JPH0677507A - 受光素子 - Google Patents
受光素子Info
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- JPH0677507A JPH0677507A JP5002237A JP223793A JPH0677507A JP H0677507 A JPH0677507 A JP H0677507A JP 5002237 A JP5002237 A JP 5002237A JP 223793 A JP223793 A JP 223793A JP H0677507 A JPH0677507 A JP H0677507A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光透過帯域での光透過率をよくしながら赤外
遮断する。 【構成】 光電変換用の受光基板11の上に、第1層と
しての光学的整合層13と、該整合層13上で交互に多
数回積層された低屈折率層14および高屈折率層15と
を形成し、多層の光学的膜厚を、等差級数的または等比
級数的に変化させる。
遮断する。 【構成】 光電変換用の受光基板11の上に、第1層と
しての光学的整合層13と、該整合層13上で交互に多
数回積層された低屈折率層14および高屈折率層15と
を形成し、多層の光学的膜厚を、等差級数的または等比
級数的に変化させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばカメラの自動露
光システム等に使用される半導体受光素子に関する。
光システム等に使用される半導体受光素子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、カメラの自動露光システム等にフ
ォトダイオード等の受光素子を用いる場合には、人間の
可視光領域での光量測定が必要であるので、シリコン受
光素子上に赤外カットフィルタ等を設けて、シリコンの
持つ波長感度特性を視感度に補正したフォトダイオード
が必要となる。従来のこのようなフォトダイオードに
は、一般にガラス製光吸収フィルタが用いられている。
ォトダイオード等の受光素子を用いる場合には、人間の
可視光領域での光量測定が必要であるので、シリコン受
光素子上に赤外カットフィルタ等を設けて、シリコンの
持つ波長感度特性を視感度に補正したフォトダイオード
が必要となる。従来のこのようなフォトダイオードに
は、一般にガラス製光吸収フィルタが用いられている。
【0003】従来の受光素子の構成図を図8に示す。こ
の構成は、セラミック基板1(ステム)の凹部2に受光
チップ3をマウントし、その上に樹脂4をコーティング
し、さらにガラス製光吸収フィルタ5を取り付けたもの
である。図中、6は金属製リードピンである。
の構成は、セラミック基板1(ステム)の凹部2に受光
チップ3をマウントし、その上に樹脂4をコーティング
し、さらにガラス製光吸収フィルタ5を取り付けたもの
である。図中、6は金属製リードピンである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】一般的なガラス製光吸
収フィルタ5の特性曲線を図9に示す。この特性曲線か
ら、ガラス製光吸収フィルタ5の光透過帯域での光透過
率が低いことは明らかである。そして、ガラス製光吸収
フィルタ5の光透過帯域での光透過率が低いと、透過し
たい光帯域でもあまり透過されないことになる。そうす
ると、受光チップ3の受光感度が低下し、出力特性が低
下する。
収フィルタ5の特性曲線を図9に示す。この特性曲線か
ら、ガラス製光吸収フィルタ5の光透過帯域での光透過
率が低いことは明らかである。そして、ガラス製光吸収
フィルタ5の光透過帯域での光透過率が低いと、透過し
たい光帯域でもあまり透過されないことになる。そうす
ると、受光チップ3の受光感度が低下し、出力特性が低
下する。
【0005】また、ガラス製光吸収フィルタ5は、その
着色材料に依存するため、設計変更が困難で、受光チッ
プ3の波長感度を変更することも困難となる。加えて、
ガラス製光吸収フィルタ5の退色も問題となる。
着色材料に依存するため、設計変更が困難で、受光チッ
プ3の波長感度を変更することも困難となる。加えて、
ガラス製光吸収フィルタ5の退色も問題となる。
【0006】さらに、ガラス製光吸収フィルタ5自体の
コストが高くつく。
コストが高くつく。
【0007】さらに、視感度の点から見ると次のような
問題があった。
問題があった。
【0008】図10にフィルタがない場合の受光素子の
受光感度の波長依存性を示す。また、図11に視感度を
示す。図示の如く、図10の特性をもつ受光素子の特性
を図11の視感度に近づけるためには600〜700n
mの波長に対してはなだらかに変化し、受光素子の感度
の高い800〜1000nmの光にたいしては十分透過
率の低いフィルタによって補正する必要のあることがわ
かる。
受光感度の波長依存性を示す。また、図11に視感度を
示す。図示の如く、図10の特性をもつ受光素子の特性
を図11の視感度に近づけるためには600〜700n
mの波長に対してはなだらかに変化し、受光素子の感度
の高い800〜1000nmの光にたいしては十分透過
率の低いフィルタによって補正する必要のあることがわ
かる。
【0009】本発明は、上記課題に鑑み、光透過帯域で
の光透過率もよく設計変更も容易であり、比較的安くで
き、退色を考慮せずに、信頼性の高い受光素子の提供を
目的とする。
の光透過率もよく設計変更も容易であり、比較的安くで
き、退色を考慮せずに、信頼性の高い受光素子の提供を
目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明請求項1,3によ
る課題解決手段は、図1,6の如く、光電変換用の受光
基板11と、該受光基板11上で赤外光を遮断する多層
膜12が形成されてなり、該多層膜12は、受光基板1
1上の第1層としての光学的整合層13と、該整合層1
3上で交互に多数回積層された低屈折率層14および高
屈折率層15とから構成され、該多層膜12の各層の光
学的膜厚は、外側に向けて等差級数的または等比級数的
に増加するよう設定されたものである。
る課題解決手段は、図1,6の如く、光電変換用の受光
基板11と、該受光基板11上で赤外光を遮断する多層
膜12が形成されてなり、該多層膜12は、受光基板1
1上の第1層としての光学的整合層13と、該整合層1
3上で交互に多数回積層された低屈折率層14および高
屈折率層15とから構成され、該多層膜12の各層の光
学的膜厚は、外側に向けて等差級数的または等比級数的
に増加するよう設定されたものである。
【0011】また、視感度の点からいえば、請求項1記
載の受光素子において、多層膜12の光学的膜厚が段階
的に公差の異なる等差級数をなすように構成すると良
い。
載の受光素子において、多層膜12の光学的膜厚が段階
的に公差の異なる等差級数をなすように構成すると良
い。
【0012】
【作用】上記請求項1,3による課題解決手段におい
て、多層膜12の各層の光学的膜厚を等差級数的あるい
は等比級数的に変化させることによって、多層膜12の
赤外遮断はなだらかな特性をあらわし、光透過帯域での
光透過率も高くなる。したがって、受光素子の光透過帯
域での受光感度もよくなる。
て、多層膜12の各層の光学的膜厚を等差級数的あるい
は等比級数的に変化させることによって、多層膜12の
赤外遮断はなだらかな特性をあらわし、光透過帯域での
光透過率も高くなる。したがって、受光素子の光透過帯
域での受光感度もよくなる。
【0013】また、本発明の受光素子は、多層膜12の
光学的膜厚が段階的に公差の異なる等差級数をなすよう
に構成すると、視感度に近い受光感度を得ることができ
る。
光学的膜厚が段階的に公差の異なる等差級数をなすよう
に構成すると、視感度に近い受光感度を得ることができ
る。
【0014】
【実施例】(第一実施例)図1は本発明の第一実施例を
示す受光素子の側面図である。図示の如く、本実施例の
受光素子は、光電変換用の受光基板11上に、赤外遮断
用の多層膜12が形成されたものである。
示す受光素子の側面図である。図示の如く、本実施例の
受光素子は、光電変換用の受光基板11上に、赤外遮断
用の多層膜12が形成されたものである。
【0015】前記受光基板11は、シリコン半導体等が
用いられ、そのPN接合部にエネルギーバンドギャップ
より大きなエネルギーの光が照射されると、結晶中に生
成された電子−正孔対が拡散され、電流が流れる。
用いられ、そのPN接合部にエネルギーバンドギャップ
より大きなエネルギーの光が照射されると、結晶中に生
成された電子−正孔対が拡散され、電流が流れる。
【0016】前記多層膜12は、波長が異なる複数の光
を異なる光路に分離することで、所望帯域の光のみを強
く採り出そうとするものである。このため、屈折率が異
なる誘電体膜を複数層積層して構成するのが望ましい。
そこで、該多層膜12としては、整合層13が一層だけ
形成され、さらにその上に低屈折率層14と高屈折率層
15が等差級数的に交互に積層されたものが使用されて
いる。
を異なる光路に分離することで、所望帯域の光のみを強
く採り出そうとするものである。このため、屈折率が異
なる誘電体膜を複数層積層して構成するのが望ましい。
そこで、該多層膜12としては、整合層13が一層だけ
形成され、さらにその上に低屈折率層14と高屈折率層
15が等差級数的に交互に積層されたものが使用されて
いる。
【0017】前記整合層13としてはSi3N4やZrO
2等が、低屈折率層14としてはSiO2等が、高屈折率
層15としてはTiO2等が使用される。これらは、電
子ビーム蒸着法等にて受光基板11上に積層される。
尚、整合層13として2層以上の膜が用いられる場合に
は上記材料に限らず、さまざまな組み合わせが用いられ
ることは勿論である。
2等が、低屈折率層14としてはSiO2等が、高屈折率
層15としてはTiO2等が使用される。これらは、電
子ビーム蒸着法等にて受光基板11上に積層される。
尚、整合層13として2層以上の膜が用いられる場合に
は上記材料に限らず、さまざまな組み合わせが用いられ
ることは勿論である。
【0018】そして、該多層膜12が透過させたい光の
中心波長の4分の1の長さをλ(例えば400〜500
nm)とした場合に、第1層としての整合層13の光学
的膜厚が0.6λ、第2層としての低屈折率層14の光
学的膜厚が0.425λ、第3層としての高屈折率層1
5の光学的膜厚が0.85λ、以降、第25層まで0.
025λずつ増やし、第26層としての低屈折率層14
が0.7λに設定されている。
中心波長の4分の1の長さをλ(例えば400〜500
nm)とした場合に、第1層としての整合層13の光学
的膜厚が0.6λ、第2層としての低屈折率層14の光
学的膜厚が0.425λ、第3層としての高屈折率層1
5の光学的膜厚が0.85λ、以降、第25層まで0.
025λずつ増やし、第26層としての低屈折率層14
が0.7λに設定されている。
【0019】このように、多層膜12の各層の光学的膜
厚を等差級数的に変化させることによって、多層膜12
の赤外カットフィルタとしての特性は、一定の範囲をも
ったなだらかな特性をあらわし、光透過帯域全体での光
透過率が高くなる。したがって、受光素子の光透過帯域
での受光感度がよくなる。
厚を等差級数的に変化させることによって、多層膜12
の赤外カットフィルタとしての特性は、一定の範囲をも
ったなだらかな特性をあらわし、光透過帯域全体での光
透過率が高くなる。したがって、受光素子の光透過帯域
での受光感度がよくなる。
【0020】実際に、このときの光透過率(%)と波長
(nm)との関係を実験値により検証してみると、図2
のようになった。ここでは、多層膜12への入射角を0
°、中心波長を800nmに設定している。
(nm)との関係を実験値により検証してみると、図2
のようになった。ここでは、多層膜12への入射角を0
°、中心波長を800nmに設定している。
【0021】図2を見ると、特に光波長が400〜60
0nmの光透過帯域での光透過率が、図9に示した従来
のガラス製光吸収フィルタよりも高くなっていることは
明らかである。具体的に、図9の従来のガラス製光吸収
フィルタでは、光波長が500nmでの光透過率が80
%以下であるのに対して、図2に示した本実施例の多層
膜12フィルタでは、100%近くになっている。
0nmの光透過帯域での光透過率が、図9に示した従来
のガラス製光吸収フィルタよりも高くなっていることは
明らかである。具体的に、図9の従来のガラス製光吸収
フィルタでは、光波長が500nmでの光透過率が80
%以下であるのに対して、図2に示した本実施例の多層
膜12フィルタでは、100%近くになっている。
【0022】したがって、受光基板11の受光感度が大
幅に向上し、出力特性が向上するのがわかる。
幅に向上し、出力特性が向上するのがわかる。
【0023】また、赤外カットフィルタを多層膜12で
構成しているので、光透過阻止帯域等の設計変更を行い
たいときには、多層膜12の中心波長λと、これに伴う
多層膜12の膜厚を変えるだけで変更することができ
る。したがって、受光素子の波長感度を変更するのが容
易となる。
構成しているので、光透過阻止帯域等の設計変更を行い
たいときには、多層膜12の中心波長λと、これに伴う
多層膜12の膜厚を変えるだけで変更することができ
る。したがって、受光素子の波長感度を変更するのが容
易となる。
【0024】さらに、多層膜12が保護層の役割をする
ため、温度あるいは湿度等の変化に伴う素子特性の劣化
を防ぐことができる。
ため、温度あるいは湿度等の変化に伴う素子特性の劣化
を防ぐことができる。
【0025】さらにまた、多層膜12の形成は一般に安
価であるため、価格面についても改善できる。
価であるため、価格面についても改善できる。
【0026】尚、本実施例では整合層としてZrO2を
用いたが、SiO2によって構成し、第1層と第2層の
光学的膜厚を足し合わせたSiO2層によって第1層と
第2層を兼ねることも可能である。また、受光素子を樹
脂層で封止して用いる場合、多層膜の外側の屈折率が変
わるので多層膜の一番上に整合層が必要になる。
用いたが、SiO2によって構成し、第1層と第2層の
光学的膜厚を足し合わせたSiO2層によって第1層と
第2層を兼ねることも可能である。また、受光素子を樹
脂層で封止して用いる場合、多層膜の外側の屈折率が変
わるので多層膜の一番上に整合層が必要になる。
【0027】(第二実施例)図3は本発明の第二実施例
を示す受光素子の側面図である。図示の如く、本実施例
の受光素子は、第1層としての整合層13の上に、低屈
折率層14と高屈折率層15が等差級数的に交互に積層
された点で第一実施例と同様であるが、本実施例におい
ては、さらに前記低屈折率層14及び高屈折率層15の
光学的膜厚が段階的に公差の異なる等差級数をなすよう
に構成したものである。
を示す受光素子の側面図である。図示の如く、本実施例
の受光素子は、第1層としての整合層13の上に、低屈
折率層14と高屈折率層15が等差級数的に交互に積層
された点で第一実施例と同様であるが、本実施例におい
ては、さらに前記低屈折率層14及び高屈折率層15の
光学的膜厚が段階的に公差の異なる等差級数をなすよう
に構成したものである。
【0028】すなわち、多層膜12が透過させたい光の
中心波長の長さをλとした場合に、第1層としての整合
層13の光学的膜厚を0.7λ/4とする。該整合層1
3は該整合層13を除く多層膜12と受光基板11との
間の反射防止膜の役割を果たすものである。第2層の低
屈折率層14の光学的膜厚を0.82λ/8とする。第
3層から第11層までの光学的膜厚は公差0.03λ/
4の等差級数をなしている。具体的には第3層の高屈折
率層15の光学的膜厚が0.82λ/4、第4層の低屈
折率層14の光学的膜厚が0.85λ/4、第5層の高
屈折率層15の光学的膜厚が0.88λ/4、以下、第
11層までの0.03λ/4ずつ増やし、第11層の高
屈折率層15の光学的膜厚が1.06λ/4となってい
る。第12層から第27層までの光学的膜厚は公差0.
018λ/4の等差級数をなしている。具体的には第1
2層の低屈折率層14の光学的膜厚が1.078λ/
4、第13層の高屈折率層15の光学的膜厚が1.09
6λ/4、第14層の低屈折率層14の光学的膜厚が
1.114λ/4、以下、第27層まで0.018λ/
4ずつ増やし、第27層の高屈折率層15の光学的膜厚
が1.348λ/4となっている。第27層から第29
層までの光学的膜厚は同じで1.348λ/4とする。
また、第30層の低屈折率層14の光学的膜厚は1.3
48λ/8とする。尚、第27層から第29層までは公
差0の等差級数と見なすことができるので、第3層から
第29層までは段階的に公差の異なる等差級数をなす構
成になっている。
中心波長の長さをλとした場合に、第1層としての整合
層13の光学的膜厚を0.7λ/4とする。該整合層1
3は該整合層13を除く多層膜12と受光基板11との
間の反射防止膜の役割を果たすものである。第2層の低
屈折率層14の光学的膜厚を0.82λ/8とする。第
3層から第11層までの光学的膜厚は公差0.03λ/
4の等差級数をなしている。具体的には第3層の高屈折
率層15の光学的膜厚が0.82λ/4、第4層の低屈
折率層14の光学的膜厚が0.85λ/4、第5層の高
屈折率層15の光学的膜厚が0.88λ/4、以下、第
11層までの0.03λ/4ずつ増やし、第11層の高
屈折率層15の光学的膜厚が1.06λ/4となってい
る。第12層から第27層までの光学的膜厚は公差0.
018λ/4の等差級数をなしている。具体的には第1
2層の低屈折率層14の光学的膜厚が1.078λ/
4、第13層の高屈折率層15の光学的膜厚が1.09
6λ/4、第14層の低屈折率層14の光学的膜厚が
1.114λ/4、以下、第27層まで0.018λ/
4ずつ増やし、第27層の高屈折率層15の光学的膜厚
が1.348λ/4となっている。第27層から第29
層までの光学的膜厚は同じで1.348λ/4とする。
また、第30層の低屈折率層14の光学的膜厚は1.3
48λ/8とする。尚、第27層から第29層までは公
差0の等差級数と見なすことができるので、第3層から
第29層までは段階的に公差の異なる等差級数をなす構
成になっている。
【0029】このときの光透過率(%)と波長(nm)
との関係を実験値により検証してみると、図4のように
なった。ここでは、多層膜への入射角を0°、中心波長
を820nmに設定している。図示の如く、600〜7
00nmではなだらかに変化し、800〜1000nm
では光透過率の低いフィルタが構成されていることがわ
かる。また、光透過帯域での光透過率も、図9に示した
従来のガラス製光吸収フィルタよりも高くなっている。
との関係を実験値により検証してみると、図4のように
なった。ここでは、多層膜への入射角を0°、中心波長
を820nmに設定している。図示の如く、600〜7
00nmではなだらかに変化し、800〜1000nm
では光透過率の低いフィルタが構成されていることがわ
かる。また、光透過帯域での光透過率も、図9に示した
従来のガラス製光吸収フィルタよりも高くなっている。
【0030】上述のように、上記受光素子は、600〜
700nmではなだらかに変化し、800〜1000n
mでは透過率の低いフィルタによって補正されるので、
図5に示す受光感度の特性が得られ、図11に示した視
感度に近い受光感度が得られる。
700nmではなだらかに変化し、800〜1000n
mでは透過率の低いフィルタによって補正されるので、
図5に示す受光感度の特性が得られ、図11に示した視
感度に近い受光感度が得られる。
【0031】(第三実施例)図6は本発明の第三実施例
を示す受光素子の側面図である。図示の如く、本実施例
の受光素子は、第1層としての整合層13の上に、低屈
折率層14と高屈折率層15が交互に積層された点で第
一実施例と同様であるが、低屈折率層14および高屈折
率層15の厚さ寸法が等比級数的に設定されている点が
異なる。
を示す受光素子の側面図である。図示の如く、本実施例
の受光素子は、第1層としての整合層13の上に、低屈
折率層14と高屈折率層15が交互に積層された点で第
一実施例と同様であるが、低屈折率層14および高屈折
率層15の厚さ寸法が等比級数的に設定されている点が
異なる。
【0032】すなわち、該多層膜12が透過させたい光
の中心波長の4分の1の長さをλ(例えば400〜50
0nm)とした場合に、第1層としての整合層13の光
学的膜厚が0.6λとされ、また第2層としての低屈折
率14の光学的膜厚が0.427λ、第3層としての高
屈折率層15の光学的膜厚が0.853λと、以降、第
29層まで1.02倍ずつ増やし、第30層としての低
屈折率層14が0.714λに設定されている。
の中心波長の4分の1の長さをλ(例えば400〜50
0nm)とした場合に、第1層としての整合層13の光
学的膜厚が0.6λとされ、また第2層としての低屈折
率14の光学的膜厚が0.427λ、第3層としての高
屈折率層15の光学的膜厚が0.853λと、以降、第
29層まで1.02倍ずつ増やし、第30層としての低
屈折率層14が0.714λに設定されている。
【0033】このときの光透過率(%)と波長(nm)
との関係を実験値により検証してみると、図7のように
なった。ここでも、多層膜12への入射角を0°、中心
波長を800nmに設定している。図7での光透過帯域
での光透過率も、図9に示した従来のガラス製光吸収フ
ィルタよりも高くなっている。したがって、受光基板1
1の受光感度が大幅に向上し、出力特性が向上するのが
わかる。
との関係を実験値により検証してみると、図7のように
なった。ここでも、多層膜12への入射角を0°、中心
波長を800nmに設定している。図7での光透過帯域
での光透過率も、図9に示した従来のガラス製光吸収フ
ィルタよりも高くなっている。したがって、受光基板1
1の受光感度が大幅に向上し、出力特性が向上するのが
わかる。
【0034】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、本発明の範囲内で上記実施例に多くの修
正および変更を加え得ることは勿論である。
ものではなく、本発明の範囲内で上記実施例に多くの修
正および変更を加え得ることは勿論である。
【0035】例えば、上記実施例では、多層膜12とし
て、Si3N4、ZrO2、SiO2あるいはTiO2等が
用いられていたが、これらの誘電体材料にかぎらず、他
の酸化物を選ぶことも可能である。
て、Si3N4、ZrO2、SiO2あるいはTiO2等が
用いられていたが、これらの誘電体材料にかぎらず、他
の酸化物を選ぶことも可能である。
【0036】
【発明の効果】以上の説明から明らかな通り、本発明請
求項1,3によると、多層膜の各層の光学的膜厚を等差
級数的、あるいは等比級数的に変化させているので、赤
外カットフィルタとしての光透過帯域での光透過率は高
くなり、受光素子の受光感度が高まる。
求項1,3によると、多層膜の各層の光学的膜厚を等差
級数的、あるいは等比級数的に変化させているので、赤
外カットフィルタとしての光透過帯域での光透過率は高
くなり、受光素子の受光感度が高まる。
【0037】また、本発明の受光素子は、前記多層膜の
光学的膜厚が段階的に公差の異なる等差級数をなすよう
に構成すると、視感度に近い受光感度が得られる。
光学的膜厚が段階的に公差の異なる等差級数をなすよう
に構成すると、視感度に近い受光感度が得られる。
【0038】さらに、多層膜の光透過阻止帯域等の設計
変更を行いたいときには、多層膜の中心波長に伴う膜厚
を変えるだけで変更することができ、受光素子の波長感
度の変更が容易となる。
変更を行いたいときには、多層膜の中心波長に伴う膜厚
を変えるだけで変更することができ、受光素子の波長感
度の変更が容易となる。
【0039】さらに、多層膜が保護層の役割をするた
め、温度変化または湿度変化等に伴う素子特性劣化を防
ぎ得る。
め、温度変化または湿度変化等に伴う素子特性劣化を防
ぎ得る。
【0040】さらに、多層膜のみを形成するだけですむ
ので、部品点数の軽減により製造コストを軽減できると
いった優れた効果がある。
ので、部品点数の軽減により製造コストを軽減できると
いった優れた効果がある。
【図1】本発明の第一実施例を示す受光素子の側面図で
ある。
ある。
【図2】本発明の第一実施例による多層膜の光波長に対
する光透過率を示す特性図である。
する光透過率を示す特性図である。
【図3】本発明の第二実施例を示す受光素子の側面図で
ある。
ある。
【図4】本発明の第二実施例による多層膜の光波長に対
する光透過率を示す特性図である。
する光透過率を示す特性図である。
【図5】図3に示す受光素子の受光感度を示す特性図で
ある。
ある。
【図6】本発明の第三実施例を示す受光素子の側面図で
ある。
ある。
【図7】本発明の第三実施例による多層膜の光波長に対
する光透過率を示す特性図である。
する光透過率を示す特性図である。
【図8】従来の受光素子の断面図である。
【図9】従来で使用されていたガラス製光吸収フィルタ
の光透過率を示す特性図である。
の光透過率を示す特性図である。
【図10】フィルタを有しない受光素子の受光感度を示
す特性図である。
す特性図である。
【図11】視感度特性を示す図である。
11 受光基板 12 多層膜 13 整合層 14 低屈折率層 15 高屈折率層
Claims (3)
- 【請求項1】 光電変換用の受光基板と、該受光基板上
で赤外光を遮断する多層膜が形成されてなり、該多層膜
は、受光基板上の第1層としての光学的整合層と、該整
合層上で交互に多数回積層された低屈折率層および高屈
折率層とから構成され、該多層膜の各層の光学的膜厚
は、外側に向けて等差級数的に増加するよう設定された
ことを特徴とする受光素子。 - 【請求項2】 請求項1記載の受光素子において、前記
多層膜の光学的膜厚が段階的に公差の異なる等差級数を
なすように構成したことを特徴とする請求項1記載の受
光素子。 - 【請求項3】 光電変換用の受光基板と、該受光基板上
で赤外光を遮断する多層膜が形成されてなり、該多層膜
は、受光基板上の第1層としての光学的整合層と、該整
合層上で交互に多数回積層された低屈折率層および高屈
折率層とから構成され、該多層膜の各層の光学的膜厚
は、外側に向けて等比級数的に増加するよう設定された
ことを特徴とする受光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5002237A JP2958204B2 (ja) | 1992-06-29 | 1993-01-11 | 受光素子 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4-170588 | 1992-06-29 | ||
JP17058892 | 1992-06-29 | ||
JP5002237A JP2958204B2 (ja) | 1992-06-29 | 1993-01-11 | 受光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0677507A true JPH0677507A (ja) | 1994-03-18 |
JP2958204B2 JP2958204B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=26335588
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5002237A Expired - Fee Related JP2958204B2 (ja) | 1992-06-29 | 1993-01-11 | 受光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2958204B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5644124A (en) * | 1993-07-01 | 1997-07-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Photodetector with a multilayer filter and method of producing the same |
US7605354B2 (en) | 2006-05-19 | 2009-10-20 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color sensor, production method thereof, sensor, and electronics device |
KR101395266B1 (ko) * | 2004-03-31 | 2014-05-27 | 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 | 방사선 검출기 |
-
1993
- 1993-01-11 JP JP5002237A patent/JP2958204B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5644124A (en) * | 1993-07-01 | 1997-07-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Photodetector with a multilayer filter and method of producing the same |
KR101395266B1 (ko) * | 2004-03-31 | 2014-05-27 | 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 | 방사선 검출기 |
US7605354B2 (en) | 2006-05-19 | 2009-10-20 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color sensor, production method thereof, sensor, and electronics device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2958204B2 (ja) | 1999-10-06 |
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