してインクジェットヘッドを得る。2. Description of the Related Art An ink jet head in which a photosensitive resin layer is formed on a substrate, a necessary portion of the photosensitive resin is exposed, and the unexposed photosensitive resin layer is removed to form an ink flow path wall or a pressure chamber wall is known. , Japanese Patent Publication No. 62-59672 and Japanese Patent Publication No. 2-42670. The structure will be described with reference to FIGS. 11 and 12. The first substrate 11 is made of glass, plastic, ceramic, metal or the like, and functions as one wall surface of the ink channel or the pressure chamber. An energy generator 73 that generates energy used to eject ink from the nozzles is provided on the first substrate 11. Next, a photosensitive resin layer is provided on the substrate 11 provided with the energy generator 73. After that, the ink flow path wall or the pressure chamber wall 23 of the photosensitive resin layer cured by a known photolithography means is obtained. Next, the second substrate 61 is joined to obtain an inkjet head.
【０００３】さらに、特開平３−１８３５５９号公報に
は、硬化した第一の感光性樹脂層を覆うように第二の感
光性樹脂を積層してインク流路壁または圧力室壁を形成
し、第一の感光性樹脂を除去してインク流路または圧力
室壁を形成するインクジェットヘッドの製造方法が開示
されている。その方法を図１３から図１５を用いて説明
する。基板１１はガラス、プラスチック、セラミック、
金属等の内の適切な材質からなり、インク流路及び圧力
室の１壁面として機能する。図１３に示すように基板１
１上にはノズルからインクを吐出するために利用される
エネルギーを発生するエネルギー発生体７３が設けら
れ、次に、エネルギー発生体７３が設けられた基板１１
上に第一の感光性樹脂層１２ａが設けられる。第一の感
光性樹脂１２ａのインク流路または圧力室にあたる部分
を露光後、未露光の第一の感光性樹脂層を除去して固体
層１３１とする。次に、図１４に示すように前記固体層
１３１を覆うように第二の感光性樹脂１２ｂと第二の基
板６１を積層し、第二の感光性樹脂の樹脂のインク流路
壁または圧力室壁に当たる部分を露光後、未露光の第二
の感光性樹脂層を除去してインク流路壁または圧力室壁
を得る。次に、図１５に示すように固体層１３１を除去
してインクジェットヘッドを得る。Further, in JP-A-3-183559, a second photosensitive resin is laminated so as to cover the cured first photosensitive resin layer to form an ink flow path wall or a pressure chamber wall, A method of manufacturing an inkjet head is disclosed in which the first photosensitive resin is removed to form an ink flow path or a pressure chamber wall. The method will be described with reference to FIGS. 13 to 15. The substrate 11 is made of glass, plastic, ceramic,
It is made of an appropriate material such as metal and functions as one wall surface of the ink flow path and the pressure chamber. Substrate 1 as shown in FIG.
An energy generator 73 that generates energy used to eject ink from a nozzle is provided on the substrate 1. Then, the substrate 11 provided with the energy generator 73 is provided.
A first photosensitive resin layer 12a is provided on the top. After exposing a portion of the first photosensitive resin 12a corresponding to the ink flow path or the pressure chamber, the unexposed first photosensitive resin layer is removed to form a solid layer 131. Next, as shown in FIG. 14, the second photosensitive resin 12b and the second substrate 61 are laminated so as to cover the solid layer 131, and the ink flow path wall or pressure chamber of the resin of the second photosensitive resin is laminated. After exposing the portion corresponding to the wall, the unexposed second photosensitive resin layer is removed to obtain an ink channel wall or a pressure chamber wall. Next, as shown in FIG. 15, the solid layer 131 is removed to obtain an inkjet head.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】高密度なノズル配置の
インクジェットヘッドの場合、圧力室の間隔が狭くなる
ため、必要な圧力室容積を得るためには圧力室の高さを
高くすることが重要である。もし圧力室容積が不充分で
あると、インク吐出時のインク量が少なくなるため、記
録媒体上で１記録ドット当りの面積が小さくなり必要な
面積を得るためには重ね打ちなどをしなければならず印
字速度が遅くなる、また、圧力室へのインクの供給が不
安定となりインク吐出特性が不安定となる、等の課題を
生じる。しかし、圧力室の高さを高くするため感光性樹
脂層の厚さを厚くすると、露光時に感光性樹脂層の上面
から底面まで均一に光が到達しない。そのため、露光条
件を感光性樹脂層の上面で最適となるように設定すると
図１６に示すように感光性樹脂層の底面では光が減衰し
て露光量不足となり、硬化が十分に進行しない。この状
態で未露光の感光性樹脂層を除去すると図１７に示すよ
うに感光性樹脂層は底面に近付くほど断面積が小さくな
る形状となる。このため圧力室が精度良く形成できずイ
ンク吐出特性が不安定となり、また、基板との接合面積
が小さくなるため基板と感光性樹脂層がはがれやすくな
る、という課題が生じる。逆に、露光条件を感光性樹脂
層の底面で最適となるように設定すると図１８に示すよ
うに感光性樹脂層の上面では光の回折により硬化部分が
大きくなる。この状態で未露光の感光性樹脂層を除去す
ると図１９に示すように感光性樹脂層の上面では断面積
が大きくなる形状となる。このため圧力室が精度良く形
成できずインク吐出特性が不安定となる、という課題が
生じる。In the case of an ink jet head having a high-density nozzle arrangement, the space between the pressure chambers becomes narrow, so it is important to increase the height of the pressure chambers in order to obtain the required pressure chamber volume. Is. If the volume of the pressure chamber is insufficient, the amount of ink at the time of ink ejection will be small, so the area per recording dot on the recording medium will be small, and in order to obtain the required area, it is necessary to perform overprinting. However, there are problems such as slower printing speed, unstable ink supply to the pressure chambers, and unstable ink ejection characteristics. However, when the thickness of the photosensitive resin layer is increased in order to increase the height of the pressure chamber, light does not uniformly reach from the top surface to the bottom surface of the photosensitive resin layer during exposure. Therefore, if the exposure conditions are set to be optimal on the upper surface of the photosensitive resin layer, light is attenuated on the bottom surface of the photosensitive resin layer as shown in FIG. 16, and the exposure amount becomes insufficient, so that the curing does not proceed sufficiently. When the unexposed photosensitive resin layer is removed in this state, as shown in FIG. 17, the photosensitive resin layer has a shape in which the cross-sectional area becomes smaller as it approaches the bottom surface. Therefore, the pressure chamber cannot be formed accurately, the ink ejection characteristics become unstable, and the bonding area between the substrate and the substrate becomes small, so that the substrate and the photosensitive resin layer are easily peeled off. On the contrary, if the exposure conditions are set to be optimum on the bottom surface of the photosensitive resin layer, the cured portion becomes large on the upper surface of the photosensitive resin layer due to light diffraction, as shown in FIG. If the unexposed photosensitive resin layer is removed in this state, the cross-sectional area becomes large on the upper surface of the photosensitive resin layer as shown in FIG. Therefore, there is a problem that the pressure chamber cannot be accurately formed and the ink ejection characteristics become unstable.
【０００５】本発明はこの課題を解決するものであり、
その目的とするところは、高密度なノズル配置を行った
ときでも必要な圧力室容積が得られるように圧力室の高
さを高くできるインクジェットヘッドの製造方法を提供
することである。The present invention is to solve this problem.
It is an object of the invention to provide a method for manufacturing an ink jet head in which the height of the pressure chamber can be increased so that a required pressure chamber volume can be obtained even when a high-density nozzle arrangement is performed.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドの製造方法は、少なくとも１つの壁面が感光性樹
脂によって形成されたインクを吐出するための圧力室を
有するインクジェットヘッドの製造方法において、
（ａ）感光性樹脂層を形成する工程と、（ｂ）前記感光
性樹脂層の必要部分を露光する工程と、（ｃ）前記感光
性樹脂層の未露光部分を除去する工程と、を含み、前記
工程（ａ）と前記工程（ｂ）を繰り返して前記感光性樹
脂層が所望の厚さにし、その後に工程（ｃ）を行うこと
を特徴とする。The method of manufacturing an ink jet head according to the present invention is a method of manufacturing an ink jet head having at least one wall surface having a pressure chamber for ejecting ink formed of a photosensitive resin,
(A) forming a photosensitive resin layer; (b) exposing a required portion of the photosensitive resin layer; and (c) removing an unexposed portion of the photosensitive resin layer. The step (a) and the step (b) are repeated until the photosensitive resin layer has a desired thickness, and then the step (c) is performed.
【０００７】[0007]
【作用】本発明は以上の工程により、感光性樹脂層の底
面の硬化が充分に進行したのちに、光の回折により硬化
部分が大きくならないように感光性樹脂層の上面を露光
する。感光性樹脂層の上面の反応により光が減衰して底
面に到達しても既に底面の硬化は十分に進行しているた
め上面から底面まで均一に硬化が行われ、圧力室壁が精
度良く形成できる。また、感光性樹脂の底面は露光が繰
り返されるが底面には上面の反応によって減衰した光が
到達するため反応過多による精度への影響は無視できる
ほど小さい。According to the present invention, after the bottom surface of the photosensitive resin layer is sufficiently cured by the above steps, the upper surface of the photosensitive resin layer is exposed so that the cured portion does not become large due to the diffraction of light. Even if the light is attenuated by the reaction of the upper surface of the photosensitive resin layer and reaches the bottom surface, the curing of the bottom surface has already progressed sufficiently so that it is uniformly cured from the top surface to the bottom surface, and the pressure chamber wall is accurately formed. it can. Further, the exposure of the bottom surface of the photosensitive resin is repeated, but since light attenuated by the reaction of the top surface reaches the bottom surface, the influence on the accuracy due to excessive reaction is negligibly small.
【０００８】[0008]
【実施例】以下に具体例をあげて本発明の説明をする
が、これに限定されるものではない。The present invention will be described below with reference to specific examples, but the present invention is not limited thereto.
【０００９】まず、図１に示すようにガラス、プラスチ
ック、セラミック、金属等の内の適切な材質からなる第
一の基板１１の表面を洗浄、乾燥したのち、感光性樹脂
層１２ａを形成する。ここで用いられる感光性樹脂は、
液体状またはフィルム状、ポジ型またはネガ型の別を問
わず、公知の感光性樹脂が使用できる。また、感光性樹
脂層の形成方法としてはロールコーター、スピンコータ
ー、スプレーコーター、熱圧力ローラーラミネーター等
の公知の方法で形成できる。これらのうち、作業性や層
厚の均一性等の点からドライフィルムフォトレジストを
熱圧力ローラーラミネーターで貼り合わせる方法が好ま
しい。本実施例では、感光性樹脂層にネガ型ドライフィ
ルムフォトレジストを用いたものを説明する。First, as shown in FIG. 1, the surface of the first substrate 11 made of an appropriate material such as glass, plastic, ceramic, metal, etc. is washed and dried, and then a photosensitive resin layer 12a is formed. The photosensitive resin used here is
Well-known photosensitive resins can be used regardless of whether they are liquid type or film type, positive type or negative type. The photosensitive resin layer can be formed by a known method such as a roll coater, a spin coater, a spray coater, or a hot pressure roller laminator. Among these, a method of laminating a dry film photoresist with a hot pressure roller laminator is preferable from the viewpoints of workability and uniformity of layer thickness. In this embodiment, a negative type dry film photoresist is used for the photosensitive resin layer.
【００１０】次に、図２に示すように感光性樹脂層１２
ａ上に所定のパターンを有するマスク２１を重ね合わせ
たのち、光源２２によって露光を行う。第一の基板１１
とマスク２１は公知の手法によって位置合わせを行う。
この工程により感光性樹脂層１２ａは硬化部２３と可溶
化部２４とに分かれる。Next, as shown in FIG. 2, the photosensitive resin layer 12 is formed.
After a mask 21 having a predetermined pattern is superposed on a, exposure is performed by a light source 22. First substrate 11
The mask 21 and the mask 21 are aligned by a known method.
By this step, the photosensitive resin layer 12a is divided into a curing portion 23 and a solubilizing portion 24.
【００１１】次に図３に示すように露光工程が済んだ感
光性樹脂層１２ａの上に新たな感光性樹脂層１２ｂを形
成する。感光性樹脂層の形成方法は図１で形成した感光
性樹脂層の形成方法と同じでよい。Next, as shown in FIG. 3, a new photosensitive resin layer 12b is formed on the photosensitive resin layer 12a after the exposure process. The method for forming the photosensitive resin layer may be the same as the method for forming the photosensitive resin layer formed in FIG.
【００１２】次に、図４に示すように図２と同じ手法に
よって露光を行う。このとき、ネガ型の感光性樹脂を用
いた場合、感光性樹脂層１２ａは二重に露光されるが、
感光性樹脂層１２ｂで反応した後の減衰した光が到達す
るため精度には影響しない。この感光性樹脂層形成と露
光の工程を、所望の厚さの感光性樹脂層が得られるまで
繰り返したのち感光性樹脂層の可溶化部２４を現像液を
用いて溶解除去する。現像液は感光性樹脂の種類に対応
した公知の現像液が使用できる。図５では感光性樹脂層
形成と露光の工程を４回繰り返したのちに現像の工程を
行った場合を示している。Next, as shown in FIG. 4, exposure is performed by the same method as in FIG. At this time, when the negative type photosensitive resin is used, the photosensitive resin layer 12a is double exposed.
Since the light attenuated after reacting in the photosensitive resin layer 12b arrives, the accuracy is not affected. The steps of forming the photosensitive resin layer and exposing are repeated until a photosensitive resin layer having a desired thickness is obtained, and then the solubilized portion 24 of the photosensitive resin layer is dissolved and removed using a developing solution. As the developer, a known developer corresponding to the type of photosensitive resin can be used. FIG. 5 shows the case where the step of developing is performed after repeating the steps of forming the photosensitive resin layer and exposing four times.
【００１３】次に、図６に示すようにガラス、プラスチ
ック、セラミック、金属等のうちの適切な材質からなる
第二の基板６１の表面を洗浄、乾燥したのち、公知の方
法によって感光性樹脂の硬化部２３と接合する。この、
感光性樹脂の硬化部２３と第一の基板１１と第二の基板
６１によってなる空間を圧力室とする。Next, as shown in FIG. 6, the surface of the second substrate 61 made of an appropriate material such as glass, plastic, ceramic, metal, etc. is washed and dried, and then the photosensitive resin is removed by a known method. It is joined to the hardened portion 23. this,
A space formed by the cured portion 23 of the photosensitive resin, the first substrate 11, and the second substrate 61 is used as a pressure chamber.
【００１４】図７は本実施例によって得られたインクジ
ェットヘッドの斜視図である。供給口７１は圧力室の感
光性樹脂の硬化部２３に設けられた場合を示している。
ノズル７２は第二の基板６１に設けられた場合を示して
いる。エネルギー発生体７３は第一の基板１１に設けら
れた場合を示している。FIG. 7 is a perspective view of the ink jet head obtained in this embodiment. The supply port 71 is provided in the case where the photosensitive resin curing portion 23 of the pressure chamber is provided.
The nozzle 72 is shown provided on the second substrate 61. The energy generator 73 is shown as being provided on the first substrate 11.
【００１５】また、所望の厚さの感光性樹脂層の現像工
程が終了したのち（図５の状態）、図８に示すように感
光性樹脂を除去した部分に圧力室壁材料８１を形成し、
図９に示すように公知の感光性樹脂剥離液を用いて感光
性樹脂の硬化部２３を溶解除去する。圧力室壁材料８１
の形成方法は、金属の電解メッキによる方法が好まし
い。そして、図１０に示すように第二の基板６１を接合
し、圧力室を形成する方法も可能である。After the development process of the photosensitive resin layer having a desired thickness is completed (state of FIG. 5), the pressure chamber wall material 81 is formed on the portion where the photosensitive resin is removed as shown in FIG. ,
As shown in FIG. 9, the cured portion 23 of the photosensitive resin is dissolved and removed using a known photosensitive resin stripping solution. Pressure chamber wall material 81
The method for forming is preferably a method using electrolytic plating of metal. Then, as shown in FIG. 10, a method of joining the second substrate 61 to form the pressure chamber is also possible.
【００１６】［実施例］ニッケル基板上にネガ型ドライ
フィルムフォトレジスト（商品名「オーディル」、東京
応化工業、厚さ５５μｍ）を熱圧力ローラーラミネータ
ーを用いて８０〜１００℃の温度、３０〜４０ｃｍ／分
の送り速度、１〜３ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で貼り合わせ
る。次に、マスクを重ね合わせたのち、超高圧水銀灯を
用いて７０ｍＪ／ｃｍ2 の光量で露光を行う。この貼り
合わせと露光を合計４回繰り返したのち、１，１，１−
トリクロロエタンをスプレーを用いて吹き付け、未露光
部分を除去した。次にノズルを有するステンレス基板を
ドライフィルムフォトレジストの硬化部分と接合した。
次に、ニッケル基板にエネルギー発生体として圧電素子
を接合した。このようにして得られたインクジェットヘ
ッドは純水：エタノール：グリセリン：染料＝９０：
４：４：２（重量比）からなるインクジェットインクを
用いて印字を行ったところ、インク吐出速度＝９〜１０
ｍ／秒、インク重量＝０．１０〜０．１２μｇであり高
速で高濃度な印字が安定して行うことができた。また、
得られたインクジェットヘッドの圧力室高さは約２００
μｍ、圧力室幅はニッケル基板側で約９８μｍ、ステン
レス基板側で約１００μｍであった。[Example] A negative dry film photoresist (trade name "Audil", Tokyo Ohka Kogyo, thickness 55 μm) was applied on a nickel substrate using a hot pressure roller laminator at a temperature of 80 to 100 ° C. and 30 to 40 cm. Lamination is performed at a feed rate of 1 / min and a pressure of 1 to 3 kg / cm 2 . Next, after overlaying the masks, exposure is performed with an ultrahigh pressure mercury lamp at a light amount of 70 mJ / cm 2 . After this bonding and exposure are repeated four times in total, 1,1,1-
Trichloroethane was sprayed on using a spray to remove the unexposed areas. Next, a stainless substrate having a nozzle was bonded to the cured portion of the dry film photoresist.
Next, a piezoelectric element was bonded to the nickel substrate as an energy generator. The ink jet head thus obtained has pure water: ethanol: glycerin: dye = 90:
When printing was performed using an inkjet ink composed of 4: 4: 2 (weight ratio), the ink ejection speed was 9 to 10.
m / sec and ink weight = 0.10 to 0.12 μg, and high-speed and high-density printing could be stably performed. Also,
The pressure chamber height of the obtained inkjet head is about 200.
The pressure chamber width was about 98 μm on the nickel substrate side and about 100 μm on the stainless steel substrate side.
【００１７】［比較例］ニッケル基板上にネガ型ドライ
フィルムフォトレジスト（商品名「オーディル」、東京
応化工業、厚さ５５μｍ）を熱圧力ローラーラミネータ
ーを用いて８０〜１００℃の温度、３０〜４０ｃｍ／分
の送り速度、１〜３ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で貼り合わせ
る。次に、この貼り合わせを４回繰り返したのち、マス
クを重ね合わせ、超高圧水銀灯を用いて９０ｍＪ／ｃｍ
2 の光量で露光を行う。次に１，１，１−トリクロロエ
タンをスプレーを用いて吹き付け、未露光部分を除去し
た。次にノズルを有するステンレス基板をドライフィル
ムフォトレジストの硬化部分と接合した。次に、ニッケ
ル基板にエネルギー発生体として圧電素子を接合した。
このようにして得られたインクジェットヘッドは実施例
と同じ組成のインクジェットインクを用いて印字を行っ
たところ、インク吐出速度＝５〜１０ｍ／秒、インク重
量＝０．０５〜０．１０μｇであり吐出特性が不安定で
あった。得られたインクジェットヘッドは圧力室高さが
約２００μｍ、圧力室幅はニッケル基板側で約８０〜９
０μｍ、ステンレス基板側で約１００μｍであった。Comparative Example A negative dry film photoresist (trade name “Audyl”, Tokyo Ohka Kogyo, thickness 55 μm) was placed on a nickel substrate using a hot pressure roller laminator at a temperature of 80 to 100 ° C. and 30 to 40 cm. Lamination is performed at a feed rate of 1 / min and a pressure of 1 to 3 kg / cm 2 . Next, after repeating this bonding four times, the masks are overlapped and 90 mJ / cm 2 using an ultra-high pressure mercury lamp.
Exposure is performed with a light amount of 2 . Next, 1,1,1-trichloroethane was sprayed using a spray to remove the unexposed portion. Next, a stainless substrate having a nozzle was bonded to the cured portion of the dry film photoresist. Next, a piezoelectric element was bonded to the nickel substrate as an energy generator.
When the ink jet head thus obtained was printed using the ink jet ink having the same composition as in the example, the ink jet speed was 5 to 10 m / sec, and the ink weight was 0.05 to 0.10 μg. The characteristics were unstable. The obtained ink jet head has a pressure chamber height of about 200 μm and a pressure chamber width of about 80 to 9 on the nickel substrate side.
It was 0 μm and was about 100 μm on the stainless steel substrate side.
【００１８】[0018]
【発明の効果】以上述べたように、本発明のインクジェ
ツトヘッドの製造方法は、（ａ）感光性樹脂層を形成す
る工程と、（ｂ）前記感光性樹脂層の必要部分を露光す
る工程と、（ｃ）前記感光性樹脂層の未露光部分を除去
する工程と、を含み、前記感光性樹脂層が所望の厚さに
なるまで工程（ａ）と工程（ｂ）を繰り返し、次いで工
程（ｃ）を行う。このため、厚い感光性樹脂層の上面か
ら底面まで均一な反応が行われる。そのため、圧力室壁
の高さを大きくしても精度良く形成することができる。
よって、インク吐出特性の安定した多ノズルかつ高密度
のインクジェットヘッドが容易に製造でき、高精細な印
字物を高速に提供できるという利点を有している。As described above, in the method of manufacturing an ink jet head of the present invention, (a) a step of forming a photosensitive resin layer, and (b) a step of exposing a necessary portion of the photosensitive resin layer. And (c) a step of removing an unexposed portion of the photosensitive resin layer, the step (a) and the step (b) are repeated until the photosensitive resin layer has a desired thickness, and then the step Perform (c). Therefore, a uniform reaction is performed from the top surface to the bottom surface of the thick photosensitive resin layer. Therefore, the pressure chamber wall can be accurately formed even if the height of the pressure chamber wall is increased.
Therefore, there is an advantage that a multi-nozzle and high-density ink jet head having stable ink ejection characteristics can be easily manufactured and a high-definition printed matter can be provided at high speed.
【図１】感光性樹脂層を形成した第一の基板の模式的断
面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a first substrate on which a photosensitive resin layer is formed.
【図２】図１に続く工程で、感光性樹脂層の上にマスク
を重ね合わせ感光性樹脂を露光した第一の基板の模式的
断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a first substrate in which a mask is overlaid on a photosensitive resin layer and the photosensitive resin is exposed in the process subsequent to FIG.
【図３】図２に続く工程で、露光した感光性樹脂の上に
更に感光性樹脂を形成した第一の基板の模式的断面図で
ある。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a first substrate in which a photosensitive resin is further formed on the exposed photosensitive resin in the process subsequent to FIG.
【図４】図３に続く工程で、感光性樹脂層の上にマスク
を重ね合わせ感光性樹脂を露光した第一の基板の模式的
断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the first substrate in which a mask is overlaid on the photosensitive resin layer and the photosensitive resin is exposed in the process subsequent to FIG.
【図５】所望の厚さまで感光性樹脂の積層と露光を繰り
返したのち現像を行った第一の基板の模式的断面図であ
る。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a first substrate that has undergone development after repeating lamination and exposure of photosensitive resins to a desired thickness.
【図６】図５に続く工程で、感光性樹脂の硬化部に第二
の基板を接合した第一の基板の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of the first substrate in which the second substrate is bonded to the cured portion of the photosensitive resin in the process subsequent to FIG.
【図７】本発明の製造方法によって製造されたインクジ
ェットヘッドの模式的斜視図である。FIG. 7 is a schematic perspective view of an inkjet head manufactured by the manufacturing method of the present invention.
【図８】図５に続く工程で、圧力室壁材料を形成した第
一の基板の模式的断面図である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of a first substrate on which a pressure chamber wall material is formed in the step following FIG.
【図９】図８に続く工程で、感光性樹脂の硬化部を除去
した第一の基板の模式的断面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of the first substrate from which the cured portion of the photosensitive resin has been removed in the step following FIG.
【図１０】図９に続く工程で、圧力室壁材料に第二の基
板を接合した第一の基板の模式的断面図である。10 is a schematic cross-sectional view of the first substrate in which the second substrate is bonded to the pressure chamber wall material in the process subsequent to FIG.
【図１１】従来の技術によるインクジェットヘッドの例
の斜視図である。FIG. 11 is a perspective view of an example of an inkjet head according to the related art.
【図１２】従来の技術によるインクジェットヘッドの他
の例の斜視図である。FIG. 12 is a perspective view of another example of the conventional inkjet head.
【図１３】従来の技術によるインクジェットヘッドの製
造方法を示す例の模式的断面図である。FIG. 13 is a schematic cross-sectional view of an example showing a method of manufacturing an inkjet head according to a conventional technique.
【図１４】図１３に続く工程で、従来の技術によるイン
クジェットヘッドの製造方法を示す例の模式的断面図で
ある。FIG. 14 is a schematic cross-sectional view of an example showing a method of manufacturing an inkjet head according to a conventional technique in the process following FIG.
【図１５】図１４に続く工程で、従来の技術によるイン
クジェットヘッドの製造方法を示す例の模式的断面図で
ある。FIG. 15 is a schematic cross-sectional view of an example showing a method for manufacturing an inkjet head according to a conventional technique in the process following FIG.
【図１６】従来の技術を用いて厚い感光性樹脂層を露光
した時の感光性樹脂層の模式的断面図である。FIG. 16 is a schematic cross-sectional view of a photosensitive resin layer when a thick photosensitive resin layer is exposed using a conventional technique.
【図１７】図１６に続く工程で、従来の技術を用いて厚
い感光性樹脂層を現像した時の感光性樹脂層の模式的断
面図である。FIG. 17 is a schematic cross-sectional view of a photosensitive resin layer when a thick photosensitive resin layer is developed using a conventional technique in the step following FIG.
【図１８】従来の技術を用いて厚い感光性樹脂層を露光
した時の感光性樹脂層の他の例の模式的断面図である。FIG. 18 is a schematic cross-sectional view of another example of the photosensitive resin layer when the thick photosensitive resin layer is exposed by using the conventional technique.
【図１９】図１８に続く工程で、従来の技術を用いて厚
い感光性樹脂層を現像した時の感光性樹脂層の他の例の
模式的断面図である。FIG. 19 is a schematic cross-sectional view of another example of the photosensitive resin layer when the thick photosensitive resin layer is developed using the conventional technique in the step following FIG.
１１ 第一の基板 １２ａ、１２ｂ 感光性樹脂層 ２１ マスク ２２ 光源 ６１ 第二の基板 ７１ 供給口 ７２ ノズル ７３ エネルギー発生体 11 First Substrate 12a, 12b Photosensitive Resin Layer 21 Mask 22 Light Source 61 Second Substrate 71 Supply Port 72 Nozzle 73 Energy Generator
Claims (1)
って形成されたインクを吐出するための圧力室を有する
インクジェットヘッドの製造方法において、（ａ）感光
性樹脂層を形成する工程と、（ｂ）前記感光性樹脂層の
必要部分を露光する工程と、（ｃ）前記感光性樹脂層の
未露光部分を除去する工程と、を含み、前記工程（ａ）
と前記工程（ｂ）を繰り返して前記感光性樹脂層が所望
の厚さにし、その後に工程（ｃ）を行うことを特徴とす
るインクジェットヘッドの製造方法。1. A method of manufacturing an ink jet head, wherein at least one wall surface has a pressure chamber for ejecting ink formed of a photosensitive resin, (a) forming a photosensitive resin layer, and (b) The step (a) including the step of exposing a necessary portion of the photosensitive resin layer to light and (c) the step of removing the unexposed portion of the photosensitive resin layer.
And the step (b) are repeated to make the photosensitive resin layer have a desired thickness, and then the step (c) is performed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25143192A JPH0699582A (en) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | Production of ink jet head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25143192A JPH0699582A (en) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | Production of ink jet head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0699582A true JPH0699582A (en) | 1994-04-12 |
Family
ID=17222744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25143192A Pending JPH0699582A (en) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | Production of ink jet head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0699582A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002019121A (en) * | 2000-07-10 | 2002-01-23 | Canon Inc | Ink jet recording head and its manufacturing method |
-
1992
- 1992-09-21 JP JP25143192A patent/JPH0699582A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002019121A (en) * | 2000-07-10 | 2002-01-23 | Canon Inc | Ink jet recording head and its manufacturing method |
| JP4592038B2 (en) * | 2000-07-10 | 2010-12-01 | キヤノン株式会社 | Method for manufacturing ink jet recording head |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3833989B2 (en) | Inkjet printhead manufacturing method | |
| CN101316713B (en) | Liquid discharge head producing method | |
| JPH0698762B2 (en) | Method for manufacturing heated ink jet print head | |
| JPH091809A (en) | Manufacture of ink jet head and ink jet head | |
| US4752787A (en) | Liquid jet recording head | |
| JP2007237450A (en) | Inkjet recording head and its manufacturing method | |
| KR101327674B1 (en) | Method for manufacturing liquid ejection head | |
| JP4095368B2 (en) | Method for producing ink jet recording head | |
| CN102398423A (en) | Method of producing liquid ejection head | |
| US5915763A (en) | Orifice plate and an ink jet recording head having the orifice plate | |
| JP7134831B2 (en) | Manufacturing method of liquid ejection head | |
| JP2006137065A (en) | Manufacturing method for liquid ejection head | |
| JPH0699582A (en) | Production of ink jet head | |
| JP3077444B2 (en) | Ink jet head and method of manufacturing the same | |
| JP3652022B2 (en) | Ink jet recording head and method of manufacturing ink jet recording head | |
| JP2008030272A (en) | Inkjet recording head, and its manufacturing method | |
| US6684504B2 (en) | Method of manufacturing an imageable support matrix for printhead nozzle plates | |
| JPH106512A (en) | Manufacture of ink jet recording head | |
| JP2004050524A (en) | Process for manufacturing liquid ejection head | |
| JPH03184869A (en) | Production of liquid jet recording head | |
| JPH08118657A (en) | Formation of resist pattern and production of ink jet nozzle plate | |
| JP3460421B2 (en) | Method of manufacturing inkjet head | |
| JPH11105297A (en) | Ink-jet head and production method thereof | |
| JPH08258275A (en) | Production of liquid jet recording head | |
| JPH06255113A (en) | Production of ink jet head |