JPH0692450A - Transport device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To provide a clean transport system for the manufacture of semiconductor bodies. CONSTITUTION:An air curtain 4 is formed in an aslantly inside direction on a ceiling part by a high faculty filter 1 for clean air, blow-out port 2, and a guide 3, and air is allowed to circulate from a number of small diameter holes 5 for suction on a floor surface through a filter 6 and a duct 7. A ball conveyor is constituted so that metal balls 10 are installed on a table 8 and the ball conveyor 9, and the noise suppressing effect in shift is provided by lining-treating the inside of the metal plate 11 on the contact surface with resin 12, and a number of small diameter holes 13 for suction are formed also on the body itself, and the dispersion and flying-away of the generated foreign materials are prevented. Accordingly, since the metal spheres are arranged vertically and the inside is lining-treated with resin, the effect for suppressing noise and permitting the light shift is provided. Further, since partitioning by an air curtain is performed and a number of holes for suction are formed on the conveyor body, the flying-away and dispersion of fine foreign materials can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、搬送システムに関する
ものであり、一般品の移動から半導体製造装置等クリー
ンで微小異物付着の制限が必要な各種装置の移動を必要
とする場所において静音でしかも重量物の軽移動が要求
される所に広く適用出来る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer system, which is quiet in a place where it is necessary to move various kinds of equipment such as semiconductor manufacturing equipment, which is clean and is required to limit the adhesion of minute foreign matter, from the movement of general goods. It can be widely applied to places where light movement of heavy objects is required.

【０００２】[0002]

【従来の技術】クリーンルーム内での各種製品の移動方
法としては、製品に付いているキャスタを利用して直
接床上面を転がす方法、天井クレーン等により吊り上
げて移動する方法、ＡＧＶを利用する方法、等があ
る。これらは、「物流システム総合シリーズ 物流機器
・選択と活用 現代工学社 Ｓ５０．５．２５発行」、
「物的流通設備機材ガイド 産業調査会カタログ Ｓ５
４．９．３０発行」、「物流・配送センタ設備機器ガイ
ドブック 流通研究社 Ｓ６０．７．１５発行」、「実
践物流 マテハン技術読本 日本物的流通協会 Ｓ６
１．５．２５発行」、等に示されている。2. Description of the Related Art As a method of moving various products in a clean room, a caster attached to the product is used to directly roll the floor surface, a method of hoisting with an overhead crane or the like, a method of using an AGV, Etc. These are "Logistics system comprehensive series Logistics equipment, selection and utilization Hyundai Engineering Co. S50.5.25 issued",
"Physical distribution equipment and equipment guide Industry Survey Catalog S5
4.9.30 issued "," Distribution / Distribution Center Equipment and Equipment Guidebook Distribution Research Company S60.7.15 Issued "," Practical Logistics Material Handling Technology Reader Japan Physical Distribution Association S6 "
1.5.25 issue ", etc.

【０００３】，については摺動部からの発塵、舞い
上り等の問題が残り、は大物重量物に適用する場合に
大型化が必要となるため適用出来ない。With respect to and, the problems such as dust generation from the sliding portion and rising are left, and the above cannot be applied because it needs to be upsized when applied to a large heavy object.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】半導体製造装置をはじ
めとする発塵のないクリーンな装置の要求はどんどん増
大しており、装置の製作段階から発送にいたるまでに付
着する微小な異物までも制限する必要がある。この問題
の解決方法としては、装置製作場のクリーン度を維持出
来る環境を保つことにあり、特に装置などの移動時に生
づる各種摺動による発塵の舞い上がり及び拡散を防止す
る事が重要である。The demand for dust-free and clean equipment such as semiconductor manufacturing equipment is increasing, and even minute foreign matter that adheres from the manufacturing stage of the equipment to the shipment is limited. There is a need to. The solution to this problem is to maintain an environment where the cleanliness of the equipment manufacturing site can be maintained, and it is especially important to prevent dust from rising and spreading due to various sliding movements that occur when the equipment is moved. .

【０００５】本発明は、上記の問題を解決するもので、
摺動の小さいボールコンベアーを用いしかもボールの接
触する金属の内側には消音のため樹脂がライニングされ
ているうえに、テーブル面及びコンベアーには、取り扱
い及び移動時に生づる微小異物を吸引するため、小径の
多孔を設けており拡散及び舞い上がりの防止を図ってい
る。さらにコンベアー周辺部での発生異物が回りに拡散
するのを防止する処置として、天井部に設けられた吹き
出し口より高性能フイルターを通して送られてくるクリ
ーンエアーによるエアーカーテンを設置している。これ
により有形物のカーテンと比較して占有面積の有効活用
及び、カーテン部での任意な出入り自由というメリット
を有している。さらに、吹き出しエアーの拡散を防止す
るために吹き出し口に内側方向のガイドを設けるととも
に、床面には吸引用多孔が設けてありダクトを通じ、吸
引と吹き出しの循環を行なうものである。The present invention solves the above problems,
In addition to using a ball conveyor with small sliding, resin is lined inside the metal with which the ball comes into contact for noise reduction, and the table surface and the conveyor suck the minute foreign matter generated during handling and movement, A small-diameter porosity is provided to prevent diffusion and soaring. Furthermore, as a measure to prevent foreign substances generated around the conveyor from diffusing around, a clean air curtain that is sent through a high-performance filter from an outlet provided on the ceiling is installed. This has the advantages of effectively utilizing the occupied area and freely moving in and out of the curtain portion, as compared to a tangible curtain. Further, in order to prevent the diffusion of the blown air, an inward guide is provided at the blowout port, and a perforation for suction is provided on the floor surface so that suction and blowout are circulated through the duct.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】装置などの移動時に生づ
る微小な異物の舞い上がり及び拡散を防止するために、
まず移動時の摺動面積を小さくする方法としてボールコ
ンベアーを採用した。本装置はボールの接触する金属の
内側に消音のための樹脂をライニングしており、さらに
テーブル本体及びコンベアー本体には、稼動時に生づる
異物の舞い上がりを防止するため小径の多孔が設けてあ
り下方に吸引する構造となっているものである。さらに
コンベアー周辺部での発生異物が回りに拡散するのを防
止する方法として、コンベアー両サイドには、天井より
高性能フィルターを通して送られてくるクリーンエアー
吹き出しのエアーカーテンを設けている。本装置は吹き
出しエアーの拡散を防止するために吹き出し口を斜め内
側に向けるとともに安定化のためガイド板を設け床面に
は、吸引用の多孔が設けており、ダクトを通じ吸引する
構造となっている。[Means for Solving the Problems] In order to prevent minute foreign matter from rising and diffusing when moving a device or the like,
First, a ball conveyor was adopted as a method for reducing the sliding area during movement. This device is lined with a resin for noise reduction inside the metal with which the balls come into contact, and the table body and conveyor body are provided with a small diameter perforation to prevent foreign particles generated during operation from rising up. It has a structure to suck into. Furthermore, as a method of preventing foreign substances generated around the conveyor from diffusing around, air curtains for blowing clean air from the ceiling through high-performance filters are provided on both sides of the conveyor. This device has a structure in which the air outlet is directed diagonally inward to prevent the diffusion of blown air, a guide plate is provided for stabilization, and a porous hole for suction is provided on the floor surface to suck through a duct. There is.

【０００７】[0007]

【作用】本システムの働きは、エアーカーテンを起動す
ることにより、天井に設けられたクリーンエアーが斜め
内側に向かって吹き出し床面の多孔より吸引された後、
ダクトを通して天井に導かれ高性能フィルター通過後再
度吹き出しの循環動作をする。それによってコンベアー
本体もテーブル及びコンベアーに設けられた小径の多孔
より吸引が実施される。これによりコンベアー自身から
の発塵の拡散を防止できるとともに、積荷の載せ変え
は、コンベアー稼動範囲の任意の位置で実施出来、しか
もテーブル移動時の騒音も金属板の内側に樹脂のライニ
ングが施されているため消音となるうえに、スムースな
移動が可能となる。[Operation] The function of this system is to activate the air curtain, and after the clean air provided on the ceiling is blown diagonally inward from the porous surface of the floor,
After being guided to the ceiling through the duct and passing through the high-performance filter, the blowout circulation operation is performed again. As a result, the main body of the conveyor is also suctioned by the small holes provided in the table and the conveyor. This prevents dust from diffusing from the conveyor itself, and the reshipping of cargo can be performed at any position within the conveyor operating range, and the noise from table movement is also lined with resin inside the metal plate. Since it is muted, smooth movement is possible.

【０００８】[0008]

【実施例】以下、本発明の実施例を図１により説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

【０００９】本システムの全体構成は、天井部にクリー
ンエアーを送り出すため高性能フィルター１とエアー吹
き出し口２及び吹き出し方向を案内するガイド３によ
り、斜め内側にエアーカーテン４を形成する。床面には
クリーンエアー吸引用の小径多孔５が設けてあり、吸引
されたエアーはフィルター６を通過した後ダクト７に導
かれて循環する。装置移動用ボールコンベアー９には、
テーブル８及びコンベアー９いずれにも金属ボール１０
が取り付けられており、さらにこの金属ボール１０が接
触する金属板１１の内側には樹脂がライニング１２され
ており、移動時の消音効果を上げている。また、本体に
も小径多孔１３が設けてあり、発生した異物がクリーン
エアーと同時に吸引され回りに拡散する事のないように
構成されている。In the overall construction of this system, an air curtain 4 is formed diagonally inside by a high-performance filter 1 for sending clean air to the ceiling, an air outlet 2 and a guide 3 for guiding the blowing direction. A small-diameter porous 5 for sucking clean air is provided on the floor surface, and the sucked air passes through the filter 6 and then is guided to the duct 7 to circulate. On the ball conveyor 9 for moving the device,
Metal balls 10 on both table 8 and conveyor 9
Is attached, and further, a resin lining 12 is provided on the inside of the metal plate 11 with which the metal balls 10 come into contact with each other, thereby enhancing the sound deadening effect during movement. Further, the main body is also provided with a small-diameter porous body 13 so that the generated foreign matter is not sucked at the same time as the clean air and diffused around.

【００１０】次に動作としては、起動と同時にクリーン
エアーがフィルター１，吹き出し口２を通して吹き出さ
れ、ガイド３に導かれて、斜め内側に向けてエアーカー
テン４を形成する。これにより内側にて生じた微小異物
がエアーカーテン４より外へ拡散することを防止でき
る。床面に達したクリーンエアーは、床に設けられた小
径多孔５とフィルター６を通じダクト７に導かれて循環
される。次に、移動する装置がボールコンベアー９に載
せられ目的地点まで金属ボール１０，金属板１１，ライ
ニング１２により静かでスムースな移動が可能であり、
この時に生づる微小な異物は小径多孔１３を通じて天井
より吹いてくるクリーンエアーと同じ経路で吸引され拡
散を防止できる。Next, as the operation, at the same time as the start-up, clean air is blown out through the filter 1 and the air outlet 2, is guided to the guide 3, and forms the air curtain 4 toward the diagonally inner side. As a result, it is possible to prevent the minute foreign matter generated inside from diffusing out of the air curtain 4. The clean air that has reached the floor surface is guided to the duct 7 through the small-diameter pores 5 and the filter 6 provided on the floor and circulated. Next, the moving device is placed on the ball conveyor 9, and the metal ball 10, the metal plate 11, and the lining 12 can move quietly and smoothly to the destination.
The minute foreign matter generated at this time is sucked through the small-diameter pores 13 through the same path as the clean air blown from the ceiling, and diffusion can be prevented.

【００１１】以上、本システムはこれまで述べたように
装置の移動システムとして、発塵の少ない無騒音で軽移
動が可能でしかも微小異物の回りへの拡散防止策に無形
のエアーカーテンを用いる事によりスペースの有効活用
及び、任意の位置より自由に装置への乗せ替えを可能と
している。また発生異物についても本体自身に吸引孔を
用けることにより大きな効果が期待出来るシステムであ
る。As described above, the present system uses the intangible air curtain as a moving system of the apparatus as a moving system of the apparatus, which is capable of moving lightly with less dust, and for preventing diffusion of minute foreign matters. This makes it possible to effectively use the space and freely transfer to the device from any position. In addition, it is a system that can be expected to have a great effect on foreign particles generated by using suction holes in the main body itself.

【００１２】[0012]

【発明の効果】本発明によれば、クリーンエアーのエア
ーカーテンにより仕切りができるので浮遊する異物の拡
散を防止でき、しかもエアー吹き出し口は斜め内側に向
いているうえにガイドが付いているのでさらに安定した
エアーカーテン形成の効果がある。また、エアーカーテ
ン自体無形であるためスペースの有効利用及び任意の位
置から自由に装置の乗せ替えができるので作業効率向上
の効果もある。According to the present invention, since the partition can be formed by the air curtain of clean air, it is possible to prevent the diffusion of the floating foreign matter, and the air blowout port is directed obliquely inward and has the guide. It has the effect of forming a stable air curtain. In addition, since the air curtain itself is intangible, the space can be effectively used and the device can be freely replaced from any position, thereby improving the working efficiency.

【００１３】また、ボールコンベアーについても上下両
方に金属ボールを配置する事で金属ボール１個の接触面
積が小さく軽移動が可能でありさらに、内側には樹脂の
ライニングが施されているため静音移動の効果がある。
さらに本体にも発生微小異物吸引用の小径多孔を設ける
ことにより、クリーンエアーと同様に床下方向に吸引す
るため舞い上がり及び拡散防止の効果がある。Also, with respect to the ball conveyer, by arranging the metal balls on both the upper and lower sides, the contact area of one metal ball is small and light movement is possible. Furthermore, since the inside of the ball conveyor is lined with resin, silent movement is possible. Has the effect of.
Further, by providing the main body with small-diameter pores for sucking the generated minute foreign matter, since the suction is performed in the underfloor direction as in the case of clean air, there is an effect of preventing rising and diffusion.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明における全体システムの一実施例の縦断
面図である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of one embodiment of the entire system according to the present invention.

【図２】図１におけるボールコンベアー本体部の拡大継
断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the ball conveyor main body in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…高性能フィルター、２…吹出口、３…ガイド、９…
ボールコンベアー。1 ... High-performance filter, 2 ... Air outlet, 3 ... Guide, 9 ...
Ball conveyor.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】排気用の小径多孔を多数有するテーブルと
これを支える架台との間に金属ボールを配置しており、
テーブルと架台との対向面に樹脂ライニングを設けてい
ること、を特徴とする搬送装置。1. A metal ball is arranged between a table having a large number of small pores for exhaust and a pedestal supporting the table.
A carrier device, characterized in that a resin lining is provided on a surface facing the table and the gantry.