JPH0694750A - Mounting device for contact probe pin - Google Patents
Mounting device for contact probe pinInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、例えば混成集積回路
のランドの電気的特性を測定するコンタクトプローブピ
ンの取付装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a contact probe pin mounting device for measuring electrical characteristics of a land of, for example, a hybrid integrated circuit.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図２０は従来のコンタクトプローブピン
の取付装置を示す正面図、図２１は図２０のコンタクト
プローブピンを被測定物にコンタクトさせた状態を示す
正面図、図２２は図２０におけるコンタクトプローブピ
ン取付部の断面図、図２３は図２２のコンタクトプロー
ブピンの断面図である。図において、１は昇降動作可能
なプローブピン取付固定用のプローブカード、１ａは前
記プローブカード１に設けられたソケット取付孔、２は
そのソケット取付孔１ａに着脱可能に挿入固定されたプ
ローブソケットであり、このプローブソケット２は有蓋
筒状をなして下端開口縁部に外向鍔部２ａを有してい
る。20 is a front view showing a conventional contact probe pin mounting device, FIG. 21 is a front view showing a state in which the contact probe pin of FIG. 20 is brought into contact with an object to be measured, and FIG. 22 is shown in FIG. FIG. 23 is a sectional view of the contact probe pin mounting portion, and FIG. 23 is a sectional view of the contact probe pin of FIG. In the figure, 1 is a probe card for mounting and fixing a probe pin which can be moved up and down, 1a is a socket mounting hole provided in the probe card 1, and 2 is a probe socket which is detachably inserted and fixed in the socket mounting hole 1a. The probe socket 2 has a cylindrical shape with a lid and has an outward flange portion 2a at the edge of the lower end opening.
【０００３】３は前記プローブカード２に差し込み保持
されるプローブピン、４はそのプローブピン３が軸方向
へ摺動可能に嵌挿された外筒、４ａはこの外筒４の内周
面に突出形成されて前記プローブピン３の前進移動を規
制するストッパ段部、５は前記外筒４に内蔵されて前記
プローブピン３を前進方向に付勢しているスプリングで
あり、このスプリング５と前記プローブピン３との間に
は鋼球６が介在させてある。Reference numeral 3 denotes a probe pin which is inserted and held in the probe card 2. Reference numeral 4 denotes an outer cylinder into which the probe pin 3 is slidably fitted in the axial direction. Reference numeral 4a projects to an inner peripheral surface of the outer cylinder 4. Stopper steps 5 formed to regulate the forward movement of the probe pin 3 are springs that are built in the outer cylinder 4 and urge the probe pin 3 in the forward direction. A steel ball 6 is interposed between the pin 3 and the pin 3.
【０００４】このようにして、前記プローブピン３と外
筒４およびスプリング５ならびに鋼球６は１つにユニッ
ト化され、前記外筒４が前記プローブソケット２内に下
端開口側から着脱可能に差し込み固定されることによっ
て、前記プローブピン３が前記プローブカード１に取り
付けられている。In this way, the probe pin 3, the outer cylinder 4, the spring 5 and the steel ball 6 are unitized into one unit, and the outer cylinder 4 is removably inserted into the probe socket 2 from the lower end opening side. By being fixed, the probe pin 3 is attached to the probe card 1.
【０００５】図２１において、７は例えば混成集積回路
から成る被測定物であり、この被測定物７は段差状に形
成されている。８ａは前記被測定物７の高位表面に一体
形成された高位のランド、８ｂは前記被測定物７の低位
表面に一体形成された低位のランドであり、これらのラ
ンド８ａ，８ｂは電気的特性を有しており、それらの電
気的特性が前記プローブピン３によって測定されるもの
である。In FIG. 21, 7 is an object to be measured which is composed of, for example, a hybrid integrated circuit, and the object to be measured 7 is formed in a stepped shape. 8a is a high-level land integrally formed on the high-level surface of the DUT 7, 8b is a low-level land integrally formed on the low-level surface of the DUT 7, and these lands 8a and 8b are electrical characteristics. And the electrical characteristics thereof are measured by the probe pin 3.
【０００６】次に動作について説明する。まず、図２０
に示すように、プローブカード１のソケット取付孔１
ａ，１ａにプローブソケット２，２を挿入固定した後、
これらのプローブソケット２，２内にプローブピン３，
３の外筒４，４を差し込み保持させる。この状態におい
て、前記プローブピン３，３は前記プローブカード１か
らの突き出し距離（突き出し量）Ｌ１，Ｌ２が等しい長
さとなっている。Next, the operation will be described. First, FIG.
As shown in, the socket mounting hole 1 of the probe card 1
After inserting and fixing the probe sockets 2 and 2 in a and 1a,
In these probe sockets 2, 2, the probe pins 3,
The outer cylinders 4 and 4 of 3 are inserted and held. In this state, the probe pins 3 and 3 have the same protrusion distances L1 and L2 from the probe card 1.
【０００７】次いで、プローブカード１を下降作動させ
ることにより、プローブピン３，３を被測定物７のラン
ド８ａ，８ｂに接触させ、該接触時に前記プローブピン
３，３の接触荷重が最適になるように前記プローブカー
ド１の位置を調整し、該調整後の前記ランド８ａ，８ｂ
に対するプローブピン３，３の接触によって前記ランド
８ａ，８ｂの電気的特性が測定される。Next, the probe card 1 is lowered to bring the probe pins 3 and 3 into contact with the lands 8a and 8b of the DUT 7, and the contact load of the probe pins 3 and 3 is optimized at the time of contact. Position of the probe card 1 as described above, and the lands 8a and 8b after the adjustment are adjusted.
The electrical characteristics of the lands 8a, 8b are measured by the contact of the probe pins 3, 3 with respect to.
【０００８】このような測定時、即ち、前記プローブピ
ン３，３が前記被測定物７のランド８ａ，８ｂに接触し
た状態（図２１の状態）において、前記プローブカード
１からのプローブピン３，３の突き出し量Ｌ１，Ｌ２
は、被測定物７が段差状に形成されているため、Ｌ１＜
Ｌ２となっている。At the time of such measurement, that is, when the probe pins 3 and 3 are in contact with the lands 8a and 8b of the object 7 to be measured (state of FIG. 21), the probe pins 3 from the probe card 1 are measured. 3 protrusion amount L1, L2
Means that the object to be measured 7 is formed in a step shape, so that L1 <
It is L2.
【０００９】従って、被測定物７の高位ランド８ａに接
触しているプローブピン３は、低位ランド８ｂに接触し
ているプローブピン３に比してスプリング５（図２３参
照）による付勢力が大きくなっている。Therefore, the probe pin 3 in contact with the high-level land 8a of the object 7 to be measured has a larger biasing force by the spring 5 (see FIG. 23) than the probe pin 3 in contact with the low-level land 8b. Has become.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】従来のコンタクトプロ
ーブピンの取付装置は以上にように構成されているの
で、プローブカード１に取付けセットされた複数本のプ
ローブピン３は前記プローブカード１からのピン突き出
し量Ｌ１，Ｌ２がそれぞれ一定となって、それらのピン
突き出し量Ｌ１，Ｌ２を個々に調整できないため、測定
対象のランド８ａ，８ｂが段差状に形成されて高さの異
なった位置にある被測定物４にコンタクトを行った際、
前記ランド８ａ，８ｂのそれぞれに接触することによる
プローブピン３，３のスプリング５に抗した沈み込む量
が一定とならず、従って、前記各ランド８ａ，８ｂに対
する前記プローブピン３，３の接触荷重が異なってそれ
らの接触抵抗にバラツキが生じ、前記各プローブピン
３，３の最適な接触荷重が一様に得られず、測定機能上
の信頼性が得難いという問題点があった。Since the conventional contact probe pin mounting device is constructed as described above, the plurality of probe pins 3 mounted and set on the probe card 1 are the pins from the probe card 1. Since the protrusion amounts L1 and L2 are constant and the pin protrusion amounts L1 and L2 cannot be adjusted individually, the lands 8a and 8b to be measured are formed in a stepped shape and are located at positions having different heights. When contacting the object to be measured 4,
The amount of depression of the probe pins 3, 3 against the spring 5 due to contact with each of the lands 8a, 8b is not constant, and therefore the contact load of the probe pins 3, 3 with respect to each of the lands 8a, 8b. However, there is a problem in that the contact resistances of the probe pins 3 and 3 are different from each other, and the optimum contact loads of the probe pins 3 and 3 cannot be uniformly obtained, which makes it difficult to obtain a reliable measurement function.
【００１１】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、プローブカードからのプローブ
ピンの突き出し量を調整できるようにして、被測定物に
コンタクトした際、該被測定物の測定ランドに対するプ
ローブピンの最適な接触荷重を一様に得ることができ、
信頼性の向上が図れるコンタクトプローブピンの取付装
置を得ることを目的とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is possible to adjust the protrusion amount of the probe pin from the probe card so that the object to be measured is contacted with the object to be measured. It is possible to uniformly obtain the optimum contact load of the probe pin for the measurement land of
An object of the present invention is to obtain a contact probe pin mounting device that can improve reliability.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るコ
ンタクトプローブピンの取付装置は、プローブピンをプ
ローブソケットに対し、プローブカードからのピン突き
出し量が調整可能に取り付けたものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a contact probe pin attaching device, wherein a probe pin is attached to a probe socket such that a protruding amount of the pin from a probe card can be adjusted.
【００１３】請求項２の発明に係るコンタクトプローブ
ピンの取付装置は、プローブソケットに、該プローブソ
ケット内に対するプローブピンの挿入量を調整するため
の調整子を設けたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a contact probe pin attaching device, wherein the probe socket is provided with an adjuster for adjusting the insertion amount of the probe pin into the probe socket.
【００１４】[0014]
【作用】請求項１の発明におけるコンタクトプローブピ
ンの取付装置では、プローブソケットからのプローブピ
ンの突き出し量を調整することにより、被測定物の測定
ランドに対するプローブピンの最適接触荷重を得ること
ができて信頼性が向上する。In the contact probe pin mounting device according to the first aspect of the present invention, the optimum contact load of the probe pin with respect to the measurement land of the object to be measured can be obtained by adjusting the protruding amount of the probe pin from the probe socket. Reliability is improved.
【００１５】請求項２の発明におけるコンタクトプロー
ブピンの取付装置では、調整子によりプローブソケット
内に対するプローブピンの挿入量を調整することによっ
て、プローブカードからのプローブピンの突き出し量を
調整できる。In the contact probe pin attaching device according to the second aspect of the present invention, the amount of protrusion of the probe pin from the probe card can be adjusted by adjusting the amount of insertion of the probe pin into the probe socket by the adjuster.
【００１６】[0016]
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１はこの発明の実施例１によるコンタクトプロ
ーブピンの取付装置を示す断面図、図２は図１に使用さ
れている調整子の側面図、図３は図２の底面図であり、
図２０〜図２３と同一または相当部分には同一符号を付
して重複説明を省略する。図において、２は貫通筒状に
形成されたプローブソケット、２ｂはそのプローブソケ
ット２の周壁部に軸方向へ沿って所定の間隔で設けられ
た上下複数段の係合孔、９は前記プローブソケット２内
に着脱可能に嵌合される調整子であり、この調整子９
は、前記プローブソケット２内に対するプローブピン３
の外筒４の差し込み量を調整するためのものである。９
ａは前記調整子９の外周壁面に一体形成された係合爪で
あり、この係合爪９ａは前記各係合孔２ｂに対し選択的
に係合可能となっており、図２に示すように、前記調整
子９の周壁部を部分的に切り起して形成されている。Example 1. An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a sectional view showing a contact probe pin mounting device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of an adjuster used in FIG. 1, and FIG. 3 is a bottom view of FIG.
20 to 23, the same or corresponding parts are designated by the same reference numerals, and the duplicated description will be omitted. In the figure, 2 is a probe socket formed in a through-cylindrical shape, 2b is a plurality of upper and lower engaging holes provided in the peripheral wall portion of the probe socket 2 along the axial direction at predetermined intervals, and 9 is the probe socket. 2 is an adjuster removably fitted in the adjuster 9.
Is a probe pin 3 with respect to the inside of the probe socket 2.
This is for adjusting the insertion amount of the outer cylinder 4. 9
Reference numeral a is an engaging claw integrally formed on the outer peripheral wall surface of the adjuster 9, and the engaging claw 9a is selectively engageable with each of the engaging holes 2b, as shown in FIG. In addition, the peripheral wall portion of the adjuster 9 is partially cut and raised.
【００１７】次に動作について説明する。プローブカー
ド１に挿入保持されたプローブソケット２にプローブピ
ン３の外筒４を差し込み保持させる際、予め前記プロー
ブソケット２内に上方から調整子９を嵌合しておく。こ
の場合、前記プローブソケット２の係合孔２ｂ群におい
て、被測定物７の測定ランド８に対する前記プローブピ
ン３の最適接触荷重が得られる位置の係合孔２ｂを選択
し、その係合孔２ｂに前記調整子９の係合爪９ａを係合
させる。Next, the operation will be described. When the outer cylinder 4 of the probe pin 3 is inserted and held in the probe socket 2 inserted and held in the probe card 1, the adjuster 9 is fitted into the probe socket 2 from above in advance. In this case, in the engagement hole 2b group of the probe socket 2, the engagement hole 2b is selected at a position where the optimum contact load of the probe pin 3 with respect to the measurement land 8 of the DUT 7 is selected, and the engagement hole 2b is selected. The engaging claw 9a of the adjuster 9 is engaged with.
【００１８】この状態において、前記プローブソケット
２内に下方からプローブピン３の外筒４を差し込んで該
外筒４の上端を前記調整子９に当接させることにより、
前記プローブピン３は前記測定ランド８との距離が最適
な位置関係に保持される。In this state, by inserting the outer cylinder 4 of the probe pin 3 into the probe socket 2 from below and bringing the upper end of the outer cylinder 4 into contact with the adjuster 9,
The probe pin 3 is held in an optimum positional relationship with the measurement land 8.
【００１９】即ち、前記プローブソケット２内に対する
調整子９の嵌合位置を任意に選択して変えることによ
り、前記プローブピン３のピン突き出し量を任意に調整
できる。従って、前記測定ランド８が、図２１に示した
ように、高さの異なった段差上のランド８ａ，８ｂから
成る被測定物７であっても、これにコンタクトした際の
前記プローブピン３は、前記各ランド８ａ，８ｂに対す
る均等かつ最適な接触荷重が得られ、コンタクト時の信
頼性が向上する。That is, by arbitrarily selecting and changing the fitting position of the adjuster 9 with respect to the inside of the probe socket 2, the pin protrusion amount of the probe pin 3 can be arbitrarily adjusted. Therefore, even if the measurement land 8 is an object 7 to be measured, which is composed of lands 8a and 8b on steps having different heights, as shown in FIG. An even and optimum contact load for each of the lands 8a and 8b is obtained, and the reliability at the time of contact is improved.
【００２０】実施例２．図４はこの発明の実施例２によ
るコンタクトプローブピンの取付装置を示す断面図、図
５は図４に使用されている調整子の側面図、図６は図５
の後端面図である。この実施例２では、前記実施例１に
おけるプローブソケット２の周壁部に上下複数段の各係
合孔２ｂと対向する係合孔２ｃを設け、これらの係合孔
２ｂ，２ｃを対として該係合孔２ｂ、２ｃにピン構成の
調整子９を挿入係合させるようにしている。Example 2. 4 is a sectional view showing a contact probe pin mounting device according to a second embodiment of the present invention, FIG. 5 is a side view of an adjuster used in FIG. 4, and FIG.
FIG. In the second embodiment, engaging holes 2c facing the upper and lower engaging holes 2b are provided in the peripheral wall portion of the probe socket 2 in the first embodiment, and the engaging holes 2b, 2c are paired to each other. A pin-shaped adjuster 9 is inserted into and engaged with the fitting holes 2b and 2c.
【００２１】このようなピン構成の調整子９は、先端に
係合爪９ｂを、且つ、後端に頭部９ｃを一体に有する形
状となっており、前記係合爪９ｂは、図５に示すよう
に、調整子９のピン軸部の先端部を部分的に切り起し形
成されたもので、頭部９ｃ側に向って斜め外方に突出す
る弾性復元力を有している。従って、前記係合爪９ｂ
は、前記係合孔２ｂ，２ｃを通過する時、調整子９のピ
ン軸部表面と同一面状になる位置に閉じ、前記係合孔２
ｂ，２ｃ通過後に斜め外方へ弾性復元するようになって
いる。The adjuster 9 having such a pin structure has a shape in which an engaging claw 9b is integrally formed at the tip and a head 9c is integrally formed at the rear end. The engaging claw 9b is shown in FIG. As shown, it is formed by partially cutting and raising the tip end portion of the pin shaft portion of the adjuster 9, and has an elastic restoring force that projects obliquely outward toward the head 9c side. Therefore, the engaging claw 9b
Closes in a position flush with the surface of the pin shaft of the adjuster 9 when passing through the engagement holes 2b and 2c.
After passing b and 2c, it is elastically restored outward.
【００２２】このような実施例２では、図２１の被測定
物７のランド８ａ，８ｂの高さに対応した高さ位置の係
合孔２ｂ，２ｃを任意に選択し、該係合孔２ｂ，２ｃに
前記調整子９を挿入係合させることにより、前記実施例
１の場合と同様の効果を奏する。In the second embodiment, the engaging holes 2b and 2c at the height positions corresponding to the heights of the lands 8a and 8b of the object to be measured 7 shown in FIG. 21 are arbitrarily selected and the engaging holes 2b are selected. , 2c by inserting and engaging the adjuster 9 produces the same effect as in the case of the first embodiment.
【００２３】実施例３．図７はこの発明の実施例３によ
るコンタクトプローブピンの取付装置を示す断面図であ
る。この実施例３では、プローブソケット２の内径とほ
ぼ同一直径の金属球等の球体を調整子９として使用し、
その使用個数を適宜選定し、選定した個数の調整子９を
前記プローブソケット２内に収納するのであるが、この
場合における調整子９の収納個数を変えることにより、
前実施例の場合と同様にプローブピン３の突き出し量を
任意に調整できるという効果を奏する。Example 3. FIG. 7 is a sectional view showing a contact probe pin mounting device according to a third embodiment of the present invention. In the third embodiment, a spherical body such as a metal ball having the same diameter as the inner diameter of the probe socket 2 is used as the adjuster 9,
The number of adjusters 9 to be used is appropriately selected, and the selected number of adjusters 9 are accommodated in the probe socket 2. By changing the accommodated number of adjusters 9 in this case,
As in the case of the previous embodiment, there is an effect that the protruding amount of the probe pin 3 can be arbitrarily adjusted.
【００２４】実施例４．図８はこの発明の実施例４によ
るコンタクトプローブピンの取付装置を示す断面図、図
９は図８のＡ−Ａ線断面図である。この実施例４では、
プローブピン３の外筒４の外周面上部に係合溝４ｂを形
成し、プローブソケット２内に対する前記外筒４の挿入
時に、この外筒４の前記係合溝４ｂを前記プローブソケ
ット２の任意高さ位置の係合孔４ｂ，４ｃに選択的に合
致させ、これらの係合孔４ｂ，４ｃを介して前記外筒４
の係合溝４ｂに調整子としてのＣリング９を嵌込み係合
させる構成としている。Example 4. 8 is a sectional view showing a contact probe pin mounting device according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a sectional view taken along line AA of FIG. In this Example 4,
An engagement groove 4b is formed in the upper part of the outer peripheral surface of the outer cylinder 4 of the probe pin 3, and when the outer cylinder 4 is inserted into the probe socket 2, the engagement groove 4b of the outer cylinder 4 is arbitrarily formed in the probe socket 2. The outer cylinder 4 is selectively matched with the engaging holes 4b, 4c at the height position, and the outer cylinder 4 is inserted through these engaging holes 4b, 4c.
The C ring 9 as an adjuster is fitted into and engaged with the engaging groove 4b.
【００２５】従って、この実施例４にあっても、高さ位
置の異なった係合孔２ｂ，２ｃを適宜選択し、選択した
係合孔２ｂ，２ｃに前記外筒４の係合溝４ｂを合致さ
せ、これにＣリング９をお嵌込み係合させることによ
り、前実施例の場合と同様にプローブピン３の突き出し
量を任意に調整できるという効果を奏する。Therefore, also in the fourth embodiment, the engaging holes 2b, 2c having different height positions are appropriately selected, and the engaging groove 4b of the outer cylinder 4 is formed in the selected engaging holes 2b, 2c. By matching and fitting the C-ring 9 into this, the amount of protrusion of the probe pin 3 can be arbitrarily adjusted as in the case of the previous embodiment.
【００２６】実施例５．図１０はこの発明の実施例５に
よるコンタクトプローブピンの取付装置を示す断面図、
図１１（Ａ）は図１０に使用されている調整子の側面
図、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）の底面図である。この
実施例５では、貫通筒状に形成されたプローブソケット
２の内周面に雌ネジ２ｄを刻設し、この雌ネジ２ｄに調
整子としての盲ネジ９を螺合した構成としている。Example 5. 10 is a sectional view showing an attachment device for contact probe pins according to Embodiment 5 of the present invention.
11A is a side view of the adjuster used in FIG. 10, and FIG. 11B is a bottom view of FIG. 11A. In the fifth embodiment, a female screw 2d is engraved on the inner peripheral surface of the probe socket 2 formed in the through-cylindrical shape, and a blind screw 9 as an adjuster is screwed into the female screw 2d.
【００２７】従って、この実施例５では、盲ネジ９のネ
ジ込み量を調整することによって、前実施例の場合と同
様にプローブピン３の突き出し量を適宜調整できるとい
う効果を奏する。Therefore, in the fifth embodiment, by adjusting the screw-in amount of the blind screw 9, it is possible to appropriately adjust the protruding amount of the probe pin 3 as in the case of the previous embodiment.
【００２８】実施例６．図１２はこの発明の実施例６に
よるコンタクトプローブピンの取付装置を示す断面図、
図１３（Ａ）は図１２に使用されている調整子の側面
図、図１３（Ｂ）は図１３（Ａ）の後端面図である。こ
の実施例６では、プローブカード１にソケット本体２０
を貫通固定し、このソケット本体２０の周壁部にピン孔
２０ａを設けている。そして、前記ソケット本体２０内
に上方から有蓋筒上のプローブソケット２を挿入し、こ
のプローブソケット２の任意高さ位置の係合孔２ｂ，２
ｃを選択して前記ピン孔２０ａに合致連通させ、それら
のピン孔２０ａおよび係合孔２ｂ，２ｃに調整子として
のピン９を差し込み係合させ、この状態において、前記
プローブソケット２内にプローブピン３の外筒４を挿入
固定する構成としている。Example 6. 12 is a sectional view showing a contact probe pin mounting device according to a sixth embodiment of the present invention.
13 (A) is a side view of the adjuster used in FIG. 12, and FIG. 13 (B) is a rear end view of FIG. 13 (A). In the sixth embodiment, the probe card 1 has a socket body 20.
Is fixed through, and a pin hole 20a is provided in the peripheral wall portion of the socket body 20. Then, the probe socket 2 on the covered cylinder is inserted into the socket body 20 from above, and the engagement holes 2b, 2 at arbitrary height positions of the probe socket 2 are inserted.
c is selected and brought into matching communication with the pin hole 20a, and a pin 9 as an adjuster is inserted into and engaged with the pin hole 20a and the engaging holes 2b and 2c. In this state, the probe is inserted into the probe socket 2. The outer cylinder 4 of the pin 3 is inserted and fixed.
【００２９】従って、この実施例６にあっては、ソケッ
ト本体２０に対するプローブソケット２の取付け高さを
調整することによって、プローブピン３の突き出し量を
調整できるため、前実施例と同様の効果を奏する。Therefore, in the sixth embodiment, since the protrusion amount of the probe pin 3 can be adjusted by adjusting the mounting height of the probe socket 2 with respect to the socket body 20, the same effect as the previous embodiment can be obtained. Play.
【００３０】実施例７．図１４はこの発明の実施例７に
よるコンタクトプローブピンの取付装置を示す断面図で
ある。この実施例７では、プローブピン３の外筒４の周
壁部に斜め上方に向って突出する係合爪４ｃを一体形成
し、この係合爪４ｃを、貫通筒状のプローブソケット２
の周壁部に設けられた上下複数段の係合孔２ｂに選択的
に係合させる構成としている。Example 7. FIG. 14 is a sectional view showing a contact probe pin attaching apparatus according to Embodiment 7 of the present invention. In the seventh embodiment, an engaging claw 4c that projects obliquely upward is integrally formed on the peripheral wall portion of the outer cylinder 4 of the probe pin 3, and the engaging claw 4c is formed into the penetrating cylindrical probe socket 2
The upper and lower engaging holes 2b provided in the peripheral wall portion are selectively engaged with each other.
【００３１】従って、この実施例７の場合、プローブソ
ケット２における任意高さ位置の係合孔２ｂを選択し、
選択した係合孔２ｂに前記係合爪４ｃを係合されること
により、プローブソケット２に対する前記外筒４の挿入
高さ位置を調整でき、これによって、プローブピン３の
突き出し量を適宜調整できるため、前実施例と同様の効
果を奏する。Therefore, in the case of the seventh embodiment, the engagement hole 2b at an arbitrary height position in the probe socket 2 is selected,
By engaging the engaging claw 4c with the selected engaging hole 2b, the insertion height position of the outer cylinder 4 with respect to the probe socket 2 can be adjusted, whereby the protruding amount of the probe pin 3 can be adjusted appropriately. Therefore, the same effect as that of the previous embodiment is obtained.
【００３２】実施例８．図１５はこの発明の実施例８に
よるコンタクトプローブピンの側面図、図１６はそのコ
ンタクトプローブピンの取付状態を示す断面図である。
この実施例８では、プローブピン３の外筒４の上部に上
下複数段のくびれ部４ｄを一体形成している。この実施
例８では、前記くびれ部４ｄを折ってプローブソケット
２に対するプローブピン３の差し込み量を調整するよう
にしており、これによっても、プローブカード１からの
プローブピン３の突き出し量を調整でき、前実施例と同
様の効果が得られる。Example 8. FIG. 15 is a side view of a contact probe pin according to an eighth embodiment of the present invention, and FIG. 16 is a sectional view showing a mounting state of the contact probe pin.
In the eighth embodiment, upper and lower outer cylinders 4 of the probe pin 3 are integrally formed with a plurality of upper and lower constricted portions 4d. In the eighth embodiment, the constricted portion 4d is folded to adjust the insertion amount of the probe pin 3 into the probe socket 2. This also allows the protrusion amount of the probe pin 3 from the probe card 1 to be adjusted, The same effect as the previous embodiment can be obtained.
【００３３】実施例９．図１７はこの発明の実施例９に
よるコンタクトプローブピンの正面図、図１８はそのコ
ンタクトプローブピンの取付状態を示す断面図である。
図において、４ｅはプローブピン３の外筒４の周壁部に
設けられた上下複数段のリング係合溝、１１はそのリン
グ係合溝４ｅに係脱可能なＣリングであり、このＣリン
グ１１はプローブソケット２の下端に係合可能な径のも
のである。この実施例９では、プローブピン３の適当な
高さ位置のリング係合溝４ｅを選択し、そのリング係合
溝４ｅにＣリング１１を嵌込み係合させ、この状態で、
前記プローブピン３をプローブソケット２に下方から差
し込んで該プローブソケット２の下端に前記Ｃリング１
１を当接させることにより、プローブカード１からのプ
ローブピン３の突き出し量を調整でき、従って、同様の
効果を奏する。Example 9. 17 is a front view of a contact probe pin according to a ninth embodiment of the present invention, and FIG. 18 is a sectional view showing a mounting state of the contact probe pin.
In the figure, 4e is a ring engaging groove provided in the peripheral wall portion of the outer cylinder 4 of the probe pin 3 in a plurality of upper and lower stages, and 11 is a C ring which can be engaged with and disengaged from the ring engaging groove 4e. Is of a diameter that can be engaged with the lower end of the probe socket 2. In the ninth embodiment, the ring engaging groove 4e at an appropriate height position of the probe pin 3 is selected, the C ring 11 is fitted into and engaged with the ring engaging groove 4e, and in this state,
The probe pin 3 is inserted into the probe socket 2 from below, and the C ring 1 is attached to the lower end of the probe socket 2.
By bringing 1 into contact with each other, the protrusion amount of the probe pin 3 from the probe card 1 can be adjusted, and therefore, the same effect can be obtained.
【００３４】実施例１０．図１９はこの発明の実施例１
０によるコンタクトプローブピンの取付装置を示す断面
図である。図において、２ｅはプローブソケット２の内
周面に設けられたネジ溝、４ｆはプローブピン３の外筒
４の外周面に設けられたネジ山、１２は前記プローブピ
ン３の外筒４からの突出部における前記ネジ山４ｆに螺
合されたストッパ用のナットである。Example 10. FIG. 19 shows the first embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the attachment device of the contact probe pin by 0. In the figure, 2e is a screw groove provided on the inner peripheral surface of the probe socket 2, 4f is a screw thread provided on the outer peripheral surface of the outer cylinder 4 of the probe pin 3, and 12 is a thread from the outer cylinder 4 of the probe pin 3. It is a nut for a stopper screwed into the screw thread 4f in the protruding portion.
【００３５】この実施例１０では、プローブソケット２
に螺合させたプローブピン３を回動させることによっ
て、プローブカード１からのプローブピン３の突き出し
量を調整し、該調整後にナット１２で前記プローブピン
３を前記プローブソケット２に固定するようにしてお
り、この実施例１０の場合も同様の効果を奏する。In the tenth embodiment, the probe socket 2
The amount of protrusion of the probe pin 3 from the probe card 1 is adjusted by rotating the probe pin 3 screwed into the probe card 3, and the nut 12 is used to fix the probe pin 3 to the probe socket 2 after the adjustment. Therefore, the same effect can be obtained in the case of the tenth embodiment.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、プロ
ーブピンをプローブカードに対し、該プローブカードか
らのピン突き出し量を調整可能な取付構成としたので、
そのプローブピンの突き出し量を調整することにより、
該プローブピン先端と被測定物の測定ランドとが接触し
た時、該測定ランドに対するプローブピンの最適接触荷
重が一様に得られ、このため、測定機能の信頼性が向上
するという効果がある。As described above, according to the present invention, the probe pin is attached to the probe card so that the amount of protrusion of the pin from the probe card can be adjusted.
By adjusting the protruding amount of the probe pin,
When the tip of the probe pin and the measurement land of the object to be measured come into contact with each other, the optimum contact load of the probe pin with respect to the measurement land is uniformly obtained. Therefore, the reliability of the measurement function is improved.
【図１】この発明の実施例１によるコンタクトプローブ
ピンの取付装置を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a contact probe pin attachment device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１に使用されている調整子の側面図である。FIG. 2 is a side view of the adjuster used in FIG.
【図３】図２の底面図である。FIG. 3 is a bottom view of FIG.
【図４】この発明の実施例２によるコンタクトプローブ
ピンの取付装置を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a contact probe pin mounting device according to a second embodiment of the present invention.
【図５】図４に使用されている調整子の側面図である。5 is a side view of the adjuster used in FIG. 4. FIG.
【図６】図５の後端面図である。FIG. 6 is a rear end view of FIG.
【図７】この発明の実施例３によるコンタクトプローブ
ピンの取付装置を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing a contact probe pin attachment device according to a third embodiment of the present invention.
【図８】この発明の実施例４によるコンタクトプローブ
ピンの取付装置を示す断面図である。FIG. 8 is a sectional view showing a contact probe pin attaching apparatus according to Embodiment 4 of the present invention.
【図９】図８のＡ−Ａ線断面図である。9 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
【図１０】この発明の実施例５によるコンタクトプロー
ブピンの取付装置を示す断面図である。FIG. 10 is a sectional view showing a contact probe pin attaching apparatus according to Embodiment 5 of the present invention.
【図１１】図１１（Ａ）は図１０に使用されている調整
子の側面図である。図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）の底面
図である。FIG. 11 (A) is a side view of the adjuster used in FIG. FIG. 11B is a bottom view of FIG. 11A.
【図１２】この発明の実施例６によるコンタクトプロー
ブピンの取付装置を示す断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view showing a contact probe pin attachment device according to Embodiment 6 of the present invention.
【図１３】図１３（Ａ）は図１２に使用されている調整
子の側面図である。図１３（Ｂ）は図１３（Ａ）の後端
面図である。FIG. 13 (A) is a side view of the adjuster used in FIG. FIG. 13B is a rear end view of FIG. 13A.
【図１４】この発明の実施例７によるコンタクトプロー
ブピンの取付装置を示す断面図である。FIG. 14 is a sectional view showing a contact probe pin attaching apparatus according to Embodiment 7 of the present invention.
【図１５】この発明の実施例８によるコンタクトプロー
ブピンの側面図である。FIG. 15 is a side view of a contact probe pin according to Embodiment 8 of the present invention.
【図１６】図１５のコンタクトピン取付状態を示す断面
図である。16 is a cross-sectional view showing a contact pin attachment state of FIG.
【図１７】この発明の実施例９によるコンタクトプロー
ブピンの断面図である。FIG. 17 is a sectional view of a contact probe pin according to Embodiment 9 of the present invention.
【図１８】図１７のコンタクトピン取付状態を示す断面
図である。18 is a cross-sectional view showing a contact pin attachment state of FIG.
【図１９】この発明の実施例１０によるコンタクトプロ
ーブピンの断面図である。FIG. 19 is a sectional view of a contact probe pin according to Embodiment 10 of the present invention.
【図２０】従来のコンタクトプローブピンの取付装置を
示す正面図である。FIG. 20 is a front view showing a conventional contact probe pin attachment device.
【図２１】図２０のコンタクトプローブピンを被測定物
にコンタクトさせた状態を示す正面図である。FIG. 21 is a front view showing a state in which the contact probe pin of FIG. 20 is brought into contact with the object to be measured.
【図２２】図２０におけるコンタクトプローブピン取付
部の断面図である。22 is a cross-sectional view of the contact probe pin attachment portion in FIG. 20.
【図２３】図２２のコンタクトプローブピンの断面図で
ある。23 is a cross-sectional view of the contact probe pin of FIG.
１ プローブカード ２ プローブソケット ３ プローブピン ７ 被測定物 ８ 測定ランド ８ａ 測定ランド ８ｂ 測定ランド ９ 調整子 1 probe card 2 probe socket 3 probe pin 7 object to be measured 8 measurement land 8a measurement land 8b measurement land 9 adjuster
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森山 恭一 兵庫県川西市久代３丁目13番21号 株式会 社ケーディーエル内 (72)発明者 三好 基秀 伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機株式会 社北伊丹製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kyoichi Moriyama 3-13-21 Hisayo Kawanishi-shi, Hyogo Prefecture K-D Co., Ltd. (72) Inventor Kiyohide Miyoshi 4-chome Itami-shi 4-chome Mitsubishi Electric Corporation Inside the company Kita Itami Works
Claims (2)
して支持され、被測定物の電気的特性を有する測定ラン
ドを測定するプローブピンの取付装置において、前記プ
ローブソケットに対しプローブピンを、前記プローブカ
ードからのピン突き出し量が調整可能に取り付けたこと
を特徴とするコンタクトプローブピンの取付装置。1. A probe pin mounting device for supporting a probe card through a probe socket and measuring a measurement land having electrical characteristics of an object to be measured, wherein the probe pin is attached to the probe socket from the probe card. The contact probe pin mounting device is characterized in that the pin protrusion amount of the contact probe pin is adjustable.
ソケット内に対するプローブピンの挿入量を調整する調
整子が設けられていることを特徴とする請求項１記載の
コンタクトプローブピンの取付装置。2. The contact probe pin attaching device according to claim 1, wherein the probe socket is provided with an adjuster for adjusting an insertion amount of the probe pin into the probe socket.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26789192A JPH0694750A (en) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | Mounting device for contact probe pin |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP26789192A JPH0694750A (en) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | Mounting device for contact probe pin |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694750A true JPH0694750A (en) | 1994-04-08 |
Family
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|---|---|---|---|
| JP26789192A Pending JPH0694750A (en) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | Mounting device for contact probe pin |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0694750A (en) |
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1992
- 1992-09-11 JP JP26789192A patent/JPH0694750A/en active Pending
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