JPH0674800A - 流体質量流を検出する装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 導管の外壁と熱的に接触する能動素子を設置
して、導管内を流れる流体の質量流量を検出することで
ある。 【構成】 この能動素子はある温度範囲について少なく
とも１０％／℃の正の抵抗温度係数を有することを特徴
としており、その温度範囲内で能動素子を動作させ こ
の能動素子の抵抗に基づいて質量流量を検出する。別の
態様においては、導管に沿ったある位置において流体の
温度を感知するために受動温度センサを配置し、この受
動温度センサは実質的に非自己加熱型であり、能動素子
は導管に沿った別の位置に熱交換のために置き、導管は
温度によって変動する抵抗値を有し、そして能動素子と
センサとからの信号に基づいて質量流量を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、導管内における流体の
質量流量の検出に関する。

【０００２】

【従来の技術】質量流量を測定するための従来知られて
いる技術においては、流体が通過する検知管の長手方向
の２ケ所以上において、感温性抵抗線コイルが巻かれて
いる。これらのコイルのうちの少なくとも一つが、電流
によって加熱されるようになっている。これによって生
じる熱の一部は、その検知管内を流れる流体と交換され
る。上流のコイルがその流体に熱を奪われて冷える傾向
がある一方で、下流のコイルはその流体から熱を得て温
められる。これらのコイルの間に生じる温度差は、この
流体の質量流量の測度として検出されるようになってい
る。

【０００３】それらのコイルは、一般に、ゆるやかな正
の温度係数（ＰＴＣ）を有する鉄とニッケルの合金を巻
回したものであり、この合金の温度が上昇するに従っ
て、その電気抵抗も上昇するものである。巻線ＰＴＣセ
ンサには１〜４％／℃の範囲の温度係数を有するものが
ある。各コイルの温度がその抵抗に影響することから、
その温度差を、これらのコイルが２つの脚を形成してな
るところのブリッジ回路によって測定することができ
る。周囲の温度の変化、および流れる流体のセンサに入
るときの当初の温度の変化は、そのコイル温度差、従っ
て流体流量の測定に影響を与えるものである。

【０００４】比較的大きな質量流量を測定するために
は、流体の流れを主導管とそれに平行で径がより小さい
検知管とに分けるようにすることができる。このとき、
コイルは、主導管にではなく、検知管に巻かれることに
なる。この分割流方式によって得られる測度は、例えば
導管または管内の異物に起因するそれら主導管と検知管
とにおける流体流量の比率の変化、或いは温度または圧
力のシフトに起因する気体粘度の変化により影響を受け
るものである。

【０００５】上述の各技術は、センサ装置のどの部分も
検知管の内側に位置しないことから、非侵入方式である
といえる。質量流量は、検知管内の気体流に浸漬する侵
入型のセンサによって測定するようにすることもでき
る。このようなセンサは、例えばチタン酸バリウム（多
結晶性セラミック）といった正の温度係数を有する材料
（ＰＴＣ）を用いて形成することが知られている。ま
た、異なる周囲の条件によって起こる散逸定数のシフト
に基づいた空気流検出装置として、チタン酸バリウムＰ
ＴＣサーミスタを用いることも知られている。

【０００６】ＰＴＣサーミスタの抵抗温度特性には、抵
抗値が温度の上昇に対して比較的に一定であるかまたは
ゆるやかに低下する遷移温度（キュリー温度）より下の
領域と、小さな温度上昇に対して抵抗値が急激に上昇す
る遷移温度よりも上の領域と、が含まれている。

【０００７】このＰＴＣサーミスタは、このデバイスに
供給する電力が変化してデバイスを常にキュリー温度に
向かうようにすることができるようになった定温モード
にて、作動することができる。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、一般的に、そ
の態様の一つにおいて、導管の外側にあって且つ導管の
外壁と熱的に接触する能動素子を設置することによって
導管内を流れる流動体の質量流を検出するものであり、
この能動素子はある温度の範囲について少なくとも１０
％／℃の正の抵抗温度係数を有することを特徴としてお
り、この温度範囲においてこの能動素子を作動しこの温
度の範囲内での温度変化による能動素子の抵抗値の変化
に基づいて質量流を検出することを特徴としている。

【０００９】本発明は、一般的に、その別の態様におい
て、（イ）流体の温度を感知するために導管に沿ったあ
る位置にて実質的に自己加熱型ではない受動温度センサ
を配置し、（ロ）導管に沿った別の位置において熱交換
をするために温度によって変化する抵抗値を有する能動
素子を配置し、（ハ）能動素子およびセンサからの信号
に基づいて質量流を検出する、ということによって、導
管内を流れる流体の質量流を検出することを特徴として
いる。

【００１０】本発明の好ましい実施例には、以下の諸特
徴が含まれている。受動温度センサは、能動素子の上流
に設置する。質量流の流量は、能動素子の抵抗値に基づ
いて測定し、受動温度センサからの信号に基づいて調整
する。筐体がこの能動素子を周囲から熱的に隔絶する。
この能動素子はほぼ一定の温度で駆動される。いくつか
の実施例においては、導管により大きな質量流の一部の
みを運ぶ検知管を含み、その大きな質量流は主流体管に
おいて運ばれる。この能動素子は、例えばドーパントを
含むチタン酸バリウムまたはチタン酸ストロンチウムと
いった熱に敏感な抵抗材料のかたまりで構成されてい
る。この導管は、その対向する各端部において金属性か
たまりブロックへの溶接によって支持される薄壁の金属
管を含む。このかたまりブロックは、導管の同軸で互い
に隔てられた端部に結合するための同軸で互いに隔てら
れたポートを含んでいる。

【００１１】本検出装置は正確であり、製造および設置
が比較的簡単である。流体量は、流れを分割する方式を
必要とせずに流れ全体に基づいて測定することができ
る。このことが、圧力および温度の変化、詰まりおよび
姿勢に対する敏感さによって引き起こされる粘性の変化
の影響を減じている。能動素子は、オーバヒートさせず
に周囲から隔絶が可能である。受動温度センサと能動素
子との組み合せが、気体温度の変化にかかわらず正確な
測定をもたらす。セラミックデバイスを使用すると、よ
り大きな電力が可能となり、したがってより大きな信号
利得を実現できる。

【００１２】他の効果および特徴は、以下の推奨実施例
の説明から明らかとなる。

【００１３】

【実施例】図１および図２において、主配管８の中を流
れる気体の質量流量を測定するために、質量流量検出装
置１０をその配管内に挿置してある。検出装置１０は、
ステンレス鋼入口管１２およびステンレス鋼出口管１４
を含んでおり、これらは、この検出装置の他の構成要素
をも支えるステンレス鋼中央ブロック１６に溶接され、
そしてそこからそれぞれ互いに反対の方向へ延びてい
る。これらのブロックおよび管は、３１６Ｌ品位のステ
ンレス鋼である。好適には、主配管８もまた３１６Ｌ品
位のステンレス鋼でつくり、そして管１２，１４のそれ
ぞれの端部１８，２０を１／４″ステンレス鋼のほぞ
（図示せず）を用いて主配管８に直接溶接することが好
ましい。あるいはこれらの代わりに、管１２，１４の端
部１８，２０が１／４ＶＣＲのめすまたはおすのナット
とグランドかん合部品（ＣＡＪＯＮからＳＳ−４ＶＣＲ
四、ＳＳ−４ＶＣＲ１，ＳＳ−ＶＣＲ３として入手可
能）（図示せず）をもつようにし、それらが配管８の各
端部の対応するおすまたはめすのかん合部品とかん合す
るようにしてもよい。

【００１４】入口管１２は、マニホールドブロック１６
に開けた水平ボア２８および垂直ボア３０によって構成
されたブロック１６内のＬ字型ボアの一つの脚に通じる
内側ボアを備えている。流体は、このＬ字型ボア２８を
通って、マニホールドブロックの上面３２に取り付けた
Ｕ字型ステンレス鋼検知管３４に流れ込むことになる。
その流体は、そのＵ字型管３４からマニホールドブロッ
クの第２の同様なＬ字型ボア２９に流れ込み、そしてそ
れから出口管１４を介して主配管８に戻る。検出装置１
０は全流量検出装置であって、配管８内の全流れが検知
管３４を通過するものであり、これにより検出装置は、
バイパス型流量計に比べて製造が容易でより正確なもの
になっている。また、Ｌ字型ボア２８および２９および
Ｕ字型管３４は、通常のバイパス式流量計に用いられる
管より直径が大きく、したがって流体中の粒状不純物で
詰まることが少ない。

【００１５】Ｕ字型管３４および入口管および出口管１
２，１４は、漏れや不必要な封入を避けるために、マニ
ホールドブロックに溶接してある。Ｕ字型管３４は、流
体からのそしてその流体への伝熱を効率的にするために
薄壁（0.005 インチ）としてあり、溶接した継目管３
８，４０によってマニホールドブロックに取り付けてあ
る。また、図３において示すように、円形の刻み目をマ
ニホールドブロックの面３２に堀ってあり、これでＵ字
型管の両端を囲むようにしている。

【００１６】再び図１において、Ｕ字型検知管３４は、
円筒状壁４６およびふた４８を有するアルミニウムカバ
ー４４によって完全に包まれている。壁４６の下端は刻
み目４２に圧入され、これによりカバーの内部を外部の
周囲条件から隔絶するために密封をもたらしている。管
３４とカバーの内側表面との間の空間は、ガラスウール
の断熱材５０によって充たしてあり、外界周囲温度の変
化が流量測度の正確さに影響を与えることを防いでい
る。

【００１７】受動温度センサ５２（Ａｎａｌｏｇ Ｄｅ
ｖｉｃｅｓ，Ｎｏｒｗｏｏｄ ＭＡのＡＤ５９０ＡＨ）
は、Ｕ字型管の外壁の上流端に近い地点に（ＴＨＥＲＭ
ＡＬＬＯＹ，ＩＮＣ．の熱エポキシ＃４９５１を用い
て）熱的に結合している。この受動温度センサは、低い
自己加熱特性（つまり実質的に非自己加熱）を有してお
り、したがってこのセンサは、Ｕ字型管を通過する気体
とは実質的に熱交換をしないものであり、その目的は単
に気体の温度を測ることである。この温度センサの出力
信号は、ケーブル５５の配線５４によって外部回路（図
７）に送られる。応力除去グロメット５６が、そのケー
ブルをカバーの孔５８内に確実に保持する。

【００１８】正の温度係数（ＰＴＣ）を有するサーミス
タ６０（Ｋｅｙｓｔｏｎｅ Ｃａｒｂｏｎ Ｃｏ.,Ｓ
ｔ．Ｍａｒｙｓ，ＰＡから部品番号ＰＬ３００６−５０
−１００−２５−ＰＴＯで入取可）は、受動温度センサ
５２の下流の管３４の湾曲部に熱エポキシ接着してあ
り、このサーミスタと気体との間の効率的な伝熱のため
に上記管と良好に熱的な接触をしている。このＰＴＣサ
ーミスタは、チタン酸バリウムのＰＴＣデバイスであ
る。

【００１９】図４および図５において、ＰＴＣサーミス
タ６０は、より良好な熱接触のために、検知管の湾曲し
た外側面に適合する一対の切欠き６２を備えた、チタン
酸バリウムの固体ディスク（かたまり）（例えば厚１／
16インチ、直径３／16″）である。このデイスクは、管
の周わりに細いワイヤを巻いたものよりもバルクが大き
いことから、このサーミスタはより大きな電力消費をも
たらすことができる。

【００２０】図６において、このＰＴＣサーミスタは、
キュリー点Ｔ_trを有し、また比較的平たんな( またはわ
ずかに負の温度係数を有する) 領域６４および大きな正
の傾き( 大きな正の温度係数) を有する領域６６を特徴
とする温度抵抗プロフィールを有している。この材料の
キュリー点は、ほぼ２つの領域６４と６６の交点６８の
近辺に存在する。このＰＴＣ材料がキュリー点より低い
温度にある場合は、その抵抗は比較的に低くしたがって
一定電圧にあり、この材料は大きな電流を通し且つ抵抗
性加熱を受けることになる。この材料の温度は、それが
第２領域６６に達するまで増加する。この第２領域にお
いては、その材料の抵抗値は大きく増加し、電流は抵抗
性加熱の量に合わせて低下する。この自己制限式加熱が
ＰＴＣ材料の温度を、そのキュリー点近くで比較的一定
に保つようにする。したがって、このＰＴＣ材料はオー
バーヒートを起さず、そのため図１に示すように周囲環
境から完全に隔絶させることができる。

【００２１】この温度抵抗曲線は、第２領域６６におい
て極めて急激な傾斜をしており、その領域においては、
温度の小さな変化が大きな抵抗値の変化につながる。温
度に対するその抵抗値の百分率変化は１０％／℃より大
きく、代表的には２５％／℃よりも大きなものであり、
そして２００％／℃もの大きさにまでなることがある。
（ある例においては、遷移温度（８０℃）より２０℃高
い温度における温度係数は、約１７％／℃である。）こ
れらの値は、一般的な巻線式ＰＴＣデバイスの１〜４％
／℃といった値よりずっと大きなものである。抵抗のそ
の百分率変化は、図６の曲線に沿った位置および選択し
た市販のデバイスの特性によって異なる。温度抵抗曲線
のこの部分を、図１の検出装置における流体流量の精密
な測定に用いることができる。気体流がこのサーミスタ
を通過すると、サーミスタの温度はその流れる気体に熱
を与えるのにしたがってわずかに低下し、これにより大
きな抵抗値の変化が生じる。一定の電圧において、サー
ミスタが通す電流は著しく増大する。電流のこの変化を
測定することによって、温度の変化を高い精度で測定す
ることができる。

【００２２】図７において、ＰＴＣサーミスタ６０は、
電圧調整器１０２の出力１０１から電力を受けるように
なっている。このサーミスタを通る電流が、質量流量に
対応する。したがって、抵抗器Ｒ_L の両端の電圧Ｖｓｅ
ｎｓｏｒが質量流量を表す。この抵抗器の両端の電圧
は、増幅器１０４において増幅し、線１０６に出力電圧
Ｖｆｌｏｗを生成する。このサーミスタは、サーミスタ
から周囲への定常的な熱損失のために、遷移温度におい
てではなく、むしろ図６の領域６６において動作する。

【００２３】線１０６のその値は、配管内の気体の相対
的質量流量の示度として直接用いるか、或いはこれを比
較器回路１０８に送り、その出力を線１０６の値がＡ₂
またはＢ₂ よりも大きいかどうかによってそれぞれリレ
ー１１０、１１２を駆動するのに用いるようにすること
ができる。温度センサ５２の出力電流（例えば１マイク
ロアンペア／℃で温度と共に上昇する）は、温度補償ス
テージ１１４へ送る。その信号は、経験的に決定した値
によって増幅器１１６で増幅し、それから電圧調整器１
０２に印加し、その出力を気体の温度（センサ５２によ
って測定）の関数として変動させる。ＰＴＣサーミスタ
にかかる電圧をシフトさせると、その出力電圧したがっ
てＲ_L を通過する電流が変化する。これによって、気体
の温度変化にかかわらずに検出装置１０が質量流量を正
確に測定できるよう確保している。

【００２４】センサ５２における気体の温度上昇は、Ｐ
ＴＣサーミスタ５４への駆動電圧を減少させる。駆動電
圧のこの減少がＰＴＣサーミスタをわずかに冷やし始
め、その抵抗値を低下させる。この低下したＰＴＣ抵抗
値は、より大きな電流がＲ_L を通って流れるようにし、
したがってより高い電圧がＲ_L にかかるようにする。

【００２５】図８において示すように、温度変化の補償
に温度センサ５２を用いない場合には、ある流量１２０
に対して発生する出力電流は、温度の高い気体について
のものが、温度が低い気体についてのものより差分１２
２だけ低くなっている。センサ５２の出力電流は、図示
したように、温度の高い気体に対しての方が温度の低い
気体に対してもより高くなっている。ＰＴＣサーミスタ
の出力電流をセンサ５２の出力に基づいた量によって調
整することによって、質量流量表示度数に対する気体温
度変化の影響が減少する。センサ５２の出力のシフト
と、電圧調整器を介して得られるＰＴＣサーミスタ出力
のシフトとは、用いるこの領域においては反比例となっ
ている。

【００２６】図９において、２つの温度（室温および３
５℃）における窒素を用いて毎分０乃至２０リットルの
範囲で1/4 インチ配管を通過させた例では、回線１０６
の増幅器出力Ｖｆｌｏｗは温度の変化にほとんど影響を
受けなかった（例えば毎分７リットルの流量において、
影響が１％／℃の１０分の１より小さいことを知見し
た）。

【００２７】図１０は、２つの異なる気体（窒素とアル
ゴン）についての室温における出力の変動を示したもの
である。

【００２８】特許請求の範囲内に入るその他の実施例も
ある。また、例えばチタン酸ストロンチウムのような他
のＰＴＣ材料も用いることができる。

【００２９】実施例のあるものにおいては、気体流量検
出を主配管においてではなく、分割配管で行うようにす
ることができる。その場合、図１において、配管８は、
別の主配管（図示せず）に平行な分割配管となるもので
ある。

【００３０】図７の電流におけるように質量流量の変化
のみを測定する代わりに、絶対質量流量を、マイクロプ
ロセッサ式のものであって較正操作中に得られる曲線族
に頼る別の異なる回路で測定することができる。較正の
ためには、その検出装置を精度の知られている標準的な
体積流量計と連らねて流体の流れるパイプに配し、そし
て気体を検出装置１０そして流量計に続けて通す。気体
に吸収される熱は多くの変数によるため、気体の組成
を、例えば密度や温度といったその物理的特性と合わせ
て知ることが必要である。その体積流量（体積流量計に
よって求められる）は質量流量に変換し、且つＰＴＣサ
ーミスタが通す電流を測定して、その気体のその温度に
ついての較正曲線上のデータ点を得るようにする。流量
を変え（気体温度を一定に保ちつつ）て新たな電流を測
定し、較正曲線上の別の点を得る。このようにして、あ
る所与の温度におけるある気体の流量をＰＴＣサーミス
タによる電流と関連づける較正曲線全体を生成する。一
層の較正段階においては、その気体の温度を変化させる
ことにより、新しい較正曲線を各温度について１つずつ
得る。

【００３１】この較正手順は、その検出装置で測定しよ
うとする異なる気体毎に繰返すようにする。

【図面の簡単な説明】

【図１】質量流量センサの部分的に断面で示した側面図
である。

【図２】図１のセンサを、そのカバーを除いて示した部
分的に断面の側面図である。

【図３】そのセンサの上面図である。

【図４】図１のＰＴＣ素子の上面図である。

【図５】図４のＰＴＣ素子の線Ａ−Ａに沿った側断面図
である。

【図６】正の温度係数（ＰＴＣ）を有する材料について
の抵抗と温度の関係を示すグラフである。

【図７】回路図である。

【図８】異なる温度においての能動センサおよび受動セ
ンサについての出力電流と流量との関係を示す図であ
る。

【図９】示した各温度における窒素およびアルゴンの流
量と増幅器出力との関係を示す図である。

【図１０】示した各温度における窒素およびアルゴンの
増幅器出力の流量に対する関係を説明する図である。

【符号の説明】

８ 主配管 １０ 質量流量検出装置 １２ 入口管 １４ 出口管 １６ マニホールドブロック １８、２０ 端部 ５２ 受動温度センサ ６０ ＰＴＣサーミスタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 デービッド・イー・リンジー アメリカ合衆国ニューハンプシャー州 03054，メリーマック，ブレンダ・レーン 38 (72)発明者 ジョン・エイチ・ファブリシウス アメリカ合衆国サウス・カロライナ州 29936，リッジランド，ウィンディング・ オーク・ドライブ 83

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導管内を流れる流体の質量流を検出する
   装置であって、 前記導管の外側に設置し且つ前記導管の外壁と熱的に接
   触する能動素子であって、ある温度範囲について少なく
   とも１０％／℃の抵抗の正の温度係数を特徴とする前記
   能動素子と、 前記所定の温度範囲内で前記能動素子を作動し、且つ前
   記温度範囲内での温度変化による前記能動素子の抵抗値
   の変化に基づいて前記導管内の質量流を検出するための
   回路と、を備えた流体質量流を検出する装置。
2. 【請求項２】 導管内を流れる流体の質量流を検出する
   装置であって、 前記導管に沿ったある位置における前記流体の温度を感
   知するために配置した受動温度センサであって、実質的
   に非自己加熱性である前記受動温度センサと、 前記導管に沿った別の位置において熱交換をするために
   配置した能動素子であって、温度によって変化する抵抗
   値を有する前記能動素子と、 前記能動素子からおよび前記受動温度センサからの信号
   に基づいて前記質量流を検出するための回路と、を備え
   た流体の質量流を検出する装置。
3. 【請求項３】 前記能動素子の位置とは異なる位置にお
   いて前記流体の温度を感知するために配置した受動温度
   センサを更に含み、前記回路が前記能動素子と前記受動
   温度センサとからの各信号に基づいて前記導管内の前記
   質量流を検出すること、を特徴とする請求項１記載の装
   置。
4. 【請求項４】 前記受動温度センサは、前記能動素子の
   上流に設置されるここと、を特徴とする請求項２または
   ３に記載の装置。
5. 【請求項５】 前記回路は前記能動素子の抵抗値に基づ
   いて質量流の流量を測定し、前記回路が前記測定した質
   量流量を前記受動温度センサからの信号に基づいて調整
   するための副回路を含むこと、を特徴とする請求項２記
   載の装置。
6. 【請求項６】 前記能動素子を周囲から熱的に隔絶する
   ための筐体を更に含むこと、を特徴とする請求項１また
   は２に記載の装置。
7. 【請求項７】 前記導管は、より大きな質量流の一部の
   みを運ぶ検知配管から成り、そのより大きな質量流は主
   配管内を運ばれること、を特徴とする請求項１または２
   に記載の装置。
8. 【請求項８】 前記能動素子は、熱感応性抵抗材料のか
   たまりから成り、前記かたまりは前記導管に巻回したワ
   イヤの形状をしていないこと、を特徴とする請求項１ま
   たは２に記載の装置。
9. 【請求項９】 前記能動素子はチタン酸バリウムまたは
   チタン酸ストロンチウムと、ドーパントとで構成される
   こと、を特徴とする請求項１または２に記載の装置。
10. 【請求項１０】 前記導管は薄壁の金属管で構成され、
    前記装置は前記薄壁の金属管の反対側の各端部を支持す
    るかたまりブロックを更に含むこと、を特徴とする請求
    項１または２に記載の装置。
11. 【請求項１１】 前記かたまりブロックは前記導管の同
    軸で互いに隔てられた端部に結合するための同軸の互い
    に隔てられたポートを更に含むこと、を特徴とする請求
    項10記載の装置。
12. 【請求項１２】 前記かたまりブロックは金属で構成さ
    れ、前記管の端部は前記ブロックに溶接されているこ
    と、を特徴とする請求項10記載の装置。
13. 【請求項１３】 薄壁の金属導管内を流れる流体の質量
    流を測定する装置であって、 前記導管の外壁と熱的に接触して設置した能動素子であ
    って、ある温度範囲について少なくとも１０％／℃の抵
    抗の正の温度係数を特徴とする前記能動素子と、 前記能動素子の上流の位置において前記導管の外壁と熱
    的に接触して設置した受動温度センサと、 前記能動素子を周囲から熱的に隔絶するための筐体と、 前記温度範囲内においてほぼ一定温度のモードで前記能
    動素子を駆動し、且つ前記能動素子の前記抵抗値と前記
    受動温度センサによってもたらされる信号とに基づいて
    質量流を測定する回路と、を含む質量流量を測定する装
    置。
14. 【請求項１４】 導管を流れる流体の質量流を検出する
    方法であって、前記導管が、その外壁に熱的に接触して
    設けた能動素子を備え、該素子がある温度範囲について
    少なくとも１０％／℃の抵抗の正の温度係数を特徴と
    し、前記の方法が、 前記能動素子を電気的に駆動して前記温度範囲内で作動
    する段階と、 前記能動素子の抵抗値に基づいて前記導管内の質量流を
    検出する段階と、を含む方法。
15. 【請求項１５】 前記能動素子の抵抗値に基づいて前記
    質量流の流量を測定する段階、を更に含むこと、を特徴
    とする請求項14記載の方法。
16. 【請求項１６】 前記能動素子の位置と異なる位置にお
    いて前記流体の温度を受動的に測定する段階と、 前記受動的に測定した温度に基づいて質量流の前記流量
    を調整する段階と、を更に含むこと、を特徴とする請求
    項１５記載の方法。