JPH0680546U - Wire saw device - Google Patents

Wire saw device

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JPH0680546U
JPH0680546U JP2720293U JP2720293U JPH0680546U JP H0680546 U JPH0680546 U JP H0680546U JP 2720293 U JP2720293 U JP 2720293U JP 2720293 U JP2720293 U JP 2720293U JP H0680546 U JPH0680546 U JP H0680546U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire
feed
work
saw device
positions
Prior art date
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Pending
Application number
JP2720293U
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
純之 重松
一朝 絹谷
Original Assignee
株式会社日平トヤマ
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日平トヤマ filed Critical 株式会社日平トヤマ
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 多重巻き掛け状態のワイヤに対して2箇所以
上に切断位置を設定し、かつワークの送り機構を簡略化
することである。 【構成】 複数の多角形配置の溝付きローラに対してワ
イヤを多重に巻き掛けるワイヤソー装置において、ワイ
ヤに対し2箇所以上で交差する方向に送り体を移動自在
に設け、この送り体を送りモータおよび送りユニットに
より駆動するとともに、送り体にワークを配置し、この
ワークをワイヤの2か所の切断位置に対し2以上のワー
クをそれぞれ対応させるようにしている。
(57) [Abstract] [Purpose] To set cutting positions at two or more positions for a wire in a multi-winding state and to simplify a work feed mechanism. In a wire saw device in which a wire is wound around a grooved roller having a plurality of polygonal arrangements, a feed body is movably provided in a direction intersecting the wire at two or more locations, and the feed body is provided with a feed motor. In addition to being driven by the feed unit, a work is arranged on the feed body, and this work is made to correspond to two or more works at two cutting positions of the wire.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、ワイヤソー装置の改良に関する。 The present invention relates to improvement of a wire saw device.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

従来の一般的なワイヤソー装置において、ワイヤは多角形配置された多重巻き 掛け溝付きローラに多重に巻き掛けられており、その切断位置は、1箇所のみに 設定されている。このため、切断能率が悪い。 In a conventional general wire saw device, a wire is wound around multiple rollers with multiple winding grooves arranged in a polygon, and the cutting position is set at only one position. Therefore, the cutting efficiency is poor.

【0003】 一方、特開昭55−70545号公報のものは、三角形の頂点位置の溝付きロ ーラに対しワイヤを多重に巻き掛け3箇所に切断対象のワークを配置している。 その装置では、3箇所でワークが同時に切断されるが、ワークの送り方向が異な っているため、送りユニットが複雑になり、装置が大型化する。On the other hand, in JP-A-55-70545, a wire to be wound is multiply wound around a grooved roller at the apex position of a triangle, and a work to be cut is arranged at three positions. In that device, the work is cut at three locations at the same time, but since the work feed direction is different, the feed unit becomes complicated and the device becomes large.

【0004】[0004]

【考案の目的】[The purpose of the device]

したがって、本考案の目的は、多重巻き掛け状態のワイヤに対して2箇所以上 に切断位置を設定し、かつワークの送り機構を簡略化することである。 Therefore, an object of the present invention is to set cutting positions at two or more positions for a wire in a multi-winding state and to simplify a work feeding mechanism.

【0005】[0005]

【考案の解決手段】[Solution of the device]

上記目的のもとに、本考案は、複数の多角形配置の溝付きローラに対してワイ ヤを多重に巻き掛けるワイヤソー装置において、ワイヤに対し2箇所以上で交差 する方向に送り体を移動自在に設け、この送り体を送りモータおよび送りユニッ トにより駆動するとともに、送り体にワークを配置し、このワークをワイヤの2 か所の切断位置に対し2以上のワークをそれぞれ対応させるようにしている。 In view of the above object, the present invention provides a wire saw device in which a wire is wound around a plurality of grooved rollers arranged in a polygon, and the feed body is movable in a direction intersecting with the wire at two or more places. The feed unit is driven by a feed motor and a feed unit, and a work is placed on the feed unit so that two or more works correspond to the two cutting positions of the wire. There is.

【0006】[0006]

【実施例】【Example】

図1は、本考案のワイヤソー装置1の全体的な構成を示している。ワイヤソー 装置1は、従来と同様に、複数の溝付きローラ2、ワイヤ3および駆動モータ4 を備えている。溝付きローラ2は、例えば長方形の4隅位置に平行な状態で回転 自在に支持されており、切断用のワイヤ3は、溝付きローラ2の溝に沿って平行 な状態で多重に巻き掛けられ、正面から見て長方形の形状をなしている。複数の 溝付きローラ2のうち1つのものは、駆動モータ4に連結されている。 FIG. 1 shows the overall structure of a wire saw device 1 of the present invention. The wire saw device 1 includes a plurality of grooved rollers 2, wires 3 and a drive motor 4 as in the conventional case. The grooved roller 2 is rotatably supported in parallel with, for example, the four corners of a rectangle, and the cutting wire 3 is wound along the groove of the grooved roller 2 in a parallel state. , It has a rectangular shape when viewed from the front. One of the plurality of grooved rollers 2 is connected to the drive motor 4.

【0007】 そして、本考案のワイヤソー装置1は、特徴的な部分として、案内体5、送り 体6、送りモータ7および送りユニット8によって組み立てられている。案内体 5は、図示しない機枠などに例えば垂直方向に取り付けられており、ワイヤ3に 対し2箇所以上例えば直交状態で交差する方向の案内溝9を備えており、この案 内溝で送り体6の摺動部10と嵌まり合っている。The wire saw device 1 of the present invention is assembled by the guide body 5, the feed body 6, the feed motor 7, and the feed unit 8 as a characteristic part. The guide body 5 is attached to, for example, a machine frame (not shown) in the vertical direction, for example, and is provided with guide grooves 9 at two or more locations, for example, in a direction intersecting at right angles with the wire 3. 6 and the sliding part 10 of FIG.

【0008】 送り体6は、側面から見て例えばコの字状の形状をしており、摺動部10に組 み込まれた送りユニット8によって送りモータ7に連結されている。なお、送り ユニット8は、送りねじシャフトおよびこれにねじ込まれた送りねじナットによ って構成されており、送りモータ7の回転運動を案内溝9の方向の往復直線運動 に変換して、送り体6に伝達する。The feed body 6 has, for example, a U-shape when viewed from the side, and is connected to the feed motor 7 by a feed unit 8 incorporated in the sliding portion 10. The feed unit 8 is constituted by a feed screw shaft and a feed screw nut screwed into the feed screw shaft. The feed unit 8 converts the rotational movement of the feed motor 7 into a reciprocating linear movement in the direction of the guide groove 9 and feeds it. It is transmitted to the body 6.

【0009】 そして、送り体6は、2つの突出する部分で、加工台11を介して1つの加工 台11ごとに例えば2つのワーク12を固定した状態で保持する。このようにし て、上側の2本のワーク12は、上辺位置の平行なワイヤ3と向き合っており、 また側方の2本のワーク12は、巻き掛け状態のワイヤ3の内部で下辺位置のワ イヤ3と向き合っている。なお、それぞれの加工位置で、シート状のワイヤ3と 各ワーク12との距離は、通常互いに等しく設定されている。The feeding body 6 holds, for example, two workpieces 12 for each processing table 11 via the processing table 11 at two protruding portions. In this way, the upper two work pieces 12 face the parallel wires 3 at the upper side position, and the two side work pieces 12 inside the wire 3 in the wound state are at the lower side position. Faced with ear 3. The distance between the sheet-shaped wire 3 and each work 12 is usually set equal to each other at each processing position.

【0010】 切断加工時に、駆動モータ4は、駆動側の溝付きローラ2を連続的にまたは進 退運動を繰り返しながら走行方向に送り運動を与える。一方、送りモータ7は、 NC制御の下で送りユニット8を駆動することによって、送り体6を案内体5の 案内溝9に沿って移動させ、走行状態のワイヤ3にワーク12を押し当てる。ワ ーク12がワイヤ3に接すると、その接触位置でワーク12がワイヤ3の巻き掛 けピッチで切断されていく。この実施例の場合に、2箇所の切断位置に2つのワ ーク12が対応しているため、4個のワーク12が同時に同じ厚みで切断される ことになる。At the time of cutting, the drive motor 4 gives a feed motion in the traveling direction to the grooved roller 2 on the drive side continuously or while repeating the forward / backward motion. On the other hand, the feed motor 7 drives the feed unit 8 under NC control to move the feed body 6 along the guide groove 9 of the guide body 5 and press the work 12 against the running wire 3. When the work 12 contacts the wire 3, the work 12 is cut at the contact position at the winding pitch of the wire 3. In the case of this embodiment, since the two works 12 correspond to the two cutting positions, the four works 12 are simultaneously cut with the same thickness.

【0011】[0011]

【他の実施態様】[Other Embodiments]

上記実施例は、ワイヤ3を四辺形の状態で巻き掛け、平行な対向辺で2箇所の 切断位置を設定しているが、ワイヤ3の巻き掛け態様によって、平行な対向辺が 2箇所以上あれば、切断位置は、2以上設定することもできる。 In the above embodiment, the wire 3 is wound in a quadrilateral shape, and two cutting positions are set in parallel opposite sides. However, depending on the winding manner of the wire 3, there may be two or more parallel opposite sides. For example, the cutting position can be set to two or more.

【0012】[0012]

【考案の効果】[Effect of device]

本考案では、多重巻き掛け状態のワイヤに対して2箇所以上に切断位置が設定 されるため、一度の切断工程での生産性が2倍以上に上がること、また同じ厚さ のものなら形状や大きさが異なっていても、同時に切断が可能となること、さら にワークの切断送り方向が2か所以上で同じ方向に設定されているため、送り案 内部分の構造が2箇所以上の切断位置について共通のものとなり、送り案内手段 すなわち案内体、送り体、送りモータおよび送りユニットなどが共通のものとし て構成でき、構造が簡略化できる。 In the present invention, since the cutting positions are set at two or more positions for the wire wound in multiple windings, the productivity in one cutting process is more than doubled. Even if the sizes are different, it is possible to cut at the same time. Furthermore, since the cutting feed direction of the work is set to the same direction in two or more places, the structure inside the feed plan is cut in two or more places. The positions are common, and the feed guide means, that is, the guide body, the feed body, the feed motor, the feed unit, and the like can be configured in common, and the structure can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案のワイヤソー装置の斜面図である。FIG. 1 is a perspective view of a wire saw device of the present invention.

【符号の説明】 1 ワイヤソー装置 2 溝付きローラ 3 ワイヤ 4 駆動モータ 5 案内体 6 送り体 7 送りモータ 8 送りユニット 9 案内溝 10 摺動部 11 加工台 12 ワーク[Explanation of symbols] 1 wire saw device 2 grooved roller 3 wire 4 drive motor 5 guide body 6 feed body 7 feed motor 8 feed unit 9 guide groove 10 sliding part 11 processing table 12 workpiece

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 複数の溝付きローラ(2)に対して切断
用のワイヤ(3)を多重に巻き掛け、溝付きローラ
(2)を駆動モータ(4)により回転させるワイヤソー
装置(1)において、案内体(5)に送り体(6)をワ
イヤ(3)に対して2箇所以上交差する方向に移動自在
に設けるとともに、送り体(6)にワイヤ(3)と交差
する2以上の位置で加工台(11)を設け、さらに送り
体(6)を送りユニット(8)により送りモータ(7)
に連結したことを特徴とするワイヤソー装置。
1. A wire saw device (1) in which a cutting wire (3) is wound around a plurality of grooved rollers (2) and the grooved rollers (2) are rotated by a drive motor (4). , The guide body (5) is provided with the feed body (6) so as to be movable in a direction intersecting the wire (3) at two or more positions, and at the feed body (6) at two or more positions intersecting the wire (3). The processing table (11) is provided by the above, and the feed unit (6) is further fed by the feed unit (8) to the feed motor (7).
A wire saw device characterized by being connected to.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003534939A (en) * 2000-05-31 2003-11-25 エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・ソシエタ・ペル・アチオニ Wire saw and process for slicing a plurality of semiconductor ingots
JP2009274167A (en) * 2008-05-14 2009-11-26 Toyo Advanced Technologies Co Ltd Wire saw

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