JPH067782Y2 - Fluororesin based porous filter - Google Patents

Fluororesin based porous filter

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JPH067782Y2
JPH067782Y2 JP10295886U JP10295886U JPH067782Y2 JP H067782 Y2 JPH067782 Y2 JP H067782Y2 JP 10295886 U JP10295886 U JP 10295886U JP 10295886 U JP10295886 U JP 10295886U JP H067782 Y2 JPH067782 Y2 JP H067782Y2
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Japan
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fluororesin
film
filter
porous
tube
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JP10295886U
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佳彦 柴田
哲 一安
加奈子 大森
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ジヤパンゴアテツクス株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】 「考案の目的」 本考案は弗素樹脂系多孔質フィルターの考案に係り、耐
用性が著しく改善され、しかも精度の高い濾過作用をな
すことのできるフィルターを得ようとするものである。
[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] The present invention relates to the invention of a fluororesin-based porous filter, in which the durability is remarkably improved, and an attempt is made to obtain a filter capable of performing highly accurate filtering action. It is a thing.

産業上の利用分野 半導体工業やメッキ工業などにおける各種液体またはガ
スの濾過処理用フィルター。
Industrial application fields Filters for filtering various liquids or gases in the semiconductor and plating industries.

従来の技術 各種液体ないしガスを濾過するために耐薬品性に優れた
弗素樹脂系多孔質フィルムを用いることは従来から種々
に実施されている。即ちこのような従来技術の代表例は
第8図から第12図に示す如くであって、以下の如くで
ある。
2. Description of the Related Art The use of a fluororesin-based porous film having excellent chemical resistance for filtering various liquids or gases has been conventionally practiced in various ways. That is, a typical example of such a conventional technique is as shown in FIGS. 8 to 12, and is as follows.

ポリテトラフルオロエチレンのような多孔質の弗素樹
脂フィルムを第8図のように褶曲21を形成したプリー
ツ状部体となし、或いは第9図のように膜片28のまま
で保持体と共にケースに入れ、カートリッジフィルター
としたもの。
A porous fluororesin film such as polytetrafluoroethylene is used as a pleated member having a fold 21 as shown in FIG. 8 or as a case together with a holder with the film piece 28 as shown in FIG. Inserted and used as a cartridge filter.

第10図のように多孔質フィルム20を通孔22の配
設された内外のパイプ23、24の間に保持させたも
の。
As shown in FIG. 10, the porous film 20 is held between the inner and outer pipes 23 and 24 in which the through holes 22 are arranged.

弗素樹脂系多孔質の第11図に示すようなチューブ2
5、或いは第12図に示すように該チューブ25の外側
に弗素樹脂系フィルム26を管状として被包し、更にそ
の外側に弗素樹脂系のクロス27を管状として被包した
もの。
Fluororesin-based porous tube 2 as shown in FIG.
As shown in FIG. 5 or FIG. 12, the tube 25 is covered with a fluororesin film 26 in a tubular shape, and the outer surface is covered with a fluororesin cloth 27 in a tubular shape.

考案が解決しようとする問題点 前記のものは液が直接に多孔質フィルムで濾過され
るため、高濃度液、粗粒分含有液などを濾過するに当た
って目詰まりが発生し、従って別にプレフィルターを必
要とすることが多い。
Problems to be Solved by the Invention In the above, since the liquid is directly filtered by the porous film, clogging occurs when filtering the high-concentration liquid, the liquid containing coarse particles, etc. Often needed.

又前記〜のものは何れも液がフィルムに接触するの
で、液中に鋭利な角部をもった金属などが含有された場
合にフィルムが破損せしめられる。然してこのような濾
過設備として従来一般的に用いられているものは使用槽
やタンクなどから濾液をパイプなどで取出したものをフ
ィルターモジュールで濾過した後、パイプで使用槽やタ
ンク等に戻す外部設置型カートリッジフィルターが大部
分であって前記のようなフィルムの破損により被処理液
が槽外に流出し重大事故となるのでその防止のための設
備が非常にコスト高となる。
Further, in any of the above items 1 to 4, the liquid comes into contact with the film, so that the film is damaged when the liquid contains a metal having sharp corners. However, the conventional equipment that has been generally used as such filtration equipment is an external installation in which the filtrate taken out from the tank or tank to be used is filtered with a filter module and then returned to the tank or tank to be used. Since the mold cartridge filter is mostly used and the liquid to be treated flows out of the tank due to the breakage of the film as described above, a serious accident occurs, so that the cost of equipment for preventing it becomes very high.

のチューブ単体によるものはその孔径からして0.4μ
m以下の微粒子を捕捉し難い。
The size of a single tube is 0.4μ
It is difficult to capture fine particles of m or less.

なおのものはフィルムが破れた場合に全体を取換えな
ければならない。
If the film breaks, the whole thing must be replaced.

「考案の構成」 問題点を解決するための手段 弗素樹脂系多孔質内側チューブの外側に弗素樹脂系多孔
質フィルムによる被覆層を形成し、該被覆層の外面に更
に弗素樹脂系多孔質外側チューブを覆装したことを特徴
とする弗素樹脂系多孔質フィルター。
"Structure of device" Means for solving the problem A coating layer of a fluororesin porous film is formed on the outside of a fluororesin porous inner tube, and a fluororesin porous outer tube is further formed on the outer surface of the coating layer. A fluororesin-based porous filter characterized by being covered with.

作用 弗素樹脂系多孔質フィルムはその微細な多孔組織によっ
て濾過精度を充分に向上する。
Action The fluororesin-based porous film sufficiently improves filtration accuracy due to its fine porous structure.

前記フィルムの内外面に形成された弗素樹脂系多孔質チ
ューブは該フィルムを保護し、又プレフィルターとして
の機能を果たし、更にフィルムに対するバックアップ部
体として有効に作用する。即ち濾過すべき流体に混入し
た粗粒分を予め濾別してフィルムによる精度の高い濾過
を行わしめ、しかもフィルムをバックアップして相当の
高圧条件下での濾過をも安定して行わしめる。勿論鋭利
な粒子などによるフィルムの損傷をなからしめる。
The fluororesin-based porous tube formed on the inner and outer surfaces of the film protects the film, functions as a prefilter, and effectively acts as a backup member for the film. That is, the coarse particles mixed in the fluid to be filtered are filtered out in advance to perform highly accurate filtration with a film, and the film is backed up to perform filtration under a considerably high pressure condition in a stable manner. Of course, it prevents damage to the film due to sharp particles.

実施例 上記したような本考案によるものの具体的な実施態様を
添付図面に示すものについて説明すると、第1図に示す
ようにポリテトラフルオロエチレンの多孔質内側チュー
ブ2の外側にポリテトラフルオロエチレンの多孔質フィ
ルム1を積層せしめ、しかもこのような多孔質フィルム
1の外側に更にポリテトラフルオロエチレンの多孔質外
側チューブ3を覆着したものである。即ち同じポリテト
ラフルオロエチレンであってもこれを延伸して多孔質化
した場合に得られる孔径はチューブ成形の場合において
は比較的大きいものとなり、そのフィブリル化組織の強
度においては平面的に延伸して得られるフィルムよりも
高い傾向があり、斯うした内外側チューブ2、3の間に
微小な孔径を有する多孔質フィルム1を保持させたもの
である。
EXAMPLE A specific embodiment of the present invention as described above will be described with reference to the accompanying drawings. As shown in FIG. 1, the polytetrafluoroethylene porous inner tube 2 is provided outside the polytetrafluoroethylene porous inner tube 2. The porous film 1 is laminated, and the outer side of the porous film 1 is further covered with a porous outer tube 3 of polytetrafluoroethylene. That is, even with the same polytetrafluoroethylene, the pore size obtained when it is stretched to make it porous is relatively large in the case of tube molding, and the strength of the fibrillated structure stretches in a plane. It tends to be higher than the film obtained by the above method, and the porous film 1 having a minute pore size is held between the inner and outer tubes 2 and 3.

斯かる本考案のフィルターについての使用状態は第2図
から第6図に示す如くであって、第2図に示すような濾
過体入口部体10に配設された出口11部分に両端を取
付け、斯うして得られたものを第5図に示すように槽8
内においてポンプ6に連結し、槽8内の液をポンプ6で
部体10に圧入し配設されたフィルター5によって濾過
する。又第6図のものはフィルターシャワーとしての利
用状態を示すものであって、槽8内に設けられたポンプ
6で圧送された流体をフィルター5で滴下しコンベヤ1
8上で移送される製品上に滴下する。
The use state of the filter of the present invention is as shown in FIGS. 2 to 6, and both ends are attached to the outlet 11 portion provided in the filter body inlet body 10 as shown in FIG. , The tank 8 is obtained as shown in FIG.
It is connected to a pump 6 inside, and the liquid in the tank 8 is pressed into the body 10 by the pump 6 and filtered by the filter 5 provided. Further, FIG. 6 shows a use state as a filter shower, in which the fluid pumped by the pump 6 provided in the tank 8 is dropped by the filter 5 and the conveyor 1
8 Drop onto the product to be transferred.

なお上記したような実施態様においてはパイプ状をなす
本考案フィルター5の内部に流体を圧入して濾過する場
合を示しているが、本考案のものは場合によっては上述
したようなフィルター5の内部に例えば第10図に示し
たような穿孔パイプ23または網材によるパイプを内装
し、ポンプ6の吸入側に連結して濾過する用法に採用す
ることを妨げるものでない。
In the above-mentioned embodiment, the case where the fluid is press-fitted into the filter 5 of the present invention in the form of a pipe for filtration is shown. For example, it does not prevent the perforated pipe 23 as shown in FIG. 10 or a pipe made of a net material from being incorporated and connected to the suction side of the pump 6 for use in filtration.

具体的な製造例として外径が5.6mmで、内径が5.0mmであ
り、多孔質組織の孔径が3.5μmで穿孔率70%とされ
た内側チューブ2に対して厚さが0.05mmで、孔径が0.1
μmであり、空孔率が85%とされたポリテトラフルオ
ロエチレンフィルム1を、450℃、圧力0.5kg/cm2
50秒間加圧し熱融着して作った管状フィルム(外径6.
0mm、内径5.9mm)を両端がそれぞれ1cmだけチューブ2
から出るように被せ、このようにして得られたものの外
側に上記したチューブ2と同じ組織をもった外側チュー
ブ(外径7.0mm、内径6.4mm)をその両端を内側チューブ
2とそろえて被せた長さ1mの本考案フィルターを得、
これをポリテトラフルオロエチレン角棒より切り出した
第2図のような濾過体入口部体10の出口11部分に夫
々両端を第3図に示す如く差込んで取付け、熱収縮チュ
ーブ(PFA製、長さ20mmで有効固定範囲が6.0〜9.0
mm)で第7図に示すように加熱収縮させて固定した。又
このような濾過体入口部体10の入口12とは反対側に
0.5mmφのエア抜き孔13を第3図のように取付け、熱
収縮チューブ9の一端を加熱によって固定し、他端を第
5図に示すようにポンプ6の吸入口に連結した。
As a specific production example, the outer diameter is 5.6 mm, the inner diameter is 5.0 mm, the inner diameter of the porous tube is 3.5 μm, and the perforation rate is 70%. Is 0.1
A tubular film (outer diameter: 6.m) having a porosity of 85% and a polytetrafluoroethylene film 1 having a porosity of 85% was heat-fused at 450 ° C. for 50 seconds under a pressure of 0.5 kg / cm 2 .
0 mm, inner diameter 5.9 mm) Tube 2 with 1 cm on each end
Then, an outer tube (outer diameter 7.0 mm, inner diameter 6.4 mm) having the same structure as the above-mentioned tube 2 was put on the outer side of the thus obtained one with both ends aligned with the inner tube 2. I got this 1m long filter,
This was cut out from a polytetrafluoroethylene square rod and attached to the outlet 11 portion of the filter body inlet body 10 as shown in FIG. 2 with both ends inserted as shown in FIG. 3, and a heat-shrinkable tube (made of PFA, long The effective fixed range is 6.0-9.0 at 20mm.
mm) and heat-shrinked and fixed as shown in FIG. On the opposite side of the inlet 12 of the filter inlet body 10
An air vent hole 13 of 0.5 mmφ was attached as shown in FIG. 3, one end of the heat-shrinkable tube 9 was fixed by heating, and the other end was connected to the suction port of the pump 6 as shown in FIG.

即ち濾過体はポンプ→フィルターと流れ、エヤはエヤ抜
きから除かれてフィルター内部に留まることはなくなる
もので、上記のような3層構造の管状フィルターを15
本制作し、第4図のようなフィルターモジュールを作成
したときの性能は次表の如くである。
That is, the filter body flows from the pump to the filter, and the air is removed from the air removal and does not stay inside the filter.
The following table shows the performance of this production and the filter module shown in Fig. 4.

「考案の効果」 以上説明したような本考案によるときは濾過精度の高い
フィルムが内外の多孔質チューブによって適切に保護一
体化され、又プレフィルターおよびバックアップ層とし
ての機能を発揮して目詰まりの有効防止とフィルム層に
おける耐圧性向上を図り、それらの結果として効率的な
濾過処理を行わしめ、しかもその耐用性を従来品の数十
倍にも向上せしめ、勿論すべてが弗素樹脂系であること
から安定した耐薬品性を有するなど工業的にその効果の
大きい考案である。
"Effects of the device" According to the present invention as described above, the film with high filtration accuracy is properly protected and integrated by the inner and outer porous tubes, and it also functions as a pre-filter and a backup layer to prevent clogging. Preventing effectiveness and improving pressure resistance in the film layer, as a result of which efficient filtration treatment is performed, and its durability is improved to several tens of times that of conventional products. Of course, all are fluororesin-based. It is a device that has a great effect industrially because it has stable chemical resistance.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

図面は本考案の技術的内容を示すものであって、第1図
は本考案によるものの部分切欠した端部の斜面図、第2
図は本案品の適用される濾過体入口部体の斜面図、第3
図はこれに本案品を取付けた状態の斜面図、第4図は本
案品の利用形態の1例についての側面図、第5図と第6
図は夫々本案品の別の利用形態を示した説明図、第7図
は本案品の入口部に対する取付状態の断面図、第8図か
ら第12図は夫々従来の濾過材についての斜面図、第1
3図と第14図はその利用状態を示した説明図である。 然してこれらの図面において、1は弗素樹脂系多孔質フ
ィルム、2は弗素樹脂系多孔質内側チューブ、3は弗素
樹脂系多孔質外側チューブ、5はフィルター、6はポン
プ、8はタンク、9は熱収縮性チューブ、10は濾過体
入口部体、11は出口を示すものである。
The drawings show the technical contents of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of a partially cut end of the present invention, and FIG.
The figure is a perspective view of the filter body inlet body to which this product is applied.
The figure is a perspective view showing a state in which the product of the present invention is attached to it, and FIG.
Each of the figures is an explanatory view showing another usage mode of the product of the present invention, FIG. 7 is a sectional view of the product of the present invention in a state of being attached to an inlet portion, and FIGS. 8 to 12 are oblique views of a conventional filter medium, First
FIG. 3 and FIG. 14 are explanatory views showing the utilization state. However, in these drawings, 1 is a fluororesin porous film, 2 is a fluororesin porous inner tube, 3 is a fluororesin porous outer tube, 5 is a filter, 6 is a pump, 8 is a tank, 9 is heat. A shrinkable tube, 10 is a filter body inlet body, and 11 is an outlet.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】弗素樹脂系多孔質内側チューブの外側に弗
素樹脂系多孔質フィルムによる被覆層を形成し、該被覆
層の外面に更に弗素樹脂系多孔質外側チューブを覆装し
たことを特徴とする弗素樹脂系多孔質フィルター。
1. A coating layer of a fluororesin porous film is formed on the outside of a fluororesin porous inner tube, and a fluororesin porous outer tube is further covered on the outer surface of the coating layer. Fluororesin-based porous filter.
JP10295886U 1986-07-04 1986-07-04 Fluororesin based porous filter Expired - Lifetime JPH067782Y2 (en)

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JPS639201U JPS639201U (en) 1988-01-21
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WO1993013849A1 (en) * 1992-01-14 1993-07-22 Daikin Industries, Ltd. Filter and filter element
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JP2011031122A (en) * 2009-07-29 2011-02-17 Sumitomo Electric Ind Ltd Multilayered porous hollow fiber, hollow fiber membrane module, and filtration apparatus

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