JPH0683042A - Sticking device for frame - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To rapidly reject a pellicle frame with a pellicle having foreign matter by a simple mechanism when the foreign matter is detected in this pellicle after peeling of a liner. CONSTITUTION:The pellicle frame with the pellicle is carried out out of a pellicle frame housing part 6 by a transporting arm 7 and the liner is peeled from the pellicle frame in a liner peeling section 9. The foreign matter sticking to the surface of the pellicle of the pellicle frame is thereafter detected in a pellicle inspection section 10 and the pellicle frame decided to be not stuck to the reticle by an inspection result deciding section 11 is carried out together with the rejected plate in a pellicle rejection section 12.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば防塵膜（ペリク
ル）付きのペリクルフレームをフォトマスクやレチクル
に自動的に貼り付ける際に使用して好適なフレームの貼
着装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a frame sticking apparatus suitable for automatically sticking a pellicle frame having a dustproof film (pellicle) to a photomask or reticle.

【０００２】[0002]

【従来の技術】半導体素子又は液晶表示素子等をフォト
リソグラフィー工程で製造する際に、フォトマスク又は
レチクル（以下「レチクル」と総称する）のパターンを
感光基板上に焼き付ける露光装置が使用されている。一
般にフォトリソグラフィー工程においては微小なダスト
等のゴミを極限まで取り除く必要があり、レチクルを如
何に無塵のままで保管して使用するかが課題となってい
る。そこで、従来よりレチクルのパターン領域にゴミ等
の異物が付着するのを防止するために、レチクルの表面
から所定間隔（例えば５〜７ｍｍ程度）の所に光学的に
安定した透明な高分子薄膜（以下、「ペリクル」とい
う）をペリクルフレームを介して張設する手法が採用さ
れている。2. Description of the Related Art An exposure apparatus for printing a pattern of a photomask or a reticle (hereinafter referred to as "reticle") on a photosensitive substrate is used when manufacturing a semiconductor element, a liquid crystal display element or the like by a photolithography process. . Generally, in the photolithography process, it is necessary to remove dust such as minute dust to the utmost limit, and how to store and use the reticle without dust is a problem. Therefore, in order to prevent foreign matter such as dust from adhering to the pattern area of the reticle, a transparent, optically stable, thin polymer thin film is formed at a predetermined distance (for example, about 5 to 7 mm) from the surface of the reticle. Hereinafter, a method of stretching a "pellicle" via a pellicle frame is adopted.

【０００３】ペリクルフレームは、レチクルのパターン
領域の形状に合わせた円形又は矩形の厚さ５〜７ｍｍ程
度の枠状のフレームであり、ペリクルフレームの一面に
ペリクルが均一に張設され、ペリクルフレームの反対の
面にはレチクルに貼着するための粘着層が形成されてい
る。図９は従来のペリクルフレームの構造を示し、この
図９において、ペリクル１がペリクルフレーム２の一面
に張設され、ペリクルフレーム２の反対側の面に粘着層
３が形成されている。粘着層３は剥き出しの状態ではな
く、保護シートとしてのライナー４が貼着されている。
ペリクルフレーム２をレチクルに貼り付ける直前にライ
ナー４が粘着層３から剥離され、粘着層３を介してペリ
クルフレーム２がレチクルに貼着される。剥離するとき
にライナー４を掴み易いように、ライナー４の一端には
耳部４ａが形成されている。また、搬送等の便宜のため
に、ペリクルフレーム２の側面には４箇所の凹部２ａ〜
２ｄが形成されている。The pellicle frame is a circular or rectangular frame-shaped frame having a thickness of about 5 to 7 mm which matches the shape of the pattern area of the reticle. The pellicle frame is uniformly stretched on one surface of the pellicle frame. An adhesive layer for sticking to the reticle is formed on the opposite surface. FIG. 9 shows a structure of a conventional pellicle frame. In FIG. 9, a pellicle 1 is stretched on one surface of a pellicle frame 2, and an adhesive layer 3 is formed on a surface opposite to the pellicle frame 2. The adhesive layer 3 is not exposed, and the liner 4 as a protective sheet is attached.
Immediately before attaching the pellicle frame 2 to the reticle, the liner 4 is peeled off from the adhesive layer 3, and the pellicle frame 2 is attached to the reticle via the adhesive layer 3. An ear portion 4a is formed at one end of the liner 4 so that the liner 4 can be easily gripped when peeling. In addition, for convenience of transportation and the like, the side surface of the pellicle frame 2 has four concave portions 2a to
2d is formed.

【０００４】斯かるペリクルが張設されたペリクルフレ
ームをレチクルに貼り付ける貼着装置として、ペリクル
フレームをハンドリングする機構、ライナーを剥離する
機構及びペリクルフレームをレチクルに貼着する機構等
よりなる貼着装置が特開平１−９７９６１号公報に開示
されている。また、ライナー４を剥離してからペリクル
フレームをレチクルに貼着する前に、予めペリクルに異
物が付着していないかどうかを検査しておくことが望ま
しい。なぜならば、ライナー４をペリクルフレーム２の
粘着層３から剥離する際に粘着層３から発塵し、発塵し
た異物がペリクル１の面に付着する虞があるからであ
る。そこで、ライナー剥離後にペリクルの異物を検査す
るための検査装置が、特開平３−２６６８４４号公報、
特開平４−１６９４５号公報で開示されている。これら
の装置を組み合わせることにより、ペリクルフレームの
貼り付けとペリクルの異物検査とを１つの装置内で行う
ことができる。As a sticking device for sticking a pellicle frame having such a pellicle stretched to a reticle, a sticking device including a mechanism for handling the pellicle frame, a mechanism for peeling the liner, and a mechanism for sticking the pellicle frame to the reticle. The device is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 1-97961. Further, it is desirable to inspect whether or not foreign matter is attached to the pellicle in advance before the pellicle frame is attached to the reticle after the liner 4 is peeled off. This is because when the liner 4 is peeled from the adhesive layer 3 of the pellicle frame 2, dust may be generated from the adhesive layer 3, and the generated foreign matter may be attached to the surface of the pellicle 1. Therefore, an inspection device for inspecting foreign matter on the pellicle after peeling off the liner is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-266844.
It is disclosed in JP-A-4-16945. By combining these devices, the attachment of the pellicle frame and the foreign matter inspection of the pellicle can be performed in one device.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
において、ライナー剥離後のペリクルの異物検査により
ペリクル表面に異物が付着していることが判明すると、
当然にそのペリクルは不良品として排除されなければな
らない。しかしながら、ライナー剥離後のペリクルフレ
ームは粘着層が剥き出しのため、そのペリクルフレーム
を別のハンドリング機構に受け渡して排除（以下、「リ
ジェクト」という）するのは困難である。In the conventional technique as described above, it is found that foreign matter is attached to the surface of the pellicle by the foreign matter inspection of the pellicle after the liner is peeled off.
Naturally, the pellicle must be rejected as a defective product. However, since the adhesive layer is exposed on the pellicle frame after the liner is peeled off, it is difficult to transfer the pellicle frame to another handling mechanism for removal (hereinafter referred to as “reject”).

【０００６】なぜなら、特開平１−９７９６１号公報に
も開示されている通り、通常ペリクルフレームの外周側
面をハンドリングしているため、そのペリクルフレーム
を粘着層に触れずに別のハンドリング部に受け渡すもの
とすると機構が複雑化する。また、もともと大きな異物
が検出されたペリクルは不良品であり、敢えてそのペリ
クルフレームを慎重に搬送してリジェクトする必要はな
い。This is because, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-97961, since the outer peripheral side surface of the pellicle frame is normally handled, the pellicle frame is delivered to another handling section without touching the adhesive layer. If so, the mechanism becomes complicated. Further, the pellicle in which a large foreign matter is originally detected is a defective product, and it is not necessary to deliberately convey and reject the pellicle frame.

【０００７】本発明は斯かる点に鑑み、ペリクルが張設
されたペリクルフレームからライナーを剥離して、その
ペリクルフレームをレチクルに貼着する際に使用される
フレームの貼着装置において、ライナーの剥離後にペリ
クルに異物が検出された場合に簡単な機構で迅速にその
ペリクルフレームをリジェクトできるようにすることを
目的とする。In view of the above-mentioned problems, the present invention provides a frame sticking device used when a liner is peeled from a pellicle frame on which a pellicle is stretched and the pellicle frame is stuck to a reticle. An object of the present invention is to enable a pellicle frame to be quickly rejected by a simple mechanism when foreign matter is detected in the pellicle after peeling.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明によるフレームの
貼着装置は、一端に防塵用の薄膜（１）が張設され他端
の貼着部（３）に保護シート（４）が貼着されたフレー
ム（２）を収納するフレーム用の収納ケース（６）と、
マスク基板を収納するマスク用の収納ケース（１４）
と、フレーム用の収納ケース（６）からフレーム（２）
を取り出して保持するフレーム取り出し手段（７）と、
マスク用の収納ケース（１４）からそのマスク基板を取
り出すマスク取り出し手段（１５）と、フレーム取り出
し手段（７）に保持されたフレーム（２）から保護シー
ト（４）を剥離する剥離手段（９）と、保護シート
（４）が剥離されたフレーム（２）をマスク取り出し手
段（１５）により取り出されたそのマスク基板に貼着す
る貼着手段（１３）とを有し、保護シート（４）が剥離
されたフレーム（２）をそのマスク基板に貼着する装置
を前提とする。In a frame sticking apparatus according to the present invention, a dustproof thin film (1) is stretched at one end, and a protective sheet (4) is stuck to the sticking portion (3) at the other end. A storage case (6) for the frame that stores the removed frame (2),
Storage case (14) for mask which stores mask substrate
And the storage case (6) for the frame to the frame (2)
A frame take-out means (7) for taking out and holding the
A mask take-out means (15) for taking out the mask substrate from the mask storage case (14) and a peeling means (9) for peeling the protective sheet (4) from the frame (2) held by the frame take-out means (7). And a sticking means (13) for sticking the frame (2) from which the protective sheet (4) has been peeled off to the mask substrate taken out by the mask taking-out means (15), and the protective sheet (4) is It is premised on an apparatus for attaching the peeled frame (2) to the mask substrate.

【０００９】そして、本発明は、保護シート（４）が剥
離された後のフレーム（２）に張設された防塵用の薄膜
（１）の表面に付着した異物を検出する異物検査手段
（１０）と、異物検査手段（１０）による検査結果に基
づいて保護シート（４）が剥離された後のフレーム
（２）をそのマスク基板に貼着するか否かを判定する判
定手段（１１）と、判定手段（１１）により保護シート
（４）が剥離された後のフレーム（２）をそのマスク基
板に貼着しないと判定された際に、フレーム取り出し手
段（７）からフレーム（２）を除去するリジェクト手段
（１２）とを設けたものである。Further, according to the present invention, a foreign matter inspection means (10) for detecting foreign matter attached to the surface of the dustproof thin film (1) stretched on the frame (2) after the protective sheet (4) has been peeled off. ) And a judgment means (11) for judging whether or not the frame (2) after the protective sheet (4) has been peeled off is attached to the mask substrate based on the inspection result by the foreign matter inspection means (10). When the judgment means (11) judges that the frame (2) after the protective sheet (4) has been peeled off is not attached to the mask substrate, the frame (2) is removed from the frame extraction means (7). And a reject means (12) for

【００１０】この場合、そのリジェクト手段（１２）
は、一例として例えば図６に示すように、保護シート
（４）が剥離された後のフレーム（２Ｂ）の貼着部に第
１の平坦部材（５３Ｆ）を貼着し、第１の平坦部材（５
３Ｆ）とフレーム（２Ｂ）とを一体的に除去するもので
ある。また、そのリジェクト手段（１２）は、他の例と
して例えば図８に示すように、保護シート（４）が剥離
された後のフレーム（２Ｄ）の貼着部を貼着性の弱い第
２の平坦部材（６３）上に載置し、この第２の平坦部材
を介してフレーム（２Ｄ）を除去するものである。In this case, the reject means (12)
As an example, as shown in FIG. 6, for example, the first flat member (53F) is attached to the attaching portion of the frame (2B) after the protective sheet (4) is peeled off, and the first flat member is attached. (5
3F) and the frame (2B) are integrally removed. In addition, as another example, as shown in FIG. 8, the rejecting means (12) has a second sticking part having a weak sticking property on the sticking part of the frame (2D) after the protective sheet (4) is peeled off. It is placed on a flat member (63) and the frame (2D) is removed via this second flat member.

【００１１】また、そのリジェクト手段（１２）は、更
に他の例として例えば図７に示すように、保護シート
（４）が剥離された後のフレーム（２Ｃ）の貼着部（３
Ｃ）を表面に凹凸がある凹凸部材（６２）上に載置し、
凹凸部材（６２）を介してフレーム（２Ｃ）を除去する
ものである。As another example, as shown in FIG. 7, the rejecting means (12) includes a sticking part (3) of the frame (2C) after the protective sheet (4) is peeled off.
C) is placed on the uneven member (62) having an uneven surface,
The frame (2C) is removed via the uneven member (62).

【００１２】また、その異物検査手段（１０）は、フレ
ーム（２）の防塵用の薄膜（１）の表面に付着した異物
が防塵用の薄膜（１）の外側又は内側の何れに付着して
いるのかを検出する表裏検出手段を有し、その判定手段
（１１）は、防塵用の薄膜（１）に付着した異物が防塵
用の薄膜（１）の内側の表面に付着しているときには、
フレーム（２）をそのマスク基板に貼着しないと判定す
ることが望ましい。In the foreign matter inspection means (10), foreign matter attached to the surface of the dustproof thin film (1) of the frame (2) is attached to either the outside or the inside of the dustproof thin film (1). The determination means (11) has front and back detecting means for detecting whether or not foreign matter adhered to the dust-proof thin film (1) adheres to the inner surface of the dust-proof thin film (1).
It is desirable to determine that the frame (2) is not attached to the mask substrate.

【００１３】[0013]

【作用】斯かる本発明によれば、判定手段（１１）によ
り、保護シート（４）が剥離された後のフレーム（２）
をそのマスク基板に貼着しないと判定された際には、リ
ジェクト手段（１２）によりフレーム取り出し手段
（７）からフレーム（２）を除去することにより、ペリ
クル（１）に異物が付着したフレーム（２）は速やかに
装置外へ排除される。According to the present invention, the frame (2) after the protective sheet (4) is peeled off by the judging means (11)
When it is determined that the pellicle is not attached to the mask substrate, the frame (2) is removed from the frame extracting unit (7) by the rejecting unit (12) to remove the frame ( 2) is promptly removed from the equipment.

【００１４】また、そのリジェクト手段（１２）が、保
護シート（４）が剥離された後のフレーム（２Ｂ）の貼
着部に第１の平坦部材（５３Ｆ）を貼着し、第１の平坦
部材（５３Ｆ）とフレーム（２Ｂ）とを一体的に除去す
る場合には、フレーム（２Ｂ）の粘着部が第１の平坦部
材（５３Ｆ）で覆われているので、ハンドリングが容易
である。そして、そのリジェクト手段（１２）が、保護
シート（４）が剥離された後のフレーム（２Ｄ）の貼着
部を貼着性の弱い第２の平坦部材（６３）上に載置し、
この第２の平坦部材（６３）を介してフレーム（２Ｄ）
を除去する場合には、第２の平坦部材（６３）を繰り返
し使用することができ、コスト的に有利である。Further, the rejecting means (12) attaches the first flat member (53F) to the attaching portion of the frame (2B) after the protective sheet (4) has been peeled off, and the first flat member (53F) is attached. When the member (53F) and the frame (2B) are integrally removed, since the adhesive portion of the frame (2B) is covered with the first flat member (53F), handling is easy. Then, the rejecting means (12) places the sticking portion of the frame (2D) after the protective sheet (4) is peeled off on the second flat member (63) having weak sticking property,
Through this second flat member (63) the frame (2D)
When removing, the second flat member (63) can be repeatedly used, which is advantageous in terms of cost.

【００１５】同様に、そのリジェクト手段（１２）が、
保護シート（４）が剥離された後のフレーム（２Ｃ）の
貼着部（３Ｃ）を表面に凹凸がある凹凸部材（６２）上
に載置し、凹凸部材（６２）を介してフレーム（２Ｃ）
を除去する場合にも、凹凸部材（６２）を繰り返し使用
することができ、コスト的に有利である。Similarly, the reject means (12) is
The sticking part (3C) of the frame (2C) after the protective sheet (4) has been peeled off is placed on the uneven member (62) having unevenness on the surface, and the frame (2C) is placed via the uneven member (62). )
Even when removing, the uneven member (62) can be repeatedly used, which is advantageous in terms of cost.

【００１６】また、防塵用の薄膜（１）に異物が付着し
ている場合には、その薄膜（１）の外側に異物が付着し
ている場合と内側（マスク基板側）に異物が付着してい
る場合とがある。そして、外側に異物が付着していて、
且つその異物が所定の許容値よりも小さい場合には必ず
しもその異物はそのマスク基板のパターンを転写する上
で障害とはならない。一方、その薄膜（１）の内側に異
物が付着している状態でフレーム（２）をマスク基板に
貼着すると、その異物がマスク基板側に移動する虞があ
る。そこで、その異物検査手段（１０）が、フレーム
（２）の防塵用の薄膜（１）の表面に付着した異物が防
塵用の薄膜（１）の外側又は内側の何れに付着している
のかを検出して、その薄膜（１）に付着した異物がその
薄膜（１）の内側の表面に付着しているときには、判定
手段（１１）がフレーム（２）をそのマスク基板に貼着
しないと判定することにより、良品を不良品と判定する
確率を低下させることができる。When foreign matter adheres to the dustproof thin film (1), foreign matter adheres to the outside of the thin film (1) and foreign matter adheres to the inside (mask substrate side) of the thin film (1). There are some cases. And, foreign matter is attached to the outside,
When the foreign matter is smaller than the predetermined allowable value, the foreign matter does not always become an obstacle in transferring the pattern of the mask substrate. On the other hand, if the frame (2) is attached to the mask substrate in a state where the foreign matter adheres to the inside of the thin film (1), the foreign matter may move to the mask substrate side. Therefore, the foreign matter inspection means (10) determines whether the foreign matter attached to the surface of the dustproof thin film (1) of the frame (2) is attached to the outside or the inside of the dustproof thin film (1). When the foreign matter attached to the thin film (1) is detected and attached to the inner surface of the thin film (1), the determining means (11) determines that the frame (2) is not attached to the mask substrate. By doing so, the probability of determining a non-defective product as a defective product can be reduced.

【００１７】[0017]

【実施例】以下、本発明の一実施例につき図面を参照し
て説明する。本実施例は図９のようなペリクル１が張設
されたペリクルフレーム２をレチクルに貼着する装置に
本発明を適用したものである。図１は本例のペリクルフ
レームの貼着装置の全体の構成を示し、この図１におい
て、５は装置全体が収納されたクリーンルームである。
クリーンルーム５の内部において、ペリクルフレーム収
納部６にはペリクルが張設されたペリクルフレームが１
個ずつ密閉状態で収納されたフレームケースが複数個収
納されている。フレームケースは例えば浅い箱状の容器
と蓋部とより構成され、ペリクルフレーム収納部６は例
えばそれらフレームケースをそれぞれスライド式に収納
する複数段の棚部より構成されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In this embodiment, the present invention is applied to a device for sticking a pellicle frame 2 on which a pellicle 1 is stretched as shown in FIG. 9 to a reticle. FIG. 1 shows the overall configuration of the pellicle frame sticking apparatus of this example. In FIG. 1, 5 is a clean room in which the entire apparatus is housed.
Inside the clean room 5, the pellicle frame accommodating portion 6 has a pellicle frame 1 on which a pellicle is stretched.
A plurality of frame cases are stored, each of which is hermetically sealed. The frame case is composed of, for example, a shallow box-shaped container and a lid part, and the pellicle frame housing part 6 is composed of, for example, a plurality of shelves for slidably housing the frame cases.

【００１８】７は先端がコの字状のペリクルフレーム用
の搬送アーム、８はスライダーを示し、搬送アーム７は
スライダー８に沿って移動自在に支持されている。ま
た、ペリクルフレーム収納部６の近くにペリクルフレー
ムからライナーを剥離するためのライナー剥離部９、ペ
リクルに付着した異物の検査を行うペリクル検査部１０
を配置し、ペリクル検査部１０におけるペリクルの異物
の検査結果情報をコンピュータよりなる検査結果判定部
１１に供給する。検査結果判定部１１によりリジェクト
すると判定されたペリクル付きのペリクルフレームはペ
リクルリジェクト部１２に搬送され、良品であると判定
されたペリクル付きのペリクルフレームはペリクルフレ
ーム貼着部１３に搬送される。Reference numeral 7 denotes a transfer arm for a pellicle frame having a U-shaped tip, and reference numeral 8 denotes a slider. The transfer arm 7 is movably supported along the slider 8. In addition, a liner peeling unit 9 for peeling the liner from the pellicle frame near the pellicle frame storage unit 6, and a pellicle inspection unit 10 for inspecting foreign matter attached to the pellicle.
And supplies the inspection result information of the foreign matter of the pellicle in the pellicle inspection unit 10 to the inspection result determination unit 11 including a computer. The pellicle frame with a pellicle determined to be rejected by the inspection result determination unit 11 is transported to the pellicle reject unit 12, and the pellicle frame with a pellicle determined to be a non-defective product is transported to the pellicle frame attachment unit 13.

【００１９】１４はレチクル収納部を示し、レチクル収
納部１４の内部にレチクルを収納した複数のレチクルケ
ースが装着される。１５は先端がコの字状のレチクル用
の搬送アーム、１６はスライダーを示し、搬送アーム１
５はスライダー１６に沿って移動自在に支持され、搬送
アーム１５によりレチクル収納部１４内のレチクルケー
スから取り出されたレチクルがペリクルフレーム貼着部
１３に搬送される。また、図示省略するも、クリーンル
ーム５の内部には、ペリクルフレーム収納部６から取り
出されたフレームケースからペリクル付きのペリクルフ
レームを取り出すための開閉機構が配置されているが、
この開閉機構は特開平１−９７９６１号公報に開示され
ている。但し、ペリクルフレームはケース無しでペリク
ルフレーム収納部６内に保管してもよい。Reference numeral 14 denotes a reticle storage unit, and a plurality of reticle cases in which reticles are stored are mounted inside the reticle storage unit 14. Reference numeral 15 is a transfer arm for a reticle having a U-shaped tip, and 16 is a slider.
The reticle 5 is movably supported along a slider 16, and the reticle taken out from the reticle case in the reticle storage unit 14 is transported by the transport arm 15 to the pellicle frame attachment unit 13. Although not shown, an opening / closing mechanism for taking out the pellicle frame with the pellicle from the frame case taken out from the pellicle frame housing 6 is arranged inside the clean room 5.
This opening / closing mechanism is disclosed in JP-A-1-97961. However, the pellicle frame may be stored in the pellicle frame storage section 6 without a case.

【００２０】次に、図１の各部の具体的な構成例を説明
する。先ず、図２はペリクル付きのペリクルフレーム用
の搬送アーム７の構成を示し、この図２において、１対
のＬ字型のアーム指１７及び１８がそれぞれスライドガ
イド１９及び２０を介して支持部２１に取り付けられて
いる。支持部２１は更に図１のスライダー８に沿ってＸ
方向に移動自在に支持されている移動台２２に回転自在
に支持され、ベルト２３を介して駆動モーター２４で支
持部２１を回転軸ＡＸを中心として回転することによ
り、１対のアーム指１７及び１８をθ１方向に回転する
ことができる。Next, a concrete configuration example of each part of FIG. 1 will be described. First, FIG. 2 shows the structure of a transfer arm 7 for a pellicle frame with a pellicle. In FIG. 2, a pair of L-shaped arm fingers 17 and 18 are provided with a support portion 21 via slide guides 19 and 20, respectively. Is attached to. The support portion 21 is further X-shaped along the slider 8 in FIG.
Is rotatably supported by a movable table 22 which is movably supported in a direction, and a drive motor 24 rotates a supporting portion 21 about a rotation axis AX via a belt 23, whereby a pair of arm fingers 17 and 18 can be rotated in the θ1 direction.

【００２１】また、支持部２１の内部に２個の溝が形成
されたカム２５が配置され、カム２５の２個の溝に１対
のアーム指１７及び１８のそれぞれの端部が装着され、
カム２５の両端が軸受け２７及び駆動モーター２６で支
持されている。駆動モーター２６でカム２５を回転させ
ることにより、１対のアーム指１７及び１８の間隔Ｄ１
を伸縮することができる。また、一方のアーム指１７の
内側及び外側にそれぞれ２個の突起２８Ａ，２８Ｂ及び
３０Ａ，３０Ｂが植設され、他方のアーム指１８の内側
及び外側にそれぞれ２個の突起２９Ａ，２９Ｂ及び３１
Ａ，３１Ｂが植設されている。１対のアーム指１７及び
１８の内側の突起２８Ａ，２８Ｂ及び２９Ａ，２９Ｂは
それぞれ図９に示すペリクルフレーム２の側面の凹部２
ａ〜２ｄに嵌合する大きさに形成されている。また、外
側の突起３０Ａ，３０Ｂ及び３１Ａ，３１Ｂは例えば図
１のペリクルフレーム収納部６からフレームケースを搬
出する際に使用される。Further, a cam 25 having two grooves formed therein is arranged inside the support portion 21, and the respective ends of the pair of arm fingers 17 and 18 are attached to the two grooves of the cam 25,
Both ends of the cam 25 are supported by a bearing 27 and a drive motor 26. By rotating the cam 25 with the drive motor 26, the distance D1 between the pair of arm fingers 17 and 18 is increased.
Can be expanded and contracted. Further, two protrusions 28A, 28B and 30A, 30B are respectively implanted inside and outside one arm finger 17, and two protrusions 29A, 29B and 31 are inside and outside the other arm finger 18, respectively.
A and 31B are planted. The protrusions 28A, 28B and 29A, 29B on the inside of the pair of arm fingers 17 and 18 are concave portions 2 on the side surface of the pellicle frame 2 shown in FIG. 9, respectively.
It is formed in a size that fits into a to 2d. Further, the outer protrusions 30A, 30B and 31A, 31B are used, for example, when the frame case is carried out from the pellicle frame housing portion 6 of FIG.

【００２２】そのフレームケースから取り出した後の図
９に示すペリクル付きのペリクルフレーム２の側面に搬
送アーム７の１対のアーム指１７及び１８を差し込み、
カム２５を回転してアーム指１７及び１８の間隔Ｄ１を
狭めることにより、内側の突起２８Ａ，２８Ｂ及び２９
Ａ，２９Ｂがそれぞれ図９に示すペリクルフレーム２の
側面の凹部２ａ〜２ｄに嵌合し、これによりペリクルフ
レーム２がアーム指１７及び１８の間に安定に保持され
る。また、図２では図示省略されているが、搬送アーム
７には、移動台２２をＸ方向に垂直なＹ方向に移動させ
るためのＹ軸方向移動機構も設けられている。After taking it out from the frame case, a pair of arm fingers 17 and 18 of the transfer arm 7 are inserted into the side surface of the pellicle frame 2 with a pellicle shown in FIG.
By rotating the cam 25 to reduce the distance D1 between the arm fingers 17 and 18, the inner protrusions 28A, 28B and 29
A and 29B respectively fit into the concave portions 2a to 2d on the side surface of the pellicle frame 2 shown in FIG. 9, whereby the pellicle frame 2 is stably held between the arm fingers 17 and 18. Although not shown in FIG. 2, the transfer arm 7 is also provided with a Y-axis direction moving mechanism for moving the moving table 22 in the Y direction perpendicular to the X direction.

【００２３】図３は図１のライナー剥離部９の構成を示
し、この図３において、３２はライナー剥離部９の基台
であり、基台３２の側面に回転アーム３３が取り付けら
れ、回転アーム３３の先端部に図９のライナー４の耳部
４ａを掴むための掴み部３４が取り付けられている。具
体的にペリクルフレーム２からライナー４を剥離するた
めには、図３に示すように、ライナー剥離部９の上方に
搬送アーム７の一対のアーム指１７及び１８の間に挟ま
れたペリクルフレーム２を搬送する。そして、基台３２
の内部の駆動モーターで回転アーム３３をθ２方向に回
転させて掴み部３４の間にライナー４の耳部４ａを位置
させて、掴み部３４で耳部４ａを掴む。その後、図２の
駆動モーター２４を駆動して、図３において搬送アーム
７のアーム指１７及び１８をθ１方向に例えば１８０°
回転することにより、ペリクルフレーム２からライナー
４が剥離される。FIG. 3 shows the structure of the liner peeling section 9 of FIG. 1. In FIG. 3, reference numeral 32 is a base of the liner peeling section 9, and a rotary arm 33 is attached to a side surface of the base 32. A grip portion 34 for gripping the ear portion 4a of the liner 4 of FIG. 9 is attached to the tip portion of 33. To specifically remove the liner 4 from the pellicle frame 2, as shown in FIG. 3, the pellicle frame 2 sandwiched between the pair of arm fingers 17 and 18 of the transport arm 7 above the liner peeling section 9. To transport. And the base 32
The rotation arm 33 is rotated in the θ2 direction by the drive motor inside the position of the liner 4 so that the ear portion 4a of the liner 4 is positioned between the grip portions 34, and the grip portion 34 grips the ear portion 4a. After that, the drive motor 24 of FIG. 2 is driven to move the arm fingers 17 and 18 of the transfer arm 7 in FIG.
The liner 4 is separated from the pellicle frame 2 by rotating.

【００２４】図４は図１のペリクルフレーム貼着部を示
し、この図４において、基台３５に対して互いに平行な
Ｄ２方向及びＤ３方向に移動自在にそれぞれ圧着板３６
及び３７が取り付けられている。圧着板３６には４個の
位置決め部３８が固定され、圧着板３７にも４個の位置
決め部３９が固定されている。そして、１個のレチクル
の両面にそれぞれライナーを剥離されたペリクル付きの
ペリクルフレーム２の粘着層３を接触させた状態で、上
側のペリクルフレーム及び下側のペリクルフレームをそ
れぞれ圧着板３６の位置決め部３８の間及び圧着板３７
の位置決め部３９の間に挟み、圧着板３６と圧着板３７
との間隔を狭めることにより、２個のペリクルフレーム
がそれぞれ１枚のレチクルに良好に貼着される。FIG. 4 shows the pellicle frame adhering portion of FIG. 1. In FIG. 4, the crimp plate 36 is movably movable in the directions D2 and D3 parallel to the base 35.
And 37 are attached. Four positioning parts 38 are fixed to the pressure bonding plate 36, and four positioning parts 39 are also fixed to the pressure bonding plate 37. The upper pellicle frame and the lower pellicle frame are positioned on the pressure plate 36 with the adhesive layers 3 of the pellicle with the pellicle peeled off from the liner are in contact with both sides of one reticle. 38 and crimping plate 37
It is sandwiched between the positioning portions 39 of the pressure plate 36 and the pressure plate 37.
By narrowing the distance between the two pellicle frames, each of the two pellicle frames can be favorably attached to one reticle.

【００２５】図５は図１のペリクル検査部１０の構成を
示し、この図５において、ライナー剥離後のペリクル１
付きのペリクルフレーム２がコの字型のアーム４０の間
に保持され、アーム４０はスライダー４１に沿ってＹ方
向に移動できるように支持され、アーム４０のＹ方向の
位置は測長センサー４２によりモニターされている。ア
ーム４０としては、図２の搬送アーム７をそのまま使用
してもよい。また、４３はレーザー光源を示し、レーザ
ー光源４３から射出されたレーザービームＬ１が負のシ
リンドリカルレンズ４４及び正のシリンドリカルレンズ
４５によりＸ方向に広げられ、Ｘ方向に広いレーザービ
ームＬ２が集光用のシリンドリカルレンズ４６によりペ
リクル１のＸ方向に長い測定領域５１上に照射される。FIG. 5 shows the construction of the pellicle inspection unit 10 of FIG. 1. In FIG. 5, the pellicle 1 after the liner has been peeled off is shown.
The attached pellicle frame 2 is held between the U-shaped arms 40, the arm 40 is supported so as to be movable in the Y direction along the slider 41, and the position of the arm 40 in the Y direction is determined by the length measuring sensor 42. Being monitored. The transfer arm 7 of FIG. 2 may be used as it is as the arm 40. Reference numeral 43 denotes a laser light source. The laser beam L1 emitted from the laser light source 43 is expanded in the X direction by the negative cylindrical lens 44 and the positive cylindrical lens 45, and the laser beam L2 that is wide in the X direction is focused. The cylindrical lens 46 irradiates the pellicle 1 onto the measurement region 51 that is long in the X direction.

【００２６】そして、そのペリクル１の測定領域５１の
異物等から傾斜して射出される散乱光（回折光等を含
む）Ｌ３が対物レンズ４７により１次元のイメージセン
サー４８の受光面４８ａ上に集束され、散乱光Ｌ３とほ
ぼ対称な方向に射出される散乱光Ｌ４が対物レンズ４９
により１次元のイメージセンサー５０の受光面５０ａ上
に集束される。受光面４８ａ及び５０ａはそれぞれ測定
領域５１と共役である。従って、ペリクル１上に異物が
存在すると、その異物が存在する位置に共役なイメージ
センサー４８又は５０の受光エレメントからその異物の
大きさにほぼ比例する光電変換信号が出力されることか
ら、その異物の大きさ及びＸ方向の位置を識別すること
ができる。そして、アーム４０をＹ方向に移動すること
により、ペリクル１の全面の異物検査が行われる。この
場合、２個のイメージセンサー４８及び５０が設けられ
ているので、測定領域５１がＹ方向にペリクルフレーム
２に近接しても、ペリクルフレーム２にケラレることな
くペリクル１の異物検出を行うことができる。The scattered light (including diffracted light) L3 obliquely emitted from the foreign matter or the like in the measurement area 51 of the pellicle 1 is focused on the light receiving surface 48a of the one-dimensional image sensor 48 by the objective lens 47. The scattered light L4 emitted from the objective lens 49 is emitted in a direction substantially symmetrical to the scattered light L3.
Are focused on the light receiving surface 50a of the one-dimensional image sensor 50. The light receiving surfaces 48a and 50a are respectively conjugated with the measurement area 51. Therefore, when a foreign substance is present on the pellicle 1, a photoelectric conversion signal substantially proportional to the size of the foreign substance is output from the light receiving element of the image sensor 48 or 50 which is conjugated to the position where the foreign substance is present. The size and position in the X direction can be identified. Then, by moving the arm 40 in the Y direction, the foreign matter inspection of the entire surface of the pellicle 1 is performed. In this case, since the two image sensors 48 and 50 are provided, even if the measurement area 51 is close to the pellicle frame 2 in the Y direction, the foreign matter of the pellicle 1 can be detected without vignetting the pellicle frame 2. You can

【００２７】図６は図１のペリクルリジェクト部１２の
構成を示し、この図６において、ライナー剥離後の検査
でリジェクトすべきと判定されたペリクル（不良ペリク
ル）１Ａが張設されたペリクルフレーム２Ａが搬送アー
ム７に保持されている。５２はコの字型のロード側キャ
リアを示し、ロード側キャリア５２の内部には、不良ペ
リクル１Ａが張設されたペリクルフレーム２Ａと一緒に
リジェクトされてもいいような平面部材（以下、「リジ
ェクトプレート」と呼ぶ）５３Ａ，５３Ｂ，‥‥，５３
Ｅが複数枚収納されている。ロード側キャリア５２は駆
動部５４により図６のＺ方向に上下に移動させることが
できる。FIG. 6 shows the structure of the pellicle reject unit 12 shown in FIG. 1. In FIG. 6, a pellicle frame 2A on which a pellicle (defective pellicle) 1A which is judged to be rejected by inspection after liner peeling is stretched. Are held by the transfer arm 7. Reference numeral 52 denotes a U-shaped load-side carrier. Inside the load-side carrier 52, a planar member (hereinafter, referred to as “reject” that may be rejected together with the pellicle frame 2A on which the defective pellicle 1A is stretched) may be rejected. 53A, 53B, ..., 53
Multiple sheets of E are stored. The load-side carrier 52 can be moved up and down in the Z direction of FIG. 6 by the drive unit 54.

【００２８】また、５５はコの字型のアンロード側キャ
リアを示し、ロード側キャリア５２の下端とアンロード
側キャリア５５の上端との間に１対のベルト５６Ａ及び
５６Ｂが張設されている。ベルト５６Ａ及び５６Ｂをプ
ーリー５７及び駆動部５８によりＸ方向に動かすことに
より、ロード側キャリア５２の最下端のリジェクトプレ
ート５３Ｅをアンロード側キャリア５５の方向に搬送す
ることができる。このアンロード側キャリア５５も駆動
部５９によりＺ方向に動かすことができる。この場合、
リジェクトプレート５３Ｅ，５３Ｄ，‥‥をロード側キ
ャリア５２の下端から順にベルト５６Ａ及び５６Ｂ上に
搬送し、搬送されたリジェクトプレート（例えば５３
Ｅ）上に不良ペリクル付きのペリクルフレーム（例えば
２Ａ）を貼着する。Reference numeral 55 denotes a U-shaped unloading side carrier, and a pair of belts 56A and 56B are stretched between the lower end of the loading side carrier 52 and the upper end of the unloading side carrier 55. . By moving the belts 56A and 56B in the X direction by the pulley 57 and the drive unit 58, the reject plate 53E at the lowermost end of the load side carrier 52 can be conveyed in the direction of the unload side carrier 55. The unload-side carrier 55 can also be moved in the Z direction by the drive unit 59. in this case,
The reject plates 53E, 53D, ... Are sequentially conveyed from the lower end of the load side carrier 52 onto the belts 56A and 56B, and the conveyed reject plates (for example, 53
E) Stick a pellicle frame (eg 2A) with a defective pellicle on top.

【００２９】このようにペリクルフレームが貼着された
リジェクトプレートがアンロード側キャリア５５内に上
から順に収納される。図６では、アンロード側キャリア
５５の最上段に不良ペリクル１Ｂ付きのペリクルフレー
ム２Ｂが貼着されたリジェクトプレート５３Ｆが収納さ
れている。このようなリジェクトプレート５３Ｆは例え
ば別の搬送装置でクリーンルーム５の外部に搬出され
る。The reject plates to which the pellicle frame is attached in this manner are sequentially housed in the unload side carrier 55 from the top. In FIG. 6, a reject plate 53F to which a pellicle frame 2B with a defective pellicle 1B is attached is stored in the uppermost stage of the unload-side carrier 55. Such a reject plate 53F is carried out of the clean room 5 by another carrying device, for example.

【００３０】また、ロード側キャリア５２の上方には光
源６０が設けられ、光源６０から射出された光ビームＬ
５はリジェクトプレート５３Ａにより遮光されている。
仮に、ロード側キャリア５２に収納されているリジェク
トプレート５３Ａ，５３Ｂ，‥‥が全てアンロード側キ
ャリア５５に移った場合には、光ビームＬ５は受光器６
１まで達する。受光器６１が光ビームＬ５を受光した場
合には、不図示のアラーム手段によりリジェクトプレー
トが全て使用されたという警報を発し、これに応じてロ
ード側キャリア５２にリジェクトプレート５３Ａ，５３
Ｂ，‥‥を補給し、更にアンロード側キャリア５５から
不良ペリクル付きのペリクルフレームが貼着されたリジ
ェクトプレートを取り除く。A light source 60 is provided above the load side carrier 52, and a light beam L emitted from the light source 60 is emitted.
5 is shielded from light by the reject plate 53A.
If all the reject plates 53A, 53B, ... Stored in the load-side carrier 52 are moved to the unload-side carrier 55, the light beam L5 is emitted from the light receiver 6
Reach 1 When the light receiver 61 receives the light beam L5, an alarm means (not shown) gives an alarm that all the reject plates have been used, and accordingly, the load side carrier 52 rejects the reject plates 53A, 53.
B is supplied, and the reject plate to which the pellicle frame with the defective pellicle is attached is removed from the unload-side carrier 55.

【００３１】但し、受光器６１の受光信号を使用するこ
となく、ロード側キャリア５２に装着したリジェクトプ
レートの枚数に図１の検査結果判定部１１にて不良と判
定したペリクルの個数が達したときに、ロード側キャリ
ア５２にリジェクトプレートを補充するようにしてもよ
い。リジェクトプレート５３Ａ，５３Ｂ，‥‥の材質と
しては、アルミニウム等の金属の平行平面板、ガラス基
板又はプラスチック板等が使用できる。但し、仮に受光
器６１の検出信号より上記のように警告を発生する最に
は、光ビームＬ５を遮光するために、リジェクトプレー
ト５３Ａ，５３Ｂ，‥‥としては光ビームＬ５を透過し
ないような金属板、遮光性のガラス基板（例えばアルミ
ニウムを蒸着したもの）を使用する必要がある。また、
リジェクトプレートを不良ペリクル付きのペリクルフレ
ームと共に廃棄する場合には、なるべく安価なものが好
ましく、例えばプラスチック等の成形品のプレート等が
最も適している。However, when the number of pellicles judged to be defective by the inspection result judging section 11 in FIG. 1 reaches the number of reject plates mounted on the load side carrier 52 without using the light reception signal of the light receiver 61. Alternatively, the load side carrier 52 may be supplemented with a reject plate. As the material of the reject plates 53A, 53B, ..., A plane parallel plate made of metal such as aluminum, a glass substrate or a plastic plate can be used. However, when the warning is generated from the detection signal of the light receiver 61 as described above, the reject plates 53A, 53B, ... Are made of a metal that does not transmit the light beam L5 in order to shield the light beam L5. It is necessary to use a plate or a light-shielding glass substrate (for example, one on which aluminum is vapor deposited). Also,
When the reject plate is to be discarded together with the pellicle frame with the defective pellicle, it is preferable that the reject plate be as inexpensive as possible and, for example, a plate of a molded product such as plastic is most suitable.

【００３２】但し、リジェクトプレートを不良ペリクル
付きのペリクルフレームと一緒に廃棄することなく再利
用したい場合には、リジェクトプレートとしては例えば
テフロンやデルリン等の合成樹脂を用いるとよい。これ
らの樹脂に対してはペリクルフレーム２の粘着層３の粘
着力は弱いため、容易に不良ペリクル付きのペリクルフ
レームをそのリジェクトプレートから剥離してそのリジ
ェクトプレートを再利用することができる。この考えは
応用が広く、例えばライナー剥離後のペリクルの検査は
１つの検査装置で実行し、それに続くペリクルフレーム
の貼り付けは別の貼着装置で実行するような場合等にお
いて、検査後のペリクル付きのペリクルフレーム（即ち
粘着層が剥き出しのペリクルフレーム）をデルリンプレ
ート等に載置して、所定のケース内に密閉する。その
後、別のペリクルフレームの貼着装置にそのデルリンプ
レート等に貼着されたペリクルフレームを搬入して、そ
のケースを開封してそのデルリンプレート等から容易に
剥離したペリクルフレームをハンドリングしてレチクル
に貼り付けることができる。However, when it is desired to reuse the reject plate together with the pellicle frame with the defective pellicle without discarding it, it is preferable to use a synthetic resin such as Teflon or Delrin as the reject plate. Since the adhesive force of the adhesive layer 3 of the pellicle frame 2 is weak against these resins, the pellicle frame with the defective pellicle can be easily peeled from the reject plate and the reject plate can be reused. This idea is widely applied. For example, when the inspection of the pellicle after the liner is peeled off is performed by one inspection device, and the subsequent attachment of the pellicle frame is performed by another attachment device, the pellicle after the inspection is performed. The attached pellicle frame (that is, the pellicle frame with the adhesive layer exposed) is placed on a Delrin plate or the like, and sealed in a predetermined case. After that, the pellicle frame stuck to the Delrin plate etc. is carried into another pellicle frame sticking device, the case is opened, and the pellicle frame easily peeled from the Delrin plate etc. is handled and used as a reticle. Can be pasted.

【００３３】更に、再利用可能なリジェクトプレートと
しては、図７のような断面を有するものを利用してもよ
い。図７において、６２はリジェクトプレートを示し、
リジェクトプレート６２の片面には波状の突起６２ａ及
び６２ｂが設けられ、これら突起６２ａ及び６２ｂの上
に不良ペリクル１Ｃが張設されたペリクルフレーム２Ｃ
の粘着層３Ｃを貼着する。この例では、ペリクルフレー
ム２Ｃの粘着層３Ｃとリジェクトプレート６２とは極め
て小さい面積でしか接触していないため、ペリクルフレ
ーム２Ｃは貼着固定というよりもむしろ動かない程度に
支持されているだけである。従って、リジェクトプレー
ト６２からペリクルフレーム２Ｃを容易に外すことが出
来るため、リジェクトプレート６２を再利用できる。な
お、波状の突起６２ａ，６２ｂの代わりに凸部の突起等
を使用してもよい。Further, as the reusable reject plate, one having a cross section as shown in FIG. 7 may be used. In FIG. 7, reference numeral 62 denotes a reject plate,
A pellicle frame 2C in which wavy projections 62a and 62b are provided on one surface of the reject plate 62, and the defective pellicle 1C is stretched on these projections 62a and 62b.
Adhere the adhesive layer 3C. In this example, since the adhesive layer 3C of the pellicle frame 2C and the reject plate 62 are in contact with each other only in an extremely small area, the pellicle frame 2C is supported not to be fixed but to be fixed. . Therefore, the pellicle frame 2C can be easily removed from the reject plate 62, and the reject plate 62 can be reused. Instead of the wavy protrusions 62a and 62b, protrusions of convex portions may be used.

【００３４】次に、図１に戻り、本例の貼着装置の全体
の動作の一例につき説明する。図１において、ペリクル
フレーム収納部６から搬送アーム７により任意の１個の
フレームケースを取り出し、搬送アーム７はスライダー
８に沿ってそのフレームケースを図示省略した開閉機構
に運び、この開閉機構はそのフレームケースを開けて中
のペリクル付きのペリクルフレームを取り出し、このペ
リクルフレームを搬送アーム７が支持する。そのペリク
ル付きのペリクルフレームが搬送アーム７によりライナ
ー剥離部９に搬送され、ライナー剥離部１４にてそのペ
リクルフレームからライナーが剥離される。次いで、ペ
リクル検査部１０にてペリクル表面の異物等の欠陥状態
が検査され、その結果が通信ラインを介して検査結果判
定部１１に入力される。Next, returning to FIG. 1, an example of the overall operation of the sticking apparatus of this example will be described. In FIG. 1, an arbitrary one frame case is taken out from the pellicle frame storage unit 6 by the transfer arm 7, and the transfer arm 7 carries the frame case along a slider 8 to an opening / closing mechanism (not shown). The frame case is opened, the pellicle frame with the pellicle inside is taken out, and the pellicle frame is supported by the transfer arm 7. The pellicle frame with the pellicle is transported by the transport arm 7 to the liner stripping section 9, and the liner stripping section 14 strips the liner from the pellicle frame. Next, the pellicle inspection unit 10 inspects for a defect state such as foreign matter on the surface of the pellicle, and the result is input to the inspection result determination unit 11 via the communication line.

【００３５】検査結果判定部１１では、例えば異物が１
個でも検出された場合は不良とするか、又は決められた
サイズ以下の小さい異物は許容するが、それを超える大
きい異物が付着している場合は不良とする等の判定基準
に基づいて、ペリクルの良又は不良を判定する。「良」
と判定した場合は、検査結果判定部１１は通信ラインを
介してペリクルフレーム貼着部１３にペリクルの貼り付
け指令を発する。貼り付け実行前までに、レチクル収納
部１４からレチクル用の搬送アーム１５及びスライダー
１６を介してペリクルフレーム貼着部１３にレチクルを
搬送しておく。これにより、レチクルに異物の無いペリ
クル付きのペリクルフレームが貼着される。In the inspection result judging section 11, for example, if the foreign matter is 1
If the number of individual particles is detected, it is judged as defective, or if a foreign material smaller than a specified size is allowed, but if a larger foreign material is attached, it is judged as defective. Judge whether good or bad. "Good"
If it is determined that the inspection result determination unit 11 issues a pellicle attachment command to the pellicle frame attachment unit 13 via the communication line. The reticle is transported from the reticle storage unit 14 to the pellicle frame attachment unit 13 via the reticle transport arm 15 and the slider 16 before the attachment is performed. As a result, a pellicle frame with a pellicle free of foreign matter is attached to the reticle.

【００３６】一方、検査結果判定部１１で「不良」と判
定した場合は、通信ラインを介してペリクルリジェクト
部１２にリジェクト指令が発せられ、このペリクルリジ
ェクト部１２で搬送アーム７に保持されているペリクル
フレームをリジェクトする。この場合、ペリクルフレー
ム収納部６及びレチクル収納部１４にそれぞれ収納され
るペリクルフレーム及びレチクルは複数枚でもよい。更
に、レチクル収納部１４とペリクルフレーム貼着部１３
との間に、レチクルへの異物の付着の有無を検査するレ
チクル検査部を設けて、レチクルの異物検査の結果の良
否に従って、そのレチクルへのペリクルフレームの貼り
付けを実行するか、又はもう一度レチクル収納部１４に
そのレチクルを戻すかを判定するようにしてもよい。On the other hand, when the inspection result judging unit 11 judges "defective", a reject command is issued to the pellicle reject unit 12 through the communication line, and the pellicle reject unit 12 holds the conveyance arm 7 by the reject command. Reject the pellicle frame. In this case, a plurality of pellicle frames and reticles may be stored in the pellicle frame storage section 6 and the reticle storage section 14, respectively. Further, the reticle storage portion 14 and the pellicle frame attachment portion 13
Between the reticle and the reticle, a reticle inspection unit that inspects the reticle for foreign matter is attached, and the pellicle frame is attached to the reticle according to the result of the reticle foreign matter inspection, or the reticle is attached again. It may be determined whether or not the reticle is returned to the storage section 14.

【００３７】次に、図１のペリクルリジェクト部１２の
他の例につき図８を参照して説明する。図８において、
６３はペリクルの粘着層への粘着力が小さいデルリン等
よりなる回転プレートを示し、この回転プレート６３を
駆動モーター６４でθ３方向に回転できるように支持す
る。そして、不良ペリクル１Ｄが張設されたペリクルフ
レーム２Ｄを搬送アーム７で回転プレート６３の一端上
に載置し、回転プレート６３の他端上の不良ペリクル１
Ｅが張設されたペリクルフレーム２Ｅを図１のクリーン
ルーム５の外部へ取り出す。その後、回転プレート６３
をθ３方向に１８０°回転してから、そのペリクルフレ
ーム２Ｄをも外部へ取り出す。この図８の例では比較的
構成が簡略であり、且つ不良ペリクル付きのペリクルフ
レームと共に廃棄されるプレートが無いので経済的でも
ある。Next, another example of the pellicle reject unit 12 of FIG. 1 will be described with reference to FIG. In FIG.
Reference numeral 63 denotes a rotating plate made of Delrin or the like, which has a small adhesive force to the adhesive layer of the pellicle. The rotating plate 63 is supported by the drive motor 64 so as to be rotatable in the θ3 direction. Then, the pellicle frame 2D on which the defective pellicle 1D is stretched is placed on one end of the rotating plate 63 by the transfer arm 7, and the defective pellicle 1 on the other end of the rotating plate 63 is placed.
The pellicle frame 2E on which E is stretched is taken out of the clean room 5 in FIG. Then the rotating plate 63
Is rotated 180 ° in the θ3 direction, and the pellicle frame 2D is also taken out. In the example of FIG. 8, the structure is relatively simple, and there is no plate to be discarded together with the pellicle frame with a defective pellicle, which is economical.

【００３８】なお、図５のペリクル検査部１０では単に
ペリクル１に異物が付着しているかどうかを調べている
が、その異物がペリクル１の表面（外側）又は裏面（レ
チクル側の面）の何れに付着しているのかを検出する表
裏検出手段を併設してもよい。このように、ペリクル１
に付着している異物がペリクル１の表面又は裏面の何れ
に付着しているのかを検出するためには、例えば特開平
３−５７９４５号公報に開示されているように、検出用
の照明光として白色光を用いる。The pellicle inspecting unit 10 in FIG. 5 simply checks whether or not foreign matter is attached to the pellicle 1. Whether the foreign matter is on the front surface (outer side) or the back surface (face on the reticle side) of the pellicle 1. Front and back detecting means for detecting whether or not they are adhered to may be additionally provided. In this way, pellicle 1
In order to detect whether the foreign matter attached to the pellicle 1 is attached to the front surface or the back surface of the pellicle 1, for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-57945, an illumination light for detection is used. Use white light.

【００３９】そして、ペリクル１の異物からの散乱光を
光軸がペリクル１の法線方向から大きく傾斜した受光レ
ンズで受光して、この受光した散乱光を例えば３種類程
度の波長帯別に光電変換する。この場合、ペリクル１に
よる波長選択性によりペリクル１の表面の異物からの散
乱光の波長帯別の強度の割合と、ペリクル１の裏面の異
物からの散乱光の波長帯別の強度の割合とは異なるの
で、その波長帯別の強度の割合を調べることにより、そ
の異物の表裏判定を行うことができる。Then, the scattered light from the foreign matter of the pellicle 1 is received by the light receiving lens whose optical axis is largely inclined from the normal line direction of the pellicle 1, and the received scattered light is photoelectrically converted into, for example, about three kinds of wavelength bands. To do. In this case, due to the wavelength selectivity of the pellicle 1, the ratio of the intensity of scattered light from the foreign matter on the surface of the pellicle 1 by wavelength band and the intensity of the scattered light from the foreign matter on the back surface of the pellicle 1 by wavelength band are Since they are different, the front and back of the foreign matter can be determined by checking the intensity ratio of each wavelength band.

【００４０】この場合、ペリクル１の裏面に付着してい
る所定の大きさ以上の異物は、ペリクルフレーム２をレ
チクルに貼着した場合にそのレチクル面に移動して転写
像を乱す虞があるので、そのようなペリクル１は確実に
不良と判定する必要がある。一方、ペリクル１の表面に
比較的小さな異物が付着していても、その異物はレチク
ル側の移動することがなく、転写像に悪い影響を与える
ことがない。そこで、図１のペリクル検査部１０が更
に、異物がペリクル１の表裏面の何れに付着しているか
を検査できるものとすると、図１の検査結果判定部１１
は、ペリクル１の裏面に所定の大きさ以上の異物が付着
している場合には、そのペリクル１をリジェクトするべ
きであると判定する。逆に、ペリクル１の表面に異物が
付着している場合には、図１の検査結果判定部１１はそ
の異物の大きさに応じてリジェクトすべきかどうかを判
定する。これにより、リジェクトされるペリクルの個数
が減ってペリクルを有効に活用できる。In this case, foreign matter of a predetermined size or larger attached to the back surface of the pellicle 1 may move to the reticle surface when the pellicle frame 2 is attached to the reticle and disturb the transferred image. It is necessary to surely determine that such a pellicle 1 is defective. On the other hand, even if a relatively small foreign matter adheres to the surface of the pellicle 1, the foreign matter does not move on the reticle side and does not adversely affect the transferred image. Therefore, assuming that the pellicle inspection unit 10 of FIG. 1 can further inspect which of the front and back surfaces of the pellicle 1 the foreign matter is attached to, the inspection result determination unit 11 of FIG.
Determines that the pellicle 1 should be rejected when a foreign substance having a size larger than a predetermined size is attached to the back surface of the pellicle 1. On the contrary, when a foreign matter is attached to the surface of the pellicle 1, the inspection result determination unit 11 in FIG. 1 determines whether or not to reject according to the size of the foreign matter. As a result, the number of rejected pellicles is reduced and the pellicles can be effectively utilized.

【００４１】なお、本発明は上述実施例に限定されず本
発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得るこ
とは勿論である。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and it goes without saying that various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.

【００４２】[0042]

【発明の効果】本発明によれば、保護シート（ライナ
ー）の剥離後に防塵用の薄膜（ペリクル）に異物が検出
された場合に簡単な機構で迅速にフレーム（ペリクルフ
レーム）をリジェクトできる利点がある。また、そのリ
ジェクト手段が、第１の平坦部材とそのフレームとを一
体的に除去する場合には他端に貼着部を有するそのフレ
ームを容易に外部に搬出できる利点がある。According to the present invention, there is an advantage that a frame (pellicle frame) can be rapidly rejected by a simple mechanism when a foreign substance is detected in the dustproof thin film (pellicle) after the protective sheet (liner) is peeled off. is there. Further, when the rejecting means integrally removes the first flat member and the frame thereof, there is an advantage that the frame having the attaching portion at the other end can be easily carried out to the outside.

【００４３】また、そのリジェクト手段が、貼着性の弱
い第２の平坦部材を介してそのフレームを除去する場
合、又は表面に凹凸がある凹凸部材を介してそのフレー
ムを除去する場合には、それら第２の平坦部材又は凹凸
部材を繰り返し使用できるので経済的である。Further, when the reject means removes the frame via the second flat member having weak adhesiveness, or removes the frame via the uneven member having an uneven surface, It is economical because the second flat member or the uneven member can be repeatedly used.

【００４４】更に、異物検査手段が、そのフレームの防
塵用の薄膜の表面に付着した異物がその薄膜の外側又は
内側の何れに付着しているのかを検出する表裏検出手段
を有し、判定手段が、その防塵用の薄膜に付着した異物
がその薄膜の内側の表面に付着しているときには、その
フレームをマスク基板に貼着しないと判定する場合に
は、異物が付着している防塵用の薄膜の全てが一律に不
良と判定されることがなくなるので、その薄膜付きのフ
レームを有効に使用できる利点がある。Further, the foreign matter inspecting means has front and back detecting means for detecting whether the foreign matter adhering to the surface of the dust-proof thin film of the frame is attached to the outer side or the inner side of the thin film. However, when the foreign matter adhered to the dustproof thin film is attached to the inner surface of the thin film, if it is determined that the frame is not attached to the mask substrate, the foreign matter attached to the dustproof thin film is used. Since all the thin films are not uniformly judged as defective, there is an advantage that the frame with the thin film can be effectively used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明によるフレームの貼着装置の一実施例の
全体の構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an overall configuration of an embodiment of a frame attaching device according to the present invention.

【図２】図１の搬送アームの構成を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a transfer arm shown in FIG.

【図３】図１のライナー剥離部９の構成を示す側面図で
ある。FIG. 3 is a side view showing a configuration of a liner peeling section 9 of FIG.

【図４】図１のペリクルフレーム貼着部１３の構成を示
す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a configuration of a pellicle frame attaching portion 13 of FIG.

【図５】図１のペリクル検査部１０の構成を示す斜視図
である。5 is a perspective view showing a configuration of a pellicle inspection unit 10 in FIG.

【図６】図１のペリクルリジェクト部１２の構成を示す
斜視図である。6 is a perspective view showing a configuration of a pellicle reject unit 12 of FIG.

【図７】リジェクトプレートの変形例を示す側面図であ
る。FIG. 7 is a side view showing a modified example of the reject plate.

【図８】図１のペリクルリジェクト部１２の他の構成例
の要部を示す斜視図である。8 is a perspective view showing a main part of another configuration example of the pellicle reject unit 12 of FIG.

【図９】ペリクル付きのペリクルフレームを示す斜視図
である。FIG. 9 is a perspective view showing a pellicle frame with a pellicle.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ ペリクル ２ ペリクルフレーム ３ 粘着層 ４ ライナー ４ａ ライナーの耳部 ５ クリーンルーム ７，１５ 搬送アーム ８，１６ スライダー ６ ペリクルフレーム収納部 ９ ライナー剥離部 １０ ペリクル検査部 １１ 検査結果判定部 １２ ペリクルリジェクト部 １３ ペリクルフレーム貼着部 １４ レチクル収納部 ５２ ロード側キャリア ５３Ａ，５３Ｂ，‥‥，５３Ｆ リジェクトプレート ５４，５９ 駆動部 ５５ アンロード側キャリア ６２ リジェクトプレート ６３ 回転板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pellicle 2 Pellicle frame 3 Adhesive layer 4 Liner 4a Liner ears 5 Clean room 7,15 Transfer arm 8,16 Slider 6 Pellicle frame storage 9 Liner stripping section 10 Pellicle inspection section 11 Inspection result determination section 12 Pellicle reject section 13 Pellicle Frame attachment section 14 Reticle storage section 52 Load side carrier 53A, 53B, ..., 53F Reject plate 54, 59 Drive section 55 Unload side carrier 62 Reject plate 63 Rotating plate

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 一端に防塵用の薄膜が張設され他端の貼
着部に保護シートが貼着されたフレームを収納するフレ
ーム用の収納ケースと、 マスク基板を収納するマスク用の収納ケースと、 前記フレーム用の収納ケースから前記フレームを取り出
して保持するフレーム取り出し手段と、 前記マスク用の収納ケースから前記マスク基板を取り出
すマスク取り出し手段と、 前記フレーム取り出し手段に保持された前記フレームか
ら前記保護シートを剥離する剥離手段と、 前記保護シートが剥離されたフレームを前記マスク取り
出し手段により取り出された前記マスク基板に貼着する
貼着手段と、を有し、前記保護シートが剥離された前記
フレームを前記マスク基板に貼着する装置において、 前記保護シートが剥離された後の前記フレームに張設さ
れた前記防塵用の薄膜の表面に付着した異物を検出する
異物検査手段と、 該異物検査手段による検査結果に基づいて前記保護シー
トが剥離された後の前記フレームを前記マスク基板に貼
着するか否かを判定する判定手段と、 該判定手段により前記保護シートが剥離された後の前記
フレームを前記マスク基板に貼着しないと判定された際
に、前記フレーム取り出し手段から前記フレームを除去
するリジェクト手段と、を設けた事を特徴とするフレー
ムの貼着装置。1. A frame storage case for storing a frame in which a dust-proof thin film is stretched at one end and a protective sheet is attached at the attachment portion at the other end, and a mask storage case for storing a mask substrate. A frame take-out means for taking out and holding the frame from the frame storage case; a mask take-out means for taking out the mask substrate from the mask storage case; and a frame take-out means for taking out the frame from the frame held by the frame take-out means. Peeling means for peeling the protective sheet, and a sticking means for sticking the frame from which the protective sheet has been peeled to the mask substrate taken out by the mask taking-out means, wherein the protective sheet is peeled off. In a device for attaching a frame to the mask substrate, the protective sheet is stretched over the frame after being peeled off. Foreign matter inspection means for detecting foreign matter adhering to the surface of the dustproof thin film, and whether the frame after the protective sheet has been peeled off is adhered to the mask substrate based on the inspection result by the foreign matter inspection means Determination means for determining whether or not the frame is removed from the frame removal means when it is determined by the determination means that the frame after the protection sheet is peeled off is not attached to the mask substrate And a frame attaching device. 【請求項２】 前記リジェクト手段は、前記保護シート
が剥離された後の前記フレームの貼着部に第１の平坦部
材を貼着し、該第１の平坦部材と前記フレームとを一体
的に除去する事を特徴とする請求項１記載のフレームの
貼着装置。2. The rejecting means attaches a first flat member to an attaching portion of the frame after the protective sheet is peeled off, and integrally attaches the first flat member and the frame. The frame attaching device according to claim 1, wherein the frame attaching device is removed. 【請求項３】 前記リジェクト手段は、前記保護シート
が剥離された後の前記フレームの貼着部を貼着性の弱い
第２の平坦部材上に載置し、該第２の平坦部材を介して
前記フレームを除去する事を特徴とする請求項１記載の
フレームの貼着装置。3. The reject means mounts the sticking portion of the frame after the protective sheet is peeled off on a second flat member having weak sticking property, and through the second flat member. The frame attaching device according to claim 1, wherein the frame is removed by removing the frame. 【請求項４】 前記リジェクト手段は、前記保護シート
が剥離された後の前記フレームの貼着部を表面に凹凸が
ある凹凸部材上に載置し、該凹凸部材を介して前記フレ
ームを除去する事を特徴とする請求項１記載のフレーム
の貼着装置。4. The rejecting unit places the sticking portion of the frame after the protective sheet is peeled off on an uneven member having an uneven surface, and removes the frame via the uneven member. The frame sticking apparatus according to claim 1, wherein: 【請求項５】 前記異物検査手段は、前記フレームの前
記防塵用の薄膜の表面に付着した異物が前記防塵用の薄
膜の外側又は内側の何れに付着しているのかを検出する
表裏検出手段を有し、 前記判定手段は、前記防塵用の薄膜に付着した異物が前
記防塵用の薄膜の内側の表面に付着しているときには、
前記フレームを前記マスク基板に貼着しないと判定する
事を特徴とする請求項１、２、３又は４記載のフレーム
の貼着装置。5. The foreign matter inspecting means includes front and back detecting means for detecting whether a foreign matter attached to a surface of the dustproof thin film of the frame is attached to an outer side or an inner side of the dustproof thin film. Having the determination means, when the foreign matter attached to the dust-proof thin film is attached to the inner surface of the dust-proof thin film,
The frame attaching device according to claim 1, wherein the frame attaching device determines that the frame is not attached to the mask substrate.